JPH07330157A - アーム型搬送装置 - Google Patents
アーム型搬送装置Info
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- JPH07330157A JPH07330157A JP12660894A JP12660894A JPH07330157A JP H07330157 A JPH07330157 A JP H07330157A JP 12660894 A JP12660894 A JP 12660894A JP 12660894 A JP12660894 A JP 12660894A JP H07330157 A JPH07330157 A JP H07330157A
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- Japan
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- arm
- substrate
- support member
- horizontal
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板保持部の搬送姿勢を適正に維持する。
【構成】 このアーム型搬送装置は、被搬送物Wを水平
に保持して搬送するものであり、ベース55と、被搬送
物Wがその上に載置される基板保持部42と、一端がベ
ース55に垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が
支持部材42に連結されて、その回転によって支持部材
42を移動させて、支持部材42の上に載置された被搬
送物Wを搬送する第1移動アーム40および第2移動ア
ーム41を有する回転アーム機構と、回転アーム機構が
回転しても支持部材42上に載置された被搬送物Wが常
に水平に維持されるようにする水平維持機構50とを備
える。
に保持して搬送するものであり、ベース55と、被搬送
物Wがその上に載置される基板保持部42と、一端がベ
ース55に垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が
支持部材42に連結されて、その回転によって支持部材
42を移動させて、支持部材42の上に載置された被搬
送物Wを搬送する第1移動アーム40および第2移動ア
ーム41を有する回転アーム機構と、回転アーム機構が
回転しても支持部材42上に載置された被搬送物Wが常
に水平に維持されるようにする水平維持機構50とを備
える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アーム型搬送装置、特
に、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型搬送装
置に関する。
に、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型搬送装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】アーム型搬送装置は、例えば、半導体ウ
エハ、液晶用ガラス角型基板、カラーフィルタ用基板、
サーマルヘッド用セラミック基板、プリント基板などの
各種基板を、複数の処理部間で、あるいは、処理部とカ
セットなどの収納部との間で搬送するのに用いられてい
る。
エハ、液晶用ガラス角型基板、カラーフィルタ用基板、
サーマルヘッド用セラミック基板、プリント基板などの
各種基板を、複数の処理部間で、あるいは、処理部とカ
セットなどの収納部との間で搬送するのに用いられてい
る。
【0003】従来のアーム型搬送装置として、ベースと
それに連結された回転アーム機構とを備えたものがあ
る。回転アーム機構には、一端がベースに垂直軸回りに
回転可能に支持されかつ他端が支持部材に連結されて、
その回転によって支持部材を移動させて、支持部材の上
に載置された被搬送物を搬送するアームを有する。
それに連結された回転アーム機構とを備えたものがあ
る。回転アーム機構には、一端がベースに垂直軸回りに
回転可能に支持されかつ他端が支持部材に連結されて、
その回転によって支持部材を移動させて、支持部材の上
に載置された被搬送物を搬送するアームを有する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来のアーム型搬
送装置では、アームが延びてアームの先端がベースから
離れるほどアームの自重による下向きのモーメント力が
大きくなり、アームに下向きの撓みが生じることにな
る。また、搬送する物品が大型化し重量が増えるほど下
向きの撓みも増える。アームが下向きに撓むと、支持部
材が傾斜し、支持部材に保持された被搬送物が正しい姿
勢で保持されなくなる。
送装置では、アームが延びてアームの先端がベースから
離れるほどアームの自重による下向きのモーメント力が
大きくなり、アームに下向きの撓みが生じることにな
る。また、搬送する物品が大型化し重量が増えるほど下
向きの撓みも増える。アームが下向きに撓むと、支持部
材が傾斜し、支持部材に保持された被搬送物が正しい姿
勢で保持されなくなる。
【0005】例えば、半導体基板を処理装置で搬送する
場合、基板を正確な水平状態で取り扱わなければならな
いことが多い。基板が傾いた状態では、処理装置の所定
位置に正確に基板を配置できなかったり、搬送装置から
処理装置への基板を円滑に移し替えられなかったりす
る。本発明の目的は、被搬送物の搬送状態を適正に維持
することのできる搬送装置を提供することにある。また
別の目的は、単純な構成で被搬送物の搬送状態を適正に
維持することのできる搬送装置を提供することにある。
場合、基板を正確な水平状態で取り扱わなければならな
いことが多い。基板が傾いた状態では、処理装置の所定
位置に正確に基板を配置できなかったり、搬送装置から
処理装置への基板を円滑に移し替えられなかったりす
る。本発明の目的は、被搬送物の搬送状態を適正に維持
することのできる搬送装置を提供することにある。また
別の目的は、単純な構成で被搬送物の搬送状態を適正に
維持することのできる搬送装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係るアーム型搬
送装置は、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型
搬送装置において、ベースと支持部材と回転アーム機構
と水平維持機構とを備えている。支持部材は、被搬送物
がその上に載置される。回転アーム機構は、一端がベー
スに垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が支持部
材に連結されて、その回転によって支持部材を移動させ
て、支持部材の上に載置された被搬送物を搬送するアー
ムを有する。水平維持機構は、回転アーム機構が回転し
ても支持部材上に載置された被搬送物が常に水平に維持
されるようにする。
送装置は、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型
搬送装置において、ベースと支持部材と回転アーム機構
と水平維持機構とを備えている。支持部材は、被搬送物
がその上に載置される。回転アーム機構は、一端がベー
スに垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が支持部
材に連結されて、その回転によって支持部材を移動させ
て、支持部材の上に載置された被搬送物を搬送するアー
ムを有する。水平維持機構は、回転アーム機構が回転し
ても支持部材上に載置された被搬送物が常に水平に維持
されるようにする。
【0007】なお、前記水平維持機構はベースとアーム
との間あるいはアームと支持部材との間に設けられてい
るものが好ましい。前記水平維持機構がベースとアーム
との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜した
第1傾斜面を有するとともにベースに固定された第1傾
斜部材と、アームに連結されて第1傾斜面上を移動する
第2傾斜部材とを有するものが好ましい。
との間あるいはアームと支持部材との間に設けられてい
るものが好ましい。前記水平維持機構がベースとアーム
との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜した
第1傾斜面を有するとともにベースに固定された第1傾
斜部材と、アームに連結されて第1傾斜面上を移動する
第2傾斜部材とを有するものが好ましい。
【0008】また、前記水平維持機構がアームと支持部
材との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜し
た第2傾斜面を有するとともにアームに固定された第3
傾斜部材と、支持部材に連結されて第2傾斜面上を移動
する第4傾斜部材とを有することが好ましい。
材との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜し
た第2傾斜面を有するとともにアームに固定された第3
傾斜部材と、支持部材に連結されて第2傾斜面上を移動
する第4傾斜部材とを有することが好ましい。
【0009】
【作用】本発明に係るアーム型搬送装置では、回転アー
ム機構の作動により、アームの伸縮動作が行われる。こ
の伸縮動作の際に、水平維持機構が、被搬送物の保持姿
勢が水平になるように支持部材の姿勢を変更する。ここ
では、被搬送物の搬送状態を適正に維持することができ
る。
ム機構の作動により、アームの伸縮動作が行われる。こ
の伸縮動作の際に、水平維持機構が、被搬送物の保持姿
勢が水平になるように支持部材の姿勢を変更する。ここ
では、被搬送物の搬送状態を適正に維持することができ
る。
【0010】なお、前記水平維持機構はベースとアーム
との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持機
構が、水平面に対して傾斜した第1傾斜面を有するとと
もにベースに固定された第1傾斜部材と、アームに連結
されて第1傾斜面上を移動する第2傾斜部材とを有する
ものであれば、第1傾斜面に対して第2傾斜部材が移動
することでアームに連結された支持部材の姿勢を変更す
る。ここでは、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正
に維持することができる。
との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持機
構が、水平面に対して傾斜した第1傾斜面を有するとと
もにベースに固定された第1傾斜部材と、アームに連結
されて第1傾斜面上を移動する第2傾斜部材とを有する
ものであれば、第1傾斜面に対して第2傾斜部材が移動
することでアームに連結された支持部材の姿勢を変更す
る。ここでは、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正
に維持することができる。
【0011】また、前記水平維持機構はアームと支持部
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第2傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第3傾斜部材と、支持部材に
連結されて第2傾斜面上を移動する第4傾斜部材とを有
するものであれば、第2傾斜面に対して第4傾斜部材が
移動することで支持部材の姿勢を変更する。ここでは、
簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正に維持すること
ができる。
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第2傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第3傾斜部材と、支持部材に
連結されて第2傾斜面上を移動する第4傾斜部材とを有
するものであれば、第2傾斜面に対して第4傾斜部材が
移動することで支持部材の姿勢を変更する。ここでは、
簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正に維持すること
ができる。
【0012】
【実施例】図1及び図2において、本発明の一実施例を
採用した基板処理装置1は、多数の角型基板Wを収納し
たカセットC1,C2を載置する基板搬入・搬出部2
と、基板Wに一連の処理を行う処理ユニット部3と、基
板搬入・搬出部2と処理ユニット部3との間で基板Wを
搬送する基板搬送部4とを有している。
採用した基板処理装置1は、多数の角型基板Wを収納し
たカセットC1,C2を載置する基板搬入・搬出部2
と、基板Wに一連の処理を行う処理ユニット部3と、基
板搬入・搬出部2と処理ユニット部3との間で基板Wを
搬送する基板搬送部4とを有している。
【0013】基板搬入・搬出部2は、カセットC1,C
2が載置されるカセット載置台IDと、カセットC1,
C2と基板搬送部4の基板搬入・搬出位置との間で基板
Wを1枚ずつ搬送するインデクサロボットRB1とで構
成されている。カセットC1,C2には、たとえば10
枚の基板Wが収納可能である。カセット載置台IDは、
載置されたカセットC1,C2を上下させて基板取り出
し取り入れ位置を一定高さに維持する機能を有してい
る。
2が載置されるカセット載置台IDと、カセットC1,
C2と基板搬送部4の基板搬入・搬出位置との間で基板
Wを1枚ずつ搬送するインデクサロボットRB1とで構
成されている。カセットC1,C2には、たとえば10
枚の基板Wが収納可能である。カセット載置台IDは、
載置されたカセットC1,C2を上下させて基板取り出
し取り入れ位置を一定高さに維持する機能を有してい
る。
【0014】インデクサロボットRB1は、Y方向(図
1の奥行き方向)に延びるレール5上を移動可能であ
る。さらにインデクサロボットRB1は、スカラ型のロ
ボットであり、Z方向(図1の上下方向)と、X方向
(図1の左右方向)と、θ方向(垂直軸回りの回転方
向)とに移動可能である。処理ユニット部3には、各処
理部が上下2段に分けて配列されている。その下段に
は、基板Wを洗浄するスピンスクラバーSSと、洗浄さ
れた基板Wにフォトレジスト液を塗布するスピンコータ
ーSCとが配置されている。また上段には、ホットプレ
ートHP1,HP2とクールプレートCP1,CP2と
が配置されている。ホットプレートHP1は、スピンス
クラバーSSで洗浄された基板Wを脱水ベークするもの
である。ホットプレートHP2は、フォトレジスト液が
塗布された基板Wをプリベークするものである。クール
プレートCP1,CP2は、それぞれホットプレートH
P1,HP2で加熱された基板Wを冷却するものであ
る。
1の奥行き方向)に延びるレール5上を移動可能であ
る。さらにインデクサロボットRB1は、スカラ型のロ
ボットであり、Z方向(図1の上下方向)と、X方向
(図1の左右方向)と、θ方向(垂直軸回りの回転方
向)とに移動可能である。処理ユニット部3には、各処
理部が上下2段に分けて配列されている。その下段に
は、基板Wを洗浄するスピンスクラバーSSと、洗浄さ
れた基板Wにフォトレジスト液を塗布するスピンコータ
ーSCとが配置されている。また上段には、ホットプレ
ートHP1,HP2とクールプレートCP1,CP2と
が配置されている。ホットプレートHP1は、スピンス
クラバーSSで洗浄された基板Wを脱水ベークするもの
である。ホットプレートHP2は、フォトレジスト液が
塗布された基板Wをプリベークするものである。クール
プレートCP1,CP2は、それぞれホットプレートH
P1,HP2で加熱された基板Wを冷却するものであ
る。
【0015】基板搬送部4は、X方向に延びるレール6
と、レール6上を移動可能な基板搬送ロボットRB2と
を有している。基板搬送ロボットRB2は、スカラ型の
ロボットであり、Z方向及びY方向にも移動可能であ
る。基板搬送ロボットRB2は、図3に示すように、レ
ール6に沿って移動するX軸移動機構20と、X軸移動
機構20上に配置された1対のZ軸移動機構21と、Z
軸移動機構21の間に配置されたアームとしてのY軸移
動機構22とを有している。
と、レール6上を移動可能な基板搬送ロボットRB2と
を有している。基板搬送ロボットRB2は、スカラ型の
ロボットであり、Z方向及びY方向にも移動可能であ
る。基板搬送ロボットRB2は、図3に示すように、レ
ール6に沿って移動するX軸移動機構20と、X軸移動
機構20上に配置された1対のZ軸移動機構21と、Z
軸移動機構21の間に配置されたアームとしてのY軸移
動機構22とを有している。
【0016】X軸移動機構20は、レール6に移動可能
に支持された移動フレーム23を有している。移動フレ
ーム23内には、X方向移動のための駆動モータ(図示
せず)と、Z方向移動のための駆動モータZMとが配置
されている。移動フレーム23の上部には、Z軸移動機
構21の固定フレーム24が立設されている。固定フレ
ーム24の上端内側には、第1昇降アーム25が回転軸
を介して連結されている。第1昇降アーム25の先端に
は、第2昇降アーム26が回転軸を介して連結されてい
る。第2昇降アーム26の先端には、Y軸移動機構22
のハウジング27が回転軸を介して連結されている。Z
方向駆動モータZMの駆動力は、固定フレーム24内に
配置されたリンク(図示せず)により第1昇降アーム2
5に伝達される。第1昇降アーム25及び第2昇降アー
ム26内には、多数のギア(図示せず)が配置されてお
り、これらのギアにより、第1昇降アーム25と第2昇
降アーム26とハウジング27とが連動して回動するよ
うになっている。この結果、第1昇降アーム25及び第
2昇降アーム26の回動によりハウジング27が同じ姿
勢を維持しつつ昇降する。
に支持された移動フレーム23を有している。移動フレ
ーム23内には、X方向移動のための駆動モータ(図示
せず)と、Z方向移動のための駆動モータZMとが配置
されている。移動フレーム23の上部には、Z軸移動機
構21の固定フレーム24が立設されている。固定フレ
ーム24の上端内側には、第1昇降アーム25が回転軸
を介して連結されている。第1昇降アーム25の先端に
は、第2昇降アーム26が回転軸を介して連結されてい
る。第2昇降アーム26の先端には、Y軸移動機構22
のハウジング27が回転軸を介して連結されている。Z
方向駆動モータZMの駆動力は、固定フレーム24内に
配置されたリンク(図示せず)により第1昇降アーム2
5に伝達される。第1昇降アーム25及び第2昇降アー
ム26内には、多数のギア(図示せず)が配置されてお
り、これらのギアにより、第1昇降アーム25と第2昇
降アーム26とハウジング27とが連動して回動するよ
うになっている。この結果、第1昇降アーム25及び第
2昇降アーム26の回動によりハウジング27が同じ姿
勢を維持しつつ昇降する。
【0017】ハウジング27内のY軸移動機構22(ア
ーム)は、図4に示すように、ハウジング27の下面手
前側に配置されたY軸駆動モータYMと、アーム本体3
0と、基板Wを保持する基板保持部42とを有してい
る。基板保持部42が支持部材となる。アーム本体30
は、Y軸駆動モータYMに連結されかつハウジング27
に回動可能に支持された第1移動アーム40と、第1移
動アーム40と回転軸を介して相互に回転自在に連結さ
れた第2移動アーム41とを有している。基板保持部4
2は、第2移動アーム41の先端に回転軸を介してその
基板部が回転自在に連結されている。また、このY軸移
動機構22は、各アーム40,41が伸張した際に基板
保持部42の姿勢を水平に維持するための水平維持機構
50を有している。
ーム)は、図4に示すように、ハウジング27の下面手
前側に配置されたY軸駆動モータYMと、アーム本体3
0と、基板Wを保持する基板保持部42とを有してい
る。基板保持部42が支持部材となる。アーム本体30
は、Y軸駆動モータYMに連結されかつハウジング27
に回動可能に支持された第1移動アーム40と、第1移
動アーム40と回転軸を介して相互に回転自在に連結さ
れた第2移動アーム41とを有している。基板保持部4
2は、第2移動アーム41の先端に回転軸を介してその
基板部が回転自在に連結されている。また、このY軸移
動機構22は、各アーム40,41が伸張した際に基板
保持部42の姿勢を水平に維持するための水平維持機構
50を有している。
【0018】基板保持部42は、上下に配置された1対
のハンド43と、1対のハンド43を互いに接近・離反
する方向に移動可能に支持する保持部本体44とを有し
ている。ハンド43を上下に設けたのは、処理済の基板
Wと処理前の基板Wとを処理部内で一度に交換するため
である。ここでは、第1移動アーム40、第2移動アー
ム41及び基板保持部42は図示しないギア列で連結さ
れて同期して回動し、ハンド43がY方向に同じ姿勢で
進退する。
のハンド43と、1対のハンド43を互いに接近・離反
する方向に移動可能に支持する保持部本体44とを有し
ている。ハンド43を上下に設けたのは、処理済の基板
Wと処理前の基板Wとを処理部内で一度に交換するため
である。ここでは、第1移動アーム40、第2移動アー
ム41及び基板保持部42は図示しないギア列で連結さ
れて同期して回動し、ハンド43がY方向に同じ姿勢で
進退する。
【0019】水平維持機構50は、図4及び図5に示す
ように、第1移動アーム40の基部側に設けられた基部
側水平維持機構51と、第2移動アーム41の先端側で
基板保持部42との間に設けられた先部側水平維持機構
52とを有している。基部側水平維持機構51は、図6
及び図7に示すように、ハウジング27に固定されたベ
ース55と第1移動アーム40の基部との間に設けられ
ている。この機構51は、円環状の傾斜リング56と、
傾斜リング56上を移動するボール57と、傾斜リング
56内部を上下方向に貫通する回転軸58と、回転軸5
8の上部に固定されたヒンジ部材59と、傾斜リング5
6とベース55との間に設けられた調整部材60とを有
している。なお、ベース55及び調整部材60にも傾斜
リング56同様に中央部に孔が形成されており、これら
の孔を回転軸58が貫通している。
ように、第1移動アーム40の基部側に設けられた基部
側水平維持機構51と、第2移動アーム41の先端側で
基板保持部42との間に設けられた先部側水平維持機構
52とを有している。基部側水平維持機構51は、図6
及び図7に示すように、ハウジング27に固定されたベ
ース55と第1移動アーム40の基部との間に設けられ
ている。この機構51は、円環状の傾斜リング56と、
傾斜リング56上を移動するボール57と、傾斜リング
56内部を上下方向に貫通する回転軸58と、回転軸5
8の上部に固定されたヒンジ部材59と、傾斜リング5
6とベース55との間に設けられた調整部材60とを有
している。なお、ベース55及び調整部材60にも傾斜
リング56同様に中央部に孔が形成されており、これら
の孔を回転軸58が貫通している。
【0020】傾斜リング56は、上部及び下部が逆方向
に傾斜する傾斜面56a,56bとなっており、断面く
さび形状である。そして、ボール57は傾斜面56a上
を転動するようになっている。ここで、傾斜面56aの
傾斜角度は、基板保持部42の最大進出時に第1移動ア
ーム40の下方への撓みが相殺されるような角度、すな
わち基板保持部42の最大進出時に第1移動アーム40
の先端部がほぼ水平になるような角度に設定されてい
る。また、調整部材60の上面60aは、傾斜リング5
6の下面56bと同様の傾斜角度を有する傾斜面であ
り、その全面が傾斜リング56の下面56bに当接して
いる。なお、調整部材60はベース55上に交換可能に
取り付けられており、取り付けられた状態では回転不能
に固定されている。傾斜リング56は調整部材60上で
回転させることが可能である。回転軸58の下端はY軸
駆動モータYMの出力軸に連結されている。ヒンジ部材
59は、回転軸58の上端に固定された下部59aと、
第1移動アーム40の下面に固定された上部59bと、
上部59bの一端に下方に突出して形成されたボール支
持部59cとを有している。ボール支持部59cには球
状の凹部59dが形成されており、この凹部59dにボ
ール57が挿入されている。下部59aと上部59bと
は所定の隙間を開けて配置されており、一端側の一部の
みが連結されている。このため、ボール57の移動に際
し、上部59bは下部59aに対して弾性変形が可能で
ある。
に傾斜する傾斜面56a,56bとなっており、断面く
さび形状である。そして、ボール57は傾斜面56a上
を転動するようになっている。ここで、傾斜面56aの
傾斜角度は、基板保持部42の最大進出時に第1移動ア
ーム40の下方への撓みが相殺されるような角度、すな
わち基板保持部42の最大進出時に第1移動アーム40
の先端部がほぼ水平になるような角度に設定されてい
る。また、調整部材60の上面60aは、傾斜リング5
6の下面56bと同様の傾斜角度を有する傾斜面であ
り、その全面が傾斜リング56の下面56bに当接して
いる。なお、調整部材60はベース55上に交換可能に
取り付けられており、取り付けられた状態では回転不能
に固定されている。傾斜リング56は調整部材60上で
回転させることが可能である。回転軸58の下端はY軸
駆動モータYMの出力軸に連結されている。ヒンジ部材
59は、回転軸58の上端に固定された下部59aと、
第1移動アーム40の下面に固定された上部59bと、
上部59bの一端に下方に突出して形成されたボール支
持部59cとを有している。ボール支持部59cには球
状の凹部59dが形成されており、この凹部59dにボ
ール57が挿入されている。下部59aと上部59bと
は所定の隙間を開けて配置されており、一端側の一部の
みが連結されている。このため、ボール57の移動に際
し、上部59bは下部59aに対して弾性変形が可能で
ある。
【0021】先部側水平維持機構52は、図8及び図9
に示すように、第2移動アーム41先端部と保持部本体
44との間に設けられている。この機構52は、回転軸
及び傾斜リング56の傾斜角度を除いて基部側水平維持
機構51と同様の構成であり、円環状の傾斜リング56
と、傾斜リング56上を移動するボール57と、支持軸
65と、支持軸65の上部に固定されたヒンジ部材59
と、傾斜リング56と第2移動アーム41との間に設け
られた調整部材60とを有している。支持軸65は、第
2移動アーム41に対して回転自在にかつ上下方向移動
不能に装着されている。傾斜リング56、ボール57、
ヒンジ部材59及び調整部材60のそれぞれは基部側水
平維持機構51における各部材と同様の構成である。な
お、この先部側水平維持機構52における傾斜リング5
6の傾斜角度は、基板保持部42の最大進出時に第2移
動アーム41の下方への撓みが相殺されるような角度、
すなわち第2移動アーム41の先端が下方へ撓んでも基
板保持部42の最大進出時に基板保持部42がほぼ水平
状態に維持されるような角度に設定されている。
に示すように、第2移動アーム41先端部と保持部本体
44との間に設けられている。この機構52は、回転軸
及び傾斜リング56の傾斜角度を除いて基部側水平維持
機構51と同様の構成であり、円環状の傾斜リング56
と、傾斜リング56上を移動するボール57と、支持軸
65と、支持軸65の上部に固定されたヒンジ部材59
と、傾斜リング56と第2移動アーム41との間に設け
られた調整部材60とを有している。支持軸65は、第
2移動アーム41に対して回転自在にかつ上下方向移動
不能に装着されている。傾斜リング56、ボール57、
ヒンジ部材59及び調整部材60のそれぞれは基部側水
平維持機構51における各部材と同様の構成である。な
お、この先部側水平維持機構52における傾斜リング5
6の傾斜角度は、基板保持部42の最大進出時に第2移
動アーム41の下方への撓みが相殺されるような角度、
すなわち第2移動アーム41の先端が下方へ撓んでも基
板保持部42の最大進出時に基板保持部42がほぼ水平
状態に維持されるような角度に設定されている。
【0022】次に動作について説明する。基板Wを収納
したカセットC1,C2が基板搬入・搬出部に載置され
ると、インデクサロボットRB1が基板を1枚ずつ取り
出し、基板搬送ロボットRB2に渡す。基板搬送ロボッ
トRB2は、受け取った基板WをスピンスクラバSSに
対向する位置に搬送する。スピンスクラバSSでは、受
け取った基板Wを洗浄処理する。洗浄処理が終了した基
板Wは、ホットプレートHP1に搬送される。このとき
基板搬送ロボットRB2は、スピンスクラバSSから基
板Wを受け取る際にはZ軸移動機構21を下降させ、基
板WをホットプレートHP1に搬送する際にはZ軸移動
機構21を上昇させる。
したカセットC1,C2が基板搬入・搬出部に載置され
ると、インデクサロボットRB1が基板を1枚ずつ取り
出し、基板搬送ロボットRB2に渡す。基板搬送ロボッ
トRB2は、受け取った基板WをスピンスクラバSSに
対向する位置に搬送する。スピンスクラバSSでは、受
け取った基板Wを洗浄処理する。洗浄処理が終了した基
板Wは、ホットプレートHP1に搬送される。このとき
基板搬送ロボットRB2は、スピンスクラバSSから基
板Wを受け取る際にはZ軸移動機構21を下降させ、基
板WをホットプレートHP1に搬送する際にはZ軸移動
機構21を上昇させる。
【0023】ホットプレートHP1で加熱された基板W
はクールプレートCP1に搬送され、冷却される。冷却
された基板WはスピンコータSCに搬送される。スピン
コータSCでは、基板W上にフォトレジスト液が塗布さ
れる。フォトレジスト液が塗布された基板Wはホットプ
レートHP2に搬送され、加熱乾燥され、さらにクール
プレートCP2に搬送され、冷却される。冷却処理が終
了した基板Wは、基板搬送ロボットRB2により基板搬
入・搬出部2のインデクサロボットRB1に渡される。
インデクサロボットRB1は、受け取った基板Wをカセ
ットC1,C2に戻す。
はクールプレートCP1に搬送され、冷却される。冷却
された基板WはスピンコータSCに搬送される。スピン
コータSCでは、基板W上にフォトレジスト液が塗布さ
れる。フォトレジスト液が塗布された基板Wはホットプ
レートHP2に搬送され、加熱乾燥され、さらにクール
プレートCP2に搬送され、冷却される。冷却処理が終
了した基板Wは、基板搬送ロボットRB2により基板搬
入・搬出部2のインデクサロボットRB1に渡される。
インデクサロボットRB1は、受け取った基板Wをカセ
ットC1,C2に戻す。
【0024】ここで、基板搬送ロボットRB2が移動さ
せられて各処理部と対向した位置にきたとき、基板保持
部42がY軸移動機構22によって進退させられる。す
なわち、基板保持部42がハウジング27内に収納され
た状態でY軸駆動モータYMを駆動すると、第1移動ア
ーム40が図4において反時計回りに回転する。これに
より、第2移動アーム41及び保持部本体44が進出す
る。この進出に伴って、第2移動アーム41は第1移動
アーム40の先端を回転中心として図4において時計回
りに回転する。基板保持部42が進出している途中の状
態を図5に示している。
せられて各処理部と対向した位置にきたとき、基板保持
部42がY軸移動機構22によって進退させられる。す
なわち、基板保持部42がハウジング27内に収納され
た状態でY軸駆動モータYMを駆動すると、第1移動ア
ーム40が図4において反時計回りに回転する。これに
より、第2移動アーム41及び保持部本体44が進出す
る。この進出に伴って、第2移動アーム41は第1移動
アーム40の先端を回転中心として図4において時計回
りに回転する。基板保持部42が進出している途中の状
態を図5に示している。
【0025】この進出時においては、水平維持機構50
によって各アーム40,41のベース55からの伸張方
向が変更され、基板保持部42の姿勢が常に平行に維持
される。この場合の姿勢維持動作を以下に説明する。第
1移動アーム40をベース55に対して回転させると、
基部側水平維持機構51において、図10に示すよう
に、ボール57が傾斜リング56の傾斜面56a上を移
動する。ボール57は、第1移動アーム40が回転する
につれて傾斜面56aのより高い位置に当接し、高さH
1から高さH2に変化する。このため、第1移動アーム
40の回転に伴ってボール57が(H2−H1)分だけ
上方に持ち上げられる。すなわち、傾斜面56aが第1
傾斜面となり、ボール57が第2傾斜部材となる。この
とき、ヒンジ部材59においてはその上部59bが下部
59aに対して弾性変形し、その結果、第1移動アーム
40は、ベース55に対して先端側が上向きになるよう
傾く。第2移動アーム41と保持部本体44との間に設
けられた先部側水平維持機構52においても、同様の動
作により、保持部本体44が第2移動アーム41に対し
て傾く。この場合は、傾斜面56aが第2傾斜面とな
り、ボール57が第4傾斜部材となる。
によって各アーム40,41のベース55からの伸張方
向が変更され、基板保持部42の姿勢が常に平行に維持
される。この場合の姿勢維持動作を以下に説明する。第
1移動アーム40をベース55に対して回転させると、
基部側水平維持機構51において、図10に示すよう
に、ボール57が傾斜リング56の傾斜面56a上を移
動する。ボール57は、第1移動アーム40が回転する
につれて傾斜面56aのより高い位置に当接し、高さH
1から高さH2に変化する。このため、第1移動アーム
40の回転に伴ってボール57が(H2−H1)分だけ
上方に持ち上げられる。すなわち、傾斜面56aが第1
傾斜面となり、ボール57が第2傾斜部材となる。この
とき、ヒンジ部材59においてはその上部59bが下部
59aに対して弾性変形し、その結果、第1移動アーム
40は、ベース55に対して先端側が上向きになるよう
傾く。第2移動アーム41と保持部本体44との間に設
けられた先部側水平維持機構52においても、同様の動
作により、保持部本体44が第2移動アーム41に対し
て傾く。この場合は、傾斜面56aが第2傾斜面とな
り、ボール57が第4傾斜部材となる。
【0026】ここで、各水平維持機構52における傾斜
リング56の傾斜面56aは、基板保持部42が最大進
出したときに基板保持部42が水平状態となるような傾
斜角度を有している。したがって、図11(B)に示す
ように、各アーム40,41が回転して基板保持部42
の進出量が最大になったとき、各アーム40,41の先
端が下方に撓むが基板保持部42は水平状態に維持され
る。
リング56の傾斜面56aは、基板保持部42が最大進
出したときに基板保持部42が水平状態となるような傾
斜角度を有している。したがって、図11(B)に示す
ように、各アーム40,41が回転して基板保持部42
の進出量が最大になったとき、各アーム40,41の先
端が下方に撓むが基板保持部42は水平状態に維持され
る。
【0027】なお、基板保持部42や基板Wの重量が変
わったり、基板保持部42の最大進出量が変更された場
合は、各アーム40,41の下方への撓みも変わる。こ
の場合には、傾斜リング56と調整部材60の相互の重
なり位置を円周方向で調整する。これにより、各水平維
持機構における傾きの補正量が変化し、条件が変更され
た場合でも常に基板保持部42の姿勢を水平に維持でき
る。
わったり、基板保持部42の最大進出量が変更された場
合は、各アーム40,41の下方への撓みも変わる。こ
の場合には、傾斜リング56と調整部材60の相互の重
なり位置を円周方向で調整する。これにより、各水平維
持機構における傾きの補正量が変化し、条件が変更され
た場合でも常に基板保持部42の姿勢を水平に維持でき
る。
【0028】さらに、調整部材60を、傾斜面60aの
傾斜角度が異なるものに交換することで、各水平維持機
構における傾きの補正量を微調整することもできる。こ
のような実施例では、各アーム40,41が撓んだ場合
でも、基部側水平維持機構51及び先部側水平維持機構
52により各アーム40,41の撓みによる傾きを補正
できる。このため、基板保持部42が各処理部に対して
進退する際に常に水平姿勢を維持でき、基板Wの搬送を
円滑に行える。また、各機構50,51を傾斜リング及
びボールにより構成しているので、簡素な構成で傾き補
正が行える。
傾斜角度が異なるものに交換することで、各水平維持機
構における傾きの補正量を微調整することもできる。こ
のような実施例では、各アーム40,41が撓んだ場合
でも、基部側水平維持機構51及び先部側水平維持機構
52により各アーム40,41の撓みによる傾きを補正
できる。このため、基板保持部42が各処理部に対して
進退する際に常に水平姿勢を維持でき、基板Wの搬送を
円滑に行える。また、各機構50,51を傾斜リング及
びボールにより構成しているので、簡素な構成で傾き補
正が行える。
【0029】また、2つの水平維持機構51,52を用
いて傾き補正を行うので、一方の機構の補正量が少なく
てよく、ヒンジ部59における弾性変形量が小さいので
作動が円滑になる。さらに、同様の理由により、基板保
持部42が突出した際の高さの変化(収納時の高さと最
大進出時の高さとの差)をなくすことが可能となる。 〔他の実施例〕 (a)前記実施例では、基部側水平維持機構51及び先
部側水平維持機構52を設けて各アーム40,41の撓
みによる傾きを補正するようにしたが、図12に示すよ
うに、基部側水平維持機構70のみによって傾きを補正
するようにしてもよい。
いて傾き補正を行うので、一方の機構の補正量が少なく
てよく、ヒンジ部59における弾性変形量が小さいので
作動が円滑になる。さらに、同様の理由により、基板保
持部42が突出した際の高さの変化(収納時の高さと最
大進出時の高さとの差)をなくすことが可能となる。 〔他の実施例〕 (a)前記実施例では、基部側水平維持機構51及び先
部側水平維持機構52を設けて各アーム40,41の撓
みによる傾きを補正するようにしたが、図12に示すよ
うに、基部側水平維持機構70のみによって傾きを補正
するようにしてもよい。
【0030】この実施例における基部側水平維持機構7
0の構成は前記実施例と同様である。ただし、傾斜リン
グの傾斜角度は前記実施例と比較して大きく設定されて
おり、基板保持部42が最大に進出した状態で、基板保
持部42が水平姿勢を維持するような傾斜角度となって
いる。ここで、各アーム40,41の剛性、長さ等によ
っては、基板保持部42の高さを同じに維持したまま水
平姿勢を維持できない場合がある。図12に示す例で
は、基板保持部42の姿勢を水平に維持しようとすれ
ば、基板保持部42の高さが収納状態の高さより高くな
ってしまう。この場合は、基板保持部42の上昇量に合
わせてベース55をZ軸移動機構21により下降させ
る。これにより、基板保持部42を水平姿勢に維持しつ
つその高さを維持でき、基板保持部42の各処理部に対
する進退をスムーズに行える。
0の構成は前記実施例と同様である。ただし、傾斜リン
グの傾斜角度は前記実施例と比較して大きく設定されて
おり、基板保持部42が最大に進出した状態で、基板保
持部42が水平姿勢を維持するような傾斜角度となって
いる。ここで、各アーム40,41の剛性、長さ等によ
っては、基板保持部42の高さを同じに維持したまま水
平姿勢を維持できない場合がある。図12に示す例で
は、基板保持部42の姿勢を水平に維持しようとすれ
ば、基板保持部42の高さが収納状態の高さより高くな
ってしまう。この場合は、基板保持部42の上昇量に合
わせてベース55をZ軸移動機構21により下降させ
る。これにより、基板保持部42を水平姿勢に維持しつ
つその高さを維持でき、基板保持部42の各処理部に対
する進退をスムーズに行える。
【0031】(b)水平維持機構を先部側水平維持機構
71のみで構成してもよい。この場合の例を図13に示
す。先部側水平維持機構71の構成は前記実施例と同様
の構成である。ただし、前記同様に、傾斜リングの傾斜
角度は、基板保持部42が最大に進出した状態で、基板
保持部42が水平姿勢を維持するような傾斜角度となっ
ている。また、この実施例では、基板保持部42の姿勢
を水平に維持しようとすれば、基板保持部42の高さが
収納状態の高さより低くなってしまう。この場合は、基
板保持部42の下降量に合わせてベース55をZ軸移動
機構21により上昇させる。これにより、基板保持部4
2を水平姿勢に維持しつつその高さを維持でき、基板保
持部42の各処理部に対する進退をスムーズに行える。
71のみで構成してもよい。この場合の例を図13に示
す。先部側水平維持機構71の構成は前記実施例と同様
の構成である。ただし、前記同様に、傾斜リングの傾斜
角度は、基板保持部42が最大に進出した状態で、基板
保持部42が水平姿勢を維持するような傾斜角度となっ
ている。また、この実施例では、基板保持部42の姿勢
を水平に維持しようとすれば、基板保持部42の高さが
収納状態の高さより低くなってしまう。この場合は、基
板保持部42の下降量に合わせてベース55をZ軸移動
機構21により上昇させる。これにより、基板保持部4
2を水平姿勢に維持しつつその高さを維持でき、基板保
持部42の各処理部に対する進退をスムーズに行える。
【0032】(c)第1移動アーム40と第2移動アー
ム41との間に、基部側水平維持機構及び先部側水平維
持機構と同様の機構を設けてもよい。 (d)前記実施例では本発明を基板処理装置の基板搬送
ロボットに適用したが、他の搬送装置に適用してもよ
い。
ム41との間に、基部側水平維持機構及び先部側水平維
持機構と同様の機構を設けてもよい。 (d)前記実施例では本発明を基板処理装置の基板搬送
ロボットに適用したが、他の搬送装置に適用してもよ
い。
【0033】
【発明の効果】本発明に係るアーム型搬送装置では、水
平維持機構が、被搬送物の保持姿勢が水平になるように
支持部材の姿勢を変更することにより、被搬送物の搬送
状態を適正に維持することができる。なお、前記水平維
持機構はベースとアームとの間に設けられていてもよ
く、この場合、水平維持機構が、水平面に対して傾斜し
た第1傾斜面を有するとともにベースに固定された第1
傾斜部材と、アームに連結されて第1傾斜面上を移動す
る第2傾斜部材とを有するものであれば、簡素な構成で
被搬送物の搬送状態を適正に維持することができる。
平維持機構が、被搬送物の保持姿勢が水平になるように
支持部材の姿勢を変更することにより、被搬送物の搬送
状態を適正に維持することができる。なお、前記水平維
持機構はベースとアームとの間に設けられていてもよ
く、この場合、水平維持機構が、水平面に対して傾斜し
た第1傾斜面を有するとともにベースに固定された第1
傾斜部材と、アームに連結されて第1傾斜面上を移動す
る第2傾斜部材とを有するものであれば、簡素な構成で
被搬送物の搬送状態を適正に維持することができる。
【0034】また、前記水平維持機構はアームと支持部
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第2傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第3傾斜部材と、支持部材に
連結されて第2傾斜面上を移動する第4傾斜部材とを有
するものであれば、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を
適正に維持することができる。
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第2傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第3傾斜部材と、支持部材に
連結されて第2傾斜面上を移動する第4傾斜部材とを有
するものであれば、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を
適正に維持することができる。
【図1】本発明の一実施例が採用された基板処理装置の
側面模式図。
側面模式図。
【図2】その平面模式図。
【図3】基板搬送ロボットの斜視図。
【図4】前記基板搬送ロボットのY軸移動機構の横断平
面図。
面図。
【図5】基板保持部が進出した状態を示す横断平面図。
【図6】基部側水平維持機構の分解斜視図。
【図7】基部側水平維持機構の縦断面図。
【図8】先部側水平維持機構の分解斜視図。
【図9】先部側水平維持機構の縦断面図。
【図10】基部側水平維持機構の動作を説明するための
正面模式図。
正面模式図。
【図11】水平維持機構の動作を説明するための模式
図。
図。
【図12】他の実施例による図11に対応する図。
【図13】さらに他の実施例による図11に対応する
図。
図。
22 Y軸移動機構(アーム) 30 アーム本体 40 第1移動アーム 41 第2移動アーム 42 基板保持部 50 水平維持機構 51 基部側水平維持機構 52 先部側水平維持機構 55 ベース 56 傾斜リング 56a 傾斜面 57 ボール 58 回転軸 59 ヒンジ部材 60 調整部材
Claims (5)
- 【請求項1】被搬送物を水平に保持して搬送するアーム
型搬送装置において、 ベースと、 被搬送物がその上に載置される支持部材と、 一端がベースに垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他
端が支持部材に連結されて、その回転によって支持部材
を移動させて、支持部材の上に載置された被搬送物を搬
送するアームを有する回転アーム機構と、 回転アーム機構が回転しても支持部材上に載置された被
搬送物が常に水平に維持されるようにする水平維持機構
と、を備えたアーム型搬送装置。 - 【請求項2】水平維持機構はベースとアームとの間に設
けられていることを特徴とする、請求項1に記載のアー
ム型搬送装置。 - 【請求項3】水平維持機構は、水平面に対して傾斜した
第1傾斜面を有するとともにベースに固定された第1傾
斜部材と、アームに連結されて第1傾斜面上を移動する
第2傾斜部材とを有することを特徴とする、請求項2に
記載のアーム型搬送装置。 - 【請求項4】水平維持機構はアームと支持部材との間に
設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のア
ーム型搬送装置。 - 【請求項5】水平維持機構は、水平面に対して傾斜した
第2傾斜面を有するとともにアームに固定された第3傾
斜部材と、支持部材に連結されて第2傾斜面上を移動す
る第4傾斜部材とを有することを特徴とする、請求項4
に記載のアーム型搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12660894A JPH07330157A (ja) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | アーム型搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12660894A JPH07330157A (ja) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | アーム型搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07330157A true JPH07330157A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=14939413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12660894A Pending JPH07330157A (ja) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | アーム型搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07330157A (ja) |
-
1994
- 1994-06-08 JP JP12660894A patent/JPH07330157A/ja active Pending
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