JPH0714227A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH0714227A JPH0714227A JP15870093A JP15870093A JPH0714227A JP H0714227 A JPH0714227 A JP H0714227A JP 15870093 A JP15870093 A JP 15870093A JP 15870093 A JP15870093 A JP 15870093A JP H0714227 A JPH0714227 A JP H0714227A
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- Japan
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- optical recording
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Abstract
(57)【要約】
【構成】基板上に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる少な
くとも一種からなる遷移金属層、Ｎｄ及び／又はＰｒか
らなる軽希土類金属層及びＧｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれ
る少なくとも一種からなる重希土類金属層を順次積層し
た人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体。 【効果】この光磁気記録媒体は、磁気光学効果、保磁力
共に増大した光磁気記録媒体である。
くとも一種からなる遷移金属層、Ｎｄ及び／又はＰｒか
らなる軽希土類金属層及びＧｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれ
る少なくとも一種からなる重希土類金属層を順次積層し
た人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体。 【効果】この光磁気記録媒体は、磁気光学効果、保磁力
共に増大した光磁気記録媒体である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は短波長対応の光磁気記録
媒体に関する。
媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度の光磁気記録を実現する方法の一
つとして、４００〜５００nmといった短い波長の光に対
して磁気光学効果を示す材料を媒体として用いる方法が
ある。上記した範囲より長波長の、例えば８００nm付近
において大きな磁気光学効果を示す材料として、ＴｂＦ
ｅＣｏやＤｙＦｅＣｏで構成される材料が挙げられる
が、これらの材料は短波長域では充分な磁気光学効果を
示さない。
つとして、４００〜５００nmといった短い波長の光に対
して磁気光学効果を示す材料を媒体として用いる方法が
ある。上記した範囲より長波長の、例えば８００nm付近
において大きな磁気光学効果を示す材料として、ＴｂＦ
ｅＣｏやＤｙＦｅＣｏで構成される材料が挙げられる
が、これらの材料は短波長域では充分な磁気光学効果を
示さない。
【０００３】一方、短波長で大きな磁気光学効果を示す
材料として、軽希土類と遷移金属との合金、例えば、Ｎ
ｄＦｅＣｏ合金などが知られているが、このような合金
を用いた場合、垂直磁気異方性エネルギーが小さいため
に、光磁気記録材料として必要な充分に高い保磁力が得
られない。この欠点を補うためにＦｅなどの遷移金属と
反強磁性的に結合するＴｂなどの重希土類金属をこれに
加えた合金、例えばＮｄＴｂＦｅＣｏ合金を用いること
も提案されている。また保磁力を向上させることを目的
として、希土類金属層と遷移金属層とを積層した人工格
子膜を用いることも提案されている（日本応用磁気学会
学術講演概要集 p 450（1991））。
材料として、軽希土類と遷移金属との合金、例えば、Ｎ
ｄＦｅＣｏ合金などが知られているが、このような合金
を用いた場合、垂直磁気異方性エネルギーが小さいため
に、光磁気記録材料として必要な充分に高い保磁力が得
られない。この欠点を補うためにＦｅなどの遷移金属と
反強磁性的に結合するＴｂなどの重希土類金属をこれに
加えた合金、例えばＮｄＴｂＦｅＣｏ合金を用いること
も提案されている。また保磁力を向上させることを目的
として、希土類金属層と遷移金属層とを積層した人工格
子膜を用いることも提案されている（日本応用磁気学会
学術講演概要集 p 450（1991））。
【０００４】またＮｄＦｅＣｏ合金層などの片側または
両側に垂直磁気異方性エネルギーの大きいＴｂＦｅＣｏ
合金等の重希土類遷移金属合金層を配置する方法も考え
られている（J.Appl.Phys. 69 （1991）4761）。
両側に垂直磁気異方性エネルギーの大きいＴｂＦｅＣｏ
合金等の重希土類遷移金属合金層を配置する方法も考え
られている（J.Appl.Phys. 69 （1991）4761）。
【０００５】しかしながら、このような合金、合金の積
層膜あるいは人工格子膜を光磁気記録材料として用いる
ても、さらに大きな保磁力を得る上では必ずしも充分で
はない。
層膜あるいは人工格子膜を光磁気記録材料として用いる
ても、さらに大きな保磁力を得る上では必ずしも充分で
はない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、保磁
力と磁気光学効果が共に充分に高い値を持つ光磁気記録
材料からなる記録媒体を提供することにある。
力と磁気光学効果が共に充分に高い値を持つ光磁気記録
材料からなる記録媒体を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは研究を重ね
た結果、Ｎｄ及びＰｒのうち少なくとも一種の元素から
なる軽希土類金属（以下ＬＲＥと略称）層と、Ｇｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙのうちの少なくとも一種の元素からなる重希土
類金属（以下ＨＲＥと略称）の層及びＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ
のうち少なくとも一種の元素からなる遷移金属（以下Ｔ
Ｍと略称）層とで構成される複合層を積層した人工格子
膜を記録層として用いると、短波長域での磁気光学効果
を損なうことなく、保磁力の増大した光磁気記録媒体を
得ることを見いだし本発明を完成した。
た結果、Ｎｄ及びＰｒのうち少なくとも一種の元素から
なる軽希土類金属（以下ＬＲＥと略称）層と、Ｇｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙのうちの少なくとも一種の元素からなる重希土
類金属（以下ＨＲＥと略称）の層及びＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ
のうち少なくとも一種の元素からなる遷移金属（以下Ｔ
Ｍと略称）層とで構成される複合層を積層した人工格子
膜を記録層として用いると、短波長域での磁気光学効果
を損なうことなく、保磁力の増大した光磁気記録媒体を
得ることを見いだし本発明を完成した。
【０００８】即ち、本発明は、基板上に、Ｎｄ及び／又
はＰｒからなる層と、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる少
なくとも一種からなる層並びに、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから
選ばれる少なくとも一種からなる層で構成される複合層
が少なくとも一層積層された光磁気記録媒体に関するも
のである。次に本発明をさらに詳細に説明する。
はＰｒからなる層と、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる少
なくとも一種からなる層並びに、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから
選ばれる少なくとも一種からなる層で構成される複合層
が少なくとも一層積層された光磁気記録媒体に関するも
のである。次に本発明をさらに詳細に説明する。
【０００９】図１は、ＬＲＥ、ＨＲＥ及びＴＭを積層し
た複合層を複数層積層した本発明の光磁気記録媒体の一
実施様態の断面を示す図である。図中１は基板であり、
通常用いられるガラスあるいは高分子基板からなる。図
中２はＴＭ層、同３はＬＲＥ層、同４はＨＲＥ層であ
る。基板上へのこれら各金属層の積層順位は、特に制限
されるものではなく、基板上に、ＴＭ層、ＬＲＥ層、Ｈ
ＲＥ層のいづれの層から積層してもよく、それ以降の積
層順序も特に制限はない。本発明では、記録媒体を構成
する複合層同士の間で、これを積層した際、ＴＭ層、Ｌ
ＲＥ層、ＨＲＥ層各層が同種同士隣り合って積層されな
ければよい。
た複合層を複数層積層した本発明の光磁気記録媒体の一
実施様態の断面を示す図である。図中１は基板であり、
通常用いられるガラスあるいは高分子基板からなる。図
中２はＴＭ層、同３はＬＲＥ層、同４はＨＲＥ層であ
る。基板上へのこれら各金属層の積層順位は、特に制限
されるものではなく、基板上に、ＴＭ層、ＬＲＥ層、Ｈ
ＲＥ層のいづれの層から積層してもよく、それ以降の積
層順序も特に制限はない。本発明では、記録媒体を構成
する複合層同士の間で、これを積層した際、ＴＭ層、Ｌ
ＲＥ層、ＨＲＥ層各層が同種同士隣り合って積層されな
ければよい。
【００１０】基板への上記した金属の積層方法は、特に
制限されないが、これら金属からなるターゲットを用い
たスパッタリング法が一般的な方法である。又その際の
条件は特に限定されない。
制限されないが、これら金属からなるターゲットを用い
たスパッタリング法が一般的な方法である。又その際の
条件は特に限定されない。
【００１１】本発明は、ＴＭ層、ＬＲＥ層、ＨＲＥ層を
一組とした複合層を一層以上積層して人口格子膜とした
ことが特徴であるが、このような構成とする方法の一例
としては、スパッタリングされた原子が互いに混合しな
いように仕切板で仕切られた金属、例えば、Ｎｄと、Ｔ
ｂと、ＦｅＣｏのターゲットを同時にスパッタリングし
ながら、基板がこれらのターゲット上を順次通過するよ
うにした基板ホルダーを回転させることにより人工格子
を形成するような方法である。
一組とした複合層を一層以上積層して人口格子膜とした
ことが特徴であるが、このような構成とする方法の一例
としては、スパッタリングされた原子が互いに混合しな
いように仕切板で仕切られた金属、例えば、Ｎｄと、Ｔ
ｂと、ＦｅＣｏのターゲットを同時にスパッタリングし
ながら、基板がこれらのターゲット上を順次通過するよ
うにした基板ホルダーを回転させることにより人工格子
を形成するような方法である。
【００１２】本発明の人工格子膜において、ＴＭ層を構
成する層の厚さは２〜７Ａの範囲である。この厚さが２
Ａより薄いと、人工格子化したことによる保磁力の増大
の効果を得ることが困難であり、又、７Ａより厚くても
ＨＲＥとＴＭとの反強磁***換結合が全体として弱まる
ために保磁力は小さくなるなどの問題がある。
成する層の厚さは２〜７Ａの範囲である。この厚さが２
Ａより薄いと、人工格子化したことによる保磁力の増大
の効果を得ることが困難であり、又、７Ａより厚くても
ＨＲＥとＴＭとの反強磁***換結合が全体として弱まる
ために保磁力は小さくなるなどの問題がある。
【００１３】又、本発明の人工格子膜中においてＬＲＥ
層の厚さは１〜７Ａの範囲である。この厚さが１Ａより
薄いと短波長域での大きな磁気光学効果を得ることが困
難であり、又、７Ａより厚くても静磁エネルギーの増加
のために十分な保磁力を得られなくなるなどの問題があ
る。
層の厚さは１〜７Ａの範囲である。この厚さが１Ａより
薄いと短波長域での大きな磁気光学効果を得ることが困
難であり、又、７Ａより厚くても静磁エネルギーの増加
のために十分な保磁力を得られなくなるなどの問題があ
る。
【００１４】又、本発明の人工格子膜中においてＨＲＥ
層の厚さは１〜７Ａの範囲である。この厚さが１Ａより
薄いと静磁エネルギーの低減がなくなり、十分な保磁力
が得られなくなり、又、７Ａよりも厚いと短波長域での
大きな磁気光学効果を得られなくなるなどの問題があ
る。
層の厚さは１〜７Ａの範囲である。この厚さが１Ａより
薄いと静磁エネルギーの低減がなくなり、十分な保磁力
が得られなくなり、又、７Ａよりも厚いと短波長域での
大きな磁気光学効果を得られなくなるなどの問題があ
る。
【００１５】本発明の人工格子膜中において、ＴＭ層と
してＦｅＣｏ合金を用いる場合、ＦｅとＣｏとの組成比
は、４００nmから５００nmの波長域で大きな磁気光学効
果を得るためには７５：２５〜３０：７０の間であるこ
とが望ましい。ＬＲＥ、ＨＲＥ各層の組成割合について
は特に制限はない。
してＦｅＣｏ合金を用いる場合、ＦｅとＣｏとの組成比
は、４００nmから５００nmの波長域で大きな磁気光学効
果を得るためには７５：２５〜３０：７０の間であるこ
とが望ましい。ＬＲＥ、ＨＲＥ各層の組成割合について
は特に制限はない。
【００１６】本発明の人工格子膜の総膜厚は記録媒体全
体の構成によって１００Ａから１０００Ａの厚さとする
ことができる。
体の構成によって１００Ａから１０００Ａの厚さとする
ことができる。
【００１７】本発明の人工格子膜において希土類金属と
遷移金属が相互に拡散するなどによって一部合金化して
いても同様の効果が得られる。又本発明の人工格子膜中
において、記録の読み出し側に近い部分におけるＬＲＥ
やＴＭの層厚を厚くするなどによって、さらに大きなカ
ー回転角を得ることが可能となる。更にＴｂＦｅＣｏ等
の膜との交換結合により、より大きな保磁力を得ること
ができる。
遷移金属が相互に拡散するなどによって一部合金化して
いても同様の効果が得られる。又本発明の人工格子膜中
において、記録の読み出し側に近い部分におけるＬＲＥ
やＴＭの層厚を厚くするなどによって、さらに大きなカ
ー回転角を得ることが可能となる。更にＴｂＦｅＣｏ等
の膜との交換結合により、より大きな保磁力を得ること
ができる。
【００１８】又、オーバーライト等の目的で組成の異な
る希土類遷移金属合金膜等と磁気的に結合させることも
できる。
る希土類遷移金属合金膜等と磁気的に結合させることも
できる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、軽希土類金属層、重希土類金
属層及び遷移金属層とを積層した人工格子膜からなり、
磁気光学効果も充分であり、保磁力の増大した光磁気記
録媒体である。
属層及び遷移金属層とを積層した人工格子膜からなり、
磁気光学効果も充分であり、保磁力の増大した光磁気記
録媒体である。
【００２０】
実施例１ ｒｆマグネトロンスパッタリングによりガラス基板上に
人工格子膜を形成した。スパッタリングは、Ａｒ５ m T
oor で行った。Ｆｅ50Ｃｏ50のターゲットとＮｄターゲ
ットとＴｂターゲットを同時スパッタリングしながら、
その上を基板を順次通過するようにした基板ホルダーを
回転させることによって、人工格子膜を形成した。ＴＭ
層の厚さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚
さを２．４Ａとして順次積層を繰り返し人工格子膜の厚
さを約８００Ａとした。
人工格子膜を形成した。スパッタリングは、Ａｒ５ m T
oor で行った。Ｆｅ50Ｃｏ50のターゲットとＮｄターゲ
ットとＴｂターゲットを同時スパッタリングしながら、
その上を基板を順次通過するようにした基板ホルダーを
回転させることによって、人工格子膜を形成した。ＴＭ
層の厚さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚
さを２．４Ａとして順次積層を繰り返し人工格子膜の厚
さを約８００Ａとした。
【００２１】得られた人工格子膜のカー回転角を基板側
より４００nmの波長の光を用いて、カーループトレーサ
ーにより測定したところ、図２に示すように、角型の良
いカーヒステリシスループを示し、飽和カー回転角は
０．３７度であった。又、保磁力は２．１ KOeであっ
た。
より４００nmの波長の光を用いて、カーループトレーサ
ーにより測定したところ、図２に示すように、角型の良
いカーヒステリシスループを示し、飽和カー回転角は
０．３７度であった。又、保磁力は２．１ KOeであっ
た。
【００２２】比較例１ 実施例と同様のスパッタ条件で基板ホルダーの回転を早
くすることによって記録層全体として、Ｎｄ、Ｔｂ、Ｆ
ｅ、Ｃｏの組成比が実施例と等しい合金膜で周期の異な
る人工格子膜をガラス基板上に形成した。合金膜は実施
例と同様のスパッタ条件で基板ホルダーの回転数を早く
することによって作成した。得られた合金膜を実施例と
同様にしてカー回転角を測定した結果、カーヒステリシ
スの角型比は１とはならず、飽和カー回転角は０．３７
度であったが、保磁力は０．５ KOeであった。
くすることによって記録層全体として、Ｎｄ、Ｔｂ、Ｆ
ｅ、Ｃｏの組成比が実施例と等しい合金膜で周期の異な
る人工格子膜をガラス基板上に形成した。合金膜は実施
例と同様のスパッタ条件で基板ホルダーの回転数を早く
することによって作成した。得られた合金膜を実施例と
同様にしてカー回転角を測定した結果、カーヒステリシ
スの角型比は１とはならず、飽和カー回転角は０．３７
度であったが、保磁力は０．５ KOeであった。
【００２３】比較例２ ＬＲＥ層の厚さを４Ａ、ＨＲＥ層の厚さを４．８Ａと
し、ＴＭ層の厚さを１０Ａとした人工格子膜を作成し
た。得られた人工格子膜のカーヒステリシスの角型比は
１とはならず、飽和カー回転角は実施例と同様の値を示
したが、保磁力は０．４ KOeであった。図３にこれらの
人工格子膜のカーヒステリシスループを示す。
し、ＴＭ層の厚さを１０Ａとした人工格子膜を作成し
た。得られた人工格子膜のカーヒステリシスの角型比は
１とはならず、飽和カー回転角は実施例と同様の値を示
したが、保磁力は０．４ KOeであった。図３にこれらの
人工格子膜のカーヒステリシスループを示す。
【００２４】実施例２ Ｆｅ50Ｃｏ50のターゲット、Ｔｂターゲット、及び、Ｎ
ｄとＰｒの組成比が１：１となるようにＰｒチップを置
いたＮｄターゲットを用い、実施例１と同様に同時スパ
ッタリングしながら、人工格子膜を形成した。ＴＭ層の
厚さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚さを
２．４Ａとして順次積層を繰り返し、人工格子膜の厚さ
を約８００Ａとした。
ｄとＰｒの組成比が１：１となるようにＰｒチップを置
いたＮｄターゲットを用い、実施例１と同様に同時スパ
ッタリングしながら、人工格子膜を形成した。ＴＭ層の
厚さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚さを
２．４Ａとして順次積層を繰り返し、人工格子膜の厚さ
を約８００Ａとした。
【００２５】得られた人工格子膜のカー回転角を実施例
１と同様に測定した結果を図３に示した。飽和カー回転
角は０．３５度、保磁力は２．１ KOeであった。
１と同様に測定した結果を図３に示した。飽和カー回転
角は０．３５度、保磁力は２．１ KOeであった。
【００２６】実施例３ Ｆｅ50Ｃｏ50のターゲット、Ｎｄターゲット、及びＧｄ
とＤｙの組成比が１：１となるようにＤｙチップを置い
たＧｄターゲットを用い、実施例１と同様に同時スパッ
タリングしながら、人工格子膜を形成した。ＴＭ層の厚
さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚さを３
Ａとして順次積層を繰り返し、人工格子膜の厚さを約８
００Ａとした。
とＤｙの組成比が１：１となるようにＤｙチップを置い
たＧｄターゲットを用い、実施例１と同様に同時スパッ
タリングしながら、人工格子膜を形成した。ＴＭ層の厚
さを５Ａ、ＬＲＥ層の厚さを２Ａ、ＨＲＥ層の厚さを３
Ａとして順次積層を繰り返し、人工格子膜の厚さを約８
００Ａとした。
【００２７】得られた人工格子膜のカー回転角を実施例
１と同様に測定した結果を図４に示した。飽和カー回転
角は０．３３度、保磁力は１．２ KOeであった。
１と同様に測定した結果を図４に示した。飽和カー回転
角は０．３３度、保磁力は１．２ KOeであった。
【図１】本発明の一実施様態の断面をしめす図
【図２】実施例１の光磁気記録媒体のカーヒステリシス
ループを示す図
ループを示す図
【図３】実施例２の光磁気記録媒体のカーヒステリシス
ループを示す図
ループを示す図
【図４】実施例３の光磁気記録媒体のカーヒステリシス
ループを示す図
ループを示す図
【図５】比較例１の光磁気記録媒体のカーヒステリシス
ループを示す図
ループを示す図
【図６】比較例２の光磁気記録媒体のカーヒステリシス
ループを示す図
ループを示す図
１：基板 ２：遷移金属 ３：軽希土類金属 ４：重希土類金属
【手続補正書】
【提出日】平成５年７月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】本発明は、ＴＭ層、ＬＲＥ層、ＨＲＥ層を
一組とした複合層を一層以上積層して人工格子膜とした
ことが特徴であるが、このような構成とする方法の一例
としては、スパッタリングされた原子が互いに混合しな
いように仕切板で仕切られた金属、例えば、Ｎｄと、Ｔ
ｂと、ＦｅＣｏのターゲットを同時にスパッタリングし
ながら、基板がこれらのターゲット上を順次通過するよ
うにした基板ホルダーを回転させることにより人工格子
を形成するような方法である。
一組とした複合層を一層以上積層して人工格子膜とした
ことが特徴であるが、このような構成とする方法の一例
としては、スパッタリングされた原子が互いに混合しな
いように仕切板で仕切られた金属、例えば、Ｎｄと、Ｔ
ｂと、ＦｅＣｏのターゲットを同時にスパッタリングし
ながら、基板がこれらのターゲット上を順次通過するよ
うにした基板ホルダーを回転させることにより人工格子
を形成するような方法である。
Claims (2)
- 【請求項１】基板上に、Ｎｄ及び／又はＰｒからなる層
と、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる少なくとも一種から
なる層、並びに、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる少なく
とも一種からなる層で構成される複合層が少なくとも一
層積層された光磁気記録媒体。 - 【請求項２】Ｎｄ及び／又はＰｒからなる層の厚さが１
〜７Ａ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる少なくとも一種
からなる層の厚さが１〜７Ａ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選
ばれる少なくとも一種からなる層の厚さが２〜７Ａであ
る人工格子膜からなる請求項１記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15870093A JPH0714227A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15870093A JPH0714227A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714227A true JPH0714227A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15677454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15870093A Pending JPH0714227A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714227A (ja) |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15870093A patent/JPH0714227A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |