JPH07194911A - Filter paper and air filter using the same - Google Patents
Filter paper and air filter using the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、気体中の粒子及びガ
ス状ホウ素の捕集に利用されるろ紙、及びこれを使用し
たエアーフィルタに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter paper used for collecting particles and gaseous boron in a gas, and an air filter using the filter paper.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のエアーフィルタとしては、例え
ば、ホウ珪酸ガラス繊維を湿式抄紙し、バインダー及び
撥水剤を添加したろ紙を使用したものがあり、これは塵
埃粒子を高い効率で捕集（０．３μｍ粒子を９９．９７
％以上）することができることから、ＬＳＩ等電子デバ
イス製造用クリーンルームの空気浄化用として広く使わ
れている。2. Description of the Related Art As a conventional air filter, for example, there is one that uses a wet paper made of borosilicate glass fiber and uses a filter paper to which a binder and a water repellent are added, which collects dust particles with high efficiency ( 99.97 0.3 μm particles
% Or more), it is widely used for air purification in clean rooms for manufacturing electronic devices such as LSI.
【０００３】しかしながら、電子デバイスの集積度の向
上に伴い、電子デバイスのクリーンルーム内の空気への
暴露時間が長くなるにつれ、電子デバイスの特性が劣化
する現象がしられるようになってきた。この劣化の原因
の一つとして、エアーフィルタに使用されているホウ珪
酸ガラス繊維からのホウ素の放出がある。即ち、クリー
ンルーム内の空気は大部分が再循環されており、エアー
フィルタから発生したホウ素はガス状でクリーンルーム
内に浮遊し、これが製造途中の電子デバイスに付着しそ
の特性を劣化させているのである。However, as the degree of integration of electronic devices has improved, as the exposure time of the electronic devices to the air in the clean room becomes longer, the characteristics of the electronic devices deteriorate. One of the causes of this deterioration is the release of boron from the borosilicate glass fiber used in the air filter. That is, most of the air in the clean room is recirculated, and the boron generated from the air filter is gaseous and floats in the clean room, which adheres to the electronic device in the process of manufacturing and deteriorates its characteristics. .
【０００４】尚、近年、１ＧのＬＳＩを製造するための
クリーンルームが必要となってきており、このクリーン
ルームではホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑える必
要があるといわれるようになってきた。In recent years, a clean room for manufacturing a 1G LSI has been required, and it has been said that it is necessary to control the boron concentration to 10 ng / m 3 or less in this clean room.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、粒子及びガス状ホウ素の両方を捕集できるろ材及び
エアーフィルタを提供することを課題とし、更に、粒子
を捕集でき且つホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 に抑えるこ
とができるエアーフィルタを提供することを課題とす
る。Therefore, an object of the present invention is to provide a filter medium and an air filter capable of collecting both particles and gaseous boron, and further, to collect particles and a boron concentration of 10 ng. An object of the present invention is to provide an air filter that can suppress the amount to / m 3 .
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明のろ紙やエアー
フィルタは、多価アルコール又はその誘導体を添着して
成るものとしている。尚、多価アルコール又はその誘導
体の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にすることが好
ましく、また、ろ紙の繊維径を０．２〜１２μｍとする
ことが好ましく、更に、多価アルコール又はその誘導体
が、シス位に水酸基を持った化合物であることが好まし
い。The filter paper and air filter of the present invention are formed by adhering a polyhydric alcohol or a derivative thereof. The amount of the polyhydric alcohol or its derivative impregnated is preferably 0.2 to 23% of the weight of the paper, and the fiber diameter of the filter paper is preferably 0.2 to 12 μm. The alcohol or its derivative is preferably a compound having a hydroxyl group at the cis position.
【０００７】他方、この発明のろ紙やエアーフィルタ
は、繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維を使用して
湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜２３％の不
斉炭素を２個以上持った多価アルコールまたはその誘導
体を添着して成るものとしている。尚、スチームドライ
ヤーの乾燥温度を１１５℃以下にして製作することが好
ましい。On the other hand, the filter paper and the air filter of the present invention are produced by a wet method using glass fibers having a fiber diameter of 0.2 to 12 μm, and 1 to 23% of asymmetric carbon of the paper weight is added to the paper. A polyhydric alcohol or a derivative thereof having more than one is impregnated. It is preferable that the steam dryer is manufactured at a drying temperature of 115 ° C. or lower.
【０００８】[0008]
【作用】この発明は次のように作用する。The present invention operates as follows.
【０００９】このろ紙及びエアーフィルタでは、多価
アルコール又はその誘導体を添着してあるから、前記添
着物とホウ素が化学的に結合することになり、その結
果、粒子を捕集するのは勿論のこと、ガス状ホウ素をも
捕集できる。In the filter paper and the air filter, since the polyhydric alcohol or its derivative is impregnated, the impregnated substance and boron are chemically bound, and as a result, the particles are collected. That is, gaseous boron can also be collected.
【００１０】そして、多価アルコール又はその誘導体
の添着量を、紙重量の０．２〜２３％にした場合には、
ホウ素の飽和吸着量が大きく且つろ紙としての圧力損失
の上昇を抑えられる。When the amount of polyhydric alcohol or its derivative impregnated is 0.2 to 23% of the weight of paper,
The saturated adsorption amount of boron is large and an increase in pressure loss as a filter paper can be suppressed.
【００１１】上記については、以下に示した実験結
果（表１、表２、図２）より明らかである。 〔実験１／ホウ素捕集試験〕図１に示す装置（図１中、
符号１０ａ，１０ｂは流量計、符号１１はメンブレンフ
ィルタ、符号１２はホウ酸水溶液、符号１３はメンブレ
ンフィルタ、符号１４は供試ろ紙、１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ，１５ｄは純水、１６ａ，１６ｂは流量計を示す）
により、ろ紙１cm2 当たり３．５×１０3ng のホウ素
（クリーンルム内の使用時間２．５×１０4 時間に相当
する）を負荷し、ろ材のホウ素捕集率の比較を行った。
結果を表１に示す。The above is clear from the following experimental results (Table 1, Table 2, FIG. 2). [Experiment 1 / Boron collection test] The device shown in FIG. 1 (in FIG. 1,
Reference numerals 10a and 10b are flowmeters, reference numeral 11 is a membrane filter, reference numeral 12 is a boric acid aqueous solution, reference numeral 13 is a membrane filter, reference numeral 14 is a sample filter paper, and 15a, 15b, 1
5c and 15d are pure water, and 16a and 16b are flowmeters.)
Thus, 3.5 × 10 3 ng of boron per 1 cm 2 of filter paper (corresponding to 2.5 × 10 4 hours of use in cleanroom) was loaded, and the boron collection rates of the filter media were compared.
The results are shown in Table 1.
【００１２】 上記表１から、繊維の種類にかかわらずN-メチル-D- グ
ルカミンを添着したものは添着しないものと比較してホ
ウ素捕集率は非常に優れていることが判る。 〔実験２／添着量を変化させた場合のホウ素捕集試験及
びろ紙の圧力損失試験〕先ず、ホウ珪酸繊維に対するN-
メチル-D- グルカミンの添着量を変え、実験１と同じ装
置にて、ホウ素捕集率及びろ紙の圧力損失（通風速度
５．３cm/s時）の変化を比較した。その結果を図２に示
す。[0012] It can be seen from Table 1 above that regardless of the type of fiber, the one with N-methyl-D-glucamine impregnated has a very excellent boron collection rate as compared with the one without N-methyl-D-glucamine. [Experiment 2 / Boron collection test and filter paper pressure loss test when the amount of impregnation was changed] First, N- for borosilicate fiber
The amount of methyl-D-glucamine impregnated was changed, and changes in the boron collection rate and the pressure loss of the filter paper (ventilation speed of 5.3 cm / s) were compared in the same device as in Experiment 1. The result is shown in FIG.
【００１３】この図２より、ホウ素の捕集率を高く（捕
集率を８０％以上）し、且つろ紙の圧力損失の上昇を小
さく（圧力損失上昇率２５％以下）抑えるためには、N-
メチル-D- グルカミンの紙重量当たりの添着量は０．２
〜２３％が好ましいことが判る。From FIG. 2, in order to increase the collection rate of boron (collection rate of 80% or more) and suppress the increase of pressure loss of the filter paper (pressure loss increase rate of 25% or less), N -
Methyl-D-glucamine impregnation amount per paper weight is 0.2
It can be seen that -23% is preferable.
【００１４】また、多価アルコール又はその誘導体をN-
メチル-D- グルカミン以外のものとし、その添着量をろ
紙重量の７％とした場合には、ホウ素捕集率及びろ紙の
圧力損失は以下の表２に示したものとなる。尚、ろ紙の
圧力損失測定に採用した通風速度は５．３cm/sである。 上記表２より、N-メチル-D- グルカミン以外であって
も、多価アルコール又はその誘導体を添着すればホウ素
捕集率は優れたもの（ショ糖、D-グルコサミン塩酸塩を
添着した場合の捕集率は８０％に至っていないが、全く
何も添着していないものと比較するとその効果を有する
ことは明らかである）となり、また、ろ紙の圧力損失の
上昇もほとんど無いことが判る。In addition, the polyhydric alcohol or its derivative is N-
When a substance other than methyl-D-glucamine is used and the impregnation amount is 7% of the weight of the filter paper, the boron collection rate and the pressure loss of the filter paper are as shown in Table 2 below. The ventilation speed used for measuring the pressure loss of the filter paper is 5.3 cm / s. From Table 2 above, even if it is other than N-methyl-D-glucamine, if the polyhydric alcohol or its derivative is impregnated, the boron collection rate is excellent (when sucrose or D-glucosamine hydrochloride is impregnated. Although the collection rate has not reached 80%, it is clear that it has the effect compared to the case where nothing is attached at all), and it can be seen that there is almost no increase in the pressure loss of the filter paper.
【００１５】尚、実際の通風速度は１．０cm/s程度であ
り、ろ紙の圧力損失の上昇に関してほとんど影響しな
い。 〔実験３／添着量を変化させた場合におけるろ紙からの
ホウ素発生試験〕ホウ珪酸繊維に対するＬ−酒石酸の添
着量を変え、図３の装置（符号２０は供試ろ紙、符号２
１ａ，２１ｂは純水入りバブラ、符号２２は流量計、符
号２３はエアーポンプを示す）にてホウ素発生量の試験
（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％ＲＨ）を
行った。その結果を図４に示す。The actual ventilation speed is about 1.0 cm / s, which has almost no effect on the increase in the pressure loss of the filter paper. [Experiment 3 / Boron generation test from filter paper when the amount of impregnation was changed] The amount of L-tartaric acid impregnated on the borosilicate fiber was changed, and the apparatus shown in FIG. 3 (reference numeral 20 was a test filter paper, reference numeral 2 was used).
1a and 21b are pure water bubblers, reference numeral 22 is a flow meter, and reference numeral 23 is an air pump, and a boron generation amount test (conditions: temperature 22 to 24 ° C., humidity 35 to 40% RH) was performed. The result is shown in FIG.
【００１６】この図４より、ホウ素の発生量を低く抑え
るためには、Ｌ−酒石酸の紙重量当たりの添着量は１％
以上（ホウ素発生量１０ｎｇ／ｍ3 以下となる）が好ま
しいことが判る。From FIG. 4, in order to keep the amount of boron generated low, the amount of L-tartaric acid impregnated per 1% by weight of paper is 1%.
It can be seen that the above (the amount of generated boron is 10 ng / m 3 or less) is preferable.
【００１７】次に、ホウ珪酸繊維にろ紙重量の５％の多
価アルコールまたはその誘導体を添着し、図３に示す装
置により、各供試ろ紙から発生するホウ素の発生量比較
試験（条件：温度２２〜２４℃、湿度３５〜４０％Ｒ
Ｈ）を行った。その結果を表３に示す。 上記表３より、多価アルコールまたはその誘導体を添着
することによりホウ素発生量を１／７以下に抑えること
ができる。Next, a borosilicate fiber was impregnated with polyhydric alcohol or its derivative in an amount of 5% of the weight of the filter paper, and the apparatus shown in FIG. 3 was used to compare the amount of boron generated from each filter paper under test (condition: temperature. 22-24 ° C, Humidity 35-40% R
H) was performed. The results are shown in Table 3. From Table 3 above, the amount of boron generated can be suppressed to 1/7 or less by impregnating the polyhydric alcohol or its derivative.
【００１８】また、Ｌ−酒石酸やＤ−ソルビトールの如
き不斉炭素を２個以上持つものではホウ素発生量を１／
３０以下（１０ｎｇ／ｍ3 以下）に抑え得ることが明ら
かである。これは、不斉炭素を２個以上持っている方が
ホウ素と安定な結合をする構造になる確率が高いためで
あると考えられる。 〔実験４／ろ紙の乾燥方法とホウ素発生量との関係を調
べる試験〕抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンを含浸させた後、
エアードライヤーとスチームドライヤーでろ紙を乾燥さ
せ、図３の装置にてホウ素発生試験を行ったところ以下
の表４に示すような結果がでた。Further, in the case of one having two or more asymmetric carbon atoms such as L-tartaric acid or D-sorbitol, the amount of boron generated is 1 /
It is clear that it can be suppressed to 30 or less (10 ng / m 3 or less). It is considered that this is because a structure having two or more asymmetric carbons has a higher probability of forming a stable bond with boron. [Experiment 4 / Test for Examining Relationship between Drying Method of Filter Paper and Boron Generation Amount] After impregnating the filter paper after papermaking with an emulsion of (binder) + (water repellent) + (L-tartaric acid),
The filter paper was dried with an air dryer and a steam dryer, and a boron generation test was conducted with the apparatus shown in FIG. 3. The results shown in Table 4 below were obtained.
【００１９】 〔実験５／ろ紙の乾燥温度とホウ素発生量との関係を調
べる試験〕抄造後のろ紙を、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョンに浸漬し、スチー
ムドライヤーにて温度を変えて乾燥させた。このろ紙か
らのホウ素発生量を図３の装置にて測定した。その結果
を図５に示す。[0019] [Experiment 5 / Test for examining the relationship between the drying temperature of the filter paper and the amount of generated boron] The filter paper after papermaking is immersed in an emulsion of (binder) + (water repellent) + (L-tartaric acid), and a steam dryer is used. It was dried by changing the temperature. The amount of boron generated from this filter paper was measured by the device shown in FIG. The result is shown in FIG.
【００２０】図５より乾燥温度が低い方が好ましいこと
が判る。これは、スチームドライヤーではドラムにろ紙
を巻き付けて乾燥するため、乾燥時に生じる水蒸気とと
もにバインダーが移行してしまうといわれていることと
同様に添着した薬品が移行し薬品の分布に偏りが生じ、
ホウ素が発生しやすくなったと考えられる。よって、ホ
ウ素発生量を低く（１０ｎｇ／ｍ3 以下）するためには
スチームドライヤーの温度を１１５℃以下にすることが
好ましいことが判る。It can be seen from FIG. 5 that a lower drying temperature is preferable. This is because the steam dryer wraps the filter paper around the drum to dry it, so that it is said that the binder is transferred along with the steam generated during drying, and the attached chemicals are transferred, resulting in uneven distribution of the chemicals.
It is considered that boron was easily generated. Therefore, it is understood that the temperature of the steam dryer is preferably 115 ° C. or lower in order to reduce the amount of generated boron (10 ng / m 3 or lower).
【００２１】[0021]
【実施例】以下、この発明の構成を実施例として示した
図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のエアーフィルタは、アルミニ
ウム型材の枠にジグザグ状に折ったろ紙を外周気密状態
に取り付けたものであり、前記ろ紙は、基礎材料として
ホウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊維径分布０．
２〜２．６５μm 、平均径０．８５μm ）と、前記細径
繊維相互の結合を補強するための少量の太径繊維（Ｅガ
ラス繊維：酸化珪素５５％、酸化ホウ素８％、酸化カル
シウム１７％、他 繊維径分布８〜２４μm ）と、これ
らに添着された紙重量の７％のN-メチル-D- グルカミン
（化学式 CH3NHCH2(HCOH)4CH2OH ）とから構成されてい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of the present invention will be described below with reference to the drawings shown as embodiments. (Example 1) In the air filter of this example, a filter paper folded in a zigzag shape was attached to a frame of an aluminum mold member in an airtight state on the outer periphery, and the filter paper had a small diameter made of borosilicate glass fiber as a base material. Fiber (Fiber diameter distribution 0.
2 to 2.65 μm, average diameter 0.85 μm) and a small amount of large diameter fibers (E glass fiber: silicon oxide 55%, boron oxide 8%, calcium oxide 17%) for reinforcing the mutual connection of the small diameter fibers. , And other fiber diameter distributions of 8 to 24 μm) and 7% of the weight of paper attached to them, N-methyl-D-glucamine (chemical formula CH 3 NHCH 2 (HCOH) 4 CH 2 OH).
【００２２】このエアーフィルタは、以下の〜の作
業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維からなる細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μm 、平均径０．
８５μm ）と、前記細径繊維相互の結合を補強するため
の少量の太径繊維（Ｅガラス繊維：酸化珪素５５％、酸
化ホウ素８％、酸化カルシウム１７％、他 繊維径分布
８〜２４μm ）とを硫酸溶液にてｐＨ２にした水中に分
散させ抄造する。This air filter can be manufactured by the following operations. First, as the basic material, fine fibers made of borosilicate glass fibers (fiber diameter distribution 0.2 to 2.65 μm, average diameter 0.
85 μm) and a small amount of large-diameter fibers (E glass fiber: 55% silicon oxide, 8% boron oxide, 17% calcium oxide, other fiber diameter distribution 8-24 μm) for reinforcing the mutual connection of the small-diameter fibers. Is dispersed in water adjusted to pH 2 with a sulfuric acid solution, and papermaking is performed.
【００２３】前記抄造後、バインダーとして溶液重量
当たり２％のアクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当た
り０．３％のフッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のN-
メチル-D- グルカミンを添加したエマルジョンに浸漬
し、シート状にして乾燥させてろ紙を製造する。After the above-mentioned papermaking, 2% of acrylic resin per weight of solution as a binder, 0.3% of fluororesin per weight of solution as a water repellent, and 1% of N- per weight of solution.
A filter paper is manufactured by immersing in an emulsion to which methyl-D-glucamine is added, forming a sheet and drying.
【００２４】そして、上記ろ紙をジグザグ状に折り、
ウレタン系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取
付けると、上記エアーフィルタ（以下、このエアーフィ
ルタの付記号をＡＦとする）は製作できる。Then, the filter paper is folded in a zigzag shape,
The air filter (hereinafter, the symbol of the air filter will be referred to as AF) can be manufactured by hermetically attaching it to the frame of the aluminum mold member with the urethane resin.
【００２５】ここで、上記のようにして製作したエアー
フィルタＡＦを使用して実際のクリーンルームＣＲ内で
ホウ素捕集率の測定を行った。図６にクリーンルームＣ
Ｒ及びホウ素濃度測定装置５，５’を示す。Here, the boron collection rate was measured in an actual clean room CR using the air filter AF manufactured as described above. Clean room C in Figure 6
1 shows R and boron concentration measuring devices 5, 5 '.
【００２６】クリーンルームＣＲは、図６に示すよう
に、天井部を多数のULPAフィルタ３ａにより構成してあ
ると共に床部を空気通過孔を有する床板材４ａにより構
成してある。そして、同図に示すように、前記ULPAフィ
ルタ３ａの上方部に空気供給室３を、前記床板材４ａの
下方部に空気排出室４を、それぞれ設けると共に前記空
気供給室３と空気排出室４相互を配管接続し、クリーン
ルームＣＲ内の空気を循環すると共に空気の循環途中に
おいて一部の循環空気を排出し且つ外気を取入れるよう
にしている。In the clean room CR, as shown in FIG. 6, the ceiling is made up of a large number of ULPA filters 3a, and the floor is made up of a floor plate 4a having air passage holes. As shown in the figure, an air supply chamber 3 is provided above the ULPA filter 3a, an air discharge chamber 4 is provided below the floor plate 4a, and the air supply chamber 3 and the air discharge chamber 4 are provided. They are connected to each other by piping to circulate the air in the clean room CR and to discharge a part of the circulated air and take in the outside air during the circulation of the air.
【００２７】ホウ素濃度測定装置５は、図６に示すよう
に、エアーフィルタＡＦを通過直後の空気のホウ素濃度
を測定するものであり、純水バブラ５１，５１と、エア
ーフィルタＡＦを通過した空気を前記純水バブラ５１，
５１を介して吸引するエアーポンプ５２と、前記エアー
ポンプ５２の空気吸引量を調整する流量計５３とから構
成されている。尚、前記エアーフィルタＡＦの近傍に
は、これにクリーンルームＣＲ内の空気を強制的に通過
させるためのファン５０を設けてある。As shown in FIG. 6, the boron concentration measuring device 5 measures the boron concentration of the air immediately after passing through the air filter AF, and the pure water bubblers 51, 51 and the air passing through the air filter AF are measured. The pure water bubbler 51,
It is composed of an air pump 52 that sucks through 51, and a flow meter 53 that adjusts the amount of air sucked by the air pump 52. In the vicinity of the air filter AF, a fan 50 for forcibly passing the air in the clean room CR is provided.
【００２８】ホウ素濃度測定装置５’は、図６に示すよ
うに、クリーンルームＣＲ内の空気のホウ素濃度を測定
するものであり、その構成は上記ホウ素濃度測定装置５
と同様としてある。As shown in FIG. 6, the boron concentration measuring device 5'measures the boron concentration of the air in the clean room CR, and its constitution is the above boron concentration measuring device 5 '.
Same as with.
【００２９】尚、これらホウ素濃度測定装置５，５’に
よるホウ素濃度測定値は、前記純水バブラ５１の回収液
中のホウ素の濃度をICP-MS（高周波誘導結合プラズマ質
量分析装置）にて測定して得られたものであり、これら
濃度測定装置５，５’によるホウ素濃度の測定値からエ
アーフィルタＡＦのホウ素捕集率を求めた。また、上記
と同様に、N-メチル-D- グルカミンを添着していないホ
ウ珪酸繊維からなるろ紙を使用したエアーフィルタＡＦ
も製作し、ホウ素の捕集率を測定した。そして、クリー
ンルーム内の空気をそれぞれのエアーフィルタＡＦに連
続して二箇月通風した後、再度、両者のエアーフィルタ
ＡＦのホウ素捕集率を測定した。これらの結果を図７に
示す。The boron concentration measurement values obtained by these boron concentration measuring devices 5 and 5'are obtained by measuring the concentration of boron in the recovered liquid of the pure water bubbler 51 with an ICP-MS (high frequency inductively coupled plasma mass spectrometer). The boron collection rate of the air filter AF was obtained from the measured values of the boron concentration by these concentration measuring devices 5 and 5 ′. Further, similarly to the above, an air filter AF using a filter paper made of borosilicate fiber not impregnated with N-methyl-D-glucamine
Was also manufactured and the collection rate of boron was measured. Then, the air in the clean room was continuously blown into each air filter AF for two months, and then the boron collection rates of both air filters AF were measured again. The results are shown in FIG.
【００３０】他方、N-メチル-D- グルカミンを添着した
石英繊維から成るろ紙と、N-メチル-D- グルカミンを添
着していない石英繊維のみから成るろ紙についても上記
と同様の試験を行った。その結果を図８に示す。 〔N-メチル-D- グルカミンの添着処理方法の態様につい
て〕N-メチル-D- グルカミンの添着処理は以下の〜
により行える。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水剤）＋
（N-メチル-D- グルカミン）のエマルジョンをスプレー
または浸漬により含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、バインダーを含浸させた後、撥水
剤とN-メチル-D- グルカミンの溶液をスプレーまたは浸
漬によりろ紙に含浸させる。 ．抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（N-メチル-D-
グルカミン）のエマ ルジョンをスプレーまたは浸漬に
より含浸させ、撥水剤の溶液スプレーまたは 浸漬によ
りろ紙に含浸させる。On the other hand, the same test as above was carried out on a filter paper consisting of quartz fiber impregnated with N-methyl-D-glucamine and a filter paper consisting only of quartz fiber not impregnated with N-methyl-D-glucamine. . The result is shown in FIG. [Regarding Embodiment of N-Methyl-D-glucamine Impregnation Treatment Method] N-methyl-D-glucamine impregnation treatment is carried out as follows.
Can be done by ． (Binder) + (Water repellent) + on the filter paper after paper making
Impregnate with an emulsion of (N-methyl-D-glucamine) by spraying or dipping. ． The filter paper after papermaking is impregnated with a binder, and then the filter paper is impregnated with a solution of a water repellent and N-methyl-D-glucamine by spraying or dipping. ． (Binder) + (N-methyl-D- on the filter paper after paper making
Glucamine) emulsion is impregnated by spraying or dipping, and filter paper is impregnated by solution spraying or dipping of water repellent.
【００３１】 表５から、N-メチル-D- グルカミンの添着は、方法Ａ，
Ｂ，Ｃのようにバインダーと同時またはバインダー添加
の後工程でおこなうのが好ましく、方法Ｄのように抄造
後のろ紙に、N-メチル-D- グルカミン溶液をスプレーま
たは、浸漬により含浸させた後、（バインダー）＋（撥
水剤）のエマルジョンをスプレーまたは、浸漬によりろ
紙に含浸すると高い効果が得られにくいことが判った。[0031] From Table 5, N-methyl-D-glucamine was impregnated by Method A,
It is preferable to carry out at the same time as the binder as in B and C or in a step after the addition of the binder. After impregnating the filter paper after paper making with the N-methyl-D-glucamine solution by spraying or dipping as in Method D, It was found that it is difficult to obtain a high effect when the filter paper is impregnated with the emulsion of (, binder) + (water repellent) by spraying or dipping.
【００３２】したがって、この実施例の添着方法にかえ
て、方法Ｂ，Ｃが採用できる。 （実施例２）この実施例はＬ−酒石酸を添着したろ紙で
あり、ろ紙を構成する細径繊維及び太径繊維については
上記実施例１と同様のものである。また、ろ紙の製造方
法は実施例１とほぼ同様であり、抄造後のろ紙に、（バ
インダー）＋（撥水剤）＋（Ｌ−酒石酸）のエマルジョ
ンを含浸させた後、スチームドライヤー（１１５℃×６
ｍｉｎ）で乾燥させてある。Therefore, methods B and C can be adopted instead of the attachment method of this embodiment. (Example 2) This example is a filter paper impregnated with L-tartaric acid, and the small-diameter fiber and the large-diameter fiber constituting the filter paper are the same as those in the above-mentioned Example 1. The method for producing the filter paper is almost the same as in Example 1, and the filter paper after papermaking is impregnated with an emulsion of (binder) + (water repellent) + (L-tartaric acid) and then steam dryer (115 ° C.). × 6
min) and dried.
【００３３】このろ紙からのホウ素発生量を図３に示し
た装置にて測定すると、作用の欄に示した図５から明ら
かなように１０ｎｇ／ｍ3 であった。即ち、このろ紙を
使用したエアーフィルタを採用すると、１ＧのＬＳＩを
製造するためのクリーンルーム（エアー１ｍ3 当たりの
ホウ素濃度１０ｎｇ／ｍ3 以下）をつくることができ、
スチームドライヤーの温度を１１５℃未満にすることに
より更にホウ素濃度が低いクリーンルームをつくること
もできる。When the amount of boron generated from this filter paper was measured by the apparatus shown in FIG. 3, it was 10 ng / m 3 as apparent from FIG. 5 shown in the column of action. That is, when an air filter using this filter paper is adopted, it is possible to create a clean room (boron concentration of 10 ng / m 3 or less per 1 m 3 of air) for manufacturing 1G LSI,
By setting the temperature of the steam dryer to less than 115 ° C, it is possible to create a clean room having a lower boron concentration.
【００３４】尚、Ｄ−ソルビトールを添着したろ紙の場
合も、作用の欄に記載したようにこの実施例２とほぼ同
様の効果を奏する。The filter paper having D-sorbitol impregnated also exhibits substantially the same effect as that of the second embodiment as described in the section of action.
【００３５】また、繊維径が０．２〜１２μｍのガラス
繊維を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の
１〜２３％の不斉炭素を２個以上持った多価アルコール
またはその誘導体を添着したものであればこの実施例２
と同様の効果を奏することとなる。Further, a polyhydric alcohol having 1 to 23% of asymmetric carbon atoms of 1 to 23% of the paper weight or a polyhydric alcohol thereof prepared by a wet method using glass fibers having a fiber diameter of 0.2 to 12 μm. If the derivative is attached, this Example 2
The same effect as is obtained.
【００３６】更に、上記実施例２では、ろ紙の乾燥にス
チームドライヤーを採用したが、これに限定されること
なく、エアードライヤーを採用することもできる。Further, although the steam dryer is used for drying the filter paper in the second embodiment, the present invention is not limited to this, and an air dryer can also be used.
【００３７】[0037]
【発明の効果】この発明は上記のような構成であるか
ら、次の効果を有する。The present invention having the above-mentioned structure has the following effects.
【００３８】作用に記載した内容から、粒子及びガス状
ホウ素の両方を捕集できるろ材及びエアーフィルタを提
供できた。From the contents described in the operation, a filter medium and an air filter capable of collecting both particles and gaseous boron can be provided.
【図１】ホウ素捕集率評価に使用した装置の概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram of an apparatus used for evaluating a boron collection rate.
【図２】N-メチル-D- グルカミンの添着量を変えた場合
におけるホウ素捕集率とろ紙の圧力損失の変化を示した
グラフ。FIG. 2 is a graph showing changes in boron collection rate and pressure loss of filter paper when the amount of N-methyl-D-glucamine impregnated is changed.
【図３】供試フィルタからのホウ素発生量評価に使用し
た装置の概念図。FIG. 3 is a conceptual diagram of an apparatus used for evaluating the amount of boron generated from a test filter.
【図４】ろ紙に添着したＬ−酒石酸の紙重量当りの添着
量とホウ素発生量との関係を示すグラフ。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the amount of L-tartaric acid attached to a filter paper and the amount of boron generated per weight of paper.
【図５】ろ紙の乾燥温度とホウ素発生量との関係を示す
グラフ。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the drying temperature of filter paper and the amount of boron generated.
【図６】この発明のエアーフィルタのホウ素捕集率評価
に使用した装置の概念図。FIG. 6 is a conceptual diagram of an apparatus used for evaluating the boron collection rate of the air filter of the present invention.
【図７】N-メチル-D- グルカミンを添着したホウ珪酸繊
維から成るエアーフィルタと、ホウ珪酸繊維のみで構成
されたエアーフィルタのホウ素捕集率の通風期間による
変化を示すグラフ。FIG. 7 is a graph showing changes in the boron collection rate of an air filter made of borosilicate fiber impregnated with N-methyl-D-glucamine and an air filter made of only borosilicate fiber, depending on the ventilation period.
【図８】N-メチル-D- グルカミンを添着した石英繊維か
ら成るエアーフィルタと、石英繊維のみで構成されたエ
アーフィルタにおけるホウ素捕集率の通風期間による変
化を示すグラフ。FIG. 8 is a graph showing a change in a boron collection rate depending on a ventilation period in an air filter made of quartz fiber impregnated with N-methyl-D-glucamine and an air filter made of only quartz fiber.
３ 空気供給室 ３ａ ULPAフィルタ ４ 空気排出室 ４ａ 床板材 ５ ホウ素濃度測定装置 ５’ ホウ素濃度測定装置 ５０ ファン ５１ 純水バブラ ５２ エアーポンプ ５３ 流量計 3 Air Supply Chamber 3a ULPA Filter 4 Air Discharge Chamber 4a Floor Board Material 5 Boron Concentration Measuring Device 5'Boron Concentration Measuring Device 50 Fan 51 Pure Water Bubbler 52 Air Pump 53 Flow Meter
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/46 Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location B01D 53/46
Claims (7)
て成ることを特徴とするろ紙。1. A filter paper comprising a polyhydric alcohol or a derivative thereof attached thereto.
ル又はその誘導体を添着して成ることを特徴とするろ
紙。2. A filter paper comprising a polyhydric alcohol or a derivative thereof in an amount of 0.2 to 23% by weight of the paper.
を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の０．
２〜２３％の多価アルコール又はその誘導体を添着して
成ること特徴とするろ紙。3. A paper made by a wet method using glass fibers having a fiber diameter of 0.2 to 12 μm, and a paper weight of 0.
A filter paper characterized by being impregnated with 2 to 23% of a polyhydric alcohol or a derivative thereof.
位に水酸基を持った化合物であることを特徴とする請求
項１乃至３のいずれかに記載のろ紙。4. The filter paper according to claim 1, wherein the polyhydric alcohol or its derivative is a compound having a hydroxyl group at the cis position.
を使用して湿式法により抄紙したものに、紙重量の１〜
２３％の不斉炭素を２個以上持った多価アルコールまた
はその誘導体を添着して成ることを特徴とするろ紙。5. A paper made by a wet method using glass fibers having a fiber diameter of 0.2 to 12 μm, wherein
A filter paper characterized by being impregnated with a polyhydric alcohol having 23% or more of two or more asymmetric carbon atoms or a derivative thereof.
℃以下にして製作したことを特徴とする請求項１乃至５
のいずれかに記載のろ紙。6. The drying temperature of the steam dryer is set to 115.
6. The manufacturing method according to claim 1, wherein the temperature is lower than or equal to ℃.
The filter paper described in any of 1.
を構成部材として成るエアーフィルタ。7. An air filter comprising the filter paper according to any one of claims 1 to 6 as a constituent member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6283181A JPH07194911A (en) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | Filter paper and air filter using the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29824393 | 1993-11-29 | ||
| JP5-298243 | 1993-11-29 | ||
| JP6283181A JPH07194911A (en) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | Filter paper and air filter using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07194911A true JPH07194911A (en) | 1995-08-01 |
Family
ID=26554932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6283181A Pending JPH07194911A (en) | 1993-11-29 | 1994-11-17 | Filter paper and air filter using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07194911A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998004334A1 (en) * | 1996-07-25 | 1998-02-05 | Nikki-Universal Co., Ltd. | Air cleaning filter |
| JPH10192623A (en) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | Filter for removing boron and cleaning of pollution gas |
| JP2007203295A (en) * | 1996-07-25 | 2007-08-16 | Nikki Universal Co Ltd | Air cleaning filter |
-
1994
- 1994-11-17 JP JP6283181A patent/JPH07194911A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998004334A1 (en) * | 1996-07-25 | 1998-02-05 | Nikki-Universal Co., Ltd. | Air cleaning filter |
| JP2007203295A (en) * | 1996-07-25 | 2007-08-16 | Nikki Universal Co Ltd | Air cleaning filter |
| JPH10192623A (en) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | Filter for removing boron and cleaning of pollution gas |
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