JPS6134744A - 磁気光学記録媒体 - Google Patents
磁気光学記録媒体Info
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- JPS6134744A JPS6134744A JP15287484A JP15287484A JPS6134744A JP S6134744 A JPS6134744 A JP S6134744A JP 15287484 A JP15287484 A JP 15287484A JP 15287484 A JP15287484 A JP 15287484A JP S6134744 A JPS6134744 A JP S6134744A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザ光を用いて情報の記録・再生・消去を行
う光磁気記録に係り、特に再生時の信号と雑音の比Ｓ／
Ｎを向上するのに好適な、カー回転角、ファラデー回転
角の大きい磁気光学記録媒体に関する。
う光磁気記録に係り、特に再生時の信号と雑音の比Ｓ／
Ｎを向上するのに好適な、カー回転角、ファラデー回転
角の大きい磁気光学記録媒体に関する。
最近高密度、大容量、情報の任意読み出し、書き換え等
が可能な光磁気記録が注目を浴びている。
が可能な光磁気記録が注目を浴びている。
光磁気記録においては、膜面に垂直な方向に磁化容易軸
のある磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、光ビームに
よって任意の位置に反転磁区を作ることによって、それ
らの磁化の向きに対応して、“１”、０”の２値情報が
記録される。一方かかる反転記録を行った２種信号の読
み出しは、通常ポーラ−・カー効果あるいはファラデー
効果を利用して行なう。
のある磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、光ビームに
よって任意の位置に反転磁区を作ることによって、それ
らの磁化の向きに対応して、“１”、０”の２値情報が
記録される。一方かかる反転記録を行った２種信号の読
み出しは、通常ポーラ−・カー効果あるいはファラデー
効果を利用して行なう。
従来、これらの磁気光学媒体として、ＭｎＢ１系結晶質
膜、希土類−遷移金属系非晶質薄膜、ガーネット単結晶
薄膜等の垂直磁化膜が提案されている、中でも希土類−
遷移金属系非晶質薄膜は、結晶粒界がないので媒体ノイ
ズが小さく、均質な大面積作製が容易であることから現
在最も有望視されている。これらの希土類−遷移金属系
非晶質薄膜として、例えば特開昭５２−３１７０３．公
告昭５７−３４５８８ 。
膜、希土類−遷移金属系非晶質薄膜、ガーネット単結晶
薄膜等の垂直磁化膜が提案されている、中でも希土類−
遷移金属系非晶質薄膜は、結晶粒界がないので媒体ノイ
ズが小さく、均質な大面積作製が容易であることから現
在最も有望視されている。これらの希土類−遷移金属系
非晶質薄膜として、例えば特開昭５２−３１７０３．公
告昭５７−３４５８８ 。
特開昭５６−１２６９０７ 、特開昭５７−９４９４８
、特開昭５８−７３７４６等に示されるように、ＣＯ
系ではＧｄ −Ｃｏ、Ｇｄ−Ｔｂ−Ｃｏ、Ｆｅ系ではＴ
ｂ −Ｆ ｅ 。
、特開昭５８−７３７４６等に示されるように、ＣＯ
系ではＧｄ −Ｃｏ、Ｇｄ−Ｔｂ−Ｃｏ、Ｆｅ系ではＴ
ｂ −Ｆ ｅ 。
Ｇｄ−Ｆｅ、Ｔｂ−Ｇｄ−Ｆｅ、Ｇｄ−Ｆｅ−Ｃｏ、ａ
ｄ−Ｄｙ−Ｔｂ−Ｆｅ、Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏ 、 Ｔ ｂ
−Ｆ ｅ −Ｇ ｏ 、 Ｔ ｂ −Ｄ ｙ −Ｆ
ｅ −ＣＯ等の合金系が現在研究されており、膜自体の
残留磁化でのカー回転角も約０．３ ”と向上してき
ている。これら従来の希土類−遷移金属系非晶質膜の希
土類元素濃度は、垂直磁気異方性エネルギー、Ｋｕの比
較的大きい値が得られる１５〜３５原子パーセントの垂
直磁化膜に限られていた。
ｄ−Ｄｙ−Ｔｂ−Ｆｅ、Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏ 、 Ｔ ｂ
−Ｆ ｅ −Ｇ ｏ 、 Ｔ ｂ −Ｄ ｙ −Ｆ
ｅ −ＣＯ等の合金系が現在研究されており、膜自体の
残留磁化でのカー回転角も約０．３ ”と向上してき
ている。これら従来の希土類−遷移金属系非晶質膜の希
土類元素濃度は、垂直磁気異方性エネルギー、Ｋｕの比
較的大きい値が得られる１５〜３５原子パーセントの垂
直磁化膜に限られていた。
しかし実用化での再生信号レベルを得るには、これら従
来合金系で得られるカー回転角あるいはファラデー回転
角では不十分であり、さらに高いＳ／Ｎ比向上向上めの
膜自体の磁気光学効果の向上が要求されている。
来合金系で得られるカー回転角あるいはファラデー回転
角では不十分であり、さらに高いＳ／Ｎ比向上向上めの
膜自体の磁気光学効果の向上が要求されている。
本発明の目的は磁気光学効果が十分に大きく、高い再生
Ｓ／Ｎ比（あるいはＣ／Ｎ比）が得られ。
Ｓ／Ｎ比（あるいはＣ／Ｎ比）が得られ。
実用に最適な非晶質磁気光学記録媒体ｉ提供することに
ある。
ある。
上記目的を達成するための本発明の構成は１組成式がＲ
ｘＴｙＭｚで示され、上記ＲがＧｄ、Ｔｂ。
ｘＴｙＭｚで示され、上記ＲがＧｄ、Ｔｂ。
Ｄｙ、Ｈｏからなる元素から選ばれた少なくとも一種以
上の元素、上記ＴがＮｄｔ Ｅｕ、ＥｔｚＳｍ、Ｙｂ、
Ｎｂ、Ｙ、Ａｌ、Ｎｉからなる元素群から選ばれた少な
くとも一種以上の元素、上記ＭがＦｅ、Ｃｏからなる元
素群から選ばれた少なくとも一種以−ヒの元素からなり
、かつ原子パーセントで、ｘ ＋ ｙ ＋ ｚ ＝ １
００ 、５≦ｘ＜１．４．０＜ｙ＜１５を満足し、優位
的に非晶質とすることにある。
上の元素、上記ＴがＮｄｔ Ｅｕ、ＥｔｚＳｍ、Ｙｂ、
Ｎｂ、Ｙ、Ａｌ、Ｎｉからなる元素群から選ばれた少な
くとも一種以上の元素、上記ＭがＦｅ、Ｃｏからなる元
素群から選ばれた少なくとも一種以−ヒの元素からなり
、かつ原子パーセントで、ｘ ＋ ｙ ＋ ｚ ＝ １
００ 、５≦ｘ＜１．４．０＜ｙ＜１５を満足し、優位
的に非晶質とすることにある。
光磁気材料の候補材として注目されている希土類−鉄族
系非晶質膜は、従来希土類元素の濃度が原子パーセント
で１５〜３５原子パーセントであり（例えば特開昭５６
−１２６９０７参照）、この組成範囲で磁化が膜面に垂
直で、比較的大きなカー回転角が得られていた。しかし
これらの組成範囲内で、補償組成よりも鉄族元素濃度が
増すに従い、飽和磁化Ｍｓが増大し、そのため２πＭｓ
２で示される反磁場により静磁エネルギーが増すため、
磁化の向きは垂直方向から次第に面内方向に向くように
なる。その結果、残留磁化での磁気化学効果は減少する
ため、高い磁気光学効果が要求される光磁気記録膜には
不適当であると考えられていた。
系非晶質膜は、従来希土類元素の濃度が原子パーセント
で１５〜３５原子パーセントであり（例えば特開昭５６
−１２６９０７参照）、この組成範囲で磁化が膜面に垂
直で、比較的大きなカー回転角が得られていた。しかし
これらの組成範囲内で、補償組成よりも鉄族元素濃度が
増すに従い、飽和磁化Ｍｓが増大し、そのため２πＭｓ
２で示される反磁場により静磁エネルギーが増すため、
磁化の向きは垂直方向から次第に面内方向に向くように
なる。その結果、残留磁化での磁気化学効果は減少する
ため、高い磁気光学効果が要求される光磁気記録膜には
不適当であると考えられていた。
しかし、本発明者等は、上記希土類−鉄族系の鉄族系元
素に富んだ非晶質薄膜で、膜面に垂直方向に印加した外
部磁場２０ｋＧのもとで、それら薄膜のファラデー回転
角０．を測定した場合、θ、が鉄族元素濃度増加と共に
増加し、特に鉄族元素が富んだ高濃度側で高い磁２光学
効果が得られることを見い出した。しかし、鉄族元素濃
度が増すに従い、保磁力は低下し、高いＯｌが得られる
鉄族元素に富んだ組成では、一般に保磁力は１０００ｅ
以下と小さくなるため、記録が安定に行なえない欠点を
有している。
素に富んだ非晶質薄膜で、膜面に垂直方向に印加した外
部磁場２０ｋＧのもとで、それら薄膜のファラデー回転
角０．を測定した場合、θ、が鉄族元素濃度増加と共に
増加し、特に鉄族元素が富んだ高濃度側で高い磁２光学
効果が得られることを見い出した。しかし、鉄族元素濃
度が増すに従い、保磁力は低下し、高いＯｌが得られる
鉄族元素に富んだ組成では、一般に保磁力は１０００ｅ
以下と小さくなるため、記録が安定に行なえない欠点を
有している。
一方、磁気光学効果を増大させる方法として、最近片山
等はＴｂ、□Ｆｅ、 、垂直磁化膜の上にカー回転角が
Ｔ ｂ −Ｆ Ｃよりも大きい垂直磁化膜のＧｄ１．Ｊ
Ｃｏ、Ｉ、あるいはＧｄ７Ｔｂ、、Ｃｏ４１Ｆｅ、、Ｒ
非晶質膜を被膜することにより、みかけ上Ｔ ｂ −Ｆ
ｅのカー回転角を増大させることを試みている（例え
ば第７図日本応用磁気学会学術講演概要集（１ｆ１８３
．１１）Ｐ、２３３ 参照）。
等はＴｂ、□Ｆｅ、 、垂直磁化膜の上にカー回転角が
Ｔ ｂ −Ｆ Ｃよりも大きい垂直磁化膜のＧｄ１．Ｊ
Ｃｏ、Ｉ、あるいはＧｄ７Ｔｂ、、Ｃｏ４１Ｆｅ、、Ｒ
非晶質膜を被膜することにより、みかけ上Ｔ ｂ −Ｆ
ｅのカー回転角を増大させることを試みている（例え
ば第７図日本応用磁気学会学術講演概要集（１ｆ１８３
．１１）Ｐ、２３３ 参照）。
これらの知見のもとに、本発明者は先ずＴｂｊｌ１度が
１８〜２５原子パーセントのＴｂ−ＦｅあるいはＴ ｂ
−Ｃｏ垂直磁化膜の上に、磁気光学効果の大きいＦｅ
あるいはＣｏ金属膜を約４０〜６０人の厚さに被膜して
、垂直磁化膜との交換相互作用により、ＦｅあるいはＣ
ｏ膜の磁化の向きを膜面に垂直方向に向け、磁気光学効
果の大きな光磁気記録媒体を得ることを試みた。しかし
、ＦｅあるいはＣｏの飽和磁化がそれぞれ２１ｋＧある
いは１８ｋＧと余りにも大きいため、それらの膜の磁化
の向きは交換相互作用により膜面に垂直方向に向かず、
かえって、下地のＴｂ−ＦｅあるいはＴ ｂ −Ｃｏ膜
の磁化の向きを垂直から面内方向に向ける効果をもち、
その結果媒体としての磁気光学効果は低下してしまうこ
とがわかった。
１８〜２５原子パーセントのＴｂ−ＦｅあるいはＴ ｂ
−Ｃｏ垂直磁化膜の上に、磁気光学効果の大きいＦｅ
あるいはＣｏ金属膜を約４０〜６０人の厚さに被膜して
、垂直磁化膜との交換相互作用により、ＦｅあるいはＣ
ｏ膜の磁化の向きを膜面に垂直方向に向け、磁気光学効
果の大きな光磁気記録媒体を得ることを試みた。しかし
、ＦｅあるいはＣｏの飽和磁化がそれぞれ２１ｋＧある
いは１８ｋＧと余りにも大きいため、それらの膜の磁化
の向きは交換相互作用により膜面に垂直方向に向かず、
かえって、下地のＴｂ−ＦｅあるいはＴ ｂ −Ｃｏ膜
の磁化の向きを垂直から面内方向に向ける効果をもち、
その結果媒体としての磁気光学効果は低下してしまうこ
とがわかった。
そこで、本発明者等は非晶質垂直磁化膜の上に、上記し
た比較的飽和磁化が小さく、磁気光学効果の大きい本発
明の鉄族元素濃度に富んだ希土類−鉄族系非晶質薄膜を
被膜したところ、媒体自体の保磁力は１ ｋ Ｏｅ以上
の高保磁力が得られ、しかも残留磁化でのカー回転角は
従来の非晶質垂直磁化膜ＣＯｖ、＝０．２〜０．３５度
）では得られなかった高いカー回転角の値（０，３５度
以上）が得られ、光磁気材料として好適であることを見
い出した。
た比較的飽和磁化が小さく、磁気光学効果の大きい本発
明の鉄族元素濃度に富んだ希土類−鉄族系非晶質薄膜を
被膜したところ、媒体自体の保磁力は１ ｋ Ｏｅ以上
の高保磁力が得られ、しかも残留磁化でのカー回転角は
従来の非晶質垂直磁化膜ＣＯｖ、＝０．２〜０．３５度
）では得られなかった高いカー回転角の値（０，３５度
以上）が得られ、光磁気材料として好適であることを見
い出した。
本発明の磁気光学記録媒体は実質的にはＲがＧｄ、Ｔｂ
、Ｄｙｔ Ｈｏからなる元素から選ばれた少なくとも一
種以上の元素、ＴがＮｄ、Ｅｕ。
、Ｄｙｔ Ｈｏからなる元素から選ばれた少なくとも一
種以上の元素、ＴがＮｄ、Ｅｕ。
Ｅｒ、Ｓｍ、Ｙｂ、Ｎｂ、Ｙ、Ａｌ、Ｎｉからなる元素
群から選ばれた少なくとも一種以上の元素、ＭがＦｅ、
Ｃｏからなる元素群から逼ばれた少なくとも一種以上の
元素からなり、一般式がＲｘ Ｔ ｙ Ｍ ｚで表わさ
れ、希土類元素Ｒの全濃度が１４原子パーセント以下の
希土類−鉄族系非晶質膜である。
群から選ばれた少なくとも一種以上の元素、ＭがＦｅ、
Ｃｏからなる元素群から逼ばれた少なくとも一種以上の
元素からなり、一般式がＲｘ Ｔ ｙ Ｍ ｚで表わさ
れ、希土類元素Ｒの全濃度が１４原子パーセント以下の
希土類−鉄族系非晶質膜である。
ここで本発明の合金膜では従来の希土類−鉄族系非晶質
膜よりもより大きな磁気光学効果を得るためには希土類
元素濃度を１４原子パーセント以下にすることが好まし
く、しかし５Ｍ子パーセント以下になると非晶質化が困
難になるため、希土類元素濃度は５原子パ一セント以上
にする必要がある。また必要に応じて、記録・再生感度
を調整するために構成元素のＦｅあるいはＣｏの一部を
Ｎｄ＋ Ｅｕ、 Ｅｒ、 Ｓｍ、 Ｙｂ＊
Ｎｂ、Ｙ、ＡＭ。
膜よりもより大きな磁気光学効果を得るためには希土類
元素濃度を１４原子パーセント以下にすることが好まし
く、しかし５Ｍ子パーセント以下になると非晶質化が困
難になるため、希土類元素濃度は５原子パ一セント以上
にする必要がある。また必要に応じて、記録・再生感度
を調整するために構成元素のＦｅあるいはＣｏの一部を
Ｎｄ＋ Ｅｕ、 Ｅｒ、 Ｓｍ、 Ｙｂ＊
Ｎｂ、Ｙ、ＡＭ。
Ｎｉ等の元素で１５原子パーセント以下置換することに
より、光磁気記録媒体としての性能を最適化することが
出来る。
より、光磁気記録媒体としての性能を最適化することが
出来る。
さらに本発明の構成元素でａｄ、Ｔｂ、Ｄｙ＋Ｈｏの少
なくとも２種元素以上をガラス化元素（希土類−鉄族系
非晶質膜では希土類元素がその役割を担う）として非晶
質膜を形成することにより、希土類元素が一種の非晶質
膜の場合よりも、キュリ一温度やあるいはファラデー回
転角やカー回転角等の磁気光学効果を高めることが出来
る。
なくとも２種元素以上をガラス化元素（希土類−鉄族系
非晶質膜では希土類元素がその役割を担う）として非晶
質膜を形成することにより、希土類元素が一種の非晶質
膜の場合よりも、キュリ一温度やあるいはファラデー回
転角やカー回転角等の磁気光学効果を高めることが出来
る。
またＦｃｔ！：ｃｏで、あるいはＣＯをＦｅで置換する
ことにより、磁気光学効果に寄与する鉄族元素の磁化の
大きさを大きくし、さらに他の構成元素である希土類元
素を他種の希土類元素で置換することにより、磁気光学
効果をさらに改善し、同時にキュリ一温度も最適化出来
、記録感度、再生出力を大幅に改善することが出来る。
ことにより、磁気光学効果に寄与する鉄族元素の磁化の
大きさを大きくし、さらに他の構成元素である希土類元
素を他種の希土類元素で置換することにより、磁気光学
効果をさらに改善し、同時にキュリ一温度も最適化出来
、記録感度、再生出力を大幅に改善することが出来る。
以上の本発明の該希土類−鉄族系非晶質膜で、Ｂ、Ｓｉ
等の非金属元素あるいは本発明構成元素以外の遷移金属
元素を１０原子パーセント以下添加することによっても
膜特性の磁気特性、キュリ一温度、結晶化温度、耐食性
等をさらに用途に応じて最適化することも出来る。
等の非金属元素あるいは本発明構成元素以外の遷移金属
元素を１０原子パーセント以下添加することによっても
膜特性の磁気特性、キュリ一温度、結晶化温度、耐食性
等をさらに用途に応じて最適化することも出来る。
以下、本発明を実施例を用いて説明する。
本発明の非晶質合金膜は１１０ｍｍφのＣＯあるいはＦ
ｅ円板−ヒに５Ｘ５＋ｎｍ２の希土類元素あるいは還移
金属元素を、面積比で所定の組成になるように配置した
複合ターゲットを用いてスパッタすることにより、また
所定組成の合金を真空アーク溶解で作製し、これらの母
合金を用いて電子ビーム蒸着することにより作製した。
ｅ円板−ヒに５Ｘ５＋ｎｍ２の希土類元素あるいは還移
金属元素を、面積比で所定の組成になるように配置した
複合ターゲットを用いてスパッタすることにより、また
所定組成の合金を真空アーク溶解で作製し、これらの母
合金を用いて電子ビーム蒸着することにより作製した。
本発明の一実施例を第１図により説明する。第１図に示
したＴｂ、Ｃｏ、−、＋ （Ｔｂ−ｑ＋；Ｇｄ−ｎｓ
）−ＣＯＸ−１（Ｔｂ、ｇ＜Ｇｄ、ａｓ） −（Ｃｏ、
ｐｓＦｅ、ｎｓ） ｌ−ａ非晶質膜（ａｓ２０）はマグ
ネトロンスパッタ法で、Ａｒ圧５Ｘ １０−３Ｔｏｒｒ
、投入高周波電力１ｋＷの条件下で、あるいは電子ビー
ム蒸着法では真空度Ｉ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの条件下
で作製した。作製した非晶質膜の膜厚は約５００人と一
定にした。このような作製条件下で作製した膜は、ａが
５原子パーセント（Ｉ３ｔ、％）以上で非晶質であった
。第１図はＴｂ、Ｃｏ、−。 （白糸！ｌ） ＋
（Ｔｂ、ｑｑＧｄ、、５） ｅｃＯｌ−ａ
（曲線２） ＋ （’Ｉ’ｂ−３ｓＧｄ−ａｓ）
−（Ｃｏ、ｇ５Ｆｅ、ｏｓ） ＋−（曲線３）非晶質
膜等のファラデー回転角θ、（測定波長λ＝６３３ ｎ
ｍ ）を希土類元素濃度ａの関数と１ノで示したもの
である。図から希土類元素の構成元素を１゛ｂからＴ
）） −Ｇ ｄど二元にすることにより、また鉄族系元
素ではその構成元素をＣＯからＣｏ−Ｆｅと二元にする
ことによりθ、が上昇していることがわかる。また希土
類元素濃度が減少するに従い、すなわち鉄族元素濃度が
増−すと共にθ、は増大し、ａ ＜ １５ ａ ｔ％で
大きな値の０、が得られていることがわかる。これらの
傾向はＦｅ元素が富んだ希土類−鉄族系非晶質膜でも同
様の傾向を示した。
したＴｂ、Ｃｏ、−、＋ （Ｔｂ−ｑ＋；Ｇｄ−ｎｓ
）−ＣＯＸ−１（Ｔｂ、ｇ＜Ｇｄ、ａｓ） −（Ｃｏ、
ｐｓＦｅ、ｎｓ） ｌ−ａ非晶質膜（ａｓ２０）はマグ
ネトロンスパッタ法で、Ａｒ圧５Ｘ １０−３Ｔｏｒｒ
、投入高周波電力１ｋＷの条件下で、あるいは電子ビー
ム蒸着法では真空度Ｉ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの条件下
で作製した。作製した非晶質膜の膜厚は約５００人と一
定にした。このような作製条件下で作製した膜は、ａが
５原子パーセント（Ｉ３ｔ、％）以上で非晶質であった
。第１図はＴｂ、Ｃｏ、−。 （白糸！ｌ） ＋
（Ｔｂ、ｑｑＧｄ、、５） ｅｃＯｌ−ａ
（曲線２） ＋ （’Ｉ’ｂ−３ｓＧｄ−ａｓ）
−（Ｃｏ、ｇ５Ｆｅ、ｏｓ） ＋−（曲線３）非晶質
膜等のファラデー回転角θ、（測定波長λ＝６３３ ｎ
ｍ ）を希土類元素濃度ａの関数と１ノで示したもの
である。図から希土類元素の構成元素を１゛ｂからＴ
）） −Ｇ ｄど二元にすることにより、また鉄族系元
素ではその構成元素をＣＯからＣｏ−Ｆｅと二元にする
ことによりθ、が上昇していることがわかる。また希土
類元素濃度が減少するに従い、すなわち鉄族元素濃度が
増−すと共にθ、は増大し、ａ ＜ １５ ａ ｔ％で
大きな値の０、が得られていることがわかる。これらの
傾向はＦｅ元素が富んだ希土類−鉄族系非晶質膜でも同
様の傾向を示した。
次に、従来材の代表的な垂直磁化膜のＴｂ２ ｎ Ｆｅ
１ｌ。
１ｌ。
非晶膜（厚さ約１０００人）の上に、真空を破らずに本
発明の磁気光学効果の大きい非晶質膜を約５０人被膜し
、さらにそのＬにＳｉｎ、膜を約１０００人被膜した多
層膜媒体を作製して、それらのＳｊ ０２側からのカー
回転角０ゆ （測定波長λ＝ ６３３ ｎ ｍ ）を測
定した。その結果、従来材のＴｂ、。Ｆ４．。非晶質単
独の場合の０． （＝０．２．２〜０．２５ °）と
比べて約１５．５ 培基」二に増大しているとかわかっ
た。
発明の磁気光学効果の大きい非晶質膜を約５０人被膜し
、さらにそのＬにＳｉｎ、膜を約１０００人被膜した多
層膜媒体を作製して、それらのＳｊ ０２側からのカー
回転角０ゆ （測定波長λ＝ ６３３ ｎ ｍ ）を測
定した。その結果、従来材のＴｂ、。Ｆ４．。非晶質単
独の場合の０． （＝０．２．２〜０．２５ °）と
比べて約１５．５ 培基」二に増大しているとかわかっ
た。
例えばＴｂ、。Ｆｅ、ｌｏの上にＴｂ１４Ｆｅ、＋６非
晶質暎を被膜した時は０、＝０．２８〜０．３０ °。
晶質暎を被膜した時は０、＝０．２８〜０．３０ °。
（Ｔｂ、ｉ＜Ｇｄ、ｎｓ） １．０ｃｏ’ｌｌ非晶質膜
を被膜した時は０、＝０．３３〜０．３８６゜ （Ｔｂ、５ｓＧｄ、ｎｓ） ＋３（Ｆｅ、ｇｇｃｏ、ｎ
ｓ） ＋１７非晶質膜を被膜した時は０．＝０．３０〜
０６４２ °と増大した１、またこれら多層膜の保磁力
ＨＣは１〜２ｋＯｃと大きく、光磁気材料として好適で
あることが分った６ 〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明の希土類元素濃
度の低い非晶質膜は、従来報告されている光磁気非晶質
膜よりも大きな磁気光学効果を示し、より大きな信号再
生出力・雑音比（Ｓ／Ｎ）が得られる優れた光磁気記録
材料であることが分った。また希土類−鉄族系非晶質膜
では希土類元素が高価であることから、本発明の希土類
元素濃度の低い非晶質膜は従来材の非晶質膜と比べて、
第１図は本発明に用いたＴｂａＣｏｘ−ａｔ（Ｔｂ、１
．、Ｇｄ、。、）、Ｃｏ□−１゜（Ｔｂ、ｑｓＧｄ、ｎ
、、）−（ＣＯ，５ｓＦｅ、ｏｓ） １−ｈ非晶質膜に
おけるファラデー回転角θ、のａ濃度依存性を示す線図
である。
を被膜した時は０、＝０．３３〜０．３８６゜ （Ｔｂ、５ｓＧｄ、ｎｓ） ＋３（Ｆｅ、ｇｇｃｏ、ｎ
ｓ） ＋１７非晶質膜を被膜した時は０．＝０．３０〜
０６４２ °と増大した１、またこれら多層膜の保磁力
ＨＣは１〜２ｋＯｃと大きく、光磁気材料として好適で
あることが分った６ 〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明の希土類元素濃
度の低い非晶質膜は、従来報告されている光磁気非晶質
膜よりも大きな磁気光学効果を示し、より大きな信号再
生出力・雑音比（Ｓ／Ｎ）が得られる優れた光磁気記録
材料であることが分った。また希土類−鉄族系非晶質膜
では希土類元素が高価であることから、本発明の希土類
元素濃度の低い非晶質膜は従来材の非晶質膜と比べて、
第１図は本発明に用いたＴｂａＣｏｘ−ａｔ（Ｔｂ、１
．、Ｇｄ、。、）、Ｃｏ□−１゜（Ｔｂ、ｑｓＧｄ、ｎ
、、）−（ＣＯ，５ｓＦｅ、ｏｓ） １−ｈ非晶質膜に
おけるファラデー回転角θ、のａ濃度依存性を示す線図
である。
１−４ｂ、Ｃｏ１−、．２− （Ｔｂ、５ｓＧｄ−ｎ＋
；） −ＣＯｔ−，３・・・第１図 Ｘｔｏ’ Ｄ ５ １０ １５．２θ轟土順元
案濃席 久（のｔφジ
；） −ＣＯｔ−，３・・・第１図 Ｘｔｏ’ Ｄ ５ １０ １５．２θ轟土順元
案濃席 久（のｔφジ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、組成式がＲｘＴｙＭｚで示され、上記ＲがＧｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙ、Ｈｏからなる元素から選ばれた少なくとも一
種以上の元素、上記ＴがＮｄ、Ｅｕ、Ｅｒ、Ｓｍ、Ｙｂ
、Ｎｂ、Ｙ、Ａｌ、Ｎｉからなる元素群から選ばれた少
なくとも一種以上の元素、上記ＭがＦｅ、Ｃｏからなる
元素群から選ばれた少なくとも一種以上の元素からなり
、かつ原子パーセントで、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、５≦ｘ
＜１４、０＜ｙ＜１５を満足し、優位的に非晶質である
ことを特徴とする磁気光学記録媒体。 ２、特許請求の範囲第１項記載において、上記ＲがＧｄ
、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏからなる群より選択した少なくとも
２種以上の元素からなることを特徴とした磁気光学記録
媒体。 ３、特許請求の範囲第１項記載において、上記ＭがＦｅ
とＣｏの二種の元素からなることを特徴とした磁気光学
記録媒体。 ４、特許請求の範囲第１項記載において、上記ＲがＧｄ
、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏから選択した少なくとも２種以上の
元素からなり、かつ、上記ＭがＦｅとＣｏの二種の元素
からなることを特徴とした磁気光学記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15287484A JPS6134744A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気光学記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15287484A JPS6134744A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気光学記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6134744A true JPS6134744A (ja) | 1986-02-19 |
Family
ID=15550003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15287484A Pending JPS6134744A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気光学記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6134744A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61165847A (ja) * | 1985-01-17 | 1986-07-26 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS61214254A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
| JPS6247846A (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-02 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62132254A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-15 | Hitachi Maxell Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS62267950A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気光学記録媒体 |
| JPS6348636A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-03-01 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS63164050A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-07-07 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPS63164049A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-07-07 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPS63173249A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-16 | Daicel Chem Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS63206930A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気デイスク |
| EP0310392A2 (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optic memory medium |
| US4822675A (en) * | 1987-01-14 | 1989-04-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Stable magneto optic recording medium |
| US5053287A (en) * | 1986-08-22 | 1991-10-01 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Magnetooptical recording media and processes for production thereof |
| JPH0423247A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15287484A patent/JPS6134744A/ja active Pending
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| JPH0423247A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
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