JPH0744022B2 - Ｘ線マイクロアナライザ - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザInfo
- Publication number
- JPH0744022B2 JPH0744022B2 JP63151562A JP15156288A JPH0744022B2 JP H0744022 B2 JPH0744022 B2 JP H0744022B2 JP 63151562 A JP63151562 A JP 63151562A JP 15156288 A JP15156288 A JP 15156288A JP H0744022 B2 JPH0744022 B2 JP H0744022B2
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- rays
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、試料に電子線を照射することによって試料照
射部から放射される特性Ｘ線を検出するＸ線マイクロア
ナライザに関する。
射部から放射される特性Ｘ線を検出するＸ線マイクロア
ナライザに関する。
Ｘ線マイクロアナライザ（EPMA）は、極めて細く絞った
電子線を試料に照射して、その試料照射部から放射され
る特性Ｘ線の波長と強度をＸ線分光器で測定し、その試
料照射部に含まれている元素を定性又は定量分析する装
置である。
電子線を試料に照射して、その試料照射部から放射され
る特性Ｘ線の波長と強度をＸ線分光器で測定し、その試
料照射部に含まれている元素を定性又は定量分析する装
置である。
一般に、元素の特性Ｘ線は、Ｋα、Ｋβ、Ｌα、Ｌβ、
等、多種におよぶものがあり、例えばASTM Data Series
DS37Aで規定された波長表には、千数百本のＸ線波長が
記載されている。これらのＸ線は、EPMAでも観測され
る。一方、波長分散型分光器では、Ｘ線波長の整数倍で
も回折がおこり、そのＸ線も観測される。EPMAでは、10
次線程度のＸ線まで観測され、識別されるＸ線は、１万
本を軽く越える。また、観測Ｘ線のピーク波形は、ある
広がりを持っているので、Ｘ線同士が重なって観察され
ることは日常的に起こることである。
等、多種におよぶものがあり、例えばASTM Data Series
DS37Aで規定された波長表には、千数百本のＸ線波長が
記載されている。これらのＸ線は、EPMAでも観測され
る。一方、波長分散型分光器では、Ｘ線波長の整数倍で
も回折がおこり、そのＸ線も観測される。EPMAでは、10
次線程度のＸ線まで観測され、識別されるＸ線は、１万
本を軽く越える。また、観測Ｘ線のピーク波形は、ある
広がりを持っているので、Ｘ線同士が重なって観察され
ることは日常的に起こることである。
上記のようにEPMAで観測される各Ｘ線のピークには、様
々な要素を含んでいるため、或るピークに着目した場
合、そのピークがどの元素のどの特性Ｘ線に属するか判
定するのがしばしば困難になる場合がある。
々な要素を含んでいるため、或るピークに着目した場
合、そのピークがどの元素のどの特性Ｘ線に属するか判
定するのがしばしば困難になる場合がある。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、任意の
Ｘ線スペクトルがどの元素のどのＸ線に属するかを容易
に判定することができるＸ線マイクロアナライザを提供
することを目的とするものである。
Ｘ線スペクトルがどの元素のどのＸ線に属するかを容易
に判定することができるＸ線マイクロアナライザを提供
することを目的とするものである。
そのために本発明は、試料の電子線照射部から放射され
る特性Ｘ線を検出するＸ線マイクロアナライザにおい
て、元素に対応して特性Ｘ線の種類、波長、強度等の情
報から、なる波長テーブルと、既に同定された元素の情
報が登録される同定テーブルと、Ｘ線スペクトルを表示
し特定のピークを指定して元素の同定を行う場合に波長
テーブルと同定テーブルを参照して指定されたピークの
波長から元素毎のＸ線情報を表示する表示処理手段とを
備え、該表示処理手段は、指定されたピークの波長から
所定範囲内に存在する元素のＸ線情報を表示すると共
に、所定範囲内に存在する元素のＸ線情報のうち同定テ
ーブルに存在する元素と同じ元素のＸ線情報を他と異な
る色を用いて色分け表示することを特徴とする。
る特性Ｘ線を検出するＸ線マイクロアナライザにおい
て、元素に対応して特性Ｘ線の種類、波長、強度等の情
報から、なる波長テーブルと、既に同定された元素の情
報が登録される同定テーブルと、Ｘ線スペクトルを表示
し特定のピークを指定して元素の同定を行う場合に波長
テーブルと同定テーブルを参照して指定されたピークの
波長から元素毎のＸ線情報を表示する表示処理手段とを
備え、該表示処理手段は、指定されたピークの波長から
所定範囲内に存在する元素のＸ線情報を表示すると共
に、所定範囲内に存在する元素のＸ線情報のうち同定テ
ーブルに存在する元素と同じ元素のＸ線情報を他と異な
る色を用いて色分け表示することを特徴とする。
本発明のＸ線マイクロアナライザでは、同定処理を行う
ことによって同定された元素が同定テーブルに登録され
た状態で、特定のピークを指定して元素の同定を行う場
合には、波長テーブルから当該ピークの所定範囲内にお
ける元素のＸ線が表示されると共に、予め判明している
元素のＸ線は同定テーブルをもとに色分け表示されるの
で、同定を行う場合の情報を的確に与えることができ
る。
ことによって同定された元素が同定テーブルに登録され
た状態で、特定のピークを指定して元素の同定を行う場
合には、波長テーブルから当該ピークの所定範囲内にお
ける元素のＸ線が表示されると共に、予め判明している
元素のＸ線は同定テーブルをもとに色分け表示されるの
で、同定を行う場合の情報を的確に与えることができ
る。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係るＸ線マイクロアナライザの１実施
例を説明するための図、第２図は波長テーブルの構成例
を示す図、第３図はＸ線ピークの判定範囲を説明するた
めの図、第４図は２つの元素が混在するスペクトルの例
を示す図、第５図は観察Ｘ線のマニュアルピーク同定を
説明するための図、第６図はＸ線識別処理の流れを説明
するための図である。
例を説明するための図、第２図は波長テーブルの構成例
を示す図、第３図はＸ線ピークの判定範囲を説明するた
めの図、第４図は２つの元素が混在するスペクトルの例
を示す図、第５図は観察Ｘ線のマニュアルピーク同定を
説明するための図、第６図はＸ線識別処理の流れを説明
するための図である。
第１図において、１は電子銃、２は収束レンズ、３は対
物レンズ、４は走査コイル、５は試料、６は試料ステー
ジ、７は電子線、８は特性Ｘ線、９は分光結晶、10は分
光器駆動モータ、11は検出器、12は分光器制御回路、13
は演算制御回路、14は測定回路、15は記憶装置、16は波
長テーブル、17は元素テーブル、18は出力装置を示す。
物レンズ、４は走査コイル、５は試料、６は試料ステー
ジ、７は電子線、８は特性Ｘ線、９は分光結晶、10は分
光器駆動モータ、11は検出器、12は分光器制御回路、13
は演算制御回路、14は測定回路、15は記憶装置、16は波
長テーブル、17は元素テーブル、18は出力装置を示す。
第１図に示すＸ線マイクロアナライザのシステムでは、
電子銃１により発生した電子線７を収束レンズ２、対物
レンズ３を通して細く絞って試料５に照射し、その電子
線照射部から放射された特性Ｘ線８を検出器11で検出し
ている。
電子銃１により発生した電子線７を収束レンズ２、対物
レンズ３を通して細く絞って試料５に照射し、その電子
線照射部から放射された特性Ｘ線８を検出器11で検出し
ている。
ここで、波長テーブル16は、第２図に示すように元素ご
とにＸ線種類や波長、強度等の情報からなるものであ
り、元素テーブル17は、試料に含まれている元素として
判定されたものからなるものである。また、分光器制御
回路12は、分光器駆動モータ10を制御して分光結晶９を
移動させるものであり、分光結晶９の移動と連動して検
出器11も移動し、移動位置に対応する波長の特性Ｘ線が
検出器11で検出される。そして、検出された各波長の特
性Ｘ線は、測定回路14を通して記憶装置15に記憶され、
その特性Ｘ線のスペクトルが表示装置18に出力される。
とにＸ線種類や波長、強度等の情報からなるものであ
り、元素テーブル17は、試料に含まれている元素として
判定されたものからなるものである。また、分光器制御
回路12は、分光器駆動モータ10を制御して分光結晶９を
移動させるものであり、分光結晶９の移動と連動して検
出器11も移動し、移動位置に対応する波長の特性Ｘ線が
検出器11で検出される。そして、検出された各波長の特
性Ｘ線は、測定回路14を通して記憶装置15に記憶され、
その特性Ｘ線のスペクトルが表示装置18に出力される。
演算制御回路13は、例えばコンピュータで構成され、分
光器制御回路12や測定回路14の動作制御、記憶装置15の
データの処理、表示装置18の表示画面の制御等を行うも
のであり、観察Ｘ線のマニュアルピーク同定では、試料
５から得られ記憶装置15に格納したスペクトルを表示装
置18に表示すると共に、カーソルで指定された特定のＸ
線ピークについて波長テーブル16及び元素テーブル17を
参照してＸ線の一覧表示（リストアップ）と色分け表示
を行う。なお、カーソルで指定された特定のＸ線ピーク
については、第３図に示すようにピーク強度に対しその
1/2の強度における幅（半値幅、半価幅）をとり、この
半値幅の関数としてある幅に入っている元素のＸ線をス
リトアップしている。
光器制御回路12や測定回路14の動作制御、記憶装置15の
データの処理、表示装置18の表示画面の制御等を行うも
のであり、観察Ｘ線のマニュアルピーク同定では、試料
５から得られ記憶装置15に格納したスペクトルを表示装
置18に表示すると共に、カーソルで指定された特定のＸ
線ピークについて波長テーブル16及び元素テーブル17を
参照してＸ線の一覧表示（リストアップ）と色分け表示
を行う。なお、カーソルで指定された特定のＸ線ピーク
については、第３図に示すようにピーク強度に対しその
1/2の強度における幅（半値幅、半価幅）をとり、この
半値幅の関数としてある幅に入っている元素のＸ線をス
リトアップしている。
次に、演算制御回路13での観察Ｘ線のマニュアルピーク
同定における表示制御を第４図〜第６図により説明す
る。
同定における表示制御を第４図〜第６図により説明す
る。
第４図に示すスペクトルは、元素Ａの特性Ｘ線AX1、AX2
と元素Ｂの特性Ｘ線BX1、BX2が存在し、このうち、特性
Ｘ線AX2とBX1は、ピーク位置が近づいていて分離が困難
な場合を示している。従って、このような関係にある場
合、実際の試料では、一方の元素は全く含まれていない
かも知れないし、両方の元素が含まれているかも知れな
いため、そのいずれであるかを調べることが必要であ
る。
と元素Ｂの特性Ｘ線BX1、BX2が存在し、このうち、特性
Ｘ線AX2とBX1は、ピーク位置が近づいていて分離が困難
な場合を示している。従って、このような関係にある場
合、実際の試料では、一方の元素は全く含まれていない
かも知れないし、両方の元素が含まれているかも知れな
いため、そのいずれであるかを調べることが必要であ
る。
そこで、試料に含まれる元素の同定方法において、ある
特定のＸ線ピークがどの元素のどの特性Ｘ線であるかを
調べるには、第６図に示すようにまず記憶装置15からＸ
線スペクトルデータを読み出して表示装置18の画面上に
Ｘ線スペクトルを表示する。Ｘ線スペクトルが表示され
ると、オペレータが、第５図に示すように画面上でマウ
ス等を使用してカーソルを目的のＸ線スペクトルに合わ
せるので、このカーソルで指定されたＸ線ピークを選ぶ
（、）。
特定のＸ線ピークがどの元素のどの特性Ｘ線であるかを
調べるには、第６図に示すようにまず記憶装置15からＸ
線スペクトルデータを読み出して表示装置18の画面上に
Ｘ線スペクトルを表示する。Ｘ線スペクトルが表示され
ると、オペレータが、第５図に示すように画面上でマウ
ス等を使用してカーソルを目的のＸ線スペクトルに合わ
せるので、このカーソルで指定されたＸ線ピークを選ぶ
（、）。
他方、Ｘ線波長テーブルを参照してＸ線スペクトルの位
置と波長テーブルを順次比較しそのピーク位置に近いも
のを調べて第５図BX1、CX1、AX1、……のようにリスト
アップする。この際、波長テーブルは、分光器位置補正
機構を通して補正された値を用いる。これは、実際の分
光器の読みと理論的なＸ線の位置を補正するためのもの
で、補正量は、予め標準試料を用いてＸ線の位置の関数
として決められる。また、観測されるＸ線ピークはある
幅をもっているので、Ｘ線が適合しているかどうかは、
半値幅の関数としてある幅を与えておき、その範囲内に
入っている場合には、その可能性ありと判定する（〜
）。
置と波長テーブルを順次比較しそのピーク位置に近いも
のを調べて第５図BX1、CX1、AX1、……のようにリスト
アップする。この際、波長テーブルは、分光器位置補正
機構を通して補正された値を用いる。これは、実際の分
光器の読みと理論的なＸ線の位置を補正するためのもの
で、補正量は、予め標準試料を用いてＸ線の位置の関数
として決められる。また、観測されるＸ線ピークはある
幅をもっているので、Ｘ線が適合しているかどうかは、
半値幅の関数としてある幅を与えておき、その範囲内に
入っている場合には、その可能性ありと判定する（〜
）。
そして、所定の範囲内に入っている可能性のあるＸ線
は、第５図に示すようにテーブルの形で画面上に表示す
る。このとき、上述の同定元素テーブルと比較し、その
中の元素のＸ線であるときは、色分け表示する（〜
）。
は、第５図に示すようにテーブルの形で画面上に表示す
る。このとき、上述の同定元素テーブルと比較し、その
中の元素のＸ線であるときは、色分け表示する（〜
）。
また、第２図に示すように波長テーブルには、元素ごと
にＸ線の種類や波長と共に強度の情報があるので、検出
されたＸ線ピークと元素のKLM線との比較を行うと共
に、波長テーブル情報の強度と表示されているスペクト
ル強度との比較等に基づいて元素を確からしさを判定
し、その順にランク分けする。例えばＡランクは試料に
含まれているのがほぼ確実な元素とし、Ｂランクは試料
に含まれているかもしれない元素、Ｃランクはあまり可
能性はない元素とする。そして、試料に含まれる元素の
同定では、この中から最も確からしい元素を選ぶことに
なる。
にＸ線の種類や波長と共に強度の情報があるので、検出
されたＸ線ピークと元素のKLM線との比較を行うと共
に、波長テーブル情報の強度と表示されているスペクト
ル強度との比較等に基づいて元素を確からしさを判定
し、その順にランク分けする。例えばＡランクは試料に
含まれているのがほぼ確実な元素とし、Ｂランクは試料
に含まれているかもしれない元素、Ｃランクはあまり可
能性はない元素とする。そして、試料に含まれる元素の
同定では、この中から最も確からしい元素を選ぶことに
なる。
このように本発明は、既に試料に含まれている元素が何
らかの方法により知られているときはその情報が役立つ
のでこれを活用したものである。あるピークに属するか
もしれないＸ線は、数十本になることも稀ではないの
で、既に判定されている元素のＸ線を色分けするのは実
用上大変便利である。
らかの方法により知られているときはその情報が役立つ
のでこれを活用したものである。あるピークに属するか
もしれないＸ線は、数十本になることも稀ではないの
で、既に判定されている元素のＸ線を色分けするのは実
用上大変便利である。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例で
は、可能性ありと判定したＸ線を色分け表示したが、A,
B,Cのランク別に色分けしてもよい。また、可能性のあ
るＸ線テーブルの内、任意のものを選んだとき、その元
素の全Ｘ線をKLMマーカとしてＸ線スペクトルと重ねて
表示してもよい。このようにすることによってさらに判
りやすく表示することができ、より詳しくＸ線スペクト
ルの解析を行うことができる。
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例で
は、可能性ありと判定したＸ線を色分け表示したが、A,
B,Cのランク別に色分けしてもよい。また、可能性のあ
るＸ線テーブルの内、任意のものを選んだとき、その元
素の全Ｘ線をKLMマーカとしてＸ線スペクトルと重ねて
表示してもよい。このようにすることによってさらに判
りやすく表示することができ、より詳しくＸ線スペクト
ルの解析を行うことができる。
上述のように任意のＸ線スペクトルがどの元素のどのＸ
線に属するかは、波長テーブルとの比較によって行う
が、可能性のあるＸ線が数十本にのぼることも稀ではな
い。以上の説明から明らかなように、本発明によれば、
このような場合にも予め判明している元素のＸ線につい
ては、色分けをして表示するので、Ｘ線の同定が誤って
なされる可能性を減少させることができる。
線に属するかは、波長テーブルとの比較によって行う
が、可能性のあるＸ線が数十本にのぼることも稀ではな
い。以上の説明から明らかなように、本発明によれば、
このような場合にも予め判明している元素のＸ線につい
ては、色分けをして表示するので、Ｘ線の同定が誤って
なされる可能性を減少させることができる。
また、Ｘ線マイクロアナライザにおいて、分光結晶の分
光範囲の関係から全分光範囲をスキャンするためには、
数本（最低４本）のＸ線スペクトルが必要である。従っ
て、１本のスペクトルのみを観ているときには、他のス
ペクトルに含まれるピークを見逃して判定ミスを犯すこ
とがあるが、本発明によればその判定ミスも減少させる
ことができる。
光範囲の関係から全分光範囲をスキャンするためには、
数本（最低４本）のＸ線スペクトルが必要である。従っ
て、１本のスペクトルのみを観ているときには、他のス
ペクトルに含まれるピークを見逃して判定ミスを犯すこ
とがあるが、本発明によればその判定ミスも減少させる
ことができる。
第１図は本発明に係るＸ線マイクロアナライザの１実施
例を説明するための図、第２図は波長テーブルの構成例
を示す図、第３図はＸ線ピークの判定範囲を説明するた
めの図、第４図は２つの元素が混在するスペクトルの例
を示す図、第５図は観察Ｘ線のマニュアルピーク同定を
説明するための図、第６図はＸ線識別処理の流れを説明
するための図である。 １……電子銃、２……収束レンズ、３……対物レンズ、
４……走査コイル、５……試料、６……試料ステージ、
７……電子線、８……特性Ｘ線、９……分光結晶、10…
…分光器駆動モータ、11……検出器、12……分光器制御
回路、13……演算制御回路、14……測定回路、15……記
憶装置、16……波長テーブル、17……元素テーブル、18
……出力装置。
例を説明するための図、第２図は波長テーブルの構成例
を示す図、第３図はＸ線ピークの判定範囲を説明するた
めの図、第４図は２つの元素が混在するスペクトルの例
を示す図、第５図は観察Ｘ線のマニュアルピーク同定を
説明するための図、第６図はＸ線識別処理の流れを説明
するための図である。 １……電子銃、２……収束レンズ、３……対物レンズ、
４……走査コイル、５……試料、６……試料ステージ、
７……電子線、８……特性Ｘ線、９……分光結晶、10…
…分光器駆動モータ、11……検出器、12……分光器制御
回路、13……演算制御回路、14……測定回路、15……記
憶装置、16……波長テーブル、17……元素テーブル、18
……出力装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 康二 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−179641（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−135849（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】試料の電子線照射部から放射される特性Ｘ
線を検出するＸ線マイクロアナライザにおいて、元素に
対応して特性Ｘ線の種類、波長、強度等の情報からなる
波長テーブルと、既に同定された元素の情報が登録され
る同定テーブルと、Ｘ線スペクトルを表示し特定のピー
クを指定して元素の同定を行う場合に波長テーブルと同
定テーブルを参照して指定されたピークの波長から元素
毎のＸ線情報を表示する表示処理手段とを備え、該表示
処理手段は、指定されたピークの波長から所定範囲内に
存在する元素のＸ線情報を表示する共に、所定範囲内に
存在する元素のＸ線情報のうち同定テーブルに存在する
元素と同じ元素のＸ線情報を他と異なる色を用いて色分
け表示することを特徴とするＸ線マイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63151562A JPH0744022B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63151562A JPH0744022B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319239A JPH01319239A (ja) | 1989-12-25 |
| JPH0744022B2 true JPH0744022B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=15521244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63151562A Expired - Fee Related JPH0744022B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744022B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7325849B2 (ja) * | 2021-10-28 | 2023-08-15 | 株式会社リガク | ピーク同定解析プログラム及び蛍光ｘ線分析装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0678998B2 (ja) * | 1983-12-26 | 1994-10-05 | 株式会社島津製作所 | 定性分析装置 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP63151562A patent/JPH0744022B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01319239A (ja) | 1989-12-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |