JPH0752698B2 - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH0752698B2 JPH0752698B2 JP1011541A JP1154189A JPH0752698B2 JP H0752698 B2 JPH0752698 B2 JP H0752698B2 JP 1011541 A JP1011541 A JP 1011541A JP 1154189 A JP1154189 A JP 1154189A JP H0752698 B2 JPH0752698 B2 JP H0752698B2
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- JP
- Japan
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- pattern
- ceramic capacitor
- green sheet
- manufacturing
- internal electrode
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- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、静電容量のバラツキの少ない積層セラミック
コンデンサの製造方法に関する。
コンデンサの製造方法に関する。
［従来の技術］ 従来から積層セラミックコンデンサの製造は次のように
して行なわれている。
して行なわれている。
まず誘電体材料となる原料粉末と有機バインダとを混合
したスラリー状の混合溶液と、ポリエチレンテレフタレ
ー等の長尺なベースフィルムを用意する。この長尺なベ
ースフィルム上にドクターブレード法等の塗布方法によ
って、前記混合溶液を十数μｍ〜数十μｍの厚さで均一
に塗布し、そのまま乾燥炉を通過させて、有機溶剤を気
化させるとともに、前記混合溶液を乾燥させ、ベースフ
ィルム上に長尺なセラミックグリーンシートを形成す
る。さらに、この長尺なセラミックグリーンシートをベ
ースフィルムから剥した後、所定の大きさに切断し、切
断したシートを金属製の額縁状の枠に貼り付けて印刷用
のシートとする。
したスラリー状の混合溶液と、ポリエチレンテレフタレ
ー等の長尺なベースフィルムを用意する。この長尺なベ
ースフィルム上にドクターブレード法等の塗布方法によ
って、前記混合溶液を十数μｍ〜数十μｍの厚さで均一
に塗布し、そのまま乾燥炉を通過させて、有機溶剤を気
化させるとともに、前記混合溶液を乾燥させ、ベースフ
ィルム上に長尺なセラミックグリーンシートを形成す
る。さらに、この長尺なセラミックグリーンシートをベ
ースフィルムから剥した後、所定の大きさに切断し、切
断したシートを金属製の額縁状の枠に貼り付けて印刷用
のシートとする。
次に、上記のようにして形成されたセラミックグリーン
シート上に内部電極を印刷する印刷機と印刷時に使用さ
れるスクリーンフレームを用意する。この場合、スクリ
ーンフレームには、スクリーン印刷機に適合した寸法で
ステンレスやナイロン等の網（ステンシルと言われる）
が張られ、このステンシルに光硬化性樹脂を塗布し、縦
横に複数の内部電極を配置したパターンをホトエッチン
グ法によって形成し、該パターン部分の樹脂が除去さ
れ、他の部分が樹脂で被覆された印刷用スクリーンが形
成される。
シート上に内部電極を印刷する印刷機と印刷時に使用さ
れるスクリーンフレームを用意する。この場合、スクリ
ーンフレームには、スクリーン印刷機に適合した寸法で
ステンレスやナイロン等の網（ステンシルと言われる）
が張られ、このステンシルに光硬化性樹脂を塗布し、縦
横に複数の内部電極を配置したパターンをホトエッチン
グ法によって形成し、該パターン部分の樹脂が除去さ
れ、他の部分が樹脂で被覆された印刷用スクリーンが形
成される。
このようにして形成された印刷用スクリーンを印刷機に
セットするとともに、枠に貼付した印刷用シートを上記
印刷用スクリーンの下方にセットする。そして、前記ス
テンシル上に導電性ペーストを塗布し、スキージをステ
ンシルに押し付けながら移動させ、前記印刷用スクリー
ン上に形成されたパターンから、塗布された導電性ペー
ストをグリーンシート上に押し出すことにより印刷用シ
ート上に印刷する。上記のようにして印刷される積層セ
ラミックコンデンサの印刷パターンは、例えば4.0mm×
0.7mm程度のＡパターンと、このＡパターンを長手方向
に対して2.5mm移動させたＢパターンの二つのパターン
を用意し、それぞれのパターンからなるパターン群を使
って印刷している。
セットするとともに、枠に貼付した印刷用シートを上記
印刷用スクリーンの下方にセットする。そして、前記ス
テンシル上に導電性ペーストを塗布し、スキージをステ
ンシルに押し付けながら移動させ、前記印刷用スクリー
ン上に形成されたパターンから、塗布された導電性ペー
ストをグリーンシート上に押し出すことにより印刷用シ
ート上に印刷する。上記のようにして印刷される積層セ
ラミックコンデンサの印刷パターンは、例えば4.0mm×
0.7mm程度のＡパターンと、このＡパターンを長手方向
に対して2.5mm移動させたＢパターンの二つのパターン
を用意し、それぞれのパターンからなるパターン群を使
って印刷している。
さらに、第４図（ａ）のように、上記二つのパターン群
によって内部電極の印刷された二種類のグリーンシート
10、11を積層する方法として、第４図（ｂ）のように、
前記枠の所定の位置上にＡパターンのグリーンシート10
とＢパターンのグリーンシート11を交互に重ねて、打ち
抜き、圧着した後、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ−Ｙで示される位置
で縦横に切断され、2.5mm×1.6mmの微細な寸法に細断さ
れる。なお、図中では理解を容易にするために、グリー
ンシートの端部の四列の一部について表わしている。最
後にこれらを焼成したあと、両端部に導電性のペースト
を塗布して焼き付け、外部電極を形成して、第３図のよ
うな積層セラミックコンデンサを製造していた。
によって内部電極の印刷された二種類のグリーンシート
10、11を積層する方法として、第４図（ｂ）のように、
前記枠の所定の位置上にＡパターンのグリーンシート10
とＢパターンのグリーンシート11を交互に重ねて、打ち
抜き、圧着した後、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ−Ｙで示される位置
で縦横に切断され、2.5mm×1.6mmの微細な寸法に細断さ
れる。なお、図中では理解を容易にするために、グリー
ンシートの端部の四列の一部について表わしている。最
後にこれらを焼成したあと、両端部に導電性のペースト
を塗布して焼き付け、外部電極を形成して、第３図のよ
うな積層セラミックコンデンサを製造していた。
この積層セラミックコンデンサは、印刷スクリーンのＡ
パターンとこれと半ピッチずれたＢパターンによって交
互に左右にずれて形成された内部電極22a、22bを有する
誘電体セラミック層20a、20bが交互に積層され、さら
に、この両側に電極を有しないセラミック層21が圧着さ
れている。そして、このように積層された内部電極22
a、22bとセラミック層20a、20b、21の両端面に各々上記
内部電極22a、22bが接触するように、外部電極23a、23b
が形成されている。
パターンとこれと半ピッチずれたＢパターンによって交
互に左右にずれて形成された内部電極22a、22bを有する
誘電体セラミック層20a、20bが交互に積層され、さら
に、この両側に電極を有しないセラミック層21が圧着さ
れている。そして、このように積層された内部電極22
a、22bとセラミック層20a、20b、21の両端面に各々上記
内部電極22a、22bが接触するように、外部電極23a、23b
が形成されている。
しかし、上記従来の積層セラミックコンデンサの製造方
法では、セラミックグリーンシート上にＡパターンとＢ
パターンの２種類の内部電極パターンを印刷するため
に、別のステンシルを２種類用意しなければならなかっ
た。
法では、セラミックグリーンシート上にＡパターンとＢ
パターンの２種類の内部電極パターンを印刷するため
に、別のステンシルを２種類用意しなければならなかっ
た。
そこで、１種類のステンシルで内部電極のパターンが形
成できる方法として、例えば、特開昭57−198617号公報
に示されたように、内部電極パターンを一列おきに半ピ
ッチずらした同一配列のパターン群をグリーンシート上
に印刷、配列し、このグリーンシートを１枚おきに180
゜反転して積層する方法や、内部電極パターンを奇数列
毎に裁断し、これを順次積層する方法等が知られてい
る。
成できる方法として、例えば、特開昭57−198617号公報
に示されたように、内部電極パターンを一列おきに半ピ
ッチずらした同一配列のパターン群をグリーンシート上
に印刷、配列し、このグリーンシートを１枚おきに180
゜反転して積層する方法や、内部電極パターンを奇数列
毎に裁断し、これを順次積層する方法等が知られてい
る。
［発明が解決しようとしている課題］ しかしながら、グリーンシートを１枚おきに180゜反転
して積層する方法は、特開昭57−198617号公報にも述べ
られている通り、反転に高度の技術を要し、しかもその
反転動作がグリーンシートの積層ずれを起こす原因とな
り、積層精度が低いという欠点がある。
して積層する方法は、特開昭57−198617号公報にも述べ
られている通り、反転に高度の技術を要し、しかもその
反転動作がグリーンシートの積層ずれを起こす原因とな
り、積層精度が低いという欠点がある。
また、内部電極パターンを数列毎に裁断し、これを順次
積層する方法は、グリーンシートを180゜反転させて積
層する必要は無いが、グリーンシートを数十列或は数百
列の奇数列毎に裁断して積層する場合、ステンシル上で
数十或は数百列離れた内部電極パターン同士が上下に重
ねられることになる。そのため、ステンシル上の位置の
違い、より具体的には、その中央部と周辺部とにおける
スキージの印圧の違い等により生じる印刷ずれにより、
上下の内部電極パターンにずれが生じることが避けられ
ず、やはり積層精度に限界があった。
積層する方法は、グリーンシートを180゜反転させて積
層する必要は無いが、グリーンシートを数十列或は数百
列の奇数列毎に裁断して積層する場合、ステンシル上で
数十或は数百列離れた内部電極パターン同士が上下に重
ねられることになる。そのため、ステンシル上の位置の
違い、より具体的には、その中央部と周辺部とにおける
スキージの印圧の違い等により生じる印刷ずれにより、
上下の内部電極パターンにずれが生じることが避けられ
ず、やはり積層精度に限界があった。
近年の積層セラミックコンデンサは益々小型化し、しか
も生産性を高めるため、内部電極パターンの数百列分毎
というように大きな数量単位でグリーンシートが裁断さ
れるため、このような積層精度のずれが大きな問題とな
る。
も生産性を高めるため、内部電極パターンの数百列分毎
というように大きな数量単位でグリーンシートが裁断さ
れるため、このような積層精度のずれが大きな問題とな
る。
そこで、本発明は、より積層精度の高い積層セラミック
コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ すなわち、上記目的を達成するために、本発明では、第
一に、誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗布
し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン群
を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち抜
き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコン
デンサの製造方法において、内部電極パターンＡ、Ｂを
一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群を、
何れも同じステンシルを用いてグリーンシート12上に印
刷、配列し、上記パターン群をその奇数列分交互にずら
して打ち抜き、それらを順次積層することを特徴とする
積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。
一に、誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗布
し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン群
を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち抜
き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコン
デンサの製造方法において、内部電極パターンＡ、Ｂを
一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群を、
何れも同じステンシルを用いてグリーンシート12上に印
刷、配列し、上記パターン群をその奇数列分交互にずら
して打ち抜き、それらを順次積層することを特徴とする
積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。
第二に、誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗
布し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン
群を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち
抜き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコ
ンデンサの製造方法において、内部電極パターンＡ、Ｂ
を一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群
を、何れも同じステンシルを用いて、同パターン群の奇
数列分交互にずらしてグリーンシート12、13上に印刷、
配列し、上記パターン群をその列方向にずらさずに打ち
抜き、それらを順次積層することを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサの製造方法を提供する。
布し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン
群を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち
抜き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコ
ンデンサの製造方法において、内部電極パターンＡ、Ｂ
を一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群
を、何れも同じステンシルを用いて、同パターン群の奇
数列分交互にずらしてグリーンシート12、13上に印刷、
配列し、上記パターン群をその列方向にずらさずに打ち
抜き、それらを順次積層することを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサの製造方法を提供する。
［作用］ 上記本発明による積層セラミックコンデンサの製造方法
によれば、異なるＡパターンとＢパターンを一つのステ
ンシルを使用して印刷し、内部電極パターンを形成する
ことができる。
によれば、異なるＡパターンとＢパターンを一つのステ
ンシルを使用して印刷し、内部電極パターンを形成する
ことができる。
しかも、この場合、パターンの列は１列以上の任意の奇
数列だけずらせばよいので、その数を１列或は３列程度
と小さくすれば、ステンシル上の位置の違い、より具体
的には、その中央部と周辺部とにおけるステージの印圧
の違い等により発生する印刷ずれは、殆ど問題とならな
い。
数列だけずらせばよいので、その数を１列或は３列程度
と小さくすれば、ステンシル上の位置の違い、より具体
的には、その中央部と周辺部とにおけるステージの印圧
の違い等により発生する印刷ずれは、殆ど問題とならな
い。
よって、これらを積層、焼成した場合、パターンの重な
り精度にバラツキが生じることもなく、静電容量のバラ
ツキが極めて小さい積層セラミックコンデンサを製造す
ることができる。
り精度にバラツキが生じることもなく、静電容量のバラ
ツキが極めて小さい積層セラミックコンデンサを製造す
ることができる。
［実 施 例］ 以下、本発明の実施例について、具体的に説明を加え
る。
る。
最初に、誘電体材料となる原料粉末を印刷用のセラミッ
クグリーンシートとするまでの工程は従来例と同一であ
るため、説明は省略する。なお、従来例の第４図と同様
に、第１図及び第２図では理解を容易にするために、図
中グリーンシートの端部の四列の一部について表わして
いる。
クグリーンシートとするまでの工程は従来例と同一であ
るため、説明は省略する。なお、従来例の第４図と同様
に、第１図及び第２図では理解を容易にするために、図
中グリーンシートの端部の四列の一部について表わして
いる。
まず、第１図（ａ）のように、第一列のＡパターンを4.
0mm×0.7mmの形状のものを、0.6mmの間隔で形成する。
次に第二列のＢパターンとして、まず上記第一列のＡパ
ターンの側端部の延長線が中央に位置するように、1.8m
m×0.7mmの形状のものを形成し、その次に0.6mmの間隔
をおいて4.0mm×0.7mmの形状のものを多数形成し、最後
に上記1.8mm×0.7mmの形状のものを形成する。つまり、
Ｂパターンの第二列目は、Ａパターンの第一列目に対し
て、両端側部に形成された1.8mm×0.7mmの形状のものを
介して、半ピッチずらした同一配列のパターン群をグリ
ーンシート12上に印刷、配列する。
0mm×0.7mmの形状のものを、0.6mmの間隔で形成する。
次に第二列のＢパターンとして、まず上記第一列のＡパ
ターンの側端部の延長線が中央に位置するように、1.8m
m×0.7mmの形状のものを形成し、その次に0.6mmの間隔
をおいて4.0mm×0.7mmの形状のものを多数形成し、最後
に上記1.8mm×0.7mmの形状のものを形成する。つまり、
Ｂパターンの第二列目は、Ａパターンの第一列目に対し
て、両端側部に形成された1.8mm×0.7mmの形状のものを
介して、半ピッチずらした同一配列のパターン群をグリ
ーンシート12上に印刷、配列する。
このような同一配列のパターン群が印刷、配列された
後、第１図（ｂ）のように、上記パターン群をその奇数
列分、交互にずらして打ち抜き、それらを順次積層す
る、次にこれらを圧着して、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ−Ｙで示さ
れる位置で縦横に2.5mm×1.6mmの寸法に細断し、焼成し
た後、両端部に導電性ペーストを塗布して、焼き付け、
外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを製造し
た。
後、第１図（ｂ）のように、上記パターン群をその奇数
列分、交互にずらして打ち抜き、それらを順次積層す
る、次にこれらを圧着して、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ−Ｙで示さ
れる位置で縦横に2.5mm×1.6mmの寸法に細断し、焼成し
た後、両端部に導電性ペーストを塗布して、焼き付け、
外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを製造し
た。
次に、第二の製造方法として、第１図（ａ）で示された
ように、内部電極Ａパターン、Ｂパターンを一列おきに
半ピッチずらした同一配列のパターン群とともに、第２
図（ａ）のように、同パターン群の奇数列分交互にずら
してグリーンシート13上に印刷、配列する別のパターン
群を形成する。このように、印刷スクリーン上の同一パ
ターンから形成された上記パターン群を使用して印刷、
配列されたグリーンシート12、13を、第２図（ｂ）のよ
うに、その列方向にずらさずに打ち抜いた。そして、そ
れらを順次積層し、これらを圧着して、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ
−Ｙで示される位置で縦横に2.5mm×1.6mmの寸法に細断
して、積層セラミックコンデンサを製造した。
ように、内部電極Ａパターン、Ｂパターンを一列おきに
半ピッチずらした同一配列のパターン群とともに、第２
図（ａ）のように、同パターン群の奇数列分交互にずら
してグリーンシート13上に印刷、配列する別のパターン
群を形成する。このように、印刷スクリーン上の同一パ
ターンから形成された上記パターン群を使用して印刷、
配列されたグリーンシート12、13を、第２図（ｂ）のよ
うに、その列方向にずらさずに打ち抜いた。そして、そ
れらを順次積層し、これらを圧着して、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ
−Ｙで示される位置で縦横に2.5mm×1.6mmの寸法に細断
して、積層セラミックコンデンサを製造した。
このような上記二つの方法により製造された積層セラミ
ックコンデンサを、それぞれ無作為に100個抽出し、静
電容量を測定して、その測定分布のひろがりを標準偏差
／平均値（σ／）で示したところ、その値はσ／＝
2.3％であった。この数値の比較例として、従来の方法
によって製造された積層セラミックコンデンサを同様の
条件で測定したところ、σ／＝3.4％であった。
ックコンデンサを、それぞれ無作為に100個抽出し、静
電容量を測定して、その測定分布のひろがりを標準偏差
／平均値（σ／）で示したところ、その値はσ／＝
2.3％であった。この数値の比較例として、従来の方法
によって製造された積層セラミックコンデンサを同様の
条件で測定したところ、σ／＝3.4％であった。
［発明の効果］ 前記説明からも明らかなように、本発明による積層セラ
ミックコンデンサの製造方法によれば、パターンの積層
精度が高く、従って、静電容量のバラツキが小さい精度
の高い積層セラミックコンデンサを製造することができ
るようになる。
ミックコンデンサの製造方法によれば、パターンの積層
精度が高く、従って、静電容量のバラツキが小さい精度
の高い積層セラミックコンデンサを製造することができ
るようになる。
第１図（ａ）は、本発明の実施例１によって同一グリー
ンシート上に複数のパターンを印刷した状態を示す平面
図、第１図（ｂ）は、上記のようにして形成した複数の
パターンを積層した状態を示す平面図、第２図（ａ）
は、本発明の実施例２によって同一グリーンシート上に
複数のパターンを印刷した状態を示す平面図、第１図
（ｂ）は、上記のようにして形成した複数のパターンを
積層した状態を示す平面図、第３図（ａ）は、積層セラ
ミックコンデンサの構造を示す断面図、第３図（ｂ）
は、積層セラミックコンデンサの構造を示す一部切り欠
けた状態の斜視図、第４図（ａ）は、従来の方法によっ
て、別個のグリーンシート上にそれぞれの単一パターン
を印刷した状態を示す平面図、第４図（ｂ）は、上記の
ようにして形成した複数のパターンを積層した状態を示
す平面図である。 Ａ、Ｂ……印刷パターン、10、11、12、13……セラミッ
クグリーンシート、20a、20b……誘電体セラミック層、
21……セラミック層、22a、22b……内部電極、23a、23b
……外部電極
ンシート上に複数のパターンを印刷した状態を示す平面
図、第１図（ｂ）は、上記のようにして形成した複数の
パターンを積層した状態を示す平面図、第２図（ａ）
は、本発明の実施例２によって同一グリーンシート上に
複数のパターンを印刷した状態を示す平面図、第１図
（ｂ）は、上記のようにして形成した複数のパターンを
積層した状態を示す平面図、第３図（ａ）は、積層セラ
ミックコンデンサの構造を示す断面図、第３図（ｂ）
は、積層セラミックコンデンサの構造を示す一部切り欠
けた状態の斜視図、第４図（ａ）は、従来の方法によっ
て、別個のグリーンシート上にそれぞれの単一パターン
を印刷した状態を示す平面図、第４図（ｂ）は、上記の
ようにして形成した複数のパターンを積層した状態を示
す平面図である。 Ａ、Ｂ……印刷パターン、10、11、12、13……セラミッ
クグリーンシート、20a、20b……誘電体セラミック層、
21……セラミック層、22a、22b……内部電極、23a、23b
……外部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 彰 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−198617（ＪＰ，Ａ) 特公 昭63−49363（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】誘電体グリーンシート上に、導電ペースト
を塗布し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパタ
ーン群を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに
打ち抜き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミッ
クコンデンサの製造方法において、内部電極パターンを
一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群を、
何れも同じステンシルを用いてグリーンシート上に印
刷、配列し、上記パターン群をその奇数列分交互にずら
して打ち抜き、それらを順次積層することを特徴とする
積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 【請求項２】誘電体グリーンシート上に、導電ペースト
を塗布し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパタ
ーン群を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに
打ち抜き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミッ
クコンデンサの製造方法において、内部電極パターンを
一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン群を、
何れも同じステンシルを用いて、同パターンの奇数列分
交互にずらしてグリーンシート上に印刷、配列し、上記
パターン群をその列方向にずらさずに打ち抜き、それら
を順次積層することを特徴とする積層セラミックコンデ
ンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011541A JPH0752698B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011541A JPH0752698B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02192707A JPH02192707A (ja) | 1990-07-30 |
| JPH0752698B2 true JPH0752698B2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=11780824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011541A Expired - Lifetime JPH0752698B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0752698B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3166923B2 (ja) * | 1991-02-06 | 2001-05-14 | 株式会社村田製作所 | セラミック積層電子部品の製造方法 |
| JP4591151B2 (ja) | 2005-03-30 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | 内部電極パターンの形成方法とこれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2006332285A (ja) | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Tdk Corp | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634086A (en) * | 1979-08-30 | 1981-04-06 | Ube Industries | Waste heat recovery device for vertical baking furnace |
| JPS58127314A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-07-29 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミツクコンデンサ |
| JPS6010613A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | ソニー株式会社 | 積層セラミツクコンデンサの製法 |
| CH669309A5 (ja) * | 1985-08-26 | 1989-03-15 | Baumgartner Papiers Sa | |
| JPS62171107A (ja) * | 1986-01-23 | 1987-07-28 | ティーディーケイ株式会社 | 磁器コンデンサの製造方法 |
| JPS63265413A (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-01 | Alps Electric Co Ltd | 積層セラミツクコンデンサの製造方法 |
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1989
- 1989-01-20 JP JP1011541A patent/JPH0752698B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH02192707A (ja) | 1990-07-30 |
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