JPH07267612A - 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 - Google Patents
圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置Info
- Publication number
- JPH07267612A JPH07267612A JP6057856A JP5785694A JPH07267612A JP H07267612 A JPH07267612 A JP H07267612A JP 6057856 A JP6057856 A JP 6057856A JP 5785694 A JP5785694 A JP 5785694A JP H07267612 A JPH07267612 A JP H07267612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- adsorption
- gas
- concentration
- adsorption column
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
動吸着式で経済的に得ることができる方法及び装置を提
供する。 【構成】 酸素吸着剤を充填した吸着筒を有する酸素粗
濃縮部10で原料空気中の酸素を粗濃縮し、次いで、窒
素吸着剤を充填した吸着筒を有する酸素高濃縮部20で
前記酸素粗濃縮部からの粗濃縮酸素を原料として酸素を
濃縮するにあたり、酸素粗濃縮部における吸着筒の脱着
回収工程で得られるガスと、前記酸素高濃縮部における
吸着筒の再生工程から得られるガスとを、前記酸素粗濃
縮部における吸着筒のパージ工程のパージガスとして用
いる。
Description
造方法及び装置に関し、詳しくは、分子篩活性炭等の酸
素吸着剤により原料空気中の酸素を粗濃縮し、得られた
粗濃縮酸素を原料としてゼオライト等の窒素吸着剤によ
り酸素を高濃度に濃縮する方法及び装置に関する。
ら、空気から酸素ガスや窒素ガスを分離採取する装置と
して、圧力変動式空気分離装置(PSA装置)が広く用
いられている。このPSA装置は、周知のように、採取
するガスの種類に応じた吸着剤を充填した複数の吸着筒
を、基本的には、吸着工程,均圧工程,再生工程,均圧
工程に順次切換えながら製品ガスを採取するものであ
る。
分離する方法は、ゼオライトを吸着剤として広く行われ
ている。この場合、ゼオライトの窒素に対する高い選択
吸着性を利用して空気から酸素を分離するが、酸素とア
ルゴンとが略同一の吸着性能を持つため、分離した酸素
はアルゴンを含み、酸素の最高濃度は、概ね95%であ
る。
は、95%以下の酸素濃度で十分であるが、金属の切断
では、酸素濃度が99.5%程度ないと、切断スピード
及び切断面の滑らかさの点で問題がある。また、病院等
で用いられている医療用の酸素は、薬事法で99.5%
以上の酸素濃度が指定されているなど、高純度酸素は、
多くの分野で需要がある。
法で製造した液体酸素や酸素ガスを、ローリーやシリン
ダーで供給しているが、輸送コスト,高圧ガス設備とな
るための必要人員,安全上の諸対策等の点から、簡便な
高濃度(高純度)酸素の製造法の開発が期待されてい
た。
を有する分子篩活性炭(MSC)を利用してアルゴンを
分離し、高純度の酸素を得る方法が特開昭54−132
476号公報に提案されている。この方法は、上記MS
Cを吸着剤とした第1の酸素濃縮部と、ゼオライトを吸
着剤とした第2の高濃縮部とにより構成されている。
吸着する吸着工程と、酸素濃縮ガスによるパージ工程
と、真空ポンプによる酸素濃縮ガスの脱着回収工程とを
順次繰り返し行い、第2の高濃縮部は、第1の酸素濃縮
部から供給される酸素分を比較的多量に含むガスを原料
として99.5%以上の高純度酸素を得る吸着工程と、
真空ポンプによる脱着回収工程とを順次繰り返し行うよ
うに構成されている。
の酸素濃縮部において発生するガスを第2の高濃縮部の
原料ガスとするか、パージ用ガスとするかは、次のよう
に規定している。
によって脱着するガスの組成が、初めは酸素分が少な
く、途中でピークを示し、再び低下するとし、この真空
排気工程における中間部のガスのみを第2の高濃縮部の
原料ガスとして用いるとしている。このとき、第2の高
濃縮部に供給される原料ガスの酸素濃度は、平均値で8
0%であり、パージ用に使用するガスの平均酸素濃度
は、50%であるとしている。
の具体的なプロセスの記載がなく、単に吸着剤としてゼ
オライトとMSCとを組み合わせて使用することによ
り、空気から酸素を高純度で分離することができること
を示したに過ぎないものであって、商業的な装置として
の具体性に欠け、経済性等についての適格な判断を下す
ことができなかった。
高純度酸素を圧力変動吸着式で経済的に得ることができ
る方法及び装置を提供することを目的としている。
ため、本発明の圧力変動吸着式酸素製造方法は、第1の
構成として、分子篩活性炭等の酸素吸着剤を充填した吸
着筒を有する酸素粗濃縮部で原料空気中の酸素を粗濃縮
し、次いで、ゼオライト等の窒素吸着剤を充填した吸着
筒を有する酸素高濃縮部で前記酸素粗濃縮部からの粗濃
縮酸素を原料として酸素を濃縮することにより高濃度酸
素を製造する圧力変動吸着式酸素製造方法において、前
記酸素粗濃縮部における吸着筒の脱着回収工程で得られ
るガスと、前記酸素高濃縮部における吸着筒の再生工程
から得られるガスとを、前記酸素粗濃縮部における吸着
筒のパージ工程のパージガスとして用いることを特徴と
している。
素粗濃縮部における、原料空気を吸着筒に導入する吸着
工程、該吸着工程後の吸着筒と脱着回収工程後の他の吸
着筒との均圧工程、吸着工程及び均圧工程を終えた吸着
筒に脱着回収工程にある他の吸着筒からの粗濃縮酸素ガ
ス及び前記酸素高濃縮部の脱着再生工程にある吸着筒か
らの酸素富化ガスを導入して行うパージ工程、該パージ
工程後の吸着筒を真空ポンプにより吸引して粗濃縮酸素
ガスを得る脱着回収工程、該脱着回収工程後の吸着筒と
吸着工程後の他の吸着筒との均圧工程の各工程を順次繰
り返して粗濃縮酸素ガスを得る酸素粗濃縮段階と、前記
酸素高濃縮部における、前記酸素粗濃縮部で得た粗濃縮
酸素を吸着筒に導入して高濃度酸素を得る吸着工程、該
吸着工程後の吸着筒とパージ再生工程後の他の吸着筒と
の均圧工程、該均圧工程後の吸着筒を真空ポンプにより
吸引して酸素富化ガスを得る脱着再生工程、該脱着再生
工程後の吸着筒に吸着工程にある他の吸着筒からの製品
ガスを導入してパージを行いつつ該吸着塔内の真空吸引
を行うパージ再生工程、該パージ再生工程後の吸着筒と
吸着工程後の他の吸着筒との均圧工程、該均圧工程後の
吸着筒に吸着工程にある他の吸着筒からの製品ガスを導
入する製品加圧工程の各工程を順次繰り返して高濃度酸
素を得る酸素高濃縮段階とにより高濃度酸素を製造する
ことを特徴としている。
酸素粗濃縮部における、原料空気を吸着筒に導入する吸
着工程、該吸着工程後の吸着筒に脱着回収工程にある他
の吸着筒からの脱着ガス及び前記酸素高濃縮部からの脱
着ガスを導入して行うパージ工程、該パージ工程後の吸
着筒と脱着回収工程後の他の吸着筒との均圧工程、均圧
工程後の吸着筒内の粗濃縮酸素ガスを真空ポンプにより
吸引してバッファタンクに貯留する脱着回収工程、該脱
着回収工程の吸着筒内のガスを真空ポンプにより吸引し
てパージ工程にある他の吸着筒に導入する脱着回収工
程、該脱着回収工程後の吸着筒とパージ工程後の他の吸
着筒との均圧工程の各工程を順次繰り返して粗濃縮酸素
ガスを得る酸素粗濃縮段階と、前記酸素高濃縮部におけ
る、前記酸素粗濃縮部のバッファタンクに貯留されてい
る粗濃縮酸素を吸着筒に導入して高濃度酸素を得る吸着
工程、該吸着工程後の吸着筒と脱着再生工程後の他の吸
着筒との均圧工程、該均圧工程後の吸着筒内のガスを真
空ポンプにより吸引してバッファタンクに貯留する脱着
再生工程、該脱着再生工程後の吸着筒と吸着工程後の他
の吸着筒との均圧工程の各工程を順次繰り返して高濃度
酸素を得る酸素高濃縮段階とにより高濃度酸素を製造す
ることを特徴としている。
て、前記酸素高濃縮部の吸着筒に充填した窒素吸着剤の
粒径が5〜60メッシュであること、上記第2,第3の
構成において、前記酸素粗濃縮部における均圧工程は、
該均圧工程時、前記吸着工程を終えた側の吸着筒の圧力
が吸着工程における最高圧力の50〜80%の圧力にな
るように行うこと、前記酸素粗濃縮部における均圧工程
は、各吸着筒のガス出口側を連通させて行うことを特徴
としている。
置は、分子篩活性炭等の酸素吸着剤を充填した吸着筒を
用いて原料空気中の酸素を粗濃縮する酸素粗濃縮部と、
ゼオライト等の窒素吸着剤を充填した吸着筒を用いて前
記酸素粗濃縮部からの粗濃縮酸素を原料として高濃度酸
素を得る酸素高濃縮部とを備えた圧力変動吸着式酸素製
造装置において、前記酸素粗濃縮部における脱着回収工
程で得られるガスと、前記酸素高濃縮部における再生工
程から得られるガスとを、前記酸素粗濃縮部におけるパ
ージ工程にある吸着筒にパージガスとして導入する経路
を設けたことを特徴としている。
着筒のパージを、酸素粗濃縮部の脱着回収工程で得られ
るガス及び酸素高濃縮部の再生工程から得られるガスで
行うことにより、酸素粗濃縮部から酸素高濃縮部に供給
する原料ガスの酸素濃度を高めることができ、製品酸素
ガスの収率を向上させることができる。
てさらに詳細に説明する。図1は本発明の第1実施例を
示す系統図であって、酸素粗濃縮部及び酸素高濃縮部を
それぞれ3筒式のPSA装置により構成した例を示して
いる。
素製造装置は、3個の吸着筒11a,11b,11cか
らなる酸素粗濃縮部10と、同じく3個の吸着筒21
a,21b,21cからなる酸素高濃縮部20とにより
構成されており、酸素粗濃縮部10の各吸着筒11a,
11b,11c内には、酸素を優先的に吸着する分子篩
活性炭(MSC)等の酸素吸着剤がそれぞれ充填され、
酸素高濃縮部20の各吸着筒21a,21b,21cに
は、窒素に対する吸着能が高いゼオライト等の窒素吸着
剤がそれぞれ充填されている。
炭は、平衡吸着量としては酸素,窒素,アルゴンのそれ
ぞれについて略同程度であるが、吸着速度で比較すると
酸素,窒素,アルゴンの順序になり、吸着速度の速い酸
素を優先的に吸着する性質を持っている。このため、適
当な吸着時間を設定すれば、ほとんど酸素だけを吸着し
て窒素及びアルゴンを吸着しない条件を設定することが
可能である。
性炭の性質を利用して空気に含まれる窒素及びアルゴン
と酸素とを分離する目的を担っており、特に酸素とアル
ゴンとを分離することが重要な要件となっている。
ト、特にMS−5A,MS−13X,MS−10X,モ
ルデナイト等は、窒素に対する親和力が大きく、酸素の
平衡吸着量に対して2〜3倍の窒素吸着量を持ってい
る。しかし、ゼオライトの場合、アルゴンについては酸
素と同程度の平衡吸着量であるため、このゼオライトで
は、酸素とアルゴンとを分離することができない。
は、前段の酸素粗濃縮部10でアルゴンを分離した酸素
・窒素の混合ガスから窒素を除去して酸素を高濃度に濃
縮する目的を担っている。
は、各吸着筒に原料ガスやパージガスを供給したり、各
吸着筒を所定の工程に切換えるための機器として、原料
空気を酸素粗濃縮部10に供給するための圧縮機1、酸
素粗濃縮部10及び酸素高濃縮部20の脱着回収工程を
行うための2台の真空ポンプ2,3、両真空ポンプ2,
3で吸引された脱着ガスを保持する2基のバッファタン
ク4,5、酸素粗濃縮部10側のバッファタンク4内の
ガスを酸素高濃縮部20側のバッファタンク5に導入す
る経路に設けられた逆止弁6、酸素高濃縮部20から導
出される製品酸素ガスを保持する製品貯槽7、各吸着筒
の入口側及び出口側に取付けられた多数の切換弁等が設
けられるとともに、前記バッファタンク5内に保持され
ているガスを酸素粗濃縮部10にパージガスとして供給
するパージ経路8とが設けられている。
着する吸着工程と、吸着したガスを脱着して吸着剤の再
生を行う脱着再生工程とを繰返すものであるが、両工程
間に所定の均圧工程やパージ工程を行うことにより、製
品の高純度酸素の収率を向上させるようにしている。
ガスの流れの一例を参照しながら各工程を説明する。な
お、図中○印は、吸着筒入口及び出口部で開いている弁
を示しており、このとき、その他の弁は閉じている。ま
た、各段階の時間は、1サイクルを180秒とした場合
の継続時間を表している。
縮機1で所定の圧力に昇圧された原料空気が除湿器1a
及び入口弁12aを経て酸素粗濃縮部10の第1の吸着
筒11aに導入されており、吸着筒11aでは、空気が
流入して酸素吸着剤に酸素が吸着し、窒素及びアルゴン
が出口弁13aから流出する吸着工程が行われている。
筒11bでは、前記バッファタンク5内のガスがパージ
ガスとしてパージ経路8を経てパージ弁14bから流入
し、出口弁16b,調節弁、18を経てパージ弁17か
ら流出するパージ工程が行われている。また、第3の吸
着筒11cでは、該筒内を再生弁15cを介して真空ポ
ンプ2で真空排気し、酸素吸着剤に吸着している酸素を
脱着回収する脱着回収工程が行われており、脱着回収さ
れた酸素及び筒内に残存している窒素からなる混合ガス
(粗濃縮酸素)は、真空ポンプ2を経てバッファタンク
4に貯留される。
1aには、上記バッファタンク4内の粗濃縮酸素が入口
弁22aを介して導入されており、該吸着筒21aで
は、粗濃縮酸素中の窒素が窒素吸着剤に吸着し、出口弁
23aから高濃度に濃縮された製品高純度酸素が流出す
る吸着工程が行われている。この製品高純度酸素は、前
記製品貯槽7を介して使用先に供給される。
1bには、加圧元弁24及び吸着筒21b出口側の加圧
弁25bを介して製品貯槽7内の製品高純度酸素を導入
し、筒内圧力を吸着工程圧力まで高める製品加圧工程が
行われており、第3の吸着筒21cは、筒内を真空ポン
プ3により真空排気し、窒素吸着剤に吸着している窒素
を脱着して窒素吸着剤を再生する脱着再生工程が行わ
れ、脱着した窒素及び筒内に残留している酸素からなる
混合ガスが再生弁26cから真空ポンプ3を介してバッ
ファタンク5に貯留されている。
縮部10側のバッファタンク4内の粗濃縮酸素の一部も
逆止弁6を介して流入しており、この粗濃縮酸素と上記
吸着筒21cからの脱着再生ガスとは、該バッファタン
ク5から前記パージ経路8を経てパージ工程にある酸素
粗濃縮部10の第2の吸着筒11bに送られている。
5秒間行った後、図2(B)に示す第2段階に移る。こ
の第2段階は、酸素高濃縮部20の第3の吸着筒21c
のみの工程が切換わり、他の吸着筒はそれぞれ第1段階
と同じ工程を継続している。吸着筒21cでは、真空ポ
ンプ3で筒内を真空排気する操作を継続した状態で出口
側のパージ弁27cが開き、製品貯槽7内の製品高純度
酸素をパージ元弁28,調節弁29及びパージ弁27c
を介して吸着筒21cに逆流させるパージ再生工程が行
われる。
40秒間行われ、次いで図2(C)に示す第3段階に移
る。この第3段階における酸素粗濃縮部10では、吸着
工程を終えた第1の吸着筒11aの均圧弁16aと、脱
着回収工程を終えた第3の吸着筒11cの均圧弁16c
とが開き、吸着筒11aの筒内ガスを吸着筒11cに移
送する均圧工程が行われるとともに、第2の吸着筒11
bは、再生弁15bが開いて脱着回収工程に入り、酸素
吸着剤に吸着している酸素及び筒内に残存している窒素
が真空ポンプ2を経てバッファタンク4に回収される。
終えた第1の吸着筒21a及び第3の吸着筒21cの出
口側の弁27a,27c(あるいは弁25a,25c)
と、両筒の入口均圧弁29a,29cとがそれぞれ開状
態となり、吸着筒21aの筒内ガスを入口出口双方から
吸着筒21cに移送する均圧工程が行われるとともに、
第2の吸着筒21bの入口弁22bと出口弁23bとが
開き、バッファタンク4内の粗濃縮酸素を吸着筒21b
に導入して製品高純度酸素を流出する吸着工程が行われ
る。
(A)に示す第4段階に移る。この第4段階は、前記第
1段階と同様の工程を吸着筒を切換えたかたちで行うも
ので、酸素粗濃縮部10では、前記脱着回収及び均圧加
圧の工程を終えた第3の吸着筒11cは、入口弁12c
及び出口弁13cが開いて吸着工程に、吸着及び均圧減
圧の工程を終えた第1の吸着筒11aは、入口弁14a
及び出口弁16a,調節弁18,パージ弁17が開いて
パージ工程にそれぞれ入り、第2の吸着筒11bは、第
3段階の脱着回収工程を継続する。
筒21bは吸着工程を継続しており、第3の吸着筒21
cは、再生弁26cが閉じられ、加圧元弁24及び加圧
弁25cが開いて製品高純度酸素を導入する製品加圧工
程に、第1の吸着筒21aは、再生弁26aが開いて筒
内を真空ポンプ3により真空排気する脱着再生工程にそ
れぞれ入る。
た後、図3(B)に示す第5段階に移ると、前記第2段
階と同様に酸素粗濃縮部10の各吸着筒と、酸素高濃縮
部20の第2の吸着筒21b及び第3の吸着筒21cと
は、それぞれ前段階の状態を継続し、酸素高濃縮部20
の第1の吸着筒21aのみ、パージ元弁28,調節弁2
9及びパージ弁27aが開いてパージ再生工程に切換わ
る。
(C)に示す第6段階に入り、酸素粗濃縮部10の第1
の吸着筒11aは、再生弁15aが開いて脱着回収工程
に、第2の吸着筒11bと第3の吸着筒11cとは、均
圧弁16b,16cが開いて均圧工程にそれぞれ入り、
酸素高濃縮部20の第1の吸着筒21aと第2の吸着筒
21bとは、弁27a,27b(あるいは弁25a,2
5b)及び入口均圧弁29a,29bが開いて均圧工程
に、第3の吸着筒21cは、入口弁22cと出口弁23
cとが開いて吸着工程に入る。
ける吸着筒11aの工程を吸着筒11cが、吸着筒11
bの工程を吸着筒11aが、吸着筒11cの工程を吸着
筒11bが、また、吸着筒21aの工程を吸着筒21b
が、吸着筒21bの工程を吸着筒21cが、吸着筒21
cの工程を吸着筒21aが、それぞれ同様に行うように
設定されている。
後、図4に示す各工程に入る。図4(A)に示す第7段
階は、酸素粗濃縮部10の第2の吸着筒11bは、入口
弁12b及び出口弁13bが開いて吸着工程に、第3の
吸着筒11cは、パージ弁14c,出口弁16c,調節
弁18及びパージ弁17が開いてパージ工程にそれぞれ
入り、第1の吸着筒11aは脱着回収工程を継続すると
ともに、酸素高濃縮部20の第3の吸着筒21cが吸着
工程を継続し、第1の吸着筒21aの加圧元弁24と弁
25aが開いて製品加圧工程に、第2の吸着筒21bは
再生弁26bが開いて脱着再生工程にそれぞれ入る。
(B)に示す第8段階に移る。この第8段階では、酸素
粗濃縮部10の各吸着筒と、酸素高濃縮部20の第1の
吸着筒21a及び第3の吸着筒21cとが、それぞれ前
段階の状態を継続し、酸素高濃縮部20の第2の吸着筒
21bのみが、パージ元弁28,調節弁29及びパージ
弁27bが開いてパージ再生工程に切換わる。
(C)に示す最後の第9段階に入り、酸素粗濃縮部10
の第3の吸着筒11cが脱着回収工程に、第1の吸着筒
11aと第2の吸着筒11bとが均圧工程にそれぞれ入
り、酸素高濃縮部20の第2の吸着筒21bと第3の吸
着筒21cとが均圧工程に、第1の吸着筒21aが吸着
工程に入る。
おける吸着筒11aの工程を吸着筒11bが、吸着筒1
1bの工程を吸着筒11cが、吸着筒11cの工程を吸
着筒11aが、また、吸着筒21aの工程を吸着筒21
cが、吸着筒21bの工程を吸着筒21aが、吸着筒2
1cの工程を吸着筒21bが、それぞれ同様に行うよう
に設定されている。
完了して最初の第1段階に戻り、上記各段階を順次繰返
しながら製品高純度酸素を製造する。すなわち、本実施
例においては、酸素粗濃縮部10の各吸着筒は、吸着工
程を55秒,均圧減圧工程を5秒,パージ工程を55
秒,脱着回収工程を60秒,均圧加圧工程を5秒、それ
ぞれ行って1サイクル180秒となり、また、酸素高濃
縮部20の各吸着筒は、吸着工程を60秒,均圧減圧工
程を5秒,脱着再生工程を15秒,パージ再生工程を4
0秒,均圧加圧工程を5秒,製品加圧工程を55秒、そ
れぞれ行って1サイクル180秒となるように設定され
ている。
程は、真空ポンプ2による真空排気から均圧加圧工程を
終えた吸着筒に所定圧力の原料空気を導入するので、吸
着筒内は中間圧力から次第に昇圧し、大気圧を超えたと
ころで出口弁が開いて窒素及びアルゴンに富んだガスが
流出する状態になる。この吸着工程における最高圧力
は、筒出口部に調節弁を設けることにより任意に設定す
ることができるが、圧縮機1の動力費を考慮すると、5
00〜1000mmAqの範囲が適当である。
おける真空排気の程度は、吸着工程での空気処理量や脱
着回収工程で得られる脱着ガス(粗濃縮酸素)の酸素濃
度に影響する。低い真空度では処理量が少なくなり、脱
着ガスの酸素濃度も低くなる。一方、高い真空度では処
理量が増加し、酸素濃度も上昇させることができるが、
真空ポンプ2の排気量が大きくなることや、これに伴っ
て動力の消費量が増大することから、経済的な最適真空
度が存在する。これらのことから、真空度は、通常は、
100〜300Torr、特に150〜250Torr
の範囲に設定することが好ましい。
前に行われるパージ工程は、前述のように、バッファタ
ンク5内のガス、すなわち、バッファタンク4からの粗
濃縮酸素の一部と、酸素高濃縮部20の脱着再生及びパ
ージ再生工程で吸着筒から回収したガスとの混合ガス
を、原料空気流入方向と並流方向に略一定流量で導入し
て行われる。このパージ工程が始まる前の吸着筒内は、
酸素吸着剤に酸素分が多く吸着し、吸着剤間の空間(気
相)に空気が存在している状態、すなわち吸着相のガス
成分は酸素が高く、気相のガス成分は窒素及びアルゴン
が富んだ状態になっている。
やアルゴンを筒外に排出して筒内のガスを酸素濃度の高
いガスで置換し、脱着回収工程で回収するガス中の酸素
濃度を高めるとともに、酸素高濃縮部20の脱着再生工
程で吸着筒から流出する比較的酸素分の高いガスから酸
素を優先的に回収し、該ガス中の窒素を放出することが
できる。特に、このパージ工程で筒内のアルゴンを筒外
にパージすることにより、酸素高濃縮部20での分離が
困難なアルゴンが粗濃縮酸素中に混入する量を大幅に低
減することができるので、製品酸素中のアルゴン濃度を
極微量とすることが可能となる。
着筒の脱着回収工程で得られるガスと、酸素高濃縮部2
0における吸着筒の再生工程で得られる再生排ガスと
を、酸素粗濃縮部における吸着筒のパージ工程のパージ
ガスとして用いることにより、次の脱着回収工程で回収
する粗濃縮酸素の酸素濃度を、平均70%程度まで高め
ることができるとともに、通常は排出されている酸素高
濃縮部20からの再生排ガス中の比較的高濃度の酸素分
も回収することができ、酸素収率を向上させることがで
きる。
系統図であって、酸素粗濃縮部及び酸素高濃縮部をそれ
ぞれ2筒式のPSA装置により構成した例を示してい
る。
動吸着式酸素製造装置は、酸素粗濃縮部50に2個の吸
着筒51a,51bを、酸素高濃縮部60に同じく2個
の吸着筒61a,61bをそれぞれ設けたものであっ
て、酸素粗濃縮部50の両吸着筒の入口側には、入口弁
52a,52b、パージ弁53a,53b、調節弁5
8、パージ放出弁57、再生弁54a,54bが、出口
側には、出口弁55a,55b、パージ弁を兼ねる均圧
弁56a,56bが、それぞれ設けられており、酸素高
濃縮部60の両吸着筒の入口側には、入口弁62a,6
2b、再生弁63a,63b、入口側均圧弁64a,6
4bが、出口側には、出口弁65a,65b、出口側均
圧弁66a,66b、パージ弁67、調節弁68が、そ
れぞれ設けられている。
を供給する圧縮機1及び除湿器1a、脱着回収工程を行
うための2台の真空ポンプ2,3、両真空ポンプ2,3
で吸引された脱着ガスを保持する2基のバッファタンク
4,5、酸素粗濃縮部10の脱着ガスをバッファタンク
4と酸素高濃縮部20側のバッファタンク5に切換え導
入するための一対の切換弁6a,6b製品酸素ガスを保
持する製品貯槽7、バッファタンク5内に保持されてい
るガスを酸素粗濃縮部50にパージガスとして供給する
パージ経路8等が設けられている。
様に吸着工程と脱着再生工程とを順次繰返しながら製品
の高純度酸素を製造するものであって、図6及び図7に
示す各段階をそれぞれ行う。
粗濃縮部50及び酸素高濃縮部60が共に均圧工程を行
っている状態である。すなわち、酸素粗濃縮部50で
は、両筒の均圧弁56a,56bが開いて吸着筒51b
から吸着筒51aに筒内ガスが出口側で移送されている
段階であり、酸素高濃縮部60では、同様に両筒の出口
側均圧弁66a,66bが開いて吸着筒61bから吸着
筒61aに筒内ガスが出口側で移送されている段階であ
る。
部50では、第1の吸着筒51aの入口弁52a及び出
口弁55aが開き、圧縮機1からの原料空気が流入して
酸素吸着剤に酸素が吸着し、窒素及びアルゴンが流出す
る吸着工程が行われ、第2の吸着筒51bは、再生弁5
4bが開いて筒内を真空ポンプ2で真空排気する脱着回
収工程が行われる。この脱着回収工程で回収された粗濃
縮酸素は、切換弁6aを通ってバッファタンク4に貯留
される。
筒の出口側均圧弁66aが閉じて入口側均圧弁64aが
開き、吸着筒61bの出口から吸着筒61aの入口にガ
スが移送される均圧工程になる。なお、図6(B′)に
示すように、前記第1段階と同じ出口側均圧工程を継続
した状態であってもよい。
部50は第2段階を継続した状態であり、酸素高濃縮部
60の第1の吸着筒61aが吸着工程に、第2の吸着筒
61bが脱着再生工程に入る。すなわち、第1の吸着筒
61aの入口弁62a及び出口弁65aが開いてバッフ
ァタンク4内の粗濃縮酸素が筒内に導入され、該粗濃縮
酸素中の窒素が窒素吸着剤に吸着して高濃度に濃縮した
製品高純度酸素が流出する段階になる。また、第2の吸
着筒61bでは、再生弁63bが開いて筒内が真空ポン
プ3により真空排気され、窒素吸着剤の脱着再生が行わ
れる。吸着筒61bからの再生排ガスは、バッファタン
ク5に貯留される。
部50の第2の吸着筒51b及び酸素高濃縮部60は第
3段階を継続した状態であり、酸素粗濃縮部50の第1
の吸着筒51aがパージ工程に入る。吸着筒51aで
は、入口弁52aが閉じるとともにパージ弁53aが開
き、バッファタンク5内のガスがパージ経路8を経てパ
ージガスとして吸着筒51a内に流入し、パージ弁56
a,調節弁58を経てパージ放出弁57から流出する工
程になる。このとき、真空ポンプ2の下流の切換弁6
a,6bが切換え開閉し、真空ポンプ2からのガスは、
切換弁6bを通って上記パージガスとして用いられる。
段階を吸着筒を切換えて行うものであって、図7(A)
に示す第5段階は、酸素粗濃縮部50は、両筒の均圧弁
56a,56bが開いて吸着筒51aから吸着筒51b
に筒内ガスが出口側で移送される均圧工程であり、酸素
高濃縮部60は、両筒の出口側均圧弁66a,66bが
開いて吸着筒61aから吸着筒61bに筒内ガスが出口
側で移送される均圧工程を行っている。
部50では、第2の吸着筒51bの入口弁52b及び出
口弁55bが開いて吸着工程が行われ、第1の吸着筒5
1aでは、再生弁54aが開いて筒内を真空ポンプ2で
真空排気する脱着回収工程が行われる。また、酸素高濃
縮部60では、第2の吸着筒の出口側均圧弁66bが閉
じて入口側均圧弁64bが開き、吸着筒61aの出口か
ら吸着筒61bの入口にガスが移送される均圧工程にな
る。なお、この場合も、図7(B′)に示すように、前
記第5段階と同じ出口側均圧工程を継続した状態であっ
てもよい。
縮部60の第2の吸着筒61bの入口弁62b及び出口
弁65bが開いて吸着筒61bが吸着工程になり、第1
の吸着筒61aは、再生弁63aが開いて筒内が真空ポ
ンプ3により真空排気される脱着再生工程になる。この
段階では、酸素粗濃縮部50は第6段階を継続した状態
である。
縮部50の第2の吸着筒51bは、入口弁52bが閉じ
るとともにパージ弁53b,パージ弁56b,調節弁5
8,パージ放出弁57が開き、パージガスが筒内に流入
・放出するパージ工程になる。このとき、酸素粗濃縮部
50の第1の吸着筒51aは脱着回収工程であり、真空
ポンプ2により排気された脱着ガスは、バッファタンク
5を経て吸着筒51bのパージガスとして使用される。
このとき、酸素高濃縮部60は第7段階を継続してい
る。
場合、酸素粗濃縮部50の吸着筒は、均圧加圧工程2
秒,吸着工程25秒,パージ工程33秒,均圧減圧工程
2秒,脱着回収工程58秒の各工程を、それぞれが位相
を変えて順次繰り返し、酸素高濃縮部60の吸着筒は、
均圧加圧工程4秒,吸着工程56秒,均圧減圧工程4
秒,脱着再生工程56秒の各工程を、それぞれが位相を
変えて順次繰り返す。
パージ工程実施後の吸着筒と脱着回収工程を完了した吸
着筒との出口端同士を連結して均圧工程を行うが、これ
は、パージ工程実施後の吸着筒内の吸着相の酸素濃度に
比べ、気相にあるガス中の酸素濃度が低いためである。
すなわち、均圧操作を行わずに真空排気する工程に移る
と、最初に排気されるガスは気相に存在する低酸素濃度
のガスであり、次第に吸着相の高酸素濃度のガスが脱着
して排出されるので、回収する粗濃縮酸素の酸素濃度の
変動が激しくなるためである。
素吸着剤に対して難吸着成分である窒素,アルゴンに富
んではいるが、パージ工程実施後の気相のガスは、空気
に比べれば1.5〜2倍の酸素を含んでいるため、この
気相のガスを排出することなく均圧操作で回収すること
により、酸素の回収率を向上させることができる。
口端同士の他、入口出口両方を同時に行う方法、出口側
から入口側に向けて行う方法等、種々考えられるが、装
置構成の簡略化に加え、送出し側の次の工程の回収時に
おける難吸着成分ガスの筒内での残留の状態、受入れ側
の次の工程での難吸着成分ガスの排出の容易さなどか
ら、上記のような出口端同士が最も好ましい。
の最高圧力と真空の到達圧力の平均値まで圧力が達する
ことを最大均圧として、吸着工程の最高圧力に対して8
0〜50%の圧力まで回収することが可能であるが、こ
の均圧量は、原料空気処理量に影響するため、均圧量を
コントロールする必要があり、最適量は吸着の最高圧力
に対して60〜70%の圧力まで下げることが適当であ
る。
濃縮部50において空気中のアルゴンを除去することが
重要である。吸着工程で入口から筒内に流入した空気
は、主として酸素が分子篩活性炭等の酸素吸着剤に吸着
し、気相には窒素,アルゴンが残留する。筒内均一に酸
素吸着を行うということは、気相が略空気組成となるこ
とであるから、いわゆる完全混合状態で空気送入が行わ
れる。
は、筒の出口側,入口側のいずれからも導入することが
できるが、脱着回収工程のガスの流れを考慮すると、入
口側から導入することが好ましい。なお、このパージ工
程では、吸着工程の圧力を保ったまま、比較的酸素分に
富んだガス、すなわち、酸素粗濃縮部50における吸着
筒の脱着回収工程で得られるガスと、酸素高濃縮部60
における吸着筒の再生工程から得られるガスとをパージ
ガスとして流し、難吸着成分である窒素,アルゴンを排
出する。
流出する排出ガス量を筒出口側に設けた調節弁(18,
29,58,68)等でコントロールし、パージガス量
を一定に保つことが望ましい。このパージガス量が一定
しないと、適切な排気状態を設定することが困難にな
り、窒素,アルゴンが十分に排出できなかったり、濃縮
された酸素が排出されて製品の収率を低下させたりす
る。
を一定に保つようにするためには、脱着ガスを一旦ガス
溜めに貯留するとか、真空ポンプで排気される最低ガス
量に合わせてパージガス量を設定することが考えられる
が、ガス溜めの容量が著しく大きくなったり、パージ量
が最適値に設定できないなどの問題を生じることがあ
る。
の脱着回収工程から得られる酸素に富んだガスと、酸素
高濃縮部60の再生工程から得られる酸素に富んだガス
とを合流させることにより、最適なパージガス流量を維
持することが容易になる。なお、パージガスの流速とし
て4〜6m/secを維持するようにパージを行うこと
が好ましい。
の脱着ガスの概ね50%は、一旦酸素粗濃縮部50に戻
され、窒素,アルゴンを除去する工程を経てから脱着さ
れて次の酸素高濃縮部60に送られることになる。これ
により、アルゴンの除去を略完全に行うことが可能にな
り、酸素高濃縮部60における酸素の高純度化が容易に
なる。
も、最適な条件が存在する。まず、酸素粗濃縮部10,
50に使用する分子篩活性炭等の酸素吸着剤の時間−吸
着量(平衡吸着量に対する相対値)の関係の測定値か
ら、酸素と窒素の吸着量比が最も大きくなる時間を指標
として、望ましい分子篩活性炭を規定することができ
る。すなわち、上記値が30〜200秒となるような酸
素吸着剤、望ましくは、40〜150秒となるような酸
素吸着剤が適当である。この値が短いということは、酸
素の吸着速度が速いことを示すが、同時に窒素も比較的
早く吸着するため、吸着工程で酸素と窒素,アルゴンを
十分に分離することが困難になる。また、短いサイクル
タイムで切換えを行う必要があり、他の工程、例えばパ
ージ工程で適切な流速を選定して運転できなくなるなど
の不都合を生じる。一方、前記値が大きいということ
は、酸素の吸着速度が遅いこととなり、ゆっくりしたサ
イクルタイムを選定する必要が生じる。このことは、多
くの吸着剤量を必要とするので、経済性の面から適当で
はない。
0秒の範囲であることが適当であり、また、このときの
サイクルタイムは、略上記値と同程度にすることが適当
である。さらに、酸素吸着剤の平衡吸着容量について
は、大きいほど使用する吸着剤量を削減できるので望ま
しい。
窒素吸着剤は、前述のように、MS−5A,MS−13
X,MS−10X,モルデナイト等、酸素に比べて窒素
をより多く吸着する吸着剤を利用することができ、平衡
吸着量として大きな窒素吸着容量をもつ吸着剤が、使用
する吸着剤量を削減できるので望ましい。
は、窒素の吸着速度を大きくし、ひいては、物質移動帯
(MTZ)の長さを短くするため、吸着剤当たりの酸素
発生量を大きくする上で有効である。すなわち、窒素吸
着剤の粒径を、5〜60メッシュ、好ましくは10〜4
0メッシュの範囲にすることにより、吸着剤当たりの酸
素発生量を大きくできるので、装置の大幅な小型化が図
れる。
び酸素高濃縮部がそれぞれ3筒式の場合と2筒式の場合
で説明したが、吸着筒の数は装置の仕様に応じて適当に
設定することができ、一方を2筒、他方を3筒とした
り、4筒以上の吸着筒を使用することも可能である。
素を濃縮する実験を行った結果を説明する。 実験例1 装置条件 ・酸素粗濃縮部 吸着剤…分子篩活性炭 75kg 吸着圧力…500mmAq 再生圧力…150Tor
r サイクルタイム…120秒 均圧加圧工程2秒,吸着工程25秒,パージ工程33
秒,均圧減圧工程2秒,脱着回収工程58秒 ・酸素高濃縮部 吸着剤…ゼオライト 10kg 粒径 1.6mm 吸着圧力…500mmAq 再生圧力…200Tor
r サイクルタイム…120秒 均圧加圧工程4秒,吸着工程56秒,均圧減圧工程4
秒,脱着再生工程56秒 得られた結果 発生酸素純度 99.5%(不純物 アルゴン0.4
%,窒素0.1%) 空気供給量 12Nm3 /h 酸素発生量 1.5Nm3 /h
r サイクルタイム…120秒(実験例1と同じ) ・酸素高濃縮部 吸着剤…ゼオライト 10kg 粒径 14/30メッ
シュ 吸着圧力…500mmAq 再生圧力…200Tor
r サイクルタイム…120秒(実験例1と同じ) 得られた結果 発生酸素純度 99.5%(不純物 アルゴン0.4
%,窒素0.1%) 空気供給量 14Nm3 /h 酸素発生量 2Nm3 /h 但し、この場合、製品酸素は、酸素高濃縮部の出口に設
けた圧縮機により吸引して取り出した。
圧力変動吸着式で酸素濃度95%以上の高純度酸素を容
易に得ることができ、しかも、酸素粗濃縮部の吸着筒の
パージを、酸素粗濃縮部の脱着回収工程で得られるガス
及び酸素高濃縮部の再生工程から得られるガスで行うの
で、酸素粗濃縮部から酸素高濃縮部に供給する原料ガス
の酸素濃度を高めることができるとともに、これらのガ
ス中に比較的高濃度で含まれている酸素の回収も行える
ので、製品酸素ガスの収率を大幅に向上させることがで
き、電力消費量も低減できる。
とにより、更に酸素回収率を向上でき、装置の大幅な小
型化が達成できる。
す説明図である。
図である。
図である。
す説明図である。
図である。
ンク、7…製品貯槽、8…パージ経路,10,50…酸
素粗濃縮部、11a,11b,11c,51a,51b
…吸着筒、14a,14b,14c,53a,53b…
パージ弁,20,60…酸素高濃縮部、21a,21
b,21c,61a,61b…吸着筒
ガスの流れの一例を参照しながら各工程を説明する。な
お、図中□印は、吸着筒入口及び出口部で開いている弁
を示しており、このとき、その他の弁は閉じている。ま
た、各段階の時間は、1サイクルを180秒とした場合
の継続時間を表している。
Claims (7)
- 【請求項1】 酸素吸着剤を充填した吸着筒を有する酸
素粗濃縮部で原料空気中の酸素を粗濃縮し、次いで、窒
素吸着剤を充填した吸着筒を有する酸素高濃縮部で前記
酸素粗濃縮部からの粗濃縮酸素を原料として酸素を濃縮
することにより高濃度酸素を製造する圧力変動吸着式酸
素製造方法において、前記酸素粗濃縮部における吸着筒
の脱着回収工程で得られるガスと、前記酸素高濃縮部に
おける吸着筒の再生工程から得られるガスとを、前記酸
素粗濃縮部における吸着筒のパージ工程のパージガスと
して用いることを特徴とする圧力変動吸着式酸素製造方
法。 - 【請求項2】 酸素吸着剤を充填した複数の吸着筒を用
いて原料空気中の酸素を粗濃縮する酸素粗濃縮部と、窒
素吸着剤を充填した複数の吸着筒を用いて前記酸素粗濃
縮部からの粗濃縮酸素を原料として高濃度酸素を得る酸
素高濃縮部とにより高濃度酸素を製造する圧力変動吸着
式酸素製造方法において、前記酸素粗濃縮部における、
原料空気を吸着筒に導入する吸着工程、該吸着工程後の
吸着筒と脱着回収工程後の他の吸着筒との均圧工程、吸
着工程及び均圧工程を終えた吸着筒に脱着回収工程にあ
る他の吸着筒からの粗濃縮酸素ガス及び前記酸素高濃縮
部の脱着再生工程にある吸着筒からの酸素富化ガスを導
入して行うパージ工程、該パージ工程後の吸着筒を真空
ポンプにより吸引して粗濃縮酸素ガスを得る脱着回収工
程、該脱着回収工程後の吸着筒と吸着工程後の他の吸着
筒との均圧工程の各工程を順次繰り返して粗濃縮酸素ガ
スを得る酸素粗濃縮段階と、前記酸素高濃縮部におけ
る、前記酸素粗濃縮部で得た粗濃縮酸素を吸着筒に導入
して高濃度酸素を得る吸着工程、該吸着工程後の吸着筒
とパージ再生工程後の他の吸着筒との均圧工程、該均圧
工程後の吸着筒を真空ポンプにより吸引して酸素富化ガ
スを得る脱着再生工程、該脱着再生工程後の吸着筒に吸
着工程にある他の吸着筒からの製品ガスを導入してパー
ジを行いつつ該吸着塔内の真空吸引を行うパージ再生工
程、該パージ再生工程後の吸着筒と吸着工程後の他の吸
着筒との均圧工程、該均圧工程後の吸着筒に吸着工程に
ある他の吸着筒からの製品ガスを導入する製品加圧工程
の各工程を順次繰り返して高濃度酸素を得る酸素高濃縮
段階とにより高濃度酸素を製造することを特徴とする圧
力変動吸着式酸素製造方法。 - 【請求項3】 酸素吸着剤を充填した複数の吸着筒を用
いて原料空気中の酸素を粗濃縮する酸素粗濃縮部と、窒
素吸着剤を充填した複数の吸着筒を用いて前記酸素粗濃
縮部からの粗濃縮酸素を原料として高濃度酸素を得る酸
素高濃縮部とにより高濃度酸素を製造する圧力変動吸着
式酸素製造方法において、前記酸素粗濃縮部における、
原料空気を吸着筒に導入する吸着工程、該吸着工程後の
吸着筒に脱着回収工程にある他の吸着筒からの脱着ガス
及び前記酸素高濃縮部からの脱着ガスを導入して行うパ
ージ工程、該パージ工程後の吸着筒と脱着回収工程後の
他の吸着筒との均圧工程、均圧工程後の吸着筒内の粗濃
縮酸素ガスを真空ポンプにより吸引してバッファタンク
に貯留する脱着回収工程、該脱着回収工程の吸着筒内の
ガスを真空ポンプにより吸引してパージ工程にある他の
吸着筒に導入する脱着回収工程、該脱着回収工程後の吸
着筒とパージ工程後の他の吸着筒との均圧工程の各工程
を順次繰り返して粗濃縮酸素ガスを得る酸素粗濃縮段階
と、前記酸素高濃縮部における、前記酸素粗濃縮部のバ
ッファタンクに貯留されている粗濃縮酸素を吸着筒に導
入して高濃度酸素を得る吸着工程、該吸着工程後の吸着
筒と脱着再生工程後の他の吸着筒との均圧工程、該均圧
工程後の吸着筒内のガスを真空ポンプにより吸引してバ
ッファタンクに貯留する脱着再生工程、該脱着再生工程
後の吸着筒と吸着工程後の他の吸着筒との均圧工程の各
工程を順次繰り返して高濃度酸素を得る酸素高濃縮段階
とにより高濃度酸素を製造することを特徴とする圧力変
動吸着式酸素製造方法。 - 【請求項4】 前記酸素粗濃縮部における均圧工程は、
該均圧工程終了時、前記吸着工程を終えた側の吸着筒の
圧力が吸着工程における最高圧力の50〜80%の圧力
になるように行うことを特徴とする請求項2又は3記載
の圧力変動吸着式酸素製造方法。 - 【請求項5】 前記酸素粗濃縮部における均圧工程は、
各吸着筒のガス出口側を連通させて行うことを特徴とす
る請求項2又は3記載の圧力変動吸着式酸素製造方法。 - 【請求項6】 前記酸素高濃縮部の吸着筒に充填した窒
素吸着剤の粒径が5〜60メッシュであることを特徴と
する請求項1,2又は3記載の圧力変動吸着式酸素製造
方法。 - 【請求項7】 酸素吸着剤を充填した吸着筒を用いて原
料空気中の酸素を粗濃縮する酸素粗濃縮部と、窒素吸着
剤を充填した吸着筒を用いて前記酸素粗濃縮部からの粗
濃縮酸素を原料として高濃度酸素を得る酸素高濃縮部と
を備えた圧力変動吸着式酸素製造装置において、前記酸
素粗濃縮部における脱着回収工程で得られるガスと、前
記酸素高濃縮部における再生工程から得られるガスと
を、前記酸素粗濃縮部におけるパージ工程にある吸着筒
にパージガスとして導入する経路を設けたことを特徴と
する圧力変動吸着式酸素製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05785694A JP3654658B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05785694A JP3654658B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07267612A true JPH07267612A (ja) | 1995-10-17 |
JP3654658B2 JP3654658B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=13067640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05785694A Expired - Fee Related JP3654658B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3654658B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002032550A1 (fr) * | 2000-10-20 | 2002-04-25 | Nippon Sanso Corporation | Procede de separation et de purification de gaz et appareil associe |
JP2003071231A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-11 | Nippon Sanso Corp | ガス分離精製装置およびその運転方法 |
WO2003045536A1 (fr) * | 2001-11-27 | 2003-06-05 | Nippon Sanso Corporation | Procede et dispositif de separation de gaz |
US6955711B2 (en) | 2001-04-16 | 2005-10-18 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Method and system for separating gas |
KR100715532B1 (ko) * | 2005-02-01 | 2007-05-07 | 주식회사 옥서스 | 보조산소발생부를 갖는 산소발생장치 |
JP2008208026A (ja) * | 2008-05-20 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 |
KR100939064B1 (ko) * | 2006-07-20 | 2010-01-28 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | 압력 변동 흡착 방법 및 다용기 상을 구비하는 시스템 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP05785694A patent/JP3654658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002032550A1 (fr) * | 2000-10-20 | 2002-04-25 | Nippon Sanso Corporation | Procede de separation et de purification de gaz et appareil associe |
US6752851B2 (en) | 2000-10-20 | 2004-06-22 | Nippon Sanso Corporation | Gas separating and purifying method and its apparatus |
US6955711B2 (en) | 2001-04-16 | 2005-10-18 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Method and system for separating gas |
JP2003071231A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-11 | Nippon Sanso Corp | ガス分離精製装置およびその運転方法 |
WO2003045536A1 (fr) * | 2001-11-27 | 2003-06-05 | Nippon Sanso Corporation | Procede et dispositif de separation de gaz |
US6923844B2 (en) | 2001-11-27 | 2005-08-02 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Gas separation method and device |
KR100879129B1 (ko) * | 2001-11-27 | 2009-01-19 | 다이요 닛산 가부시키가이샤 | 가스 분리 방법 및 장치 |
KR100715532B1 (ko) * | 2005-02-01 | 2007-05-07 | 주식회사 옥서스 | 보조산소발생부를 갖는 산소발생장치 |
KR100939064B1 (ko) * | 2006-07-20 | 2010-01-28 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | 압력 변동 흡착 방법 및 다용기 상을 구비하는 시스템 |
JP2008208026A (ja) * | 2008-05-20 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3654658B2 (ja) | 2005-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1867379B1 (en) | Pressure swing adsorption process with improved recovery of high-purity product | |
US6752851B2 (en) | Gas separating and purifying method and its apparatus | |
KR100838166B1 (ko) | 가스 분리 방법 및 그 장치 | |
JP3899282B2 (ja) | ガス分離方法 | |
JPS6130813B2 (ja) | ||
JPS6137968B2 (ja) | ||
JPH0429601B2 (ja) | ||
KR19980081620A (ko) | 압력 스윙 흡착방법 및 장치 | |
JP3169647B2 (ja) | プレッシャースイング式吸着方法および吸着装置 | |
JPH07267612A (ja) | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 | |
JPH10272332A (ja) | ガス分離装置及びその運転方法 | |
JPH0733404A (ja) | 高濃度酸素の製造方法 | |
JP3654661B2 (ja) | 圧力変動吸着分離法による酸素発生方法 | |
JP3219612B2 (ja) | 混合ガスより一酸化炭素及び水素を併産する方法 | |
WO2020105242A1 (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
JPH04227018A (ja) | 高純度不活性ガスの製造方法 | |
JPH02283608A (ja) | 一酸化炭素の分離回収方法 | |
JP3121293B2 (ja) | 圧力スイング吸着方式による混合ガス分離方法 | |
JP7381554B2 (ja) | 圧力変動吸着式ガス分離装置 | |
JP3561886B2 (ja) | 圧力変動吸着分離方法 | |
JPS6139090B2 (ja) | ||
TW200304849A (en) | Pressure swing adsorption process with controlled internal depressurization flow | |
JPS6078611A (ja) | 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化炭素α回収率を向上する方法 | |
JP3031797B2 (ja) | 圧力変動吸着分離方法 | |
JPS63242316A (ja) | ガス混合物の分離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050301 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |