JPH073483B2 - 銀 鏡 - Google Patents
銀 鏡Info
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- JPH073483B2 JPH073483B2 JP60125210A JP12521085A JPH073483B2 JP H073483 B2 JPH073483 B2 JP H073483B2 JP 60125210 A JP60125210 A JP 60125210A JP 12521085 A JP12521085 A JP 12521085A JP H073483 B2 JPH073483 B2 JP H073483B2
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- C03C2217/00—Coatings on glass
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- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、耐久性の向上された銀鏡、特に銀の裏面鏡に
関するものである。
関するものである。
［従来の技術］ 反射率の高い金属を、真空プロセスによってガラス、プ
ラスチック等の基体上に形成させ、鏡とすることは、よ
く知られている。特に、反射率の高い鏡が必要な場合に
は銀又はアルミニウムが用いられるが、なかでも、銀の
反射率が可視から赤外の波長域において最も高く、反射
率の点からは最も好ましい。しかし、銀膜には、 （１）膜が軟く傷がつきやすい。
ラスチック等の基体上に形成させ、鏡とすることは、よ
く知られている。特に、反射率の高い鏡が必要な場合に
は銀又はアルミニウムが用いられるが、なかでも、銀の
反射率が可視から赤外の波長域において最も高く、反射
率の点からは最も好ましい。しかし、銀膜には、 （１）膜が軟く傷がつきやすい。
（２）温度、湿度の変化に弱く、劣化しやすい。
（３）基体との付着力が弱く、はがれやすい。
等の欠点がある。このため、適当な保護層を銀膜の上に
形成して、（１）、（２）の欠点を緩和してやることが
望ましい。また、（３）の欠点をなくすために、基体に
適当な下地処理をしてやることが望ましい。
形成して、（１）、（２）の欠点を緩和してやることが
望ましい。また、（３）の欠点をなくすために、基体に
適当な下地処理をしてやることが望ましい。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明はかかる点に着目したものであり、前述したよう
な欠点を解消し、耐久性の優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供することを目的とするものである。
な欠点を解消し、耐久性の優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は前述の目的を達成すべくなされたものであり、
基体面と反射膜である800〜2000Åの銀膜との間にNi−C
r合金膜又はZrO2膜又はIn2O3膜を10〜100Åの膜厚で接
着層として介在させ、更に上記銀膜上に順次100〜5000
ÅのNi−Cr合金膜と1000〜10000ÅのSiO2膜とが保護層
として設けられてなる、付着力、耐久性に優れた銀鏡、
特に銀の裏面鏡を提供するものである。
基体面と反射膜である800〜2000Åの銀膜との間にNi−C
r合金膜又はZrO2膜又はIn2O3膜を10〜100Åの膜厚で接
着層として介在させ、更に上記銀膜上に順次100〜5000
ÅのNi−Cr合金膜と1000〜10000ÅのSiO2膜とが保護層
として設けられてなる、付着力、耐久性に優れた銀鏡、
特に銀の裏面鏡を提供するものである。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
第１図は、本発明の実施例に係る銀鏡の断面図を示した
ものであり、図において、１は基体、２は銀膜、３はNi
−Cr合金膜、４はSiO2膜、５は接着層を示す。第１図
は、ガラス、プラスチック、セラミック等の透明性の高
い材料からなる板状の基体１面上に反射膜としての膜厚
800Å〜2000Åの真空蒸着法、スパッタリング法等の真
空プロセスにより形成された銀膜２と、その上に保護層
としてNi−Cr合金膜及びSiO2膜とを順次形成してなる表
面の耐久性の向上された銀鏡を示したものであり、基体
１面上に基体面の銀膜との付着力を高めるためにNi−Cr
合金膜、又はZrO2膜、又はIn2O3膜を接着層５として形
成してなる表面の耐久性及び銀膜の付着性の改善された
銀鏡を示したものである。
ものであり、図において、１は基体、２は銀膜、３はNi
−Cr合金膜、４はSiO2膜、５は接着層を示す。第１図
は、ガラス、プラスチック、セラミック等の透明性の高
い材料からなる板状の基体１面上に反射膜としての膜厚
800Å〜2000Åの真空蒸着法、スパッタリング法等の真
空プロセスにより形成された銀膜２と、その上に保護層
としてNi−Cr合金膜及びSiO2膜とを順次形成してなる表
面の耐久性の向上された銀鏡を示したものであり、基体
１面上に基体面の銀膜との付着力を高めるためにNi−Cr
合金膜、又はZrO2膜、又はIn2O3膜を接着層５として形
成してなる表面の耐久性及び銀膜の付着性の改善された
銀鏡を示したものである。
銀鏡の銀膜の表面の保護層に要求される第一の特性は硬
さである。銀膜の形成時の基体温度は、高反射率を得る
ために室温から通常100℃程度であることが望ましいた
め、保護層もこの程度の温度で高硬度の得られる膜材料
である必要がある。そのような膜材料として、最も広く
知られているのはSiO2である。ところが、SiO2膜は銀膜
とのなじみが悪く、膜厚を大きくしていくと、SiO2膜固
有の圧縮応力のため、銀膜との界面から剥離してしま
う。
さである。銀膜の形成時の基体温度は、高反射率を得る
ために室温から通常100℃程度であることが望ましいた
め、保護層もこの程度の温度で高硬度の得られる膜材料
である必要がある。そのような膜材料として、最も広く
知られているのはSiO2である。ところが、SiO2膜は銀膜
とのなじみが悪く、膜厚を大きくしていくと、SiO2膜固
有の圧縮応力のため、銀膜との界面から剥離してしま
う。
そこで本発明においては、銀膜とSiO2膜の間にこの両者
との付着性のよいNi−Cr合金膜を介在させることによ
り、全体として耐久性の高い銀鏡、特に銀の裏面鏡を実
現したのである。
との付着性のよいNi−Cr合金膜を介在させることによ
り、全体として耐久性の高い銀鏡、特に銀の裏面鏡を実
現したのである。
銀鏡の上のNi−Cr合金膜としては、NiとCrを主成分とし
て含む合金、特にNiを10〜90wt％、Crを10〜90wt％含む
合金、であればよく、特に、鉄を含んでもかまわない
（例えば、インコネル）。
て含む合金、特にNiを10〜90wt％、Crを10〜90wt％含む
合金、であればよく、特に、鉄を含んでもかまわない
（例えば、インコネル）。
かかるNi−Cr合金膜は銀膜とSiO2膜の付着力の向上に効
果的であり、また、耐久性が高いので最適である。この
Ni−Cr合金膜は銀膜と同じく真空プロセスによって形成
され、その厚みとしては100Å〜5000Å、好ましくは300
Å〜2000Å、の範囲にあることが、耐久性と経済性の点
から望ましい。100Åより薄い場合には銀膜とSiO2膜の
付着力の向上に効果的でなくなり好ましくない、また、
5000Åより厚い場合にはNi−Cr合金膜自体の内部応力に
より付着力が低下することと経済性の点から好ましくな
い。
果的であり、また、耐久性が高いので最適である。この
Ni−Cr合金膜は銀膜と同じく真空プロセスによって形成
され、その厚みとしては100Å〜5000Å、好ましくは300
Å〜2000Å、の範囲にあることが、耐久性と経済性の点
から望ましい。100Åより薄い場合には銀膜とSiO2膜の
付着力の向上に効果的でなくなり好ましくない、また、
5000Åより厚い場合にはNi−Cr合金膜自体の内部応力に
より付着力が低下することと経済性の点から好ましくな
い。
また、SiO2膜も、銀膜及びNi−Cr合金膜と同じ真空プロ
セスによって形成され、その厚みとしては1000〜10000
Å、好ましくは2000〜5000Å、の範囲にあることが、耐
久性の点から望ましい。1000Åより薄すぎると耐久性、
特に耐擦傷性が弱くなり、また、10000Åより厚すぎる
と、内部応力により、剥離が発生しやすくなる。
セスによって形成され、その厚みとしては1000〜10000
Å、好ましくは2000〜5000Å、の範囲にあることが、耐
久性の点から望ましい。1000Åより薄すぎると耐久性、
特に耐擦傷性が弱くなり、また、10000Åより厚すぎる
と、内部応力により、剥離が発生しやすくなる。
以上のように、銀膜の保護層としてNi−Cr合金膜とSiO2
膜を積層することにより、耐久性に優れた銀鏡、特に銀
の裏面鏡を得ることができる。
膜を積層することにより、耐久性に優れた銀鏡、特に銀
の裏面鏡を得ることができる。
更に、銀膜と基体との付着力を改善する必要がある。そ
こで、本発明者らは、種々の材料をこの界面における接
着層として探索した結果、Ni−Cr合金、ZrO2、In2O3が
目的に適う材料であることを見出した。なお、接着層と
して用いられるNi−Cr合金も、前述した保護層の一部と
して用いられるNi−Cr合金と同種のものが使用される。
こで、本発明者らは、種々の材料をこの界面における接
着層として探索した結果、Ni−Cr合金、ZrO2、In2O3が
目的に適う材料であることを見出した。なお、接着層と
して用いられるNi−Cr合金も、前述した保護層の一部と
して用いられるNi−Cr合金と同種のものが使用される。
基体面と銀膜との間に付着力向上のために介在させるNi
−Cr合金膜、ZrO2膜、又はIn2O3膜からなる接着層は銀
膜及び前述の保護層と同じ真空プロセスにより形成する
ことができ、その膜厚は100Å以下、好ましくは50Å以
下で、また、10Å以上である。これ以上の膜厚とする
と、裏面鏡としての反射率が損なわれてしまい、また、
10Åより薄いと付着性向上に効果的でなくなるからであ
る。
−Cr合金膜、ZrO2膜、又はIn2O3膜からなる接着層は銀
膜及び前述の保護層と同じ真空プロセスにより形成する
ことができ、その膜厚は100Å以下、好ましくは50Å以
下で、また、10Å以上である。これ以上の膜厚とする
と、裏面鏡としての反射率が損なわれてしまい、また、
10Åより薄いと付着性向上に効果的でなくなるからであ
る。
この接着層の存在により、銀膜の基体への付着力が良好
となり、前述の保護層と組み合わせれば、全体として、
付着力が良好で、しかも耐久性に優れる銀鏡、特に銀の
裏面鏡を実現することができる。
となり、前述の保護層と組み合わせれば、全体として、
付着力が良好で、しかも耐久性に優れる銀鏡、特に銀の
裏面鏡を実現することができる。
［実施例］ 実施例１ フローガラス板からなる基体（寸法50mm×60mm×2mm）
を真空槽内に設置し、２×10-5Torr以下に排気し、電子
ビーム加熱真空蒸着法によりNi−Cr合金（Ni:80wt％、C
r:20wt％）、Ag、Ni−Cr合金（Ni:80wt％、Cr:20wt
％）、SiO2をこの順に真空蒸着し、上記基体上にNi−Cr
合金膜、銀膜、Ni−Cr合金膜、SiO2膜の順に形成した。
この時、基体温度は100℃とした。基体と銀膜との間の
接着層のNi−Cr合金膜の厚みは約20Å、他の層の膜厚は
銀膜が約1500Å、Ni−Cr合金膜が約1000Å、SiO2膜が約
3000Åとなるようにした。こうして得られた第１図のよ
うな構成の銀の裏面鏡をサンプル１とした。
を真空槽内に設置し、２×10-5Torr以下に排気し、電子
ビーム加熱真空蒸着法によりNi−Cr合金（Ni:80wt％、C
r:20wt％）、Ag、Ni−Cr合金（Ni:80wt％、Cr:20wt
％）、SiO2をこの順に真空蒸着し、上記基体上にNi−Cr
合金膜、銀膜、Ni−Cr合金膜、SiO2膜の順に形成した。
この時、基体温度は100℃とした。基体と銀膜との間の
接着層のNi−Cr合金膜の厚みは約20Å、他の層の膜厚は
銀膜が約1500Å、Ni−Cr合金膜が約1000Å、SiO2膜が約
3000Åとなるようにした。こうして得られた第１図のよ
うな構成の銀の裏面鏡をサンプル１とした。
実施例２ 基体と銀膜との間の接着層を約30ÅのZrO2膜とした以外
は実施例１と同様にして銀の裏面鏡を作成し、サンプル
２とした。
は実施例１と同様にして銀の裏面鏡を作成し、サンプル
２とした。
実施例３ 基体と銀膜との間の接着層を約30ÅのIn2O3膜とした以
外は実施例１と同様にして銀の裏面鏡を作成し、サンプ
ル３とした。
外は実施例１と同様にして銀の裏面鏡を作成し、サンプ
ル３とした。
比較例 実施例１と同様にして、同上のフロートガラス基体上に
Agを蒸着した。得られた銀膜の膜厚は約1500Åであっ
た。これをサンプル４とした。
Agを蒸着した。得られた銀膜の膜厚は約1500Åであっ
た。これをサンプル４とした。
上記の各サンプル１〜４を次の耐久性試験に供した。
（１）耐擦傷試験；事務用消しゴムに1kg/cm2の荷重を
かけ20往復膜面をこすった後表面を目視した。
かけ20往復膜面をこすった後表面を目視した。
（２）耐湿試験;50℃、95％RH雰囲気中に３日間放置し
た後表面を目視した。また、550nmにおける反射率を測
定した。
た後表面を目視した。また、550nmにおける反射率を測
定した。
（３）テープ試験；セロハンテープを膜面に強く貼り付
け、勢よくはがした時の膜の剥離を調べた。
け、勢よくはがした時の膜の剥離を調べた。
上記した耐久性試験を行なった結果を表１に示す。
［発明の効果］ 以上の結果から、本発明による保護層を備えた銀鏡が耐
擦傷性及び耐湿度性において優れた性能を有することが
明らかである。また、付着力においても優れた性能を有
することが明らかである。
擦傷性及び耐湿度性において優れた性能を有することが
明らかである。また、付着力においても優れた性能を有
することが明らかである。
本発明の銀鏡の製造は、全てのプロセスを同一の真空プ
ロセス（例えば真空蒸着法、スパッタリング法等）によ
り行なうことが可能であり、製造上大変好ましい。
ロセス（例えば真空蒸着法、スパッタリング法等）によ
り行なうことが可能であり、製造上大変好ましい。
第１図は、本発明の銀鏡の一実施例を示す概略断面図で
ある。 図において、１は基体、２は銀膜、３はNi−Cr合金膜、
４はSiO2膜、５は接着層を示している。
ある。 図において、１は基体、２は銀膜、３はNi−Cr合金膜、
４はSiO2膜、５は接着層を示している。
Claims (1)
- 【請求項１】基体上に反射膜として800〜2000Åの銀膜
が形成されてなる銀鏡において、銀膜と基体との間にNi
−Cr合金膜、ZrO2膜、又はIn2O3膜からなる10〜100Åの
膜厚の接着層が介在され、上記銀膜上に順次、100〜500
0ÅのNi−Cr合金膜と1000〜10000ÅのSiO2膜とが保護層
として形成されてなることを特徴とする銀鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60125210A JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60125210A JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284703A JPS61284703A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH073483B2 true JPH073483B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=14904604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60125210A Expired - Fee Related JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073483B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145438A1 (ja) | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 日本電気硝子株式会社 | 反射部材 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE73742T1 (de) * | 1987-08-08 | 1992-04-15 | Leybold Ag | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben. |
| US5201926A (en) * | 1987-08-08 | 1993-04-13 | Leybold Aktiengesellschaft | Method for the production of coated glass with a high transmissivity in the visible spectral range and with a high reflectivity for thermal radiation |
| JPH01279201A (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-09 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 反射体 |
| DE4301463A1 (de) * | 1993-01-20 | 1994-07-21 | Wissenschaftlich Tech Optikzen | Verfahren zur Beschichtung von Spiegeln hoher Reflektivität und Spiegel mit einer Beschichtung |
| CA2120877A1 (en) * | 1993-04-28 | 1994-10-29 | Jesse D. Wolfe | Durable first and second surface mirrors |
| US6416194B1 (en) * | 1999-02-11 | 2002-07-09 | Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. | Thermostable back-surface mirrors |
| JP2007147667A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Optorun Co Ltd | 銀ミラー |
| JP6302688B2 (ja) * | 2014-02-03 | 2018-03-28 | ジオマテック株式会社 | 高反射膜、高反射膜付き基板及び高反射膜の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5689702A (en) * | 1979-12-21 | 1981-07-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Laser beam reflecting mirror |
| JPS5942284A (ja) * | 1982-09-03 | 1984-03-08 | 株式会社日立製作所 | マスタスレ−ブ形サ−ボマニプレ−タ |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP60125210A patent/JPH073483B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145438A1 (ja) | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 日本電気硝子株式会社 | 反射部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61284703A (ja) | 1986-12-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |