JPH0724725A - Dicing saw and dicing blade - Google Patents
Dicing saw and dicing bladeInfo
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- JPH0724725A JPH0724725A JP5168165A JP16816593A JPH0724725A JP H0724725 A JPH0724725 A JP H0724725A JP 5168165 A JP5168165 A JP 5168165A JP 16816593 A JP16816593 A JP 16816593A JP H0724725 A JPH0724725 A JP H0724725A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/02—Devices for lubricating or cooling circular saw blades
- B23D59/025—Devices for lubricating or cooling circular saw blades the lubricating or cooling medium being applied through the mounting means of the tool, e.g. the tool spindle or hub
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシングを行うため
のダイシングソー及びダイシングブレードに関し、特
に、セラミックグリーンシートや未焼成のセラミック体
を切断するのに適したダイシングソー及びダイシングブ
レードに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dicing saw and a dicing blade for dicing, and more particularly to a dicing saw and a dicing blade suitable for cutting a ceramic green sheet or an unfired ceramic body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば積層コンデンサのような積層セラ
ミック電子部品は、従来、以下のような方法で製造され
ていた。すなわち、まず、セラミックスラリーをシート
成形し、セラミックグリーンシートを得る。次に、得ら
れたセラミックグリーンシートを所定寸法に切断し、マ
ザーのセラミックグリーンシートを得る。得られたマザ
ーのセラミックグリーンシート上に複数の内部電極を形
成し、内部電極の形成されたマザーのセラミックグリー
ンシートを積層コンデンサ等の内部電極を構成するよう
に積層し、生の積層体を得る。しかる後、生の積層体を
厚み方向に加圧した後、個々の積層電子部品単位に切断
し、個々の積層電子部品単位の生チップを得る。しかる
後、上記生チップを焼成し、得られた焼結体の外表面に
外部電極を付与する。2. Description of the Related Art A monolithic ceramic electronic component such as a monolithic capacitor has been conventionally manufactured by the following method. That is, first, the ceramic slurry is formed into a sheet to obtain a ceramic green sheet. Next, the obtained ceramic green sheet is cut into a predetermined size to obtain a mother ceramic green sheet. A plurality of internal electrodes are formed on the obtained mother ceramic green sheet, and the mother ceramic green sheets having the internal electrodes are laminated to form an internal electrode of a laminated capacitor or the like to obtain a raw laminate. . Thereafter, the raw laminate is pressed in the thickness direction and then cut into individual laminated electronic component units to obtain raw chips in individual laminated electronic component units. Thereafter, the raw chip is fired to provide an external electrode on the outer surface of the obtained sintered body.
【０００３】ところで、上記のような製造方法において
は、セラミックグリーンシートや未焼成のセラミック積
層体を切断する工程を実施しなければならない。このよ
うな各切断工程において用いられる切断装置としては、
固定ブレードによる押し切り、ダイシングブレードを有
するダイシングソーによる切断、あるいはパンチによる
切断等の種々の方法が採用されていた。中でも、ダイシ
ングソーを利用した切断方法では、高速で切断でき、か
つ切断面の形状が良好に保たれるため、セラミックグリ
ーンシートの切断に際して広く用いられてきている。By the way, in the above manufacturing method, a step of cutting the ceramic green sheet or the unfired ceramic laminate must be carried out. As a cutting device used in each such cutting step,
Various methods such as pressing with a fixed blade, cutting with a dicing saw having a dicing blade, or cutting with a punch have been adopted. Among them, the cutting method using a dicing saw can be cut at a high speed, and the shape of the cut surface can be maintained in a good condition. Therefore, it has been widely used for cutting a ceramic green sheet.
【０００４】図１及び図２は、従来のダイシングソーに
よるセラミックグリーンシートの切断工程を説明するた
めの正面図及び側面図である。ダイシングソーによる切
断に際しては、切断ステージ上にセラミックグリーンシ
ート１を載置する。次に、ダイシングソーにセットされ
たダイシングブレード２を矢印Ａで示すように回転させ
つつ、矢印Ｂで示すように上記セラミックグリーンシー
ト１の一方主面１ａ側からセラミックグリーンシート１
を切断していく。使用されるダイシングブレード２は、
図示のように円板状の形状を有し、外周縁に切断刃２ａ
が構成されている。また、切断に際し、セラミックグリ
ーンシート１とダイシングブレード２との接触部分に、
図２に略図的に示すように切削水供給装置３から切削水
が噴き付けられる。上記切削水の噴き付けは、ダイシン
グブレード２の切断刃２ａ及びセラミックグリーンシー
ト１の過熱の防止を図るため、並びに切くずを洗い流す
ために行われている。1 and 2 are a front view and a side view for explaining a cutting process of a ceramic green sheet by a conventional dicing saw. When cutting with a dicing saw, the ceramic green sheet 1 is placed on the cutting stage. Next, while rotating the dicing blade 2 set on the dicing saw as indicated by an arrow A, the ceramic green sheet 1 is moved from the one main surface 1a side of the ceramic green sheet 1 as indicated by an arrow B.
Cut off. The dicing blade 2 used is
It has a disc shape as shown and has a cutting blade 2a on the outer peripheral edge.
Is configured. In addition, at the time of cutting, at the contact portion between the ceramic green sheet 1 and the dicing blade 2,
Cutting water is sprayed from the cutting water supply device 3 as schematically shown in FIG. The cutting water is sprayed to prevent the cutting blade 2a of the dicing blade 2 and the ceramic green sheet 1 from being overheated and to wash away the chips.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ダイシングブレード２では、セラミックグリーンシート
１の厚みが厚い場合には、切断部分に切削水を十分に供
給することが困難であった。このような厚みの厚い被切
削物を切断する際には、ダイシングブレード２と被切削
物の切断面との接触面積が大きくなる。従って、被切削
物の厚みが厚い程、十分に切削水が供給されねばならな
い。However, with the conventional dicing blade 2, when the thickness of the ceramic green sheet 1 was large, it was difficult to sufficiently supply the cutting water to the cut portion. When cutting an object to be cut having such a large thickness, the contact area between the dicing blade 2 and the cut surface of the object to be cut becomes large. Therefore, the thicker the object to be cut, the more the cutting water must be supplied.
【０００６】ところが、従来のダイシングブレード２を
用いた場合には、厚みの厚い被切削物を切断しようとし
た場合、切断面に切削水を十分に供給することができ
ず、ダイシングブレード２の切断刃２ａ及びセラミック
グリーンシート１が過熱しがちであった。その結果、切
断面に破壊を生じたり、ダイシングブレード２及びセラ
ミックグリーンシート１の破損を引き起こしたりするこ
とがあった。However, when the conventional dicing blade 2 is used, when trying to cut a thick object to be cut, sufficient cutting water cannot be supplied to the cut surface, and the dicing blade 2 is cut. The blade 2a and the ceramic green sheet 1 tended to overheat. As a result, the cut surface may be broken or the dicing blade 2 and the ceramic green sheet 1 may be broken.
【０００７】本発明の目的は、上述した従来のダイシン
グブレードの欠点を解消し、高速カッティングを行うこ
とができ、かつ良好な切断面を得ることができるだけで
なく、厚みの厚い被切削物を切断する場合であってもダ
イシングブレード及び被切削物の破損を引き起こすこと
なく良好な切断面を得ることを可能とする、ダイシング
ソー及びダイシングブレードを提供することにある。The object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional dicing blade, to enable high-speed cutting, to obtain a good cutting surface, and to cut a thick object to be cut. Even in the case of doing so, it is an object of the present invention to provide a dicing saw and a dicing blade that make it possible to obtain a good cut surface without causing damage to the dicing blade and the object to be cut.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、回転駆動されるスピンドルと、スピンドルの一端に
一方主面が当接されるように配置されており、外周縁に
切断刃を有する略円板状の形状を有し、かつ中心側から
外周縁に向かって切削水を供給するための少なくとも１
本の溝が形成されたダイシングブレードと、ダイシング
ブレードの他方主面側に当接されており、かつ前記スピ
ンドルと共に前記ダイシングブレードを挟持して、前記
ダイシングブレードを固定しているホルダーと、ダイシ
ングブレードの中心側において前記溝に切削水を供給す
るための切削水供給手段とを備えることを特徴とするダ
イシングソーである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a spindle which is rotationally driven, and one main surface of which is abutted against one end of the spindle. At least 1 for supplying cutting water from the center side to the outer peripheral edge, which has a substantially disc shape
A dicing blade formed with a groove of the book, a holder that is in contact with the other main surface side of the dicing blade, and holds the dicing blade together with the spindle, and fixes the dicing blade, and a dicing blade. And a cutting water supply means for supplying cutting water to the groove on the center side of the dicing saw.
【０００９】また、請求項２に記載の発明は、上記請求
項１に記載のダイシングソーに用いられるダイシングブ
レードであり、外周縁に切断刃を有する略円板状のダイ
シングブレードであって、中心側から外周縁の切断刃が
形成されている部分に向かって切削水が供給されるよう
に、中心側から外周縁に向かって延びる少なくとも１本
の溝が形成されているダイシングブレードである。A second aspect of the present invention is a dicing blade used in the dicing saw according to the first aspect, which is a substantially disk-shaped dicing blade having a cutting edge on an outer peripheral edge, It is a dicing blade in which at least one groove extending from the center side toward the outer peripheral edge is formed so that cutting water is supplied from the side toward the outer peripheral edge where the cutting blade is formed.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１に記載の発明にかかるダイシングソー
では、請求項２に記載のダイシングブレードがホルダー
とスピンドルとの間に挟持されて固定されており、かつ
該ダイシングブレードの溝に切削水供給手段から切削水
が供給される。ダイシングブレードがスピンドルと共に
回転されるため、切削にあたっては、供給された切削水
が上記溝を経由してダイシングブレードの中心側からダ
イシングブレードの外周縁の切断刃側に供給される。In the dicing saw according to the first aspect of the invention, the dicing blade according to the second aspect is sandwiched and fixed between the holder and the spindle, and the cutting water is supplied to the groove of the dicing blade. Cutting water is supplied from the means. Since the dicing blade is rotated together with the spindle, during cutting, the supplied cutting water is supplied from the center side of the dicing blade to the cutting edge side of the outer peripheral edge of the dicing blade via the groove.
【００１１】従って、ダイシングブレードの内部から切
削水が供給される構造を有するため、ダイシングブレー
ドの切断刃が確実に切削水により冷却され得る。よっ
て、厚みの厚いワークを切断する場合であっても、切断
刃及び切断部分に確実に上記切削水が供給される。Therefore, since the cutting water is supplied from the inside of the dicing blade, the cutting blade of the dicing blade can be reliably cooled by the cutting water. Therefore, even when cutting a thick work, the cutting water is reliably supplied to the cutting blade and the cutting portion.
【００１２】しかも、上記切削水により切削屑も円滑に
切断部分から排出されていく。Moreover, the cutting water smoothly discharges cutting chips from the cut portion.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明するこ
とにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.
【００１４】図３は、本発明の一実施例にかかるダイシ
ングソーを説明するための断面図であり、図４（ａ）及
び（ｂ）は、本実施例で用いられているダイシングブレ
ードの側面図及び断面図である。FIG. 3 is a sectional view for explaining a dicing saw according to one embodiment of the present invention, and FIGS. 4A and 4B are side views of a dicing blade used in this embodiment. It is a figure and a sectional view.
【００１５】ダイシングソー１１は、図示しない回転駆
動源に連結されて回転されるスピンドル１２を有する。
スピンドル１２の端部には、スピンドル軸１２ａよりも
大径の保持部１２ｂが一体に構成されている。保持部１
２ｂは、先端側にドーナツ状の平坦な保持面１２ｃを有
する。保持面１２ｃに、ダイシングブレード１３の一方
主面が当接されている。The dicing saw 11 has a spindle 12 which is connected to a rotary drive source (not shown) and rotated.
A holding portion 12b having a larger diameter than the spindle shaft 12a is integrally formed at the end of the spindle 12. Holding part 1
2b has a donut-shaped flat holding surface 12c on the tip side. One main surface of the dicing blade 13 is in contact with the holding surface 12c.
【００１６】ダイシングブレード１３の他方主面にはホ
ルダー１４が当接されている。ホルダー１４は、スピン
ドル１２の保持部１２ｂとの間にダイシングブレード１
３を挟持し、ダイシングブレード１３を固定するために
設けられている。ホルダー１４とスピンドル１２の保持
部１２ｂとの間の固定は、適宜の固着手段により行い得
る。例えば、ホルダー１４側にボルトを貫通する貫通孔
を形成しておき、保持部１２ｂ側に上記ボルトとかみ合
うネジ孔を形成しておいてもよく、あるいは保持部１２
ｂ側にも貫通孔を形成し、ボルト及びナットにより保持
部１２ｂとホルダー１４とを連結してもよい。A holder 14 is in contact with the other main surface of the dicing blade 13. The holder 14 and the holder 12b of the spindle 12 are arranged between the holder 14 and the dicing blade 1
It is provided for sandwiching 3 and fixing the dicing blade 13. The fixing between the holder 14 and the holding portion 12b of the spindle 12 can be performed by an appropriate fixing means. For example, a through hole that penetrates the bolt may be formed on the holder 14 side and a screw hole that engages with the bolt may be formed on the holding portion 12b side, or the holding portion 12b may be formed.
It is also possible to form a through hole on the b side and connect the holding portion 12b and the holder 14 with a bolt and a nut.
【００１７】ホルダー１４は、上記ダイシングブレード
１３に当接される保持面１４ａを有し、該保持面１４ａ
はスピンドル１２側の保持面１２ｃと同様にドーナツ状
の形状を有する。従って、ホルダー１４とスピンドル１
２との間には、空間１５が形成されている。The holder 14 has a holding surface 14a that abuts against the dicing blade 13, and the holding surface 14a.
Has a donut shape similar to the holding surface 12c on the spindle 12 side. Therefore, the holder 14 and the spindle 1
A space 15 is formed between the two.
【００１８】他方、ホルダー１４の中央には貫通孔１４
ｂが形成されており、該貫通孔１４ｂに切削水供給筒１
６が挿入され、固定されている。切削水供給筒１６は、
図示しない切削水供給源に連結されており、図示の矢印
Ａで示すように切削水が供給されるように構成されてい
る。On the other hand, the through hole 14 is provided at the center of the holder 14.
b is formed, and the cutting water supply cylinder 1 is provided in the through hole 14b.
6 is inserted and fixed. The cutting water supply pipe 16 is
It is connected to a cutting water supply source (not shown), and is configured to supply cutting water as shown by an arrow A in the drawing.
【００１９】図４（ａ），（ｂ）に示すように、ダイシ
ングブレード１３は中央に開孔１７を有する略円板状の
形状を有し、外周縁に切断刃１３ａを有する。ダイシン
グブレード１３の特徴は、上記開孔１７、すなわちダイ
シングブレード１３の中心側から外周縁に向かって複数
本の溝１８が形成されていることにある。溝１８は、ダ
イシングブレード１３の中心側においてダイシングブレ
ードの肉厚を薄くした第１の溝部１８ａと、切断刃１３
ａ側においてダイシングブレード１３の一部を切り落と
すことにより形成された第２の溝部１８ｂとを有する。As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), the dicing blade 13 has a substantially disc-like shape having an opening 17 in the center, and a cutting blade 13a on the outer peripheral edge. A feature of the dicing blade 13 is that the openings 17, that is, a plurality of grooves 18 are formed from the center side of the dicing blade 13 toward the outer peripheral edge. The groove 18 includes a first groove portion 18 a having a reduced thickness of the dicing blade on the center side of the dicing blade 13 and the cutting blade 13.
The second groove portion 18b is formed by cutting off a part of the dicing blade 13 on the a side.
【００２０】なお、溝１８は、その全長に渡りダイシン
グブレード１３の肉厚を単に薄くすることにより形成さ
れてもよい。もっとも、本実施例のように、切断刃１３
ａ側においてスリット状の第２の溝部１８ｂを形成すれ
ば、切削水の供給効率を高め得るため、好ましい。The groove 18 may be formed by simply reducing the thickness of the dicing blade 13 over its entire length. However, as in this embodiment, the cutting blade 13
It is preferable to form the slit-shaped second groove portion 18b on the a side because the cutting water supply efficiency can be improved.
【００２１】また、図４から明らかなように、複数本の
溝１８は、ダイシングブレード１３の円周方向において
交互に第１の溝部１８ａがダイシングブレード１３の両
主面に分散されて形成されている。言い換えれば、隣合
う溝１８，１８の溝部１８ａ，１８ａがダイシングブレ
ード１３の異なる主面に形成されている。このように、
隣合う溝１８の第１の溝部１８ａをダイシングブレード
１３の異なる主面に形成することにより、ダイシングブ
レード１３の機械的強度の低下を防止することができ、
かつ切断刃１３ａの両面により均一に切削水を供給する
ことができる。Further, as is apparent from FIG. 4, the plurality of grooves 18 are formed by alternately disposing the first groove portions 18a on both main surfaces of the dicing blade 13 in the circumferential direction of the dicing blade 13. There is. In other words, the groove portions 18a, 18a of the adjacent grooves 18, 18 are formed on different main surfaces of the dicing blade 13. in this way,
By forming the first groove portions 18a of the adjacent grooves 18 on different main surfaces of the dicing blade 13, it is possible to prevent the mechanical strength of the dicing blade 13 from decreasing.
Moreover, the cutting water can be uniformly supplied to both surfaces of the cutting blade 13a.
【００２２】図５は、本発明の他の実施例にかかるダイ
シングソーを説明するための断面図である。ダイシング
ソー２１では、スピンドル１２内に切削水供給口１２ｄ
が形成されている。切削水供給口１２ｄは、図示しない
切削水供給源に一端が接続されており、他端が空間１５
に開口している。このように、切削水供給口１２ｄがス
ピンドル１２に設けられているため、ホルダー１４側に
は切削水を供給するための構造が設けられていない。そ
の他の点については、図３に示した第１の実施例と同様
であるため、相当の部分については、相当の参照番号を
付することにより、その説明は省略する。FIG. 5 is a sectional view for explaining a dicing saw according to another embodiment of the present invention. In the dicing saw 21, the cutting water supply port 12d is provided in the spindle 12.
Are formed. The cutting water supply port 12d has one end connected to a cutting water supply source (not shown) and the other end having a space 15
It is open to. As described above, since the cutting water supply port 12d is provided in the spindle 12, the holder 14 side is not provided with a structure for supplying cutting water. Since the other points are similar to those of the first embodiment shown in FIG. 3, the corresponding portions are designated by the corresponding reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００２３】上記のように、切削水を供給するための構
造は、第２の実施例のようにスピンドル１２側に設けら
れていてもよい。また、図３及び図５では、スピンドル
１２とホルダー１４との間に空間１５が設けられていた
が、この空間１５は、図示のように大きな容積を有する
ように構成される必要は必ずしもない。すなわち、ダイ
シングブレード１３の厚みとほぼ同等の空間がダイシン
グブレード１３の中央において設けられていてもよい。As described above, the structure for supplying the cutting water may be provided on the spindle 12 side as in the second embodiment. Although the space 15 is provided between the spindle 12 and the holder 14 in FIGS. 3 and 5, the space 15 does not necessarily have to have a large volume as illustrated. That is, a space approximately equal to the thickness of the dicing blade 13 may be provided in the center of the dicing blade 13.
【００２４】さらに、ダイシングブレード１３について
も、略円板状の形状を有するように構成されている限
り、適宜変形することができる。例えば、図４に示した
開孔１７は、図示の大きさよりもかなり小さく形成され
ていてもよい。あるいは、開孔１７が形成されておらず
ともよく、その場合には、円板状のダイシングブレード
の中心において、スピンドルの切削水供給側に面した上
記複数本の溝１８が集合されることになる。Further, the dicing blade 13 can also be appropriately modified as long as it has a substantially disk shape. For example, the opening 17 shown in FIG. 4 may be formed to be considerably smaller than the size shown. Alternatively, the opening 17 may not be formed, and in that case, the plurality of grooves 18 facing the cutting water supply side of the spindle are gathered at the center of the disc-shaped dicing blade. Become.
【００２５】次に具体的な実験結果につき説明する。ま
ず、下記の表１に示す割合で原料を配合し、セラミック
スラリーを調製した。Next, concrete experimental results will be described. First, the raw materials were mixed in the proportions shown in Table 1 below to prepare a ceramic slurry.
【００２６】[0026]
【表１】 [Table 1]
【００２７】次に、上記のようにして調製されたセラミ
ックスラリーを、ドクターブレード法によりシート成形
し、厚さ１ｍｍ、幅２００ｍｍ及び長さ１０００ｍｍの
グリーンシートを得た。Next, the ceramic slurry prepared as described above was formed into a sheet by a doctor blade method to obtain a green sheet having a thickness of 1 mm, a width of 200 mm and a length of 1000 mm.
【００２８】得られたグリーンシートを、一辺が５０ｍ
ｍの正方形の形状に打ち抜き、切断試験用試料とした。
上記試料を、第１の実施例のダイシングソー１１によ
り、２ｍｍ×２ｍｍの平面形状を有するように切断し
た。切断条件は以下の通りである。The obtained green sheet has a side of 50 m.
It was punched into a square shape of m and used as a sample for cutting test.
The sample was cut by the dicing saw 11 of the first embodiment so as to have a planar shape of 2 mm × 2 mm. The cutting conditions are as follows.
【００２９】ダイシングブレードの直径…５４ｍｍ、ダ
イシングブレードの厚み…０．１ｍｍ、溝１８の数…８
本、ダイシングブレードの回転速度…３００００ｒｐ
ｍ、セラミックグリーンシートの搬送速度…１００ｍｍ
／秒、第２の溝部１８ｂの深さ…０．５ｍｍ。Diameter of dicing blade ... 54 mm, thickness of dicing blade ... 0.1 mm, number of grooves 18 ... 8
Rotation speed of book and dicing blade ... 30000 rp
m, ceramic green sheet conveying speed: 100 mm
/ Sec, the depth of the second groove portion 18b ... 0.5 mm.
【００３０】上記のようにして切断された試料の切断面
の表面粗さを測定したところ、ＪＩＳ Ｂ０６０１に規
定されている表面粗さＲａ値は、Ｒａ＝０．０５〜０．
０８μｍと比較的小さな値で安定しており、切断面が良
好であることが確かめられた。 他方、上記と同一の送
り速度により、図１に示した従来のダイシングソーを用
い、上記試料を切断した。その結果、表面粗さＲａ値
は、Ｒａ＝０．２〜０．３μｍと大きく、切断面の平滑
性が十分でないことが認められた。また、上記実施例の
ダイシングソーを用いた場合と同等の表面粗さＲａ＝
０．０５〜０．０８μｍを実現しようとしてセラミック
グリーンシートの搬送速度を低下させたところ、セラミ
ックグリーンシートの搬送速度を１０ｍｍ／秒まで低下
させねばならなかった。When the surface roughness of the cut surface of the sample cut as described above was measured, the surface roughness Ra value specified in JIS B0601 was Ra = 0.05-0.
It was confirmed that the value was stable at a relatively small value of 08 μm and the cut surface was good. On the other hand, the sample was cut using the conventional dicing saw shown in FIG. 1 at the same feed rate as above. As a result, the surface roughness Ra value was as large as Ra = 0.2 to 0.3 μm, and it was confirmed that the smoothness of the cut surface was not sufficient. In addition, the surface roughness Ra = the same as when the dicing saw of the above-mentioned embodiment is used.
When the transport speed of the ceramic green sheet was reduced to achieve 0.05 to 0.08 μm, the transport speed of the ceramic green sheet had to be reduced to 10 mm / sec.
【００３１】従って、実施例のダイシングソーを用いて
切断面の表面粗さをＲａ＝０．０５〜０．０８μｍ程度
としようとした場合、従来法に比べて約１０倍の速度で
試料を切断し得ることがわかる。Therefore, when the surface roughness of the cut surface is set to Ra = 0.05 to 0.08 μm using the dicing saw of the embodiment, the sample is cut at a speed of about 10 times as compared with the conventional method. I understand that you can do it.
【００３２】なお、上記実験例では、アルミナ系セラミ
ックグリーンシートを切断したが、本発明のダイシング
ソー及びダイシングブレードは、他の材料のセラミック
グリーンシートを切断するのにも用いることができ、さ
らに複数枚のセラミックグリーンシートを積層してなる
未焼成のセラミック積層体を切断する際にも好適に用い
ることができる。Although the alumina-based ceramic green sheets were cut in the above experimental example, the dicing saw and the dicing blade of the present invention can be used to cut ceramic green sheets of other materials, and more It can also be suitably used when cutting an unfired ceramic laminated body formed by laminating a plurality of ceramic green sheets.
【００３３】[0033]
【発明の効果】請求項１に記載の発明にかかるダイシン
グソーは、請求項２に記載のように複数本の溝が形成さ
れたダイシングブレードを用いて構成されている。従っ
て、切削水がダイシングブレードの中心側から切断刃に
向かって供給されるため、すなわちダイシングブレード
内から切削水が切断刃及び切削部分に供給されることに
なるため、切断刃及び切断部分を効果的に冷却すること
ができ、切断刃や被切削物の破損を防止することができ
る。しかも、上記切削水が、切り屑を円滑に排出する作
用をも果たす。The dicing saw according to the invention described in claim 1 is constituted by using a dicing blade having a plurality of grooves as described in claim 2. Therefore, the cutting water is supplied from the center side of the dicing blade toward the cutting blade, that is, the cutting water is supplied from the inside of the dicing blade to the cutting blade and the cutting portion. Can be cooled effectively, and damage to the cutting blade and the object to be cut can be prevented. Moreover, the cutting water also has the function of smoothly discharging the chips.
【００３４】よって、切断面を良好に保ちつつ、従来の
ダイシングブレード及びダイシングソーに比べて高速で
被切削物を切断することが可能となる。Therefore, it becomes possible to cut the object to be cut at a higher speed than the conventional dicing blade and dicing saw while maintaining a good cut surface.
【図１】従来のダイシングブレードによるセラミックグ
リーンシートの切断工程を示す正面断面図。FIG. 1 is a front sectional view showing a step of cutting a ceramic green sheet with a conventional dicing blade.
【図２】従来のダイシングブレードによるセラミックグ
リーンシートの切断工程を説明するための側面断面図。FIG. 2 is a side sectional view for explaining a cutting process of a ceramic green sheet with a conventional dicing blade.
【図３】第１の実施例のダイシングソーを示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a dicing saw of the first embodiment.
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、実施例で用いられるダイ
シングブレードの側面図及び（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う切
断部端面図。4A and 4B are a side view of a dicing blade used in an example and an end view of a cutting portion taken along line BB in FIG. 4A.
【図５】第２の実施例にかかるダイシングソーを示す断
面図。FIG. 5 is a sectional view showing a dicing saw according to a second embodiment.
１１…ダイシングソー １２…スピンドル １３…ダイシングブレード １４…ホルダー １６…切削水供給口 １２ｄ…切削水供給筒 １８…溝 １８ａ…第１の溝部 １８ｂ…第２の溝部 ２１…ダイシングソー 11 ... Dicing Saw 12 ... Spindle 13 ... Dicing Blade 14 ... Holder 16 ... Cutting Water Supply Port 12d ... Cutting Water Supply Cylinder 18 ... Groove 18a ... First Groove 18b ... Second Groove 21 ... Dicing Saw
Claims (2)
置されており、外周縁に切断刃を有する略円板状の形状
を有し、かつ中心側から外周縁に向かって切削水を供給
するための少なくとも１本の溝が形成されたダイシング
ブレードと、 前記ダイシングブレードの他方主面側に当接されてお
り、かつ前記スピンドルと共に前記ダイシングブレード
を挟持して、前記ダイシングブレードを固定しているホ
ルダーと、 前記ダイシングブレードの中心側において前記溝に切削
水を供給するための切削水供給手段とを備えることを特
徴とする、ダイシングソー。1. A rotationally driven spindle, which is arranged such that one main surface is in contact with one end of the spindle, and has a substantially disc-like shape having a cutting edge on an outer peripheral edge, and A dicing blade having at least one groove for supplying cutting water from the center side toward the outer peripheral edge, and the dicing blade that is in contact with the other main surface side of the dicing blade and together with the spindle. And a cutting water supply means for supplying cutting water to the groove on the center side of the dicing blade, and a dicing saw.
シングブレードであって、 中心側から外周縁の切断刃が形成されている部分に向か
って切削水が供給されるように、中心側から外周縁に向
かって延びる少なくとも１本の溝が形成されている、ダ
イシングブレード。2. A substantially disk-shaped dicing blade having a cutting edge on the outer peripheral edge, the cutting water being supplied from the center side toward the portion where the cutting edge on the outer peripheral edge is formed. A dicing blade having at least one groove extending from the side toward the outer peripheral edge.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168165A JPH0724725A (en) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | Dicing saw and dicing blade |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168165A JPH0724725A (en) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | Dicing saw and dicing blade |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724725A true JPH0724725A (en) | 1995-01-27 |
Family
ID=15863016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5168165A Pending JPH0724725A (en) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | Dicing saw and dicing blade |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724725A (en) |
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