JP2010164569A - 多軸加速度センサ - Google Patents
多軸加速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010164569A JP2010164569A JP2010029787A JP2010029787A JP2010164569A JP 2010164569 A JP2010164569 A JP 2010164569A JP 2010029787 A JP2010029787 A JP 2010029787A JP 2010029787 A JP2010029787 A JP 2010029787A JP 2010164569 A JP2010164569 A JP 2010164569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- acceleration
- mass
- axis direction
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部12を複数の梁部14を介して周囲の支持部13に支持する可動基板11と、この可動基板11における支持部13と接合され、かつ可動基板11における質量部12と所定間隔を有する固定電極16を上面に設けた固定基板15とを備え、前記複数の梁部14を、支持部13からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部17と、質量部12に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部18とにより構成し、前記第2の梁部18の長手方向と垂直な断面2次モーメントを第1の梁部17の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくしたものである。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1における加速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
ら一般的に算出できるもので、一定量の加速度による慣性力において、断面2次モーメントを小さくすることにより、梁のたわみ、すなわち質量部12の変位を大きくすることができる。
以下、本発明の実施の形態2における加速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態3における多軸加速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
12 質量部
13 支持部
14 梁部
15 固定基板
16 固定電極
17 第1の梁部
18 第2の梁部
19 貫通孔
21 可動基板
22 質量部
23 支持部
24 梁部
25 第1の梁部
26 第2の梁部
27 縦溝
31 駆動電極
32 共通電極
Claims (1)
- XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記複数の梁部を、前記支持部からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部と、前記質量部に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部とにより構成し、前記第2の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントを前記第1の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくするとともに、質量部における第2の梁部と連結される部分の近傍に上面から下面にわたって気体を逃がす縦溝を設けた多軸加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010029787A JP2010164569A (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 多軸加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010029787A JP2010164569A (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 多軸加速度センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005129284A Division JP4525452B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 多軸加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010164569A true JP2010164569A (ja) | 2010-07-29 |
Family
ID=42580828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010029787A Pending JP2010164569A (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 多軸加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010164569A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103675346A (zh) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种加速度计及其制造工艺 |
CN106918720A (zh) * | 2017-04-10 | 2017-07-04 | 浙江大学 | 一种细丝约束型加速度传感器 |
JP6241982B1 (ja) * | 2016-08-31 | 2017-12-06 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0676867U (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 容量型加速度センサ |
JPH0815308A (ja) * | 1994-07-04 | 1996-01-19 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JPH09196682A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサと加速度センサ |
JPH11248739A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Omron Corp | 半導体多軸加速度センサ |
JP2003152162A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 電子素子用基板とその製造方法並びに電子素子とその製造方法 |
JP2004012326A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Hiroaki Niitsuma | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 |
JP2004506176A (ja) * | 2000-04-04 | 2004-02-26 | ローズマウント エアロスペイス インコーポレイテッド | 3軸加速度計 |
JP2004177233A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
JP2005049320A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Microstone Corp | 加速度センサ |
-
2010
- 2010-02-15 JP JP2010029787A patent/JP2010164569A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0676867U (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 容量型加速度センサ |
JPH0815308A (ja) * | 1994-07-04 | 1996-01-19 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JPH09196682A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサと加速度センサ |
JPH11248739A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Omron Corp | 半導体多軸加速度センサ |
JP2004506176A (ja) * | 2000-04-04 | 2004-02-26 | ローズマウント エアロスペイス インコーポレイテッド | 3軸加速度計 |
JP2003152162A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 電子素子用基板とその製造方法並びに電子素子とその製造方法 |
JP2004012326A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Hiroaki Niitsuma | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 |
JP2004177233A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
JP2005049320A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Microstone Corp | 加速度センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103675346A (zh) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种加速度计及其制造工艺 |
JP6241982B1 (ja) * | 2016-08-31 | 2017-12-06 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
WO2018042571A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社 トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
CN106918720A (zh) * | 2017-04-10 | 2017-07-04 | 浙江大学 | 一种细丝约束型加速度传感器 |
CN106918720B (zh) * | 2017-04-10 | 2019-05-14 | 浙江大学 | 一种细丝约束型加速度传感器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9134189B2 (en) | Dynamic quantity sensor and dynamic quantity sensor system | |
US7302847B2 (en) | Physical quantity sensor having movable portion | |
US8250916B2 (en) | Inertial sensor | |
JP5137404B2 (ja) | 3つの軸線に沿った加速度を検知すべく採用可能な面一のプルーフマス | |
JP4525452B2 (ja) | 多軸加速度センサ | |
WO2010061777A1 (ja) | 加速度センサ | |
US9052334B2 (en) | Acceleration sensor | |
US9035400B2 (en) | Micro electro mechanical systems device | |
JP2010164569A (ja) | 多軸加速度センサ | |
US9879998B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP4965546B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP2009222475A (ja) | 複合センサ | |
JP4965547B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP4983107B2 (ja) | 慣性センサおよび慣性センサの製造方法 | |
WO2020203011A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP2006153514A (ja) | ジャイロセンサおよび角速度検出方法 | |
JP5125138B2 (ja) | 複合センサ | |
JP4858215B2 (ja) | 複合センサ | |
US9964561B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP2006064538A (ja) | ジャイロセンサ | |
JPH11248741A (ja) | 静電容量型多軸加速度センサ | |
JP2010216837A (ja) | 力学量検出センサ | |
JP2008232704A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2010216843A (ja) | 力学量検出センサ | |
JP2008261771A (ja) | 慣性力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121203 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20121218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131022 |