JPH07194911A - ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ - Google Patents
ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタInfo
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- JPH07194911A JPH07194911A JP6283181A JP28318194A JPH07194911A JP H07194911 A JPH07194911 A JP H07194911A JP 6283181 A JP6283181 A JP 6283181A JP 28318194 A JP28318194 A JP 28318194A JP H07194911 A JPH07194911 A JP H07194911A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 粒子を捕集でき且つホウ素濃度を１０ｎｇ／
ｍ3 に抑えることができるエアーフィルタを提供するこ
と。 【構成】 繊維径が０．２〜１２μｍガラス繊維を使用
して湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜２３％
の不斉炭素を２個以上持った多価アルコールまたはその
誘導体を添着して成る。
ｍ3 に抑えることができるエアーフィルタを提供するこ
と。 【構成】 繊維径が０．２〜１２μｍガラス繊維を使用
して湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜２３％
の不斉炭素を２個以上持った多価アルコールまたはその
誘導体を添着して成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、気体中の粒子及びガ
ス状ホウ素の捕集に利用されるろ紙、及びこれを使用し
たエアーフィルタに関するものである。
ス状ホウ素の捕集に利用されるろ紙、及びこれを使用し
たエアーフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のエアーフィルタとしては、例え
ば、ホウ珪酸ガラス繊維を湿式抄紙し、バインダー及び
撥水剤を添加したろ紙を使用したものがあり、これは塵
埃粒子を高い効率で捕集（０．３μｍ粒子を９９．９７
％以上）することができることから、ＬＳＩ等電子デバ
イス製造用クリーンルームの空気浄化用として広く使わ
れている。
ば、ホウ珪酸ガラス繊維を湿式抄紙し、バインダー及び
撥水剤を添加したろ紙を使用したものがあり、これは塵
埃粒子を高い効率で捕集（０．３μｍ粒子を９９．９７
％以上）することができることから、ＬＳＩ等電子デバ
イス製造用クリーンルームの空気浄化用として広く使わ
れている。
【０００３】しかしながら、電子デバイスの集積度の向
上に伴い、電子デバイスのクリーンルーム内の空気への
暴露時間が長くなるにつれ、電子デバイスの特性が劣化
する現象がしられるようになってきた。この劣化の原因
の一つとして、エアーフィルタに使用されているホウ珪
酸ガラス繊維からのホウ素の放出がある。即ち、クリー
ンルーム内の空気は大部分が再循環されており、エアー
フィルタから発生したホウ素はガス状でクリーンルーム
内に浮遊し、これが製造途中の電子デバイスに付着しそ
の特性を劣化させているのである。
上に伴い、電子デバイスのクリーンルーム内の空気への
暴露時間が長くなるにつれ、電子デバイスの特性が劣化
する現象がしられるようになってきた。この劣化の原因
の一つとして、エアーフィルタに使用されているホウ珪
酸ガラス繊維からのホウ素の放出がある。即ち、クリー
ンルーム内の空気は大部分が再循環されており、エアー
フィルタから発生したホウ素はガス状でクリーンルーム
内に浮遊し、これが製造途中の電子デバイスに付着しそ
の特性を劣化させているのである。
【０００４】尚、近年、１ＧのＬＳＩを製造するための
クリーンルームが必要となってきており、このクリーン
ルームではホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑える必
要があるといわれるようになってきた。
クリーンルームが必要となってきており、このクリーン
ルームではホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑える必
要があるといわれるようになってきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、粒子及びガス状ホウ素の両方を捕集できるろ材及び
エアーフィルタを提供することを課題とし、更に、粒子
を捕集でき且つホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 に抑えるこ
とができるエアーフィルタを提供することを課題とす
る。
は、粒子及びガス状ホウ素の両方を捕集できるろ材及び
エアーフィルタを提供することを課題とし、更に、粒子
を捕集でき且つホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 に抑えるこ
とができるエアーフィルタを提供することを課題とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明のろ紙やエアー
フィルタは、多価アルコール又はその誘導体を添着して
成るものとしている。尚、多価アルコール又はその誘導
体の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にすることが好
ましく、また、ろ紙の繊維径を０．２〜１２μｍとする
ことが好ましく、更に、多価アルコール又はその誘導体
が、シス位に水酸基を持った化合物であることが好まし
い。
フィルタは、多価アルコール又はその誘導体を添着して
成るものとしている。尚、多価アルコール又はその誘導
体の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にすることが好
ましく、また、ろ紙の繊維径を０．２〜１２μｍとする
ことが好ましく、更に、多価アルコール又はその誘導体
が、シス位に水酸基を持った化合物であることが好まし
い。
【０００７】他方、この発明のろ紙やエアーフィルタ
は、繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維を使用して
湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜２３％の不
斉炭素を２個以上持った多価アルコールまたはその誘導
体を添着して成るものとしている。尚、スチームドライ
ヤーの乾燥温度を１１５℃以下にして製作することが好
ましい。
は、繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維を使用して
湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜２３％の不
斉炭素を２個以上持った多価アルコールまたはその誘導
体を添着して成るものとしている。尚、スチームドライ
ヤーの乾燥温度を１１５℃以下にして製作することが好
ましい。
【０００８】
【作用】この発明は次のように作用する。
【０００９】このろ紙及びエアーフィルタでは、多価
アルコール又はその誘導体を添着してあるから、前記添
着物とホウ素が化学的に結合することになり、その結
果、粒子を捕集するのは勿論のこと、ガス状ホウ素をも
捕集できる。
アルコール又はその誘導体を添着してあるから、前記添
着物とホウ素が化学的に結合することになり、その結
果、粒子を捕集するのは勿論のこと、ガス状ホウ素をも
捕集できる。
【００１０】そして、多価アルコール又はその誘導体
の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にした場合には、
ホウ素の飽和吸着量が大きく且つろ紙としての圧力損失
の上昇を抑えられる。
の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にした場合には、
ホウ素の飽和吸着量が大きく且つろ紙としての圧力損失
の上昇を抑えられる。
【００１１】上記については、以下に示した実験結
果（表１、表２、図２）より明らかである。 〔実験１／ホウ素捕集試験〕図１に示す装置（図１中、
符号１０ａ，１０ｂは流量計、符号１１はメンブレンフ
ィルタ、符号１２はホウ酸水溶液、符号１３はメンブレ
ンフィルタ、符号１４は供試ろ紙、１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ，１５ｄは純水、１６ａ，１６ｂは流量計を示す）
により、ろ紙１cm2 当たり３．５×１０3ng のホウ素
（クリーンルム内の使用時間２．５×１０4 時間に相当
する）を負荷し、ろ材のホウ素捕集率の比較を行った。
結果を表１に示す。
果（表１、表２、図２）より明らかである。 〔実験１／ホウ素捕集試験〕図１に示す装置（図１中、
符号１０ａ，１０ｂは流量計、符号１１はメンブレンフ
ィルタ、符号１２はホウ酸水溶液、符号１３はメンブレ
ンフィルタ、符号１４は供試ろ紙、１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ，１５ｄは純水、１６ａ，１６ｂは流量計を示す）
により、ろ紙１cm2 当たり３．５×１０3ng のホウ素
（クリーンルム内の使用時間２．５×１０4 時間に相当
する）を負荷し、ろ材のホウ素捕集率の比較を行った。
結果を表１に示す。
【００１２】 上記表１から、繊維の種類にかかわらずN-メチル-D- グ
ルカミンを添着したものは添着しないものと比較してホ
ウ素捕集率は非常に優れていることが判る。 〔実験２／添着量を変化させた場合のホウ素捕集試験及
びろ紙の圧力損失試験〕先ず、ホウ珪酸繊維に対するN-
メチル-D- グルカミンの添着量を変え、実験１と同じ装
置にて、ホウ素捕集率及びろ紙の圧力損失（通風速度
５．３cm/s時）の変化を比較した。その結果を図２に示
す。
ルカミンを添着したものは添着しないものと比較してホ
ウ素捕集率は非常に優れていることが判る。 〔実験２／添着量を変化させた場合のホウ素捕集試験及
びろ紙の圧力損失試験〕先ず、ホウ珪酸繊維に対するN-
メチル-D- グルカミンの添着量を変え、実験１と同じ装
置にて、ホウ素捕集率及びろ紙の圧力損失（通風速度
５．３cm/s時）の変化を比較した。その結果を図２に示
す。
【００１３】この図２より、ホウ素の捕集率を高く（捕
集率を８０％以上）し、且つろ紙の圧力損失の上昇を小
さく（圧力損失上昇率２５％以下）抑えるためには、N-
メチル-D- グルカミンの紙重量当たりの添着量は０．２
〜２３％が好ましいことが判る。
集率を８０％以上）し、且つろ紙の圧力損失の上昇を小
さく（圧力損失上昇率２５％以下）抑えるためには、N-
メチル-D- グルカミンの紙重量当たりの添着量は０．２
〜２３％が好ましいことが判る。
【００１４】また、多価アルコール又はその誘導体をN-
メチル-D- グルカミン以外のものとし、その添着量をろ
紙重量の７％とした場合には、ホウ素捕集率及びろ紙の
圧力損失は以下の表２に示したものとなる。尚、ろ紙の
圧力損失測定に採用した通風速度は５．３cm/sである。 上記表２より、N-メチル-D- グルカミン以外であって
も、多価アルコール又はその誘導体を添着すればホウ素
捕集率は優れたもの（ショ糖、D-グルコサミン塩酸塩を
添着した場合の捕集率は８０％に至っていないが、全く
何も添着していないものと比較するとその効果を有する
ことは明らかである）となり、また、ろ紙の圧力損失の
上昇もほとんど無いことが判る。
メチル-D- グルカミン以外のものとし、その添着量をろ
紙重量の７％とした場合には、ホウ素捕集率及びろ紙の
圧力損失は以下の表２に示したものとなる。尚、ろ紙の
圧力損失測定に採用した通風速度は５．３cm/sである。 上記表２より、N-メチル-D- グルカミン以外であって
も、多価アルコール又はその誘導体を添着すればホウ素
捕集率は優れたもの（ショ糖、D-グルコサミン塩酸塩を
添着した場合の捕集率は８０％に至っていないが、全く
何も添着していないものと比較するとその効果を有する
ことは明らかである）となり、また、ろ紙の圧力損失の
上昇もほとんど無いことが判る。
【００１５】尚、実際の通風速度は１．０cm/s程度であ
り、ろ紙の圧力損失の上昇に関してほとんど影響しな
い。 〔実験３／添着量を変化させた場合におけるろ紙からの
ホウ素発生試験〕ホウ珪酸繊維に対するＬ−酒石酸の添
着量を変え、図３の装置（符号２０は供試ろ紙、符号２
１ａ，２１ｂは純水入りバブラ、符号２２は流量計、符
号２３はエアーポンプを示す）にてホウ素発生量の試験
（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％ＲＨ）を
行った。その結果を図４に示す。
り、ろ紙の圧力損失の上昇に関してほとんど影響しな
い。 〔実験３／添着量を変化させた場合におけるろ紙からの
ホウ素発生試験〕ホウ珪酸繊維に対するＬ−酒石酸の添
着量を変え、図３の装置（符号２０は供試ろ紙、符号２
１ａ，２１ｂは純水入りバブラ、符号２２は流量計、符
号２３はエアーポンプを示す）にてホウ素発生量の試験
（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％ＲＨ）を
行った。その結果を図４に示す。
【００１６】この図４より、ホウ素の発生量を低く抑え
るためには、Ｌ−酒石酸の紙重量当たりの添着量は１％
以上（ホウ素発生量１０ｎｇ／ｍ3 以下となる）が好ま
しいことが判る。
るためには、Ｌ−酒石酸の紙重量当たりの添着量は１％
以上（ホウ素発生量１０ｎｇ／ｍ3 以下となる）が好ま
しいことが判る。
【００１７】次に、ホウ珪酸繊維にろ紙重量の５％の多
価アルコールまたはその誘導体を添着し、図３に示す装
置により、各供試ろ紙から発生するホウ素の発生量比較
試験（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％Ｒ
Ｈ）を行った。その結果を表３に示す。 上記表３より、多価アルコールまたはその誘導体を添着
することによりホウ素発生量を１／７以下に抑えること
ができる。
価アルコールまたはその誘導体を添着し、図３に示す装
置により、各供試ろ紙から発生するホウ素の発生量比較
試験（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％Ｒ
Ｈ）を行った。その結果を表３に示す。 上記表３より、多価アルコールまたはその誘導体を添着
することによりホウ素発生量を１／７以下に抑えること
ができる。
【００１８】また、Ｌ−酒石酸やＤ−ソルビトールの如
き不斉炭素を２個以上持つものではホウ素発生量を１／
３０以下（１０ｎｇ／ｍ3 以下）に抑え得ることが明ら
かである。これは、不斉炭素を２個以上持っている方が
ホウ素と安定な結合をする構造になる確率が高いためで
あると考えられる。 〔実験４／ろ紙の乾燥方法とホウ素発生量との関係を調
べる試験〕抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンを含浸させた後、
エアードライヤーとスチームドライヤーでろ紙を乾燥さ
せ、図３の装置にてホウ素発生試験を行ったところ以下
の表４に示すような結果がでた。
き不斉炭素を２個以上持つものではホウ素発生量を１／
３０以下（１０ｎｇ／ｍ3 以下）に抑え得ることが明ら
かである。これは、不斉炭素を２個以上持っている方が
ホウ素と安定な結合をする構造になる確率が高いためで
あると考えられる。 〔実験４／ろ紙の乾燥方法とホウ素発生量との関係を調
べる試験〕抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンを含浸させた後、
エアードライヤーとスチームドライヤーでろ紙を乾燥さ
せ、図３の装置にてホウ素発生試験を行ったところ以下
の表４に示すような結果がでた。
【００１９】 〔実験５／ろ紙の乾燥温度とホウ素発生量との関係を調
べる試験〕抄造後のろ紙を、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンに浸漬し、スチー
ムドライヤーにて温度を変えて乾燥させた。このろ紙か
らのホウ素発生量を図３の装置にて測定した。その結果
を図５に示す。
べる試験〕抄造後のろ紙を、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンに浸漬し、スチー
ムドライヤーにて温度を変えて乾燥させた。このろ紙か
らのホウ素発生量を図３の装置にて測定した。その結果
を図５に示す。
【００２０】図５より乾燥温度が低い方が好ましいこと
が判る。これは、スチームドライヤーではドラムにろ紙
を巻き付けて乾燥するため、乾燥時に生じる水蒸気とと
もにバインダーが移行してしまうといわれていることと
同様に添着した薬品が移行し薬品の分布に偏りが生じ、
ホウ素が発生しやすくなったと考えられる。よって、ホ
ウ素発生量を低く（１０ｎｇ／ｍ3 以下）するためには
スチームドライヤーの温度を１１５℃以下にすることが
好ましいことが判る。
が判る。これは、スチームドライヤーではドラムにろ紙
を巻き付けて乾燥するため、乾燥時に生じる水蒸気とと
もにバインダーが移行してしまうといわれていることと
同様に添着した薬品が移行し薬品の分布に偏りが生じ、
ホウ素が発生しやすくなったと考えられる。よって、ホ
ウ素発生量を低く（１０ｎｇ／ｍ3 以下）するためには
スチームドライヤーの温度を１１５℃以下にすることが
好ましいことが判る。
【００２１】
【実施例】以下、この発明の構成を実施例として示した
図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のエアーフィルタは、アルミニ
ウム型材の枠にジグザグ状に折ったろ紙を外周気密状態
に取り付けたものであり、前記ろ紙は、基礎材料として
ホウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊維径分布０．
２〜２．６５μm 、平均径０．８５μm ）と、前記細径
繊維相互の結合を補強するための少量の太径繊維（Ｅガ
ラス繊維：酸化珪素５５％、酸化ホウ素８％、酸化カル
シウム１７％、他 繊維径分布８〜２４μm ）と、これ
らに添着された紙重量の７％のN-メチル-D- グルカミン
（化学式 CH3NHCH2(HCOH)4CH2OH ）とから構成されてい
る。
図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のエアーフィルタは、アルミニ
ウム型材の枠にジグザグ状に折ったろ紙を外周気密状態
に取り付けたものであり、前記ろ紙は、基礎材料として
ホウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊維径分布０．
２〜２．６５μm 、平均径０．８５μm ）と、前記細径
繊維相互の結合を補強するための少量の太径繊維（Ｅガ
ラス繊維：酸化珪素５５％、酸化ホウ素８％、酸化カル
シウム１７％、他 繊維径分布８〜２４μm ）と、これ
らに添着された紙重量の７％のN-メチル-D- グルカミン
（化学式 CH3NHCH2(HCOH)4CH2OH ）とから構成されてい
る。
【００２２】このエアーフィルタは、以下の〜の作
業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維からなる細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μm 、平均径０．
８５μm ）と、前記細径繊維相互の結合を補強するため
の少量の太径繊維（Ｅガラス繊維：酸化珪素５５％、酸
化ホウ素８％、酸化カルシウム１７％、他 繊維径分布
８〜２４μm ）とを硫酸溶液にてｐＨ２にした水中に分
散させ抄造する。
業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維からなる細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μm 、平均径０．
８５μm ）と、前記細径繊維相互の結合を補強するため
の少量の太径繊維（Ｅガラス繊維：酸化珪素５５％、酸
化ホウ素８％、酸化カルシウム１７％、他 繊維径分布
８〜２４μm ）とを硫酸溶液にてｐＨ２にした水中に分
散させ抄造する。
【００２３】前記抄造後、バインダーとして溶液重量
当たり２％のアクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当た
り０．３％のフッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のN-
メチル-D- グルカミンを添加したエマルジョンに浸漬
し、シート状にして乾燥させてろ紙を製造する。
当たり２％のアクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当た
り０．３％のフッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のN-
メチル-D- グルカミンを添加したエマルジョンに浸漬
し、シート状にして乾燥させてろ紙を製造する。
【００２４】そして、上記ろ紙をジグザグ状に折り、
ウレタン系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取
付けると、上記エアーフィルタ（以下、このエアーフィ
ルタの付記号をＡＦとする）は製作できる。
ウレタン系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取
付けると、上記エアーフィルタ（以下、このエアーフィ
ルタの付記号をＡＦとする）は製作できる。
【００２５】ここで、上記のようにして製作したエアー
フィルタＡＦを使用して実際のクリーンルームＣＲ内で
ホウ素捕集率の測定を行った。図６にクリーンルームＣ
Ｒ及びホウ素濃度測定装置５，５’を示す。
フィルタＡＦを使用して実際のクリーンルームＣＲ内で
ホウ素捕集率の測定を行った。図６にクリーンルームＣ
Ｒ及びホウ素濃度測定装置５，５’を示す。
【００２６】クリーンルームＣＲは、図６に示すよう
に、天井部を多数のULPAフィルタ３ａにより構成してあ
ると共に床部を空気通過孔を有する床板材４ａにより構
成してある。そして、同図に示すように、前記ULPAフィ
ルタ３ａの上方部に空気供給室３を、前記床板材４ａの
下方部に空気排出室４を、それぞれ設けると共に前記空
気供給室３と空気排出室４相互を配管接続し、クリーン
ルームＣＲ内の空気を循環すると共に空気の循環途中に
おいて一部の循環空気を排出し且つ外気を取入れるよう
にしている。
に、天井部を多数のULPAフィルタ３ａにより構成してあ
ると共に床部を空気通過孔を有する床板材４ａにより構
成してある。そして、同図に示すように、前記ULPAフィ
ルタ３ａの上方部に空気供給室３を、前記床板材４ａの
下方部に空気排出室４を、それぞれ設けると共に前記空
気供給室３と空気排出室４相互を配管接続し、クリーン
ルームＣＲ内の空気を循環すると共に空気の循環途中に
おいて一部の循環空気を排出し且つ外気を取入れるよう
にしている。
【００２７】ホウ素濃度測定装置５は、図６に示すよう
に、エアーフィルタＡＦを通過直後の空気のホウ素濃度
を測定するものであり、純水バブラ５１，５１と、エア
ーフィルタＡＦを通過した空気を前記純水バブラ５１，
５１を介して吸引するエアーポンプ５２と、前記エアー
ポンプ５２の空気吸引量を調整する流量計５３とから構
成されている。尚、前記エアーフィルタＡＦの近傍に
は、これにクリーンルームＣＲ内の空気を強制的に通過
させるためのファン５０を設けてある。
に、エアーフィルタＡＦを通過直後の空気のホウ素濃度
を測定するものであり、純水バブラ５１，５１と、エア
ーフィルタＡＦを通過した空気を前記純水バブラ５１，
５１を介して吸引するエアーポンプ５２と、前記エアー
ポンプ５２の空気吸引量を調整する流量計５３とから構
成されている。尚、前記エアーフィルタＡＦの近傍に
は、これにクリーンルームＣＲ内の空気を強制的に通過
させるためのファン５０を設けてある。
【００２８】ホウ素濃度測定装置５’は、図６に示すよ
うに、クリーンルームＣＲ内の空気のホウ素濃度を測定
するものであり、その構成は上記ホウ素濃度測定装置５
と同様としてある。
うに、クリーンルームＣＲ内の空気のホウ素濃度を測定
するものであり、その構成は上記ホウ素濃度測定装置５
と同様としてある。
【００２９】尚、これらホウ素濃度測定装置５，５’に
よるホウ素濃度測定値は、前記純水バブラ５１の回収液
中のホウ素の濃度をICP-MS（高周波誘導結合プラズマ質
量分析装置）にて測定して得られたものであり、これら
濃度測定装置５，５’によるホウ素濃度の測定値からエ
アーフィルタＡＦのホウ素捕集率を求めた。また、上記
と同様に、N-メチル-D- グルカミンを添着していないホ
ウ珪酸繊維からなるろ紙を使用したエアーフィルタＡＦ
も製作し、ホウ素の捕集率を測定した。そして、クリー
ンルーム内の空気をそれぞれのエアーフィルタＡＦに連
続して二箇月通風した後、再度、両者のエアーフィルタ
ＡＦのホウ素捕集率を測定した。これらの結果を図７に
示す。
よるホウ素濃度測定値は、前記純水バブラ５１の回収液
中のホウ素の濃度をICP-MS（高周波誘導結合プラズマ質
量分析装置）にて測定して得られたものであり、これら
濃度測定装置５，５’によるホウ素濃度の測定値からエ
アーフィルタＡＦのホウ素捕集率を求めた。また、上記
と同様に、N-メチル-D- グルカミンを添着していないホ
ウ珪酸繊維からなるろ紙を使用したエアーフィルタＡＦ
も製作し、ホウ素の捕集率を測定した。そして、クリー
ンルーム内の空気をそれぞれのエアーフィルタＡＦに連
続して二箇月通風した後、再度、両者のエアーフィルタ
ＡＦのホウ素捕集率を測定した。これらの結果を図７に
示す。
【００３０】他方、N-メチル-D- グルカミンを添着した
石英繊維から成るろ紙と、N-メチル-D- グルカミンを添
着していない石英繊維のみから成るろ紙についても上記
と同様の試験を行った。その結果を図８に示す。 〔N-メチル-D- グルカミンの添着処理方法の態様につい
て〕N-メチル-D- グルカミンの添着処理は以下の〜
により行える。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水剤）＋
（N-メチル-D- グルカミン）のエマルジョンをスプレー
または浸漬により含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、バインダーを含浸させた後、撥水
剤とN-メチル-D- グルカミンの溶液をスプレーまたは浸
漬によりろ紙に含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（N-メチル-D-
グルカミン）のエマ ルジョンをスプレーまたは浸漬に
より含浸させ、撥水剤の溶液スプレーまたは 浸漬によ
りろ紙に含浸させる。
石英繊維から成るろ紙と、N-メチル-D- グルカミンを添
着していない石英繊維のみから成るろ紙についても上記
と同様の試験を行った。その結果を図８に示す。 〔N-メチル-D- グルカミンの添着処理方法の態様につい
て〕N-メチル-D- グルカミンの添着処理は以下の〜
により行える。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水剤）＋
（N-メチル-D- グルカミン）のエマルジョンをスプレー
または浸漬により含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、バインダーを含浸させた後、撥水
剤とN-メチル-D- グルカミンの溶液をスプレーまたは浸
漬によりろ紙に含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（N-メチル-D-
グルカミン）のエマ ルジョンをスプレーまたは浸漬に
より含浸させ、撥水剤の溶液スプレーまたは 浸漬によ
りろ紙に含浸させる。
【００３１】 表５から、N-メチル-D- グルカミンの添着は、方法Ａ，
Ｂ，Ｃのようにバインダーと同時またはバインダー添加
の後工程でおこなうのが好ましく、方法Ｄのように抄造
後のろ紙に、N-メチル-D- グルカミン溶液をスプレーま
たは、浸漬により含浸させた後、（バインダー）＋（撥
水剤）のエマルジョンをスプレーまたは、浸漬によりろ
紙に含浸すると高い効果が得られにくいことが判った。
Ｂ，Ｃのようにバインダーと同時またはバインダー添加
の後工程でおこなうのが好ましく、方法Ｄのように抄造
後のろ紙に、N-メチル-D- グルカミン溶液をスプレーま
たは、浸漬により含浸させた後、（バインダー）＋（撥
水剤）のエマルジョンをスプレーまたは、浸漬によりろ
紙に含浸すると高い効果が得られにくいことが判った。
【００３２】したがって、この実施例の添着方法にかえ
て、方法Ｂ，Ｃが採用できる。 （実施例２）この実施例はＬ−酒石酸を添着したろ紙で
あり、ろ紙を構成する細径繊維及び太径繊維については
上記実施例１と同様のものである。また、ろ紙の製造方
法は実施例１とほぼ同様であり、抄造後のろ紙に、（バ
インダー）＋（撥水剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョ
ンを含浸させた後、スチームドライヤー（１１５℃×６
ｍｉｎ）で乾燥させてある。
て、方法Ｂ，Ｃが採用できる。 （実施例２）この実施例はＬ−酒石酸を添着したろ紙で
あり、ろ紙を構成する細径繊維及び太径繊維については
上記実施例１と同様のものである。また、ろ紙の製造方
法は実施例１とほぼ同様であり、抄造後のろ紙に、（バ
インダー）＋（撥水剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョ
ンを含浸させた後、スチームドライヤー（１１５℃×６
ｍｉｎ）で乾燥させてある。
【００３３】このろ紙からのホウ素発生量を図３に示し
た装置にて測定すると、作用の欄に示した図５から明ら
かなように１０ｎｇ／ｍ3 であった。即ち、このろ紙を
使用したエアーフィルタを採用すると、１ＧのＬＳＩを
製造するためのクリーンルーム（エアー１ｍ3 当たりの
ホウ素濃度１０ｎｇ／ｍ3 以下）をつくることができ、
スチームドライヤーの温度を１１５℃未満にすることに
より更にホウ素濃度が低いクリーンルームをつくること
もできる。
た装置にて測定すると、作用の欄に示した図５から明ら
かなように１０ｎｇ／ｍ3 であった。即ち、このろ紙を
使用したエアーフィルタを採用すると、１ＧのＬＳＩを
製造するためのクリーンルーム（エアー１ｍ3 当たりの
ホウ素濃度１０ｎｇ／ｍ3 以下）をつくることができ、
スチームドライヤーの温度を１１５℃未満にすることに
より更にホウ素濃度が低いクリーンルームをつくること
もできる。
【００３４】尚、Ｄ−ソルビトールを添着したろ紙の場
合も、作用の欄に記載したようにこの実施例２とほぼ同
様の効果を奏する。
合も、作用の欄に記載したようにこの実施例２とほぼ同
様の効果を奏する。
【００３５】また、繊維径が０．２〜１２μｍのガラス
繊維を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の
１〜２３％の不斉炭素を２個以上持った多価アルコール
またはその誘導体を添着したものであればこの実施例２
と同様の効果を奏することとなる。
繊維を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の
１〜２３％の不斉炭素を２個以上持った多価アルコール
またはその誘導体を添着したものであればこの実施例２
と同様の効果を奏することとなる。
【００３６】更に、上記実施例２では、ろ紙の乾燥にス
チームドライヤーを採用したが、これに限定されること
なく、エアードライヤーを採用することもできる。
チームドライヤーを採用したが、これに限定されること
なく、エアードライヤーを採用することもできる。
【００３７】
【発明の効果】この発明は上記のような構成であるか
ら、次の効果を有する。
ら、次の効果を有する。
【００３８】作用に記載した内容から、粒子及びガス状
ホウ素の両方を捕集できるろ材及びエアーフィルタを提
供できた。
ホウ素の両方を捕集できるろ材及びエアーフィルタを提
供できた。
【図１】ホウ素捕集率評価に使用した装置の概念図。
【図２】N-メチル-D- グルカミンの添着量を変えた場合
におけるホウ素捕集率とろ紙の圧力損失の変化を示した
グラフ。
におけるホウ素捕集率とろ紙の圧力損失の変化を示した
グラフ。
【図３】供試フィルタからのホウ素発生量評価に使用し
た装置の概念図。
た装置の概念図。
【図４】ろ紙に添着したＬ−酒石酸の紙重量当りの添着
量とホウ素発生量との関係を示すグラフ。
量とホウ素発生量との関係を示すグラフ。
【図５】ろ紙の乾燥温度とホウ素発生量との関係を示す
グラフ。
グラフ。
【図６】この発明のエアーフィルタのホウ素捕集率評価
に使用した装置の概念図。
に使用した装置の概念図。
【図７】N-メチル-D- グルカミンを添着したホウ珪酸繊
維から成るエアーフィルタと、ホウ珪酸繊維のみで構成
されたエアーフィルタのホウ素捕集率の通風期間による
変化を示すグラフ。
維から成るエアーフィルタと、ホウ珪酸繊維のみで構成
されたエアーフィルタのホウ素捕集率の通風期間による
変化を示すグラフ。
【図８】N-メチル-D- グルカミンを添着した石英繊維か
ら成るエアーフィルタと、石英繊維のみで構成されたエ
アーフィルタにおけるホウ素捕集率の通風期間による変
化を示すグラフ。
ら成るエアーフィルタと、石英繊維のみで構成されたエ
アーフィルタにおけるホウ素捕集率の通風期間による変
化を示すグラフ。
３ 空気供給室 ３ａ ULPAフィルタ ４ 空気排出室 ４ａ 床板材 ５ ホウ素濃度測定装置 ５’ ホウ素濃度測定装置 ５０ ファン ５１ 純水バブラ ５２ エアーポンプ ５３ 流量計
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/46
Claims (7)
- 【請求項１】 多価アルコール又はその誘導体を添着し
て成ることを特徴とするろ紙。 - 【請求項２】 紙重量の０．２〜２３％の多価アルコー
ル又はその誘導体を添着して成ることを特徴とするろ
紙。 - 【請求項３】 繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維
を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の０．
２〜２３％の多価アルコール又はその誘導体を添着して
成ること特徴とするろ紙。 - 【請求項４】 多価アルコール又はその誘導体が、シス
位に水酸基を持った化合物であることを特徴とする請求
項１乃至３のいずれかに記載のろ紙。 - 【請求項５】 繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維
を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜
２３％の不斉炭素を２個以上持った多価アルコールまた
はその誘導体を添着して成ることを特徴とするろ紙。 - 【請求項６】 スチームドライヤーの乾燥温度を１１５
℃以下にして製作したことを特徴とする請求項１乃至５
のいずれかに記載のろ紙。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載のろ紙
を構成部材として成るエアーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6283181A JPH07194911A (ja) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-298243 | 1993-11-29 | ||
| JP29824393 | 1993-11-29 | ||
| JP6283181A JPH07194911A (ja) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07194911A true JPH07194911A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=26554932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6283181A Pending JPH07194911A (ja) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07194911A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998004334A1 (fr) * | 1996-07-25 | 1998-02-05 | Nikki-Universal Co., Ltd. | Filtre d'epuration d'air |
| JPH10192623A (ja) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | ボロン除去用フィルタ及び汚染気体浄化方法 |
| JP2007203295A (ja) * | 1996-07-25 | 2007-08-16 | Nikki Universal Co Ltd | 空気浄化フィルター |
-
1994
- 1994-11-17 JP JP6283181A patent/JPH07194911A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998004334A1 (fr) * | 1996-07-25 | 1998-02-05 | Nikki-Universal Co., Ltd. | Filtre d'epuration d'air |
| JP2007203295A (ja) * | 1996-07-25 | 2007-08-16 | Nikki Universal Co Ltd | 空気浄化フィルター |
| JPH10192623A (ja) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | ボロン除去用フィルタ及び汚染気体浄化方法 |
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