JPH0785468A - Manufacturing apparatus for magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To effectively form a lubrication agent by providing a metal thin film forming means and a spraying means for spraying the vapor of the lubrication agent to a magnetic layer within a vacuum tank to produce a magnetic recording medium. CONSTITUTION:The magnetic recording medium manufacturing apparatus is provided with a first vacuum tank 1a to form a magnetic layer and a second vacuum tank 1b to spray the lubrication agent which are coupled through an communicating path. In the first vacuum tank 1a, a cooling can roll 2, ad absorbing plate 3, a crucible 4, a magnetic metal 5 and an oxygen gas outlet nozzle 6 are provided toward the center of the roll 2. The crucible 4 is full of magnetic metal 5 such as Co and Co-Ni alloy, a supply roll 7a is provided in the first vacuum tank 1a while a takeup roll 7b in the second vacuum tank 1b and ths supply roll 7a is wound by non-magnetic carrier 8 along the cooling can roll 2. The tape is guided to the second vacuum tank 1b through the communicating path 1c in contact with the guide roller, wound along the heating can roll 9 and is then taken up by the takeup roll 7a. Thereby, the magnetic recording medium can be obtained economically.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【０００２】[0002]

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。BACKGROUND OF THE INVENTION In a magnetic recording medium such as a magnetic tape, due to a demand for high density recording, a binder resin is not used as a magnetic layer provided on a non-magnetic support, instead of a coating type using a binder resin. A metal thin film type that is not used has been proposed. That is, it is well known that a magnetic recording medium having a magnetic layer formed by a dry plating means such as vacuum deposition, sputtering or ion plating has been proposed. Since the magnetic recording medium of this type has a high packing density of magnetic material, it is suitable for high-density recording.

【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図３のように構成されているものが
一般的である。尚、図３中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。An apparatus for producing a magnetic recording medium by such dry plating means is generally constructed as shown in FIG. In FIG. 3, reference numeral 21 denotes a cooling can, 22a
Is polyethylene terephthalate (PET) film 23
Of the PET film 23, a roll on the winding side of the PET film 23, a crucible 24, a magnetic metal 25, and a vacuum container 26. Then, after evacuating the inside of the vacuum chamber 26 to a predetermined vacuum degree, the electron gun is operated to evaporate the magnetic metal 25 in the crucible 24, and the evaporated particles of the magnetic metal 25 are deposited on the PET film 23 ( A magnetic recording medium is manufactured by vapor deposition.

【０００４】ところで、このような装置により得られた
金属薄膜型の磁気記録媒体にあっても、走行性の観点か
ら表面に潤滑剤が塗布されている。そして、これまでに
あっては、真空容器２６内から巻取側ロール２２ｂを取
り出し、塗布型の磁気記録媒体の磁性塗料の塗布に際し
て用いられていた塗布手段と同様な手段、例えばダイ塗
工やグラビア塗工による手段が採用されて潤滑剤が塗布
されている。Incidentally, even in the metal thin film type magnetic recording medium obtained by such an apparatus, a lubricant is applied to the surface from the viewpoint of running property. Then, up to now, the take-up side roll 22b is taken out from the vacuum container 26, and the same means as the coating means used for coating the magnetic coating material of the coating type magnetic recording medium, for example, die coating or The lubricant is applied by means of gravure coating.

【０００５】[0005]

【発明の開示】しかしながら、上記のような潤滑剤塗布
手段は、磁性層の形成が真空槽内で行われる一方、潤滑
剤の塗布は大気中で行われているものであるから、製造
工程が複雑で、煩瑣なものとなり、コストが高く付いて
いることが次第に判って来た。このような問題点につい
ての検討が鋭意押し進められて行った結果、潤滑剤の塗
布も真空槽内で行われるようにすれば、磁性層の形成に
引き続いて潤滑剤の塗布を連続して実施できるようにな
り、製造工程をそれだけ簡略化でき、コストの低廉化が
図れるであろうとの啓示を得るに至った。DISCLOSURE OF THE INVENTION However, in the above-described lubricant applying means, the magnetic layer is formed in the vacuum chamber, while the lubricant is applied in the atmosphere. Increasingly it has become apparent that it is complex, cumbersome and expensive. As a result of earnestly studying such problems, if the lubricant is also applied in the vacuum chamber, the lubricant can be continuously applied subsequent to the formation of the magnetic layer. As a result, we have reached the revelation that the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.

【０００６】このような観点から本発明が達成されたも
のであり、本発明の目的は、製造工程が簡略化でき、コ
ストの低廉化が図れる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ることである。この本発明の目的は、支持体上に金属薄
膜型の磁性層を設け、この磁性層上に潤滑層を設けた磁
気記録媒体を製造する装置であって、真空槽内で走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に潤滑剤の蒸気を真空槽内で吹き付ける吹付手
段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置によって達成される。The present invention has been achieved from such a viewpoint, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium manufacturing apparatus capable of simplifying the manufacturing process and reducing the cost. An object of the present invention is an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium in which a metal thin film type magnetic layer is provided on a support and a lubricating layer is provided on the magnetic layer, and the magnetic recording medium is provided on a support running in a vacuum chamber. A metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer on the metal thin film forming means; and a spraying means for spraying a lubricant vapor on the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means in a vacuum chamber. And a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【０００７】特に、真空槽と、この真空槽内を支持体が
走行するように設けられた支持体走行手段と、この支持
体走行手段により走行する支持体上に金属薄膜型の磁性
層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成手段
で形成された金属薄膜型の磁性層に潤滑剤の蒸気を吹き
付けるターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプに接
続された潤滑剤供給源と、この潤滑剤供給源の潤滑剤を
加熱する加熱手段とを具備する磁気記録媒体の製造装置
によって達成される。In particular, a vacuum tank, a support running means provided so that the support runs in the vacuum tank, and a metal thin film type magnetic layer provided on the support run by the support running means. Metal thin film forming means, turbo molecular pump for spraying lubricant vapor to the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means, lubricant supply source connected to the turbo molecular pump, and this lubricant And a heating means for heating the lubricant of the supply source.

【０００８】尚、上記の製造装置において、金属薄膜形
成手段で金属薄膜型の磁性層が形成された時ないしは直
後の時点において金属薄膜型の磁性層面に対して略垂直
に酸化性のガスをあてるノズルを具備してなるものが好
ましい。特に、金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルと、酸化性のガスを加熱する加熱手段とを具備してな
るものが好ましい。In the above manufacturing apparatus, an oxidizing gas is applied substantially perpendicular to the surface of the metal thin film type magnetic layer when the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means or immediately thereafter. The thing provided with a nozzle is preferable. In particular, when the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means or immediately after that, the nozzle for applying the oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer and the heating of the oxidizing gas are performed. It is preferable that the heating means is provided.

【０００９】又、ターボ分子ポンプと潤滑剤供給源との
間は遮蔽板で仕切られていることが好ましい。尚、ター
ボ分子ポンプは、気体の分子に力学的に力を加えてそれ
を特定の方向に弾き飛ばして排気する装置である。その
原理を簡単に説明する。気体分子が静止しているとし
て、そこに壁が動いて来て衝突したとすると、図２
（ａ）に示す如く、気体分子は矢印の方向に運動を始め
る。そこで、図２（ｂ）に示す如く、切れ込みの多数入
った回転円板（回転翼）が高速で回転しているとする
と、拡散で切れ込み内に入った気体分子は平均して矢印
方向の運動をするようになり、図２（ｂ）中、左から右
に排気されるようになる。排気の性能を上げる為、回転
翼と固定翼を交互に組み合わせ、直列に並べたものが用
いられる。Further, it is preferable that the turbo molecular pump and the lubricant supply source are separated by a shielding plate. The turbo-molecular pump is a device that mechanically applies a force to a gas molecule to repel it in a specific direction and exhaust it. The principle will be briefly described. Assuming that the gas molecules are stationary and the wall moves there and collides,
As shown in (a), the gas molecule starts to move in the direction of the arrow. Then, as shown in FIG. 2B, if a rotating disk (rotary blade) with a large number of cuts rotates at high speed, the gas molecules that enter the cuts due to diffusion move on average in the direction of the arrow. As shown in FIG. 2B, the exhaust gas is discharged from left to right. In order to improve the exhaust performance, rotor blades and fixed blades are alternately combined and arranged in series.

【００１０】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。A concrete example will be described below.

【００１１】[0011]

【実施例】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造装
置の概略図である。同図中、１ａは磁性層（磁性薄膜）
形成用の第１の真空槽、１ｂは潤滑剤の塗布（吹き付
け）が行われる第２の真空槽であり、これら第１の真空
槽１ａと第２の真空槽１ｂとは連絡通路１ｃを介してつ
ながっている。1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention. In the figure, 1a is a magnetic layer (magnetic thin film)
A first vacuum tank 1b for forming is a second vacuum tank in which a lubricant is applied (sprayed), and these first vacuum tank 1a and second vacuum tank 1b are connected via a communication passage 1c. Connected.

【００１２】２は第１の真空槽１ａ内に配設された冷却
キャンロール、３は防着板、４はルツボ、５は磁性金
属、６は酸素ガス吐出用のノズルであり、このノズル６
のノズル口６ａは冷却キャンロール２の中心に向かって
配設されている。尚、ルツボ４に充填される磁性金属５
としては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃ
ｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合
金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を
含有させたもの等が挙げられる。Reference numeral 2 is a cooling can roll arranged in the first vacuum chamber 1a, 3 is an adhesion preventive plate, 4 is a crucible, 5 is a magnetic metal, and 6 is a nozzle for discharging oxygen gas.
The nozzle opening 6a of the above is arranged toward the center of the cooling can roll 2. The magnetic metal 5 filled in the crucible 4
For example, in addition to metals such as Fe, Co, and Ni, C
o-Ni alloy, Co-Pt alloy, Co-Ni-Pt alloy, Fe-Co alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Co-N
Examples thereof include i alloys, Fe-Co-B alloys, Co-Ni-Fe-B alloys, Co-Cr alloys, and alloys containing a metal such as Al.

【００１３】７ａは第１の真空槽１ａ内に配設された供
給側ロール、７ｂは第２の真空槽１ｂ内に配設された巻
取側ロールであり、供給側ロール７ａに巻回されている
非磁性の支持体８が冷却キャンロール２に沿って巻か
れ、そしてガイドローラーに添接案内され、連絡通路１
ｃを通って第２の真空槽１ｂ側に案内され、第２の真空
槽１ｂ内に配設された加熱キャンロール９に沿って巻か
れ、巻取側ロール７ｂに巻き取られて行くようになって
いる。Reference numeral 7a denotes a supply side roll arranged in the first vacuum chamber 1a, and 7b denotes a winding side roll arranged in the second vacuum chamber 1b, which is wound around the supply side roll 7a. A non-magnetic support 8 is wound around the cooling can roll 2 and is guided by a guide roller.
It is guided to the second vacuum chamber 1b side through c, is wound along the heating can roll 9 arranged in the second vacuum chamber 1b, and is wound up by the winding side roll 7b. Has become.

【００１４】尚、支持体８は、例えばＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アル
ミニウム合金などの金属材料が用いられる。そして、支
持体８面上には、必要に応じて磁性層（磁性薄膜）の密
着性を向上させる為のアンダーコート層が設けられてい
る。すなわち、表面の粗さを適度に粗すことにより、例
えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜の密着性を向
上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なも
のとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ₂ 等の粒子
を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの塗膜を設
けることによってアンダーコート層が構成されている。The support 8 is made of a polymer material such as polyester such as PET, polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate, olefin resin such as polypropylene, cellulose resin, vinyl chloride resin, glass or the like. Inorganic materials such as ceramics and metal materials such as aluminum alloys are used. An undercoat layer for improving the adhesion of the magnetic layer (magnetic thin film) is provided on the surface of the support 8 as needed. That is, by appropriately roughening the surface roughness, for example, the adhesion of the magnetic thin film formed by the oblique vapor deposition method is improved, and the surface roughness of the magnetic recording medium surface is moderated to improve the running property. Therefore, the undercoat layer is formed by providing a coating film containing particles such as SiO ₂ and having a thickness of 0.005 to 0.1 μm.

【００１５】１０は加熱キャンロール９に対向して配設
されたターボ分子ポンプ、１１はターボ分子ポンプ１０
端に接続された筒、１２は筒１１内に配置されたルツ
ボ、１３はルツボ１２内に充填された潤滑剤、１４はル
ツボ１２内に充填された潤滑剤１３を加熱するヒーター
である。尚、潤滑剤としては、例えば分子量２０００〜
５０００のパーフルオロポリエーテル、例えば-(C(R)F-
CF₂-O)_p - （但し、ＲはＦ，ＣＦ₃ ，ＣＨ₃ などの
基）、特にHOOC-CF₂(O-C₂F₄)_p (OCF₂) _q -OCF₂-COOH ，
F-(CF₂CF₂CF₂O)_n -CF₂CF₂COOH といったようなカルボキ
シル基変性パーフロオロポリエーテル、HOCH₂-CF₂(O-C₂
F₄) _p (OCF₂) _q -OCF₂-CH₂OH，HO-(C₂H₄-O) _m -CH₂-(O-
C₂F₄) _p (OCF₂) _q -OCH₂-(OCH₂CH₂)_n -OH ，F-(CF₂CF₂C
F₂O)_n -CF₂CF₂CH₂OHといったようなアルコール変性パー
フロオロポリエーテル等が挙げられる。具体的には、モ
ンテカチーニ社のＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯ
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ等がある。Reference numeral 10 denotes a turbo molecular pump arranged so as to face the heating can roll 9, and 11 denotes a turbo molecular pump 10.
A cylinder connected to the end, 12 is a crucible arranged in the cylinder 11, 13 is a lubricant filled in the crucible 12, and 14 is a heater for heating the lubricant 13 filled in the crucible 12. As the lubricant, for example, a molecular weight of 2000 to
5000 perfluoropolyethers, such as-(C (R) F-
CF ₂ -O) _p- (where R is a group such as F, CF ₃ , CH ₃ etc.), especially HOOC-CF ₂ (OC ₂ F ₄ ) _p (OCF ₂ ) _q -OCF ₂ -COOH,
Carboxyl group-modified perfluoropolyether such as F- (CF ₂ CF ₂ CF ₂ O) _n -CF ₂ CF ₂ COOH, HOCH ₂ -CF ₂ (OC ₂
F ₄ ) _p (OCF ₂ ) _q -OCF ₂ -CH ₂ OH, HO- (C ₂ H ₄ -O) _m -CH _2- (O-
C ₂ F ₄ ) _p (OCF ₂ ) _q -OCH _2- (OCH ₂ CH ₂ ) _n -OH, F- (CF ₂ CF ₂ C
Examples include alcohol-modified perfluoropolyethers such as F ₂ O) _n -CF ₂ CF ₂ CH ₂ OH. Specifically, Montecatini's FOMBLIN Z DIAC and FO
There is MBLIN Z DOL.

【００１６】上記のように構成させた装置において、第
１の真空槽１ａ内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ程度、例え
ば２×１０^-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、抵抗加
熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ４内
の磁性金属５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等の支持体８
に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属５を蒸着させて
磁性薄膜を形成する。In the apparatus constructed as described above, the first vacuum chamber 1a is evacuated to a vacuum degree of about 10 ^-4 to 10 ^-6 Torr, for example, 2 × 10 ^-5 Torr, and then resistance heating and high frequency are performed. The magnetic metal 5 in the crucible 4 is evaporated by heating, electron beam heating, etc., and a support 8 such as a PET film is formed.
On the other hand, a magnetic metal 5 having a thickness of 0.04 to 2 μm is deposited to form a magnetic thin film.

【００１７】この磁性薄膜の形成に際しては、ノズル６
のノズル口６ａから５０℃程度に加熱された酸素ガスが
磁性金属５の蒸着部分（磁性薄膜）に約１５０ｃｃ／ｍ
ｉｎ程度の割合で吹き付けられ、磁性薄膜の表層部分が
強制酸化させられる。尚、図１からも判る通り、磁性金
属が堆積して磁性薄膜が形成された瞬間から直後の間で
ある位置において酸素ガスが吹き付けられるよう、か
つ、その吹付角度（衝突角度）が９０°であるようノズ
ル６のノズル口６ａはセッティングされている。When forming this magnetic thin film, the nozzle 6 is used.
The oxygen gas heated to about 50 ° C. from the nozzle port 6a of No. 6 is about 150 cc / m in the deposition portion (magnetic thin film) of the magnetic metal 5.
The surface layer of the magnetic thin film is forcibly oxidized by being sprayed at a rate of about in. As can be seen from FIG. 1, the oxygen gas is blown at a position between the moment when the magnetic metal is deposited and the magnetic thin film is formed and the moment immediately after that, and the spray angle (collision angle) is 90 °. As shown, the nozzle opening 6a of the nozzle 6 is set.

【００１８】このようにして磁性薄膜が形成され、そし
て酸化処理が施され、この後所定の経路を通って第２の
真空槽１ｂ側に案内されて行く。１〜１０^-4Ｔｏｒｒ程
度、例えば５×１０^-2Ｔｏｒｒの真空度に排気されてい
る第２の真空槽１ｂ側に導かれて来た支持体８は加熱キ
ャンロール９に添接される。そして、この加熱キャンロ
ール９に対向してターボ分子ポンプ１０が設けられてお
り、このターボ分子ポンプ１０にはヒーター１４で２０
０℃程度に加熱されたルツボ１２内の潤滑剤が蒸気とし
て集められているから、潤滑剤の蒸気が支持体８の磁性
薄膜表面（酸化膜の表面）に乾燥後の厚さが２０Å程度
となるよう吹き付けられる。In this way, the magnetic thin film is formed and subjected to the oxidation treatment, and thereafter, it is guided to the second vacuum chamber 1b side through a predetermined path. The support 8 introduced to the side of the second vacuum chamber 1b, which is evacuated to a vacuum degree of about 1 to 10 ⁻⁴ Torr, for example, 5 × 10 ⁻² Torr, is attached to the heating can roll 9. A turbo molecular pump 10 is provided so as to face the heating can roll 9, and the turbo molecular pump 10 is provided with a heater 14 for heating the turbo molecular pump 10.
Since the lubricant in the crucible 12 heated to about 0 ° C. is collected as vapor, the thickness of the lubricant vapor after drying is about 20Å on the surface of the magnetic thin film (oxide film surface) of the support 8. To be sprayed.

【００１９】尚、潤滑剤は、２０℃で蒸気圧が１０^-4〜
１０^-5ｔｏｒｒ程度であって蒸発させにくく、かつ、２
５０℃程度の温度で分解してしまうといった性質を有し
ているものの、減圧下での加熱とターボ分子ポンプとを
用いることによって、潤滑剤の蒸気が磁性薄膜表面に効
率良く吹き付けられる。又、この吹付作業は、第２の真
空槽１ｂ内で行われているから、潤滑剤吹付作業時に磁
性金属が堆積することなく、かつ、潤滑剤溶液を塗布す
る場合と異なり、蒸発する溶媒によって真空槽内の真空
度といった条件が変動を受け難く、磁性薄膜の形成と潤
滑剤の形成が良好に行われる。The lubricant has a vapor pressure of 10 ⁻⁴ at 20 ° C.
It is about 10 ^-5 torr and is difficult to evaporate, and 2
Although it has a property of decomposing at a temperature of about 50 ° C., the vapor of the lubricant can be efficiently sprayed onto the surface of the magnetic thin film by using the heating under reduced pressure and the turbo molecular pump. Further, since this spraying work is performed in the second vacuum chamber 1b, the magnetic metal does not deposit during the lubricant spraying work, and unlike the case where the lubricant solution is applied, the spraying work depends on the solvent evaporating. Conditions such as the degree of vacuum in the vacuum chamber are less susceptible to fluctuations, and the magnetic thin film and the lubricant can be formed well.

【００２０】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。After that, a slit is formed into a predetermined width to form a magnetic tape or the like.

【００２１】[0021]

【効果】本発明によれば、磁性薄膜の形成と潤滑剤の形
成とが作業性良く行われ、低廉なコストで磁気記録媒体
を作製できる。According to the present invention, the magnetic thin film and the lubricant are formed with good workability, and the magnetic recording medium can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図FIG. 1 is a schematic explanatory view of a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to the present invention.

【図２】ターボ分子ポンプの原理説明図FIG. 2 is an explanatory diagram of the principle of a turbo molecular pump.

【図３】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図FIG. 3 is a schematic explanatory diagram of a conventional magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ａ 第１の真空槽 １ｂ 第２の真空槽 １ｃ 連絡通路 ２ 冷却キャンロール ４ ルツボ ５ 磁性金属 ６ ノズル ６ａ ノズル口 ７ａ 供給側ロール ７ｂ 巻取側ロール ８ 支持体 ９ 加熱キャンロール １０ ターボ分子ポンプ １１ 筒 １２ ルツボ １３ 潤滑剤 １４ ヒーター 1a 1st vacuum tank 1b 2nd vacuum tank 1c Communication path 2 Cooling can roll 4 Crucible 5 Magnetic metal 6 Nozzle 6a Nozzle mouth 7a Supply side roll 7b Winding side roll 8 Support 9 Heating can roll 10 Turbo molecular pump 11 Tube 12 Crucible 13 Lubricant 14 Heater

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akira Shiga 2606 Akabane, Kai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 支持体上に金属薄膜型の磁性層を設け、
この磁性層上に潤滑層を設けた磁気記録媒体を製造する
装置であって、真空槽内で走行する支持体上に金属薄膜
型の磁性層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜
形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層に潤滑剤の蒸
気を真空槽内で吹き付ける吹付手段とを具備することを
特徴とする磁気記録媒体の製造装置。1. A metal thin film type magnetic layer is provided on a support,
An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium having a lubricating layer provided on the magnetic layer, comprising a metal thin film forming means for providing a metal thin film type magnetic layer on a support running in a vacuum chamber, and the metal thin film forming means. An apparatus for producing a magnetic recording medium, comprising: a spraying means for spraying a vapor of a lubricant in a vacuum chamber on the metal thin-film type magnetic layer formed in the above. 【請求項２】 真空槽と、この真空槽内を支持体が走行
するように設けられた支持体走行手段と、この支持体走
行手段により走行する支持体上に金属薄膜型の磁性層を
設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成手段で形
成された金属薄膜型の磁性層に潤滑剤の蒸気を吹き付け
るターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプに接続さ
れた潤滑剤供給源と、この潤滑剤供給源の潤滑剤を加熱
する加熱手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒
体の製造装置。2. A vacuum tank, a support running means provided so that the support runs in the vacuum tank, and a metal thin film type magnetic layer provided on the support run by the support running means. Metal thin film forming means, turbo molecular pump for spraying lubricant vapor to the metal thin film type magnetic layer formed by the metal thin film forming means, lubricant supply source connected to the turbo molecular pump, and this lubricant An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, comprising: a heating unit that heats a lubricant as a supply source. 【請求項３】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルを具備してなることを特徴とする請求項１または請求
項２の磁気記録媒体の製造装置。3. A nozzle for applying an oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer when or immediately after the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, characterized in that. 【請求項４】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルと、酸化性のガスを加熱する加熱手段とを具備してな
ることを特徴とする請求項１または請求項２の磁気記録
媒体の製造装置。4. A nozzle for applying an oxidizing gas substantially perpendicularly to the surface of the metal thin film type magnetic layer when the metal thin film type magnetic layer is formed by the metal thin film forming means or immediately thereafter, and a nozzle for oxidizing the metal thin film type magnetic layer. 3. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, further comprising: heating means for heating the gas. 【請求項５】 ターボ分子ポンプと潤滑剤供給源との間
は遮蔽板で仕切られていることを特徴とする請求項２の
磁気記録媒体の製造装置。5. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 2, wherein the turbo molecular pump and the lubricant supply source are partitioned by a shield plate.