JPH07330157A - アーム型搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板保持部の搬送姿勢を適正に維持する。 【構成】 このアーム型搬送装置は、被搬送物Ｗを水平
に保持して搬送するものであり、ベース５５と、被搬送
物Ｗがその上に載置される基板保持部４２と、一端がベ
ース５５に垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が
支持部材４２に連結されて、その回転によって支持部材
４２を移動させて、支持部材４２の上に載置された被搬
送物Ｗを搬送する第１移動アーム４０および第２移動ア
ーム４１を有する回転アーム機構と、回転アーム機構が
回転しても支持部材４２上に載置された被搬送物Ｗが常
に水平に維持されるようにする水平維持機構５０とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アーム型搬送装置、特
に、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型搬送装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】アーム型搬送装置は、例えば、半導体ウ
エハ、液晶用ガラス角型基板、カラーフィルタ用基板、
サーマルヘッド用セラミック基板、プリント基板などの
各種基板を、複数の処理部間で、あるいは、処理部とカ
セットなどの収納部との間で搬送するのに用いられてい
る。

【０００３】従来のアーム型搬送装置として、ベースと
それに連結された回転アーム機構とを備えたものがあ
る。回転アーム機構には、一端がベースに垂直軸回りに
回転可能に支持されかつ他端が支持部材に連結されて、
その回転によって支持部材を移動させて、支持部材の上
に載置された被搬送物を搬送するアームを有する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のアーム型搬
送装置では、アームが延びてアームの先端がベースから
離れるほどアームの自重による下向きのモーメント力が
大きくなり、アームに下向きの撓みが生じることにな
る。また、搬送する物品が大型化し重量が増えるほど下
向きの撓みも増える。アームが下向きに撓むと、支持部
材が傾斜し、支持部材に保持された被搬送物が正しい姿
勢で保持されなくなる。

【０００５】例えば、半導体基板を処理装置で搬送する
場合、基板を正確な水平状態で取り扱わなければならな
いことが多い。基板が傾いた状態では、処理装置の所定
位置に正確に基板を配置できなかったり、搬送装置から
処理装置への基板を円滑に移し替えられなかったりす
る。本発明の目的は、被搬送物の搬送状態を適正に維持
することのできる搬送装置を提供することにある。また
別の目的は、単純な構成で被搬送物の搬送状態を適正に
維持することのできる搬送装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るアーム型搬
送装置は、被搬送物を水平に保持して搬送するアーム型
搬送装置において、ベースと支持部材と回転アーム機構
と水平維持機構とを備えている。支持部材は、被搬送物
がその上に載置される。回転アーム機構は、一端がベー
スに垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他端が支持部
材に連結されて、その回転によって支持部材を移動させ
て、支持部材の上に載置された被搬送物を搬送するアー
ムを有する。水平維持機構は、回転アーム機構が回転し
ても支持部材上に載置された被搬送物が常に水平に維持
されるようにする。

【０００７】なお、前記水平維持機構はベースとアーム
との間あるいはアームと支持部材との間に設けられてい
るものが好ましい。前記水平維持機構がベースとアーム
との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜した
第１傾斜面を有するとともにベースに固定された第１傾
斜部材と、アームに連結されて第１傾斜面上を移動する
第２傾斜部材とを有するものが好ましい。

【０００８】また、前記水平維持機構がアームと支持部
材との間に設けられている場合、水平面に対して傾斜し
た第２傾斜面を有するとともにアームに固定された第３
傾斜部材と、支持部材に連結されて第２傾斜面上を移動
する第４傾斜部材とを有することが好ましい。

【０００９】

【作用】本発明に係るアーム型搬送装置では、回転アー
ム機構の作動により、アームの伸縮動作が行われる。こ
の伸縮動作の際に、水平維持機構が、被搬送物の保持姿
勢が水平になるように支持部材の姿勢を変更する。ここ
では、被搬送物の搬送状態を適正に維持することができ
る。

【００１０】なお、前記水平維持機構はベースとアーム
との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持機
構が、水平面に対して傾斜した第１傾斜面を有するとと
もにベースに固定された第１傾斜部材と、アームに連結
されて第１傾斜面上を移動する第２傾斜部材とを有する
ものであれば、第１傾斜面に対して第２傾斜部材が移動
することでアームに連結された支持部材の姿勢を変更す
る。ここでは、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正
に維持することができる。

【００１１】また、前記水平維持機構はアームと支持部
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第２傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第３傾斜部材と、支持部材に
連結されて第２傾斜面上を移動する第４傾斜部材とを有
するものであれば、第２傾斜面に対して第４傾斜部材が
移動することで支持部材の姿勢を変更する。ここでは、
簡素な構成で被搬送物の搬送状態を適正に維持すること
ができる。

【００１２】

【実施例】図１及び図２において、本発明の一実施例を
採用した基板処理装置１は、多数の角型基板Ｗを収納し
たカセットＣ１，Ｃ２を載置する基板搬入・搬出部２
と、基板Ｗに一連の処理を行う処理ユニット部３と、基
板搬入・搬出部２と処理ユニット部３との間で基板Ｗを
搬送する基板搬送部４とを有している。

【００１３】基板搬入・搬出部２は、カセットＣ１，Ｃ
２が載置されるカセット載置台ＩＤと、カセットＣ１，
Ｃ２と基板搬送部４の基板搬入・搬出位置との間で基板
Ｗを１枚ずつ搬送するインデクサロボットＲＢ１とで構
成されている。カセットＣ１，Ｃ２には、たとえば１０
枚の基板Ｗが収納可能である。カセット載置台ＩＤは、
載置されたカセットＣ１，Ｃ２を上下させて基板取り出
し取り入れ位置を一定高さに維持する機能を有してい
る。

【００１４】インデクサロボットＲＢ１は、Ｙ方向（図
１の奥行き方向）に延びるレール５上を移動可能であ
る。さらにインデクサロボットＲＢ１は、スカラ型のロ
ボットであり、Ｚ方向（図１の上下方向）と、Ｘ方向
（図１の左右方向）と、θ方向（垂直軸回りの回転方
向）とに移動可能である。処理ユニット部３には、各処
理部が上下２段に分けて配列されている。その下段に
は、基板Ｗを洗浄するスピンスクラバーＳＳと、洗浄さ
れた基板Ｗにフォトレジスト液を塗布するスピンコータ
ーＳＣとが配置されている。また上段には、ホットプレ
ートＨＰ１，ＨＰ２とクールプレートＣＰ１，ＣＰ２と
が配置されている。ホットプレートＨＰ１は、スピンス
クラバーＳＳで洗浄された基板Ｗを脱水ベークするもの
である。ホットプレートＨＰ２は、フォトレジスト液が
塗布された基板Ｗをプリベークするものである。クール
プレートＣＰ１，ＣＰ２は、それぞれホットプレートＨ
Ｐ１，ＨＰ２で加熱された基板Ｗを冷却するものであ
る。

【００１５】基板搬送部４は、Ｘ方向に延びるレール６
と、レール６上を移動可能な基板搬送ロボットＲＢ２と
を有している。基板搬送ロボットＲＢ２は、スカラ型の
ロボットであり、Ｚ方向及びＹ方向にも移動可能であ
る。基板搬送ロボットＲＢ２は、図３に示すように、レ
ール６に沿って移動するＸ軸移動機構２０と、Ｘ軸移動
機構２０上に配置された１対のＺ軸移動機構２１と、Ｚ
軸移動機構２１の間に配置されたアームとしてのＹ軸移
動機構２２とを有している。

【００１６】Ｘ軸移動機構２０は、レール６に移動可能
に支持された移動フレーム２３を有している。移動フレ
ーム２３内には、Ｘ方向移動のための駆動モータ（図示
せず）と、Ｚ方向移動のための駆動モータＺＭとが配置
されている。移動フレーム２３の上部には、Ｚ軸移動機
構２１の固定フレーム２４が立設されている。固定フレ
ーム２４の上端内側には、第１昇降アーム２５が回転軸
を介して連結されている。第１昇降アーム２５の先端に
は、第２昇降アーム２６が回転軸を介して連結されてい
る。第２昇降アーム２６の先端には、Ｙ軸移動機構２２
のハウジング２７が回転軸を介して連結されている。Ｚ
方向駆動モータＺＭの駆動力は、固定フレーム２４内に
配置されたリンク（図示せず）により第１昇降アーム２
５に伝達される。第１昇降アーム２５及び第２昇降アー
ム２６内には、多数のギア（図示せず）が配置されてお
り、これらのギアにより、第１昇降アーム２５と第２昇
降アーム２６とハウジング２７とが連動して回動するよ
うになっている。この結果、第１昇降アーム２５及び第
２昇降アーム２６の回動によりハウジング２７が同じ姿
勢を維持しつつ昇降する。

【００１７】ハウジング２７内のＹ軸移動機構２２（ア
ーム）は、図４に示すように、ハウジング２７の下面手
前側に配置されたＹ軸駆動モータＹＭと、アーム本体３
０と、基板Ｗを保持する基板保持部４２とを有してい
る。基板保持部４２が支持部材となる。アーム本体３０
は、Ｙ軸駆動モータＹＭに連結されかつハウジング２７
に回動可能に支持された第１移動アーム４０と、第１移
動アーム４０と回転軸を介して相互に回転自在に連結さ
れた第２移動アーム４１とを有している。基板保持部４
２は、第２移動アーム４１の先端に回転軸を介してその
基板部が回転自在に連結されている。また、このＹ軸移
動機構２２は、各アーム４０，４１が伸張した際に基板
保持部４２の姿勢を水平に維持するための水平維持機構
５０を有している。

【００１８】基板保持部４２は、上下に配置された１対
のハンド４３と、１対のハンド４３を互いに接近・離反
する方向に移動可能に支持する保持部本体４４とを有し
ている。ハンド４３を上下に設けたのは、処理済の基板
Ｗと処理前の基板Ｗとを処理部内で一度に交換するため
である。ここでは、第１移動アーム４０、第２移動アー
ム４１及び基板保持部４２は図示しないギア列で連結さ
れて同期して回動し、ハンド４３がＹ方向に同じ姿勢で
進退する。

【００１９】水平維持機構５０は、図４及び図５に示す
ように、第１移動アーム４０の基部側に設けられた基部
側水平維持機構５１と、第２移動アーム４１の先端側で
基板保持部４２との間に設けられた先部側水平維持機構
５２とを有している。基部側水平維持機構５１は、図６
及び図７に示すように、ハウジング２７に固定されたベ
ース５５と第１移動アーム４０の基部との間に設けられ
ている。この機構５１は、円環状の傾斜リング５６と、
傾斜リング５６上を移動するボール５７と、傾斜リング
５６内部を上下方向に貫通する回転軸５８と、回転軸５
８の上部に固定されたヒンジ部材５９と、傾斜リング５
６とベース５５との間に設けられた調整部材６０とを有
している。なお、ベース５５及び調整部材６０にも傾斜
リング５６同様に中央部に孔が形成されており、これら
の孔を回転軸５８が貫通している。

【００２０】傾斜リング５６は、上部及び下部が逆方向
に傾斜する傾斜面５６ａ，５６ｂとなっており、断面く
さび形状である。そして、ボール５７は傾斜面５６ａ上
を転動するようになっている。ここで、傾斜面５６ａの
傾斜角度は、基板保持部４２の最大進出時に第１移動ア
ーム４０の下方への撓みが相殺されるような角度、すな
わち基板保持部４２の最大進出時に第１移動アーム４０
の先端部がほぼ水平になるような角度に設定されてい
る。また、調整部材６０の上面６０ａは、傾斜リング５
６の下面５６ｂと同様の傾斜角度を有する傾斜面であ
り、その全面が傾斜リング５６の下面５６ｂに当接して
いる。なお、調整部材６０はベース５５上に交換可能に
取り付けられており、取り付けられた状態では回転不能
に固定されている。傾斜リング５６は調整部材６０上で
回転させることが可能である。回転軸５８の下端はＹ軸
駆動モータＹＭの出力軸に連結されている。ヒンジ部材
５９は、回転軸５８の上端に固定された下部５９ａと、
第１移動アーム４０の下面に固定された上部５９ｂと、
上部５９ｂの一端に下方に突出して形成されたボール支
持部５９ｃとを有している。ボール支持部５９ｃには球
状の凹部５９ｄが形成されており、この凹部５９ｄにボ
ール５７が挿入されている。下部５９ａと上部５９ｂと
は所定の隙間を開けて配置されており、一端側の一部の
みが連結されている。このため、ボール５７の移動に際
し、上部５９ｂは下部５９ａに対して弾性変形が可能で
ある。

【００２１】先部側水平維持機構５２は、図８及び図９
に示すように、第２移動アーム４１先端部と保持部本体
４４との間に設けられている。この機構５２は、回転軸
及び傾斜リング５６の傾斜角度を除いて基部側水平維持
機構５１と同様の構成であり、円環状の傾斜リング５６
と、傾斜リング５６上を移動するボール５７と、支持軸
６５と、支持軸６５の上部に固定されたヒンジ部材５９
と、傾斜リング５６と第２移動アーム４１との間に設け
られた調整部材６０とを有している。支持軸６５は、第
２移動アーム４１に対して回転自在にかつ上下方向移動
不能に装着されている。傾斜リング５６、ボール５７、
ヒンジ部材５９及び調整部材６０のそれぞれは基部側水
平維持機構５１における各部材と同様の構成である。な
お、この先部側水平維持機構５２における傾斜リング５
６の傾斜角度は、基板保持部４２の最大進出時に第２移
動アーム４１の下方への撓みが相殺されるような角度、
すなわち第２移動アーム４１の先端が下方へ撓んでも基
板保持部４２の最大進出時に基板保持部４２がほぼ水平
状態に維持されるような角度に設定されている。

【００２２】次に動作について説明する。基板Ｗを収納
したカセットＣ１，Ｃ２が基板搬入・搬出部に載置され
ると、インデクサロボットＲＢ１が基板を１枚ずつ取り
出し、基板搬送ロボットＲＢ２に渡す。基板搬送ロボッ
トＲＢ２は、受け取った基板ＷをスピンスクラバＳＳに
対向する位置に搬送する。スピンスクラバＳＳでは、受
け取った基板Ｗを洗浄処理する。洗浄処理が終了した基
板Ｗは、ホットプレートＨＰ１に搬送される。このとき
基板搬送ロボットＲＢ２は、スピンスクラバＳＳから基
板Ｗを受け取る際にはＺ軸移動機構２１を下降させ、基
板ＷをホットプレートＨＰ１に搬送する際にはＺ軸移動
機構２１を上昇させる。

【００２３】ホットプレートＨＰ１で加熱された基板Ｗ
はクールプレートＣＰ１に搬送され、冷却される。冷却
された基板ＷはスピンコータＳＣに搬送される。スピン
コータＳＣでは、基板Ｗ上にフォトレジスト液が塗布さ
れる。フォトレジスト液が塗布された基板Ｗはホットプ
レートＨＰ２に搬送され、加熱乾燥され、さらにクール
プレートＣＰ２に搬送され、冷却される。冷却処理が終
了した基板Ｗは、基板搬送ロボットＲＢ２により基板搬
入・搬出部２のインデクサロボットＲＢ１に渡される。
インデクサロボットＲＢ１は、受け取った基板Ｗをカセ
ットＣ１，Ｃ２に戻す。

【００２４】ここで、基板搬送ロボットＲＢ２が移動さ
せられて各処理部と対向した位置にきたとき、基板保持
部４２がＹ軸移動機構２２によって進退させられる。す
なわち、基板保持部４２がハウジング２７内に収納され
た状態でＹ軸駆動モータＹＭを駆動すると、第１移動ア
ーム４０が図４において反時計回りに回転する。これに
より、第２移動アーム４１及び保持部本体４４が進出す
る。この進出に伴って、第２移動アーム４１は第１移動
アーム４０の先端を回転中心として図４において時計回
りに回転する。基板保持部４２が進出している途中の状
態を図５に示している。

【００２５】この進出時においては、水平維持機構５０
によって各アーム４０，４１のベース５５からの伸張方
向が変更され、基板保持部４２の姿勢が常に平行に維持
される。この場合の姿勢維持動作を以下に説明する。第
１移動アーム４０をベース５５に対して回転させると、
基部側水平維持機構５１において、図１０に示すよう
に、ボール５７が傾斜リング５６の傾斜面５６ａ上を移
動する。ボール５７は、第１移動アーム４０が回転する
につれて傾斜面５６ａのより高い位置に当接し、高さＨ
１から高さＨ２に変化する。このため、第１移動アーム
４０の回転に伴ってボール５７が（Ｈ２−Ｈ１）分だけ
上方に持ち上げられる。すなわち、傾斜面５６ａが第１
傾斜面となり、ボール５７が第２傾斜部材となる。この
とき、ヒンジ部材５９においてはその上部５９ｂが下部
５９ａに対して弾性変形し、その結果、第１移動アーム
４０は、ベース５５に対して先端側が上向きになるよう
傾く。第２移動アーム４１と保持部本体４４との間に設
けられた先部側水平維持機構５２においても、同様の動
作により、保持部本体４４が第２移動アーム４１に対し
て傾く。この場合は、傾斜面５６ａが第２傾斜面とな
り、ボール５７が第４傾斜部材となる。

【００２６】ここで、各水平維持機構５２における傾斜
リング５６の傾斜面５６ａは、基板保持部４２が最大進
出したときに基板保持部４２が水平状態となるような傾
斜角度を有している。したがって、図１１（Ｂ）に示す
ように、各アーム４０，４１が回転して基板保持部４２
の進出量が最大になったとき、各アーム４０，４１の先
端が下方に撓むが基板保持部４２は水平状態に維持され
る。

【００２７】なお、基板保持部４２や基板Ｗの重量が変
わったり、基板保持部４２の最大進出量が変更された場
合は、各アーム４０，４１の下方への撓みも変わる。こ
の場合には、傾斜リング５６と調整部材６０の相互の重
なり位置を円周方向で調整する。これにより、各水平維
持機構における傾きの補正量が変化し、条件が変更され
た場合でも常に基板保持部４２の姿勢を水平に維持でき
る。

【００２８】さらに、調整部材６０を、傾斜面６０ａの
傾斜角度が異なるものに交換することで、各水平維持機
構における傾きの補正量を微調整することもできる。こ
のような実施例では、各アーム４０，４１が撓んだ場合
でも、基部側水平維持機構５１及び先部側水平維持機構
５２により各アーム４０，４１の撓みによる傾きを補正
できる。このため、基板保持部４２が各処理部に対して
進退する際に常に水平姿勢を維持でき、基板Ｗの搬送を
円滑に行える。また、各機構５０，５１を傾斜リング及
びボールにより構成しているので、簡素な構成で傾き補
正が行える。

【００２９】また、２つの水平維持機構５１，５２を用
いて傾き補正を行うので、一方の機構の補正量が少なく
てよく、ヒンジ部５９における弾性変形量が小さいので
作動が円滑になる。さらに、同様の理由により、基板保
持部４２が突出した際の高さの変化（収納時の高さと最
大進出時の高さとの差）をなくすことが可能となる。 〔他の実施例〕 （ａ）前記実施例では、基部側水平維持機構５１及び先
部側水平維持機構５２を設けて各アーム４０，４１の撓
みによる傾きを補正するようにしたが、図１２に示すよ
うに、基部側水平維持機構７０のみによって傾きを補正
するようにしてもよい。

【００３０】この実施例における基部側水平維持機構７
０の構成は前記実施例と同様である。ただし、傾斜リン
グの傾斜角度は前記実施例と比較して大きく設定されて
おり、基板保持部４２が最大に進出した状態で、基板保
持部４２が水平姿勢を維持するような傾斜角度となって
いる。ここで、各アーム４０，４１の剛性、長さ等によ
っては、基板保持部４２の高さを同じに維持したまま水
平姿勢を維持できない場合がある。図１２に示す例で
は、基板保持部４２の姿勢を水平に維持しようとすれ
ば、基板保持部４２の高さが収納状態の高さより高くな
ってしまう。この場合は、基板保持部４２の上昇量に合
わせてベース５５をＺ軸移動機構２１により下降させ
る。これにより、基板保持部４２を水平姿勢に維持しつ
つその高さを維持でき、基板保持部４２の各処理部に対
する進退をスムーズに行える。

【００３１】（ｂ）水平維持機構を先部側水平維持機構
７１のみで構成してもよい。この場合の例を図１３に示
す。先部側水平維持機構７１の構成は前記実施例と同様
の構成である。ただし、前記同様に、傾斜リングの傾斜
角度は、基板保持部４２が最大に進出した状態で、基板
保持部４２が水平姿勢を維持するような傾斜角度となっ
ている。また、この実施例では、基板保持部４２の姿勢
を水平に維持しようとすれば、基板保持部４２の高さが
収納状態の高さより低くなってしまう。この場合は、基
板保持部４２の下降量に合わせてベース５５をＺ軸移動
機構２１により上昇させる。これにより、基板保持部４
２を水平姿勢に維持しつつその高さを維持でき、基板保
持部４２の各処理部に対する進退をスムーズに行える。

【００３２】（ｃ）第１移動アーム４０と第２移動アー
ム４１との間に、基部側水平維持機構及び先部側水平維
持機構と同様の機構を設けてもよい。 （ｄ）前記実施例では本発明を基板処理装置の基板搬送
ロボットに適用したが、他の搬送装置に適用してもよ
い。

【００３３】

【発明の効果】本発明に係るアーム型搬送装置では、水
平維持機構が、被搬送物の保持姿勢が水平になるように
支持部材の姿勢を変更することにより、被搬送物の搬送
状態を適正に維持することができる。なお、前記水平維
持機構はベースとアームとの間に設けられていてもよ
く、この場合、水平維持機構が、水平面に対して傾斜し
た第１傾斜面を有するとともにベースに固定された第１
傾斜部材と、アームに連結されて第１傾斜面上を移動す
る第２傾斜部材とを有するものであれば、簡素な構成で
被搬送物の搬送状態を適正に維持することができる。

【００３４】また、前記水平維持機構はアームと支持部
材との間に設けられていてもよく、この場合、水平維持
機構が、水平面に対して傾斜した第２傾斜面を有すると
ともにアームに固定された第３傾斜部材と、支持部材に
連結されて第２傾斜面上を移動する第４傾斜部材とを有
するものであれば、簡素な構成で被搬送物の搬送状態を
適正に維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例が採用された基板処理装置の
側面模式図。

【図２】その平面模式図。

【図３】基板搬送ロボットの斜視図。

【図４】前記基板搬送ロボットのＹ軸移動機構の横断平
面図。

【図５】基板保持部が進出した状態を示す横断平面図。

【図６】基部側水平維持機構の分解斜視図。

【図７】基部側水平維持機構の縦断面図。

【図８】先部側水平維持機構の分解斜視図。

【図９】先部側水平維持機構の縦断面図。

【図１０】基部側水平維持機構の動作を説明するための
正面模式図。

【図１１】水平維持機構の動作を説明するための模式
図。

【図１２】他の実施例による図１１に対応する図。

【図１３】さらに他の実施例による図１１に対応する
図。

【符号の説明】

２２ Ｙ軸移動機構（アーム） ３０ アーム本体 ４０ 第１移動アーム ４１ 第２移動アーム ４２ 基板保持部 ５０ 水平維持機構 ５１ 基部側水平維持機構 ５２ 先部側水平維持機構 ５５ ベース ５６ 傾斜リング ５６ａ 傾斜面 ５７ ボール ５８ 回転軸 ５９ ヒンジ部材 ６０ 調整部材

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被搬送物を水平に保持して搬送するアーム
   型搬送装置において、 ベースと、 被搬送物がその上に載置される支持部材と、 一端がベースに垂直軸回りに回転可能に支持されかつ他
   端が支持部材に連結されて、その回転によって支持部材
   を移動させて、支持部材の上に載置された被搬送物を搬
   送するアームを有する回転アーム機構と、 回転アーム機構が回転しても支持部材上に載置された被
   搬送物が常に水平に維持されるようにする水平維持機構
   と、を備えたアーム型搬送装置。
2. 【請求項２】水平維持機構はベースとアームとの間に設
   けられていることを特徴とする、請求項１に記載のアー
   ム型搬送装置。
3. 【請求項３】水平維持機構は、水平面に対して傾斜した
   第１傾斜面を有するとともにベースに固定された第１傾
   斜部材と、アームに連結されて第１傾斜面上を移動する
   第２傾斜部材とを有することを特徴とする、請求項２に
   記載のアーム型搬送装置。
4. 【請求項４】水平維持機構はアームと支持部材との間に
   設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のア
   ーム型搬送装置。
5. 【請求項５】水平維持機構は、水平面に対して傾斜した
   第２傾斜面を有するとともにアームに固定された第３傾
   斜部材と、支持部材に連結されて第２傾斜面上を移動す
   る第４傾斜部材とを有することを特徴とする、請求項４
   に記載のアーム型搬送装置。