JPH07324925A - 信号伝送装置 - Google Patents
信号伝送装置Info
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- JPH07324925A JPH07324925A JP7037329A JP3732995A JPH07324925A JP H07324925 A JPH07324925 A JP H07324925A JP 7037329 A JP7037329 A JP 7037329A JP 3732995 A JP3732995 A JP 3732995A JP H07324925 A JPH07324925 A JP H07324925A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Devices For Conveying Motion By Means Of Endless Flexible Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 目盛板とホルダー本体の熱特性が不均一で
も、実際上測定結果を悪化させることがなく、それでも
目盛板を比較的振動に強くホルダー本体に固定できる位
置測定装置を提供する。 【構成】 目盛板２をホルダー本体１に固定し、位置測
定値を求めるために走査装置４で走査される目盛板２を
備えた位置測定装置にあって、前記固定のために、少な
くとも目盛板２の表面８，９とホルダー本体１の表面１
２，１３との間にモールド材１４を設け、目盛板２とモ
ールド材１４との間および／またはモールド材１４とホ
ルダー本体１との間に、目盛板２の測定方向Ｘの長さの
熱変化を許す分離層１０，１５がホルダー本体１に実質
上無関係に装着されている。
も、実際上測定結果を悪化させることがなく、それでも
目盛板を比較的振動に強くホルダー本体に固定できる位
置測定装置を提供する。 【構成】 目盛板２をホルダー本体１に固定し、位置測
定値を求めるために走査装置４で走査される目盛板２を
備えた位置測定装置にあって、前記固定のために、少な
くとも目盛板２の表面８，９とホルダー本体１の表面１
２，１３との間にモールド材１４を設け、目盛板２とモ
ールド材１４との間および／またはモールド材１４とホ
ルダー本体１との間に、目盛板２の測定方向Ｘの長さの
熱変化を許す分離層１０，１５がホルダー本体１に実質
上無関係に装着されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、目盛板をホルダー本
体に固定し、位置測定値を求めるために走査装置で走査
される目盛板を備えた位置測定装置に関する。
体に固定し、位置測定値を求めるために走査装置で走査
される目盛板を備えた位置測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置測定装置は二つの部品の相
対位置を測定するために使用され、測長あるいは測角装
置として構成される。
対位置を測定するために使用され、測長あるいは測角装
置として構成される。
【０００３】ドイツ特許第 25 05 587 C3 号明細書によ
り、目盛板が接着剤でホルダー本体に固定されている測
長装置が知られている。目盛板とホルダー本体の熱膨張
係数が異なる場合の測定の不正確さを避けるため、目盛
板とホルダー本体の間で直接接触することなしに固定が
行われ、その際、弾力的な接着剤が使用される。この場
合の難点は、目盛板はただ弾力的な固定だけで十分確実
に保持されず、振動することにある。
り、目盛板が接着剤でホルダー本体に固定されている測
長装置が知られている。目盛板とホルダー本体の熱膨張
係数が異なる場合の測定の不正確さを避けるため、目盛
板とホルダー本体の間で直接接触することなしに固定が
行われ、その際、弾力的な接着剤が使用される。この場
合の難点は、目盛板はただ弾力的な固定だけで十分確実
に保持されず、振動することにある。
【０００４】この難点を防止するため、ドイツ特許第 2
6 43 304 B2 号明細書で目盛板を測定方向に延びるホル
ダー本体の長方形の溝の縁に載せて固定することが提案
されている。目盛板はその中心を溝の中の弾力性のない
接着剤で、また両側を溝中の高弾力性の接着剤でホルダ
ー本体に接続されている。この方式でも、目盛板が主に
一面でのみ弾力的に固定されているため、簡単に振動を
起こすと言う難点がある。更に、目盛板を溝の縁に直接
接触させると、ホルダー本体の仕上げによる不均一が目
盛板に移り、測定時に誤差が生じると言う難点もある。
6 43 304 B2 号明細書で目盛板を測定方向に延びるホル
ダー本体の長方形の溝の縁に載せて固定することが提案
されている。目盛板はその中心を溝の中の弾力性のない
接着剤で、また両側を溝中の高弾力性の接着剤でホルダ
ー本体に接続されている。この方式でも、目盛板が主に
一面でのみ弾力的に固定されているため、簡単に振動を
起こすと言う難点がある。更に、目盛板を溝の縁に直接
接触させると、ホルダー本体の仕上げによる不均一が目
盛板に移り、測定時に誤差が生じると言う難点もある。
【０００５】更に、目盛板の振動を低減するため、目盛
板をホルダー本体のただ一面でのみ固定しないことも提
案されている。この発明の前提となるこの種の位置測定
装置は、ドイツ特許第 31 18 607 C2 号明細書に記載さ
れている。目盛板を入れるため、ホルダー本体に長手方
向の溝が付けてある。目盛板は溝の側面と溝の底に直接
接触している。溝の他の側面と目盛板の一方の面の間の
空間にはゴム棒と弾力的な接着剤が充填されている。つ
まり、目盛板は一部で挟持されている。この装置の難点
は、弾力的な接着剤を詰めた空間が比較的広い点にあ
り、このことが目盛板の振動特性に再び悪影響を与え
る。
板をホルダー本体のただ一面でのみ固定しないことも提
案されている。この発明の前提となるこの種の位置測定
装置は、ドイツ特許第 31 18 607 C2 号明細書に記載さ
れている。目盛板を入れるため、ホルダー本体に長手方
向の溝が付けてある。目盛板は溝の側面と溝の底に直接
接触している。溝の他の側面と目盛板の一方の面の間の
空間にはゴム棒と弾力的な接着剤が充填されている。つ
まり、目盛板は一部で挟持されている。この装置の難点
は、弾力的な接着剤を詰めた空間が比較的広い点にあ
り、このことが目盛板の振動特性に再び悪影響を与え
る。
【０００６】他の難点は、目盛板をゴム棒で挟持して目
盛板とホルダー本体の間の自由な長手方向の延びが妨げ
られることにある。この難点を防止するため、ドイツ特
許第33 12 534 A1 号明細書では、ゴム棒をただ部分的
にのみ設け、更に目盛板を間隔片を介して溝の底に置く
ことを提唱している。この解決策の難点は、目盛板に部
分的に異なった力が作用し、測定精度を悪化させること
にある。
盛板とホルダー本体の間の自由な長手方向の延びが妨げ
られることにある。この難点を防止するため、ドイツ特
許第33 12 534 A1 号明細書では、ゴム棒をただ部分的
にのみ設け、更に目盛板を間隔片を介して溝の底に置く
ことを提唱している。この解決策の難点は、目盛板に部
分的に異なった力が作用し、測定精度を悪化させること
にある。
【０００７】ドイツ特許第 36 05 789 C1 号明細書で
は、目盛板を同様にホルダー本体の溝に固定した位置測
定装置が開示されている。この目盛板は薄い側面を恒久
弾性を有するモールド材の中に埋め込んでいる。目盛板
とホルダー本体との間の長手方向の延びを保証するた
め、このモールド材の弾性を強くする必要がある。この
ことは、目盛板の振動特性や安定性に悪影響を及ぼす。
は、目盛板を同様にホルダー本体の溝に固定した位置測
定装置が開示されている。この目盛板は薄い側面を恒久
弾性を有するモールド材の中に埋め込んでいる。目盛板
とホルダー本体との間の長手方向の延びを保証するた
め、このモールド材の弾性を強くする必要がある。この
ことは、目盛板の振動特性や安定性に悪影響を及ぼす。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、目
盛板とホルダー本体の熱特性が不均一でも、実際上測定
結果を悪化させることがなく、それでも目盛板を比較的
振動に強くホルダー本体に固定できる位置測定装置を提
供することにある。
盛板とホルダー本体の熱特性が不均一でも、実際上測定
結果を悪化させることがなく、それでも目盛板を比較的
振動に強くホルダー本体に固定できる位置測定装置を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、目盛板２をホルダー本体１に固定し、位置測定
値を求めるために走査装置４で走査される目盛板２を備
えた位置測定装置にあって、目盛板２をホルダー本体１
に固定するために、少なくとも目盛板２の表面８，９と
ホルダー本体１の表面１２，１３との間にモールド材１
４を設け、目盛板２とモールド材１４との間、および／
またはモールド材１４とホルダー本体１との間に、目盛
板２の測定方向Ｘの長さの熱変化を許す分離層１０，１
５がホルダー本体１に実質上無関係に装備されているこ
とによって解決されている。
により、目盛板２をホルダー本体１に固定し、位置測定
値を求めるために走査装置４で走査される目盛板２を備
えた位置測定装置にあって、目盛板２をホルダー本体１
に固定するために、少なくとも目盛板２の表面８，９と
ホルダー本体１の表面１２，１３との間にモールド材１
４を設け、目盛板２とモールド材１４との間、および／
またはモールド材１４とホルダー本体１との間に、目盛
板２の測定方向Ｘの長さの熱変化を許す分離層１０，１
５がホルダー本体１に実質上無関係に装備されているこ
とによって解決されている。
【００１０】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の請求項２に記載されている。
求の範囲の請求項２に記載されている。
【００１１】
【実施例】以下、この発明を実施例を示す図面に基づき
より詳しく説明する。図１に示す測長装置は、目盛板２
のホルダー本体としてのケース１で構成されている。目
盛板２の上には、走査装置４で光電的に走査される目盛
３が付けてある。ケース１はアルミニウム製であり、目
盛板２はガラス製である。二つの部品間の相対運動を測
定するため、ケース１はこの部品の一方に、また走査装
置４は他方の部品にそれぞれ固定されている。目盛板２
と走査装置４はケース１およびパッキング５により周囲
の影響から遮断されている。
より詳しく説明する。図１に示す測長装置は、目盛板２
のホルダー本体としてのケース１で構成されている。目
盛板２の上には、走査装置４で光電的に走査される目盛
３が付けてある。ケース１はアルミニウム製であり、目
盛板２はガラス製である。二つの部品間の相対運動を測
定するため、ケース１はこの部品の一方に、また走査装
置４は他方の部品にそれぞれ固定されている。目盛板２
と走査装置４はケース１およびパッキング５により周囲
の影響から遮断されている。
【００１２】この発明によれば、ケース１内には測定方
向Ｘに延びる溝６があり、この溝６の中に、目盛板２が
長手方向に移動できるが、それにも係わらず比較的安定
にしかも振動しないように装着されている。目盛板２の
狭い角部７とこの角部７に続く側面８，９の一部に薄い
高弾力性の接着層１０（厚さ約 0.1 mm ）がある。目盛
板２の平坦度を与える装置により、この目盛板２の狭い
角部７が溝６の底１１に固定されているので、接着層１
０と溝６の側面１２，１３の間にそれぞれ中間スペース
が生じる。これ等の中間スペースにはモールド材１４が
充填されている。目盛板２とケース１の間の接着層１０
は、長手方向Ｘの膨張係数の相違による目盛板２とケー
ス１の間の相対運動を許す分離層である。かなり固く硬
化するモールド材１４は、膨張の可能性があっても、目
盛板２がケース１内に振動なしに保持されることを保証
する。この測長装置の横断面を図２に示す。
向Ｘに延びる溝６があり、この溝６の中に、目盛板２が
長手方向に移動できるが、それにも係わらず比較的安定
にしかも振動しないように装着されている。目盛板２の
狭い角部７とこの角部７に続く側面８，９の一部に薄い
高弾力性の接着層１０（厚さ約 0.1 mm ）がある。目盛
板２の平坦度を与える装置により、この目盛板２の狭い
角部７が溝６の底１１に固定されているので、接着層１
０と溝６の側面１２，１３の間にそれぞれ中間スペース
が生じる。これ等の中間スペースにはモールド材１４が
充填されている。目盛板２とケース１の間の接着層１０
は、長手方向Ｘの膨張係数の相違による目盛板２とケー
ス１の間の相対運動を許す分離層である。かなり固く硬
化するモールド材１４は、膨張の可能性があっても、目
盛板２がケース１内に振動なしに保持されることを保証
する。この測長装置の横断面を図２に示す。
【００１３】この発明の他の構成を図３に断面図にして
示す。ケース１には、目盛板２を固定する溝６が付けて
ある。目盛板２とモールド材１４の間の分離層は、この
場合、弾力性の接着層１０と摺動層１５で構成されてい
る。この摺動層１５は、例えば接着フォイルの保護紙で
あり、この紙が接着層１０を形成する。この実施例の利
点は、膨張係数に大きな相違があっても、しかも測定長
さが長くても、ケース１の目盛板２に対する長手方向の
移動性が保証される点にある。それは、摺動層１５によ
り摺動運動が更に可能になるからである。
示す。ケース１には、目盛板２を固定する溝６が付けて
ある。目盛板２とモールド材１４の間の分離層は、この
場合、弾力性の接着層１０と摺動層１５で構成されてい
る。この摺動層１５は、例えば接着フォイルの保護紙で
あり、この紙が接着層１０を形成する。この実施例の利
点は、膨張係数に大きな相違があっても、しかも測定長
さが長くても、ケース１の目盛板２に対する長手方向の
移動性が保証される点にある。それは、摺動層１５によ
り摺動運動が更に可能になるからである。
【００１４】図４には、他の有利な固定方式が図示され
ている。図１〜図３の実施例のように、目盛板２はその
狭い角部に接着層１０を有し、これにより溝６に固定さ
れている。この接着層１０は測定方向Ｘに弾力性がある
ため、目盛板２とケースの間の延びが可能である。目盛
板２を溝６の中でできる限り振動のないように保持する
ため、目盛板２の側面と溝６の側面との間の空間にモー
ルド材１４が充填されている。このモールド材１４によ
り目盛板２とケース１の間の延びの可能性が阻止されな
いように、目盛板２とモールド材１４の間に摺動層１５
の形の分離層が設けてある。この摺動層１５は、例えば
テフロン箔あるいは油浸ないしはシリコーンを含有する
紙である。
ている。図１〜図３の実施例のように、目盛板２はその
狭い角部に接着層１０を有し、これにより溝６に固定さ
れている。この接着層１０は測定方向Ｘに弾力性がある
ため、目盛板２とケースの間の延びが可能である。目盛
板２を溝６の中でできる限り振動のないように保持する
ため、目盛板２の側面と溝６の側面との間の空間にモー
ルド材１４が充填されている。このモールド材１４によ
り目盛板２とケース１の間の延びの可能性が阻止されな
いように、目盛板２とモールド材１４の間に摺動層１５
の形の分離層が設けてある。この摺動層１５は、例えば
テフロン箔あるいは油浸ないしはシリコーンを含有する
紙である。
【００１５】固定の強度をもっと高めるため、全ての実
施例で、溝６とモールド材１４の間の最適の挟持が生じ
るように溝６を形成することができる。これに対する一
例は、図５に示してある。図２のように、ここでは目盛
板２とモールド材の間に弾力性接着層１０の形の分離層
が設けてある。成形体の安定性は、ここでは、アンダー
カットを有する溝、例えば蟻溝式の溝６で保証されてい
る。溝６は成形体の安定性を保証する他の形状を有して
いてもよい。これに対する例はドイツ特許第 40 21 919
A1 号に見られる。
施例で、溝６とモールド材１４の間の最適の挟持が生じ
るように溝６を形成することができる。これに対する一
例は、図５に示してある。図２のように、ここでは目盛
板２とモールド材の間に弾力性接着層１０の形の分離層
が設けてある。成形体の安定性は、ここでは、アンダー
カットを有する溝、例えば蟻溝式の溝６で保証されてい
る。溝６は成形体の安定性を保証する他の形状を有して
いてもよい。これに対する例はドイツ特許第 40 21 919
A1 号に見られる。
【００１６】今まで示した構成の利点は、目盛板２の固
定が溝６の側面の直線度に無関係に行える点にある。溝
６の少なくとも一方の端面が十分真っ直ぐであることが
保証されれば、目盛板２は、次に図６〜９の実施例で示
すように、溝に接触させても固定できる。
定が溝６の側面の直線度に無関係に行える点にある。溝
６の少なくとも一方の端面が十分真っ直ぐであることが
保証されれば、目盛板２は、次に図６〜９の実施例で示
すように、溝に接触させても固定できる。
【００１７】図６では、目盛板２に、図２のように、弾
力性の接着層１０が設けてある。目盛板２の狭い角部と
一つの側面の接着層１０はケース１中の溝６の内面に直
接接触している。目盛板２の他の側面上の接着層１０と
溝６の他の側面の間の空間にモールド材１４を充填す
る。目盛板２とモールド材１４の間のこの接着層１０が
この発明による分離層である。
力性の接着層１０が設けてある。目盛板２の狭い角部と
一つの側面の接着層１０はケース１中の溝６の内面に直
接接触している。目盛板２の他の側面上の接着層１０と
溝６の他の側面の間の空間にモールド材１４を充填す
る。目盛板２とモールド材１４の間のこの接着層１０が
この発明による分離層である。
【００１８】図７の実施例では、目盛板２が狭い角部と
一方の側面を溝６の内面に直接接着している。溝６中の
挟持は、ここでも、モールド材１４を用いて行われ、目
盛板２とモールド材１４の間に再び分離層としての接着
層１０が設けてある。
一方の側面を溝６の内面に直接接着している。溝６中の
挟持は、ここでも、モールド材１４を用いて行われ、目
盛板２とモールド材１４の間に再び分離層としての接着
層１０が設けてある。
【００１９】図８には、モールド材１４に適当な粘りが
ある場合、目盛板の挟持が溝を用いなくても可能である
ことを示している。モールド材１４を付けることによ
り、目盛板２がケース１の直角の部分１６に保持され
る。弾力性の接着層１０は、図２に説明したように、目
盛板２に設けてある。
ある場合、目盛板の挟持が溝を用いなくても可能である
ことを示している。モールド材１４を付けることによ
り、目盛板２がケース１の直角の部分１６に保持され
る。弾力性の接着層１０は、図２に説明したように、目
盛板２に設けてある。
【００２０】図５〜８の実施例では、分離層として接着
層１０が使用されている。この発明によれば、ここで
も、接着層１０の代わりに、図４に示すように摺動層を
使用することもできる。その外、分離層として接着層と
摺動層の組み合わせも有利である。
層１０が使用されている。この発明によれば、ここで
も、接着層１０の代わりに、図４に示すように摺動層を
使用することもできる。その外、分離層として接着層と
摺動層の組み合わせも有利である。
【００２１】図９の他の実施例は図６の実施例の変形種
である。目盛板２は下側の狭い角部とそれに続く側面に
弾力性の接着層１０が設けてある。接着層１０により目
盛板２が溝６の側面に横から固定されている。狭い角部
の接着層１０の上に摺動層１５がある。この摺動層１５
と溝６の底面の間には、モールド材を流すことのできる
狭い間隔がある。分離層はこの領域で接着層１０と摺動
層１５で構成されている。
である。目盛板２は下側の狭い角部とそれに続く側面に
弾力性の接着層１０が設けてある。接着層１０により目
盛板２が溝６の側面に横から固定されている。狭い角部
の接着層１０の上に摺動層１５がある。この摺動層１５
と溝６の底面の間には、モールド材を流すことのできる
狭い間隔がある。分離層はこの領域で接着層１０と摺動
層１５で構成されている。
【００２２】摺動層１５と溝６の底面の間の狭い間隔
（約 0.1〜 0.5 mm ）は、目盛板２がケース１に対して
主に測定方向Ｘに向けて長手方向に移動できるように支
承されることを保証する。モールド材１４の隙間が狭け
れば、それに応じて目盛板２が測定方向Ｘに対して垂直
に僅かに移動でき、モールド材１４をより弾力的に硬化
させる。何故なら、再湾曲性がモールド材１４の厚さに
も依存するからである。
（約 0.1〜 0.5 mm ）は、目盛板２がケース１に対して
主に測定方向Ｘに向けて長手方向に移動できるように支
承されることを保証する。モールド材１４の隙間が狭け
れば、それに応じて目盛板２が測定方向Ｘに対して垂直
に僅かに移動でき、モールド材１４をより弾力的に硬化
させる。何故なら、再湾曲性がモールド材１４の厚さに
も依存するからである。
【００２３】図１０の実施例では、この発明による分離
層がモールド材１４とケース１の複数の面の間に設けて
あることを示す。ケース１には、再び溝６が付けてあ
る。目盛板２はその狭い角部で接着層１０を介して溝６
の底部に固定されている。ここでも、ケース１に対して
目盛板２を摩擦なしに長手方向に延びることを保証する
ため、溝６の残りの面に、モールド材１４をケース１か
ら分離する摺動層１５が設けてある。
層がモールド材１４とケース１の複数の面の間に設けて
あることを示す。ケース１には、再び溝６が付けてあ
る。目盛板２はその狭い角部で接着層１０を介して溝６
の底部に固定されている。ここでも、ケース１に対して
目盛板２を摩擦なしに長手方向に延びることを保証する
ため、溝６の残りの面に、モールド材１４をケース１か
ら分離する摺動層１５が設けてある。
【００２４】更に、図示していない方法で、分離層は目
盛板とモールド材の間、および同時にモールド材とホル
ダー本体の間に分離層を設けると有利である。全ての実
施例では、分離層を何層にも、例えば三層に構成でき
る。例えば中心に接着層が、また両側で摺動層を設ける
こともできる。
盛板とモールド材の間、および同時にモールド材とホル
ダー本体の間に分離層を設けると有利である。全ての実
施例では、分離層を何層にも、例えば三層に構成でき
る。例えば中心に接着層が、また両側で摺動層を設ける
こともできる。
【００２５】振動しない固定とするため、比較的固く硬
化するので、相当弾力性のないモールド材１４を使用す
ると有利である。モールド材１４の隙間が薄くなれば、
それに応じてモールド材が、同時に安定な固定作用でよ
り弾力的に硬化する。
化するので、相当弾力性のないモールド材１４を使用す
ると有利である。モールド材１４の隙間が薄くなれば、
それに応じてモールド材が、同時に安定な固定作用でよ
り弾力的に硬化する。
【００２６】この発明は測角装置にも採用できる。この
場合、目盛板の目盛を円弧の上に付ける。更に、この発
明はガラス製の目盛板の場合だけに使用されるものでは
ない。目盛板が金属あるいはプラスチックでも形成でき
る。同様に、この発明は光電走査原理に限定されない。
目盛板が容量性、電磁誘導性あるいは磁性原理に基づく
目盛を有していてもよい。目盛板上には、多数の目盛ト
ラックあるいは一つの絶対情報トラックを装着すること
もできる。
場合、目盛板の目盛を円弧の上に付ける。更に、この発
明はガラス製の目盛板の場合だけに使用されるものでは
ない。目盛板が金属あるいはプラスチックでも形成でき
る。同様に、この発明は光電走査原理に限定されない。
目盛板が容量性、電磁誘導性あるいは磁性原理に基づく
目盛を有していてもよい。目盛板上には、多数の目盛ト
ラックあるいは一つの絶対情報トラックを装着すること
もできる。
【００２７】目盛板２のホルダー本体がケースであるこ
とは必ずしも必要ない。所謂開放系として知られている
ように、ホルダー本体がただ一つの金属レールであって
もよい。
とは必ずしも必要ない。所謂開放系として知られている
ように、ホルダー本体がただ一つの金属レールであって
もよい。
【００２８】全ての実施例で、溝６の幅は約 6 mm ，目
盛板２の厚さは約 3 mm ，接着層１０と摺動層１５の厚
さは約 0.1 mm である。従って、モールド材１４の隙間
に対して未だ約 3 mm が残っている。モールド材１４の
隙間の幅は、接着層１０と摺動層１５の厚さの数倍であ
る。
盛板２の厚さは約 3 mm ，接着層１０と摺動層１５の厚
さは約 0.1 mm である。従って、モールド材１４の隙間
に対して未だ約 3 mm が残っている。モールド材１４の
隙間の幅は、接着層１０と摺動層１５の厚さの数倍であ
る。
【００２９】
【発明の効果】この発明の位置測定装置により得られる
利点は、ホルダー本体が目盛板に対して殆ど防止されな
い長手方向の延びを行うことにある。この利点は、目盛
板がガラス製で、ホルダー本体が金属、特にアルミニウ
ム製である場合に、特に顕著になる。更に、安定で振動
のない固定が保証できる。
利点は、ホルダー本体が目盛板に対して殆ど防止されな
い長手方向の延びを行うことにある。この利点は、目盛
板がガラス製で、ホルダー本体が金属、特にアルミニウ
ム製である場合に、特に顕著になる。更に、安定で振動
のない固定が保証できる。
【図１】 一部断面にした測長装置の斜視図である。
【図２】 目盛板の固定部分の図１の測長装置の断面図
である。
である。
【図３】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図４】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図５】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図６】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図７】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図８】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図９】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図で
ある。
ある。
【図１０】 他の測長装置の目盛板の固定部分の断面図
である。
である。
１ ケース ２ 目盛板 ３ 目盛 ４ 走査装置 ５ パッキング ６ 溝 ７ 狭い角部 ８，９ 目盛板の側面 １０ 接着層 １１ 溝の底 １２，１３ 溝の側面 １４ モールド材 １５ 摺動層 Ｘ 測定方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルフレート・アッファ ドイツ連邦共和国、83371 シユタイン ／トラウン、ホーホフェルンストラーセ、 ６
Claims (11)
- 【請求項１】 目盛板（２）をホルダー本体（１）に固
定し、位置測定値を求めるために走査装置（４）で走査
される目盛板（２）を備えた位置測定装置において、前
記固定のために、少なくとも目盛板（２）の表面（８，
９）とホルダー本体（１）の表面（１２，１３）との間
にモールド材（１４）を設け、目盛板（２）とモールド
材（１４）との間、および／またはモールド材（１４）
とホルダー本体（１）との間に、目盛板（２）の測定方
向（Ｘ）の長さの熱変化を許す分離層（１０，１５）が
ホルダー本体（１）に実質上無関係に装備されているこ
とを特徴とする位置測定装置。 - 【請求項２】 測定方向（Ｘ）に延びる溝（６）をホル
ダー本体（１）に設け、溝の表面（１１，１２，１３）
に目盛板（２）が固定されていて、少なくとも目盛板
（２）の表面（８，９）と溝（６）の表面（１２，１
３）との間にモールド材（１４）を装着し、目盛板
（２）の表面（８，９）と、モールド材（１４）および
／またはモールド材（１４）および溝（６）の表面（１
２，１３）との間に分離層（１０，１５）が設けてある
ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項３】 溝（６）にはアンダーカットがあること
を特徴とする請求項２に記載の位置測定装置。 - 【請求項４】 目盛板（２）を溝（６）のほぼ中央に設
け、目盛板（２）の側面（８，９）と溝（６）の側面
（１２，１３）との間のそれぞれ二つの空間に、モール
ド材（１４）が入れてあることを特徴とする請求項３に
記載の位置測定装置。 - 【請求項５】 目盛板（２）は弾力性の接着層（１０）
を介在させて溝（６）の一方の側面に接触し、目盛板
（２）の他の側面と溝（６）の他の側面との間にモール
ド材（１４）が入れてあることを特徴とする請求項２ま
たは３に記載の位置測定装置。 - 【請求項６】 目盛板（２）はその一方の表面で高弾力
性の接着層（１０）を介在させて溝（６）の底に固定さ
れていることを特徴とする請求項２〜５の何れか１項に
記載の位置測定装置。 - 【請求項７】 分離層は高弾力性の接着層（１０）であ
ることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の
位置測定装置。 - 【請求項８】 分離層は摺動層（１５），特にテフロン
フォイルあるいは油浸またはシリコーンを含有する紙で
あることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載
の位置測定装置。 - 【請求項９】 分離層は高弾力性の接着層（１０）と摺
動層で構成されていることを特徴とする請求項１〜６の
何れか１項に記載の位置測定装置。 - 【請求項１０】 分離層は、摺動層（１５）が接着層
（１０）の保護紙で形成されている接着フォイルである
ことを特徴とする請求項９に記載の位置測定装置。 - 【請求項１１】 接着剤はモールド材（１４）より強い
弾力性があることを特徴とする請求項５，６，７，９，
１０の何れか１項に記載の位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4406797:6 | 1994-03-02 | ||
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07324925A true JPH07324925A (ja) | 1995-12-12 |
| JP2929572B2 JP2929572B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=6511604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7037329A Expired - Fee Related JP2929572B2 (ja) | 1994-03-02 | 1995-02-24 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
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| US (1) | US5611148A (ja) |
| EP (1) | EP0671606B1 (ja) |
| JP (1) | JP2929572B2 (ja) |
| AT (1) | ATE177834T1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19543647C2 (de) * | 1995-11-23 | 2000-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte |
| ATE230103T1 (de) * | 1996-10-11 | 2003-01-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Massstab einer längenmesseinrichtung sowie verfahren zur anbringung eines massstabs |
| JP4174096B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2008-10-29 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置 |
| DE19912310B4 (de) * | 1999-03-19 | 2007-11-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19918654B4 (de) | 1999-04-16 | 2004-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung |
| DE19922363A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Rexroth Star Gmbh | Einrichtung zur Ermittlung der Relativposition zweier relativ zueinander beweglicher Körper und Verfahren zur Herstellung einer solchen Einrichtung |
| DE19941587B4 (de) * | 1999-09-01 | 2010-06-02 | Schaeffler Kg | Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen |
| US6820348B2 (en) | 2001-02-09 | 2004-11-23 | Acu-Rite, Inc. | Mounting tool for linear encoders |
| JP4024600B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-12-19 | 株式会社ミツトヨ | 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法 |
| US6910279B1 (en) | 2004-05-12 | 2005-06-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Holder for a graduated element |
| ES2423212T3 (es) * | 2004-07-23 | 2013-09-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Componente, en particular sensor, y procedimiento para el encolado del componente |
| US7299562B2 (en) * | 2005-09-22 | 2007-11-27 | Acu-Rite Companies, Inc. | Device and method for mounting a position measuring device onto a machine tool, and position measuring system |
| DE102005055513B4 (de) * | 2005-11-18 | 2021-05-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung mit einem Trägerkörper und einem Maßstab |
| US20100162582A1 (en) * | 2008-12-30 | 2010-07-01 | Chih-Mao Shiao | Positioning Device of a Magnetic Ruler |
| JP2014224705A (ja) | 2013-05-15 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | スケール保持装置、およびエンコーダ |
| DE102014119396A1 (de) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmesseinrichtung |
| EP3076218A1 (en) | 2015-03-31 | 2016-10-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus and microscope |
| DE102018130985B3 (de) * | 2018-10-02 | 2020-03-05 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Profilschiene und Verfahren zur Herstellung einer Profilschiene für eine Linearführung |
| DE102022121460A1 (de) | 2022-08-25 | 2024-03-07 | TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG | Maßverkörperungseinheit für eine induktive Längenmesseinrichtung einer Werkzeugmaschine, Verfahren und Werkzeug zum Herstellen der Maßverkörperungseinheit sowie Längenmesseinrichtung und Werkzeugmaschine |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2505587C3 (de) * | 1975-02-11 | 1980-10-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE2505585C3 (de) * | 1975-02-11 | 1978-06-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE2643304B2 (de) * | 1976-09-25 | 1980-01-31 | Fagor Electrotecnica, Sdad.Coop., Mondragon, Guipuzcoa (Spanien) | Photoelektrische Einrichtung zum Messen der relativen Lage von Gegenständen |
| JPS5726004U (ja) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | ||
| JPS58174806A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-13 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 直線型変位測定機 |
| ATE40594T1 (de) * | 1983-02-12 | 1989-02-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Gekapselte messeinrichtung. |
| US4569137A (en) * | 1983-06-07 | 1986-02-11 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Linear scale type displacement measuring device and main scale attaching method thereof |
| JPS61219818A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 測長装置 |
| DE3605789C1 (de) * | 1986-02-22 | 1987-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische inkrementale Positionsmesseinrichtung |
| US4815213A (en) * | 1987-10-09 | 1989-03-28 | Brown & Sharpe Manufacturing Co. | Apparatus for temperature compensation of sensing means of a machine |
| DE3929629A1 (de) * | 1989-09-06 | 1991-03-07 | Zeiss Carl Fa | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
| DE4021919C2 (de) * | 1990-07-10 | 1995-06-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Maßverkörperung |
| AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
| EP0506649B1 (de) * | 1991-03-25 | 1995-04-19 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Längenmesssystem |
| ATE108271T1 (de) * | 1991-05-11 | 1994-07-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung. |
-
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- 1994-12-10 AT AT94119566T patent/ATE177834T1/de not_active IP Right Cessation
- 1994-12-10 EP EP94119566A patent/EP0671606B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1995
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