JPH07153040A - 磁気ヘツド評価方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気ヘツドを評価処理手段によつて評価する磁
気ヘツド評価装置において、磁気ヘツドの当り出しが単
軸の調整作業でかつ、最適接触位置付近のみで行うこと
ができ、さらにヘツドベースへの磁気ヘツドの接着位置
の誤差に左右されることなく全ての磁気ヘツドが最適接
触状態で測定し得、さらに比較的単純な制御技術の組合
せによるシステムを実現する。 【構成】磁気ヘツド７の形状認識を行い、ヘツド形状の
認識に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正することによ
り、全ての磁気ヘツド７を最適接触状態で確実に測定す
ることができる磁気ヘツド評価装置３、４を容易に実現
し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図１０及び図１１） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図２及び図３） 作用（図２） 実施例 （１）電磁変換特性評価システムの全体構成（図１） （２）評価ユニツトの構成（図２、図３及び図５） （３）電磁変換特性評価システムの動作タイミング（図
４） （４）評価ユニツトの手法（図６及び図７） （５）実施例の動作（図２及び図３） （６）実施例の効果（図２及び図３） （７）他の実施例（図２、図３、図８及び図９） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘツド評価方法及び
その装置に関し、特に電磁変換特性を評価する場合に適
用して好適なものである。

【０００３】

【従来の技術】従来、磁気テープ上に所定の信号を記録
及び又は再生する磁気ヘツドの電磁変換特性を評価する
システムを用いて、磁気テープに対して磁気ヘツドの接
触状態が最適となるように磁気ヘツドの位置を補正する
方法が考えられる。この補正方法として第１に磁気ヘツ
ドを磁気テープに接触させながら磁気ヘツドの位置を調
整する方法及び、第２にヘツドベースを外形基準で位置
決めして接触方向を調整する方法が考えられている。

【０００４】第１の方法として磁気ヘツドを磁気テープ
に接触させながら位置を調整する場合、調整装置は図１
０に示す処理手順に従つて磁気ヘツドの位置を調整す
る。すなわち調整装置はステツプＳＰ１から当該処理手
順に入り、ステツプＳＰ２でヘツドセツトがなされる
と、ステツプＳＰ３において最大出力値検出（以下これ
を「当り出し」と呼ぶ）が行われる。

【０００５】続いて調整装置はステツプＳＰ４において
当り出しを行うことができるか否かを判断し、否定結果
が得られたときにはステツプＳＰ８に移つてこのときの
被測定磁気ヘツドを不良品として排出し、また肯定結果
が得られたときにはステツプＳＰ５に移つて電磁変換特
性の測定評価を行う。

【０００６】続いてステツプＳＰ６において測定評価が
良いか否かが判断され、肯定結果が得られたときには、
調整装置はステツプＳＰ７に移つてこのときの被測定磁
気ヘツドを良品として排出し、また否定結果が得られた
ときには、ステツプＳＰ８に移つて被測定磁気ヘツドを
不良品として排出する。かくしてその後ステツプＳＰ９
において当該処理手順を終了する。

【０００７】また第２の調整方法として、ヘツドヘース
を外形基準で位置決めして接触方向を調整する場合、調
整装置は図１１に示す処理手順に従つて磁気ヘツドの位
置を調整する。すなわち調整装置はステツプＳＰ１０か
ら当該処理手順に入り、ステツプＳＰ１１においてヘツ
ドセツトがなされると、ステツプＳＰ１２に移つてヘツ
ドベースを外形基準で位置決めした後、ステツプＳＰ１
３において当り出しが行われる。

【０００８】続いて調整装置はステツプＳＰ１４におい
て当り出しを行うことができるか否かを判断し、否定結
果が得られたときにはステツプＳＰ１８に移つてこのと
きの被測定磁気ヘツドを不良品として排出し、また肯定
結果が得られたときにはステツプＳＰ１５に移つて電磁
変換特性の測定評価を行う。

【０００９】続いて調整装置はステツプＳＰ１６におい
て測定評価が良いか否かを判断し、肯定結果が得られた
ときには、ステツプＳＰ１７に移つて被測定磁気ヘツド
を良品として排出し、また否定結果が得られたときに
は、ステツプＳＰ１８に移つて被測定磁気ヘツドを不良
品として排出する。かくしてその後ステツプＳＰ１９に
おいて当該処理手順を終了する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところでこの種の磁気
ヘツドの電磁変換特性評価システムを用いて、磁気ヘツ
ドを磁気テープに接触させながら位置を調整する方法に
おいては、磁気ヘツドが磁気テープに接触している時間
が長く、磁気ヘツドや磁気テープが磨耗して劣化する問
題があつた。

【００１１】さらに、出力波形を認識しながら磁気ヘツ
ドの取り付け位置を多軸調整する必要があり、作業者の
習熟が必要とされるうえ、作業者間の測定にも差異が生
じるおそれがある。従つてその方法をそのまま自動制御
に置き換えた場合、磁気ヘツドと磁気テープの接触時間
の問題、多軸調整での測定によつて差異を生じた出力値
の比較の問題などを解決するには、フアジー制御、高速
処理技術など煩雑な制御技術が必要とされる。

【００１２】また、ヘツドベースを外形基準で位置決め
して接触方向を調整する方法は、作業も簡単であり、自
動制御の実現は容易であるが、ヘツドベースへの磁気ヘ
ツドの接着位置に多少の誤差が生じることを避け得ず、
必ずしも磁気ヘツドと磁気テープの接触状態が最適とは
ならない。このため、磁気ヘツドの出力値を測定した場
合、その値は磁気ヘツドによつて測定される最大出力値
よりも低い値となり、磁気ヘツドの測定結果が劣化する
おそれがある。また、磁気ヘツドの性能の向上、需要の
増大にともない、その評価においてもより操作性、測定
信頼性の高いシステムの開発が望まれている。

【００１３】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、磁気ヘツドの当り出しが単軸の調整作業でかつ、最
適接触位置付近のみで行うことができ、さらにヘツドベ
ースへの磁気ヘツドの接着位置の誤差に左右されること
なく全ての磁気ヘツドが最適接触状態で測定し得、さら
に比較的単純な制御技術の組合せによるシステムを実現
し得る磁気ヘツド評価方法及びその装置を提案しようと
するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、磁気ヘツド７を再生処理手段１７
によつて再生する磁気再生方法において、ヘツド形状の
認識を行い、ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツド７
の位置を補正し、補正結果に基づき磁気ヘツド７を再生
処理手段１７によつて再生するようにする。

【００１５】また本発明においては、磁気ヘツド７を記
録処理手段１９によつて記録する磁気記録方法におい
て、ヘツド形状の認識を行い、ヘツド形状の認識に基づ
いて磁気ヘツド７の位置を補正し、補正結果に基づき磁
気ヘツド７を記録処理手段１９によつて記録するように
する。

【００１６】また本発明においては、磁気ヘツド７を評
価処理手段１３、１４によつて評価する磁気ヘツド評価
方法において、ヘツド形状の認識を行い、ヘツド形状の
認識に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正し、補正結果
に基づき磁気ヘツド７を評価処理手段１３、１４によつ
て評価するようにする。

【００１７】また本発明においては、磁気ヘツド７を再
生処理手段１７によつて再生する磁気再生装置１６にお
いて、ヘツド形状の認識を行う測定手段１０と、認識結
果に基づいて補正値を計算する補正値計算手段１１と、
補正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７
の位置を補正する位置補正手段６と、位置補正された磁
気ヘツド７を再生する再生処理手段１７とを備えるよう
にする。

【００１８】また本発明においては、磁気再生装置１６
は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補
正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１１と、補
正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７の
位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手段６と、
位置補正された磁気ヘツド７を再生する再生処理部でな
る再生処理手段１７とを備えるようにする。

【００１９】また本発明においては、磁気ヘツド７を記
録処理手段１９によつて記録する磁気記録装置１８にお
いて、ヘツド形状の認識を行う測定手段１０と、測定手
段１０の認識結果に基づいて補正値を計算する補正値計
算手段１１と、補正値計算手段１１の計算結果に基づい
て磁気ヘツド７の位置を補正する位置補正手段６と、位
置補正された磁気ヘツド７を記録する記録処理手段１９
とを備えるようにする。

【００２０】また本発明においては、磁気記録装置１８
は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補
正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１１と、補
正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘツド７の
位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手段６と、
位置補正された磁気ヘツド７を記録する記録処理部でな
る記録処理手段１９とを備えるようにする。

【００２１】また本発明においては、磁気ヘツド７を評
価処理手段１３、１４によつて評価する磁気ヘツド評価
装置３、４において、ヘツド形状の認識を行う測定手段
１０と、測定手段１０の認識結果に基づいて補正値を計
算する補正値計算手段１１と、補正値計算手段１１の計
算結果に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正する位置補
正手段６と、位置補正された磁気ヘツド７の電磁変換特
性を行う評価測定手段１３、１４とを備えるようにす
る。

【００２２】また本発明においては、磁気ヘツド評価装
置３、４は、ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装
置でなる測定手段１０と、測定手段１０の認識結果に基
づいて補正値を計算する制御部でなる補正値計算手段１
１と、補正値計算手段１１の計算結果に基づいて磁気ヘ
ツド７の位置を補正する多軸制御装置でなる位置補正手
段６と、位置補正された磁気ヘツド７の電磁変換特性を
行う検出測定装置でなる評価測定手段１３、１４とを備
えるようにする。

【００２３】

【作用】ヘツド形状の認識を行う補正値計算手段１１
と、当該補正値計算手段１１の認識結果に基づいて磁気
ヘツド７の位置を補正する位置補正手段６とを設けたこ
とにより、かかる位置補正された磁気ヘツド７の電磁変
換特性評価を行うにあたつて、全ての磁気ヘツド７を最
適接触状態で測定することができる。

【００２４】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００２５】（１）電磁変換特性評価システムの全体構
成 図１は全体として電磁変換特性評価システム１を示し、
１つの供排装置２に対して、第１の評価ユニツト３及び
第２の評価ユニツト４が設けられている。供排装置２に
設けられたロボツトアーム５は、供排部１５における磁
気ヘツドを拾い上げ、評価ユニツト３及び４におけるア
ジヤスタユニツト９に当該磁気ヘツドを供給するように
移動制御されると共に、アジヤスタユニツト９に供給さ
れた被測定磁気ヘツドを拾い上げ、測定評価の結果に基
づくランク分けに応じて、供排装置２の供排部１５に排
出するように移動制御される。これにより、第１の評価
ユニツト３及び第２の評価ユニツト４において所定の動
作タイミングで磁気ヘツドが交互に測定評価されるよう
になされている。

【００２６】（２）評価ユニツトの構成 図２において、３（４）は全体として評価ユニツトを示
し、ロボツトアーム（図１）の移動制御によつて磁気ヘ
ツド７はアジヤスタユニツト９に供給される。磁気ヘツ
ド７が供給されたアジヤスタユニツト９は、その対向位
置に設けられたステージユニツト６に磁気ヘツド７を供
給するように移動制御されると共に、ステージユニツト
６から供給された被測定後の磁気ヘツド７をロボツトア
ーム５が拾い上げることができるように移動制御される
ようになされている。

【００２７】ステージユニツト６は制御部１１によつて
矢印ｘで示す方向又はこれとは逆方向（以下これをステ
ージユニツト搬送方向と呼ぶ）、矢印ｙで示す方向又は
これとは逆方向（以下これをヘツド接触方向と呼ぶ）及
び矢印θで示す方向又はこれとは逆方向（以下これを水
平回転方向と呼ぶ）の各方向に移動制御されるようにな
されている。

【００２８】ステージユニツト６の先端部には、磁気ヘ
ツド７をクランプするヘツドクランプ治具部８が取り付
けられており、磁気ヘツド７をクランプし得るようにな
されている。ここでヘツドクランプ治具部８を水平回転
方向に駆動する駆動手段としてゴニオ式のステージを用
いたことにより、磁気ヘツド７のギヤツプ位置を変化さ
せることなく、水平回転方向のみを変化させることがで
き、従来の水平回転方向の変化に伴うヘツドのギヤツプ
位置の変化を防止することができる。

【００２９】アジヤスタユニツト９のステージユニツト
搬送方向に沿う位置には、顕微鏡装置１０及び回転ドラ
ム装置１３がそれぞれ並設されており、ステージユニツ
ト６のステージユニツト搬送方向への移動に伴い、当該
ステージユニツト６のヘツドクランプ治具部８にクラン
プされた磁気ヘツド７と位置合わせできるようになされ
ている。

【００３０】また、顕微鏡装置１０は、ステージユニツ
ト６に対向する側の先端部に干渉対物レンズ１０Ａを有
し、その干渉対物レンズ１０Ａによつて得られる干渉縞
に基づいて磁気ヘツド７の先端形状及びギヤツプ７Ａ位
置の画像を画像処理することにより、顕微鏡装置１０と
は別個に設けられたモニタを介して磁気ヘツド７のヘツ
ド形状を認識できるようになされている。ここで磁気ヘ
ツド７のヘツド形状とは、磁気ヘツド７の先端の形状を
いい、そのギヤツプ７Ａ位置やギヤツプ７Ａ形状なども
含めて測定することにより、より精密に測定することが
できる。

【００３１】また図３に示すように、回転ドラム装置１
３は，その周辺面に磁気テープ１３Ａが巻き付けられて
おり、ステージユニツト６に対向する側の所定位置には
測定用アンプユニツト（以下プローブユニツトと呼ぶ）
１４が設けられている。磁気ヘツド７が磁気テープ１３
Ａに接触するように位置合わせされると、プローブユニ
ツト１４の下側部に設けられたコンタクトピン１４Ａが
下降制御されることにより、当該コンタクトピン１４Ａ
が磁気ヘツド７と接触して最適記録電流調整が行われ
る。

【００３２】（３）電磁変換特性評価システムの動作タ
イミング 図４は電磁変換特性評価システム１において、第１の評
価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４と、ロボツトア
ーム５を有する供排装置２との動作タイミングを示す。

【００３３】すなわちまず供排装置２は、供排部１５に
磁気ヘツド７が供給されると、ロボツトアーム５を移動
制御することによつて当該磁気ヘツド７を拾い上げ、第
１の評価ユニツト３におけるアジヤスタユニツト９の所
定位置に当該磁気ヘツド７を供給する。

【００３４】アジヤスタユニツト９に供給された磁気ヘ
ツド７は、ヘツドクランプ治具部８によりクランプさ
れ、この状態においてステージユニツト６がステージユ
ニツト搬送方向に移動制御されることによりクランプさ
れた磁気ヘツド７が顕微鏡装置１０の視野内に配置され
る。かくして、顕微鏡装置１０の画像処理に基づく磁気
ヘツド７の形状認識が行われる。

【００３５】その形状認識の結果に基づいて、制御部１
１はステージユニツト６をステージユニツト搬送方向、
ヘツド接触方向及び水平回転方向の各方向に移動制御す
ることにより、磁気ヘツド７の位置を補正した後、磁気
ヘツド７をプローブユニツト１４の正面に位置決めする
ように、ステージユニツト６をステージユニツト搬送方
向に移動制御する。

【００３６】磁気ヘツド７がプローブユニツト１４の正
面に位置決めされると、第１の評価ユニツト３はプロー
ブユニツト１４を下降制御して最適記録電流調整を行
う。制御部１１がプローブユニツト１４を下降制御する
タイミングと同期したタイミングで、第２の評価ユニツ
ト４において上述の場合と同様に制御部１１がプローブ
ユニツト１４を上昇制御した後、ステージユニツト６を
ステージユニツト搬送方向に移動制御するようになされ
ている。

【００３７】次に、制御部１１は磁気ヘツド７の当り出
し及び電磁変換特性の測定評価を順次行い、その後プロ
ーブユニツト１４を上昇制御する。その際、制御部１１
はプローブユニツト１４を上昇制御した後、ステージユ
ニツト６をステージユニツト搬送方向に移動制御するタ
イミングと同期したタイミングで、第２の評価ユニツト
４において上述の場合と同様に制御部１１はプローブユ
ニツト１４を下降制御することにより、このとき当該第
２の評価ユニツト４において供給されている他の磁気ヘ
ツド７に対して最適記録電流調整を行う。

【００３８】その後、第１の評価ユニツト３においてヘ
ツドクランプ治具部８にクランプされていた磁気ヘツド
７は、クランプを解除されてアジヤスタユニツト９に供
給される。アジヤスタユニツト９に磁気ヘツド７が供給
されると、ロボツトアーム５は当該磁気ヘツド７を拾い
上げ、測定評価の結果に基づくランク分けに応じて、供
排装置２の供排部１５に排出するように移動制御され
る。

【００３９】上述のようなそれぞれ異なる磁気ヘツド７
に対するランク分け動作を第１の評価ユニツト３及び第
２の評価ユニツト４において交互に繰り返すことによ
り、供排部１５に供給された複数の磁気ヘツド７を第１
の評価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４によつて交
互にランク分けした後、当該ランク分け結果に応じた供
排部１５の排出位置に再び戻される。

【００４０】（４）評価ユニツトの手法 ロボツトアーム５から磁気ヘツド７が供給されたとき、
第１の評価ユニツト３及び第２の評価ユニツト４の制御
部１１はそれぞれ図５に示す電磁変換処理手順を実行す
ることにより、磁気ヘツド７に対して良品又は不良品を
評価する。すなわち第１の評価ユニツト３の制御部１１
はステツプＳＰ２０から当該処理手順に入り、ステージ
ユニツト６をアジヤスタユニツト９の正面で位置決めす
るようにステージユニツト搬送方向に移動制御する。

【００４１】ステツプＳＰ２１において、アジヤスタユ
ニツト９に磁気ヘツド７が供給されると、制御部１１は
ステージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御するこ
とにより磁気ヘツド７をヘツドクランプ治具部８にクラ
ンプし、それと同時に、制御部１１はアジヤスタユニツ
ト９を移動制御することにより磁気ヘツド７のクランプ
を補助する。

【００４２】続いてステツプＳＰ２２において、磁気ヘ
ツド７がヘツドクランプ治具部８によつてクランプされ
ると、制御部１１はステツプＳＰ２３に移つて、ステー
ジユニツト６をステージユニツト搬送方向に移動制御す
ることによりヘツドクランプ治具部８を顕微鏡装置１０
の正面で位置決めする。続いてステツプＳＰ２４におい
て、制御部１１は顕微鏡装置１０から得られる画像認識
に基づいて磁気ヘツド７の形状認識を行うことができる
か否かを判断する。

【００４３】ここで、制御部１１が画像認識における判
断をする際には、まず図６（Ｂ）に示すように最適な接
触状態が得られる画像が、顕微鏡装置１０とは別個に設
けられたモニタＭの中央部において、磁気ヘツド７のギ
ヤツプ７Ａ位置と干渉対物レンズ１０Ａによつて得られ
る干渉縞１２の中心位置とが一致する画像であることか
ら、この画像を最適な接触状態が得られる画像として予
め設定しておくようにする。

【００４４】この図６（Ｂ）に示す予め設定された最適
な接触状態が得られる位置と、図６（Ａ）に示す形状認
識がされた磁気ヘツド７の位置とを比較し、その差を補
正量とすることにより、制御部１１はその補正量に基づ
き磁気ヘツド７が測定評価を行うのに適しているか否か
を判断する。

【００４５】やがてステツプＳＰ２４において肯定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が測定評価を行うの
に適していることを表しており、このとき制御部１１は
ステツプＳＰ２５に移つて、ステージユニツト６を移動
制御することにより磁気ヘツド７の位置を補正する。

【００４６】その際、上述に示す最適な接触状態が得ら
れる画像に基づいて顕微鏡装置１０の正面で磁気ヘツド
７の位置を補正することにより、ユーザは画像認識にお
いて決定された補正量及びその補正が正確であるか否か
をモニタＭを介して確認することができる。

【００４７】このステツプＳＰ２５において、制御部１
１はステージユニツト６をステージユニツト搬送方向に
移動制御することにより磁気ヘツド７を回転ドラム装置
１３の正面で位置決めする。ここで位置補正された磁気
ヘツド７は、回転ドラム装置１３に対して所定の位置関
係を有しており、制御部１１がステージユニツト６をヘ
ツド接触方向にのみ移動制御すれば、磁気テープ１３Ａ
に対して最適な接触状態が得られるようになされてい
る。

【００４８】一方、ステツプＳＰ２４において否定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が測定評価を行うの
に適していないことを表しており、このとき制御部１１
はステージユニツト６を回転ドラム装置１３へ移動制御
することなく、ステツプＳＰ３１に移つてアジヤスタユ
ニツト９の正面へ移動制御する。

【００４９】続いてステツプＳＰ２６において、制御部
１１はステージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御
すると共に、プローブユニツト１４の下側部に設けられ
たコンタクトピン１４Ａを磁気ヘツド７と接触すること
ができるように移動制御し、その後、最適記録電流調整
を行う。

【００５０】このステツプＳＰ２６において否定結果を
得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うのに
適していないことを表しており、このとき制御部１１は
ステージユニツト６をアジヤスタユニツト９の正面へ移
動制御する。ここで、制御部１１は磁気ヘツド７とプロ
ーブユニツト１４のコンタクトピン１４Ａとの接触を回
転ドラム装置１３の正面において行うことにより、プロ
ーブユニツト１４の移動量を低減し得ると共にプローブ
ユニツト１４の信号ケーブル（図示せず）を短縮し得る
ことから、より正確な測定をすることができる。

【００５１】続いてステツプＳＰ２７において、制御部
１１は最適記録電流調整の結果に基づいて磁気ヘツド７
が当り出し（最大出力値検出）を行うのに適しているか
否かを判断する。ここで、当り出しは、制御部１１がス
テージユニツト６をヘツド接触方向に移動制御すること
により、磁気ヘツド７を回転ドラム装置１３のドラムの
中心に向かいながら磁気テープ１３Ａと接触させること
ができ、それに対応して検出される出力値を比較するこ
とによつて行われる。

【００５２】その際、磁気ヘツド７の先端形状などの誤
差に基づき、磁気ヘツド７の最大出力値が得られる位置
（以下、最適接触位置と呼ぶ）には多少の差異が生じる
が、当り出しの開始位置は一定であり、また磁気ヘツド
７及び磁気テープ１３Ａ間の距離も一定であることか
ら、実用上十分な程度に最適接触位置を規定することが
でき、従つて、当り出しは最適接触位置付近のみで行え
ば良いことになる。

【００５３】なお、図７において最大出力値検出をグラ
フ化した一例を示し、横軸に位置補正後の磁気ヘツド７
の接触位置を表示し、縦軸に磁気ヘツド７の出力値を表
示する。このグラフによれば、曲線Ｃ１上の点Ｐにおい
て最適接触位置を規定すれば、最大出力値を検出するこ
とができる。

【００５４】やがてステツプＳＰ２７において肯定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うの
に適していることを表しており、このとき制御部１１は
磁気ヘツド７の当り出しを行つた後ステツプＳＰ２８に
移つて、電磁変換特性の測定評価を行う。

【００５５】一方、ステツプＳＰ２７において否定結果
を得ると、このことは磁気ヘツド７が当り出しを行うの
に適していないことを表しており、このとき制御部１１
はステツプＳＰ３１に移つてステージユニツト６をアジ
ヤスタユニツト９の正面へ移動制御する。続いてステツ
プＳＰ２９において、制御部１１は電磁変換特性の測定
評価に基づいて磁気ヘツド７が良品であるか不良品であ
るかのランク分けを判断する。

【００５６】やがてステツプＳＰ３０において、制御部
１１は磁気ヘツド７が良品であると判断すると、制御部
１１はステージユニツト６をアジヤスタユニツト９の正
面へ移動制御する。一方、ステツプＳＰ２９において、
制御部１１は磁気ヘツド７が不良品であると判断する
と、制御部１１はステージユニツト６をアジヤスタユニ
ツト９の正面へ移動制御する。

【００５７】かくして制御部１１は、ステージユニツト
６を移動制御して磁気ヘツド７をアジヤスタユニツト９
に供給した後、制御部１１はヘツドクランプ治具部８に
磁気ヘツド７のクランプを解除させるように移動制御す
ることより、制御部１１はステツプＳＰ３２において当
該処理手順を終了する。このようにして制御部１１は磁
気ヘツド７が良品であるか不良品であるかを評価した
後、供排部１５の中の評価結果に応じた供排位置へ当該
磁気ヘツド７を排出する。

【００５８】（５）実施例の動作 以上の構成において、磁気ヘツド７がヘツドクランプ治
具部８にクランプされる際、制御部１１はヘツドクラン
プ治具部８を水平回転方向に駆動制御することにより、
水平回転方向の変化に伴う磁気ヘツド７のギヤツプ７Ａ
位置の変化を防止することができる。ヘツドクランプ治
具部８に磁気ヘツド７がクランプされると、制御部１１
はステージユニツト６を移動制御することにより当該磁
気ヘツド７を顕微鏡装置１０の正面に位置決めした後、
顕微鏡装置１０における画像処理に基づいて磁気ヘツド
７の先端形状及びギヤツプ７Ａ位置を認識する。

【００５９】その際、形状認識がされた磁気ヘツド７の
位置と、予め設定された最適な接触状態が得られる位置
とを比較して、その差を補正量とし、制御部１１はステ
ージユニツト６を移動制御することにより、その補正量
に基づいて磁気ヘツド７の位置を補正する。

【００６０】位置補正された磁気ヘツド７は、当該補正
位置を基準として予め設定された所定量だけ移動され、
回転ドラム装置１３の正面に位置決めされることによ
り、磁気テープ１３Ａに対して最適な接触状態が得られ
ることになり、制御部１１は磁気ヘツド７の当り出しを
ヘツド接触方向のみの制御調整で行うことができる。

【００６１】これにより、ヘツドベース（図示せず）に
磁気ヘツド７を接着する際に、当該接着位置に多少の差
異が生じる場合であつても、制御部１１は全ての磁気ヘ
ツド７を最適接触状態で測定することができる。また、
磁気ヘツド７の形状認識、位置補正、単軸での当り出し
及び測定評価をそれぞれ別個の工程を得るように分離し
たことにより、比較的簡単な制御技術の組合せによる工
程の簡易化を図ることができる。

【００６２】（６）実施例の効果 以上の構成によれば、制御部１１は磁気ヘツド７のヘツ
ド形状の認識に基づいて磁気ヘツド７の位置補正を行
い、当該補正された位置を基準として予め設定された所
定量だけ移動することにより、磁気ヘツド７の当り出し
を単軸の制御調整によつて最適接触状態で行うことがで
き、これにより全ての磁気ヘツド７を最大出力値で電磁
変換特性を評価することができると共に、磁気ヘツド７
と磁気テープ１３Ａの接触状態を短時間にすることがで
き、このため磁気ヘツド７及び磁気テープ１３Ａの双方
の劣化を最小限に抑えることができる。

【００６３】（７）他の実施例 なお上述の実施例においては、磁気ヘツド７の形状認識
を行う際に、制御部１１は顕微鏡装置１０における画像
認識に基づいて磁気ヘツド７の補正量を決定した後、当
該補正量に基づいて顕微鏡装置１０の正面でステージユ
ニツト６を移動制御することにより磁気ヘツド７の位置
を補正する場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、位置補正のための移動制御としては補正量決定後か
ら当り出しを行うまでの間であればどのタイミングで行
つても良い。

【００６４】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の形状認識を行う際に、当該形状認識の手法として干
渉対物レンズ１０Ａを用いて画像処理により行う場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、例えば非接触
変位計などを用いても上述の場合と同様の効果を得るこ
とができる。

【００６５】また上述の実施例においては、ステージユ
ニツト６の位置補正制御軸をｘ軸（ステージユニツト搬
送方向）、ｙ軸（ヘツド接触方向）、θ軸（水平回転方
向）の３軸とした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、位置補正制御軸をｘ軸（ステージユニツト搬
送方向）、ｙ軸（ヘツド接触方向）、θ軸（水平回転方
向）の３軸のみならず、さらにｚ軸（垂直方向）、ｒ軸
（垂直回転方向）を加えて５軸に増設して本発明を適用
しても良い。

【００６６】この場合、磁気ヘツド７の形状認識におい
て、顕微鏡装置１０から得られる画像認識に基づく判断
は、ギヤツプ７Ａ位置と干渉縞１２の中心位置（水平方
向）のみならず、干渉縞１２の垂直方向の中心位置、干
渉縞１２の数などによつても行うことができ、従つてよ
り高精度な測定評価を行うことができる。

【００６７】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４を制御部１１によつて自動的に制御する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、手動によつ
て制御するようにしても上述の場合と同様の効果を得る
ことができる。この場合、磁気ヘツド７の位置補正も手
動により制御することとし、例えば顕微鏡装置１０によ
る観察に基づき、手動ステージを用いて磁気ヘツド７を
所定の位置に移動させるなどの手法で行うこととする。

【００６８】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の当り出しを行う際、磁気ヘツド７を回転ドラム装置
１３の磁気テープ１３Ａ側に移動制御するようにしてい
るが、本発明はこれに限らず、磁気テープ１３Ａを磁気
ヘツド７側に移動制御するようにしても上述の場合と同
様の効果を得ることができる。

【００６９】また上述の実施例においては、制御部１１
が磁気ヘツド７とプローブユニツト１４のコンタクトピ
ン１４Ａとの接触を、回転ドラム装置１３の正面におい
て行うようにしているが、本発明はこれに限らず、磁気
ヘツド７とプローブユニツト１４のコンタクトピン１４
Ａとの接触を、アジヤスタユニツト９において磁気ヘツ
ド７をクランプした直後に行うようにしても上述の場合
と同様の効果を得ることができる。

【００７０】また上述の実施例においては、直動式のス
テージユニツト６を用いた場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、インデツクステーブルなどの回転式
のステージユニツトを使用するようにしても上述の場合
と同様の効果を得ることができる。

【００７１】また上述の実施例においては、磁気ヘツド
７の最大出力値が得られる位置において電磁変換特性の
測定評価を行うことにより、磁気ヘツド７の規格出力値
の上限を知ることができるが、本発明はこれに限らず、
磁気ヘツド７の規格出力以上の出力値を示す任意の位置
で電磁変換特性の測定評価を行うことにより、磁気ヘツ
ド７の製造過程での良否判断に活用するようにしても良
く、その場合には、当り出しに要する時間が短縮でき、
タクトタイムを向上することができる。

【００７２】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４において本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、磁気ヘツド７の電磁変換
特性を行う検出測定装置としての磁気再生装置において
も本発明を適用し得る。すなわち、図３との対応部分に
同一符号を付して示す図８において、１６は全体として
磁気再生装置を示し、回転ドラム装置１３に再生信号処
理部１７を接続して配設することにより、所定のパター
ン信号が予め記録されている磁気テープ１３Ａを再生し
た場合に、当該パターン信号と再生信号処理部１７にお
ける再生信号とを比較した結果に基づいて磁気ヘツド７
を検出測定することができる。

【００７３】また上述の実施例においては、評価ユニツ
ト３及び４において本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、磁気ヘツド７の電磁変換
特性を行う検出測定装置としての磁気記録装置において
も本発明を適用し得る。

【００７４】すなわち、図３との対応部分に同一符号を
付して示す図９において、１８は全体として磁気記録装
置を示し、回転ドラム装置１３に記録信号処理部１９を
接続して配設することにより、記録信号処理部１９から
出された所定のパターン信号を磁気テープ１３Ａに記録
した場合に、当該パターン信号と記録信号処理部１９に
おける記録信号とを比較した結果に基づいて磁気ヘツド
７を検出測定することができる。

【００７５】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、磁気ヘツ
ドの形状認識を行い、ヘツド形状の認識に基づいて磁気
ヘツドの位置を補正することにより、全ての磁気ヘツド
を最適接触状態で確実に測定することができる磁気ヘツ
ド評価装置を容易に実現し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による電磁変換特性評価システムの全体
構成を示す平面図である。

【図２】評価ユニツトの構成を示す平面図である。

【図３】評価ユニツトの構成を示す側面図である。

【図４】電磁変換特性評価システムの動作タイミングチ
ヤートである。

【図５】電磁変換特性評価の処理手順を示すフローチヤ
ートである。

【図６】評価ユニツトの顕微鏡装置において画像認識さ
れた磁気ヘツドの表示画像を示す略線図である。

【図７】磁気ヘツドの特性曲線図である。

【図８】磁気再生装置の構成を示す側面図である。

【図９】磁気記録装置の構成を示す側面図である。

【図１０】従来の電磁変換特性評価の処理手順を示すフ
ローチヤートである。

【図１１】従来の電磁変換特性評価の処理手順を示すフ
ローチヤートである。

【符号の説明】

１……電磁変換特性評価システム、２……供排装置、
３、４……評価ユニツト、５……ロボツトアーム、６…
…ステージユニツト、７……磁気ヘツド、８……ヘツド
クランプ治具部、９……アジヤスタユニツト、１０……
顕微鏡装置、１１……制御部、１３……回転ドラム装
置、１４……プローブユニツト、１５……供排装置、１
６……磁気再生装置、１７……再生信号処理部、１８…
…磁気記録装置、１９……記録信号処理部。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気ヘツドを再生処理手段によつて再生す
   る磁気再生方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
   正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記再生処理手
   段によつて再生することを特徴とする磁気再生方法。
2. 【請求項２】磁気ヘツドを記録処理手段によつて記録す
   る磁気記録方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
   正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記記録処理手
   段によつて記録することを特徴とする磁気記録方法。
3. 【請求項３】磁気ヘツドを評価処理手段によつて評価す
   る磁気ヘツド評価方法において、 ヘツド形状の認識を行い、 上記ヘツド形状の認識に基づいて磁気ヘツドの位置を補
   正し、 上記補正結果に基づき上記磁気ヘツドを上記評価処理手
   段によつて評価することを特徴とする磁気ヘツド評価方
   法。
4. 【請求項４】磁気ヘツドを再生処理手段によつて再生す
   る磁気再生装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記認識結果に基づいて補正値を計算する補正値計算手
   段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドを再生する再生処理手段
   とを具えることを特徴とする磁気再生装置。
5. 【請求項５】上記磁気再生装置は、 上記ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
   上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
   御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
   と、 上記位置補正された磁気ヘツドを再生する再生処理部で
   なる上記再生処理手段とを具えることを特徴とする請求
   項４に記載の磁気再生装置。
6. 【請求項６】磁気ヘツドを記録処理手段によつて記録す
   る磁気記録装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する補
   正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドを記録する記録処理手段
   とを具えることを特徴とする磁気記録装置。
7. 【請求項７】上記磁気記録装置は、 上記ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
   上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
   御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
   と、 上記位置補正された磁気ヘツドを記録する記録処理部で
   なる上記記録処理手段とを具えることを特徴とする請求
   項６に記載の磁気記録装置。
8. 【請求項８】磁気ヘツドを評価処理手段によつて評価す
   る磁気ヘツド評価装置において、 上記ヘツド形状の認識を行う測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する補
   正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する位置補正手段と、 上記位置補正された磁気ヘツドの電磁変換特性を行う評
   価測定手段とを具えることを特徴とする磁気ヘツド評価
   装置。
9. 【請求項９】上記磁気ヘツド評価装置は、 上記ヘツド形状の認識を行う顕微鏡画像処理装置でなる
   上記測定手段と、 上記測定手段の認識結果に基づいて補正値を計算する制
   御部でなる上記補正値計算手段と、 上記補正値計算手段の計算結果に基づいて磁気ヘツドの
   位置を補正する多軸制御装置でなる上記位置補正手段
   と、 上記位置補正された磁気ヘツドの電磁変換特性を行う検
   出測定装置でなる上記評価測定手段とを具えることを特
   徴とする請求項８に記載の磁気ヘツド評価装置。