JPH0725434B2 - 基板幅方向ずらし装置付搬送装置 - Google Patents
基板幅方向ずらし装置付搬送装置Info
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- JPH0725434B2 JPH0725434B2 JP25343385A JP25343385A JPH0725434B2 JP H0725434 B2 JPH0725434 B2 JP H0725434B2 JP 25343385 A JP25343385 A JP 25343385A JP 25343385 A JP25343385 A JP 25343385A JP H0725434 B2 JPH0725434 B2 JP H0725434B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
- B65H5/06—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by rollers or balls, e.g. between rollers
- B65H5/062—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by rollers or balls, e.g. between rollers between rollers or balls
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
- B65H2301/30—Orientation, displacement, position of the handled material
- B65H2301/33—Modifying, selecting, changing orientation
- B65H2301/331—Skewing, correcting skew, i.e. changing slightly orientation of material
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、基板搬送装置に係り、特に基板幅方向ずらし
装置付基板搬送装置に適用して有効な技術に関するもの
である。
装置付基板搬送装置に適用して有効な技術に関するもの
である。
［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることとができる。
ることとができる。
まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
（張り付け）する。この熱圧着ラミネート、薄膜張付装
置、所謂ラミネータにより量産的に行われる。この後、
前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、この配線パ
ターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエッチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線
パターンを有するプリント配線板を形成する。
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
（張り付け）する。この熱圧着ラミネート、薄膜張付装
置、所謂ラミネータにより量産的に行われる。この後、
前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、この配線パ
ターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエッチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線
パターンを有するプリント配線板を形成する。
［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、絶縁性基
板の両面に導電層を設けた基板に感光性樹脂層と透光性
樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする
工程が必要とされている。
板の両面に導電層を設けた基板に感光性樹脂層と透光性
樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする
工程が必要とされている。
基板に張り付けられる績層体は、薄膜張付装置の供給ロ
ーラに連続的に巻回されている積層体を、引き出して、
基板の寸法に対応して切断したものである。
ーラに連続的に巻回されている積層体を、引き出して、
基板の寸法に対応して切断したものである。
前記基板を熱圧着ローラの位置に搬送する基板搬送装置
は、棒状（中実又は中空）の搬送ローラと押えローラと
で基板を挟持し、それらのローラを回転させて基板を搬
送させるようになっている。そして、熱圧着ローラに近
づくと、基板を固定された幅方向ガイド部材で搬送方向
に対して直角方向（基板の幅方向）にずらして位置合せ
をした後、熱圧着ローラに噛み込ませるようになってい
る。
は、棒状（中実又は中空）の搬送ローラと押えローラと
で基板を挟持し、それらのローラを回転させて基板を搬
送させるようになっている。そして、熱圧着ローラに近
づくと、基板を固定された幅方向ガイド部材で搬送方向
に対して直角方向（基板の幅方向）にずらして位置合せ
をした後、熱圧着ローラに噛み込ませるようになってい
る。
しかし、たわみを生じ易い薄い基板等を搬送する場合、
前記基板幅方向ガイド部材では、基板のセンタライン又
は一端を正確な基板搬送装置の搬送方向のセンタライン
又は所定位置に設定することができないという問題があ
った。
前記基板幅方向ガイド部材では、基板のセンタライン又
は一端を正確な基板搬送装置の搬送方向のセンタライン
又は所定位置に設定することができないという問題があ
った。
そこで、基板の搬送方向のセンタライン又は所定位置と
基板の搬送方向のセンタライン又は一端を合致させる基
板幅方向ずらし（進路修正）装置を設け、基板位置検出
センサで当該基板の先端を検出し、この検出信号によっ
て前記基板幅方向ずらし装置の動作を開始させ、基板幅
検出センサで当該基板の幅を検出し、この検出信号によ
って基板幅方向ずらし装置の動作を停止させる方法が考
えられる。
基板の搬送方向のセンタライン又は一端を合致させる基
板幅方向ずらし（進路修正）装置を設け、基板位置検出
センサで当該基板の先端を検出し、この検出信号によっ
て前記基板幅方向ずらし装置の動作を開始させ、基板幅
検出センサで当該基板の幅を検出し、この検出信号によ
って基板幅方向ずらし装置の動作を停止させる方法が考
えられる。
しかしながら、前記基板幅方向ずらし部材で基板を幅方
向にずらす際、前記基板が極めて薄い場合には、搬送ロ
ーラと押えローラとが密着していると、当該基板が前記
基板幅方向ずらし部材で搬送方向に対して直角方向に押
し付けられた時、当該基板は、前記搬送ローラと押えロ
ーラとで押圧され、各ローラと基板の間に摩擦抵抗があ
るため移動しにくく、そして、基板幅方向ずらし部材で
押し付けられるため、基板の押し付けられた部分がたわ
み、基板を搬送方向に対して直角方向にずらす動作を確
実に行うことができないという問題があった。
向にずらす際、前記基板が極めて薄い場合には、搬送ロ
ーラと押えローラとが密着していると、当該基板が前記
基板幅方向ずらし部材で搬送方向に対して直角方向に押
し付けられた時、当該基板は、前記搬送ローラと押えロ
ーラとで押圧され、各ローラと基板の間に摩擦抵抗があ
るため移動しにくく、そして、基板幅方向ずらし部材で
押し付けられるため、基板の押し付けられた部分がたわ
み、基板を搬送方向に対して直角方向にずらす動作を確
実に行うことができないという問題があった。
そこで、押えローラを設けると、前記のような問題があ
るので、押えローラを設けないようにすることも考えら
れるが、押えローラがない場合、ずらし部材で押け付け
ると、基板のたわみが制限なく生じ、いつまでたっても
基板が幅方向にずらすことができないという問題があ
る。
るので、押えローラを設けないようにすることも考えら
れるが、押えローラがない場合、ずらし部材で押け付け
ると、基板のたわみが制限なく生じ、いつまでたっても
基板が幅方向にずらすことができないという問題があ
る。
なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明は、搬送方向に対して直角方向に基板
をずらす基板幅方向ずらし装置と、基板を移動させる搬
送ローラと、基板のそりを抑制ガイドするガイド部材と
を有する基板幅方向ずらし装置付搬送装置であって、前
記搬送ローラとガイド部材とを、基板搬送路に対応する
両者の部分に搬送中の基板の上面とガイド部材との間に
所定の小間隔を形成するように配設したことを特徴とす
る基板幅方向ずらし装置付搬送装置である。
をずらす基板幅方向ずらし装置と、基板を移動させる搬
送ローラと、基板のそりを抑制ガイドするガイド部材と
を有する基板幅方向ずらし装置付搬送装置であって、前
記搬送ローラとガイド部材とを、基板搬送路に対応する
両者の部分に搬送中の基板の上面とガイド部材との間に
所定の小間隔を形成するように配設したことを特徴とす
る基板幅方向ずらし装置付搬送装置である。
［作用］ 本発明は、搬送ローラ上の基板をガイド部材でガイドし
ながら搬送ローラを駆動して基板を搬送する。搬送され
る基板の位置合せを行うために、それを幅方向にずらす
際に、前記基板を幅方向から押圧したとき、搬送ローラ
とガイド部材により基板のたわみが抑制される。この抑
制された状態で基板を搬送することにより、基板幅方向
ずらし（進路修正）装置の基板幅方向ずらし（基板進路
修正）部材で前記基板の搬送方向のセンタライン又は一
端と搬送装置の搬送方向のセンタライン又は所定位置と
を、基板にほとんどたわみを生じることなく正確かつ容
易に合致させた状態で、熱圧着ローラ位置まで基板を制
御することができる。
ながら搬送ローラを駆動して基板を搬送する。搬送され
る基板の位置合せを行うために、それを幅方向にずらす
際に、前記基板を幅方向から押圧したとき、搬送ローラ
とガイド部材により基板のたわみが抑制される。この抑
制された状態で基板を搬送することにより、基板幅方向
ずらし（進路修正）装置の基板幅方向ずらし（基板進路
修正）部材で前記基板の搬送方向のセンタライン又は一
端と搬送装置の搬送方向のセンタライン又は所定位置と
を、基板にほとんどたわみを生じることなく正確かつ容
易に合致させた状態で、熱圧着ローラ位置まで基板を制
御することができる。
なお、前記基板幅方向ずらし装置の操作は、基板の搬送
を行いながら幅方向にずらしてもよく、また、基板の搬
送を一旦停止して幅方向にずらした後、再び搬送を行う
ようにしてもよい。
を行いながら幅方向にずらしてもよく、また、基板の搬
送を一旦停止して幅方向にずらした後、再び搬送を行う
ようにしてもよい。
［実施例］ 以下、本発明をプリント配線用基板に感光性樹脂層と透
光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置（ラミネータ）に使用される基板搬送
装置に適用した一実施例について図面を用いて説明す
る。
光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置（ラミネータ）に使用される基板搬送
装置に適用した一実施例について図面を用いて説明す
る。
なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
本発明の一実施例である基板搬送装置を使用した薄膜張
付装置の概略構成を第９図で示す。
付装置の概略構成を第９図で示す。
本実施例の薄膜張付装置は、第９図に示すように、透光
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる３層の積層体１は、供給ローラ２に連続的に巻
回されている。供給ローラ２の積層体１は、剥離ローラ
３で、透光性樹脂フィルム（保護膜）1Aと、一面（接着
面）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる積層体1Bとに分離される。
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる３層の積層体１は、供給ローラ２に連続的に巻
回されている。供給ローラ２の積層体１は、剥離ローラ
３で、透光性樹脂フィルム（保護膜）1Aと、一面（接着
面）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる積層体1Bとに分離される。
分離された透光性樹脂フィルム1Aは、巻取ローラ４によ
り巻き取られるように構成されている。
り巻き取られるように構成されている。
前記積層体1Bの供給方向の先端部は、適度なテンション
を与えるテンションローラ５を介してメインバキューム
プレート６に吸着されるように構成されている。メイン
バキュームプレート６は、矢印Ａ方向にその位置を変動
できるエアーシリンダ７を介してフレーム８に支持され
ている。メインバキュームプレート６は、テンションロ
ーラ５とともに積層体1Bにしわ等を生じないように、基
板17側に供給するように構成されている。
を与えるテンションローラ５を介してメインバキューム
プレート６に吸着されるように構成されている。メイン
バキュームプレート６は、矢印Ａ方向にその位置を変動
できるエアーシリンダ７を介してフレーム８に支持され
ている。メインバキュームプレート６は、テンションロ
ーラ５とともに積層体1Bにしわ等を生じないように、基
板17側に供給するように構成されている。
メインバキュームプレート６の先端の円弧状部6Aは、そ
の内部にヒータ6Bが設けられており、前記積層体1Bの先
端部を基板17の導電層上に仮熱圧着ラミネートするよう
に構成されている。
の内部にヒータ6Bが設けられており、前記積層体1Bの先
端部を基板17の導電層上に仮熱圧着ラミネートするよう
に構成されている。
前記円弧状部6Aに近接した位置には、連続的な積層体1B
を基板17の寸法に対応して切断するロータリカッタ９が
設けられている。
を基板17の寸法に対応して切断するロータリカッタ９が
設けられている。
このロータリカッタ９に対向した位置には、切断された
積層体1Bの先端部を前記円弧状部6Aに吸着されるサブバ
キュームプレート10が設けられている。このサブバキュ
ームプレート10は、矢印Ｂ方向にその位置を変動できる
エアーシリンダ11を介してフレーム８に支持されてい
る。
積層体1Bの先端部を前記円弧状部6Aに吸着されるサブバ
キュームプレート10が設けられている。このサブバキュ
ームプレート10は、矢印Ｂ方向にその位置を変動できる
エアーシリンダ11を介してフレーム８に支持されてい
る。
メインバキュームプレート６とサブバキュームプレート
10を支持するフレーム８は、矢印Ｃ方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ12を介して装置本体のフレーム
13に支持されている。
10を支持するフレーム８は、矢印Ｃ方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ12を介して装置本体のフレーム
13に支持されている。
前記基板17の導電層上に円弧状部6Aでその先端部が仮熱
圧着ラミネートされる積層体1Bは、熱圧着ローラ14でそ
の全体が熱圧着ラミネートされるように構成されてい
る。熱圧着ローラ14は、積層体1Bの先端部を円弧状部6A
で仮熱圧着後、第９図に符号14′を符した点線で示す位
置から実線で示す位置に移動するように構成されてい
る。
圧着ラミネートされる積層体1Bは、熱圧着ローラ14でそ
の全体が熱圧着ラミネートされるように構成されてい
る。熱圧着ローラ14は、積層体1Bの先端部を円弧状部6A
で仮熱圧着後、第９図に符号14′を符した点線で示す位
置から実線で示す位置に移動するように構成されてい
る。
前記ロータリカッタ９で切断された積層体1Bの後端部
は、三角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を生
じないようにガイドされ、熱圧着ローラ14で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている。
は、三角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を生
じないようにガイドされ、熱圧着ローラ14で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている。
このように構成される薄膜張付装置は、前述した各構成
により、搬送ローラ16A,ガイド部材16B等からなる基板
搬送装置16で搬送される絶縁性基板の両面（又は片面）
に導電層を設けた基板17上に、積層体1Bを熱圧着ラミネ
ートするようになっている。積層体1Bは、透光性樹脂フ
ィルム1Aが剥離された感光性樹脂層の接着面と導電層面
とが接着するように、基板17上に熱圧着ラミネートされ
るように構成されている。積層体1Bが熱圧着ラミネート
された基板17は、基板搬送装置18によって外部に搬出さ
れるようになっている。
により、搬送ローラ16A,ガイド部材16B等からなる基板
搬送装置16で搬送される絶縁性基板の両面（又は片面）
に導電層を設けた基板17上に、積層体1Bを熱圧着ラミネ
ートするようになっている。積層体1Bは、透光性樹脂フ
ィルム1Aが剥離された感光性樹脂層の接着面と導電層面
とが接着するように、基板17上に熱圧着ラミネートされ
るように構成されている。積層体1Bが熱圧着ラミネート
された基板17は、基板搬送装置18によって外部に搬出さ
れるようになっている。
前記基板搬送装置16の概略構成を第８図に示す。
基板搬送装置16は、第８図に示すように、薄膜張付装置
（ラミネート）Ｉに連結されている。搬送ローラ16A
は、第１図及び第８図に示すように、例えば、繊維強化
プラスチック製の同一径で棒状部材（中実又は中空：好
ましくは中空）からなっており、複数の搬送ローラ16A
が基板搬送装置16本体のフレーム20に回転自在に取り付
けている。この複数の搬送ローラ16Aは、薄い基板17の
端部が垂れ下がらないように所定の間隔で配列されてい
る。また、複数の搬送ローラ16Aのうち、１つおきの搬
送ローラ16Aだけを駆動源（図示していない）に連結し
ている。また、駆動源には、必要に応じて、２つおきの
搬送ローラ16A又は全部の搬送ローラ16Aに連結してもよ
い。
（ラミネート）Ｉに連結されている。搬送ローラ16A
は、第１図及び第８図に示すように、例えば、繊維強化
プラスチック製の同一径で棒状部材（中実又は中空：好
ましくは中空）からなっており、複数の搬送ローラ16A
が基板搬送装置16本体のフレーム20に回転自在に取り付
けている。この複数の搬送ローラ16Aは、薄い基板17の
端部が垂れ下がらないように所定の間隔で配列されてい
る。また、複数の搬送ローラ16Aのうち、１つおきの搬
送ローラ16Aだけを駆動源（図示していない）に連結し
ている。また、駆動源には、必要に応じて、２つおきの
搬送ローラ16A又は全部の搬送ローラ16Aに連結してもよ
い。
基板17は、第８図及び第９図に示すように、前記搬送ロ
ーラ16A上に載置され、ガイド部材16Bにより抑制されな
がらガイドされて搬送されるようになっている。
ーラ16A上に載置され、ガイド部材16Bにより抑制されな
がらガイドされて搬送されるようになっている。
このガイド部材16Bは、非常に薄くて波打ちや反り易い
基板17を使用する場合に、基板17の端部が回転体に引掛
かって停止しないように、搬送ローラ16Aと同様に棒状
部材で構成しており、第１図乃至第３図に示すように、
その両端部16B1の径は、その他の部分16B2よりも少し大
きいように構成されている。すなわち、搬送ローラ16A
とガイド部材16Bは、基板搬送路に対応する両者の部分
に、搬送中の基板17の上面と前記ガイド部材16Bとの間
に所定の小間隔を形成するようになっている。そして、
ガイド部材16Bはフレーム20に回転自在に取り付けられ
ている。ガイド部材16Bは図では駆動源に連結されてい
ないが、連結させてもよい。
基板17を使用する場合に、基板17の端部が回転体に引掛
かって停止しないように、搬送ローラ16Aと同様に棒状
部材で構成しており、第１図乃至第３図に示すように、
その両端部16B1の径は、その他の部分16B2よりも少し大
きいように構成されている。すなわち、搬送ローラ16A
とガイド部材16Bは、基板搬送路に対応する両者の部分
に、搬送中の基板17の上面と前記ガイド部材16Bとの間
に所定の小間隔を形成するようになっている。そして、
ガイド部材16Bはフレーム20に回転自在に取り付けられ
ている。ガイド部材16Bは図では駆動源に連結されてい
ないが、連結させてもよい。
前記ガイド部材16Bの両端部16B1は、例えば、棒状部材
にリング状又はキャップ状の部材を嵌め込んで止めネジ
で固定した構成する。このリング状又はキャップ状の部
材の厚さを変えることにより、前記搬送ローラ16Aとガ
イド部材16Bとの間隔の寸法を変えることができる。す
なわち、基板17の厚さに応じて基板17の上面とガイド部
材16Bの部分16B2との前記小間隔の寸法を変えることが
できる。
にリング状又はキャップ状の部材を嵌め込んで止めネジ
で固定した構成する。このリング状又はキャップ状の部
材の厚さを変えることにより、前記搬送ローラ16Aとガ
イド部材16Bとの間隔の寸法を変えることができる。す
なわち、基板17の厚さに応じて基板17の上面とガイド部
材16Bの部分16B2との前記小間隔の寸法を変えることが
できる。
また、周囲に切れ目を入れたキャップ状部材を前記棒状
部材に押し込んで嵌めて固定するようにしてもよい。
部材に押し込んで嵌めて固定するようにしてもよい。
また、前記搬送ローラ16Aとガイド部材16Bとの間に所定
の間隔を形成する手段として、第４図に示すように、同
一径の棒状部材からなるガイド部材16B3を軸受部材16B4
に回転自在に取り付け、この軸受部材16B4をネジ棒16B5
により上下動できるように構成してもよい。ネジ棒16B5
は、第５図に示すように、止めネジにより軸受部材16B4
に回転自在に取り付けられ、基板搬送装置16本体のフレ
ーム20に設けられている支持部材20Aのネジ部に螺合さ
れて支持されている。このように構成してネジ棒16B5を
回転させることにより、前記ガイド部材16Bの軸受部材1
6B4を移動させることができるので、前記間隔の大きさ
を変えることができる。
の間隔を形成する手段として、第４図に示すように、同
一径の棒状部材からなるガイド部材16B3を軸受部材16B4
に回転自在に取り付け、この軸受部材16B4をネジ棒16B5
により上下動できるように構成してもよい。ネジ棒16B5
は、第５図に示すように、止めネジにより軸受部材16B4
に回転自在に取り付けられ、基板搬送装置16本体のフレ
ーム20に設けられている支持部材20Aのネジ部に螺合さ
れて支持されている。このように構成してネジ棒16B5を
回転させることにより、前記ガイド部材16Bの軸受部材1
6B4を移動させることができるので、前記間隔の大きさ
を変えることができる。
また、ガイド部材16Bを、基板17との接触面積を小さく
するような形状、例えば、第６図に示すような中心線で
の断面の端辺部がsin曲線となる球状群からなる回転体
にしてもよい。
するような形状、例えば、第６図に示すような中心線で
の断面の端辺部がsin曲線となる球状群からなる回転体
にしてもよい。
さらに、ガイド部材16Bは、必ずしも回転する必要はな
く、例えば、網状体，棒状体（中実，中空），ピアノ線
等の非回転体を用いてもよい。
く、例えば、網状体，棒状体（中実，中空），ピアノ線
等の非回転体を用いてもよい。
また、前記搬送ローラ16Aは、重量を小さくするため
に、例えば、第７図に示すような形状のものにしてもよ
い。
に、例えば、第７図に示すような形状のものにしてもよ
い。
すなわち、基板17を搬送しながら、幅方向にずらす方式
のときは、ガイド部材16Bは、回転しているか、あるい
は、摩擦抵抗の小さい部材で構成されている方が好適で
ある。
のときは、ガイド部材16Bは、回転しているか、あるい
は、摩擦抵抗の小さい部材で構成されている方が好適で
ある。
また、前記基板を幅方向にずらす操作を、基板の搬送を
停止して行う方式のときは、ガイド部材16Bは回転して
いなくてもよく、また、基板17の上面との摩擦抵抗があ
る程度あってもよい。
停止して行う方式のときは、ガイド部材16Bは回転して
いなくてもよく、また、基板17の上面との摩擦抵抗があ
る程度あってもよい。
21は基板幅方向ずらし装置であり、搬送方向のセンタラ
インと基板17の搬送方向のセンタラインとを合致させる
ためのものである。この基板幅方向ずらし装置21は、第
10図（第８図のＹ−Ｙ線で切った時の断面図）及び第11
図（斜視図）に示すように、支持部材21A,21A′に基板
幅方向ずらし部材21B,21B′を支持して構成されてい
る。この支持部材21A,21A′は、それぞれ支持棒21Cに摺
動自在に取り付けられている。そして、前記支持部材21
A,21A′は、プーリ21Dとプーリ21D′に巻回されている
無端ベルト21Eに、その無端ベルト21Eが矢印Ｄ方向に移
動すると、互いに近づくように取り付けられている。支
持部材21A,21A′の摺動は、支持部材21A′に設けられた
エアーシリンダ21Iにより行われる。前記プーリ21D,21
D′はそれぞれ逆Ｌ字状支持部材21F,21F′に支持されて
いる。これらの逆Ｌ字状支持部材21F,21F′はネジ棒21G
に係合されている。ネジ棒21Gにはハンドル21Hが取り付
けられており、このハンドル21Hを回転させることによ
り、逆Ｌ字状支持部材21F,21F′は、その間の距離を一
定に保持したまま左右に移動するようになっている。こ
の移動機構（又は微調整機構）は、基板17の搬送方向の
センタライン又は一端と、熱圧着ラミネートされる積層
体1Bの搬送方向のセンタライン又は所定位置、すなわち
基板搬送装置16のセンタライン又は所定位置とがずれた
場合に、両者を合致させるために基板幅方向ずらし装置
21の位置を調整するものである。
インと基板17の搬送方向のセンタラインとを合致させる
ためのものである。この基板幅方向ずらし装置21は、第
10図（第８図のＹ−Ｙ線で切った時の断面図）及び第11
図（斜視図）に示すように、支持部材21A,21A′に基板
幅方向ずらし部材21B,21B′を支持して構成されてい
る。この支持部材21A,21A′は、それぞれ支持棒21Cに摺
動自在に取り付けられている。そして、前記支持部材21
A,21A′は、プーリ21Dとプーリ21D′に巻回されている
無端ベルト21Eに、その無端ベルト21Eが矢印Ｄ方向に移
動すると、互いに近づくように取り付けられている。支
持部材21A,21A′の摺動は、支持部材21A′に設けられた
エアーシリンダ21Iにより行われる。前記プーリ21D,21
D′はそれぞれ逆Ｌ字状支持部材21F,21F′に支持されて
いる。これらの逆Ｌ字状支持部材21F,21F′はネジ棒21G
に係合されている。ネジ棒21Gにはハンドル21Hが取り付
けられており、このハンドル21Hを回転させることによ
り、逆Ｌ字状支持部材21F,21F′は、その間の距離を一
定に保持したまま左右に移動するようになっている。こ
の移動機構（又は微調整機構）は、基板17の搬送方向の
センタライン又は一端と、熱圧着ラミネートされる積層
体1Bの搬送方向のセンタライン又は所定位置、すなわち
基板搬送装置16のセンタライン又は所定位置とがずれた
場合に、両者を合致させるために基板幅方向ずらし装置
21の位置を調整するものである。
基板幅方向ずらし装置21の位置の固定は、ネジ棒21Gの
回転を固定するネジ21Jで行われる。
回転を固定するネジ21Jで行われる。
22は基板17の先端（又は後端）を検出する基板位置検出
センサであり、基板幅方向ずらし装置21の基板幅方向ず
らし部材21B,21B′の駆動開始信号を発生するためのも
のである。この基板位置検出センサ22は、フレーム20に
支持フレーム22Aを介して取り付けられている。前記基
板位置検出センサ22は、例えば、反射型光センサを用い
る。
センサであり、基板幅方向ずらし装置21の基板幅方向ず
らし部材21B,21B′の駆動開始信号を発生するためのも
のである。この基板位置検出センサ22は、フレーム20に
支持フレーム22Aを介して取り付けられている。前記基
板位置検出センサ22は、例えば、反射型光センサを用い
る。
23A,23Bは基板17の両端部をそれぞれ検出する基板幅検
出センサであり、基板幅方向ずらし装置21の基板幅方向
ずらし部材21B,21B′の駆動停止信号を発生するための
ものである。この基板幅検出センサ23A,23Bは、前記支
持部材21A,21A′の搬送方向の先端部の近傍で、前記基
板幅方向ずらし部材21B,21B′より内側に取り付けられ
ている。すなわち、基板幅検出センサ23A,23Bは、基板1
7のセンタライン又は一端と基板搬送装置16のセンタラ
イン又は所定位置とが合致したとき、前記基板幅方向ず
らし部材21B,21B′を停止させる位置に設けられてい
る。
出センサであり、基板幅方向ずらし装置21の基板幅方向
ずらし部材21B,21B′の駆動停止信号を発生するための
ものである。この基板幅検出センサ23A,23Bは、前記支
持部材21A,21A′の搬送方向の先端部の近傍で、前記基
板幅方向ずらし部材21B,21B′より内側に取り付けられ
ている。すなわち、基板幅検出センサ23A,23Bは、基板1
7のセンタライン又は一端と基板搬送装置16のセンタラ
イン又は所定位置とが合致したとき、前記基板幅方向ず
らし部材21B,21B′を停止させる位置に設けられてい
る。
基板幅方向ずらし装置21の制御は、遅延回路を用いて基
板幅検出センサ23A,23Bにより基板17の両側端が検出さ
れてから少し遅れて前記基板幅方向ずらし部材21B,21
B′の駆動動作停止信号を発生させるようにすれば簡単
に実現できる。基板幅検出センサ23A,23Bは、例えば、
透過型光センサを用いる。
板幅検出センサ23A,23Bにより基板17の両側端が検出さ
れてから少し遅れて前記基板幅方向ずらし部材21B,21
B′の駆動動作停止信号を発生させるようにすれば簡単
に実現できる。基板幅検出センサ23A,23Bは、例えば、
透過型光センサを用いる。
このように、基板17の搬送方向のセンタラインと基板搬
送装置16の搬送方向のセンタラインを合致させる基板幅
方向ずらし装置21を設け、この基板幅方向ずらし装置21
の動作を開始させる基板位置検出センサ22、及び基板幅
方向ずらし装置21の動作を停止させる基板幅検出センサ
23A,23Bを設けることにより、基板17の搬送方向のセン
タライン又は一端と基板搬送装置16の搬送方向のセンタ
ライン又は所定位置とを、基板17にたわみを生じること
なく合致させた状態で、基板17を熱圧着開始位置に正確
にかつ容易に搬送することができる。
送装置16の搬送方向のセンタラインを合致させる基板幅
方向ずらし装置21を設け、この基板幅方向ずらし装置21
の動作を開始させる基板位置検出センサ22、及び基板幅
方向ずらし装置21の動作を停止させる基板幅検出センサ
23A,23Bを設けることにより、基板17の搬送方向のセン
タライン又は一端と基板搬送装置16の搬送方向のセンタ
ライン又は所定位置とを、基板17にたわみを生じること
なく合致させた状態で、基板17を熱圧着開始位置に正確
にかつ容易に搬送することができる。
なお、前記基板幅方向ずらし装置21の操作は、基板17を
搬送しながら行うか、あるいは、搬送を停止して行って
もよい。
搬送しながら行うか、あるいは、搬送を停止して行って
もよい。
第８図に示す基板押え部材24は、基板17が熱圧着開始位
置に来た時、基板17を固定するとともに落下しないよう
に押えるためのものである。この基板押え部材24は、第
12図（側面図）に示すように、前記フレーム20に取り付
けられ、図示していないエアーシリンダとスプリングに
より矢印Ｅ方向に移動するようになっている。また、こ
の基板押え部材24の駆動動作と連動又は非連動して基板
支持部材25が矢印Ｆ方向に突出するようになっている。
この基板支持部材25の矢印Ｅ方向の制御は、第13図（側
面図）に示すように、前記フレーム20に設けられたエア
ーシリンダ25Aによって行っている。基板押え部材24又
は基板支持部材25の動作は、図示していない基板位置検
出センサの駆動開始信号又は駆動停止信号により制御さ
れるようになっている。
置に来た時、基板17を固定するとともに落下しないよう
に押えるためのものである。この基板押え部材24は、第
12図（側面図）に示すように、前記フレーム20に取り付
けられ、図示していないエアーシリンダとスプリングに
より矢印Ｅ方向に移動するようになっている。また、こ
の基板押え部材24の駆動動作と連動又は非連動して基板
支持部材25が矢印Ｆ方向に突出するようになっている。
この基板支持部材25の矢印Ｅ方向の制御は、第13図（側
面図）に示すように、前記フレーム20に設けられたエア
ーシリンダ25Aによって行っている。基板押え部材24又
は基板支持部材25の動作は、図示していない基板位置検
出センサの駆動開始信号又は駆動停止信号により制御さ
れるようになっている。
このように基板押え部材24と基板支持部材25を設けるこ
とにより、基板17が熱圧着開始位置に来た時、基板17が
落下しないように支持するとともに、熱圧着ローラが基
板17を上下から挟持するまで基板17を所定に保持するこ
とができるので、基板17上に積層体1Bを正確に熱圧着ラ
ミネートすることができる。
とにより、基板17が熱圧着開始位置に来た時、基板17が
落下しないように支持するとともに、熱圧着ローラが基
板17を上下から挟持するまで基板17を所定に保持するこ
とができるので、基板17上に積層体1Bを正確に熱圧着ラ
ミネートすることができる。
次に、本実施例の基板搬送装置の動作を簡単に説明す
る。
る。
第８図において、基板17は、複数の搬送ローラ16Aのう
ちの所定の搬送ローラ16Aを駆動させることにより、熱
圧着ローラ14方向に向けて搬送される。基板17が搬送さ
れて来てその先端が基板位置検出センサ22により検出さ
れると、駆動開始信号により基板幅方向ずらし装置21が
その動作を開始する。
ちの所定の搬送ローラ16Aを駆動させることにより、熱
圧着ローラ14方向に向けて搬送される。基板17が搬送さ
れて来てその先端が基板位置検出センサ22により検出さ
れると、駆動開始信号により基板幅方向ずらし装置21が
その動作を開始する。
基板幅方向ずらし装置21は、基板幅方向ずらし部材21B,
21B′で基板17のセンタライン又は一端と基板搬送装置1
6のセンタライン又は所定位置とを合致するように動作
する。その後、基板幅検出センサ23A,23Bにより基板17
の両側端が検出されると、この駆動動作信号により基板
幅方向ずらし装置21の動作が停止する。これによって基
板17の搬送方向のセンタライン又は一端が基板搬送装置
16の搬送方向のセンタライン又は所定位置に合致した状
態で熱圧着位置まで搬送される。このとき、図示してい
ない基板位置検出センサより、搬送ローラ16Aの駆動が
停止され、押え部材24が下方向に移動して来て基板17を
押えて動かないようにする。これと同時に、基板支持部
材25が突出して来て基板17を落下しないように支持す
る。その後、第９図に示すように、熱圧着ローラ14が基
板17に向って左方向に移動し、仮熱圧着された積層体1B
を介在して基板17を挟持する。この状態で熱圧着ローラ
14及び搬送ローラ16Aが駆動して基板17上に積層体1Bが
熱圧着ラミネートされる。
21B′で基板17のセンタライン又は一端と基板搬送装置1
6のセンタライン又は所定位置とを合致するように動作
する。その後、基板幅検出センサ23A,23Bにより基板17
の両側端が検出されると、この駆動動作信号により基板
幅方向ずらし装置21の動作が停止する。これによって基
板17の搬送方向のセンタライン又は一端が基板搬送装置
16の搬送方向のセンタライン又は所定位置に合致した状
態で熱圧着位置まで搬送される。このとき、図示してい
ない基板位置検出センサより、搬送ローラ16Aの駆動が
停止され、押え部材24が下方向に移動して来て基板17を
押えて動かないようにする。これと同時に、基板支持部
材25が突出して来て基板17を落下しないように支持す
る。その後、第９図に示すように、熱圧着ローラ14が基
板17に向って左方向に移動し、仮熱圧着された積層体1B
を介在して基板17を挟持する。この状態で熱圧着ローラ
14及び搬送ローラ16Aが駆動して基板17上に積層体1Bが
熱圧着ラミネートされる。
以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることはい
うまでもない。
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることはい
うまでもない。
例えば、前実施例では、ガイド部材16Bの実施態様を種
々説明したが、基板17の反りや曲りを抑制ガイドできる
機能を有するものであれば、実施例以外のものでもよい
ことは勿論である。例えば、ガイド部材16Bの両端部16B
1は、棒状部材にリング又はキャップ状部材を嵌め込ん
で構成したが、両者を同一部材で一体化して構成しても
よい。また、ガイド部材16Bの表面は、その摩擦抵抗を
小さくして基板17の滑りをよくしてもよい。
々説明したが、基板17の反りや曲りを抑制ガイドできる
機能を有するものであれば、実施例以外のものでもよい
ことは勿論である。例えば、ガイド部材16Bの両端部16B
1は、棒状部材にリング又はキャップ状部材を嵌め込ん
で構成したが、両者を同一部材で一体化して構成しても
よい。また、ガイド部材16Bの表面は、その摩擦抵抗を
小さくして基板17の滑りをよくしてもよい。
また、本発明は、薄膜剥離装置に使用される基板搬送装
置用ローラに適用することができる。
置用ローラに適用することができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、搬送ローラとガ
イド部材とを、基板搬送路に対応する両者の部分に、搬
送中の基板の上面と前記ガイド部材との間に所定の小間
隔を形成するように配設することにより、基板の搬送方
向のセンタライン又は一端と基板搬送装置の搬送方向の
センタライン又は所定位置とを、基板にたわみを生じる
ことなく合致させた状態で基板を熱圧着開始位置に正確
にかつ容易に搬送することができる。
イド部材とを、基板搬送路に対応する両者の部分に、搬
送中の基板の上面と前記ガイド部材との間に所定の小間
隔を形成するように配設することにより、基板の搬送方
向のセンタライン又は一端と基板搬送装置の搬送方向の
センタライン又は所定位置とを、基板にたわみを生じる
ことなく合致させた状態で基板を熱圧着開始位置に正確
にかつ容易に搬送することができる。
第１図は、本発明の一実施例の基板搬送装置用ローラの
構成を示す斜視図、 第２図は、第１図のII−II切断線における断面図、 第３図は、第１図のIII−III切断線でで切った時の断面
図、 第４図は、本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第５図は、第４図のガイド部材の軸受部の構成を示す断
面図、 第６図は、本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第７図は、本発明の搬送ローラの他の実施例の構成を示
す斜視図、 第８図は、本発明の一実施例の基板搬送装置の概略構成
を示す斜視図、 第９図は、本実施例の基板搬送装置に係る薄膜張付装置
の概略構成を示す模写図、 第10図は、第８図のＹ−Ｙ線で切った断面図、 第11図は、第10図の基板幅方向ずらし装置の構成を示す
斜視図、 第12図は、第８図に示す基板幅検出センサ、押え部材及
び基板支持部材の構成を示す側面図、 第13図は、第８図に示す基板支持部材の構成を示す側面
図である。 図中、16……基板搬送装置、16A……搬送ローラ、16B,1
6B3……ガイド部材、16B1……ガイド部材の端部、16B2
……ガイド部材の端部以外の部分、20……基板搬送装置
本体のフレーム、17……基板、21……基板幅方向ずらし
装置、21A,21A′……支持部材、21B,21B′……基板幅寄
せ部材、21C……支持棒、21E……無端ベルト、21D,21
D′……プーリ、21F,21F′……逆Ｌ字状支持部材、21G
……ネジ棒、21H……ハンドル、21J……固定ネジ、22…
…基板位置検出センサ、23A,23B……基板幅検出セン
サ、24……基板押え部材、25……基板支持部材である。
構成を示す斜視図、 第２図は、第１図のII−II切断線における断面図、 第３図は、第１図のIII−III切断線でで切った時の断面
図、 第４図は、本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第５図は、第４図のガイド部材の軸受部の構成を示す断
面図、 第６図は、本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第７図は、本発明の搬送ローラの他の実施例の構成を示
す斜視図、 第８図は、本発明の一実施例の基板搬送装置の概略構成
を示す斜視図、 第９図は、本実施例の基板搬送装置に係る薄膜張付装置
の概略構成を示す模写図、 第10図は、第８図のＹ−Ｙ線で切った断面図、 第11図は、第10図の基板幅方向ずらし装置の構成を示す
斜視図、 第12図は、第８図に示す基板幅検出センサ、押え部材及
び基板支持部材の構成を示す側面図、 第13図は、第８図に示す基板支持部材の構成を示す側面
図である。 図中、16……基板搬送装置、16A……搬送ローラ、16B,1
6B3……ガイド部材、16B1……ガイド部材の端部、16B2
……ガイド部材の端部以外の部分、20……基板搬送装置
本体のフレーム、17……基板、21……基板幅方向ずらし
装置、21A,21A′……支持部材、21B,21B′……基板幅寄
せ部材、21C……支持棒、21E……無端ベルト、21D,21
D′……プーリ、21F,21F′……逆Ｌ字状支持部材、21G
……ネジ棒、21H……ハンドル、21J……固定ネジ、22…
…基板位置検出センサ、23A,23B……基板幅検出セン
サ、24……基板押え部材、25……基板支持部材である。
Claims (4)
- 【請求項１】搬送方向に対して直角方向に基板をずらす
基板幅方向ずらし装置と、基板を移動させる搬送ローラ
と、基板のそりを抑制ガイドするガイド部材とを有する
基板幅方向ずらし装置付搬送装置であって、前記搬送ロ
ーラとガイド部材とを、基板搬送路に対応する両者の部
分に、搬送中の基板の上面と前記ガイド部材との間に所
定の小間隔を形成するように配設したことを特徴とする
基板幅方向ずらし装置付搬送装置 - 【請求項２】前記ガイド部材は、棒状部材（中実又は中
空）からなる回転体であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の基板幅方向ずらし装置付搬送装置。 - 【請求項３】前記ガイド部材は、棒状部材（中実又は中
空）にリング状又はキャップ状の部材を嵌合して構成し
た回転体であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の基板幅方向ずらし装置付搬送装置。 - 【請求項４】前記ガイド部材は、網状体，棒状体（中
実，中空），ピアノ線等の非回転体であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の基板幅方向ずらし装置
付搬送装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25343385A JPH0725434B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | 基板幅方向ずらし装置付搬送装置 |
| EP19860115717 EP0222390B1 (en) | 1985-11-12 | 1986-11-12 | Apparatus for conveying base with crosswise base sliding device |
| DE8686115717T DE3680464D1 (de) | 1985-11-12 | 1986-11-12 | Vorrichtung zum transport von substraten mit querfuehrung. |
| US07/685,705 US5198067A (en) | 1985-11-12 | 1989-01-25 | Apparatus for conveying base with crosswise base sliding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25343385A JPH0725434B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | 基板幅方向ずらし装置付搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62116443A JPS62116443A (ja) | 1987-05-28 |
| JPH0725434B2 true JPH0725434B2 (ja) | 1995-03-22 |
Family
ID=17251329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25343385A Expired - Lifetime JPH0725434B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | 基板幅方向ずらし装置付搬送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0222390B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0725434B2 (ja) |
| DE (1) | DE3680464D1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5018720A (en) * | 1990-03-22 | 1991-05-28 | Ncr Corporation | Document transport module |
| CA2105476A1 (en) * | 1991-03-05 | 1992-09-06 | Mario Baffo | Method and apparatus for precisely driving film material |
| US6262477B1 (en) * | 1993-03-19 | 2001-07-17 | Advanced Interconnect Technologies | Ball grid array electronic package |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3182994A (en) * | 1962-02-26 | 1965-05-11 | American Can Co | Gauging mechanism |
| NL7116993A (ja) * | 1970-12-21 | 1972-06-23 | ||
| US3934775A (en) * | 1974-10-15 | 1976-01-27 | Owens-Illinois, Inc. | Web centering device |
| US4657239A (en) * | 1983-07-20 | 1987-04-14 | Ricoh Company, Ltd. | Sheet aligning device |
| JPH0615391B2 (ja) * | 1984-02-20 | 1994-03-02 | 株式会社リコー | シ−ト整合装置 |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP25343385A patent/JPH0725434B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-11-12 EP EP19860115717 patent/EP0222390B1/en not_active Expired
- 1986-11-12 DE DE8686115717T patent/DE3680464D1/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0222390B1 (en) | 1991-07-24 |
| EP0222390A3 (en) | 1988-12-28 |
| EP0222390A2 (en) | 1987-05-20 |
| JPS62116443A (ja) | 1987-05-28 |
| DE3680464D1 (de) | 1991-08-29 |
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