JP2007024810A - 角速度センサ素子およびその製造方法 - Google Patents
角速度センサ素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007024810A JP2007024810A JP2005210928A JP2005210928A JP2007024810A JP 2007024810 A JP2007024810 A JP 2007024810A JP 2005210928 A JP2005210928 A JP 2005210928A JP 2005210928 A JP2005210928 A JP 2005210928A JP 2007024810 A JP2007024810 A JP 2007024810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- velocity sensor
- sensor element
- protective film
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】振動部2と、この振動部2を支持する固着部3と、振動部2の一面に形成され、かつこの振動部2を励振させる駆動電極6と、振動部2における駆動電極6と同一方向の面に形成され、かつ振動部2が回転運動をすることにより励振方向の垂直方向に生じる振動を検知する検出電極7とを備え、前記振動部2における駆動電極6および検出電極7が形成された面のみに駆動電極6および検出電極7を覆う保護膜8を設けたものである。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1、5〜7、10、12、13に記載の発明について説明する。ここで、図1は本発明の実施の形態1における角速度センサ素子の上面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は本発明の実施の形態1における角速度センサ素子の製造中の部分拡大図である。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項8、9、14、15に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項4、11に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態4を用いて、本発明の特に請求項2、3に記載の発明について説明する。
2 振動部
3 固着部
4 下部電極
5 圧電体
6 駆動電極
7 検出電極
8 保護膜
9 接続電極
10 上パッケージ
11 下パッケージ
12 パッケージ
Claims (15)
- 振動部と、この振動部を支持する固着部と、前記振動部の一面に形成され、かつこの振動部を励振させる駆動電極と、前記振動部における前記駆動電極と同一方向の面に形成され、かつ前記振動部が回転運動をすることにより励振方向の垂直方向に生じる振動を検知する検出電極とを備え、前記振動部における前記駆動電極および前記検出電極が形成された面のみに前記駆動電極および前記検出電極を覆う保護膜を設けた角速度センサ素子。
- 保護膜を振動部と固着部との境界部にも形成し、かつこの境界部に位置する保護膜に溝を形成するか、または振動部と固着部との境界部に保護膜を形成せずに欠落部を設けた請求項1記載の角速度センサ素子。
- 振動部における保護膜に振動部の長手方向と直角の方向に1または2以上の溝を形成した請求項1または2記載の角速度センサ素子。
- 保護膜を振動部における駆動電極および検出電極が形成された面、およびこの面と対向する面の両方に形成した請求項1〜3のいずれかに記載の角速度センサ素子。
- 保護膜を振動部の熱膨張係数と等しい熱膨張係数の材料で構成した請求項1〜3のいずれかに記載の角速度センサ素子。
- 保護膜を樹脂系の材料で形成した請求項1〜3のいずれかに記載の角速度センサ素子。
- 保護膜の厚みを0.1μm〜5μmの範囲に設定した請求項1〜3のいずれかに記載の角速度センサ素子。
- パッケージを付加し、このパッケージの内部に角速度センサ素子を配置した請求項1〜7のいずれかに記載の角速度センサ素子。
- パッケージを少なくとも2以上の部品を溶接で接合したもので構成した請求項8記載の角速度センサ素子。
- 1枚の板状のウェハから1または2以上の角速度センサ素子を製造する方法において、ウェハの一方の面に直接または間接的に複数の駆動電極と複数の検出電極とを形成する工程と、前記駆動電極および前記検出電極を覆う保護膜を形成する工程と、前記ウェハを所定形状の個片に分割し角速度センサ素子を形成する工程とを備えた角速度センサ素子の製造方法。
- 板状のウェハを所定形状の個片に分割する工程の前に前記板状のウェハにおける複数の駆動電極と複数の検出電極とが形成されていない面に保護膜を形成する工程を付加した請求項10記載の角速度センサ素子の製造方法。
- 保護膜をスピンコートまたはディップにより形成した請求項10または11記載の角速度センサ素子の製造方法。
- 下部電極をウェハ上に形成し、かつ、駆動電極および検出電極を圧電体を介して前記下部電極に対向するように形成し、さらに、保護膜を形成する工程の前に前記圧電体の分極を行う工程を付加した請求項10または11記載の角速度センサ素子の製造方法。
- 請求項10〜13のいずれかに記載の角速度センサ素子の製造方法に、前記角速度センサ素子をパッケージの中に入れる工程を付加した角速度センサ素子の製造方法。
- 角速度センサ素子をパッケージの中に入れる工程を、前記角速度センサ素子を少なくとも2以上の部品で覆い、この少なくとも2以上の部品を溶接により接合する工程にした請求項14記載の角速度センサ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005210928A JP2007024810A (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005210928A JP2007024810A (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010241628A Division JP4775502B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 角速度センサ素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007024810A true JP2007024810A (ja) | 2007-02-01 |
Family
ID=37785755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005210928A Pending JP2007024810A (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007024810A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007183147A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動素子およびこの振動素子を用いた角速度センサ |
JP2009005023A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動子、発振器 |
JP2009005024A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動子、発振器 |
JP2011059125A (ja) * | 2010-10-28 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
JP2015103645A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電層の分極処理方法、圧電デバイス、電子機器及び移動体 |
JP2016001160A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5549020A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric vibrator |
JPH05209753A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-20 | Nippondenso Co Ltd | 振動型レートジャイロセンサ |
JPH07159178A (ja) * | 1993-12-10 | 1995-06-23 | Nippondenso Co Ltd | 振動型レートジャイロ |
JPH11173850A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nippon Soken Inc | 角速度センサ |
JPH11271062A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003227719A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車 |
JP2003302222A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法 |
JP2004079869A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 共振デバイスの製造方法 |
-
2005
- 2005-07-21 JP JP2005210928A patent/JP2007024810A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5549020A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric vibrator |
JPH05209753A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-20 | Nippondenso Co Ltd | 振動型レートジャイロセンサ |
JPH07159178A (ja) * | 1993-12-10 | 1995-06-23 | Nippondenso Co Ltd | 振動型レートジャイロ |
JPH11173850A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nippon Soken Inc | 角速度センサ |
JPH11271062A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003227719A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車 |
JP2003302222A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法 |
JP2004079869A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 共振デバイスの製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007183147A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動素子およびこの振動素子を用いた角速度センサ |
JP2009005023A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動子、発振器 |
JP2009005024A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動子、発振器 |
JP2011059125A (ja) * | 2010-10-28 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
JP2015103645A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電層の分極処理方法、圧電デバイス、電子機器及び移動体 |
JP2016001160A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5682267B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP6160027B2 (ja) | 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 | |
JP6171475B2 (ja) | 振動片の製造方法 | |
US20110232383A1 (en) | Vibration piece, angular velocity sensor, and electronic apparatus | |
JP4640459B2 (ja) | 角速度センサ | |
US10001372B2 (en) | Angular velocity detection device | |
JP6572892B2 (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP5974629B2 (ja) | 振動片、振動片の製造方法、角速度センサー、電子機器、移動体 | |
JP2007024810A (ja) | 角速度センサ素子およびその製造方法 | |
US8065914B2 (en) | Vibration gyro | |
JP2010071758A (ja) | 角速度センサ素子、角速度センサ及び電子機器 | |
JP4775502B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5050590B2 (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP2013234873A (ja) | 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体 | |
JP2016176763A (ja) | 角速度センサ | |
JP2007183147A (ja) | 振動素子およびこの振動素子を用いた角速度センサ | |
JP2011117859A (ja) | 物理量検出装置 | |
JP2008039576A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2007327758A (ja) | 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ | |
JP5757174B2 (ja) | センサ装置およびその製造方法 | |
JP4333474B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2011117858A (ja) | 物理量検出装置 | |
JP2016095176A (ja) | 角速度センサ、及びこの角速度センサを用いた電子機器 | |
JP2010185780A (ja) | 角速度センサモジュール | |
JP2009020035A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080616 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101028 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101130 |