JPH07218583A - Ｉｃハンドラ - Google Patents
ＩｃハンドラInfo
- Publication number
- JPH07218583A JPH07218583A JP6010794A JP1079494A JPH07218583A JP H07218583 A JPH07218583 A JP H07218583A JP 6010794 A JP6010794 A JP 6010794A JP 1079494 A JP1079494 A JP 1079494A JP H07218583 A JPH07218583 A JP H07218583A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- trays
- state
- detection sensor
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】トレイガイド２に多段積みされたトレイ６の最
上段の一枚を検出するセンサ７と最上段から二枚目のト
レイの有無を検出するセンサ１６を設置する。 【効果】多段積みトレイ収納部からトレイを搬送する際
に、複数枚のトレイの同時搬送と、トレイ収納時の異常
収納を検出することができる。
上段の一枚を検出するセンサ７と最上段から二枚目のト
レイの有無を検出するセンサ１６を設置する。 【効果】多段積みトレイ収納部からトレイを搬送する際
に、複数枚のトレイの同時搬送と、トレイ収納時の異常
収納を検出することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多段積みトレイ収納部
からトレイを一枚ずつ搬送する装置において、トレイの
複数枚搬送を検出するＩＣハンドラに関する。
からトレイを一枚ずつ搬送する装置において、トレイの
複数枚搬送を検出するＩＣハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】多段積みトレイ収納部には、最上段トレ
イの有無を検知するセンサが有り、多段積みトレイ収納
部からトレイを搬送する時、このセンサのオン（トレイ
有り）からオフ（トレイ無し）への変化を検知する事で
トレイの搬出を確認している。この種の例として、特開
昭63−63325 号公報がある。
イの有無を検知するセンサが有り、多段積みトレイ収納
部からトレイを搬送する時、このセンサのオン（トレイ
有り）からオフ（トレイ無し）への変化を検知する事で
トレイの搬出を確認している。この種の例として、特開
昭63−63325 号公報がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣハンドラの
多段積みトレイ収納部の構成を図１に示す。
多段積みトレイ収納部の構成を図１に示す。
【０００４】基準ベース１に垂直、かつトレイ幅の間隔
をおいて平行な二枚のトレイガイド２を設置し、その間
にモータ３に接続されたエレベータシャフト４により上
下動作するエレベータベース板５が配置されている。ト
レイガイド２には、エレベータベース板５に多段積みさ
れたトレイ６の最上段のトレイを検出するトレイ検出セ
ンサ７が取付けてある。
をおいて平行な二枚のトレイガイド２を設置し、その間
にモータ３に接続されたエレベータシャフト４により上
下動作するエレベータベース板５が配置されている。ト
レイガイド２には、エレベータベース板５に多段積みさ
れたトレイ６の最上段のトレイを検出するトレイ検出セ
ンサ７が取付けてある。
【０００５】また、基準ベース１には水平方向にトレイ
搬送ベース８を設置し、その上に水平方向に駆動するア
ーム９が配置されている。アーム９には、真空発生装置
１０，昇降用シリンダ１１，昇降用シリンダ１１により
上下するヘッド１２に取付けられた真空吸着パッド１３
及び真空発生装置１０と真空吸着パッド１３とを連結す
る真空配管１４が取付けられている。
搬送ベース８を設置し、その上に水平方向に駆動するア
ーム９が配置されている。アーム９には、真空発生装置
１０，昇降用シリンダ１１，昇降用シリンダ１１により
上下するヘッド１２に取付けられた真空吸着パッド１３
及び真空発生装置１０と真空吸着パッド１３とを連結す
る真空配管１４が取付けられている。
【０００６】真空吸着パッド１３は、真空発生装置１０
により、真空吸着パッド１３内の空気を真空引きし、ト
レイ６を吸着させることができる。アーム９は真空吸着
パッド１３にて吸着したトレイ６をトレイ搬送ベース８
に沿って水平に駆動し、トレイ６をトレイ収納部から運
びだす、あるいはトレイ収納部へトレイを収納する動作
を行う。このような動作は制御装置１５により制御され
る。
により、真空吸着パッド１３内の空気を真空引きし、ト
レイ６を吸着させることができる。アーム９は真空吸着
パッド１３にて吸着したトレイ６をトレイ搬送ベース８
に沿って水平に駆動し、トレイ６をトレイ収納部から運
びだす、あるいはトレイ収納部へトレイを収納する動作
を行う。このような動作は制御装置１５により制御され
る。
【０００７】次に、トレイ６を搬送する状態を図２に示
す。
す。
【０００８】多段積みトレイ収納部の最上段のトレイ６
を真空吸着の手段により一枚上方に持ち上げると、トレ
イ検出センサ７が「トレイ無し」を検出し、トレイが搬
送されたことを認識している。しかし、図３に示す様に
積み重ねられたトレイ６が固渋等により互いにはまりこ
んでいると最上段の一枚だけでなく、複数枚のトレイが
同時に搬送されることがあり、上記のトレイ検出センサ
７のみでは複数枚搬送の状況が検出できない欠点があっ
た。
を真空吸着の手段により一枚上方に持ち上げると、トレ
イ検出センサ７が「トレイ無し」を検出し、トレイが搬
送されたことを認識している。しかし、図３に示す様に
積み重ねられたトレイ６が固渋等により互いにはまりこ
んでいると最上段の一枚だけでなく、複数枚のトレイが
同時に搬送されることがあり、上記のトレイ検出センサ
７のみでは複数枚搬送の状況が検出できない欠点があっ
た。
【０００９】本発明の目的は、多段積みトレイ収納部か
ら複数枚のトレイが同時に搬送されることを検出し、こ
れに付随するＩＣハンドラのトラブルを未然に防止する
機能を提供することにある。
ら複数枚のトレイが同時に搬送されることを検出し、こ
れに付随するＩＣハンドラのトラブルを未然に防止する
機能を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】多段積みトレイ収納部か
ら、複数枚のトレイが同時に搬送される事を検出するた
めに、多段積みトレイ収納部に、最上段から二枚目のト
レイの有無を検知するセンサを新たに設置し、このセン
サの状態をトレイ搬送時に監視する事によって、トレイ
の複数枚の同時搬送を検出する事が可能となる。
ら、複数枚のトレイが同時に搬送される事を検出するた
めに、多段積みトレイ収納部に、最上段から二枚目のト
レイの有無を検知するセンサを新たに設置し、このセン
サの状態をトレイ搬送時に監視する事によって、トレイ
の複数枚の同時搬送を検出する事が可能となる。
【００１１】
【作用】多段積みトレイ収納部からトレイを搬送する
時、最上段の一枚だけを搬出した場合には、最上段から
二枚目のトレイの有無を検知するセンサは、「トレイ有
り」の状態となる。しかし、積み重ねられたトレイが固
渋等により、互いにはまりこんでいて、複数枚のトレイ
が同時に搬出された場合には、「トレイ無し」の状態に
なる。この様に、上記センサの状態の違いを認識する事
によって、複数枚トレイの同時搬出を検出し、トレイ搬
送のトラブルを防止する事ができる。
時、最上段の一枚だけを搬出した場合には、最上段から
二枚目のトレイの有無を検知するセンサは、「トレイ有
り」の状態となる。しかし、積み重ねられたトレイが固
渋等により、互いにはまりこんでいて、複数枚のトレイ
が同時に搬出された場合には、「トレイ無し」の状態に
なる。この様に、上記センサの状態の違いを認識する事
によって、複数枚トレイの同時搬出を検出し、トレイ搬
送のトラブルを防止する事ができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図４ないし図１２に
従って説明する。
従って説明する。
【００１３】本発明は、図４に示すように、多段積みト
レイ収納部において、最上段から二枚目のトレイの有無
を検出するセンサ１６を新たに設置するものである。
レイ収納部において、最上段から二枚目のトレイの有無
を検出するセンサ１６を新たに設置するものである。
【００１４】以下、作用について説明する。
【００１５】トレイを搬送する前はトレイ検出センサ
７，１６の二つとも「トレイ有り」の状態となっている
（図４）。次に、トレイ６が真空吸着で一枚上方に持ち
上げられた時は、トレイ検出センサ７は「トレイ無
し」、センサ１６は「トレイ有り」の状態となる（図
５）。
７，１６の二つとも「トレイ有り」の状態となっている
（図４）。次に、トレイ６が真空吸着で一枚上方に持ち
上げられた時は、トレイ検出センサ７は「トレイ無
し」、センサ１６は「トレイ有り」の状態となる（図
５）。
【００１６】さらに、トレイ６が真空吸着で複数枚上方
に持ち上げられた時は、トレイ検出センサ７，１６とも
に「トレイ無し」の状態となる（図６）。
に持ち上げられた時は、トレイ検出センサ７，１６とも
に「トレイ無し」の状態となる（図６）。
【００１７】すなわち、二つのトレイ検出センサ７，１
６の検出状態を判定することでトレイ６が一枚搬送され
たか、あるいは複数枚搬送されたかが区別できることに
なる。この判定のフローチャートを図７に示す。エラー
処理１は本発明とは、直接関係のないトレイ未吸着に対
する処理である。本発明の動作は、トレイ検出センサ
７，１６の二つともオフ（トレイ無し）の時であり、そ
の場合は、エラー処理２を起動して、トレイ搬送のトラ
ブルを防止するものである。制御装置１５はマイクロコ
ンピュータ等を使用しているので実際はトレイ検出セン
サ７，１６の検出状態をソフトウエア的に処理し、この
ような複数枚トレイの搬送をする恐れの有る時は（エラ
ー処理２に対応）、ＩＣハンドラの動作を停止し（トレ
イ６を元に戻す等）、警報を発生させて被害の拡大を防
ぐ方法を採用することも有る。
６の検出状態を判定することでトレイ６が一枚搬送され
たか、あるいは複数枚搬送されたかが区別できることに
なる。この判定のフローチャートを図７に示す。エラー
処理１は本発明とは、直接関係のないトレイ未吸着に対
する処理である。本発明の動作は、トレイ検出センサ
７，１６の二つともオフ（トレイ無し）の時であり、そ
の場合は、エラー処理２を起動して、トレイ搬送のトラ
ブルを防止するものである。制御装置１５はマイクロコ
ンピュータ等を使用しているので実際はトレイ検出セン
サ７，１６の検出状態をソフトウエア的に処理し、この
ような複数枚トレイの搬送をする恐れの有る時は（エラ
ー処理２に対応）、ＩＣハンドラの動作を停止し（トレ
イ６を元に戻す等）、警報を発生させて被害の拡大を防
ぐ方法を採用することも有る。
【００１８】次に、本発明の他の効果について説明す
る。
る。
【００１９】上記の動作の逆、すなわち、トレイをトレ
イ収納部へ収納する時の作用について説明する。
イ収納部へ収納する時の作用について説明する。
【００２０】上記と同様に真空吸着されたトレイ６を一
枚、トレイ収納部へ収納する時もトレイ検出センサ７で
トレイ６の有無を検出し、トレイ収納を確認している。
この場合、従来のトレイ検出センサ７が最上段の一つの
みの時は、トレイ６が何らかの原因で傾いて、あるいは
複数枚または厚さの異なるトレイが収納されてもトレイ
検出センサの状態は「トレイ有り」で、正常に水平にセ
ットされたか、傾いてセットされたかの区別ができない
欠点があった。図８は上記の状態を示すものである。
枚、トレイ収納部へ収納する時もトレイ検出センサ７で
トレイ６の有無を検出し、トレイ収納を確認している。
この場合、従来のトレイ検出センサ７が最上段の一つの
みの時は、トレイ６が何らかの原因で傾いて、あるいは
複数枚または厚さの異なるトレイが収納されてもトレイ
検出センサの状態は「トレイ有り」で、正常に水平にセ
ットされたか、傾いてセットされたかの区別ができない
欠点があった。図８は上記の状態を示すものである。
【００２１】本発明のように二つのトレイ検出センサを
設置し、真空吸着パッド１３が吸着しているトレイ６を
収納する前に、エレベータベース板５を上下駆動して多
段積みしたトレイ６の最上段の高さをトレイ検出センサ
１６がオン（トレイ有り）からオフ（トレイ無し）とな
る高さに調整し、トレイ検出センサ７，１６とも「トレ
イ無し」の状態にしておく（図９）。この後トレイ６を
収納した場合、水平にセットされた時は、トレイ検出セ
ンサ７は「トレイ無し」、トレイ検出センサ１６は「ト
レイ有り」の状態となる（図１０）。しかし、トレイが
傾いてセットされた時は、トレイ検出センサ７，１６の
二つとも「トレイ有り」の状態となる（図１１）。
設置し、真空吸着パッド１３が吸着しているトレイ６を
収納する前に、エレベータベース板５を上下駆動して多
段積みしたトレイ６の最上段の高さをトレイ検出センサ
１６がオン（トレイ有り）からオフ（トレイ無し）とな
る高さに調整し、トレイ検出センサ７，１６とも「トレ
イ無し」の状態にしておく（図９）。この後トレイ６を
収納した場合、水平にセットされた時は、トレイ検出セ
ンサ７は「トレイ無し」、トレイ検出センサ１６は「ト
レイ有り」の状態となる（図１０）。しかし、トレイが
傾いてセットされた時は、トレイ検出センサ７，１６の
二つとも「トレイ有り」の状態となる（図１１）。
【００２２】すなわち、二つのトレイ検出センサ７，１
６の検出状態を判定することでトレイが正常にセットさ
れたかを認識できる事になる。この判定のフローチャー
トを図１２に示す。トレイ検出センサ７，１６の二つと
も「トレイ有り」の状態では、トレイが正しくセットさ
れていないので、エラー処理３を実行するものである。
この判定も上記の搬送時の判定と同様にソフトウエア的
に処理することができる。
６の検出状態を判定することでトレイが正常にセットさ
れたかを認識できる事になる。この判定のフローチャー
トを図１２に示す。トレイ検出センサ７，１６の二つと
も「トレイ有り」の状態では、トレイが正しくセットさ
れていないので、エラー処理３を実行するものである。
この判定も上記の搬送時の判定と同様にソフトウエア的
に処理することができる。
【００２３】さらに本発明の他の効果について説明す
る。トレイエレベータが上下動作する時、トレイ検出セ
ンサ７，１６の状態を監視する事により、トレイエレベ
ータの診断を行う事ができる。これは、トレイエレベー
タを上昇させる時は、トレイ検出センサ１６が先にオフ
からオン状態となり、その後トレイ検出センサ７がオフ
からオンとなる。この状態変化の順番と、トレイ検出セ
ンサ１６がオンしてから、トレイ検出センサ７がオンす
るまでの時間を計測する事によりトレイエレベータの診
断を行う事ができる。同様にトレイエレベータが下降す
る場合は、トレイ検出センサ７，１６の順番にオンから
オフに状態が変化する。この様な状態変化を監視して、
上記の様な状態変化がない時は、トレイエレベータおよ
びトレイ検出センサ７，１６に異常が発生しているとし
て、警報等を発生して、操作者に知らせる事ができる。
る。トレイエレベータが上下動作する時、トレイ検出セ
ンサ７，１６の状態を監視する事により、トレイエレベ
ータの診断を行う事ができる。これは、トレイエレベー
タを上昇させる時は、トレイ検出センサ１６が先にオフ
からオン状態となり、その後トレイ検出センサ７がオフ
からオンとなる。この状態変化の順番と、トレイ検出セ
ンサ１６がオンしてから、トレイ検出センサ７がオンす
るまでの時間を計測する事によりトレイエレベータの診
断を行う事ができる。同様にトレイエレベータが下降す
る場合は、トレイ検出センサ７，１６の順番にオンから
オフに状態が変化する。この様な状態変化を監視して、
上記の様な状態変化がない時は、トレイエレベータおよ
びトレイ検出センサ７，１６に異常が発生しているとし
て、警報等を発生して、操作者に知らせる事ができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明により、多段積みトレイ収納部か
らトレイを搬送する時、複数枚トレイの搬送と、トレイ
収納時の異常収納の検出ができる。
らトレイを搬送する時、複数枚トレイの搬送と、トレイ
収納時の異常収納の検出ができる。
【図１】従来のＩＣハンドラにおける多段積みトレイ収
納部の斜視図。
納部の斜視図。
【図２】従来のトレイ収納部において、トレイを搬送す
る際に最上段から一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。
る際に最上段から一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。
【図３】従来のトレイ収納部において、トレイを搬送す
る際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のトレ
イ検出センサの状態を表わす説明図。
る際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のトレ
イ検出センサの状態を表わす説明図。
【図４】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際の搬送前のトレイ検出センサの状態を表わす説明
図。
する際の搬送前のトレイ検出センサの状態を表わす説明
図。
【図５】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際に最上段の一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。
する際に最上段の一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。
【図６】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のト
レイ検出センサの状態を表わす説明図。
する際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のト
レイ検出センサの状態を表わす説明図。
【図７】本発明のトレイ搬送判定のフローチャート。
【図８】従来のトレイ収納部において、トレイを収納す
る際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出セン
サの状態を表わす説明図。
る際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出セン
サの状態を表わす説明図。
【図９】本発明のトレイ収納部において、トレイを収納
する前のトレイ検出センサの状態を表わす説明図。
する前のトレイ検出センサの状態を表わす説明図。
【図１０】本発明のトレイ収納部において、トレイを収
納する際にトレイが水平にセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。
納する際にトレイが水平にセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。
【図１１】本発明のトレイ収納部において、トレイを収
納する際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。
納する際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。
【図１２】本発明のトレイ収納判定のフローチャート。
２…トレイガイド、５…エレベータベース板、６…トレ
イ、７…トレイ検出センサ、１２…ヘッド、１３…真空
吸着パッド、１５…制御装置、１６…トレイ検出セン
サ。
イ、７…トレイ検出センサ、１２…ヘッド、１３…真空
吸着パッド、１５…制御装置、１６…トレイ検出セン
サ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所空調システム事業部内
Claims (1)
- 【請求項１】多段積みのトレイ収納部に積み重ねられた
トレイの最上段トレイを検出するセンサと、最上段から
二枚目のトレイを検出するセンサを設置して、トレイの
複数枚の搬送を検出することを特徴とするＩＣハンド
ラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010794A JPH07218583A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｉｃハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010794A JPH07218583A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｉｃハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218583A true JPH07218583A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11760259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6010794A Pending JPH07218583A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｉｃハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218583A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040016734A (ko) * | 2002-08-19 | 2004-02-25 | 주식회사 실리콘 테크 | 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템 |
| KR20150142995A (ko) * | 2014-06-13 | 2015-12-23 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법 |
| JP2017154231A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | ファナック株式会社 | バラ積みワークのピッキングシステムおよびピッキング方法 |
| CN108172525A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-06-15 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 一种光伏层压件堆栈装置及其堆栈方法 |
| WO2018117229A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 搬送システム及びその運転方法 |
-
1994
- 1994-02-02 JP JP6010794A patent/JPH07218583A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040016734A (ko) * | 2002-08-19 | 2004-02-25 | 주식회사 실리콘 테크 | 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템 |
| KR20150142995A (ko) * | 2014-06-13 | 2015-12-23 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법 |
| JP2017154231A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | ファナック株式会社 | バラ積みワークのピッキングシステムおよびピッキング方法 |
| US10293494B2 (en) | 2016-03-03 | 2019-05-21 | Fanuc Corporation | Bulk workpiece picking system and method |
| WO2018117229A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 搬送システム及びその運転方法 |
| JP2018103279A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 川崎重工業株式会社 | 搬送システム及びその運転方法 |
| CN108172525A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-06-15 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 一种光伏层压件堆栈装置及其堆栈方法 |
| CN108172525B (zh) * | 2017-12-11 | 2020-09-18 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 一种光伏层压件堆栈装置及其堆栈方法 |
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