JPH0767692B2 - スライシングマシンの切断方法 - Google Patents
スライシングマシンの切断方法Info
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- JPH0767692B2 JPH0767692B2 JP1232426A JP23242689A JPH0767692B2 JP H0767692 B2 JPH0767692 B2 JP H0767692B2 JP 1232426 A JP1232426 A JP 1232426A JP 23242689 A JP23242689 A JP 23242689A JP H0767692 B2 JPH0767692 B2 JP H0767692B2
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- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
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Description
本発明はスライシングマシンの切断方法に係り、特にス
ライシングマシンを使用して柱状体材料を切り出す際の
スライシングマシンの切断方法に関する。
ライシングマシンを使用して柱状体材料を切り出す際の
スライシングマシンの切断方法に関する。
スライシングマシンによって柱状体材料（シリコンイン
ゴット等）を切断し半導体ウエハを製造する場合、イン
ゴットを基準位置からウエハの厚さの量だけ軸方向下方
へ下げた後、回転しているブレード（切断刃）に対して
インゴットを切断方向に移動して薄片状の半導体ウエハ
に切り出している。或いは、ウエハの切断とウエハ端面
の研削を同時に行うスライシングマシンの切断方法に於
いてはウエハの所望厚さに研削しろの分を加えた量だけ
インゴットを下方へ下げ、インゴットを水平に移動しな
がら切断とウエハ端面の研削同時に行う。この場合の研
削しろはウエハの厚み等から経験的に割り出されたもの
で、作業者の熟練度や勘により決定される。
ゴット等）を切断し半導体ウエハを製造する場合、イン
ゴットを基準位置からウエハの厚さの量だけ軸方向下方
へ下げた後、回転しているブレード（切断刃）に対して
インゴットを切断方向に移動して薄片状の半導体ウエハ
に切り出している。或いは、ウエハの切断とウエハ端面
の研削を同時に行うスライシングマシンの切断方法に於
いてはウエハの所望厚さに研削しろの分を加えた量だけ
インゴットを下方へ下げ、インゴットを水平に移動しな
がら切断とウエハ端面の研削同時に行う。この場合の研
削しろはウエハの厚み等から経験的に割り出されたもの
で、作業者の熟練度や勘により決定される。
しかしながら、切断中のブレード（切断刃）の変位は切
断を経るに従って不安定となるため、所望のウエハを安
定して製造することができないという欠点がある。ま
た、周囲温度、クーラント、機械が発生する熱（ベアリ
ングの摩擦、モータの発熱等）の影響で発生する熱応力
のため、ブレードと研削砥石との相対的位置関係が変化
し、精度の高いウエハが得られないという問題がある。
更に、ブレード及び研削砥石は切断、研削を経るに従っ
て摩耗するため、研削量等が変化し、ウエハ厚さを変動
させる原因となっている。また、ウエハ端面の研削量は
かなりの余裕をとって設定されるため、柱状体材料が無
駄に研削されることがありコストの面からも好ましくな
い。 本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、精度
の高いウエハを製造することができ、柱状体材料を無駄
なく切断することが可能なスライシングマシンの切断方
法を提供することを目的とする。
断を経るに従って不安定となるため、所望のウエハを安
定して製造することができないという欠点がある。ま
た、周囲温度、クーラント、機械が発生する熱（ベアリ
ングの摩擦、モータの発熱等）の影響で発生する熱応力
のため、ブレードと研削砥石との相対的位置関係が変化
し、精度の高いウエハが得られないという問題がある。
更に、ブレード及び研削砥石は切断、研削を経るに従っ
て摩耗するため、研削量等が変化し、ウエハ厚さを変動
させる原因となっている。また、ウエハ端面の研削量は
かなりの余裕をとって設定されるため、柱状体材料が無
駄に研削されることがありコストの面からも好ましくな
い。 本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、精度
の高いウエハを製造することができ、柱状体材料を無駄
なく切断することが可能なスライシングマシンの切断方
法を提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するために、柱状体材料を所
定の割り出し量だけ移動させた後、回転している切断刃
に対して柱状体材料を切断方向に移動して所定の厚さの
ウエハに切断すると共に、柱状体材料端面の研削を行う
スライシングマシンの切断方法に於いて、切断後のウエ
ハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハが所定
の厚さとなる研削砥石の研削位置Cminと、研削量が最小
となる柱状体材料の割り出し量Ｉとを下記の算式により
算出し、 Gmin＝G0−TT−KB＋GSN Ｉ＝（G0−Gmin＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmin:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 G0:研削基準位置 TT:ウエハの目標厚さ KB:切断刃のカーフ・ロス GSN:上面凹部研削変位量（最小厚さ−切り始め厚さTM） GSP:上面凸部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） GGP:下面凹部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） KG:研削砥石のカーフ・ロス θ１、θ2:柱状体材料の傾斜角 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gminに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とし
ている。 また、本発明は、切断後のウエハ厚さの実測データに基
づいて、切断後のウエハが所定の厚さとなる研削砥石の
研削位置Gmaxと、研削量が最小となる柱状体材料の割り
出し量Ｉとを下記の算式により算出し、 Gmax＝G0−TT−KB＋GSN Ｉ＝（G0−Gmax＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmax:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gmaxに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とし
ている。
定の割り出し量だけ移動させた後、回転している切断刃
に対して柱状体材料を切断方向に移動して所定の厚さの
ウエハに切断すると共に、柱状体材料端面の研削を行う
スライシングマシンの切断方法に於いて、切断後のウエ
ハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハが所定
の厚さとなる研削砥石の研削位置Cminと、研削量が最小
となる柱状体材料の割り出し量Ｉとを下記の算式により
算出し、 Gmin＝G0−TT−KB＋GSN Ｉ＝（G0−Gmin＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmin:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 G0:研削基準位置 TT:ウエハの目標厚さ KB:切断刃のカーフ・ロス GSN:上面凹部研削変位量（最小厚さ−切り始め厚さTM） GSP:上面凸部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） GGP:下面凹部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） KG:研削砥石のカーフ・ロス θ１、θ2:柱状体材料の傾斜角 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gminに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とし
ている。 また、本発明は、切断後のウエハ厚さの実測データに基
づいて、切断後のウエハが所定の厚さとなる研削砥石の
研削位置Gmaxと、研削量が最小となる柱状体材料の割り
出し量Ｉとを下記の算式により算出し、 Gmax＝G0−TT−KB＋GSN Ｉ＝（G0−Gmax＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmax:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gmaxに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とし
ている。
本発明によれば、柱状体材料を切断する際、切断後のウ
エハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハが所
定の厚さとなる研削砥石の研削位置、割り出し量を算出
する。即ち、切断後のウエハ厚さの実測データから切断
刃の正確なカーフ・ロスを求め、このカーフ・ロスに基
づいて割り出し量、研削位置を算出するようにしてい
る。このため、ウエハ厚さの実測を定期的に行うことに
より、切断刃の状態に応じた適切な割り出し量、研削位
置でウエハの製造を行うことができる。 また、切断中に検出される切断刃の軸方向の変位データ
から割り出し量、研削位置をその都度補正するようにし
ているので、切断中に切断刃の変位が変動した場合でも
切断作業を中止することなく迅速に研削位置及び割り出
し量を自動補正することができる。 更に、柱状体材料の端面形状の実測データから切断刃の
目詰まりや、切断刃のドレッシングによって生じる柱状
体材料の端面形状の変化を把握して割り出し量と研削位
置の補正を行うため、柱状体材料の端面形状が変化した
場合でも精度の良いウエハを生産できる。
エハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハが所
定の厚さとなる研削砥石の研削位置、割り出し量を算出
する。即ち、切断後のウエハ厚さの実測データから切断
刃の正確なカーフ・ロスを求め、このカーフ・ロスに基
づいて割り出し量、研削位置を算出するようにしてい
る。このため、ウエハ厚さの実測を定期的に行うことに
より、切断刃の状態に応じた適切な割り出し量、研削位
置でウエハの製造を行うことができる。 また、切断中に検出される切断刃の軸方向の変位データ
から割り出し量、研削位置をその都度補正するようにし
ているので、切断中に切断刃の変位が変動した場合でも
切断作業を中止することなく迅速に研削位置及び割り出
し量を自動補正することができる。 更に、柱状体材料の端面形状の実測データから切断刃の
目詰まりや、切断刃のドレッシングによって生じる柱状
体材料の端面形状の変化を把握して割り出し量と研削位
置の補正を行うため、柱状体材料の端面形状が変化した
場合でも精度の良いウエハを生産できる。
以下、添付図面に従って本発明に係るスライシングマシ
ンの切断方法の好ましい実施例を詳説する。 第１図は本発明に係るスライシングマシンの切断方法に
使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視図で
ある。第１図のスライシングマシンは本体10、送りテー
ブル12、支柱14、インゴット（柱状体材料）保持部16等
を主な構成としている。本体10には送りテーブル12が矢
印Ａ又はＢ方向に摺動自在に設けられている。また、テ
ーブル12には支柱14が立設され、支柱14の側方にはイン
ゴット保持部16が設られ、シリコンインゴット18を上下
動自在に支持している。本体10中央部には内周刃（切断
刃）20が配設され、更に、本体10のテーブル12に対向す
る位置には切断後のウエハを収納部22に搬送する搬送装
置24が設置されている。また、内周刃20のドレッシング
を行うドレッシング装置25が内周刃20の下方に設置さ
れ、必要に応じて内周刃20のドレッシングを行う。 第２図は第１図のスライシングマシンの制御系を示した
説明図である。第２図に示すように、インゴット保持部
16には割り出し制御装置26が設置され、スライシングマ
シンに内蔵された主制御装置28によって算出される割り
出し量の分だけ、インゴット18を下方へ移動させる。ま
た、送りテーブル12（第２図には図示せず）には切断時
にインゴット18の水平方向の送り位置の制御を行う切断
送り制御装置29が配設されている。主制御装置28は内周
刃20のカーフ・ロス等に応じた切断時のインゴット18の
軸方向の割り出し量の算出、研削位置の算出並びに切断
時のインゴット18の切断送りの制御位置を算出し、切断
時のスライシングマシンを制御する。 また、内周刃20を回転させるスピンドル30には内周刃20
と共に回転するカップ型の研削砥石32が配設され、研削
砥石32と内周刃20が同時に回転することにより、ウエハ
端面の研削と共にウエハの切断を行う。更にスピンドル
30の下端には主制御装置28と接続された研削砥石制御装
置34が設置され、研削砥石制御装置34は主制御装置28の
指令によって研削砥石32を上下動させ、ウエハ端面の研
削量を制御する。 第３図は変位センサ36A、36Bと内周刃20との位置関係を
示した略平面図である。第２図及び第３図に示すよう
に、内周刃20の近傍には内周刃20の軸方向変位を検出す
る非接触式の変位センサ36A、36Bが取り付けられ、内周
刃20の変位量を非接触式変位計37を介して主制御装置28
に出力している。 次に本発明に係るスライシングマシンの切断方法の第１
実施例について説明する。第１実施例は、切断後のウエ
ハの実測データから柱状体材料の割り出し量、研削砥石
位置を制御する方法である。まず、端面研削を行わない
で柱状体材料を切断する場合を説明する。ここで、内周
刃20のカーフ・ロスKBが求められている場合、内周刃20
のカーフ・ロスKB、ウエハの目標厚さTTを主制御装置28
に入力するとインゴット18の上下方向の割り出し量Ｉが
次式によって設定される。 Ｉ＝（目標厚さTT＋カーフ・ロスKB） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） …… 但し、θ１、θ２はインゴット18のチルチング角度（傾
き）であり、インゴット18の切断方向と切断直角方向と
のなす角度に相当する。一方、内周刃20のカーフ・ロス
KBが不明な場合は、カーフ・ロスKBとして仮値（内周刃
の刃厚＋20〜30μｍ）を入力し、次の方法で内周刃20の
カーフ・ロスKBを算出する。 主制御装置28は式で算出された割り出し量Ｉだけイン
ゴット18を軸方向へ移動させる信号を割り出し制御装置
26へ出力すると共に、インゴット18を水平に移動させる
駆動信号を切断送り制御装置29に出力し、１枚の試験用
ウエハを切断する。そして、試験用ウエハの切り始め厚
さTMを測定し、この実測値TMを主制御装置28に入力する
ことにより、次の式に従って内周刃20のカーフ・ロス
KBを算出すると共に、この算出されたカーフ・ロスKBを
式に代入して、補正された割り出し量Ｉを求め、この
割り出し量Ｉに基づいてウエハを連続して切断する。 カーフ・ロスKB＝Ｉ×COSθ１×COSθ２ −ウエハの厚さTM（実測値） …… 切断中、ウエハの実測作業を定期的に繰り返し、カーフ
・ロスKBの値を式によって補正することにより内周刃
20の摩耗や切れ味の悪化によって生じるカーフ・ロスKB
の変動を正確に算出することができる。 次に、切断とともに端面研削を行い、柱状体材料の割り
出し量および研削砥石位置を算出する場合について説明
する。 第４図はインゴット18、内周刃20、研削砥石32並びに切
断後のウエハ35との関係を示す説明である。先ず、前記
の端面研削を行わない場合と同様に、内周刃20のカーフ
・ロスKB、ウエハの目標厚さTT、研削砥石32の最小カー
フ・ロスKG、研削基準位置G0を主制御装置28に入力す
る。カーフ・ロスKBは前述の研削を行わない切断で正確
に求めておくものとする。 また、第４図の研削基準位置G0が不明な場合、研削基準
位置G0は以下のように設定される。第５図は研削基準位
置G0を求める場合の手順を示す説明図である。先ず、ス
ライシングマンのスピンドル30を停止させ、電気マイク
ロメータ40を送りテーブル12に取り付ける。そして、送
りテーブル12を移動させて研削砥石32の上面と内周刃20
の最上部とを交互に測定しながら、その高さの差が０と
なるよう研削砥石32を上下動させ、差が０になった位置
を研削基準位置G0に設定する。 尚、第４図に示される上面凸部、上面凹部研削変位量GS
P、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNは、
スライス面18A及び研削面18Bの凹凸を示すパラメータで
以下のような符号を有する。 GSP,GGP≧０、GSN,GGN≦０ 主制御装置28は入力されたデータから、研削位置Cmin及
びGmax、は以下の計算式から算出される。尚、Gminは研
削によってウエハの厚さが最小となる位置、Gmaxは最大
となる位置で、後工程に応じて適宜選択される。 Gmin＝G0−TT−KB＋GSN …… Gmax＝G0−TT−KB＋GSP …… 尚、ここでは研削を行う切断を始めて行うことになるの
で上面凹部研削変位量GSN及び上面凸部研削変位量GSPが
不明であり、上面凹部研削変位量GSN及び上面凸部研削
変位量GSPの値を仮に０とする。従って、研削位置ＧはG
min＝Gmaxとなり、この値Ｇを次式に当てはめることに
より、インゴット18の割り出し量Ｉが算出される。 Ｉ＝（G0−Ｇ＋GGP＋KG）×（1/COSθ１）×（1/COSθ
２） …… 更に、主制御装置28は前記式によって算出された研削
位置Ｇから研削砥石32を研削位置まで上動させると共
に、前記式によって得られた割り出し量Ｉに基づく駆
動信号を割り出し制御装置26へ出力し、インゴット18を
割り出し位置に駆動する。次いで、インゴット18を切断
送り駆動装置28によって切断方向に移動し、１枚の試験
用ウエハを切断する。そして、研削・切断を一時中止
し、試験用ウエハを切断方向及び切断直角方向を含め、
全体的に、第４図に示す切り始め厚さTM、最大厚さ
Tmax、最小厚さTminをそれぞれ測定する。測定された切
り始め厚さTM、最大厚さTmax、最小厚さTminから、上面
凸部、上面凹部研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面
凸部研削変位量GGP、GGNを算出する。 尚、第４図上でスライス面18A、18Bは内周刃20で切断さ
れた切断面である。ここで、スライス面18Aの凹凸はウ
エハ35の破線位置（図４参照）を研削砥石32で研削した
後、研削された破線位置を基準にして測定することがで
きる。しかしながら、スライス面18Bは研削砥石32で研
削されるのでスライス面18Bの凹凸を測定することがで
きない。そこで、スライス面18A、18Bを切断する時に内
周刃20の変形が同一であると仮定して、スライス面18B
の凹凸とスライス面18Aの凹凸とを同一とする。従っ
て、GSP＝GGP、GSN＝GGNとし、上面凸部、上面凹部研削
変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GG
P、GGNが次式に従って算出される。 上記凸部研削変位量:GSP＝最大厚さ−切り始め厚さTM 上面凹部研削変位量:GSN＝最小厚さ−切り始め厚さTM 下面凹部研削変位量:GGP＝最大厚さ−切り始め厚さTM 下面凸部研削変位量:GGN＝最小厚さ−切り始め厚さTM また、研削基準位置G0は次式によって自動計算され、前
記第５図で設定されたG0と置き換えられる。 G0＝Ｇ＋TM＋KB …… そして、式によって設定された研削基準位置を前記
式、式に当てはめることより、補正された研削基準位
置Gmin及びGmax及び割り出し量Ｉが算出され、切断刃の
状態に対して適切な割り出し量及び研削位置でウエハを
製造することができる。 次に、本発明に係る第２実施例について説明する。第２
実施例は切断後のウエハの実測データ及び内周刃20の軸
方向変位量の測定データからスライシングマシンの制御
を行う方法である。先ず、第１実施例の端面研削を行う
場合と同様な手順で、試験用ウエハを１枚切断し、切断
方向及び切断直角方向を含めた全体的に、切り始め厚さ
TM、最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、前記式に
よって研削基準位置G0を算出する。 次に、研削位置Ｇの自動補正の手順は以下の通りであ
る。第６図は内周刃20と変位センサ36A、36Bとの相対関
係を示す説明図、第７図（Ａ）〜（Ｆ）は変位センサ36
A、36Bによって検出される内周刃20の代表的な変位パタ
ーンを示した説明図である。試験用ウエハ切断時の内周
刃20の軸方向変位量は変位センサ36A、36Bによって、逐
次測定され、測定データは主制御装置28に記憶され、検
出される変位パターンのほとんどは第７図（Ａ）〜
（Ｆ）に示される６通りに分類される。内周刃20の変位
量のうち、＋側の最大変位をBP0、−側の最大変位をBN0
とする。軸方向変位量は変位センサが36A、36Bの２個の
ときは、ＬとＭの平均値、変位センサが36Aのみのとき
は、Ｌの値とする。また、試験用ウエハ以外のウエハを
切断するときの軸方向変位量のうち、＋側の最大変位を
BP、−側の最大変位をBNとする。加えて、前記で測定し
た試験用ウエハの切り始め厚さTM、最大厚さ、最小厚さ
から、 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM とすると、以下の式から上面凸部、上面凹部研削変位量
GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNの
補正計算が行われる。 GSP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP≧０ GGN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN≦０ 更に、前記、、式から研削砥石の研削位置と、イ
ンゴット18の割り出し量が算出される。尚、前式のＡは
研削補正係数で、内周刃20の変位量の変化がパラメータ
GSP〜GGNへ、どの程度影響するかを統計処理によって経
験的に求めた係数である。また、IP、INはドレッシング
補正量で、ドレッシングの実施がパラメータGSP、GSNに
どの程度影響するかを経験的に求めた補正量である。 このように、第２実施例では、逐次入力される内周刃20
の変位データから、切断中にその都度割り出し量Ｉと研
削位置Ｇの補正を行うようにしているので、内周刃20の
変位量が切断中に目詰まりやドレッシングによって変化
した場合でも自動的に補正を繰り返し、精度の良いウエ
ハを製造することができる。 次に、本発明に係るスライシングマシンの切断方法の第
３実施例について説明する。先ず、前記第２実施例の場
合と同様な手順で、試験用ウエハを１枚切断し、試験用
ウエハを切断方向及び切断直角方向を含め全体的に、切
り始め厚さTM、最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、
研削基準位置G0を前記式で設定する。 第８図はインゴット18の端面形状を測定する測定器38を
示した斜視図である。測定器38は試験用ウエハ切断後の
インゴット18端面に、支持具39A、39B、39Cの３点が当
接され、中央部の測定子38Aによってインゴット18の凹
凸が測定器の向きにより切断方向と切断直角方向に分離
して測定される。このときの切断方向の測定値のうち、
GSP、GGPと同極性の測定値をXP0、又、GSN、GGNと同極
性の測定値をXN0とする。測定器38は中央１点でインゴ
ット18を測定するため、XP0、XN0のいずれか一方は０と
なる。 次に、所定数のウエハ切断後のインゴット18の端面形状
を測定し、その切断方向の測定値のうち、GSP、GGPと同
極性の測定値をXP、GSN、GGNと同極性の測定値をXNと
し、加えて、前記で測定した試験用ウエハの切り始め厚
さTM、最大厚さ最小厚さを主制御装置28に入力する。 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM そうすると、前式によってGP、GNが算出され、更に以下
の式から上面凸部、上面凹部研削変位量GSP、GSN及び下
面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNの補正計算が主制
御装置28によって行われる。 GSP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP≧０ GGN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN≦０ 更に、前記、、式に前式で求めた上面凸部、上面
凹部研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変
位量GGP、GGNと、式で求めた研削基準位置G0を代入す
ると研削砥石の研削位置と、インゴット18の割り出し量
が算出される。Ａ、IP及びINは第２実施例の場合と同様
に統計処理によって経験的に求めた補正係数並びに補正
量である。また、インゴット18端面の測定が再び行われ
るまでは、同じ研削位置及び割り出し量で研削・切断を
行う。インゴット18端面の測定間隔は、生産時間と精度
の要求を考慮して決定される。 このように、連続した切断工程で、定期的にインゴット
18の端面形状の測定を行い研削変位量の補正計算を実施
すれば、内周刃20の目詰まりやドレッシング等でインゴ
ット端面の形状が変化しても、自動的に補正を繰り返し
て精度の良いウエハを生産することができる。 次に、第４実施例について説明する。第４実施例は、切
断後のウエハの実測データ、内周刃20の軸方向変位量の
測定データ及び切断後のインゴット端面形状測定データ
に基づいて制御する切断方法である。先ず、前記第１実
施例、第２実施例、第３実施例の場合と同様に内周刃20
のカーフ・ロスKB、ウエハの目標厚さTT、研削砥石の最
小カーフ・ロスKG並びに研削基準位置G0を主制御装置28
に入力し、スライシングマシンを駆動して試験用ウエハ
を１枚切断する。切断中、変位センサ36A、36Bで検出さ
れた変位は、第２実施例と同様に主制御装置28によって
内周刃20のウエハ切断時の変位パターンとして記憶され
る。 更に、第３実施例の場合と同様に、第８図の測定器38に
よって、試験用ウエハ切断後のインゴット18の端面形状
を測定する。測定は切断方向と切断直角方向の２方向か
ら行い、その測定値をそれぞれＸ、Ｙとし、この値を主
制御装置28に入力する。また、第７図の変位センサ36
A、36Bによって検出された内周刃20の中央部の変位をそ
れぞれＬ、Ｍ、又、内周刃20の切り終わりの変位をＨと
し、これらの値を主制御装置28に入力すると、切断後の
インゴット18端面の切断方向の凹凸X1及び切断直角方向
の凹凸Y1は（第６図ではY1のみ図示）それぞれ次式によ
って算出される。 X1＝Ｘ＋1/2×Ｈ Y1＝Ｙ＋1/2×（Ｌ＋Ｍ） 但し、変位センサ36Aのみを使用する場合は、Y1＝Ｙ＋
Ｌとなる。 そして、主制御装置28はX1、Y1、Ｌ、Ｍ、Ｈの中で、＋
側の最大値及び−側の最大値となるものを内周刃20の＋
側の最大変位BBP0及び−側の最大変位BBN0として選択す
る。更に、切断された試験用ウエハの切り始め厚さTM、
最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、主制御装置28に
これらの数値を入力する。 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM 前式によって算出されたGP、GNから上面凸部、上面凹部
研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量
GGP、GGNの補正計算が主制御装置28によって行われる。 GSP＝BBP−BBP0＋GP−IP≧０ GSN＝BBN−BBN0＋GN−IN≦０ GGP＝BBP−BBP0＋GP≧０ GGN＝BBN−BBN0＋GN≦０ 次いで、補正された研削変位量及び研削基準位置G0を計
算式、、に当てはめることにより、補正された研
削位置Gmin、Gmax及び割り出し量Ｉがウエハ毎に演算さ
れ、連続的にウエハの研削・切断が行われる。切断中
は、第２実施例の場合と同様に変位センサ36A、36Bによ
り常に、内周刃20の変位量が主制御装置28に入力されて
いるので、変位量の変動に対して迅速に研削位置及び割
り出し量を自動的に補正する。また、定期的にインゴッ
ト18の端面形状の測定を行えば、内周刃20の目詰まり
や、ドレッシング等によるインゴット端面の形状変化を
把握することができ、精度の良いウエハを生産すること
ができる。 インゴット18の端面形状の測定間隔は、生産時間と精度
の要求を考慮して決定される。 更に、他の実施例と同様にウエハの実測を定期的に繰り
返すことにより、内周刃20や研削砥石32の状態に対し
て、適切な補正を行うことができ、精度の高い切断が可
能となる。
ンの切断方法の好ましい実施例を詳説する。 第１図は本発明に係るスライシングマシンの切断方法に
使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視図で
ある。第１図のスライシングマシンは本体10、送りテー
ブル12、支柱14、インゴット（柱状体材料）保持部16等
を主な構成としている。本体10には送りテーブル12が矢
印Ａ又はＢ方向に摺動自在に設けられている。また、テ
ーブル12には支柱14が立設され、支柱14の側方にはイン
ゴット保持部16が設られ、シリコンインゴット18を上下
動自在に支持している。本体10中央部には内周刃（切断
刃）20が配設され、更に、本体10のテーブル12に対向す
る位置には切断後のウエハを収納部22に搬送する搬送装
置24が設置されている。また、内周刃20のドレッシング
を行うドレッシング装置25が内周刃20の下方に設置さ
れ、必要に応じて内周刃20のドレッシングを行う。 第２図は第１図のスライシングマシンの制御系を示した
説明図である。第２図に示すように、インゴット保持部
16には割り出し制御装置26が設置され、スライシングマ
シンに内蔵された主制御装置28によって算出される割り
出し量の分だけ、インゴット18を下方へ移動させる。ま
た、送りテーブル12（第２図には図示せず）には切断時
にインゴット18の水平方向の送り位置の制御を行う切断
送り制御装置29が配設されている。主制御装置28は内周
刃20のカーフ・ロス等に応じた切断時のインゴット18の
軸方向の割り出し量の算出、研削位置の算出並びに切断
時のインゴット18の切断送りの制御位置を算出し、切断
時のスライシングマシンを制御する。 また、内周刃20を回転させるスピンドル30には内周刃20
と共に回転するカップ型の研削砥石32が配設され、研削
砥石32と内周刃20が同時に回転することにより、ウエハ
端面の研削と共にウエハの切断を行う。更にスピンドル
30の下端には主制御装置28と接続された研削砥石制御装
置34が設置され、研削砥石制御装置34は主制御装置28の
指令によって研削砥石32を上下動させ、ウエハ端面の研
削量を制御する。 第３図は変位センサ36A、36Bと内周刃20との位置関係を
示した略平面図である。第２図及び第３図に示すよう
に、内周刃20の近傍には内周刃20の軸方向変位を検出す
る非接触式の変位センサ36A、36Bが取り付けられ、内周
刃20の変位量を非接触式変位計37を介して主制御装置28
に出力している。 次に本発明に係るスライシングマシンの切断方法の第１
実施例について説明する。第１実施例は、切断後のウエ
ハの実測データから柱状体材料の割り出し量、研削砥石
位置を制御する方法である。まず、端面研削を行わない
で柱状体材料を切断する場合を説明する。ここで、内周
刃20のカーフ・ロスKBが求められている場合、内周刃20
のカーフ・ロスKB、ウエハの目標厚さTTを主制御装置28
に入力するとインゴット18の上下方向の割り出し量Ｉが
次式によって設定される。 Ｉ＝（目標厚さTT＋カーフ・ロスKB） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） …… 但し、θ１、θ２はインゴット18のチルチング角度（傾
き）であり、インゴット18の切断方向と切断直角方向と
のなす角度に相当する。一方、内周刃20のカーフ・ロス
KBが不明な場合は、カーフ・ロスKBとして仮値（内周刃
の刃厚＋20〜30μｍ）を入力し、次の方法で内周刃20の
カーフ・ロスKBを算出する。 主制御装置28は式で算出された割り出し量Ｉだけイン
ゴット18を軸方向へ移動させる信号を割り出し制御装置
26へ出力すると共に、インゴット18を水平に移動させる
駆動信号を切断送り制御装置29に出力し、１枚の試験用
ウエハを切断する。そして、試験用ウエハの切り始め厚
さTMを測定し、この実測値TMを主制御装置28に入力する
ことにより、次の式に従って内周刃20のカーフ・ロス
KBを算出すると共に、この算出されたカーフ・ロスKBを
式に代入して、補正された割り出し量Ｉを求め、この
割り出し量Ｉに基づいてウエハを連続して切断する。 カーフ・ロスKB＝Ｉ×COSθ１×COSθ２ −ウエハの厚さTM（実測値） …… 切断中、ウエハの実測作業を定期的に繰り返し、カーフ
・ロスKBの値を式によって補正することにより内周刃
20の摩耗や切れ味の悪化によって生じるカーフ・ロスKB
の変動を正確に算出することができる。 次に、切断とともに端面研削を行い、柱状体材料の割り
出し量および研削砥石位置を算出する場合について説明
する。 第４図はインゴット18、内周刃20、研削砥石32並びに切
断後のウエハ35との関係を示す説明である。先ず、前記
の端面研削を行わない場合と同様に、内周刃20のカーフ
・ロスKB、ウエハの目標厚さTT、研削砥石32の最小カー
フ・ロスKG、研削基準位置G0を主制御装置28に入力す
る。カーフ・ロスKBは前述の研削を行わない切断で正確
に求めておくものとする。 また、第４図の研削基準位置G0が不明な場合、研削基準
位置G0は以下のように設定される。第５図は研削基準位
置G0を求める場合の手順を示す説明図である。先ず、ス
ライシングマンのスピンドル30を停止させ、電気マイク
ロメータ40を送りテーブル12に取り付ける。そして、送
りテーブル12を移動させて研削砥石32の上面と内周刃20
の最上部とを交互に測定しながら、その高さの差が０と
なるよう研削砥石32を上下動させ、差が０になった位置
を研削基準位置G0に設定する。 尚、第４図に示される上面凸部、上面凹部研削変位量GS
P、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNは、
スライス面18A及び研削面18Bの凹凸を示すパラメータで
以下のような符号を有する。 GSP,GGP≧０、GSN,GGN≦０ 主制御装置28は入力されたデータから、研削位置Cmin及
びGmax、は以下の計算式から算出される。尚、Gminは研
削によってウエハの厚さが最小となる位置、Gmaxは最大
となる位置で、後工程に応じて適宜選択される。 Gmin＝G0−TT−KB＋GSN …… Gmax＝G0−TT−KB＋GSP …… 尚、ここでは研削を行う切断を始めて行うことになるの
で上面凹部研削変位量GSN及び上面凸部研削変位量GSPが
不明であり、上面凹部研削変位量GSN及び上面凸部研削
変位量GSPの値を仮に０とする。従って、研削位置ＧはG
min＝Gmaxとなり、この値Ｇを次式に当てはめることに
より、インゴット18の割り出し量Ｉが算出される。 Ｉ＝（G0−Ｇ＋GGP＋KG）×（1/COSθ１）×（1/COSθ
２） …… 更に、主制御装置28は前記式によって算出された研削
位置Ｇから研削砥石32を研削位置まで上動させると共
に、前記式によって得られた割り出し量Ｉに基づく駆
動信号を割り出し制御装置26へ出力し、インゴット18を
割り出し位置に駆動する。次いで、インゴット18を切断
送り駆動装置28によって切断方向に移動し、１枚の試験
用ウエハを切断する。そして、研削・切断を一時中止
し、試験用ウエハを切断方向及び切断直角方向を含め、
全体的に、第４図に示す切り始め厚さTM、最大厚さ
Tmax、最小厚さTminをそれぞれ測定する。測定された切
り始め厚さTM、最大厚さTmax、最小厚さTminから、上面
凸部、上面凹部研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面
凸部研削変位量GGP、GGNを算出する。 尚、第４図上でスライス面18A、18Bは内周刃20で切断さ
れた切断面である。ここで、スライス面18Aの凹凸はウ
エハ35の破線位置（図４参照）を研削砥石32で研削した
後、研削された破線位置を基準にして測定することがで
きる。しかしながら、スライス面18Bは研削砥石32で研
削されるのでスライス面18Bの凹凸を測定することがで
きない。そこで、スライス面18A、18Bを切断する時に内
周刃20の変形が同一であると仮定して、スライス面18B
の凹凸とスライス面18Aの凹凸とを同一とする。従っ
て、GSP＝GGP、GSN＝GGNとし、上面凸部、上面凹部研削
変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GG
P、GGNが次式に従って算出される。 上記凸部研削変位量:GSP＝最大厚さ−切り始め厚さTM 上面凹部研削変位量:GSN＝最小厚さ−切り始め厚さTM 下面凹部研削変位量:GGP＝最大厚さ−切り始め厚さTM 下面凸部研削変位量:GGN＝最小厚さ−切り始め厚さTM また、研削基準位置G0は次式によって自動計算され、前
記第５図で設定されたG0と置き換えられる。 G0＝Ｇ＋TM＋KB …… そして、式によって設定された研削基準位置を前記
式、式に当てはめることより、補正された研削基準位
置Gmin及びGmax及び割り出し量Ｉが算出され、切断刃の
状態に対して適切な割り出し量及び研削位置でウエハを
製造することができる。 次に、本発明に係る第２実施例について説明する。第２
実施例は切断後のウエハの実測データ及び内周刃20の軸
方向変位量の測定データからスライシングマシンの制御
を行う方法である。先ず、第１実施例の端面研削を行う
場合と同様な手順で、試験用ウエハを１枚切断し、切断
方向及び切断直角方向を含めた全体的に、切り始め厚さ
TM、最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、前記式に
よって研削基準位置G0を算出する。 次に、研削位置Ｇの自動補正の手順は以下の通りであ
る。第６図は内周刃20と変位センサ36A、36Bとの相対関
係を示す説明図、第７図（Ａ）〜（Ｆ）は変位センサ36
A、36Bによって検出される内周刃20の代表的な変位パタ
ーンを示した説明図である。試験用ウエハ切断時の内周
刃20の軸方向変位量は変位センサ36A、36Bによって、逐
次測定され、測定データは主制御装置28に記憶され、検
出される変位パターンのほとんどは第７図（Ａ）〜
（Ｆ）に示される６通りに分類される。内周刃20の変位
量のうち、＋側の最大変位をBP0、−側の最大変位をBN0
とする。軸方向変位量は変位センサが36A、36Bの２個の
ときは、ＬとＭの平均値、変位センサが36Aのみのとき
は、Ｌの値とする。また、試験用ウエハ以外のウエハを
切断するときの軸方向変位量のうち、＋側の最大変位を
BP、−側の最大変位をBNとする。加えて、前記で測定し
た試験用ウエハの切り始め厚さTM、最大厚さ、最小厚さ
から、 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM とすると、以下の式から上面凸部、上面凹部研削変位量
GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNの
補正計算が行われる。 GSP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP≧０ GGN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN≦０ 更に、前記、、式から研削砥石の研削位置と、イ
ンゴット18の割り出し量が算出される。尚、前式のＡは
研削補正係数で、内周刃20の変位量の変化がパラメータ
GSP〜GGNへ、どの程度影響するかを統計処理によって経
験的に求めた係数である。また、IP、INはドレッシング
補正量で、ドレッシングの実施がパラメータGSP、GSNに
どの程度影響するかを経験的に求めた補正量である。 このように、第２実施例では、逐次入力される内周刃20
の変位データから、切断中にその都度割り出し量Ｉと研
削位置Ｇの補正を行うようにしているので、内周刃20の
変位量が切断中に目詰まりやドレッシングによって変化
した場合でも自動的に補正を繰り返し、精度の良いウエ
ハを製造することができる。 次に、本発明に係るスライシングマシンの切断方法の第
３実施例について説明する。先ず、前記第２実施例の場
合と同様な手順で、試験用ウエハを１枚切断し、試験用
ウエハを切断方向及び切断直角方向を含め全体的に、切
り始め厚さTM、最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、
研削基準位置G0を前記式で設定する。 第８図はインゴット18の端面形状を測定する測定器38を
示した斜視図である。測定器38は試験用ウエハ切断後の
インゴット18端面に、支持具39A、39B、39Cの３点が当
接され、中央部の測定子38Aによってインゴット18の凹
凸が測定器の向きにより切断方向と切断直角方向に分離
して測定される。このときの切断方向の測定値のうち、
GSP、GGPと同極性の測定値をXP0、又、GSN、GGNと同極
性の測定値をXN0とする。測定器38は中央１点でインゴ
ット18を測定するため、XP0、XN0のいずれか一方は０と
なる。 次に、所定数のウエハ切断後のインゴット18の端面形状
を測定し、その切断方向の測定値のうち、GSP、GGPと同
極性の測定値をXP、GSN、GGNと同極性の測定値をXNと
し、加えて、前記で測定した試験用ウエハの切り始め厚
さTM、最大厚さ最小厚さを主制御装置28に入力する。 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM そうすると、前式によってGP、GNが算出され、更に以下
の式から上面凸部、上面凹部研削変位量GSP、GSN及び下
面凹部、下面凸部研削変位量GGP、GGNの補正計算が主制
御装置28によって行われる。 GSP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP≧０ GGN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN≦０ 更に、前記、、式に前式で求めた上面凸部、上面
凹部研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変
位量GGP、GGNと、式で求めた研削基準位置G0を代入す
ると研削砥石の研削位置と、インゴット18の割り出し量
が算出される。Ａ、IP及びINは第２実施例の場合と同様
に統計処理によって経験的に求めた補正係数並びに補正
量である。また、インゴット18端面の測定が再び行われ
るまでは、同じ研削位置及び割り出し量で研削・切断を
行う。インゴット18端面の測定間隔は、生産時間と精度
の要求を考慮して決定される。 このように、連続した切断工程で、定期的にインゴット
18の端面形状の測定を行い研削変位量の補正計算を実施
すれば、内周刃20の目詰まりやドレッシング等でインゴ
ット端面の形状が変化しても、自動的に補正を繰り返し
て精度の良いウエハを生産することができる。 次に、第４実施例について説明する。第４実施例は、切
断後のウエハの実測データ、内周刃20の軸方向変位量の
測定データ及び切断後のインゴット端面形状測定データ
に基づいて制御する切断方法である。先ず、前記第１実
施例、第２実施例、第３実施例の場合と同様に内周刃20
のカーフ・ロスKB、ウエハの目標厚さTT、研削砥石の最
小カーフ・ロスKG並びに研削基準位置G0を主制御装置28
に入力し、スライシングマシンを駆動して試験用ウエハ
を１枚切断する。切断中、変位センサ36A、36Bで検出さ
れた変位は、第２実施例と同様に主制御装置28によって
内周刃20のウエハ切断時の変位パターンとして記憶され
る。 更に、第３実施例の場合と同様に、第８図の測定器38に
よって、試験用ウエハ切断後のインゴット18の端面形状
を測定する。測定は切断方向と切断直角方向の２方向か
ら行い、その測定値をそれぞれＸ、Ｙとし、この値を主
制御装置28に入力する。また、第７図の変位センサ36
A、36Bによって検出された内周刃20の中央部の変位をそ
れぞれＬ、Ｍ、又、内周刃20の切り終わりの変位をＨと
し、これらの値を主制御装置28に入力すると、切断後の
インゴット18端面の切断方向の凹凸X1及び切断直角方向
の凹凸Y1は（第６図ではY1のみ図示）それぞれ次式によ
って算出される。 X1＝Ｘ＋1/2×Ｈ Y1＝Ｙ＋1/2×（Ｌ＋Ｍ） 但し、変位センサ36Aのみを使用する場合は、Y1＝Ｙ＋
Ｌとなる。 そして、主制御装置28はX1、Y1、Ｌ、Ｍ、Ｈの中で、＋
側の最大値及び−側の最大値となるものを内周刃20の＋
側の最大変位BBP0及び−側の最大変位BBN0として選択す
る。更に、切断された試験用ウエハの切り始め厚さTM、
最大厚さ、最小厚さをそれぞれ測定し、主制御装置28に
これらの数値を入力する。 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM 前式によって算出されたGP、GNから上面凸部、上面凹部
研削変位量GSP、GSN及び下面凹部、下面凸部研削変位量
GGP、GGNの補正計算が主制御装置28によって行われる。 GSP＝BBP−BBP0＋GP−IP≧０ GSN＝BBN−BBN0＋GN−IN≦０ GGP＝BBP−BBP0＋GP≧０ GGN＝BBN−BBN0＋GN≦０ 次いで、補正された研削変位量及び研削基準位置G0を計
算式、、に当てはめることにより、補正された研
削位置Gmin、Gmax及び割り出し量Ｉがウエハ毎に演算さ
れ、連続的にウエハの研削・切断が行われる。切断中
は、第２実施例の場合と同様に変位センサ36A、36Bによ
り常に、内周刃20の変位量が主制御装置28に入力されて
いるので、変位量の変動に対して迅速に研削位置及び割
り出し量を自動的に補正する。また、定期的にインゴッ
ト18の端面形状の測定を行えば、内周刃20の目詰まり
や、ドレッシング等によるインゴット端面の形状変化を
把握することができ、精度の良いウエハを生産すること
ができる。 インゴット18の端面形状の測定間隔は、生産時間と精度
の要求を考慮して決定される。 更に、他の実施例と同様にウエハの実測を定期的に繰り
返すことにより、内周刃20や研削砥石32の状態に対し
て、適切な補正を行うことができ、精度の高い切断が可
能となる。
以上説明したように、本発明に係るスライシングマシン
の切断方法によれば、柱状体材料を切断する際、切断後
のウエハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハ
が所定の厚さとなる研削砥石の研削位置、割り出し量を
算出する。このため、ウエハ厚さの実測を定期的に行う
ことにより、切断刃の状態に応じた適切な割り出し量、
研削位置でウエハの製造を行うことができる。 これにより、正確な研削位置が算出され柱状体材料の損
失が最小限になると共に、正確な割り出し量で切断を行
うことができ、容易、且つ迅速に精度の高いウエハを製
造することができる。 また、切断中に検出される切断刃の軸方向の変位データ
から割り出し量、研削位置をその都度補正するようにし
ているので、切断中に切断刃の変位が変動した場合でも
切断作業を中止することなく迅速に研削位置及び割り出
し量を自動補正することができる。従って、精度のよい
ウエハを製造することができる。 更に、柱状体材料の端面形状の実測データから切断刃の
目詰まりや、切断刃のドレッシングによって生じる柱状
体材料の端面形状の変化を把握して割り出し量と研削位
置の補正を行うため、柱状体材料の端面形状が変化した
場合でも精度の良いウエハを生産できる。
の切断方法によれば、柱状体材料を切断する際、切断後
のウエハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハ
が所定の厚さとなる研削砥石の研削位置、割り出し量を
算出する。このため、ウエハ厚さの実測を定期的に行う
ことにより、切断刃の状態に応じた適切な割り出し量、
研削位置でウエハの製造を行うことができる。 これにより、正確な研削位置が算出され柱状体材料の損
失が最小限になると共に、正確な割り出し量で切断を行
うことができ、容易、且つ迅速に精度の高いウエハを製
造することができる。 また、切断中に検出される切断刃の軸方向の変位データ
から割り出し量、研削位置をその都度補正するようにし
ているので、切断中に切断刃の変位が変動した場合でも
切断作業を中止することなく迅速に研削位置及び割り出
し量を自動補正することができる。従って、精度のよい
ウエハを製造することができる。 更に、柱状体材料の端面形状の実測データから切断刃の
目詰まりや、切断刃のドレッシングによって生じる柱状
体材料の端面形状の変化を把握して割り出し量と研削位
置の補正を行うため、柱状体材料の端面形状が変化した
場合でも精度の良いウエハを生産できる。
第１図は本発明に係るスライシングマシンの切断方法に
使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視図、
第２図は第１図のスライシングマシンの制御系を示した
説明図、第３図は変位センサと内周刃との位置関係を示
した略平面図、第４図は柱状体材料と内周刃並びに研削
砥石との関係を示す説明図、第５図は研削基準位置G0を
求める場合の手順を示す説明図、第６図は内周刃と変位
センサとの相対関係を示す説明図、第７図（Ａ）〜
（Ｆ）は変位センサによって検出される内周刃の代表的
な変位パターンを示した説明図、第８図はインゴットの
端面形状を測定する測定器38を示した斜視図である。 18……インゴット（柱状体材料）、20……内周刃（切断
刃）、26……割り出し制御装置、28……主制御装置、32
……研削砥石、34……研削砥石制御装置、36A、36B……
変位センサ。
使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視図、
第２図は第１図のスライシングマシンの制御系を示した
説明図、第３図は変位センサと内周刃との位置関係を示
した略平面図、第４図は柱状体材料と内周刃並びに研削
砥石との関係を示す説明図、第５図は研削基準位置G0を
求める場合の手順を示す説明図、第６図は内周刃と変位
センサとの相対関係を示す説明図、第７図（Ａ）〜
（Ｆ）は変位センサによって検出される内周刃の代表的
な変位パターンを示した説明図、第８図はインゴットの
端面形状を測定する測定器38を示した斜視図である。 18……インゴット（柱状体材料）、20……内周刃（切断
刃）、26……割り出し制御装置、28……主制御装置、32
……研削砥石、34……研削砥石制御装置、36A、36B……
変位センサ。
Claims (8)
- 【請求項１】柱状体材料を所定の割り出し量だけ移動さ
せた後、回転している切断刃に対して柱状体材料を切断
方向に移動して所定の厚さのウエハに切断すると共に、
柱状体材料端面の研削を行うスライシングマシンの切断
方法に於いて、 切断後のウエハ厚さの実測データに基づいて、切断後の
ウエハが所定の厚さとなる研削砥石の研削位置Gminと、
研削量が最小となる柱状体材料の割り出し量Ｉとを下記
の算式により算出し、 Gmin＝G0−TT−KB＋GSN Ｉ＝（G0−Gmin＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmin:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 G0:研削基準位置 TT:ウエハの目標厚さ KB:切断刃のカーフ・ロス GSN:上面凹部研削変位量（最小厚さ−切り始め厚さTM） GSP:上面凸部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） GGP:下面凹部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） KG:研削砥石のカーフ・ロス θ１、θ2:柱状体材料の傾斜角 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gminに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とす
るスライシングマシンの切断方法。 - 【請求項２】柱状体材料を所定の割り出し量だけ移動さ
せた後、回転している切断刃に対して柱状体材料を切断
方向に移動して所定の厚さのウエハに切断すると共に、
柱状体材料端面の研削を行うスライシングマシンの切断
方法に於いて、 切断後のウエハ厚さの実測データに基づいて、切断後の
ウエハが所定の厚さとなる研削砥石の研削位置Gmaxと、
研削量が最小となる柱状体材料の割り出し量Ｉを下記の
算式により算出し、 Gmax＝G0−TT−KB＋GSP Ｉ＝（G0−Gmax＋GGP＋KG） ×（1/COSθ１）×（1/COSθ２） Gmax:研削によってウエハの厚さが最小になる位置 G0:研削基準位置 TT:ウエハの目標厚さ KB:切断刃のカーフ・ロス GSN:上面凹部研削変位量（最小厚さ−切り始め厚さTM） GSP:上面凸部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） GGP:下面凹部研削変位量（最大厚さ−切り始め厚さTM） KG:研削砥石のカーフ・ロス θ１、θ2:柱状体材料の傾斜角 該割り出し量Ｉに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、
且つ前記研削位置Gmaxに研削砥石を移動して、柱状体材
料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とす
るスライシングマシンの切断方法。 - 【請求項３】前記研削砥石の研削位置Gmin、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記柱状体材料の切断中に検出される前記切断刃の軸方向
の変位データに基づく下記算式により、 GSP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP≧０ A:研削補正係数 BP:ウエハ切断時の切断刃の軸方向の＋側の最大変位 BN:ウエハ切断時の切断刃の軸方向の−側の最大変位 BP0:試験用ウエハの切断時の切断刃の軸方向の＋側の最
大変位 BN0:試験用ウエハの切断時の切断刃の軸方向の−側の最
大変位 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM IP、IN:ドレッシング補正量 補正されることを特徴とする請求項１のスライシングマ
シンの切断方法。 - 【請求項４】前記研削砥石の研削位置Gmax、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記柱状体材料の切断中に検出される前記切断刃の軸方向
の変位データに基づく下記算式により、 GSP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（BN−BN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（BP−BP0）＋GP≧０ A:研削補正係数 BP:ウエハ切断時の切断刃の軸方向の＋側の最大変位 BN:ウエハ切断時の切断刃の軸方向の−側の最大変位 BP0:試験用ウエハの切断時の切断刃の軸方向の＋側の最
大変位 BN0:試験用ウエハの切断時の切断刃の軸方向の−側の最
大変位 GP:試験ウエハ最大厚さ−切り始め厚さTM GN:試験ウエハ最小厚さ−切り始め厚さTM IP、IN:ドレッシング補正量 補正されることを特徴とする請求項２のスライシングマ
シンの切断方法。 - 【請求項５】前記研削砥石の研削位置Gmin、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記ウエハ切断後の柱状体材料の端面形状の実測データに
基づく下記算式により、 GSP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP≧０ XP、XN:所定枚数のウエハ切断後の柱状体材料の切断後
の端面形状の測定値 XP0、XN0:試験用のウエハ切断後の柱状体材料の切断後
の端面形状の測定値 補正されることを特徴とする請求項１のスライシングマ
シンの切断方法。 - 【請求項６】前記研削砥石の研削位置Gmax、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記ウエハ切断後の柱状体材料の端面形状の実測データに
基づく下記算式により、 GSP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP−IP≧０ GSN＝Ａ×（XN−XN0）＋GN−IN≦０ GGP＝Ａ×（XP−XP0）＋GP≧０ XP、XN:所定枚数のウエハ切断後の柱状体材料の切断後
の端面形状の測定値 XP0、XN0:試験用のウエハ切断後の柱状体材料の切断後
の端面形状の測定値 補正されることを特徴とする請求項２のスライシングマ
シンの切断方法。 - 【請求項７】前記研削砥石の研削位置Gmin、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記ウエハ切断後の柱状体材料の端面形状の実測データに
基づく下記算式を使用して、 GSP＝BBP−BBP0＋GP−IP≧０ GSN＝BBN−BBN0＋GN−IN≦０ GGP＝BBP−BBP0＋GP≧０ BBP:ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材料の端面
形状の変位から求めた内周刃の＋側の最大変位 BBN:ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材料の端面
形状の変位から求めた内周刃の−側の最大変位 BBP0:試験用ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材
料の端面形状の変位から求めた内周刃の＋側の最大変位 BBN0:試験用ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材
料の端面形状の変位から求めた内周刃の−側の最大変位 算出すること特徴とする請求項１のスライシングマシン
の切断方法。 - 【請求項８】前記研削砥石の研削位置Gmax、及び前記研
削量が最小となる柱状体材料の前記割り出し量Ｉは、前
記ウエハ切断後の柱状体材料の端面形状の実測データに
基づく下記算式を使用して、 GSP＝BBP−BBP0＋GP−IP≧０ GSN＝BBN−BBN0＋GN−IN≦０ GGP＝BBP−BBP0＋GP≧０ BBP:ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材料の端面
形状の変位から求めた内周刃の＋側の最大変位 BBN:ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材料の端面
形状の変位から求めた内周刃の−側の最大変位 BBP0:試験用ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材
料の端面形状の変位から求めた内周刃の＋側の最大変位 BBN0:試験用ウエハの切断時の内周刃の変位と柱状体材
料の端面形状の変位から求めた内周刃の−側の最大変位 算出することを特徴とする請求項２のスライシングマシ
ンの切断方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232426A JPH0767692B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | スライシングマシンの切断方法 |
| US07/577,128 US5074276A (en) | 1989-09-07 | 1990-09-04 | Slicing method by a slicing machine |
| DE69011020T DE69011020T2 (de) | 1989-09-07 | 1990-09-06 | Verfahren zum Zerschneiden von zylindrischem Material in Scheiben. |
| EP90117173A EP0417644B1 (en) | 1989-09-07 | 1990-09-06 | Method of slicing cylindrical material into wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232426A JPH0767692B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | スライシングマシンの切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393509A JPH0393509A (ja) | 1991-04-18 |
| JPH0767692B2 true JPH0767692B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=16939083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1232426A Expired - Fee Related JPH0767692B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | スライシングマシンの切断方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5074276A (ja) |
| EP (1) | EP0417644B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0767692B2 (ja) |
| DE (1) | DE69011020T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| KR950011673B1 (ko) * | 1991-04-24 | 1995-10-07 | 박경 | 사면폭유지와 판유리 모양감지를 겸할수 있는 롤러장치가 부착된 판유리 변형면취기 |
| JPH05116138A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-05-14 | Mitsubishi Materials Corp | スライシングマシン |
| DE4134110A1 (de) * | 1991-10-15 | 1993-04-22 | Wacker Chemitronic | Verfahren zum rotationssaegen sproedharter werkstoffe, insbesondere solcher mit durchmessern ueber 200 mm in duenne scheiben vermittels innenlochsaege und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE4136566C1 (ja) * | 1991-11-07 | 1993-04-22 | Gmn Georg Mueller Nuernberg Ag, 8500 Nuernberg, De | |
| US5351444A (en) * | 1992-09-25 | 1994-10-04 | Silicon Technology Corporation | Blade track control system |
| JP2979870B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1999-11-15 | 信越半導体株式会社 | 半導体インゴットのコーン状端部切除方法 |
| JP2789983B2 (ja) * | 1993-01-28 | 1998-08-27 | 信越半導体株式会社 | 加工誤差補正装置 |
| EP0709878B1 (en) * | 1994-10-24 | 1998-04-01 | Naoetsu Electronics Company | Method for the preparation of discrete substrate plates of semiconductor silicon wafer |
| JPH07323420A (ja) * | 1994-06-02 | 1995-12-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ製造方法及びその装置 |
| US5513722A (en) * | 1995-03-10 | 1996-05-07 | Foltz; Donald R. | Compressed air lubricator |
| US6217433B1 (en) * | 1995-05-16 | 2001-04-17 | Unova Ip Corp. | Grinding device and method |
| DE19607695A1 (de) * | 1996-02-29 | 1997-09-04 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben |
| US5816892A (en) * | 1997-02-06 | 1998-10-06 | Cobra Machine Tool Co., Inc. | Positioning control for combined milling machine and internally positioned grinding wheel |
| DE10335062A1 (de) * | 2003-07-31 | 2005-04-07 | Siltronic Ag | Verfahren zum Sägen eines Halbleiterstabs und Entfernen der Sägeunterlage |
| JP2019202356A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2204491C3 (de) * | 1972-01-31 | 1981-02-26 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Meßsteuerung einer Siliciumsäge über eine Hilfsspindel |
| NL7304070A (ja) * | 1973-03-23 | 1974-09-25 | ||
| FR2469259A1 (fr) * | 1979-08-08 | 1981-05-22 | Radiotechnique Compelec | Procede d'elaboration de plaquettes de materiaux durs, notamment de silicium et appareil de mise en oeuvre du procede |
| JPS57168854A (en) * | 1981-04-05 | 1982-10-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Slicing device |
| JPS57178660A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-02 | Hitachi Ltd | Slicer |
| JPS6296400A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-02 | Mitsubishi Metal Corp | ウエハの製造方法 |
| DE3613132A1 (de) * | 1986-04-18 | 1987-10-22 | Mueller Georg Nuernberg | Verfahren zum zerteilen von harten, nichtmetallischen werkstoffen |
| JPH01110910A (ja) * | 1987-10-26 | 1989-04-27 | Toshiba Corp | 薄板切断方法および薄板切断装置 |
| JPH01115604A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハの切断装置 |
| DE3884903T2 (de) * | 1987-10-29 | 1994-02-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Vorrichtung und Verfahren zum Abschneiden einer Halbleiterscheibe. |
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-
1989
- 1989-09-07 JP JP1232426A patent/JPH0767692B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-09-04 US US07/577,128 patent/US5074276A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-06 DE DE69011020T patent/DE69011020T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-06 EP EP90117173A patent/EP0417644B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| EP0417644A3 (en) | 1992-05-27 |
| EP0417644A2 (en) | 1991-03-20 |
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| EP0417644B1 (en) | 1994-07-27 |
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