JPH0773457A - Apparatus for production of magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To simplify the production process and to reduce the cost by disposing a porous body which applies a lubricant on a magnetic layer of a metallic thin film type by coming into contact with the layer within a vacuum chamber. CONSTITUTION:The first vacuum chamber 1a is used for forming the magnetic layer consisting of a magnetic thin film and the application of the lubricant on the magnetic layer is executed in the second vacuum chamber 1b. The first vacuum chamber 1a and the second vacuum chamber 1b are connected via a connecting passage 1c. A substrate 8 on which a magnetic thin film is formed in the first vacuum chamber 1a and which is introduced to the second vacuum chamber 1b, is brought into contact with a can roll 9 along therewith. The porous body 10 is in elastic contact with the can roll 9 and since a lubricant soln. in a tank 11 is stored in the porous body 10, the lubricant soln. is applied on the surface of the magnetic thin film of the substrate 8 as the substance 8 travels. Since the application is executed in the second vacuum chamber 1b, magnetic metals are not deposited thereon at the time of the application and the vacuum degree conditions in the first vacuum chamber 1a are hardly received. The formation of the magnetic thin film and the application of the lubricant are independently and continuously executed and, therefore, the respective operations are well carried out and the cost is reduced by the simplification of the production processes.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【０００２】[0002]

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。BACKGROUND OF THE INVENTION In a magnetic recording medium such as a magnetic tape, due to a demand for high density recording, a binder resin is not used as a magnetic layer provided on a non-magnetic support, instead of a coating type using a binder resin. A metal thin film type that is not used has been proposed. That is, it is well known that a magnetic recording medium having a magnetic layer formed by a dry plating means such as vacuum deposition, sputtering or ion plating has been proposed. Since the magnetic recording medium of this type has a high packing density of magnetic material, it is suitable for high-density recording.

【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium by such dry plating means is generally constructed as shown in FIG. In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a cooling can, 22a
Is polyethylene terephthalate (PET) film 23
Of the PET film 23, a roll on the winding side of the PET film 23, a crucible 24, a magnetic metal 25, and a vacuum container 26. Then, after evacuating the inside of the vacuum chamber 26 to a predetermined vacuum degree, the electron gun is operated to evaporate the magnetic metal 25 in the crucible 24, and the evaporated particles of the magnetic metal 25 are deposited on the PET film 23 ( A magnetic recording medium is manufactured by vapor deposition.

【０００４】ところで、このような装置により得られた
金属薄膜型の磁気記録媒体にあっても、走行性の観点か
ら表面に潤滑剤が塗布されている。そして、これまでに
あっては、真空容器２６内から巻取側ロール２２ｂを取
り出し、塗布型の磁気記録媒体の磁性塗料の塗布に際し
て用いられていた塗布手段と同様な手段、例えばダイ塗
工やグラビア塗工による手段が採用されて潤滑剤が塗布
されている。Incidentally, even in the metal thin film type magnetic recording medium obtained by such an apparatus, a lubricant is applied to the surface from the viewpoint of running property. Then, up to now, the take-up side roll 22b is taken out from the vacuum container 26, and the same means as the coating means used for coating the magnetic coating material of the coating type magnetic recording medium, for example, die coating or The lubricant is applied by means of gravure coating.

【０００５】[0005]

【発明の開示】しかしながら、上記のような潤滑剤塗布
手段は、磁性層の形成が真空槽内で行われる一方、潤滑
剤の塗布は大気中で行われているものであるから、製造
工程が複雑で、煩瑣なものとなり、コストが高く付いて
いることが次第に判って来た。このような問題点につい
ての検討が鋭意押し進められて行った結果、潤滑剤の塗
布も真空槽内で行われるようにすれば、磁性層の形成に
引き続いて潤滑剤の塗布を連続して実施できるようにな
り、製造工程をそれだけ簡略化でき、コストの低廉化が
図れるであろうとの啓示を得るに至った。DISCLOSURE OF THE INVENTION However, in the above-described lubricant applying means, the magnetic layer is formed in the vacuum chamber, while the lubricant is applied in the atmosphere. Increasingly it has become apparent that it is complex, cumbersome and expensive. As a result of earnestly studying such problems, if the lubricant is also applied in the vacuum chamber, the lubricant can be continuously applied subsequent to the formation of the magnetic layer. As a result, we have reached the revelation that the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.

【０００６】このような観点から本発明が達成されたも
のであり、本発明の目的は、製造工程が簡略化でき、コ
ストの低廉化が図れる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ることである。この本発明の目的は、支持体上に金属薄
膜型の磁性層を設け、この磁性層上に潤滑層を設けた磁
気記録媒体を製造する装置であって、真空槽内で走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置によって達成される。The present invention has been achieved from such a viewpoint, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium manufacturing apparatus capable of simplifying the manufacturing process and reducing the cost. An object of the present invention is an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium in which a metal thin film type magnetic layer is provided on a support and a lubricating layer is provided on the magnetic layer, and the magnetic recording medium is provided on a support running in a vacuum chamber. A metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer on the inside, a porous body provided in the vacuum chamber so as to contact the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means, and the porous body. And a lubricant supplying means for supplying a lubricant to the magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【０００７】尚、この磁気記録媒体の製造装置は、真空
槽と、この真空槽内を支持体が走行するように設けられ
た支持体走行手段と、この支持体走行手段により走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段と、この潤滑剤供給手段で潤滑剤が塗布された後の
段階において設けられたスムーザーとを具備するもので
あることが好ましい。In this magnetic recording medium manufacturing apparatus, a vacuum tank, a support running means provided so that the support runs in the vacuum tank, and a support running on the support running means are mounted on the support. A metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer on the inside, a porous body provided in the vacuum chamber so as to contact the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means, and the porous body. It is preferable to include a lubricant supplying means for supplying a lubricant to the first and a smoother provided at a stage after the lubricant is applied by the lubricant supplying means.

【０００８】又、金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜
形成手段が設けられている真空槽が第１の真空槽であ
り、金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層
に潤滑剤を塗布する多孔質体が設けられている真空槽が
第２の真空槽であるように、各々は異なる真空槽（真空
度が異なる真空槽）に配置されるようにしたものが好ま
しい。A vacuum chamber provided with a metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer is a first vacuum chamber, and a lubricant is applied to the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means. It is preferable that the vacuum chamber in which the porous body for coating is provided is arranged in different vacuum chambers (vacuum chambers having different degrees of vacuum) so that the second vacuum chamber is provided.

【０００９】又、金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性
層が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜
型の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノ
ズルを具備してなるものが好ましい。特に、金属薄膜形
成手段で金属薄膜型の磁性層が形成された時ないしは直
後の時点において金属薄膜型の磁性層面に対して略垂直
に酸化性のガスをあてるノズルと、酸化性のガスを加熱
する加熱手段とを具備してなるものが好ましい。Further, it comprises a nozzle for applying an oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer when or immediately after the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means. Those are preferable. In particular, when the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means or immediately after that, the nozzle for applying the oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer and the heating of the oxidizing gas are performed. It is preferable that the heating means is provided.

【００１０】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。A concrete example will be described below.

【００１１】[0011]

【実施例】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造装
置の概略図である。同図中、１ａは磁性層（磁性薄膜）
形成用の第１の真空槽、１ｂは潤滑剤の塗布が行われる
第２の真空槽であり、これら第１の真空槽１ａと第２の
真空槽１ｂとは連絡通路１ｃを介してつながっている。1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention. In the figure, 1a is a magnetic layer (magnetic thin film)
A first vacuum tank 1b for forming is a second vacuum tank to which a lubricant is applied, and these first vacuum tank 1a and second vacuum tank 1b are connected via a communication passage 1c. There is.

【００１２】２は第１の真空槽１ａ内に配設された冷却
キャン、３は防着板、４はルツボ、５は磁性金属、６は
酸素ガス吐出用のノズルであり、このノズル６のノズル
口６ａは冷却キャン２の中心に向かって配設されてい
る。尚、ルツボ４に充填される磁性金属５としては、例
えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。Reference numeral 2 is a cooling can arranged in the first vacuum chamber 1a, 3 is an adhesion preventive plate, 4 is a crucible, 5 is a magnetic metal, and 6 is a nozzle for discharging oxygen gas. The nozzle port 6a is arranged toward the center of the cooling can 2. The magnetic metal 5 filled in the crucible 4 may be, for example, a metal such as Fe, Co, or Ni, a Co—Ni alloy, a Co—Pt alloy, a Co—Ni—Pt alloy, or a Fe—C.
o alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe
-Co-B alloy, Co-Ni-Fe-B alloy, Co-C
Examples thereof include r alloys and alloys containing a metal such as Al.

【００１３】７ａは第１の真空槽１ａ内に配設された供
給側ロール、７ｂは第２の真空槽１ｂ内に配設された巻
取側ロールであり、供給側ロール７ａに巻回されている
非磁性の支持体８が冷却キャン２に沿って巻かれ、そし
てガイドローラーに添接案内され、連絡通路１ｃを通っ
て第２の真空槽１ｂ側に案内され、第２の真空槽１ｂ内
に配設されたキャンロール９に沿って巻かれ、巻取側ロ
ール７ｂに巻き取られて行くようになっている。Reference numeral 7a denotes a supply side roll arranged in the first vacuum chamber 1a, and 7b denotes a winding side roll arranged in the second vacuum chamber 1b, which is wound around the supply side roll 7a. The non-magnetic support 8 is wound around the cooling can 2, guided by a guide roller, guided to the second vacuum chamber 1b side through the communication passage 1c, and the second vacuum chamber 1b. It is wound along a can roll 9 arranged inside and wound up by a winding-side roll 7b.

【００１４】尚、支持体８は、例えばＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アル
ミニウム合金などの金属材料が用いられる。そして、支
持体８面上には、必要に応じて磁性層（磁性薄膜）の密
着性を向上させる為のアンダーコート層が設けられてい
る。すなわち、表面の粗さを適度に粗すことにより、例
えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜の密着性を向
上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なも
のとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ₂ 等の粒子
を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの塗膜を設
けることによってアンダーコート層が構成されている。The support 8 is made of a polymer material such as polyester such as PET, polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate, olefin resin such as polypropylene, cellulose resin, vinyl chloride resin, glass or the like. Inorganic materials such as ceramics and metal materials such as aluminum alloys are used. An undercoat layer for improving the adhesion of the magnetic layer (magnetic thin film) is provided on the surface of the support 8 as needed. That is, by appropriately roughening the surface roughness, for example, the adhesion of the magnetic thin film formed by the oblique vapor deposition method is improved, and the surface roughness of the magnetic recording medium surface is moderated to improve the running property. Therefore, the undercoat layer is formed by providing a coating film containing particles such as SiO ₂ and having a thickness of 0.005 to 0.1 μm.

【００１５】１０はキャンロール９に対向して配設され
たスポンジあるいは海面体などのような多孔質体であ
り、所定の圧力でもってキャンロール９上の支持体８に
弾接している。１１は支持体８に弾接している多孔質体
１０に潤滑剤を供給する為のタンクであり、このタンク
１１内の潤滑剤溶液がポンプ及びパイプを介して多孔質
体１０に供給されるようになっている。Reference numeral 10 denotes a porous body such as a sponge or a sea surface member arranged facing the can roll 9, and is elastically contacted with the support 8 on the can roll 9 with a predetermined pressure. Reference numeral 11 denotes a tank for supplying a lubricant to the porous body 10 which is elastically contacted with the support body 8. The lubricant solution in the tank 11 is supplied to the porous body 10 via a pump and a pipe. It has become.

【００１６】尚、潤滑剤溶液としては、例えば分子量２
０００〜５０００のパーフルオロポリエーテル（ＦＯＭ
ＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ（モンテカチーニ社製）、ＦＯ
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ（モンテカチーニ社製）など）
などのフッ素系の潤滑剤が、例えばフロリナート（住友
３Ｍ社製）などのフッ素系の不活性溶媒、トルエンなど
の芳香族系炭化水素溶媒、アルコール系やケトン系の溶
媒に溶かされてなるものである。勿論、これ以外のもの
であっても良い。The lubricant solution has a molecular weight of 2
000-5000 perfluoropolyether (FOM
BLIN Z DIAC (made by Montecatini), FO
MBLIN Z DOL (made by Montecatini) etc.)
A fluorine-based lubricant such as Fluorinert (manufactured by Sumitomo 3M), a fluorine-based inert solvent, an aromatic hydrocarbon solvent such as toluene, or an alcohol-based or ketone-based solvent. is there. Of course, it may be something other than this.

【００１７】１２は潤滑剤が塗布された後の工程に設け
られたスムーザー、１３は赤外線ランプからなる乾燥手
段、１４は遮蔽板である。上記のように構成させた装置
において、第１の真空槽１ａ内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒ
ｒ程度、例えば２×１０^-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した
後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などにより
ルツボ４内の磁性金属５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体８に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属５を
蒸着させて磁性薄膜を形成する。Reference numeral 12 is a smoother provided in a step after the lubricant is applied, 13 is a drying means including an infrared lamp, and 14 is a shielding plate. In the apparatus configured as described above, the inside of the first vacuum chamber 1a is 10 ⁻⁴ to 10 ⁻⁶ Tor.
After evacuation to a vacuum degree of about r, for example, 2 × 10 ⁻⁵ Torr, the magnetic metal 5 in the crucible 4 is evaporated by resistance heating, high frequency heating, electron beam heating, etc. The magnetic metal 5 having a thickness of 0.04 to 2 μm is deposited to form a magnetic thin film.

【００１８】この磁性薄膜の形成に際しては、ノズル６
のノズル口６ａから５０℃程度に加熱された酸素ガスが
磁性金属５の蒸着部分（磁性薄膜）に約１５０ｃｃ／ｍ
ｉｎ程度の割合で吹き付けられ、磁性薄膜の表層部分が
強制酸化させられる。尚、図１からも判る通り、磁性金
属が堆積して磁性薄膜が形成された瞬間から直後の間で
ある位置において酸素ガスが吹き付けられるよう、か
つ、その吹付角度（衝突角度）が９０°であるようノズ
ル６のノズル口６ａはセッティングされている。When forming this magnetic thin film, the nozzle 6 is used.
The oxygen gas heated to about 50 ° C. from the nozzle port 6a of No. 6 is about 150 cc / m in the deposition portion (magnetic thin film) of the magnetic metal 5.
The surface layer of the magnetic thin film is forcibly oxidized by being sprayed at a rate of about in. As can be seen from FIG. 1, the oxygen gas is blown at a position between the moment when the magnetic metal is deposited and the magnetic thin film is formed and the moment immediately after that, and the spray angle (collision angle) is 90 °. As shown, the nozzle opening 6a of the nozzle 6 is set.

【００１９】このようにして磁性薄膜が形成され、そし
て酸化処理が施され、この後所定の経路を通って第２の
真空槽１ｂ側に案内されて行く。１〜１０^-4Ｔｏｒｒ程
度、例えば５×１０^-2Ｔｏｒｒの真空度に排気されてい
る第２の真空槽１ｂ側に導かれて来た支持体８はキャン
ロール９に添接される。そして、このキャンロール９に
は多孔質体１０が弾接しており、この多孔質体１０には
タンク１１内の潤滑剤溶液が供給されているから、支持
体８の走行につれて潤滑剤溶液が支持体８の磁性薄膜表
面（酸化膜の表面）に乾燥後の厚さが２０Å程度となる
よう塗布されて行く。尚、この塗布は、第２の真空槽１
ｂ内で行われているから、塗布時に磁性金属が堆積する
ことなく、かつ、蒸発する溶媒などによって第１の真空
槽１ａ内の真空度といった条件が変動を受け難く、磁性
薄膜の形成と潤滑剤の塗布とが独立的に行われるから、
各々が良好に行われる。 この潤滑剤の塗布工程の後、
スムーザー１２による平滑化処理が行われ、そして赤外
線ランプによって乾燥処理が施され、この後巻取側ロー
ル７ｂに巻き取られて行くようになっている。In this way, the magnetic thin film is formed and subjected to the oxidation treatment, and thereafter, it is guided to the second vacuum chamber 1b side through a predetermined path. The support 8 introduced to the second vacuum chamber 1b side, which is evacuated to a vacuum degree of about 1 to 10 ⁻⁴ Torr, for example, 5 × 10 ⁻² Torr, is attached to a can roll 9. The porous body 10 is elastically contacted with the can roll 9, and the lubricant solution in the tank 11 is supplied to the porous body 10. Therefore, the lubricant solution is supported as the support 8 runs. It is applied on the surface of the magnetic thin film (surface of the oxide film) of the body 8 so that the thickness after drying is about 20Å. In addition, this application is performed in the second vacuum chamber 1
Since it is carried out in b, the magnetic metal does not deposit at the time of application, and the conditions such as the degree of vacuum in the first vacuum chamber 1a are not easily changed by the solvent that evaporates and the formation and lubrication of the magnetic thin film. Since the application of the agent is performed independently,
Each is done well. After this lubricant application process,
A smoothing process is performed by the smoother 12, a drying process is performed by an infrared lamp, and then the film is taken up by a take-up roll 7b.

【００２０】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。After that, a slit is formed into a predetermined width to form a magnetic tape or the like.

【００２１】[0021]

【効果】本発明によれば、潤滑剤の塗布と磁性薄膜の形
成とが真空条件下で行われることから、作業性が良く、
低廉なコストで磁気記録媒体を作製できる。[Effect] According to the present invention, since the application of the lubricant and the formation of the magnetic thin film are performed under vacuum conditions, the workability is good,
A magnetic recording medium can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図FIG. 1 is a schematic explanatory view of a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to the present invention.

【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of a conventional magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ａ 第１の真空槽 １ｂ 第２の真空槽 １ｃ 連絡通路 ２ 冷却キャン ４ ルツボ ５ 磁性金属 ６ ノズル ６ａ ノズル口 ７ａ 供給側ロール ７ｂ 巻取側ロール ８ 支持体 ９ キャンロール １０ 多孔質体 １１ タンク １２ スムーザー １３ 乾燥手段 1a 1st vacuum tank 1b 2nd vacuum tank 1c Communication path 2 Cooling can 4 Crucible 5 Magnetic metal 6 Nozzle 6a Nozzle mouth 7a Supply side roll 7b Winding side roll 8 Support 9 Can roll 10 Porous body 11 Tank 12 Smoother 13 Drying means

フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内Front Page Continuation (72) Inventor Akira Shiga 2606 Akabane, Kai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Corporation Company Information Science Laboratory

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 支持体上に金属薄膜型の磁性層を設け、
この磁性層上に潤滑層を設けた磁気記録媒体を製造する
装置であって、真空槽内で走行する支持体上に金属薄膜
型の磁性層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜
形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層に当接するよ
う真空槽内において設けられた多孔質体と、この多孔質
体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを具備すること
を特徴とする磁気記録媒体の製造装置。1. A metal thin film type magnetic layer is provided on a support,
An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium having a lubricating layer provided on the magnetic layer, comprising a metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer on a support running in a vacuum chamber, and the metal thin film forming means. And a lubricant supply means for supplying a lubricant to the porous body, the porous body being provided in the vacuum chamber so as to come into contact with the metal thin film type magnetic layer formed in Recording medium manufacturing device. 【請求項２】 真空槽と、この真空槽内を支持体が走行
するように設けられた支持体走行手段と、この支持体走
行手段により走行する支持体上に金属薄膜型の磁性層を
設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成手段で形
成された金属薄膜型の磁性層に当接するよう真空槽内に
おいて設けられた多孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を
供給する潤滑剤供給手段と、この潤滑剤供給手段で潤滑
剤が塗布された後の段階において設けられたスムーザー
とを具備することを特徴とする請求項１の磁気記録媒体
の製造装置。2. A vacuum tank, a support running means provided so that the support runs in the vacuum tank, and a metal thin film type magnetic layer provided on the support run by the support running means. Metal thin film forming means, porous body provided in the vacuum chamber so as to contact the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means, and lubricant supply for supplying lubricant to this porous body 2. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, further comprising: means and a smoother provided at a stage after the lubricant is applied by the lubricant supply means. 【請求項３】 金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形
成手段が設けられている真空槽が第１の真空槽であり、
金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層に潤
滑剤を塗布する多孔質体が設けられている真空槽が第２
の真空槽であることを特徴とする請求項１または請求項
２の磁気記録媒体の製造装置。3. A vacuum chamber provided with a metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer is a first vacuum chamber,
A second vacuum chamber is provided with a porous body for applying a lubricant to the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means.
3. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, which is the vacuum chamber of claim 1. 【請求項４】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルを具備してなることを特徴とする請求項１または請求
項２の磁気記録媒体の製造装置。4. A nozzle for applying an oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer when or immediately after the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, characterized in that. 【請求項５】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルと、酸化性のガスを加熱する加熱手段とを具備してな
ることを特徴とする請求項１または請求項２の磁気記録
媒体の製造装置。5. A nozzle for applying an oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer when the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means or immediately thereafter, and a nozzle for oxidizing the metal thin film type magnetic layer. 3. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, further comprising: heating means for heating the gas.