JPH07328982A - 多関節型ロボットの配線・配管構造 - Google Patents
多関節型ロボットの配線・配管構造Info
- Publication number
- JPH07328982A JPH07328982A JP12113094A JP12113094A JPH07328982A JP H07328982 A JPH07328982 A JP H07328982A JP 12113094 A JP12113094 A JP 12113094A JP 12113094 A JP12113094 A JP 12113094A JP H07328982 A JPH07328982 A JP H07328982A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 周辺の他の部品・部材との干渉及びクリーン
ルーム内での発塵を防止するとともに、配線・配管の収
容量の増加、寿命の延長及び交換作業性の容易化を図
る。 【構成】 ロボット本体1とハンド6との間に、アーム
3,5の回動に追従して動くリンク機構11を設ける。
該リンク機構11は、一端がロボット本体1に回動自在
に支持された第1のリンク部材14と、第1のリンク部
材14の他端に一端が回動自在に連結されかつ他端が第
2のアーム5に回動自在に連結された第2のリンク部材
16とを有する。第1のリンク部材14は第1のアーム
3と、第2のリンク部材16は第2のアーム5とそれぞ
れ同一面内で移動するように配置されている。第1及び
第2のリンク部材14,16を中空状に形成し、その中
空内に、ハンド6に導かれる電源線や信号線等の線及び
エア供給管等の管を配置する。
ルーム内での発塵を防止するとともに、配線・配管の収
容量の増加、寿命の延長及び交換作業性の容易化を図
る。 【構成】 ロボット本体1とハンド6との間に、アーム
3,5の回動に追従して動くリンク機構11を設ける。
該リンク機構11は、一端がロボット本体1に回動自在
に支持された第1のリンク部材14と、第1のリンク部
材14の他端に一端が回動自在に連結されかつ他端が第
2のアーム5に回動自在に連結された第2のリンク部材
16とを有する。第1のリンク部材14は第1のアーム
3と、第2のリンク部材16は第2のアーム5とそれぞ
れ同一面内で移動するように配置されている。第1及び
第2のリンク部材14,16を中空状に形成し、その中
空内に、ハンド6に導かれる電源線や信号線等の線及び
エア供給管等の管を配置する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多関節型ロボット、特
にアームが二次元的に移動する水平多関節型ロボットの
ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管
等の管を配置する配線・配管構造に関するものである。
にアームが二次元的に移動する水平多関節型ロボットの
ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管
等の管を配置する配線・配管構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、多関節型ロボットの一種とし
て、各アームが二次元的に移動する水平多関節型ロボッ
トは知られている。この種のロボットは、通常、例えば
図4に示すように、ロボット本体aに第1のアームbの
基端部を第1の関節軸c回りに水平方向に回動自在に設
けるとともに、該第1のアームbの先端部に第2のアー
ムdの基端部を第2の関節軸e回りに水平方向に回動自
在に設け、該第2のアームdの先端部にハンドfを取付
ける構成になっている。
て、各アームが二次元的に移動する水平多関節型ロボッ
トは知られている。この種のロボットは、通常、例えば
図4に示すように、ロボット本体aに第1のアームbの
基端部を第1の関節軸c回りに水平方向に回動自在に設
けるとともに、該第1のアームbの先端部に第2のアー
ムdの基端部を第2の関節軸e回りに水平方向に回動自
在に設け、該第2のアームdの先端部にハンドfを取付
ける構成になっている。
【0003】そして、この種のロボットにおいて、ハン
ドfに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等
の管gは、図4に示すように、これらを一つに束ね、ア
ームb,dの外部に引き回すように配置されている。
尚、図4中、hは配線・配管の束gの途中を支持する支
持金具であって、該支持金具hは、アームbに対し軸i
回りに回動自在に取付けられている。
ドfに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等
の管gは、図4に示すように、これらを一つに束ね、ア
ームb,dの外部に引き回すように配置されている。
尚、図4中、hは配線・配管の束gの途中を支持する支
持金具であって、該支持金具hは、アームbに対し軸i
回りに回動自在に取付けられている。
【0004】また、従来の別の配線・配管構造として、
例えば特公平4−43743号に開示されるように、各
アームb,dを中空状に形成し、その中空内を通して配
線・配管を行うこともある。
例えば特公平4−43743号に開示されるように、各
アームb,dを中空状に形成し、その中空内を通して配
線・配管を行うこともある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
配線・配管構造のうち、アーム外部に配線・配管を行う
場合には、それらの束gがロボットの作動中に膨らんだ
り捩じれたりして周辺の他の部品・部材と干渉する虞が
ある。また、ロボットの作動中に線同士、管同士又は線
と管とが互いに擦れ合って塵を生じる可能性があるた
め、特にクリーンルーム内の作業に用いられるいわゆる
クリーンロボットでは問題である。
配線・配管構造のうち、アーム外部に配線・配管を行う
場合には、それらの束gがロボットの作動中に膨らんだ
り捩じれたりして周辺の他の部品・部材と干渉する虞が
ある。また、ロボットの作動中に線同士、管同士又は線
と管とが互いに擦れ合って塵を生じる可能性があるた
め、特にクリーンルーム内の作業に用いられるいわゆる
クリーンロボットでは問題である。
【0006】一方、アーム内部に配線・配管を行う場合
には、アーム内の収容量に制限があるばかりでなく、ア
ーム内に配設されるアーム駆動用の可動部材と線・管が
接触するため、これらの寿命が短くなる。また、線・管
を交換するときには、ロボットアーム自体を取外し分解
しなければならず、作業が非常に面倒であるという問題
もある。
には、アーム内の収容量に制限があるばかりでなく、ア
ーム内に配設されるアーム駆動用の可動部材と線・管が
接触するため、これらの寿命が短くなる。また、線・管
を交換するときには、ロボットアーム自体を取外し分解
しなければならず、作業が非常に面倒であるという問題
もある。
【0007】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、配線・配管用のリンク
機構を用いることにより、周辺の他の部品・部材との干
渉及びクリーンルーム内での発塵を防止するとともに、
配線・配管の収容量の増加、寿命の延長及び交換作業性
の容易化を図り得る多関節型ロボットの配線・配管構造
を提供せんとするものである。
あり、その目的とするところは、配線・配管用のリンク
機構を用いることにより、周辺の他の部品・部材との干
渉及びクリーンルーム内での発塵を防止するとともに、
配線・配管の収容量の増加、寿命の延長及び交換作業性
の容易化を図り得る多関節型ロボットの配線・配管構造
を提供せんとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、ロボット本体に一連の複数
のアームを介してハンドが取付けられ、上記各アームが
関節軸回りに回動自在に設けられた多関節型ロボットに
おいて、上記ロボット本体とハンドとの間に、上記アー
ムの回動に追従して動くリンク機構を設けるとともに、
該リンク機構の構成部材を中空状に形成し、その中空内
に、上記ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエ
ア供給管等の管を配置する構成とする。
め、請求項1記載の発明は、ロボット本体に一連の複数
のアームを介してハンドが取付けられ、上記各アームが
関節軸回りに回動自在に設けられた多関節型ロボットに
おいて、上記ロボット本体とハンドとの間に、上記アー
ムの回動に追従して動くリンク機構を設けるとともに、
該リンク機構の構成部材を中空状に形成し、その中空内
に、上記ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエ
ア供給管等の管を配置する構成とする。
【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明に従属し、その一つの態様を示すものである。すなわ
ち、一連の複数のアームとして、ロボット本体に第1の
関節軸回りに回動自在に設けられた第1のアームと、該
第1のアームの先端に基端が第2の関節軸回りに回動自
在に設けられかつ先端に上記ハンドが取付けられた第2
のアームとを有する。一方、上記リンク機構は、一端が
ロボット本体に回動自在に支持された第1のリンク部材
と、該第1のリンク部材の他端に一端が回動自在に連結
されかつ他端が上記第2のアーム部材に回動自在に連結
された第2のリンク部材とを有している。また、上記第
1のリンク部材は上記第1のアームと、上記第2のリン
ク部材は上記第2のアームとそれぞれ同一面内で移動す
るように配置されている。
明に従属し、その一つの態様を示すものである。すなわ
ち、一連の複数のアームとして、ロボット本体に第1の
関節軸回りに回動自在に設けられた第1のアームと、該
第1のアームの先端に基端が第2の関節軸回りに回動自
在に設けられかつ先端に上記ハンドが取付けられた第2
のアームとを有する。一方、上記リンク機構は、一端が
ロボット本体に回動自在に支持された第1のリンク部材
と、該第1のリンク部材の他端に一端が回動自在に連結
されかつ他端が上記第2のアーム部材に回動自在に連結
された第2のリンク部材とを有している。また、上記第
1のリンク部材は上記第1のアームと、上記第2のリン
ク部材は上記第2のアームとそれぞれ同一面内で移動す
るように配置されている。
【0010】
【作用】上記の構成により、請求項1記載の発明では、
電源線や信号線等の線及びエア供給管等の管を、ロボッ
トアームの回動に追従して動くリンク機構の中空状の構
成部材内に配置しているため、これらの配線・配管がロ
ボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉すること
はない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管同士
又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときでも該
塵はリンク機構の構成部材内に止まり、クリーンルーム
内を汚染することはない。さらに、アーム内に配線・配
管を行うことと相俟って、配線・配管の収容量が大幅に
増加することになる。その上、リンク機構の構成部材内
には上記線及び管以外の部材・部品、特に可動部材は配
置されないので、この可動部材との接触により線・管の
寿命が短くなることはない。また、リンク機構のみをロ
ボットから取り外すだけで上記線・管の交換作業が容易
に行える。
電源線や信号線等の線及びエア供給管等の管を、ロボッ
トアームの回動に追従して動くリンク機構の中空状の構
成部材内に配置しているため、これらの配線・配管がロ
ボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉すること
はない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管同士
又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときでも該
塵はリンク機構の構成部材内に止まり、クリーンルーム
内を汚染することはない。さらに、アーム内に配線・配
管を行うことと相俟って、配線・配管の収容量が大幅に
増加することになる。その上、リンク機構の構成部材内
には上記線及び管以外の部材・部品、特に可動部材は配
置されないので、この可動部材との接触により線・管の
寿命が短くなることはない。また、リンク機構のみをロ
ボットから取り外すだけで上記線・管の交換作業が容易
に行える。
【0011】請求項2記載の発明では、リンク機構を構
成する第1及び第2のリンク部材が、それぞれ第1及び
第2のアームと同一面内で移動するように配置されてい
るため、リンク機構の付設によりロボットの寸法が大き
くなることはない。
成する第1及び第2のリンク部材が、それぞれ第1及び
第2のアームと同一面内で移動するように配置されてい
るため、リンク機構の付設によりロボットの寸法が大き
くなることはない。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【0013】図1は本発明の一実施例に係わる多関節型
ロボットの配線・配管構造を示し、1はロボット本体で
あって、該ロボット本体1には第1の関節軸2を介して
第1のアーム3の基端部が連結されているとともに、該
第1のアーム3の先端部には第2の関節軸4を介して第
2のアーム5の基端部が連結され、該第2のアーム5の
先端部にはハンド6が取付けられている。
ロボットの配線・配管構造を示し、1はロボット本体で
あって、該ロボット本体1には第1の関節軸2を介して
第1のアーム3の基端部が連結されているとともに、該
第1のアーム3の先端部には第2の関節軸4を介して第
2のアーム5の基端部が連結され、該第2のアーム5の
先端部にはハンド6が取付けられている。
【0014】上記第1のアーム3は、図示していないサ
ーボモータ等からなるアクチュエータにより、第1の関
節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けられてい
るとともに、上記第2のアーム5は、同じく図示してい
ないサーボモータ等からなるアクチュエータにより、第
2の関節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けら
れている。また、第1及び第2のアーム3,5は、いず
れも中空状に形成され、その中空内には上記アクチュエ
ータに接続される電源線や信号線等が配置されている。
ーボモータ等からなるアクチュエータにより、第1の関
節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けられてい
るとともに、上記第2のアーム5は、同じく図示してい
ないサーボモータ等からなるアクチュエータにより、第
2の関節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けら
れている。また、第1及び第2のアーム3,5は、いず
れも中空状に形成され、その中空内には上記アクチュエ
ータに接続される電源線や信号線等が配置されている。
【0015】また、11は上記ロボット本体1とハンド
6寄りの第2のアーム5との間に設けられたリンク機構
であって、該リンク機構11は、図2及び図3に拡大詳
示するように、ロボット本体1に捩子止めにより固定さ
れた本体側ブラケット12と、一端部が該ブラケット1
2にベアリング13等を介して回動自在に連結された第
1のリンク部材14と、一端部が該リンク部材14の他
端部にベアリング15等を介して回動自在に連結された
第2のリンク部材16と、第2のアーム5における第1
のアーム3との連結側端部に捩子止めにより固定されか
つ上記第2のリンク部材16の他端部がベアリング17
等を介して回動自在に連結されたアーム側ブラケット1
8とを有し、上記第1及び第2のアーム3,5の回動に
追従して上記第1及び第2のリンク部材14,16が移
動するようになっている。ここで、上記第1のリンク部
材14は第1のアーム3と、上記第2のリンク部材16
は第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されており、またこの配置により、第1のリンク部
材14と第2のアーム5との間及び第2のリンク部材1
6と第1のアーム3との間では部材干渉が生じないよう
になっている。
6寄りの第2のアーム5との間に設けられたリンク機構
であって、該リンク機構11は、図2及び図3に拡大詳
示するように、ロボット本体1に捩子止めにより固定さ
れた本体側ブラケット12と、一端部が該ブラケット1
2にベアリング13等を介して回動自在に連結された第
1のリンク部材14と、一端部が該リンク部材14の他
端部にベアリング15等を介して回動自在に連結された
第2のリンク部材16と、第2のアーム5における第1
のアーム3との連結側端部に捩子止めにより固定されか
つ上記第2のリンク部材16の他端部がベアリング17
等を介して回動自在に連結されたアーム側ブラケット1
8とを有し、上記第1及び第2のアーム3,5の回動に
追従して上記第1及び第2のリンク部材14,16が移
動するようになっている。ここで、上記第1のリンク部
材14は第1のアーム3と、上記第2のリンク部材16
は第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されており、またこの配置により、第1のリンク部
材14と第2のアーム5との間及び第2のリンク部材1
6と第1のアーム3との間では部材干渉が生じないよう
になっている。
【0016】上記両リンク部材14,16は、いずれも
断面が中空の矩形状に形成されている。また、両リンク
部材14,16の連結部においては、一方のリンク部材
16に固定された内筒20に、他方のリンク部材14に
固定された外筒21がベアリング15を介して嵌着さ
れ、上記内筒20を通して両リンク部材14,16の中
空同士が連通されている。そして、上記両リンク部材1
4,16の中空内及び内筒20の中空内には、ロボット
本体1側からハンド6に導かれる電源線や信号線等の線
及びエア供給管等の管22が配置されている。該線及び
管22は、第2のリンク部材16の中空内から第2のア
ーム5の一辺に沿ってハンド6に導かれて配置される一
方、第2のアーム5に取付けられたカバー部材23によ
り覆われる。尚、各リンク部材14,16には配線・配
管作業用に開口部24が設けられている一方、該開口部
24は蓋部材25により閉じられている。
断面が中空の矩形状に形成されている。また、両リンク
部材14,16の連結部においては、一方のリンク部材
16に固定された内筒20に、他方のリンク部材14に
固定された外筒21がベアリング15を介して嵌着さ
れ、上記内筒20を通して両リンク部材14,16の中
空同士が連通されている。そして、上記両リンク部材1
4,16の中空内及び内筒20の中空内には、ロボット
本体1側からハンド6に導かれる電源線や信号線等の線
及びエア供給管等の管22が配置されている。該線及び
管22は、第2のリンク部材16の中空内から第2のア
ーム5の一辺に沿ってハンド6に導かれて配置される一
方、第2のアーム5に取付けられたカバー部材23によ
り覆われる。尚、各リンク部材14,16には配線・配
管作業用に開口部24が設けられている一方、該開口部
24は蓋部材25により閉じられている。
【0017】したがって、上記実施例においては、ロボ
ット本体1とハンド6との間に、ロボットアーム3,5
の回動に追従して動くリンク機構11を設けるととも
に、該リンク機構11の第1及び第2のリンク部材1
4,16を中空状に形成し、それらの中空内に、ハンド
6に導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等の
管22を配置したことにより、これらの配線・配管22
がロボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉する
ことはない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管
同士又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときで
も該塵はリンク機構11のリンク部材14,16内に止
まり、クリーンルーム内を汚染することはない。さら
に、ロボットアーム3,5内に配線・配管を行うことと
相俟って、配線・配管の収容量を大幅に増加することが
できる。
ット本体1とハンド6との間に、ロボットアーム3,5
の回動に追従して動くリンク機構11を設けるととも
に、該リンク機構11の第1及び第2のリンク部材1
4,16を中空状に形成し、それらの中空内に、ハンド
6に導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等の
管22を配置したことにより、これらの配線・配管22
がロボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉する
ことはない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管
同士又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときで
も該塵はリンク機構11のリンク部材14,16内に止
まり、クリーンルーム内を汚染することはない。さら
に、ロボットアーム3,5内に配線・配管を行うことと
相俟って、配線・配管の収容量を大幅に増加することが
できる。
【0018】その上、上記リンク機構11のリンク部材
14,16内には上記線及び管22以外の部材・部品、
特に可動部材は配置されないので、この可動部材との接
触により線・管22の寿命が短くなることはなく、寿命
の延長を図ることができる。また、リンク機構11のみ
をロボットから取り外すだけで上記線・管22の交換作
業を容易に行うことができ、交換作業の簡易・迅速化を
図ることができる。
14,16内には上記線及び管22以外の部材・部品、
特に可動部材は配置されないので、この可動部材との接
触により線・管22の寿命が短くなることはなく、寿命
の延長を図ることができる。また、リンク機構11のみ
をロボットから取り外すだけで上記線・管22の交換作
業を容易に行うことができ、交換作業の簡易・迅速化を
図ることができる。
【0019】加えて、上記リンク機構11の第1のリン
ク部材14が第1のアーム3と、第2のリンク部材16
が第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されているため、リンク機構11の付設によりロボ
ットの寸法が大きくなることはなく、その小型化に寄与
することができる。
ク部材14が第1のアーム3と、第2のリンク部材16
が第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されているため、リンク機構11の付設によりロボ
ットの寸法が大きくなることはなく、その小型化に寄与
することができる。
【0020】尚、上記実施例では、リンク機構11のハ
ンド寄りのリンク部材16を、第2のアーム5における
第1のアーム3との連結側端部に連結したが、第2のア
ーム5におけるハンド6との連結側端部に連結するよう
にしても良く、またその際、三つ又はそれ以上のリンク
部材を用いてリンク機構を構成しても良い。
ンド寄りのリンク部材16を、第2のアーム5における
第1のアーム3との連結側端部に連結したが、第2のア
ーム5におけるハンド6との連結側端部に連結するよう
にしても良く、またその際、三つ又はそれ以上のリンク
部材を用いてリンク機構を構成しても良い。
【0021】
【発明の効果】以上の如く、本発明における多関節型ロ
ボットの配線・配管構造によれば、ロボットの作動中に
配線・配管が周辺の他の部品・部材と干渉することを防
止できるとともに、仮に線同士、管同士又は線と管とが
互いに擦れ合って塵を生じたときでもクリーンルーム内
を汚染することはなく、クリーンロボットに適してい
る。また、配線・配管の収容量を増加することができる
とともに、線・管の寿命の延長及び交換作業の容易化を
図ることができるという効果を有する。
ボットの配線・配管構造によれば、ロボットの作動中に
配線・配管が周辺の他の部品・部材と干渉することを防
止できるとともに、仮に線同士、管同士又は線と管とが
互いに擦れ合って塵を生じたときでもクリーンルーム内
を汚染することはなく、クリーンロボットに適してい
る。また、配線・配管の収容量を増加することができる
とともに、線・管の寿命の延長及び交換作業の容易化を
図ることができるという効果を有する。
【0022】特に、請求項2記載の発明では、リンク機
構とアームとの干渉を回避しながら、リンク機構の付設
によるロボットの寸法の拡大を防止することができると
いう効果をも有する。
構とアームとの干渉を回避しながら、リンク機構の付設
によるロボットの寸法の拡大を防止することができると
いう効果をも有する。
【図1】本発明の実施例に係わる多関節型ロボットの配
線・配管構造を示す平面図である。
線・配管構造を示す平面図である。
【図2】リンク機構の側面図である。
【図3】図2のA−A線における断面図である。
【図4】従来の配線・配管構造を示す側面図である。
1 ロボット本体 2 第1の関節軸 3 第1のアーム 4 第2の関節軸 5 第2のアーム 6 ハンド 11 リンク機構 14 第1のリンク部材(構成部材) 16 第2のリンク部材(構成部材)
Claims (2)
- 【請求項1】 ロボット本体に一連の複数のアームを介
してハンドが取付けられ、上記各アームが関節軸回りに
回動自在に設けられた多関節型ロボットにおいて、 上記ロボット本体とハンドとの間には、上記アームの回
動に追従して動くリンク機構が設けられており、 該リンク機構の構成部材は中空状に形成され、その中空
内には、上記ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及
びエア供給管等の管が配置されていることを特徴とする
多関節型ロボットの配線・配管構造。 - 【請求項2】 一連の複数のアームとして、ロボット本
体に第1の関節軸回りに回動自在に設けられた第1のア
ームと、該第1のアームの先端に基端が第2の関節軸回
りに回動自在に設けられかつ先端に上記ハンドが取付け
られた第2のアームとを有する一方、 上記リンク機構は、一端がロボット本体に回動自在に支
持された第1のリンク部材と、該第1のリンク部材の他
端に一端が回動自在に連結されかつ他端が上記第2のア
ーム部材に回動自在に連結された第2のリンク部材とを
有しており、 上記第1のリンク部材は上記第1のアームと、上記第2
のリンク部材は上記第2のアームとそれぞれ同一面内で
移動するように配置されている請求項1記載の多関節型
ロボットの配線・配管構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12113094A JPH07328982A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | 多関節型ロボットの配線・配管構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12113094A JPH07328982A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | 多関節型ロボットの配線・配管構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07328982A true JPH07328982A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=14803624
Family Applications (1)
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JP12113094A Withdrawn JPH07328982A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | 多関節型ロボットの配線・配管構造 |
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JP (1) | JPH07328982A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005106944A1 (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Tokyo Electron Limited | 真空処理装置 |
JPWO2006022231A1 (ja) * | 2004-08-25 | 2008-05-08 | 株式会社安川電機 | 多関節ロボット |
JP2011083878A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
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US10618185B2 (en) | 2016-11-28 | 2020-04-14 | Fanuc Corporation | Connection structure |
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-
1994
- 1994-06-02 JP JP12113094A patent/JPH07328982A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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