JPH07153040A - Method and apparatus for evaluation of magnetic head - Google Patents
Method and apparatus for evaluation of magnetic headInfo
- Publication number
- JPH07153040A JPH07153040A JP32992893A JP32992893A JPH07153040A JP H07153040 A JPH07153040 A JP H07153040A JP 32992893 A JP32992893 A JP 32992893A JP 32992893 A JP32992893 A JP 32992893A JP H07153040 A JPH07153040 A JP H07153040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- head
- magnetic
- evaluation
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図１０及び図１１） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図２及び図３） 作用（図２） 実施例 （１）電磁変換特性評価システムの全体構成（図１） （２）評価ユニツトの構成（図２、図３及び図５） （３）電磁変換特性評価システムの動作タイミング（図
４） （４）評価ユニツトの手法（図６及び図７） （５）実施例の動作（図２及び図３） （６）実施例の効果（図２及び図３） （７）他の実施例（図２、図３、図８及び図９） 発明の効果[Table of Contents] The present invention will be described in the following order. Industrial Application Conventional Technology (FIGS. 10 and 11) Problem to be Solved by the Invention Means for Solving the Problem (FIGS. 2 and 3) Action (FIG. 2) Example (1) Electromagnetic conversion characteristic evaluation Overall system configuration (FIG. 1) (2) Configuration of evaluation unit (FIGS. 2, 3, and 5) (3) Operation timing of electromagnetic conversion characteristic evaluation system (FIG. 4) (4) Method of evaluation unit (FIG. 6) And FIG. 7) (5) Operation of the embodiment (FIGS. 2 and 3) (6) Effect of the embodiment (FIGS. 2 and 3) (7) Other embodiments (FIGS. 2, 3, 8 and 7) 9) Effect of the invention
【０００２】[0002]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘツド評価方法及び
その装置に関し、特に電磁変換特性を評価する場合に適
用して好適なものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head evaluation method and apparatus, and is particularly suitable for application in evaluating electromagnetic conversion characteristics.
【０００３】[0003]
【従来の技術】従来、磁気テープ上に所定の信号を記録
及び又は再生する磁気ヘツドの電磁変換特性を評価する
システムを用いて、磁気テープに対して磁気ヘツドの接
触状態が最適となるように磁気ヘツドの位置を補正する
方法が考えられる。この補正方法として第１に磁気ヘツ
ドを磁気テープに接触させながら磁気ヘツドの位置を調
整する方法及び、第２にヘツドベースを外形基準で位置
決めして接触方向を調整する方法が考えられている。2. Description of the Related Art Conventionally, a system for evaluating the electromagnetic conversion characteristics of a magnetic head for recording and / or reproducing a predetermined signal on a magnetic tape is used to optimize the contact state of the magnetic head with respect to the magnetic tape. A method of correcting the position of the magnetic head can be considered. As the correction method, firstly, a method of adjusting the position of the magnetic head while bringing the magnetic head into contact with the magnetic tape, and secondly, a method of positioning the head base on the basis of the outer shape to adjust the contact direction.
【０００４】第１の方法として磁気ヘツドを磁気テープ
に接触させながら位置を調整する場合、調整装置は図１
０に示す処理手順に従つて磁気ヘツドの位置を調整す
る。すなわち調整装置はステツプＳＰ１から当該処理手
順に入り、ステツプＳＰ２でヘツドセツトがなされる
と、ステツプＳＰ３において最大出力値検出（以下これ
を「当り出し」と呼ぶ）が行われる。As a first method, when the position is adjusted while the magnetic head is in contact with the magnetic tape, the adjusting device is shown in FIG.
The position of the magnetic head is adjusted according to the procedure shown in 0. That is, the adjusting device enters the processing procedure from step SP1, and when the head set is made at step SP2, the maximum output value detection (hereinafter referred to as "winning") is performed at step SP3.
【０００５】続いて調整装置はステツプＳＰ４において
当り出しを行うことができるか否かを判断し、否定結果
が得られたときにはステツプＳＰ８に移つてこのときの
被測定磁気ヘツドを不良品として排出し、また肯定結果
が得られたときにはステツプＳＰ５に移つて電磁変換特
性の測定評価を行う。Then, the adjusting device determines whether or not the hitting can be performed in step SP4, and when a negative result is obtained, the adjusting device moves to step SP8 and discharges the magnetic head to be measured at this time as a defective product. If a positive result is obtained, the process proceeds to step SP5 to measure and evaluate the electromagnetic conversion characteristics.
【０００６】続いてステツプＳＰ６において測定評価が
良いか否かが判断され、肯定結果が得られたときには、
調整装置はステツプＳＰ７に移つてこのときの被測定磁
気ヘツドを良品として排出し、また否定結果が得られた
ときには、ステツプＳＰ８に移つて被測定磁気ヘツドを
不良品として排出する。かくしてその後ステツプＳＰ９
において当該処理手順を終了する。Subsequently, in step SP6, it is judged whether or not the measurement and evaluation are good, and when a positive result is obtained,
The adjusting device moves to step SP7 and discharges the measured magnetic head at this time as a non-defective product, and when a negative result is obtained, moves to step SP8 to discharge the measured magnetic head as a defective product. Thus, after that, step SP9
Then, the processing procedure ends.
【０００７】また第２の調整方法として、ヘツドヘース
を外形基準で位置決めして接触方向を調整する場合、調
整装置は図１１に示す処理手順に従つて磁気ヘツドの位
置を調整する。すなわち調整装置はステツプＳＰ１０か
ら当該処理手順に入り、ステツプＳＰ１１においてヘツ
ドセツトがなされると、ステツプＳＰ１２に移つてヘツ
ドベースを外形基準で位置決めした後、ステツプＳＰ１
３において当り出しが行われる。As a second adjusting method, when the head hose is positioned on the basis of the outer shape and the contact direction is adjusted, the adjusting device adjusts the position of the magnetic head according to the processing procedure shown in FIG. That is, the adjusting device enters the processing procedure from step SP10, and when a head set is made in step SP11, the adjusting device moves to step SP12 to position the head base by the outer shape reference, and then step SP1.
In 3 the hit is done.
【０００８】続いて調整装置はステツプＳＰ１４におい
て当り出しを行うことができるか否かを判断し、否定結
果が得られたときにはステツプＳＰ１８に移つてこのと
きの被測定磁気ヘツドを不良品として排出し、また肯定
結果が得られたときにはステツプＳＰ１５に移つて電磁
変換特性の測定評価を行う。Subsequently, the adjusting device determines whether or not the hitting can be performed at step SP14, and when a negative result is obtained, the adjusting device moves to step SP18 and the measured magnetic head at this time is discharged as a defective product. If a positive result is obtained, the process proceeds to step SP15 to measure and evaluate the electromagnetic conversion characteristics.
【０００９】続いて調整装置はステツプＳＰ１６におい
て測定評価が良いか否かを判断し、肯定結果が得られた
ときには、ステツプＳＰ１７に移つて被測定磁気ヘツド
を良品として排出し、また否定結果が得られたときに
は、ステツプＳＰ１８に移つて被測定磁気ヘツドを不良
品として排出する。かくしてその後ステツプＳＰ１９に
おいて当該処理手順を終了する。Subsequently, the adjusting device judges whether or not the measurement evaluation is good in step SP16. When a positive result is obtained, the adjusting device moves to step SP17 to discharge the magnetic head to be measured as a good product, and a negative result is obtained. If so, the process goes to step SP18 to eject the magnetic head to be measured as a defective product. Thus, after that, the processing procedure ends in step SP19.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】ところでこの種の磁気
ヘツドの電磁変換特性評価システムを用いて、磁気ヘツ
ドを磁気テープに接触させながら位置を調整する方法に
おいては、磁気ヘツドが磁気テープに接触している時間
が長く、磁気ヘツドや磁気テープが磨耗して劣化する問
題があつた。By the way, in the method of adjusting the position while contacting the magnetic head with the magnetic tape by using this type of electromagnetic conversion characteristic evaluation system for the magnetic head, the magnetic head contacts the magnetic tape. There was a problem that the magnetic head and the magnetic tape were worn and deteriorated for a long time.
【００１１】さらに、出力波形を認識しながら磁気ヘツ
ドの取り付け位置を多軸調整する必要があり、作業者の
習熟が必要とされるうえ、作業者間の測定にも差異が生
じるおそれがある。従つてその方法をそのまま自動制御
に置き換えた場合、磁気ヘツドと磁気テープの接触時間
の問題、多軸調整での測定によつて差異を生じた出力値
の比較の問題などを解決するには、フアジー制御、高速
処理技術など煩雑な制御技術が必要とされる。Furthermore, it is necessary to adjust the mounting position of the magnetic heads in multiple axes while recognizing the output waveform, which requires the skill of the operator and may cause a difference in the measurement between the operators. Therefore, if the method is replaced with automatic control as it is, in order to solve the problem of the contact time between the magnetic head and the magnetic tape, the problem of the comparison of the output values which caused the difference due to the measurement in the multi-axis adjustment, etc. Complex control technology such as fuzzy control and high-speed processing technology is required.
【００１２】また、ヘツドベースを外形基準で位置決め
して接触方向を調整する方法は、作業も簡単であり、自
動制御の実現は容易であるが、ヘツドベースへの磁気ヘ
ツドの接着位置に多少の誤差が生じることを避け得ず、
必ずしも磁気ヘツドと磁気テープの接触状態が最適とは
ならない。このため、磁気ヘツドの出力値を測定した場
合、その値は磁気ヘツドによつて測定される最大出力値
よりも低い値となり、磁気ヘツドの測定結果が劣化する
おそれがある。また、磁気ヘツドの性能の向上、需要の
増大にともない、その評価においてもより操作性、測定
信頼性の高いシステムの開発が望まれている。Further, the method of positioning the head base on the basis of the outer shape and adjusting the contact direction is simple in work and easy to realize automatic control, but there is some error in the adhesion position of the magnetic head to the head base. Inevitable,
The contact state between the magnetic head and the magnetic tape is not always optimum. Therefore, when the output value of the magnetic head is measured, the value becomes lower than the maximum output value measured by the magnetic head, and the measurement result of the magnetic head may deteriorate. Further, as the performance of the magnetic head is improved and the demand is increased, it is desired to develop a system having higher operability and measurement reliability in the evaluation.
【００１３】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、磁気ヘツドの当り出しが単軸の調整作業でかつ、最
適接触位置付近のみで行うことができ、さらにヘツドベ
ースへの磁気ヘツドの接着位置の誤差に左右されること
なく全ての磁気ヘツドが最適接触状態で測定し得、さら
に比較的単純な制御技術の組合せによるシステムを実現
し得る磁気ヘツド評価方法及びその装置を提案しようと
するものである。The present invention has been made in consideration of the above points. The magnetic head can be struck out by a single-axis adjusting operation and only near the optimum contact position, and further, the magnetic head can be attached to the head base. An attempt is made to propose a magnetic head evaluation method and apparatus capable of measuring all magnetic heads in an optimum contact state without being affected by an error in a bonding position and realizing a system by a combination of relatively simple control techniques. It is a thing.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、磁気ヘツド７を再生処理手段１７
によつて再生する磁気再生方法において、ヘツド形状の
認識を行い、ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツド７
の位置を補正し、補正結果に基づき磁気ヘツド７を再生
処理手段１７によつて再生するようにする。In order to solve the above problems, in the present invention, the magnetic head 7 is regenerated by the reproduction processing means 17.
In the magnetic reproducing method of reproducing by the magnetic head, the head shape is recognized, and the magnetic head 7 is recognized based on the recognition of the head shape.
The position of is corrected, and the magnetic head 7 is reproduced by the reproduction processing means 17 based on the correction result.
【００１５】また本発明においては、磁気ヘツド７を記
録処理手段１９によつて記録する磁気記録方法におい
て、ヘツド形状の認識を行い、ヘツド形状の認識に基づ
いて磁気ヘツド７の位置を補正し、補正結果に基づき磁
気ヘツド７を記録処理手段１９によつて記録するように
する。Further, in the present invention, in the magnetic recording method of recording the magnetic head 7 by the recording processing means 19, the head shape is recognized, and the position of the magnetic head 7 is corrected based on the recognition of the head shape. The magnetic head 7 is recorded by the recording processing means 19 based on the correction result.
【００１６】また本発明においては、磁気ヘツド７を評
価処理手段１３、１４によつて評価する磁気ヘツド評価
方法において、ヘツド形状の認識を行い、ヘツド形状の
認識に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正し、補正結果
に基づき磁気ヘツド７を評価処理手段１３、１４によつ
て評価するようにする。In the present invention, in the magnetic head evaluation method for evaluating the magnetic head 7 by the evaluation processing means 13 and 14, the head shape is recognized and the position of the magnetic head 7 is determined based on the recognition of the head shape. The magnetic head 7 is corrected, and the magnetic head 7 is evaluated by the evaluation processing means 13 and 14 based on the correction result.
【００１７】また本発明においては、磁気ヘツド７を再
生処理手段１７によつて再生する磁気再生装置１６にお
いて、ヘツド形状の認識を行う測定手段１０と、認識結
果に基づいて補正値を計算する補正値計算手段１１と、
補正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７
の位置を補正する位置補正手段６と、位置補正された磁
気ヘツド７を再生する再生処理手段１７とを備えるよう
にする。Further, in the present invention, in the magnetic reproducing apparatus 16 for reproducing the magnetic head 7 by the reproducing processing means 17, the measuring means 10 for recognizing the head shape and the correction for calculating the correction value based on the recognition result. A value calculation means 11,
Based on the calculation result of the correction value calculation means 11, the magnetic head 7
The position correction means 6 for correcting the position and the reproduction processing means 17 for reproducing the position-corrected magnetic head 7 are provided.
【００１８】また本発明においては、磁気再生装置１６
は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補
正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１１と、補
正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７の
位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手段６と、
位置補正された磁気ヘツド７を再生する再生処理部でな
る再生処理手段１７とを備えるようにする。Further, in the present invention, the magnetic reproducing device 16
The measuring means 10 is a microscope image processing apparatus for recognizing the head shape, the correction value calculating means 11 is a control section for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means 10, and the correction value calculating means 11 is A position correction means 6 which is a multi-axis control device for correcting the position of the magnetic head 7 based on the calculation result;
A reproduction processing means 17 which is a reproduction processing unit for reproducing the position-corrected magnetic head 7 is provided.
【００１９】また本発明においては、磁気ヘツド７を記
録処理手段１９によつて記録する磁気記録装置１８にお
いて、ヘツド形状の認識を行う測定手段１０と、測定手
段１０の認識結果に基づいて補正値を計算する補正値計
算手段１１と、補正値計算手段１１の計算結果に基づい
て磁気ヘツド７の位置を補正する位置補正手段６と、位
置補正された磁気ヘツド７を記録する記録処理手段１９
とを備えるようにする。Further, in the present invention, in the magnetic recording device 18 for recording the magnetic head 7 by the recording processing means 19, the measuring means 10 for recognizing the head shape and the correction value based on the recognition result of the measuring means 10. A correction value calculating means 11, a position correcting means 6 for correcting the position of the magnetic head 7 based on the calculation result of the correction value calculating means 11, and a recording processing means 19 for recording the position-corrected magnetic head 7.
Be prepared with and.
【００２０】また本発明においては、磁気記録装置１８
は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補
正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１１と、補
正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７の
位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手段６と、
位置補正された磁気ヘツド７を記録する記録処理部でな
る記録処理手段１９とを備えるようにする。Further, in the present invention, the magnetic recording device 18
The measuring means 10 is a microscope image processing apparatus for recognizing the head shape, the correction value calculating means 11 is a control section for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means 10, and the correction value calculating means 11 is A position correction means 6 which is a multi-axis control device for correcting the position of the magnetic head 7 based on the calculation result;
A recording processing unit 19 which is a recording processing unit for recording the position-corrected magnetic head 7 is provided.
【００２１】また本発明においては、磁気ヘツド７を評
価処理手段１３、１４によつて評価する磁気ヘツド評価
装置３、４において、ヘツド形状の認識を行う測定手段
１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補正値を計
算する補正値計算手段１１と、補正値計算手段１１の計
算結果に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正する位置補
正手段６と、位置補正された磁気ヘツド７の電磁変換特
性を行う評価測定手段１３、１４とを備えるようにす
る。Further, in the present invention, in the magnetic head evaluation devices 3 and 4 for evaluating the magnetic head 7 by the evaluation processing means 13 and 14, the measuring means 10 for recognizing the head shape and the recognition result of the measuring means 10. Correction value calculation means 11 for calculating a correction value based on the above, position correction means 6 for correcting the position of the magnetic head 7 based on the calculation result of the correction value calculation means 11, and electromagnetic conversion of the position-corrected magnetic head 7 The evaluation measuring means 13 and 14 for performing the characteristics are provided.
【００２２】また本発明においては、磁気ヘツド評価装
置３、４は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装
置でなる測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基
づいて補正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１
１と、補正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘ
ツド７の位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手
段６と、位置補正された磁気ヘツド７の電磁変換特性を
行う検出測定装置でなる評価測定手段１３、１４とを備
えるようにする。In the present invention, the magnetic head evaluation devices 3 and 4 are measuring means 10 which is a microscope image processing device for recognizing the head shape, and control for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means 10. Correction value calculation means 1
1 and position correction means 6 comprising a multi-axis control device for correcting the position of the magnetic head 7 based on the calculation result of the correction value calculation means 11, and a detection and measurement device for performing electromagnetic conversion characteristics of the position-corrected magnetic head 7. The evaluation measuring means 13 and 14 are included.
【００２３】[0023]
【作用】ヘツド形状の認識を行う補正値計算手段１１
と、当該補正値計算手段１１の認識結果に基づいて磁気
ヘツド７の位置を補正する位置補正手段６とを設けたこ
とにより、かかる位置補正された磁気ヘツド７の電磁変
換特性評価を行うにあたつて、全ての磁気ヘツド７を最
適接触状態で測定することができる。Function: Correction value calculation means 11 for recognizing the head shape
And the position correction means 6 for correcting the position of the magnetic head 7 based on the recognition result of the correction value calculation means 11, the electromagnetic conversion characteristics of the position-corrected magnetic head 7 are evaluated. Therefore, all the magnetic heads 7 can be measured in the optimum contact state.
【００２４】[0024]
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００２５】（１）電磁変換特性評価システムの全体構
成 図１は全体として電磁変換特性評価システム１を示し、
１つの供排装置２に対して、第１の評価ユニツト３及び
第２の評価ユニツト４が設けられている。供排装置２に
設けられたロボツトアーム５は、供排部１５における磁
気ヘツドを拾い上げ、評価ユニツト３及び４におけるア
ジヤスタユニツト９に当該磁気ヘツドを供給するように
移動制御されると共に、アジヤスタユニツト９に供給さ
れた被測定磁気ヘツドを拾い上げ、測定評価の結果に基
づくランク分けに応じて、供排装置２の供排部１５に排
出するように移動制御される。これにより、第１の評価
ユニツト３及び第２の評価ユニツト４において所定の動
作タイミングで磁気ヘツドが交互に測定評価されるよう
になされている。(1) Overall Configuration of Electromagnetic Conversion Characteristic Evaluation System FIG. 1 shows an electromagnetic conversion characteristic evaluation system 1 as a whole,
A first evaluation unit 3 and a second evaluation unit 4 are provided for one supply / discharge device 2. The robot arm 5 provided in the supply / discharge device 2 is moved and controlled so as to pick up the magnetic head in the supply / discharge unit 15 and supply the magnetic head to the agitator unit 9 in the evaluation units 3 and 4. The magnetic head to be measured supplied to the unit 9 is picked up, and the movement is controlled so that the magnetic head to be measured is discharged to the supply / discharge unit 15 of the supply / discharge device 2 in accordance with the rank classification based on the measurement evaluation result. Thus, the magnetic heads are alternately measured and evaluated in the first evaluation unit 3 and the second evaluation unit 4 at a predetermined operation timing.
【００２６】（２）評価ユニツトの構成 図２において、３（４）は全体として評価ユニツトを示
し、ロボツトアーム（図１）の移動制御によつて磁気ヘ
ツド７はアジヤスタユニツト９に供給される。磁気ヘツ
ド７が供給されたアジヤスタユニツト９は、その対向位
置に設けられたステージユニツト６に磁気ヘツド７を供
給するように移動制御されると共に、ステージユニツト
６から供給された被測定後の磁気ヘツド７をロボツトア
ーム５が拾い上げることができるように移動制御される
ようになされている。(2) Structure of the evaluation unit In FIG. 2, 3 (4) indicates the evaluation unit as a whole, and the magnetic head 7 is supplied to the adjuster unit 9 by the movement control of the robot arm (FIG. 1). . The agitator unit 9 to which the magnetic head 7 is supplied is controlled to move so as to supply the magnetic head 7 to the stage unit 6 provided at the opposite position thereof, and at the same time, the magnetic field to be measured supplied from the stage unit 6 is measured. The movement of the head 7 is controlled so that the robot arm 5 can pick it up.
【００２７】ステージユニツト６は制御部１１によつて
矢印ｘで示す方向又はこれとは逆方向（以下これをステ
ージユニツト搬送方向と呼ぶ）、矢印ｙで示す方向又は
これとは逆方向（以下これをヘツド接触方向と呼ぶ）及
び矢印θで示す方向又はこれとは逆方向（以下これを水
平回転方向と呼ぶ）の各方向に移動制御されるようにな
されている。The stage unit 6 is controlled by the control unit 11 in a direction indicated by an arrow x or a direction opposite thereto (hereinafter referred to as a stage unit transport direction), a direction indicated by an arrow y or a direction opposite thereto (hereinafter referred to as a direction). Is referred to as a head contact direction) and a direction indicated by an arrow θ or a direction opposite thereto (hereinafter referred to as a horizontal rotation direction).
【００２８】ステージユニツト６の先端部には、磁気ヘ
ツド７をクランプするヘツドクランプ治具部８が取り付
けられており、磁気ヘツド７をクランプし得るようにな
されている。ここでヘツドクランプ治具部８を水平回転
方向に駆動する駆動手段としてゴニオ式のステージを用
いたことにより、磁気ヘツド７のギヤツプ位置を変化さ
せることなく、水平回転方向のみを変化させることがで
き、従来の水平回転方向の変化に伴うヘツドのギヤツプ
位置の変化を防止することができる。A head clamp jig 8 for clamping the magnetic head 7 is attached to the tip of the stage unit 6 so that the magnetic head 7 can be clamped. By using a goniometer type stage as the driving means for driving the head clamp jig portion 8 in the horizontal rotation direction, it is possible to change only the horizontal rotation direction without changing the gear position of the magnetic head 7. Thus, it is possible to prevent the change in the head gear position due to the change in the conventional horizontal rotation direction.
【００２９】アジヤスタユニツト９のステージユニツト
搬送方向に沿う位置には、顕微鏡装置１０及び回転ドラ
ム装置１３がそれぞれ並設されており、ステージユニツ
ト６のステージユニツト搬送方向への移動に伴い、当該
ステージユニツト６のヘツドクランプ治具部８にクラン
プされた磁気ヘツド７と位置合わせできるようになされ
ている。A microscope device 10 and a rotating drum device 13 are provided in parallel at positions along the stage unit transport direction of the adjuster unit 9, and the stage unit 6 moves in the stage unit transport direction as the stage unit 6 moves. The unit 6 can be aligned with the magnetic head 7 clamped by the head clamp jig portion 8 of the unit 6.
【００３０】また、顕微鏡装置１０は、ステージユニツ
ト６に対向する側の先端部に干渉対物レンズ１０Ａを有
し、その干渉対物レンズ１０Ａによつて得られる干渉縞
に基づいて磁気ヘツド７の先端形状及びギヤツプ７Ａ位
置の画像を画像処理することにより、顕微鏡装置１０と
は別個に設けられたモニタを介して磁気ヘツド７のヘツ
ド形状を認識できるようになされている。ここで磁気ヘ
ツド７のヘツド形状とは、磁気ヘツド７の先端の形状を
いい、そのギヤツプ７Ａ位置やギヤツプ７Ａ形状なども
含めて測定することにより、より精密に測定することが
できる。Further, the microscope apparatus 10 has an interference objective lens 10A at the tip portion on the side facing the stage unit 6, and the tip shape of the magnetic head 7 is based on the interference fringes obtained by the interference objective lens 10A. By performing image processing on the image at the position of the gear 7A, the head shape of the magnetic head 7 can be recognized through a monitor provided separately from the microscope apparatus 10. Here, the head shape of the magnetic head 7 refers to the shape of the tip of the magnetic head 7, and more precise measurement can be performed by including the position of the gear 7A and the shape of the gear 7A.
【００３１】また図３に示すように、回転ドラム装置１
３は，その周辺面に磁気テープ１３Ａが巻き付けられて
おり、ステージユニツト６に対向する側の所定位置には
測定用アンプユニツト（以下プローブユニツトと呼ぶ）
１４が設けられている。磁気ヘツド７が磁気テープ１３
Ａに接触するように位置合わせされると、プローブユニ
ツト１４の下側部に設けられたコンタクトピン１４Ａが
下降制御されることにより、当該コンタクトピン１４Ａ
が磁気ヘツド７と接触して最適記録電流調整が行われ
る。Further, as shown in FIG. 3, the rotary drum device 1
3 has a magnetic tape 13A wound around its peripheral surface, and a measuring amplifier unit (hereinafter referred to as a probe unit) at a predetermined position on the side facing the stage unit 6.
14 are provided. Magnetic head 7 is magnetic tape 13
When the contact pin 14A is positioned so as to come into contact with A, the contact pin 14A provided on the lower side of the probe unit 14 is controlled to descend, so that the contact pin 14A
Comes into contact with the magnetic head 7 for optimum recording current adjustment.
【００３２】（３）電磁変換特性評価システムの動作タ
イミング 図４は電磁変換特性評価システム１において、第１の評
価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４と、ロボツトア
ーム５を有する供排装置２との動作タイミングを示す。(3) Operation Timing of Electromagnetic Conversion Characteristic Evaluation System FIG. 4 shows an electromagnetic conversion characteristic evaluation system 1 including a first evaluation unit 3 and a second evaluation unit 4, and a supply / discharge device 2 having a robot arm 5. The operation timing of is shown.
【００３３】すなわちまず供排装置２は、供排部１５に
磁気ヘツド７が供給されると、ロボツトアーム５を移動
制御することによつて当該磁気ヘツド７を拾い上げ、第
１の評価ユニツト３におけるアジヤスタユニツト９の所
定位置に当該磁気ヘツド７を供給する。That is, first, when the magnetic head 7 is supplied to the supply / discharge unit 15, the supply / discharge device 2 picks up the magnetic head 7 by controlling the movement of the robot arm 5, and the magnetic head 7 in the first evaluation unit 3 is picked up. The magnetic head 7 is supplied to a predetermined position of the adjuster unit 9.
【００３４】アジヤスタユニツト９に供給された磁気ヘ
ツド７は、ヘツドクランプ治具部８によりクランプさ
れ、この状態においてステージユニツト６がステージユ
ニツト搬送方向に移動制御されることによりクランプさ
れた磁気ヘツド７が顕微鏡装置１０の視野内に配置され
る。かくして、顕微鏡装置１０の画像処理に基づく磁気
ヘツド７の形状認識が行われる。The magnetic head 7 supplied to the adjuster unit 9 is clamped by the head clamp jig portion 8 and, in this state, the magnetic head 7 clamped by controlling the movement of the stage unit 6 in the stage unit conveying direction. Are arranged in the visual field of the microscope apparatus 10. Thus, the shape recognition of the magnetic head 7 is performed based on the image processing of the microscope device 10.
【００３５】その形状認識の結果に基づいて、制御部１
１はステージユニツト６をステージユニツト搬送方向、
ヘツド接触方向及び水平回転方向の各方向に移動制御す
ることにより、磁気ヘツド７の位置を補正した後、磁気
ヘツド７をプローブユニツト１４の正面に位置決めする
ように、ステージユニツト６をステージユニツト搬送方
向に移動制御する。Based on the result of the shape recognition, the control unit 1
1 is the stage unit 6 in the stage unit transport direction,
By correcting the position of the magnetic head 7 by controlling the movement in the head contact direction and the horizontal rotation direction, the stage unit 6 is moved in the stage unit transport direction so that the magnetic head 7 is positioned in front of the probe unit 14. Move control to.
【００３６】磁気ヘツド７がプローブユニツト１４の正
面に位置決めされると、第１の評価ユニツト３はプロー
ブユニツト１４を下降制御して最適記録電流調整を行
う。制御部１１がプローブユニツト１４を下降制御する
タイミングと同期したタイミングで、第２の評価ユニツ
ト４において上述の場合と同様に制御部１１がプローブ
ユニツト１４を上昇制御した後、ステージユニツト６を
ステージユニツト搬送方向に移動制御するようになされ
ている。When the magnetic head 7 is positioned in front of the probe unit 14, the first evaluation unit 3 controls the probe unit 14 so as to lower it for optimum recording current adjustment. At the timing synchronized with the timing when the control unit 11 controls the lowering of the probe unit 14, the control unit 11 controls the raising of the probe unit 14 in the second evaluation unit 4 in the same manner as described above, and then the stage unit 6 is moved to the stage unit 6. The movement is controlled in the transport direction.
【００３７】次に、制御部１１は磁気ヘツド７の当り出
し及び電磁変換特性の測定評価を順次行い、その後プロ
ーブユニツト１４を上昇制御する。その際、制御部１１
はプローブユニツト１４を上昇制御した後、ステージユ
ニツト６をステージユニツト搬送方向に移動制御するタ
イミングと同期したタイミングで、第２の評価ユニツト
４において上述の場合と同様に制御部１１はプローブユ
ニツト１４を下降制御することにより、このとき当該第
２の評価ユニツト４において供給されている他の磁気ヘ
ツド７に対して最適記録電流調整を行う。Next, the control unit 11 sequentially performs the hitting of the magnetic head 7 and the measurement and evaluation of the electromagnetic conversion characteristics, and then controls the probe unit 14 to move upward. At that time, the control unit 11
In the second evaluation unit 4, the controller 11 controls the probe unit 14 in the same manner as the above-described timing at which the stage unit 6 is controlled to move in the stage unit transport direction after the probe unit 14 is controlled to move upward. By controlling the descent, the optimum recording current is adjusted with respect to the other magnetic head 7 supplied in the second evaluation unit 4 at this time.
【００３８】その後、第１の評価ユニツト３においてヘ
ツドクランプ治具部８にクランプされていた磁気ヘツド
７は、クランプを解除されてアジヤスタユニツト９に供
給される。アジヤスタユニツト９に磁気ヘツド７が供給
されると、ロボツトアーム５は当該磁気ヘツド７を拾い
上げ、測定評価の結果に基づくランク分けに応じて、供
排装置２の供排部１５に排出するように移動制御され
る。Thereafter, the magnetic head 7 clamped by the head clamp jig portion 8 in the first evaluation unit 3 is released from the clamp and supplied to the adjuster unit 9. When the magnetic head 7 is supplied to the agitator unit 9, the robot arm 5 picks up the magnetic head 7 and discharges it to the supply / discharge unit 15 of the supply / discharge device 2 according to the ranking based on the result of measurement and evaluation. Is controlled to move.
【００３９】上述のようなそれぞれ異なる磁気ヘツド７
に対するランク分け動作を第１の評価ユニツト３及び第
２の評価ユニツト４において交互に繰り返すことによ
り、供排部１５に供給された複数の磁気ヘツド７を第１
の評価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４によつて交
互にランク分けした後、当該ランク分け結果に応じた供
排部１５の排出位置に再び戻される。Different magnetic heads 7 as described above
By alternately repeating the ranking operation for the first evaluation unit 3 and the second evaluation unit 4, the plurality of magnetic heads 7 supplied to the supplying / discharging unit 15 are divided into the first evaluation unit 3 and the second evaluation unit 4.
After being alternately ranked by the evaluation unit 3 and the second evaluation unit 4, the sheet is returned to the discharge position of the supply / discharge unit 15 according to the result of the ranking.
【００４０】（４）評価ユニツトの手法 ロボツトアーム５から磁気ヘツド７が供給されたとき、
第１の評価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４の制御
部１１はそれぞれ図５に示す電磁変換処理手順を実行す
ることにより、磁気ヘツド７に対して良品又は不良品を
評価する。すなわち第１の評価ユニツト３の制御部１１
はステツプＳＰ２０から当該処理手順に入り、ステージ
ユニツト６をアジヤスタユニツト９の正面で位置決めす
るようにステージユニツト搬送方向に移動制御する。(4) Method of evaluation unit When the magnetic head 7 is supplied from the robot arm 5,
The control units 11 of the first evaluation unit 3 and the second evaluation unit 4 execute the electromagnetic conversion processing procedure shown in FIG. 5 to evaluate the magnetic head 7 as a good product or a defective product. That is, the control unit 11 of the first evaluation unit 3
Enters the processing procedure from step SP20, and controls the movement in the stage unit transport direction so that the stage unit 6 is positioned in front of the adjuster unit 9.
【００４１】ステツプＳＰ２１において、アジヤスタユ
ニツト９に磁気ヘツド７が供給されると、制御部１１は
ステージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御するこ
とにより磁気ヘツド７をヘツドクランプ治具部８にクラ
ンプし、それと同時に、制御部１１はアジヤスタユニツ
ト９を移動制御することにより磁気ヘツド７のクランプ
を補助する。When the magnetic head 7 is supplied to the adjuster unit 9 in step SP21, the control unit 11 controls the movement of the stage unit 6 in the head contact direction to clamp the magnetic head 7 to the head clamp jig unit 8. At the same time, the controller 11 controls the movement of the adjuster unit 9 to assist the clamping of the magnetic head 7.
【００４２】続いてステツプＳＰ２２において、磁気ヘ
ツド７がヘツドクランプ治具部８によつてクランプされ
ると、制御部１１はステツプＳＰ２３に移つて、ステー
ジユニツト６をステージユニツト搬送方向に移動制御す
ることによりヘツドクランプ治具部８を顕微鏡装置１０
の正面で位置決めする。続いてステツプＳＰ２４におい
て、制御部１１は顕微鏡装置１０から得られる画像認識
に基づいて磁気ヘツド７の形状認識を行うことができる
か否かを判断する。Subsequently, in step SP22, when the magnetic head 7 is clamped by the head clamp jig section 8, the control section 11 moves to step SP23 to control the movement of the stage unit 6 in the stage unit transport direction. The head clamp jig part 8 is attached to the microscope device 10 by
Position in front of. Subsequently, in step SP24, the control unit 11 determines whether or not the shape of the magnetic head 7 can be recognized based on the image recognition obtained from the microscope device 10.
【００４３】ここで、制御部１１が画像認識における判
断をする際には、まず図６（Ｂ）に示すように最適な接
触状態が得られる画像が、顕微鏡装置１０とは別個に設
けられたモニタＭの中央部において、磁気ヘツド７のギ
ヤツプ７Ａ位置と干渉対物レンズ１０Ａによつて得られ
る干渉縞１２の中心位置とが一致する画像であることか
ら、この画像を最適な接触状態が得られる画像として予
め設定しておくようにする。Here, when the control unit 11 makes a judgment in image recognition, an image in which an optimum contact state is obtained, as shown in FIG. 6B, is provided separately from the microscope apparatus 10. In the central portion of the monitor M, since the position of the gear 7A of the magnetic head 7 and the center position of the interference fringes 12 obtained by the interference objective lens 10A coincide with each other, an optimum contact state can be obtained from this image. It should be set as an image in advance.
【００４４】この図６（Ｂ）に示す予め設定された最適
な接触状態が得られる位置と、図６（Ａ）に示す形状認
識がされた磁気ヘツド７の位置とを比較し、その差を補
正量とすることにより、制御部１１はその補正量に基づ
き磁気ヘツド７が測定評価を行うのに適しているか否か
を判断する。The position at which the preset optimum contact state shown in FIG. 6 (B) is obtained and the position of the magnetic head 7 for which the shape is recognized shown in FIG. 6 (A) are compared, and the difference is compared. By setting the correction amount, the control unit 11 determines whether or not the magnetic head 7 is suitable for performing measurement evaluation based on the correction amount.
【００４５】やがてステツプＳＰ２４において肯定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が測定評価を行うの
に適していることを表しており、このとき制御部１１は
ステツプＳＰ２５に移つて、ステージユニツト６を移動
制御することにより磁気ヘツド７の位置を補正する。When a positive result is obtained in step SP24, this means that the magnetic head 7 is suitable for performing measurement and evaluation. At this time, the control unit 11 moves to step SP25 and the stage unit 6 The position of the magnetic head 7 is corrected by controlling the movement of.
【００４６】その際、上述に示す最適な接触状態が得ら
れる画像に基づいて顕微鏡装置１０の正面で磁気ヘツド
７の位置を補正することにより、ユーザは画像認識にお
いて決定された補正量及びその補正が正確であるか否か
をモニタＭを介して確認することができる。At this time, the user corrects the position of the magnetic head 7 in front of the microscope apparatus 10 based on the image in which the optimum contact state described above is obtained, so that the user can correct the correction amount determined in the image recognition and the correction amount. It can be confirmed via the monitor M whether or not is accurate.
【００４７】このステツプＳＰ２５において、制御部１
１はステージユニツト６をステージユニツト搬送方向に
移動制御することにより磁気ヘツド７を回転ドラム装置
１３の正面で位置決めする。ここで位置補正された磁気
ヘツド７は、回転ドラム装置１３に対して所定の位置関
係を有しており、制御部１１がステージユニツト６をヘ
ツド接触方向にのみ移動制御すれば、磁気テープ１３Ａ
に対して最適な接触状態が得られるようになされてい
る。At this step SP25, the control unit 1
1 controls the movement of the stage unit 6 in the stage unit transport direction to position the magnetic head 7 in front of the rotary drum device 13. The position-corrected magnetic head 7 has a predetermined positional relationship with the rotary drum device 13, and if the control unit 11 controls the movement of the stage unit 6 only in the head contact direction, the magnetic tape 13A is moved.
The optimum contact state is obtained with respect to.
【００４８】一方、ステツプＳＰ２４において否定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が測定評価を行うの
に適していないことを表しており、このとき制御部１１
はステージユニツト６を回転ドラム装置１３へ移動制御
することなく、ステツプＳＰ３１に移つてアジヤスタユ
ニツト９の正面へ移動制御する。On the other hand, if a negative result is obtained in step SP24, this means that the magnetic head 7 is not suitable for performing measurement and evaluation. At this time, the control unit 11
Does not control the movement of the stage unit 6 to the rotary drum device 13, but moves to the step SP31 and controls the movement to the front of the adjuster unit 9.
【００４９】続いてステツプＳＰ２６において、制御部
１１はステージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御
すると共に、プローブユニツト１４の下側部に設けられ
たコンタクトピン１４Ａを磁気ヘツド７と接触すること
ができるように移動制御し、その後、最適記録電流調整
を行う。Subsequently, in step SP26, the control unit 11 can control the movement of the stage unit 6 in the head contact direction and can also contact the contact pin 14A provided on the lower side of the probe unit 14 with the magnetic head 7. The movement is controlled as described above, and then the optimum recording current is adjusted.
【００５０】このステツプＳＰ２６において否定結果を
得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うのに
適していないことを表しており、このとき制御部１１は
ステージユニツト６をアジヤスタユニツト９の正面へ移
動制御する。ここで、制御部１１は磁気ヘツド７とプロ
ーブユニツト１４のコンタクトピン１４Ａとの接触を回
転ドラム装置１３の正面において行うことにより、プロ
ーブユニツト１４の移動量を低減し得ると共にプローブ
ユニツト１４の信号ケーブル（図示せず）を短縮し得る
ことから、より正確な測定をすることができる。When a negative result is obtained at step SP26, this means that the magnetic head 7 is not suitable for hitting, and at this time, the control unit 11 causes the stage unit 6 to move to the adjuster unit 9. Control movement to the front. Here, the control unit 11 can reduce the moving amount of the probe unit 14 by contacting the magnetic head 7 and the contact pin 14A of the probe unit 14 on the front surface of the rotating drum device 13, and at the same time, the signal cable of the probe unit 14 can be reduced. Since (not shown) can be shortened, more accurate measurement can be performed.
【００５１】続いてステツプＳＰ２７において、制御部
１１は最適記録電流調整の結果に基づいて磁気ヘツド７
が当り出し（最大出力値検出）を行うのに適しているか
否かを判断する。ここで、当り出しは、制御部１１がス
テージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御すること
により、磁気ヘツド７を回転ドラム装置１３のドラムの
中心に向かいながら磁気テープ１３Ａと接触させること
ができ、それに対応して検出される出力値を比較するこ
とによつて行われる。Subsequently, in step SP27, the control section 11 determines the magnetic head 7 based on the result of the optimum recording current adjustment.
Determines whether or not is suitable for hitting (detecting the maximum output value). Here, in hitting, the control unit 11 controls the movement of the stage unit 6 in the head contact direction to bring the magnetic head 7 into contact with the magnetic tape 13A while facing the center of the drum of the rotary drum device 13. This is done by comparing the correspondingly detected output values.
【００５２】その際、磁気ヘツド７の先端形状などの誤
差に基づき、磁気ヘツド７の最大出力値が得られる位置
（以下、最適接触位置と呼ぶ）には多少の差異が生じる
が、当り出しの開始位置は一定であり、また磁気ヘツド
７及び磁気テープ１３Ａ間の距離も一定であることか
ら、実用上十分な程度に最適接触位置を規定することが
でき、従つて、当り出しは最適接触位置付近のみで行え
ば良いことになる。At this time, there is a slight difference in the position where the maximum output value of the magnetic head 7 is obtained (hereinafter referred to as the optimum contact position) due to an error in the shape of the tip of the magnetic head 7 etc. Since the starting position is constant and the distance between the magnetic head 7 and the magnetic tape 13A is also constant, the optimum contact position can be defined to a degree practically sufficient. It only has to be done in the vicinity.
【００５３】なお、図７において最大出力値検出をグラ
フ化した一例を示し、横軸に位置補正後の磁気ヘツド７
の接触位置を表示し、縦軸に磁気ヘツド７の出力値を表
示する。このグラフによれば、曲線Ｃ１上の点Ｐにおい
て最適接触位置を規定すれば、最大出力値を検出するこ
とができる。It is to be noted that FIG. 7 shows an example in which the maximum output value detection is graphed, and the magnetic head 7 after position correction is shown on the horizontal axis.
Is displayed and the output value of the magnetic head 7 is displayed on the vertical axis. According to this graph, the maximum output value can be detected by defining the optimum contact position at the point P on the curve C1.
【００５４】やがてステツプＳＰ２７において肯定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うの
に適していることを表しており、このとき制御部１１は
磁気ヘツド７の当り出しを行つた後ステツプＳＰ２８に
移つて、電磁変換特性の測定評価を行う。When a positive result is obtained in step SP27, this means that the magnetic head 7 is suitable for hitting, and at this time, the control section 11 hits the magnetic head 7. The process proceeds to the subsequent step SP28 to measure and evaluate the electromagnetic conversion characteristics.
【００５５】一方、ステツプＳＰ２７において否定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うの
に適していないことを表しており、このとき制御部１１
はステツプＳＰ３１に移つてステージユニツト６をアジ
ヤスタユニツト９の正面へ移動制御する。続いてステツ
プＳＰ２９において、制御部１１は電磁変換特性の測定
評価に基づいて磁気ヘツド７が良品であるか不良品であ
るかのランク分けを判断する。On the other hand, when a negative result is obtained in step SP27, this means that the magnetic head 7 is not suitable for hitting, and at this time, the control unit 11
Moves to step SP31 to control the movement of the stage unit 6 to the front of the adjuster unit 9. Then, in step SP29, the control unit 11 determines the ranking of whether the magnetic head 7 is a good product or a defective product based on the measurement and evaluation of the electromagnetic conversion characteristics.
【００５６】やがてステツプＳＰ３０において、制御部
１１は磁気ヘツド７が良品であると判断すると、制御部
１１はステージユニツト６をアジヤスタユニツト９の正
面へ移動制御する。一方、ステツプＳＰ２９において、
制御部１１は磁気ヘツド７が不良品であると判断する
と、制御部１１はステージユニツト６をアジヤスタユニ
ツト９の正面へ移動制御する。In step SP30, when the controller 11 determines that the magnetic head 7 is a good product, the controller 11 controls the movement of the stage unit 6 to the front of the adjuster unit 9. On the other hand, in step SP29,
When the control unit 11 determines that the magnetic head 7 is a defective product, the control unit 11 controls the movement of the stage unit 6 to the front of the adjuster unit 9.
【００５７】かくして制御部１１は、ステージユニツト
６を移動制御して磁気ヘツド７をアジヤスタユニツト９
に供給した後、制御部１１はヘツドクランプ治具部８に
磁気ヘツド７のクランプを解除させるように移動制御す
ることより、制御部１１はステツプＳＰ３２において当
該処理手順を終了する。このようにして制御部１１は磁
気ヘツド７が良品であるか不良品であるかを評価した
後、供排部１５の中の評価結果に応じた供排位置へ当該
磁気ヘツド７を排出する。Thus, the control unit 11 controls the movement of the stage unit 6 to move the magnetic head 7 to the adjuster unit 9.
Then, the control section 11 controls the head clamp jig section 8 to move so as to release the magnetic head 7 from the clamp, and the control section 11 ends the processing procedure in step SP32. In this way, the control unit 11 evaluates whether the magnetic head 7 is a good product or a defective product, and then discharges the magnetic head 7 to the supply / discharge position in the supply / discharge unit 15 according to the evaluation result.
【００５８】（５）実施例の動作 以上の構成において、磁気ヘツド７がヘツドクランプ治
具部８にクランプされる際、制御部１１はヘツドクラン
プ治具部８を水平回転方向に駆動制御することにより、
水平回転方向の変化に伴う磁気ヘツド７のギヤツプ７Ａ
位置の変化を防止することができる。ヘツドクランプ治
具部８に磁気ヘツド７がクランプされると、制御部１１
はステージユニツト６を移動制御することにより当該磁
気ヘツド７を顕微鏡装置１０の正面に位置決めした後、
顕微鏡装置１０における画像処理に基づいて磁気ヘツド
７の先端形状及びギヤツプ７Ａ位置を認識する。(5) Operation of the Embodiment In the above configuration, when the magnetic head 7 is clamped by the head clamp jig part 8, the control part 11 drives and controls the head clamp jig part 8 in the horizontal rotation direction. Due to
Gear head 7A of magnetic head 7 due to change in horizontal rotation direction
It is possible to prevent the position from changing. When the magnetic head 7 is clamped by the head clamp jig portion 8, the control portion 11
After positioning the magnetic head 7 in front of the microscope apparatus 10 by controlling the movement of the stage unit 6,
The tip shape of the magnetic head 7 and the position of the gear 7A are recognized based on the image processing in the microscope device 10.
【００５９】その際、形状認識がされた磁気ヘツド７の
位置と、予め設定された最適な接触状態が得られる位置
とを比較して、その差を補正量とし、制御部１１はステ
ージユニツト６を移動制御することにより、その補正量
に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正する。At this time, the position of the magnetic head 7 whose shape has been recognized is compared with the position where a preset optimum contact state is obtained, and the difference is set as the correction amount, and the control unit 11 controls the stage unit 6 By controlling the movement of the magnetic head 7, the position of the magnetic head 7 is corrected based on the correction amount.
【００６０】位置補正された磁気ヘツド７は、当該補正
位置を基準として予め設定された所定量だけ移動され、
回転ドラム装置１３の正面に位置決めされることによ
り、磁気テープ１３Ａに対して最適な接触状態が得られ
ることになり、制御部１１は磁気ヘツド７の当り出しを
ヘツド接触方向のみの制御調整で行うことができる。The position-corrected magnetic head 7 is moved by a predetermined amount set in advance on the basis of the corrected position,
By being positioned in front of the rotary drum device 13, an optimum contact state with respect to the magnetic tape 13A can be obtained, and the control section 11 performs the hitting of the magnetic head 7 by controlling and adjusting only the head contact direction. be able to.
【００６１】これにより、ヘツドベース（図示せず）に
磁気ヘツド７を接着する際に、当該接着位置に多少の差
異が生じる場合であつても、制御部１１は全ての磁気ヘ
ツド７を最適接触状態で測定することができる。また、
磁気ヘツド７の形状認識、位置補正、単軸での当り出し
及び測定評価をそれぞれ別個の工程を得るように分離し
たことにより、比較的簡単な制御技術の組合せによる工
程の簡易化を図ることができる。As a result, when the magnetic heads 7 are adhered to the head base (not shown), even if there is a slight difference in the adhering position, the control unit 11 puts all the magnetic heads 7 into the optimum contact state. Can be measured at. Also,
By separating the shape recognition, position correction, single-axis hitting and measurement evaluation of the magnetic head 7 so as to obtain separate processes, the process can be simplified by a relatively simple combination of control techniques. it can.
【００６２】（６）実施例の効果 以上の構成によれば、制御部１１は磁気ヘツド７のヘツ
ド形状の認識に基づいて磁気ヘツド７の位置補正を行
い、当該補正された位置を基準として予め設定された所
定量だけ移動することにより、磁気ヘツド７の当り出し
を単軸の制御調整によつて最適接触状態で行うことがで
き、これにより全ての磁気ヘツド７を最大出力値で電磁
変換特性を評価することができると共に、磁気ヘツド７
と磁気テープ１３Ａの接触状態を短時間にすることがで
き、このため磁気ヘツド７及び磁気テープ１３Ａの双方
の劣化を最小限に抑えることができる。(6) Effects of the Embodiments With the above-described configuration, the control unit 11 corrects the position of the magnetic head 7 based on the recognition of the head shape of the magnetic head 7, and uses the corrected position as a reference in advance. By moving the set amount by a set amount, the magnetic head 7 can be hit out in the optimum contact state by the control adjustment of the single axis, and as a result, all the magnetic heads 7 can be electromagnetically converted at the maximum output value. Can be evaluated and the magnetic head 7
The contact state between the magnetic tape 13A and the magnetic tape 13A can be shortened in a short time, and therefore, the deterioration of both the magnetic head 7 and the magnetic tape 13A can be minimized.
【００６３】（７）他の実施例 なお上述の実施例においては、磁気ヘツド７の形状認識
を行う際に、制御部１１は顕微鏡装置１０における画像
認識に基づいて磁気ヘツド７の補正量を決定した後、当
該補正量に基づいて顕微鏡装置１０の正面でステージユ
ニツト６を移動制御することにより磁気ヘツド７の位置
を補正する場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、位置補正のための移動制御としては補正量決定後か
ら当り出しを行うまでの間であればどのタイミングで行
つても良い。(7) Other Embodiments In the above embodiment, when the shape of the magnetic head 7 is recognized, the control unit 11 determines the correction amount of the magnetic head 7 based on the image recognition by the microscope device 10. After that, the case where the position of the magnetic head 7 is corrected by controlling the movement of the stage unit 6 in front of the microscope apparatus 10 based on the correction amount has been described, but the present invention is not limited to this, and the position correction is performed. The movement control may be performed at any timing from after the correction amount is determined to when the hit is performed.
【００６４】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の形状認識を行う際に、当該形状認識の手法として干
渉対物レンズ１０Ａを用いて画像処理により行う場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、例えば非接触
変位計などを用いても上述の場合と同様の効果を得るこ
とができる。Further, in the above-mentioned embodiment, when the shape recognition of the magnetic head 7 is performed, the case where the interference objective lens 10A is used to perform the image processing as a method of the shape recognition, but the present invention is not limited to this. However, the same effect as the above case can be obtained by using, for example, a non-contact displacement meter.
【００６５】また上述の実施例においては、ステージユ
ニツト６の位置補正制御軸をｘ軸（ステージユニツト搬
送方向）、ｙ軸（ヘツド接触方向）、θ軸（水平回転方
向）の３軸とした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、位置補正制御軸をｘ軸（ステージユニツト搬
送方向）、ｙ軸（ヘツド接触方向）、θ軸（水平回転方
向）の３軸のみならず、さらにｚ軸（垂直方向）、ｒ軸
（垂直回転方向）を加えて５軸に増設して本発明を適用
しても良い。In the above embodiment, the position correction control axes of the stage unit 6 are the three axes of the x axis (stage unit transport direction), the y axis (head contact direction), and the θ axis (horizontal rotation direction). However, the present invention is not limited to this, and the position correction control axes are not limited to the three axes of the x axis (stage unit transport direction), the y axis (head contact direction), and the θ axis (horizontal rotation direction). The present invention may be applied by adding z-axis (vertical direction) and r-axis (vertical rotation direction) to five axes.
【００６６】この場合、磁気ヘツド７の形状認識におい
て、顕微鏡装置１０から得られる画像認識に基づく判断
は、ギヤツプ７Ａ位置と干渉縞１２の中心位置（水平方
向）のみならず、干渉縞１２の垂直方向の中心位置、干
渉縞１２の数などによつても行うことができ、従つてよ
り高精度な測定評価を行うことができる。In this case, in the shape recognition of the magnetic head 7, the judgment based on the image recognition obtained from the microscope device 10 is not limited to the position of the gear 7A and the center position (horizontal direction) of the interference fringe 12 but also the vertical direction of the interference fringe 12. It can be performed also by the center position in the direction, the number of the interference fringes 12, and the like, so that more accurate measurement and evaluation can be performed.
【００６７】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４を制御部１１によつて自動的に制御する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、手動によつ
て制御するようにしても上述の場合と同様の効果を得る
ことができる。この場合、磁気ヘツド７の位置補正も手
動により制御することとし、例えば顕微鏡装置１０によ
る観察に基づき、手動ステージを用いて磁気ヘツド７を
所定の位置に移動させるなどの手法で行うこととする。Further, in the above-described embodiment, the case where the evaluation units 3 and 4 are automatically controlled by the control unit 11 has been described, but the present invention is not limited to this, and the control may be performed manually. However, the same effect as the above case can be obtained. In this case, the position correction of the magnetic head 7 is also controlled manually, and for example, based on the observation by the microscope device 10, the magnetic head 7 is moved to a predetermined position using a manual stage.
【００６８】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の当り出しを行う際、磁気ヘツド７を回転ドラム装置
１３の磁気テープ１３Ａ側に移動制御するようにしてい
るが、本発明はこれに限らず、磁気テープ１３Ａを磁気
ヘツド７側に移動制御するようにしても上述の場合と同
様の効果を得ることができる。Further, in the above embodiment, when the magnetic head 7 is struck out, the magnetic head 7 is controlled to move to the magnetic tape 13A side of the rotary drum device 13, but the present invention is not limited to this. Alternatively, even if the magnetic tape 13A is controlled to move to the magnetic head 7 side, the same effect as the above case can be obtained.
【００６９】また上述の実施例においては、制御部１１
が磁気ヘツド７とプローブユニツト１４のコンタクトピ
ン１４Ａとの接触を、回転ドラム装置１３の正面におい
て行うようにしているが、本発明はこれに限らず、磁気
ヘツド７とプローブユニツト１４のコンタクトピン１４
Ａとの接触を、アジヤスタユニツト９において磁気ヘツ
ド７をクランプした直後に行うようにしても上述の場合
と同様の効果を得ることができる。In the above embodiment, the control unit 11
Makes contact between the magnetic head 7 and the contact pin 14A of the probe unit 14 in front of the rotary drum device 13, but the present invention is not limited to this, and the contact pin 14 of the magnetic head 7 and the probe unit 14 is not limited to this.
Even if the contact with A is performed immediately after the magnetic head 7 is clamped in the adjuster unit 9, the same effect as the above case can be obtained.
【００７０】また上述の実施例においては、直動式のス
テージユニツト６を用いた場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、インデツクステーブルなどの回転式
のステージユニツトを使用するようにしても上述の場合
と同様の効果を得ることができる。In the above-mentioned embodiment, the case where the direct-acting type stage unit 6 is used has been described, but the present invention is not limited to this, and a rotary type stage unit such as an index table is used. However, the same effect as the above case can be obtained.
【００７１】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の最大出力値が得られる位置において電磁変換特性の
測定評価を行うことにより、磁気ヘツド７の規格出力値
の上限を知ることができるが、本発明はこれに限らず、
磁気ヘツド７の規格出力以上の出力値を示す任意の位置
で電磁変換特性の測定評価を行うことにより、磁気ヘツ
ド７の製造過程での良否判断に活用するようにしても良
く、その場合には、当り出しに要する時間が短縮でき、
タクトタイムを向上することができる。In the above-mentioned embodiment, the upper limit of the standard output value of the magnetic head 7 can be known by measuring and evaluating the electromagnetic conversion characteristics at the position where the maximum output value of the magnetic head 7 is obtained. The present invention is not limited to this,
By measuring and evaluating the electromagnetic conversion characteristics at an arbitrary position where the output value of the magnetic head 7 is equal to or higher than the standard output, the magnetic head 7 may be used for quality judgment in the manufacturing process. In that case, , The time required for hitting can be shortened,
The tact time can be improved.
【００７２】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４において本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、磁気ヘツド７の電磁変換
特性を行う検出測定装置としての磁気再生装置において
も本発明を適用し得る。すなわち、図３との対応部分に
同一符号を付して示す図８において、１６は全体として
磁気再生装置を示し、回転ドラム装置１３に再生信号処
理部１７を接続して配設することにより、所定のパター
ン信号が予め記録されている磁気テープ１３Ａを再生し
た場合に、当該パターン信号と再生信号処理部１７にお
ける再生信号とを比較した結果に基づいて磁気ヘツド７
を検出測定することができる。In the above-mentioned embodiment, the case where the present invention is applied to the evaluation units 3 and 4 has been described, but the present invention is not limited to this, and the magnetic head 7 is used as a detection and measurement device for performing electromagnetic conversion characteristics. The present invention can be applied to a magnetic reproducing device. That is, in FIG. 8 in which parts corresponding to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, 16 indicates a magnetic reproducing device as a whole, and by connecting the reproducing signal processing unit 17 to the rotary drum device 13 and arranging it, When the magnetic tape 13A on which a predetermined pattern signal is recorded is reproduced, the magnetic head 7 is based on the result of comparison between the pattern signal and the reproduction signal in the reproduction signal processing section 17.
Can be detected and measured.
【００７３】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４において本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、磁気ヘツド７の電磁変換
特性を行う検出測定装置としての磁気記録装置において
も本発明を適用し得る。In the above-mentioned embodiment, the case where the present invention is applied to the evaluation units 3 and 4 has been described, but the present invention is not limited to this, and the magnetic head 7 can be used as a detection and measurement device for performing electromagnetic conversion characteristics. The present invention can be applied to a magnetic recording device.
【００７４】すなわち、図３との対応部分に同一符号を
付して示す図９において、１８は全体として磁気記録装
置を示し、回転ドラム装置１３に記録信号処理部１９を
接続して配設することにより、記録信号処理部１９から
出された所定のパターン信号を磁気テープ１３Ａに記録
した場合に、当該パターン信号と記録信号処理部１９に
おける記録信号とを比較した結果に基づいて磁気ヘツド
７を検出測定することができる。That is, in FIG. 9 in which parts corresponding to those in FIG. 3 are designated by the same reference numerals, 18 denotes a magnetic recording device as a whole, and a recording signal processing section 19 is connected to the rotary drum device 13 and arranged. As a result, when the predetermined pattern signal output from the recording signal processing unit 19 is recorded on the magnetic tape 13A, the magnetic head 7 is set based on the result of comparison between the pattern signal and the recording signal in the recording signal processing unit 19. Can be detected and measured.
【００７５】[0075]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、磁気ヘツ
ドの形状認識を行い、ヘツド形状の認識に基づいて磁気
ヘツドの位置を補正することにより、全ての磁気ヘツド
を最適接触状態で確実に測定することができる磁気ヘツ
ド評価装置を容易に実現し得る。As described above, according to the present invention, the shape of the magnetic head is recognized, and the position of the magnetic head is corrected based on the recognition of the shape of the head. It is possible to easily realize a magnetic head evaluation device that can measure the above.
【図１】本発明による電磁変換特性評価システムの全体
構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of an electromagnetic conversion characteristic evaluation system according to the present invention.
【図２】評価ユニツトの構成を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the configuration of an evaluation unit.
【図３】評価ユニツトの構成を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a configuration of an evaluation unit.
【図４】電磁変換特性評価システムの動作タイミングチ
ヤートである。FIG. 4 is an operation timing chart of the electromagnetic conversion characteristic evaluation system.
【図５】電磁変換特性評価の処理手順を示すフローチヤ
ートである。FIG. 5 is a flow chart showing a processing procedure for electromagnetic conversion characteristic evaluation.
【図６】評価ユニツトの顕微鏡装置において画像認識さ
れた磁気ヘツドの表示画像を示す略線図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a display image of a magnetic head that has been image-recognized by a microscope device of an evaluation unit.
【図７】磁気ヘツドの特性曲線図である。FIG. 7 is a characteristic curve diagram of a magnetic head.
【図８】磁気再生装置の構成を示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing a configuration of a magnetic reproducing device.
【図９】磁気記録装置の構成を示す側面図である。FIG. 9 is a side view showing the configuration of a magnetic recording device.
【図１０】従来の電磁変換特性評価の処理手順を示すフ
ローチヤートである。FIG. 10 is a flow chart showing a processing procedure of conventional electromagnetic conversion characteristic evaluation.
【図１１】従来の電磁変換特性評価の処理手順を示すフ
ローチヤートである。FIG. 11 is a flow chart showing a processing procedure of conventional electromagnetic conversion characteristic evaluation.
１……電磁変換特性評価システム、２……供排装置、
３、４……評価ユニツト、５……ロボツトアーム、６…
…ステージユニツト、７……磁気ヘツド、８……ヘツド
クランプ治具部、９……アジヤスタユニツト、１０……
顕微鏡装置、１１……制御部、１３……回転ドラム装
置、１４……プローブユニツト、１５……供排装置、１
６……磁気再生装置、１７……再生信号処理部、１８…
…磁気記録装置、１９……記録信号処理部。1 ... Electromagnetic conversion characteristic evaluation system, 2 ... Supply and discharge device,
3, 4 ... Evaluation unit, 5 ... Robot arm, 6 ...
… Stage unit, 7 …… Magnetic head, 8 …… Head clamp jig part, 9 …… Adjuster unit, 10 ……
Microscope device, 11 ... Control unit, 13 ... Rotating drum device, 14 ... Probe unit, 15 ... Supply / discharge device, 1
6 ... Magnetic reproduction device, 17 ... Reproduction signal processing unit, 18 ...
... magnetic recording device, 19 ... recording signal processing unit.
Claims (9)
る磁気再生方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記再生処理手
段によつて再生することを特徴とする磁気再生方法。1. A magnetic reproducing method for reproducing a magnetic head by a reproducing processing means, the head shape is recognized, the position of the magnetic head is corrected based on the recognition of the head shape, and the magnetic head is corrected based on the correction result. A magnetic reproducing method characterized in that a magnetic head is reproduced by the reproduction processing means.
る磁気記録方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記記録処理手
段によつて記録することを特徴とする磁気記録方法。2. A magnetic recording method for recording a magnetic head by a recording processing means, wherein the head shape is recognized, the position of the magnetic head is corrected based on the recognition of the head shape, and based on the correction result, A magnetic recording method characterized in that a magnetic head is recorded by the recording processing means.
る磁気ヘツド評価方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記評価処理手
段によつて評価することを特徴とする磁気ヘツド評価方
法。3. A magnetic head evaluation method for evaluating a magnetic head by an evaluation processing means, wherein the head shape is recognized, the position of the magnetic head is corrected based on the recognition of the head shape, and based on the correction result. A magnetic head evaluation method, characterized in that the magnetic head is evaluated by the evaluation processing means.
る磁気再生装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記認識結果に基づいて補正値を計算する補正値計算手
段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドを再生する再生処理手段
とを具えることを特徴とする磁気再生装置。4. A magnetic reproducing apparatus for reproducing a magnetic head by a reproducing processing means, a measuring means for recognizing the head shape, a correction value calculating means for calculating a correction value based on the recognition result, A magnetic reproducing apparatus comprising: position correcting means for correcting the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculating means; and reproducing processing means for reproducing the position-corrected magnetic head.
上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
と、 上記位置補正された磁気ヘツドを再生する再生処理部で
なる上記再生処理手段とを具えることを特徴とする請求
項４に記載の磁気再生装置。5. The magnetic reproducing apparatus comprises the measuring means, which is a microscope image processing apparatus for recognizing the head shape, and the correction value, which is a control section for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means. The calculation means, the position correction means that is a multi-axis controller that corrects the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculation means, and the reproduction processing unit that reproduces the position-corrected magnetic head. The magnetic reproducing apparatus according to claim 4, further comprising a reproducing processing unit.
る磁気記録装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する補
正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドを記録する記録処理手段
とを具えることを特徴とする磁気記録装置。6. A magnetic recording apparatus for recording a magnetic head by a recording processing means, a measuring means for recognizing the head shape, and a correction value calculating means for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means. And a position correction means for correcting the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculation means, and a recording processing means for recording the position-corrected magnetic head. .
上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
と、 上記位置補正された磁気ヘツドを記録する記録処理部で
なる上記記録処理手段とを具えることを特徴とする請求
項６に記載の磁気記録装置。7. The magnetic recording device comprises the measuring means, which is a microscope image processing device that recognizes the head shape, and the correction value, which is a control unit that calculates a correction value based on the recognition result of the measuring means. The calculation means, the position correction means that is a multi-axis control device that corrects the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculation means, and the recording processing unit that records the position-corrected magnetic head 7. The magnetic recording apparatus according to claim 6, further comprising a recording processing unit.
る磁気ヘツド評価装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する補
正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドの電磁変換特性を行う評
価測定手段とを具えることを特徴とする磁気ヘツド評価
装置。8. A magnetic head evaluation apparatus for evaluating a magnetic head by an evaluation processing means, a measuring means for recognizing the head shape, and a correction value calculation for calculating a correction value based on the recognition result of the measuring means. Means, position correction means for correcting the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculation means, and evaluation measurement means for performing the electromagnetic conversion characteristics of the position-corrected magnetic head. Magnetic head evaluation device.
上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
と、 上記位置補正された磁気ヘツドの電磁変換特性を行う検
出測定装置でなる上記評価測定手段とを具えることを特
徴とする請求項８に記載の磁気ヘツド評価装置。9. The magnetic head evaluation apparatus comprises the measuring means, which is a microscope image processing apparatus for recognizing the head shape, and the control section, which calculates a correction value based on the recognition result of the measuring means. A value calculation means, the position correction means comprising a multi-axis controller for correcting the position of the magnetic head based on the calculation result of the correction value calculation means, and a detection measurement for performing the electromagnetic conversion characteristics of the position-corrected magnetic head. 9. The magnetic head evaluation apparatus according to claim 8, further comprising: an evaluation measurement unit that is an apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32992893A JPH07153040A (en) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | Method and apparatus for evaluation of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32992893A JPH07153040A (en) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | Method and apparatus for evaluation of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153040A true JPH07153040A (en) | 1995-06-16 |
Family
ID=18226843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32992893A Pending JPH07153040A (en) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | Method and apparatus for evaluation of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07153040A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112051527A (en) * | 2020-08-11 | 2020-12-08 | 大连理工大学 | Clamping-detecting integrated device and matching method for micro magnetic steel |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP32992893A patent/JPH07153040A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112051527A (en) * | 2020-08-11 | 2020-12-08 | 大连理工大学 | Clamping-detecting integrated device and matching method for micro magnetic steel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5566447A (en) | Pick-up point correction device for mounter | |
| CN206122910U (en) | Battery seals laser welding equipment | |
| US5547537A (en) | Ceramic carrier transport for die attach equipment | |
| EP0578136B1 (en) | Method for mounting components and an apparatus therefor | |
| US4738025A (en) | Automated apparatus and method for positioning multicontact component | |
| US20020069510A1 (en) | Head gimbal assembly method | |
| US20080062564A1 (en) | Apparatus and method for receiving and positioning a read/write head to a disk in a test apparatus | |
| CN107600591B (en) | A kind of transformer detects finished product production line flow process automatically | |
| JP2009534170A (en) | Method for applying and monitoring a coating structure with repair function and apparatus for carrying out this method | |
| JPWO2003022534A1 (en) | Wafer position teaching method and teaching jig | |
| JP3335826B2 (en) | Solder bump measuring device | |
| US9773515B2 (en) | HGA loader with optical alignment for automated magnetic head testing | |
| JPH11508413A (en) | Method for placing components on a substrate and component placement machine for performing the method | |
| JPH07153040A (en) | Method and apparatus for evaluation of magnetic head | |
| US11901234B2 (en) | Method of processing wafer, and chip measuring apparatus | |
| US6983547B2 (en) | Goniometer | |
| US20030048448A1 (en) | Automated apparatus for testing optical filters | |
| US5376805A (en) | Method and apparatus for determining the size and position of a roll end head | |
| TW201914789A (en) | Precise assembly mechanism including a visual sensing unit for identifying the position of a perforation, the position of the needle tip of the material, and the profile of the material | |
| CN102664024B (en) | Method for adjusting laser to be aligned to head slider | |
| JP3009317B2 (en) | Pellet bonding equipment | |
| TWI836715B (en) | Semiconductor component pickup device and operation control method thereof | |
| US6223798B1 (en) | Head chip mounting apparatus | |
| JP3419248B2 (en) | Application method of bond for bonding electronic parts | |
| JP2858983B2 (en) | Semiconductor wafer probing equipment |