JPH07159178A - 振動型レートジャイロ - Google Patents
振動型レートジャイロInfo
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- JPH07159178A JPH07159178A JP5310458A JP31045893A JPH07159178A JP H07159178 A JPH07159178 A JP H07159178A JP 5310458 A JP5310458 A JP 5310458A JP 31045893 A JP31045893 A JP 31045893A JP H07159178 A JPH07159178 A JP H07159178A
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- Japan
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- vibrating
- piezoelectric body
- piezoelectric
- electrode
- metal
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 湿気及び温度変化に対しても、センサ出力の
変化がなく、正確な角速度を検出することができる振動
型レートジャイロセンサをバラツキ無く安定に提供する
こと。 【構成】 金属振動体３の駆動部５及び検知部４に圧電
体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してなると共に、該圧電体の
貼着されていない面Ａ面の電極２２が、該圧電体の端部
よりひかえて形成されており、さらに該圧電体２を該金
属振動体３に貼着する前に予め該Ａ面にスクリーン印刷
等で該金属振動体３と該電極２２との間の電気信号がリ
ークすることを防止するための非吸湿コーティング層を
被覆してなる。
変化がなく、正確な角速度を検出することができる振動
型レートジャイロセンサをバラツキ無く安定に提供する
こと。 【構成】 金属振動体３の駆動部５及び検知部４に圧電
体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してなると共に、該圧電体の
貼着されていない面Ａ面の電極２２が、該圧電体の端部
よりひかえて形成されており、さらに該圧電体２を該金
属振動体３に貼着する前に予め該Ａ面にスクリーン印刷
等で該金属振動体３と該電極２２との間の電気信号がリ
ークすることを防止するための非吸湿コーティング層を
被覆してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車の角速度
（ヨーレート）を検出するための振動型レートジャイロ
センサに関する。
（ヨーレート）を検出するための振動型レートジャイロ
センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、実開昭６０−１５２９１０にある
ように湿気による電気信号を防止する為振動型レートジ
ャイロの励振用圧電体及び角速度検出用圧電体を柔軟性
に富む非吸湿性コーティング層で覆った構造が提案され
ていた。しかし、振動型レートジャイロセンサの振動節
部にも上記コーティング層が被覆されているた為温度変
化により該センサの振動状態が変化し、その結果センサ
出力が変化するという問題が発生した。
ように湿気による電気信号を防止する為振動型レートジ
ャイロの励振用圧電体及び角速度検出用圧電体を柔軟性
に富む非吸湿性コーティング層で覆った構造が提案され
ていた。しかし、振動型レートジャイロセンサの振動節
部にも上記コーティング層が被覆されているた為温度変
化により該センサの振動状態が変化し、その結果センサ
出力が変化するという問題が発生した。
【０００３】これを解決する為、我々が特開昭５−２０
９７５３で提案したようにセンサの振動節部のみ上記コ
ーティング材で被覆しないことで上記問題点を解決し
た。
９７５３で提案したようにセンサの振動節部のみ上記コ
ーティング材で被覆しないことで上記問題点を解決し
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】我々が特開平５−２０
９７５３で提案した構造を図２で以下に詳述する。金属
振動体３に、電極が形成された圧電体２，２Ａ，２Ｂを
貼着した後、該圧電体の周囲に非吸湿性コーティング材
を被覆してなり、かつ上記コーティング材は金属振動体
３の振動節部３２には被覆しないことで湿気による電気
信号のリーク、及び湿度変化によるセンサ出力の変化の
両問題を解決する構造を提案した。しかしながら、金属
振動体３の振動節部３２を上記コーティング材で被覆し
ないで圧電体２，２Ａ，２Ｂの周囲を被覆することは、
製造上のバラツキを考えると大変困難である。すなわ
ち、センサの振動節部を上記コーティング材で被覆しな
いで上記圧電体の周囲を被覆しなければならないという
新たな課題がある。
９７５３で提案した構造を図２で以下に詳述する。金属
振動体３に、電極が形成された圧電体２，２Ａ，２Ｂを
貼着した後、該圧電体の周囲に非吸湿性コーティング材
を被覆してなり、かつ上記コーティング材は金属振動体
３の振動節部３２には被覆しないことで湿気による電気
信号のリーク、及び湿度変化によるセンサ出力の変化の
両問題を解決する構造を提案した。しかしながら、金属
振動体３の振動節部３２を上記コーティング材で被覆し
ないで圧電体２，２Ａ，２Ｂの周囲を被覆することは、
製造上のバラツキを考えると大変困難である。すなわ
ち、センサの振動節部を上記コーティング材で被覆しな
いで上記圧電体の周囲を被覆しなければならないという
新たな課題がある。
【０００５】製造上の困難性を図３の一例で以下に詳述
する。特開平５−２０９７５３で提案した構造を実施す
るには、振動節部３２と圧電体２Ａ，２Ｂの距離わずか
１ｍｍの間で振動節部３２を上記コーティング材１でコ
ーティングしないで圧電体２Ａ，２Ｂの周囲を充分に被
覆しなければならない（圧電体２も被覆することは当然
である）。しかも、上記コーティング材１を被覆させる
対象物は立体構造を成している。
する。特開平５−２０９７５３で提案した構造を実施す
るには、振動節部３２と圧電体２Ａ，２Ｂの距離わずか
１ｍｍの間で振動節部３２を上記コーティング材１でコ
ーティングしないで圧電体２Ａ，２Ｂの周囲を充分に被
覆しなければならない（圧電体２も被覆することは当然
である）。しかも、上記コーティング材１を被覆させる
対象物は立体構造を成している。
【０００６】従って、コーティング材１の被覆は印刷に
よる塗布は無論のことディップによる塗布も実施不可能
で唯一手作業、例えば筆塗りによる被覆、それもかなり
の熟練が必要とされる為、特開平５−２０９７５３で提
案したセンサを製造上のバラツキ無く安定に供給するこ
とは大変困難である。本発明は、かかる問題点に鑑み、
湿気による電気信号を防止しかつ振動節部に上記コーテ
ィング材を絶対に被覆しない構造を提案することで製造
バラツキ無く、安定に振動型レートジャイロセンサを提
供しようとするものである。
よる塗布は無論のことディップによる塗布も実施不可能
で唯一手作業、例えば筆塗りによる被覆、それもかなり
の熟練が必要とされる為、特開平５−２０９７５３で提
案したセンサを製造上のバラツキ無く安定に供給するこ
とは大変困難である。本発明は、かかる問題点に鑑み、
湿気による電気信号を防止しかつ振動節部に上記コーテ
ィング材を絶対に被覆しない構造を提案することで製造
バラツキ無く、安定に振動型レートジャイロセンサを提
供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は電極が形成され
ている圧電体を具備した振動型レートジャイロにおい
て、金属振動体を有し、前記圧電体の内、前記金属振動
体に接合される面と反対側の面に形成された電極表面上
に、予め非吸湿性コーティング層が設けられており、該
圧電体の内、前記接合面に成形された電極を前記金属振
動体に接合したという手段を採用するものである。
ている圧電体を具備した振動型レートジャイロにおい
て、金属振動体を有し、前記圧電体の内、前記金属振動
体に接合される面と反対側の面に形成された電極表面上
に、予め非吸湿性コーティング層が設けられており、該
圧電体の内、前記接合面に成形された電極を前記金属振
動体に接合したという手段を採用するものである。
【０００８】また、本発明は電極が形成されている圧電
体を具備した振動型レートジャイロにといて、金属振動
体を有し、少なくとも前記振動体に接合される面と反対
側の面に、前記圧電体の端部よりひかえて電極が形成さ
れており、該圧電体の内、前記接合面に形成された電極
を前記金属振動体に接合したという手段を採用するもの
である。
体を具備した振動型レートジャイロにといて、金属振動
体を有し、少なくとも前記振動体に接合される面と反対
側の面に、前記圧電体の端部よりひかえて電極が形成さ
れており、該圧電体の内、前記接合面に形成された電極
を前記金属振動体に接合したという手段を採用するもの
である。
【０００９】更に、本発明電極が形成されている圧電体
を具備した振動型レートジャイロにおいて、前記圧電体
の内、前記金属振動体に接合される面と反対側の面に形
成された電極と前記金属振動体との間の絶縁距離を該圧
電体の内、前記接合面に形成された電極を前記金属振動
体に接合するための接着剤の存在により拡大したという
手段を採用するものである。
を具備した振動型レートジャイロにおいて、前記圧電体
の内、前記金属振動体に接合される面と反対側の面に形
成された電極と前記金属振動体との間の絶縁距離を該圧
電体の内、前記接合面に形成された電極を前記金属振動
体に接合するための接着剤の存在により拡大したという
手段を採用するものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば圧電体の電極表面上に非吸湿性
コーティング材が予め形成されている為、湿気が該コー
ティング層で遮断され、該電極と該金属振動体の間の湿
気による電気信号のリークが防止される。又、圧電体端
部より電極がひかえて形成されている為、湿気が圧電体
に付着しても該電極と該金属振動体の絶縁距離が長くな
った分、該電極と該金属振動体の間の湿気による電気信
号のリークを発生しにくくすることができる。
コーティング材が予め形成されている為、湿気が該コー
ティング層で遮断され、該電極と該金属振動体の間の湿
気による電気信号のリークが防止される。又、圧電体端
部より電極がひかえて形成されている為、湿気が圧電体
に付着しても該電極と該金属振動体の絶縁距離が長くな
った分、該電極と該金属振動体の間の湿気による電気信
号のリークを発生しにくくすることができる。
【００１１】更には、電圧体の周囲の金属振動体に該圧
電体を接合する接着剤が被覆されている為、湿気が該圧
電体及び金属振動体を被覆する該接着部には付着しても
該電極と、該金属振動体の絶縁距離が長くなった分、該
電極と該金属振動体の間の湿気による電気信号のリーク
を発生しにくくすることができる。
電体を接合する接着剤が被覆されている為、湿気が該圧
電体及び金属振動体を被覆する該接着部には付着しても
該電極と、該金属振動体の絶縁距離が長くなった分、該
電極と該金属振動体の間の湿気による電気信号のリーク
を発生しにくくすることができる。
【００１２】
【発明の効果】以上、本発明によれば、以下の効果を奏
する。 （１）圧電体を金属振動体に貼着する以前に予め該圧電
体に非吸湿性コーティング材を塗布する為、該金属振動
体の振動節部に該コーティング材が付着することは絶対
にない。従って湿気にも影響されにくい振動型レートジ
ャイロセンサを製造上バラツキ無く、安定に提供でき
る。
する。 （１）圧電体を金属振動体に貼着する以前に予め該圧電
体に非吸湿性コーティング材を塗布する為、該金属振動
体の振動節部に該コーティング材が付着することは絶対
にない。従って湿気にも影響されにくい振動型レートジ
ャイロセンサを製造上バラツキ無く、安定に提供でき
る。
【００１３】（２）非吸湿性コーティング材を塗布しな
い為、金属振動体の振動節部に該コーティング材が付着
することは絶対ない。従って湿気にも、温度にも影響さ
れにくい振動型レートジャイロセンサを、製造上バラツ
キ無く安定に提供できる。 （３）圧電体が貼着される前に金属振動体に対し該貼着
される圧電体より広い面に該圧電体を貼着するための接
着剤を塗布する為、従来技術の特開平５−２０９７５３
に比較して圧電体が金属振動体に貼着されていない分、
該金属振動体の振動節部に該接着剤を付着させないこと
が容易に達成できる。従って湿気にも、温度にも影響さ
れにくい振動型レートジャイロセンサを製造上のバラツ
キを少なく安定に提供できる。
い為、金属振動体の振動節部に該コーティング材が付着
することは絶対ない。従って湿気にも、温度にも影響さ
れにくい振動型レートジャイロセンサを、製造上バラツ
キ無く安定に提供できる。 （３）圧電体が貼着される前に金属振動体に対し該貼着
される圧電体より広い面に該圧電体を貼着するための接
着剤を塗布する為、従来技術の特開平５−２０９７５３
に比較して圧電体が金属振動体に貼着されていない分、
該金属振動体の振動節部に該接着剤を付着させないこと
が容易に達成できる。従って湿気にも、温度にも影響さ
れにくい振動型レートジャイロセンサを製造上のバラツ
キを少なく安定に提供できる。
【００１４】
〔実施例１〕本発明の実施例にかかる振動型ジャイロセ
ンサにつき、図１，２，４を用いて説明する。本例の振
動型レートジャイロセンサは図２に示すごとく、一対の
金属振動体３において各駆動部５の両面に圧電体２Ａ，
２Ｂを、各検知部４の片面に圧電体２を貼着してなる。
圧電体２Ｂは図示しない交流電源回路を印加することで
金属振動体３を振動させる駆動用圧電体で、圧電体２Ａ
は、金属振動体３の振動状態を検出する振動参照用電圧
体である。そして振動参照用圧電体２Ａの電気信号を図
示しない交流電源回路ヘ帰還さることで、圧電体２Ａ，
２Ｂ及び図示しない交流電源回路で自励発振回路を形成
している。又圧電体２Ｃは、ヨーレート（角速度）を検
出するための圧電体である。金属振動体３の下部は台状
の支持部３３と連結してあり、両者の間には振動節部３
２を有する。駆動部５と検知部４との間には連結部３１
を有する。上記支持部３３は、図２に示す如く、ベース
台６の穴部６１に、その脚部３４を挿入することにより
固定し、センサを立設している。以下、本発明の主要部
である圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃについて図１で説明す
る。図２において金属振動体３に装着される圧電体２
Ａ，２Ｂ，２Ｃの面をＢ面、該反対面をＡ面とする。図
１において圧電体２Ａ，２Ｂ，２ＣのＡ面の電極２２を
圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃ端部よりひかえ、さらにＡ面に
スクリーン印刷々で非吸湿性コーティング材１を開口部
Ｃを設けてかつ少なくとも電極２２の端部を全周囲被覆
する。しかる後に圧電体２Ａ，２Ｂ，２ＣのＢ面を金属
振動体３に貼着させる。開口部Ｃは図４において電気信
号取出し用のリード線７を電極２２に例えば半田付する
ためのものである。但し、開口部の形状，位置は問わな
い。図１に示す圧電セラミックス２１は、ＰＺＴ，電極
２２は銀（Ａｇ）電極を電圧セラミックス２１の表面に
焼き付けて構成したものである。圧電体２のＡ面の電極
２２が圧電体，２Ａ，２Ｂ，２Ｃの端部よりひかえてあ
るのに対して、該Ｂ面の電極２２は全面に形成してある
（無論Ａ面同様に圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃの端部よりひ
かえて形成しても良い）。そして該Ｂ面の電極２２は金
属振動体３にエポキシ系の接着剤により接着されてい
る。前記非吸湿性のコーティング材としては例えばアク
リル系樹脂を用い、浸漬法，ハケ塗り，スブレイ法及び
スクリーン印刷法等で５〜７００μｍで被覆した。
ンサにつき、図１，２，４を用いて説明する。本例の振
動型レートジャイロセンサは図２に示すごとく、一対の
金属振動体３において各駆動部５の両面に圧電体２Ａ，
２Ｂを、各検知部４の片面に圧電体２を貼着してなる。
圧電体２Ｂは図示しない交流電源回路を印加することで
金属振動体３を振動させる駆動用圧電体で、圧電体２Ａ
は、金属振動体３の振動状態を検出する振動参照用電圧
体である。そして振動参照用圧電体２Ａの電気信号を図
示しない交流電源回路ヘ帰還さることで、圧電体２Ａ，
２Ｂ及び図示しない交流電源回路で自励発振回路を形成
している。又圧電体２Ｃは、ヨーレート（角速度）を検
出するための圧電体である。金属振動体３の下部は台状
の支持部３３と連結してあり、両者の間には振動節部３
２を有する。駆動部５と検知部４との間には連結部３１
を有する。上記支持部３３は、図２に示す如く、ベース
台６の穴部６１に、その脚部３４を挿入することにより
固定し、センサを立設している。以下、本発明の主要部
である圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃについて図１で説明す
る。図２において金属振動体３に装着される圧電体２
Ａ，２Ｂ，２Ｃの面をＢ面、該反対面をＡ面とする。図
１において圧電体２Ａ，２Ｂ，２ＣのＡ面の電極２２を
圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃ端部よりひかえ、さらにＡ面に
スクリーン印刷々で非吸湿性コーティング材１を開口部
Ｃを設けてかつ少なくとも電極２２の端部を全周囲被覆
する。しかる後に圧電体２Ａ，２Ｂ，２ＣのＢ面を金属
振動体３に貼着させる。開口部Ｃは図４において電気信
号取出し用のリード線７を電極２２に例えば半田付する
ためのものである。但し、開口部の形状，位置は問わな
い。図１に示す圧電セラミックス２１は、ＰＺＴ，電極
２２は銀（Ａｇ）電極を電圧セラミックス２１の表面に
焼き付けて構成したものである。圧電体２のＡ面の電極
２２が圧電体，２Ａ，２Ｂ，２Ｃの端部よりひかえてあ
るのに対して、該Ｂ面の電極２２は全面に形成してある
（無論Ａ面同様に圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃの端部よりひ
かえて形成しても良い）。そして該Ｂ面の電極２２は金
属振動体３にエポキシ系の接着剤により接着されてい
る。前記非吸湿性のコーティング材としては例えばアク
リル系樹脂を用い、浸漬法，ハケ塗り，スブレイ法及び
スクリーン印刷法等で５〜７００μｍで被覆した。
【００１５】該コーティング層の厚さは被覆の方法及び
コーティング材の粘度、チクソ性により異なる。 浸漬法 コーティングしない部分はマスキングする。コーティン
グ材は、例えば日立化成工業（株）のＴＦ−１１４１，
ＴＦ１１４７等の実装回路基板のアクリル系防湿用絶縁
塗料である。以下ＴＦ−１１４１で実施例を示す。
コーティング材の粘度、チクソ性により異なる。 浸漬法 コーティングしない部分はマスキングする。コーティン
グ材は、例えば日立化成工業（株）のＴＦ−１１４１，
ＴＦ１１４７等の実装回路基板のアクリル系防湿用絶縁
塗料である。以下ＴＦ−１１４１で実施例を示す。
【００１６】先ず圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃでコーティン
グしない部分をテーピングでマスキングしコーティング
材へ侵漬する。１０〜３０秒間でゆるやかに引きあげて
数１０秒余滴滴下を行ない、５分〜１０分常温乾燥で硬
化させてしかる後マスキングをはずす。この場合膜厚は
２０〜４０μｍとなる。 印刷法 コーティング材はウレタン系紫外線硬化型（スリーボン
ド社製ＴＢ−３０３３，ＴＢ−３０５６）シリコン系
（スリーボンド系社製；ＴＢ−１２３０Ｅ，ＴＢ１２１
５），１液エポキシ系（スリーボンド社製；ＴＢ−２２
１０）等があるが以下ＴＢ−２２１０で実施例を示す。
スクリーンはエマルジョン厚１５μｍ，テメロンメッシ
ュ＃１５０ 用い、スクリーン印刷後、レベリング２分
〜５分後１００℃１時間硬化した。膜厚は２０〜３０μ
ｍとなる。
グしない部分をテーピングでマスキングしコーティング
材へ侵漬する。１０〜３０秒間でゆるやかに引きあげて
数１０秒余滴滴下を行ない、５分〜１０分常温乾燥で硬
化させてしかる後マスキングをはずす。この場合膜厚は
２０〜４０μｍとなる。 印刷法 コーティング材はウレタン系紫外線硬化型（スリーボン
ド社製ＴＢ−３０３３，ＴＢ−３０５６）シリコン系
（スリーボンド系社製；ＴＢ−１２３０Ｅ，ＴＢ１２１
５），１液エポキシ系（スリーボンド社製；ＴＢ−２２
１０）等があるが以下ＴＢ−２２１０で実施例を示す。
スクリーンはエマルジョン厚１５μｍ，テメロンメッシ
ュ＃１５０ 用い、スクリーン印刷後、レベリング２分
〜５分後１００℃１時間硬化した。膜厚は２０〜３０μ
ｍとなる。
【００１７】〔実施例２〕本例は図５に示す如く角柱音
又形状の金属振動体３を有する振動型レートジャイロセ
ンサに本発明を適用したものである。該振動型レートジ
ャイロセンサは、上記金属振動体３に実施例１と同様の
図１の圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してなる。図５に
おける圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃは図２における圧電体２
Ａ，２Ｂ，２Ｃと同じ機能を有する。
又形状の金属振動体３を有する振動型レートジャイロセ
ンサに本発明を適用したものである。該振動型レートジ
ャイロセンサは、上記金属振動体３に実施例１と同様の
図１の圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してなる。図５に
おける圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃは図２における圧電体２
Ａ，２Ｂ，２Ｃと同じ機能を有する。
【００１８】〔実施例３〕本例は図示しない、角柱状の
金属振動体又は三角棒状の金属振動体を有する振動型レ
ートジャイロセンサに本発明を適用したものである。該
振動型レートジャイロセンサは上記金属振動体に実施例
と同様の図１の圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してな
る。
金属振動体又は三角棒状の金属振動体を有する振動型レ
ートジャイロセンサに本発明を適用したものである。該
振動型レートジャイロセンサは上記金属振動体に実施例
と同様の図１の圧電体２Ａ，２Ｂ，２Ｃを貼着してな
る。
【００１９】〔実施例４〕本例は図６に示す如く、金属
振動体３に圧電体２を貼る着する時、振動体３に貼着さ
れてないＡ面の電極２２と振動体３の絶縁距離を該圧電
体貼用接着剤にで、Ｄだけきゃりを増す。その結果、圧
電体２（イ）と金属振動体３の湿気による電気信号のリ
ークを発生しにくくすることができる。
振動体３に圧電体２を貼る着する時、振動体３に貼着さ
れてないＡ面の電極２２と振動体３の絶縁距離を該圧電
体貼用接着剤にで、Ｄだけきゃりを増す。その結果、圧
電体２（イ）と金属振動体３の湿気による電気信号のリ
ークを発生しにくくすることができる。
【００２０】あるいは、図７に示す如く、圧電体２
（ロ）のＡ面の電極２２を圧電体２（ロ）の端部よりひ
かえるだけでも、上記と同様の効果が得られる。図６，
７において２１は圧電セラミックスを示す。 〔実施例５〕本例は図８に示す如く図１の変形実施例で
ある。
（ロ）のＡ面の電極２２を圧電体２（ロ）の端部よりひ
かえるだけでも、上記と同様の効果が得られる。図６，
７において２１は圧電セラミックスを示す。 〔実施例５〕本例は図８に示す如く図１の変形実施例で
ある。
【００２１】図１と異なる点は圧電体２（ハ）において
金属振動体に貼着される面と反対側の面に全面に電極２
２を形成し、該電極２２の少なくとも全周囲を予め非吸
湿性コーティングで被覆した点である。
金属振動体に貼着される面と反対側の面に全面に電極２
２を形成し、該電極２２の少なくとも全周囲を予め非吸
湿性コーティングで被覆した点である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１にかかる圧電体の平面図（表面，裏
面）と側面図である。
面）と側面図である。
【図２】実施例１にかかる振動型レートジャイロセンサ
のセンサ部の展開斜視図である。
のセンサ部の展開斜視図である。
【図３】従来の振動型レートジャイロセンサにおけるセ
ンサ部の説明図である。
ンサ部の説明図である。
【図４】実施例１にかかる振動型レートジャイロセンサ
の全体斜視図である。
の全体斜視図である。
【図５】実施例２にかかる振動型レートジャイロの斜視
図である。
図である。
【図６】実施例４にかかる振動型レートジャイロセンサ
の電圧体接着部の拡大図である。
の電圧体接着部の拡大図である。
【図７】実施例４にかかる圧電体の平面図（表面・裏
面）と側面図である。
面）と側面図である。
【図８】実施例５にかかる圧電体の平面図（表面・裏
面）と側面図である。
面）と側面図である。
１ コーティング層 ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ 圧電体 ２（イ），２（ロ），２（ハ） 圧電体 ３ 金属振動体 ４ 検知部 ５ 駆動部 ２２ 電極 ３１ 連結部 ３２ 振動節部 ３３ 支持部
Claims (3)
- 【請求項１】 電極が形成されている圧電体を具備した
振動型レートジャイロにおいて、金属振動体を有し、前
記圧電体の内、前記金属振動体に接合される面と反対側
の面に形成された電極表面上に、予め非吸湿性コーティ
ング層が設けられており、該圧電体の内、前記接合面に
成形された電極を前記金属振動体に接合したことを特徴
とする振動型レートジャイロセンサ。 - 【請求項２】 電極が形成されている圧電体を具備した
振動型レートジャイロにといて、金属振動体を有し、少
なくとも前記振動体に接合される面と反対側の面に、前
記圧電体の端部よりひかえて電極が形成されており、該
圧電体の内、前記接合面に形成された電極を前記金属振
動体に接合したことを特徴とする振動型レートジャイ
ロ。 - 【請求項３】 電極が形成されている圧電体を具備した
振動型レートジャイロにおいて、前記圧電体の内、前記
金属振動体に接合される面と反対側の面に形成された電
極と前記金属振動体との間の絶縁距離を該圧電体の内、
前記接合面に形成された電極を前記金属振動体に接合す
るための接着剤の存在により拡大したことを特徴とする
振動型レートジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5310458A JPH07159178A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | 振動型レートジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5310458A JPH07159178A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | 振動型レートジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159178A true JPH07159178A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=18005499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5310458A Withdrawn JPH07159178A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | 振動型レートジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07159178A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6040104A (en) * | 1997-11-06 | 2000-03-21 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrophotographic toner, electrophotographic developer, and image forming method |
| JP2007024810A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
| JP2011059125A (ja) * | 2010-10-28 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
-
1993
- 1993-12-10 JP JP5310458A patent/JPH07159178A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6040104A (en) * | 1997-11-06 | 2000-03-21 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrophotographic toner, electrophotographic developer, and image forming method |
| JP2007024810A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
| JP2011059125A (ja) * | 2010-10-28 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |