JPH07306225A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH07306225A JPH07306225A JP6124302A JP12430294A JPH07306225A JP H07306225 A JPH07306225 A JP H07306225A JP 6124302 A JP6124302 A JP 6124302A JP 12430294 A JP12430294 A JP 12430294A JP H07306225 A JPH07306225 A JP H07306225A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- mass portion
- mass
- center
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度変化に強くて直線性に優れ、多軸方向の
加速度を同時に測定できる加速度センサを提供する。 【構成】 マス部3の厚さ方向に弾性変形を有する第1
のビーム2aの一端とマス部3の幅方向に弾性変形を有
する第2のビーム2bの一端とが折返し部5で接続され
た2本のビーム2、2によって、マス部3の重心Gが第
1のビーム2aのビーム軸方向において、マス支持部6
と折返し部5との間に位置し、また、第2のビーム2b
のビーム軸方向において固定部7と折返し部5との間に
位置するように、マス部3をフレーム4に支持させる。 【効果】 マス部3はマス部3の厚さ方向に傾くことな
く平行移動すると同時にマス部3の幅方向によじれるこ
となく平行移動することができ、厚さ方向の加速度及び
幅方向の加速度を直線性よく同時に検出することができ
る。
加速度を同時に測定できる加速度センサを提供する。 【構成】 マス部3の厚さ方向に弾性変形を有する第1
のビーム2aの一端とマス部3の幅方向に弾性変形を有
する第2のビーム2bの一端とが折返し部5で接続され
た2本のビーム2、2によって、マス部3の重心Gが第
1のビーム2aのビーム軸方向において、マス支持部6
と折返し部5との間に位置し、また、第2のビーム2b
のビーム軸方向において固定部7と折返し部5との間に
位置するように、マス部3をフレーム4に支持させる。 【効果】 マス部3はマス部3の厚さ方向に傾くことな
く平行移動すると同時にマス部3の幅方向によじれるこ
となく平行移動することができ、厚さ方向の加速度及び
幅方向の加速度を直線性よく同時に検出することができ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は加速度センサに関する。
具体的には、加速度又は振動によって生じるマス部の変
位を加速度の変化として検知する加速度センサに関す
る。
具体的には、加速度又は振動によって生じるマス部の変
位を加速度の変化として検知する加速度センサに関す
る。
【0002】
【従来の技術とその問題点】図17に従来例である加速
度センサ101を示す。図17(a)は加速度センサ1
01の平面図、図17(b)はその断面図であって、加
速度センサ101は、弾性を有するビーム102によっ
て、マス部103が片持ち状にフレーム104に支持さ
れており、フレーム104やマス部103及びビーム1
02は例えばシリコン基板より一体として形成すること
ができる。マス部103の下面は導電性を有しており、
可動電極105となっている。また、フレーム104の
下面には例えばガラスなどからなる基板106が張り合
わされており、基板106上面には可動電極105と微
小なギャップを隔てて可動電極105と対向して固定電
極107が形成されている。
度センサ101を示す。図17(a)は加速度センサ1
01の平面図、図17(b)はその断面図であって、加
速度センサ101は、弾性を有するビーム102によっ
て、マス部103が片持ち状にフレーム104に支持さ
れており、フレーム104やマス部103及びビーム1
02は例えばシリコン基板より一体として形成すること
ができる。マス部103の下面は導電性を有しており、
可動電極105となっている。また、フレーム104の
下面には例えばガラスなどからなる基板106が張り合
わされており、基板106上面には可動電極105と微
小なギャップを隔てて可動電極105と対向して固定電
極107が形成されている。
【0003】しかして、加速度センサ101に加速度が
加わると、マス部103がビーム102の弾性変形によ
り変位し、マス部103の変位量に応じて可動電極10
5と固定電極107との間のギャップ量が変わる。ギャ
ップ量が変わると可動電極105と固定電極107の間
の静電容量が変わり、したがって、この静電容量の変化
を電気信号として出力することにより加速度を検知する
ことができる。
加わると、マス部103がビーム102の弾性変形によ
り変位し、マス部103の変位量に応じて可動電極10
5と固定電極107との間のギャップ量が変わる。ギャ
ップ量が変わると可動電極105と固定電極107の間
の静電容量が変わり、したがって、この静電容量の変化
を電気信号として出力することにより加速度を検知する
ことができる。
【0004】しかしながら、このような加速度センサ1
01にあっては、マス部103の重心がビーム102の
マス支持部108よりマス部103側にあるため、加速
度が加わった場合には図18に示すように、マス部10
3が平行移動できず傾きωを生じてしまう。したがっ
て、可動電極105と固定電極107の間の静電容量は
加速度に正比例して変化せず、加速度センサ101の直
線性が悪いものとなっていた。
01にあっては、マス部103の重心がビーム102の
マス支持部108よりマス部103側にあるため、加速
度が加わった場合には図18に示すように、マス部10
3が平行移動できず傾きωを生じてしまう。したがっ
て、可動電極105と固定電極107の間の静電容量は
加速度に正比例して変化せず、加速度センサ101の直
線性が悪いものとなっていた。
【0005】このような問題点を解決するため、マス部
103の変位を平行移動させるようにしたものがある。
図19にその加速度センサ110の断面図を示すが、加
速度センサ110にあってはマス部103を弾性を有す
るビーム102によりマス部103を両持ち状に支持さ
せてある。したがって、加わった加速度によってマス部
103は傾きを生じずに平行移動することができる。ま
た、マス部103は両持ち状に支持されているので、検
出軸方向(マス部の厚さ方向)以外の加速度によっては
マス部103は変位しにくい。
103の変位を平行移動させるようにしたものがある。
図19にその加速度センサ110の断面図を示すが、加
速度センサ110にあってはマス部103を弾性を有す
るビーム102によりマス部103を両持ち状に支持さ
せてある。したがって、加わった加速度によってマス部
103は傾きを生じずに平行移動することができる。ま
た、マス部103は両持ち状に支持されているので、検
出軸方向(マス部の厚さ方向)以外の加速度によっては
マス部103は変位しにくい。
【0006】しかしながら、この加速度センサ110に
あっては両持ち状としているので、加速度センサ110
が大きくなってしまうという問題点を生じていた。ま
た、温度特性が悪く、ビーム102の熱膨張によってビ
ーム102の張力に変化を生じ、加速度センサ110の
感度やオフセットに変化を生じていた。さらに、フレー
ム104と基板106との接合時など温度変化が著しい
ような場合にはあってはビーム102の破損を生じ、加
速度センサ110の歩留りや信頼性の低下を引き起こし
ていた。
あっては両持ち状としているので、加速度センサ110
が大きくなってしまうという問題点を生じていた。ま
た、温度特性が悪く、ビーム102の熱膨張によってビ
ーム102の張力に変化を生じ、加速度センサ110の
感度やオフセットに変化を生じていた。さらに、フレー
ム104と基板106との接合時など温度変化が著しい
ような場合にはあってはビーム102の破損を生じ、加
速度センサ110の歩留りや信頼性の低下を引き起こし
ていた。
【0007】さらに従来の加速度センサ101や加速度
センサ110にあっては、マス部103の厚さ方向の加
速度しか検出することはできず、他方向の加速度を同時
に測定しようとする場合には、検出したい加速度の方向
に合わせて複数の加速度センサを配置しなければならな
いという問題もあった。
センサ110にあっては、マス部103の厚さ方向の加
速度しか検出することはできず、他方向の加速度を同時
に測定しようとする場合には、検出したい加速度の方向
に合わせて複数の加速度センサを配置しなければならな
いという問題もあった。
【0008】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、温度変化に
強くて直線性に優れ、しかも多方向の加速度を同時に測
定できる加速度センサを提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、温度変化に
強くて直線性に優れ、しかも多方向の加速度を同時に測
定できる加速度センサを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の加速度センサ
は、弾性を有するビームによってマス部を支持基板に片
持ち状に支持させた加速度センサにおいて、撓み方向の
異なる2種以上の前記ビームによって前記マス部を自由
度2以上に変位させることを特徴としている。
は、弾性を有するビームによってマス部を支持基板に片
持ち状に支持させた加速度センサにおいて、撓み方向の
異なる2種以上の前記ビームによって前記マス部を自由
度2以上に変位させることを特徴としている。
【0010】このとき、前記自由度2以上のマス部の変
位を独立して検出することが望ましい。
位を独立して検出することが望ましい。
【0011】また、前記ビームは、マス部の厚さ方向に
撓む第1のビームとマス部の幅方向に撓む第2のビーム
を折返し部で結合されていることとしてもよい。
撓む第1のビームとマス部の幅方向に撓む第2のビーム
を折返し部で結合されていることとしてもよい。
【0012】このとき、前記マス部の重心を、前記ビー
ムの軸方向に関して当該ビームの固定部と前記折返し部
との間に位置させることが好ましく、あるいは、前記ビ
ームの軸方向に関して当該ビームのマス支持部と前記折
返し部との間に位置させるのが好ましい。
ムの軸方向に関して当該ビームの固定部と前記折返し部
との間に位置させることが好ましく、あるいは、前記ビ
ームの軸方向に関して当該ビームのマス支持部と前記折
返し部との間に位置させるのが好ましい。
【0013】また、前記マス部を可動電極としたり、前
記マス部の上面若しくは下面の少なくとも一部に可動電
極を形成することができる。
記マス部の上面若しくは下面の少なくとも一部に可動電
極を形成することができる。
【0014】さらに、前記マス部は2種以上の材質で形
成することができ、前記マス部の厚みが均一でないよう
にしてもよい。さらに、前記マス部はビーム軸方向に非
対称な形状とすることができ、前記マス部に窪み、溝、
穴若しくは空洞状などの重心調整部を設けることとして
もよい。
成することができ、前記マス部の厚みが均一でないよう
にしてもよい。さらに、前記マス部はビーム軸方向に非
対称な形状とすることができ、前記マス部に窪み、溝、
穴若しくは空洞状などの重心調整部を設けることとして
もよい。
【0015】
【作用】本発明の加速度センサにあっては、弾性を有す
るビームによってマス部を支持基板に片持ち状に支持さ
せた加速度センサにおいて、撓み方向の異なる2種以上
のビームによってマス部を自由度2以上に変位させるこ
ととしているので、加えられた加速度によってマス部は
2方向に揺動自在に変位することができる。例えば、マ
ス部の厚さ方向に撓む第1のビームとマス部の幅方向に
撓む第2のビームを折返し部で結合させることにより、
マス部を片持ち状に支持させ2方向に揺動自在に変位さ
せることができる。したがって、マス部の各方向への変
位を独立して検出することにすれば、多方向の加速度を
同時に検出することができる。
るビームによってマス部を支持基板に片持ち状に支持さ
せた加速度センサにおいて、撓み方向の異なる2種以上
のビームによってマス部を自由度2以上に変位させるこ
ととしているので、加えられた加速度によってマス部は
2方向に揺動自在に変位することができる。例えば、マ
ス部の厚さ方向に撓む第1のビームとマス部の幅方向に
撓む第2のビームを折返し部で結合させることにより、
マス部を片持ち状に支持させ2方向に揺動自在に変位さ
せることができる。したがって、マス部の各方向への変
位を独立して検出することにすれば、多方向の加速度を
同時に検出することができる。
【0016】このとき、マス部の重心をビームの軸方向
に関してビームの固定部と折返し部との間に位置させる
こととすれば、固定部と折返し部との間を構成する第1
のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
に関してビームの固定部と折返し部との間に位置させる
こととすれば、固定部と折返し部との間を構成する第1
のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
【0017】また、マス部の重心をビームの軸方向に関
してビームのマス支持部と折返し部の間に位置させるこ
ととすれば、マス支持部と折返し部との間を構成する第
1のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
してビームのマス支持部と折返し部の間に位置させるこ
ととすれば、マス支持部と折返し部との間を構成する第
1のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
【0018】また、マス部全体を可動電極とした加速度
センサは、例えば半導体や金属からマス部を簡単に作成
することができる。また、マス部の上面若しくは下面の
少なくとも一部に可動電極を形成することにすれば、例
えばマス部を樹脂などの比重の軽い材料で作成すること
ができ、マス部の軽量化を図ることで加速度センサ全体
の軽量化を図ることができる。
センサは、例えば半導体や金属からマス部を簡単に作成
することができる。また、マス部の上面若しくは下面の
少なくとも一部に可動電極を形成することにすれば、例
えばマス部を樹脂などの比重の軽い材料で作成すること
ができ、マス部の軽量化を図ることで加速度センサ全体
の軽量化を図ることができる。
【0019】これらの加速度センサにあっては、マス部
を2種以上の材質で形成することによりマス部の重心位
置を容易に調整することができる。また、マス部の厚み
を均一でなくすことによっても重心位置を調整すること
ができる。さらには、ビーム軸方向に非対称とすること
としてもよい。
を2種以上の材質で形成することによりマス部の重心位
置を容易に調整することができる。また、マス部の厚み
を均一でなくすことによっても重心位置を調整すること
ができる。さらには、ビーム軸方向に非対称とすること
としてもよい。
【0020】また、マス部に窪み、溝、穴若しくは空洞
状などの重心調整部を設けることによっても、マス部の
重心をビームの固定部と折返し部の間に位置させること
ができる。
状などの重心調整部を設けることによっても、マス部の
重心をビームの固定部と折返し部の間に位置させること
ができる。
【0021】
【実施例】図1に本発明の一実施例である加速度センサ
1を示す。図1(a)は加速度センサ1の斜視図、図1
(b)はその断面図であって、加速度センサ1は角枠状
をしたフレーム4のほぼ中央に2本のビーム2によって
揺動自在に支持されている。それぞれのビーム2は、マ
ス部3の厚さ方向に弾性変形を生じる薄板状をした第1
のビーム2aの一端とマス部3の幅方向に弾性変形を生
じる薄板状をした第2のビーム2bの一端とがビーム2
の軸方向に折返すようにして折返し部5で接続されてお
り、第1のビーム2aの他端はマス部3の上端部に接合
され、第2のビーム2bの他端はフレーム4に接合され
ている。マス部3の重心Gはビーム2の軸方向におい
て、第1のビーム2aのマス支持部6と折返し部5との
間に位置し、また、ビーム2の軸方向において、第2の
ビーム2bの固定部7と折返し部5との間に位置するよ
うにマス部3は支持されている。したがって、マス部3
は第1のビーム2aによってマス部3の厚さ方向に揺動
自在に変位することができ、第2のビーム2bによって
マス部3の幅方向に揺動自在に変位することができ、マ
ス部3はマス部3の厚さ方向と幅方向の2方向に同時に
変位することができる。
1を示す。図1(a)は加速度センサ1の斜視図、図1
(b)はその断面図であって、加速度センサ1は角枠状
をしたフレーム4のほぼ中央に2本のビーム2によって
揺動自在に支持されている。それぞれのビーム2は、マ
ス部3の厚さ方向に弾性変形を生じる薄板状をした第1
のビーム2aの一端とマス部3の幅方向に弾性変形を生
じる薄板状をした第2のビーム2bの一端とがビーム2
の軸方向に折返すようにして折返し部5で接続されてお
り、第1のビーム2aの他端はマス部3の上端部に接合
され、第2のビーム2bの他端はフレーム4に接合され
ている。マス部3の重心Gはビーム2の軸方向におい
て、第1のビーム2aのマス支持部6と折返し部5との
間に位置し、また、ビーム2の軸方向において、第2の
ビーム2bの固定部7と折返し部5との間に位置するよ
うにマス部3は支持されている。したがって、マス部3
は第1のビーム2aによってマス部3の厚さ方向に揺動
自在に変位することができ、第2のビーム2bによって
マス部3の幅方向に揺動自在に変位することができ、マ
ス部3はマス部3の厚さ方向と幅方向の2方向に同時に
変位することができる。
【0022】マス部3やフレーム4、第1のビーム2
a、第2のビーム2b並びに折返し部5はそれぞれ、例
えば金属やシリコン等の半導体などから作成されてお
り、マス部3全体が導電性を有しており、マス部3下面
は可動電極8としての機能を有している。また、フレー
ム4の下面にはガラス等の基板10が張り合わされてお
り、可動電極8と対向して微小なギャップを隔てて固定
電極9が形成され、可動電極8と固定電極9との間には
コンデンサが構成されている。
a、第2のビーム2b並びに折返し部5はそれぞれ、例
えば金属やシリコン等の半導体などから作成されてお
り、マス部3全体が導電性を有しており、マス部3下面
は可動電極8としての機能を有している。また、フレー
ム4の下面にはガラス等の基板10が張り合わされてお
り、可動電極8と対向して微小なギャップを隔てて固定
電極9が形成され、可動電極8と固定電極9との間には
コンデンサが構成されている。
【0023】しかして、マス部3の厚さ方向に加速度が
加わると、第1のビーム2aがマス部3の厚さ方向に弾
性変形し、加速度の大きさに比例してマス部3が厚さ方
向に変位する。マス部3が厚さ方向に変位すると可動電
極8と固定電極9の間の距離が変化してコンデンサの静
電容量の大きさが変化する。このとき、この加速度セン
サ1にあっては、マス部3の重心Gは第1のビーム2a
のビーム軸方向のマス支持部6と折返し部5との間にあ
るので、第1のビーム2aが上下方向に撓むとマス部3
は第1のビーム2aと相対的に第1のビーム2aの傾き
と反対に傾き、そのため厚さ方向の加速度によってはマ
ス部3は傾くことなく厚さ方向に平行に移動することが
できる。また、横方向に加速度が加わると、第2のビー
ム2bがマス部3の幅方向に弾性変形し、加速度の大き
さに比例してマス部3が幅方向に変位する。マス部3が
幅方向に変位すると可動電極8と固定電極9の対向面積
が変化してコンデンサの静電容量の大きさが変化する。
このとき、マス部3は2本のビーム2,2によって支持
されているので、幅方向の加速度によってはマス部3は
よじれることなく幅方向に平行に移動することができ
る。したがって、厚さ方向の加速度及び横方向の加速度
ともに直線性よく加速度を測定することができる。もち
ろん、この加速度センサ1にあっては、マス部3はビー
ム2により片持ち状に支持されているので、温度変化に
対する影響は少ない。
加わると、第1のビーム2aがマス部3の厚さ方向に弾
性変形し、加速度の大きさに比例してマス部3が厚さ方
向に変位する。マス部3が厚さ方向に変位すると可動電
極8と固定電極9の間の距離が変化してコンデンサの静
電容量の大きさが変化する。このとき、この加速度セン
サ1にあっては、マス部3の重心Gは第1のビーム2a
のビーム軸方向のマス支持部6と折返し部5との間にあ
るので、第1のビーム2aが上下方向に撓むとマス部3
は第1のビーム2aと相対的に第1のビーム2aの傾き
と反対に傾き、そのため厚さ方向の加速度によってはマ
ス部3は傾くことなく厚さ方向に平行に移動することが
できる。また、横方向に加速度が加わると、第2のビー
ム2bがマス部3の幅方向に弾性変形し、加速度の大き
さに比例してマス部3が幅方向に変位する。マス部3が
幅方向に変位すると可動電極8と固定電極9の対向面積
が変化してコンデンサの静電容量の大きさが変化する。
このとき、マス部3は2本のビーム2,2によって支持
されているので、幅方向の加速度によってはマス部3は
よじれることなく幅方向に平行に移動することができ
る。したがって、厚さ方向の加速度及び横方向の加速度
ともに直線性よく加速度を測定することができる。もち
ろん、この加速度センサ1にあっては、マス部3はビー
ム2により片持ち状に支持されているので、温度変化に
対する影響は少ない。
【0024】また、加速度センサ1にあっては図示はし
ないが、マス部3のビーム軸方向に弾性変形する垂直方
向のビームをさらにビーム2の一端に設ける、例えば第
1のビーム2aとマス支持部6との間に設けることによ
り、マス部3のビーム軸方向にも弾性変形させることが
でき、マス部3の厚さ方向や幅方向及びビーム軸方向の
3方向の加速度を測定できる3次元の加速度センサとす
ることができる。
ないが、マス部3のビーム軸方向に弾性変形する垂直方
向のビームをさらにビーム2の一端に設ける、例えば第
1のビーム2aとマス支持部6との間に設けることによ
り、マス部3のビーム軸方向にも弾性変形させることが
でき、マス部3の厚さ方向や幅方向及びビーム軸方向の
3方向の加速度を測定できる3次元の加速度センサとす
ることができる。
【0025】図2に示すものは、本発明の別な実施例で
ある加速度センサ51を示す平面図であって、基板10
上には2枚の固定電極9a、9bが形成されており、マ
ス部3の可動電極8とそれぞれ第1のコンデンサ及び第
2のコンデンサを構成している。したがって、マス部3
の厚さ方向の加速度が加われば、固定電極9a及び固定
電極9bと可動電極8との間の距離が変化して第1及び
第2のコンデンサの静電容量が変化する。また、幅方向
の加速度が加われば、固定電極9a及び固定電極9bと
可動電極8との対向面積が変化して第1及び第2のコン
デンサの静電容量が変化する。このようにして、第1の
コンデンサの静電容量の変化及び第2のコンデンサの静
電容量の変化をそれぞれ独立して検知することにより、
マス部3の厚さ方向の加速度及びマス部3の幅方向の加
速度をそれぞれ検出することができ、多軸感度を有する
直線性のよい加速度センサ51を提供することができ
る。
ある加速度センサ51を示す平面図であって、基板10
上には2枚の固定電極9a、9bが形成されており、マ
ス部3の可動電極8とそれぞれ第1のコンデンサ及び第
2のコンデンサを構成している。したがって、マス部3
の厚さ方向の加速度が加われば、固定電極9a及び固定
電極9bと可動電極8との間の距離が変化して第1及び
第2のコンデンサの静電容量が変化する。また、幅方向
の加速度が加われば、固定電極9a及び固定電極9bと
可動電極8との対向面積が変化して第1及び第2のコン
デンサの静電容量が変化する。このようにして、第1の
コンデンサの静電容量の変化及び第2のコンデンサの静
電容量の変化をそれぞれ独立して検知することにより、
マス部3の厚さ方向の加速度及びマス部3の幅方向の加
速度をそれぞれ検出することができ、多軸感度を有する
直線性のよい加速度センサ51を提供することができ
る。
【0026】また、図3(a)(b)に示すものはそれ
ぞれ本発明のさらに別な実施例である加速度センサ52
を示す平面図及び断面図である。加速度センサ52のマ
ス部3は、例えば樹脂等の比重の軽い材料から作成され
ており、マス部3の下面にはアルミニウムなどの金属薄
膜から可動電極8が形成されており、マス部3やビーム
2上面に配設された可動電極引き出し配線11によって
フレーム4上面の電極パッド12に接続されている。こ
のように、マス部3を樹脂などにより作成することによ
り、マス部3を軽くして加速度センサ52全体の軽量化
を図ることができる。また、マス部3をシリコンのよう
な半導体から作成する場合に比べ、可動電極8の電気抵
抗を少なくすることができるので、温度変化による静電
容量の変化を少なくして、温度特性を向上させることも
できる。
ぞれ本発明のさらに別な実施例である加速度センサ52
を示す平面図及び断面図である。加速度センサ52のマ
ス部3は、例えば樹脂等の比重の軽い材料から作成され
ており、マス部3の下面にはアルミニウムなどの金属薄
膜から可動電極8が形成されており、マス部3やビーム
2上面に配設された可動電極引き出し配線11によって
フレーム4上面の電極パッド12に接続されている。こ
のように、マス部3を樹脂などにより作成することによ
り、マス部3を軽くして加速度センサ52全体の軽量化
を図ることができる。また、マス部3をシリコンのよう
な半導体から作成する場合に比べ、可動電極8の電気抵
抗を少なくすることができるので、温度変化による静電
容量の変化を少なくして、温度特性を向上させることも
できる。
【0027】図4(a)(b)に示すものはそれぞれ本
発明のさらに別な実施例である加速度センサ53を示す
平面図及び側面図である。加速度センサ53の第1のビ
ーム2aや第2のビーム2b及び折返し部5並びにフレ
ーム4は一体として作成されている。このように、ビー
ム2とフレーム4を一体成形することにより、ビーム2
の固定部7における破損が少なくなり加速度センサ53
の耐衝撃性を向上させることができる。また、第1のビ
ーム2aと第2のビーム2b及び折返し部5を一体とし
て作成しておくと、折返し部5における耐衝撃性も向上
する。
発明のさらに別な実施例である加速度センサ53を示す
平面図及び側面図である。加速度センサ53の第1のビ
ーム2aや第2のビーム2b及び折返し部5並びにフレ
ーム4は一体として作成されている。このように、ビー
ム2とフレーム4を一体成形することにより、ビーム2
の固定部7における破損が少なくなり加速度センサ53
の耐衝撃性を向上させることができる。また、第1のビ
ーム2aと第2のビーム2b及び折返し部5を一体とし
て作成しておくと、折返し部5における耐衝撃性も向上
する。
【0028】また、図5(a)(b)に示すものはそれ
ぞれ本発明のさらに別な実施例である加速度センサ54
を示す平面図及び側面図であって、第1のビーム2aや
第2のビーム2b及び折返し部5及びマス部3は一体と
して作成されている。このようにビーム2とマス部3を
一体成形することにより、ビーム2のマス支持部6にお
ける耐衝撃性を向上させることができる。さらに、図6
の加速度センサ55のようにマス部3やフレーム4及び
ビーム2を一度に一体成形するとさらに耐衝撃性を向上
させるのはいうまでもない(もちろん、第1のビーム2
aや折返し部5及び第2のビーム2bは同時に一体とし
て成形される。)。
ぞれ本発明のさらに別な実施例である加速度センサ54
を示す平面図及び側面図であって、第1のビーム2aや
第2のビーム2b及び折返し部5及びマス部3は一体と
して作成されている。このようにビーム2とマス部3を
一体成形することにより、ビーム2のマス支持部6にお
ける耐衝撃性を向上させることができる。さらに、図6
の加速度センサ55のようにマス部3やフレーム4及び
ビーム2を一度に一体成形するとさらに耐衝撃性を向上
させるのはいうまでもない(もちろん、第1のビーム2
aや折返し部5及び第2のビーム2bは同時に一体とし
て成形される。)。
【0029】また、図7に示す加速度センサ56にあっ
ては、第2のビーム2bの固定部7側にフレーム取り付
け部13が形成されていて、マス部3やビーム2及びフ
レーム取り付け部13は金属等により一体として成形さ
れている。樹脂等により成形されたフレーム4には凹部
からなるビーム取り付け部14が形成されており、ビー
ム取り付け部14にフレーム取り付け部13を嵌合させ
て接合させてある。このように、ビーム2やマス部3及
びフレーム取り付け部13からなるセンサ検知部分を一
体成形することにより、部品点数の削減を図ることがで
きるとともに、フレーム4をコストの安い樹脂等で作成
することによって加速度センサ56の製造コストの削減
を図ることもできる。
ては、第2のビーム2bの固定部7側にフレーム取り付
け部13が形成されていて、マス部3やビーム2及びフ
レーム取り付け部13は金属等により一体として成形さ
れている。樹脂等により成形されたフレーム4には凹部
からなるビーム取り付け部14が形成されており、ビー
ム取り付け部14にフレーム取り付け部13を嵌合させ
て接合させてある。このように、ビーム2やマス部3及
びフレーム取り付け部13からなるセンサ検知部分を一
体成形することにより、部品点数の削減を図ることがで
きるとともに、フレーム4をコストの安い樹脂等で作成
することによって加速度センサ56の製造コストの削減
を図ることもできる。
【0030】上記各実施例の加速度センサにあっては、
マス部3の重心Gをビーム軸方向において第1のビーム
2aのマス支持部6と折返し部5との間に位置させ、若
しくはビーム軸方向において第2のビーム2bの固定部
7と折返し部5との間に位置させる必要がある。このた
めにはさまざまな方法が考えられる。以下図8から図1
6にしたがって説明する。
マス部3の重心Gをビーム軸方向において第1のビーム
2aのマス支持部6と折返し部5との間に位置させ、若
しくはビーム軸方向において第2のビーム2bの固定部
7と折返し部5との間に位置させる必要がある。このた
めにはさまざまな方法が考えられる。以下図8から図1
6にしたがって説明する。
【0031】まず図8に示す加速度センサ57にあって
は、マス部3全体を比重の異なる2種類の部材3a及び
部材3bから構成してある。したがって、部材3a及び
部材3bを適当に組み合わせることにより、マス部3の
重心Gをビーム軸方向において第1のビーム2aのマス
支持部6と折返し部5との間に位置させ、若しくはビー
ム軸方向において第2のビーム2bの固定部7と折返し
部5との間に位置させ(それぞれその中央付近に位置さ
せるのが望ましい)に位置させることができる。または
図9の加速度センサ58に示すように、マス部3を比重
の異なる2種の部材3a及び3bで構成し、さらに部材
3a若しくは部材3bにドリルなどで穴状の重心調整部
20を設けることによって、重心位置の微調整を行なう
こととしてもよい。
は、マス部3全体を比重の異なる2種類の部材3a及び
部材3bから構成してある。したがって、部材3a及び
部材3bを適当に組み合わせることにより、マス部3の
重心Gをビーム軸方向において第1のビーム2aのマス
支持部6と折返し部5との間に位置させ、若しくはビー
ム軸方向において第2のビーム2bの固定部7と折返し
部5との間に位置させ(それぞれその中央付近に位置さ
せるのが望ましい)に位置させることができる。または
図9の加速度センサ58に示すように、マス部3を比重
の異なる2種の部材3a及び3bで構成し、さらに部材
3a若しくは部材3bにドリルなどで穴状の重心調整部
20を設けることによって、重心位置の微調整を行なう
こととしてもよい。
【0032】図10に示す加速度センサ59にあって
は、マス部3を研磨することなどによりマス部3の上面
にテーパ15を設けマス部3の厚みに変化を持たせてあ
り、このようにテーパ15を設けることによってもマス
部3の重心位置を調整することもできる。
は、マス部3を研磨することなどによりマス部3の上面
にテーパ15を設けマス部3の厚みに変化を持たせてあ
り、このようにテーパ15を設けることによってもマス
部3の重心位置を調整することもできる。
【0033】また、マス部3を一部切り欠くことにより
ビーム軸方向において非対称に形成することによっても
簡単に重心位置を調整することができる。例えば図11
に示す加速度センサ60は、マス部3の両隅に切り欠き
16を設けビーム軸方向において非対称に形成してあ
る。あるいは、図12の加速度センサ61に示すよう
に、マス部3の中心軸上に切り欠き16を設けることと
してもよい。
ビーム軸方向において非対称に形成することによっても
簡単に重心位置を調整することができる。例えば図11
に示す加速度センサ60は、マス部3の両隅に切り欠き
16を設けビーム軸方向において非対称に形成してあ
る。あるいは、図12の加速度センサ61に示すよう
に、マス部3の中心軸上に切り欠き16を設けることと
してもよい。
【0034】さらに図13に示す加速度センサ62にあ
っては、マス部3の上面に複数の溝からなる重心調整部
20を設けてある。この加速度センサ62にあっては、
溝の本数を変えたり、溝の位置、あるいは溝の幅や深さ
などを変えることにより重心位置を自由に変えることが
できる。
っては、マス部3の上面に複数の溝からなる重心調整部
20を設けてある。この加速度センサ62にあっては、
溝の本数を変えたり、溝の位置、あるいは溝の幅や深さ
などを変えることにより重心位置を自由に変えることが
できる。
【0035】また、図14に示す加速度センサ63のよ
うに、多数の穴状の重心調整部20をマス部3に設けマ
ス部3の重心位置を調整することもできる。この方法に
よっても、穴の大きさや深さ、数などを変えることによ
り重心位置を自由に調整することができる。この場合に
はマス部3の変位により受ける空気等の抵抗が少なくな
り、特に図示はしないが、図1に示す加速度センサ1の
フレーム4上面にも基板10を張り合わせてマス部3の
周囲に空間を形成した加速度センサにおいて、マス部3
周囲の空間に液体等を封入する場合には液体による振動
の減衰を低減することができるので、加速度センサの周
波数特性の点から特に好ましい。
うに、多数の穴状の重心調整部20をマス部3に設けマ
ス部3の重心位置を調整することもできる。この方法に
よっても、穴の大きさや深さ、数などを変えることによ
り重心位置を自由に調整することができる。この場合に
はマス部3の変位により受ける空気等の抵抗が少なくな
り、特に図示はしないが、図1に示す加速度センサ1の
フレーム4上面にも基板10を張り合わせてマス部3の
周囲に空間を形成した加速度センサにおいて、マス部3
周囲の空間に液体等を封入する場合には液体による振動
の減衰を低減することができるので、加速度センサの周
波数特性の点から特に好ましい。
【0036】さらに、図15には別な重心調整部20を
設けた加速度センサ64を示す。加速度センサ64のマ
ス部3には、マス部3の幅方向に空洞状の重心調整部2
0が設けられている。空洞状の重心調整部20を設ける
場合には、マス部3の電極面積が小さくなることはない
ので、センサ感度を低下させることなく重心位置の調整
を行なうことができる。
設けた加速度センサ64を示す。加速度センサ64のマ
ス部3には、マス部3の幅方向に空洞状の重心調整部2
0が設けられている。空洞状の重心調整部20を設ける
場合には、マス部3の電極面積が小さくなることはない
ので、センサ感度を低下させることなく重心位置の調整
を行なうことができる。
【0037】また、図16に示す加速度センサ65にあ
っては、マス部3に設けられた空洞状の重心調整部20
とつながる開口21をマス部3上面に設け、空洞内に例
えばロウなどの低融点物質22を充填している。この場
合には、空洞状の重心調整部20内にロウなどの低融点
物質22を予め充填しておき、加熱することによって低
融点物質22を溶融させて開口21から出し入れして空
洞内の低融点物質22の量を自由に調整することができ
る。したがって、空洞内の低融点物質22の量を変える
ことにより自由にマス部3の重心位置を調整することが
できる。また、調整に失敗したとしても再び空洞内の低
融点物質22を出し入れすることにより再度重心位置を
調整しなおすことができるので、加速度センサ65の歩
留りを向上させることもできる。なお、空洞内に液体を
充填することも考えられるが、開口62から液体漏れを
防ぐ必要から部品点数が多くなったりマス部3の構造が
複雑になる。この点低融点物質22を充填しておけば、
通常の使用時には固体状であるので開口から低融点物質
22が漏れることがなく、マス部3の構造を容易にする
という点から好ましい。
っては、マス部3に設けられた空洞状の重心調整部20
とつながる開口21をマス部3上面に設け、空洞内に例
えばロウなどの低融点物質22を充填している。この場
合には、空洞状の重心調整部20内にロウなどの低融点
物質22を予め充填しておき、加熱することによって低
融点物質22を溶融させて開口21から出し入れして空
洞内の低融点物質22の量を自由に調整することができ
る。したがって、空洞内の低融点物質22の量を変える
ことにより自由にマス部3の重心位置を調整することが
できる。また、調整に失敗したとしても再び空洞内の低
融点物質22を出し入れすることにより再度重心位置を
調整しなおすことができるので、加速度センサ65の歩
留りを向上させることもできる。なお、空洞内に液体を
充填することも考えられるが、開口62から液体漏れを
防ぐ必要から部品点数が多くなったりマス部3の構造が
複雑になる。この点低融点物質22を充填しておけば、
通常の使用時には固体状であるので開口から低融点物質
22が漏れることがなく、マス部3の構造を容易にする
という点から好ましい。
【0038】
【発明の効果】本発明の加速度センサにあっては、弾性
を有するビームによってマス部を支持基板に片持ち状に
支持させた加速度センサにおいて、撓み方向の異なる2
種以上のビームによってマス部を自由度2以上に変位さ
せることとしているので、加えられた加速度によってマ
ス部は2方向に揺動自在に変位することができる。例え
ば、マス部の厚さ方向に撓む第1のビームとマス部の幅
方向に撓む第2のビームを折返し部で結合させることに
より、マス部を片持ち状に支持させて2方向に揺動自在
に変位させることができる。したがって、マス部の厚さ
方向及び横方向への変位をそれぞれ検出することにすれ
ば、多方向の加速度を同時に検出することができる。
を有するビームによってマス部を支持基板に片持ち状に
支持させた加速度センサにおいて、撓み方向の異なる2
種以上のビームによってマス部を自由度2以上に変位さ
せることとしているので、加えられた加速度によってマ
ス部は2方向に揺動自在に変位することができる。例え
ば、マス部の厚さ方向に撓む第1のビームとマス部の幅
方向に撓む第2のビームを折返し部で結合させることに
より、マス部を片持ち状に支持させて2方向に揺動自在
に変位させることができる。したがって、マス部の厚さ
方向及び横方向への変位をそれぞれ検出することにすれ
ば、多方向の加速度を同時に検出することができる。
【0039】このとき、マス部の重心をビームの軸方向
に関してビームの固定部と折返し部との間に位置させる
こととすれば、固定部と折返し部との間を構成する第1
のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
に関してビームの固定部と折返し部との間に位置させる
こととすれば、固定部と折返し部との間を構成する第1
のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
【0040】また、マス部の重心をビームの軸方向に関
してビームのマス支持部と折返し部の間に位置させるこ
ととすれば、マス支持部と折返し部との間を構成する第
1のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
してビームのマス支持部と折返し部の間に位置させるこ
ととすれば、マス支持部と折返し部との間を構成する第
1のビームの撓み方向若しくは第2のビームの撓み方向
に、マス部は傾くことなく平行移動することができる。
このため、例えばマス部に形成された可動電極とそれと
対向する固定電極との間の静電容量は加速度に正比例し
て変化し、加速度センサの直線性を向上させることがで
きる。
【0041】また、マス部全体を可動電極とした加速度
センサは、例えば半導体や金属からマス部を簡単に作成
することができる。また、マス部の上面若しくは下面の
少なくとも一部に可動電極を形成することにすれば、例
えばマス部を樹脂などの比重の軽い材料で作成すること
ができ、マス部の軽量化を図ることで加速度センサ全体
の軽量化を図ることができる。
センサは、例えば半導体や金属からマス部を簡単に作成
することができる。また、マス部の上面若しくは下面の
少なくとも一部に可動電極を形成することにすれば、例
えばマス部を樹脂などの比重の軽い材料で作成すること
ができ、マス部の軽量化を図ることで加速度センサ全体
の軽量化を図ることができる。
【0042】これらの加速度センサにあっては、マス部
を2種以上の材質で形成することにより、マス部の重心
位置を容易に調整することができる。また、マス部の厚
みを均一でなくすことによっても重心位置を調整するこ
とができる。さらには、ビーム軸方向に非対称とするこ
ととしてもよい。
を2種以上の材質で形成することにより、マス部の重心
位置を容易に調整することができる。また、マス部の厚
みを均一でなくすことによっても重心位置を調整するこ
とができる。さらには、ビーム軸方向に非対称とするこ
ととしてもよい。
【0043】また、マス部に窪み、溝、穴若しくは空洞
状などの重心調整部を設けることによっても、マス部の
重心をビームの固定部と折返し部の間に位置させること
ができる。
状などの重心調整部を設けることによっても、マス部の
重心をビームの固定部と折返し部の間に位置させること
ができる。
【図1】(a)は本発明の一実施例である加速度センサ
を示す斜視図、(b)はその断面図である。
を示す斜視図、(b)はその断面図である。
【図2】本発明の別な実施例である加速度センサを示す
平面図である。
平面図である。
【図3】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び断面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び断面図であ
る。
【図4】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図5】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図6】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図7】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図8】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図9】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な実
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図10】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図11】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図12】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図13】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図14】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図15】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図16】(a)(b)はそれぞれ本発明のさらに別な
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
実施例である加速度センサを示す平面図及び側面図であ
る。
【図17】(a)(b)はそれぞれ従来例である加速度
センサを示す平面図及び断面図である。
センサを示す平面図及び断面図である。
【図18】同上の加速度センサにおけるマス部の変位を
表わす説明図である。
表わす説明図である。
【図19】別な従来例である加速度センサを示す断面図
である。
である。
1、51、52、……、65 加速度センサ 2a マス部の厚さ方向に撓む第1のビーム 2b マス部の幅方向に撓む第2のビーム 3 マス部 5 折返し部 6 固定部 7 マス支持部 20 重心調整部 22 低融点物質
Claims (11)
- 【請求項1】 弾性を有するビームによってマス部を支
持基板に片持ち状に支持させた加速度センサにおいて、 撓み方向の異なる2種以上の前記ビームによって前記マ
ス部を自由度2以上に変位させることを特徴とする加速
度センサ。 - 【請求項2】 前記自由度2以上のマス部の変位を独立
して検出することを特徴とする請求項1に記載の加速度
センサ。 - 【請求項3】 前記ビームは、マス部の厚さ方向に撓む
第1のビームとマス部の幅方向に撓む第2のビームが折
返し部で結合されていることを特徴とする請求項1又は
2に記載の加速度センサ。 - 【請求項4】 前記マス部の重心は、前記ビームの軸方
向に関して当該ビームの固定部と前記折返し部との間に
位置することを特徴とする請求項3に記載の加速度セン
サ。 - 【請求項5】 前記マス部の重心は、前記ビームの軸方
向に関して当該ビームのマス支持部と前記折返し部との
間に位置することを特徴とする請求項3に記載の加速度
センサ。 - 【請求項6】 前記マス部を可動電極としたことを特徴
とする請求項1、2、3、4又は5に記載の加速度セン
サ。 - 【請求項7】 前記マス部の上面若しくは下面の少なく
とも一部に可動電極を形成したことを特徴とする請求項
1、2、3、4又は5に記載の加速度センサ。 - 【請求項8】 前記マス部は、2種以上の材質で形成し
たことを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6又は
7に記載の加速度センサ。 - 【請求項9】 前記マス部の厚みが均一でないことを特
徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7又は8に記
載の加速度センサ。 - 【請求項10】 前記マス部はビーム軸方向に非対称な
形状であることを特徴とする請求項1、2、3、4、
5、6、7、8又は9に記載の加速度センサ。 - 【請求項11】 前記マス部に窪み、溝、穴若しくは空
洞状などの重心調整部を設けたことを特徴とする請求項
1、2、3、4、5、6、7、8、9又は10に記載の
加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6124302A JPH07306225A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6124302A JPH07306225A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07306225A true JPH07306225A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14881976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6124302A Pending JPH07306225A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07306225A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012208078A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Seiko Instruments Inc | 時計用回転錘およびその回転錘を備えた時計 |
WO2015186740A1 (ja) * | 2014-06-04 | 2015-12-10 | 株式会社村田製作所 | Mems構造体 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP6124302A patent/JPH07306225A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012208078A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Seiko Instruments Inc | 時計用回転錘およびその回転錘を備えた時計 |
WO2015186740A1 (ja) * | 2014-06-04 | 2015-12-10 | 株式会社村田製作所 | Mems構造体 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4928203A (en) | Capacitive accelerometer with hinges on top and bottom surface | |
US5220835A (en) | Torsion beam accelerometer | |
US6829937B2 (en) | Monolithic silicon acceleration sensor | |
US4930043A (en) | Closed-loop capacitive accelerometer with spring constraint | |
US6082197A (en) | Acceleration sensor | |
US6928872B2 (en) | Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane | |
US4930042A (en) | Capacitive accelerometer with separable damping and sensitivity | |
US8418557B2 (en) | Physical quantity sensor | |
JPH11344507A (ja) | マイクロマシンの構成エレメント | |
US20040183149A1 (en) | Micromechanical device | |
US5109175A (en) | Monolithic resonator for vibrating beam force sensors | |
JPH07325104A (ja) | 加速度センサ | |
US6862795B2 (en) | Method of manufacturing of a monolithic silicon acceleration sensor | |
JPH08304450A (ja) | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 | |
JP2000019198A (ja) | 加速度センサ | |
GB2280307A (en) | Semiconductor acceleration sensor and testing method thereof | |
JPH07306225A (ja) | 加速度センサ | |
JPH08262057A (ja) | 加速度センサ | |
JPH07306223A (ja) | 加速度センサ | |
JP4525452B2 (ja) | 多軸加速度センサ | |
JPH085657A (ja) | センサ・プレートのたわみが低減された半導体加速度計 | |
JPH07306224A (ja) | 加速度センサ | |
WO1999067605A1 (en) | Micromechanical precision silicon scale | |
JP2010164569A (ja) | 多軸加速度センサ | |
CA2213245C (en) | Mechanical resonance, silicon accelerometer |