JPH0697021A - 半導体製造管理システム - Google Patents
半導体製造管理システムInfo
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- JPH0697021A JPH0697021A JP27375792A JP27375792A JPH0697021A JP H0697021 A JPH0697021 A JP H0697021A JP 27375792 A JP27375792 A JP 27375792A JP 27375792 A JP27375792 A JP 27375792A JP H0697021 A JPH0697021 A JP H0697021A
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Abstract
て、製造工程に応じた補助処理回数の調整機能を設ける
ことにより、ロットの進捗を円滑にして、ロットの進捗
管理性能の向上を図る。 【構成】 ロットの品質を救済するための補助処理工程
の記憶手段122 と、各製造工程に対応した補助処理工程
を記憶する行き先補助処理工程の記憶手段113 と、各補
助処理工程に対応した戻り先の製造工程を記憶する戻り
先工程の記憶手段123 と、各記憶手段に指示する演算部
141 と、各製造工程ごとの補助処理回数の限度を記憶す
る繰り返し限度の記憶手段114 と、各製造工程での同一
補助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の
記憶手段135 と、補助処理の回数が限度を越えていない
場合には必要な補助処理を行い、限度を越えている場合
には補助処理を停止する、補助処理の進捗制御手段143
とを設けたものである。
Description
として、特に前工程プロセスにおけるロットの進捗状況
を制御する半導体製造管理システムに関するものであ
る。
プロセス)工程において、ある工程終了時点からその後
の特定の工程を開始するまでの時間間隔について、ある
一定基準内で行うことが予め定められている場合があ
る。これは、ある加工を実行したウエハに対して経時的
な物性の変化やウエハ表面に付着する浮遊塵埃が、後の
工程に好ましからぬ影響を与えることがあるためであ
る。このことについて、一般的な半導体工場の生産管理
システムでは、上述のような工程間の時間制約を任意の
工程間に登録することができ、かつ制約時間を超えたロ
ットが次の工程へ進捗しないようになっている。
る補助処理を行えばロットの品質を対する救済ができる
場合がある。例えば、ロットに対して洗浄処理を行った
後に酸化処理を実施するような工程では、予め定められ
ている時間制約を越えた場合、ウエハ表面に付着した塵
埃を洗い落とす再洗浄処理を行えば、その後の酸化処理
は、通常どおりに実施できる。
理システムでは、ロットが本来進むべき工程とは別に、
上記したようなロット救済のための工程を予め登録して
おき、補助処理が必要であると判断された場合に、ロッ
トを本来の工程から補助処理工程に移し換える。このよ
うにして進捗が許可されたロットは補助処理工程を経て
本来の工程に戻る。
機(以下ホストコンピュータと記す)には、その工場の
さまざまな物資の現在位置や工程の進捗状況、工程を処
理する装置の稼働状況など多様な情報を記憶する機能や
検索する機能があり、これらの情報はその端末機、一般
的にはCRTディスプレイを操作することで参照したり
更新したりすることができる。この場合の参照や更新の
画面は、作業者の問い合わせや入力内容ごとに定型化さ
れているのが通例である。
に関わる事象の発生ごとに刻々とその状況、状態を変化
させていくが、ホストコンピュータがこれらの変化の状
況〔あるいは変化を引き起こす事象(以下イベントと記
す)の発生〕を知りえるには、作業者によるCRT端末
入力が不可欠となる。すなわち、工場でのイベントの発
生のすべてを作業者が入力しなければならないので、作
業量の肥大化を招いている。
ュータと工場内の装置を通信回線で接続し、装置で発生
したイベントをリアルタイムにホストコンピュータに伝
え、端末入力の手間を省くシステムが一般的になってい
る。さらには、工場内の各装置での製造処理の自動化を
果たすために、ホストコンピュータと製造処理装置を通
信回線で接続し、さまざまな処理の指示を与えることも
行われている。このようなシステムでは、装置からのイ
ベント情報やホストコンピュータからの指示を、その装
置とホストコンピュータとの間で定めた、そのイベント
の種別ごとの定型化した文字列や手順に変換して通信を
行っている。
酸化の工程について、制約時間を一度オーバーしたため
に、補助処理としての洗浄を行った後に、再び酸化処理
までの時間が大きく経過してしまった場合には、工程に
よって、再度洗浄を行う場合と、洗浄によるウエハの損
傷を考慮して洗浄を行わずにそのまま酸化処理を行う場
合とがある。つまり補助処理を行える回数については、
工程によって差異が存在する。ところが現状の半導体製
造管理システムでは、工程に応じた補助処理回数の調整
機能はないのが一般的である。すなわち、補助処理が必
要でかつ補助処理の回数に制限を持たせなければならな
いような工程では、生産管理システムでのロット進捗管
理ができない。
数存在する場合に、制約時間を越えたロットの多数を工
程調整して当該各ロットに進捗を許可する入力を行う
と、これらの多数の制約時間を越えたロットの補助処理
を行っている間に制約時間を越えていないロットまでが
制約時間を越える。この結果、制約時間を越えるロット
が大量に発生して、補助処理工程を行う必要が大幅の増
加する。この結果、ロットの円滑な進捗が妨げられる。
また補助処理工程の付加が非常に大きくなる。
程調整入力をいつまでも行わないでいると、時間制約を
越えたロットの工程進捗が極めて悪くなり、かつロット
ごとの工程進捗の速度のばらつきが大きくなり、効率的
な生産管理を行うことが困難になる。
ータのシステムでは、外部の装置の種類ごとに手順や文
字列を解釈するプログラムが必要になり、ホストコンピ
ュータのプログラム開発の期間の長大化やプログラム容
量の肥大化を引き起こしている。
ロットの進捗管理性に優れた半導体製造管理システム、
あるいはプログラム開発が短期間で簡単な半導体製造管
理システムを提供することを目的とする。
成するためになされたシステムである。すなわち、第1
の半導体製造管理システムとしては、ロットの品質を救
済するための補助処理工程の記憶手段と、各製造工程に
対応した補助処理工程を記憶する行き先補助処理工程の
記憶手段と、各補助処理工程に対応した戻り先の製造工
程を記憶する戻り先工程の記憶手段と、各記憶手段に指
示する演算部とにより、製造工程中のロットの進捗状況
を管理する半導体製造管理システムにおいて、各製造工
程ごとの補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の
記憶手段と、各製造工程での同一補助処理工程の繰り返
し回数を記憶する補助処理回数の記憶手段と、補助処理
の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処理を
行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、
補助処理の進捗制御手段とを設けたものである。
工程の情報と制約時間の情報とを記憶する工程フロー情
報ファイルと、補助処理工程の情報を記憶する補助処理
フロー情報ファイルと、管理対象となる全ロットのロッ
ト情報と制約時間切れ時刻とを記憶するロット属性ファ
イルと、自動的にロットの進捗情報を管理するとともに
工程調整開始時刻を記憶する自動工程調整ロット情報フ
ァイルと、各ファイルを検索してロットの進捗管理計算
や時間管理計算を行う演算部とが設けられている。
対象となるロットが時間制約を受ける区間の最初の工程
に仕掛かっている場合で、当該最初の工程を終了した後
には、演算部によって、ロット属性ファイルを呼び出し
て算出した当該ロットの現在の工程の制約時間切れ時刻
をロット属性ファイルに記憶するとともに、自動工程調
整ロット情報ファイルを呼び出して算出した当該ロット
の工程調整開始時刻を当該自動工程調整ロット情報ファ
イルに登録する。
受ける場合に、ロット属性ファイルより検索した当該ロ
ットの処理制約時間の時間切れ時刻を現在の時刻が越え
ている場合には処理を終了し、その時刻を現在の時刻が
越えていない場合には、制約時間に関わりなくロットを
進捗する。
調整ロット情報ファイルを呼び出して算出した工程調整
開始時刻が現在の時刻に達していない場合には、自動工
程調整ロット情報ファイル内の次のロットの処理を行
い、工程調整開始時刻が現在の時刻に達している場合に
は、ロット属性ファイル内のロット情報と工程フロー情
報ファイルと補助処理フロー情報ファイルとを順に参照
して補助処理工程に当該ロットを進捗するとともに当該
ロットの制約時間を無効にして自動工程調整の対象ロッ
トより外す。
生産管理を指示するホストコンピュータと、ホストコン
ピュータに接続する複数の端末機と、各端末機に通信回
線を介して接続する製造処理装置と、ホストコンピュー
タより指示された信号を各製造処理装置が解読可能な信
号に変換するものであって、各端末機に設けた信号変換
器とよりなるものである。
理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段と、各
製造工程での同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶す
る補助処理回数の記憶手段と、補助処理の回数が限度を
越えていない場合には必要な補助処理を行い、限度を越
えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗
制御手段とを設けたことにより、補助処理工程の実行回
数を制限する工程においてもロットの進捗管理が可能に
なる。この結果、ロットの進捗が円滑になる。
イルに制約時間の情報を記憶し、ロット属性ファイルに
制約時間切れ時刻を記憶し、自動工程調整ロット情報フ
ァイルに工程調整開始時刻を記憶するとともに演算部で
ロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うことによ
り、時間制約によって補助処理を受けるロットのため
に、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げられ
て当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。この
結果、制約時間を越えるロット数が低減するので、製造
工程内のロットの流れが円滑になる。
ホストコンピュータと、ホストコンピュータに接続する
複数の端末機と、各端末機に通信回線を介して接続する
製造処理装置と、ホストコンピュータより指示された信
号を各製造処理装置が解読可能な信号に変換するもので
あって、各端末機に設けた信号変換器とで構成したこと
により、ホストコンピュータは外部装置ごとに特殊なプ
ログラムを持つ必要がなくなる。この結果、ホストコン
ピュータのプログラム開発期間が短縮され、プログラム
が簡略化される。
管理システム図および図2〜図4のファイル説明図によ
り説明する。図1に示すように、半導体製造管理システ
ム1の主要部は、工程フロー情報ファイル111、補助
処理フロー情報ファイル121、ロット属性情報ファイ
ル131および各ファイル111,121,131に接
続するもので工程管理コンピュータ11内に設けた演算
部141とによって構成されている。
品種ごとにある製品を製造するための工程順やそれぞれ
の工程名を記憶する通常製造工程の記憶手段112が設
けられている。また各製造工程に対応する補助処理工程
を、各製造工程に対応させて記憶する行き先補助処理工
程の記憶手段113が設けられている。さらに各製造工
程に対して補助処理工程を連続して行うことができる回
数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段114が設
けられている。これらの各記憶手段112〜114の情
報は、相互に関連付けられて記憶されている。図2に一
例を示すように、上記工程フロー情報ファイル111に
は、製品の品種名、製造工程順、製造工程名、行き先補
助処理工程名、戻り先工程名、補助処理の繰り返し限度
回数が書き込まれている。なお図では、前洗浄・酸化工
程を例に示した。
1には、ロットの品質を救済する補助処理工程を、順列
をなす複数の工程の並びとして記憶する補助処理工程の
記憶手段122が設けられている。また各補助処理工程
を終了した後の戻り先の製造工程を、当該補助処理工程
に対応させて記憶する戻り先工程の記憶手段123と、
各製造工程に対する補助処理回数の限度を記憶する繰り
返し限度の記憶手段124とが設けられている。これら
の各記憶手段122〜124内に格納された情報は、相
互に関連付けられて記憶されている。図3に一例を示す
ように、上記補助処理フロー情報ファイル121には、
補助処理名、工程順、工程名、行き先補助処理工程名、
戻り先工程名、補助処理の繰り返し限度回数が書き込ま
れている。なお図では、前洗浄・酸化工程を例に示し
た。
には、工場内の各ロットに対して現在の工程番号と工程
名を記憶する現工程の記憶手段132が設けられている
とともに、補助処理工程への調整を行った際の元の工程
名を記憶した元工程の記憶手段133が設けられてい
る。また補助処理工程が終了した時の戻り先の工程名を
記憶した戻り先工程の記憶手段134が設けられてい
る。さらに同一補助処理を連続して行った回数を記憶す
る補助処理回数の記憶手段135が設けられている。こ
れらの各記憶手段132〜135は 相互に関連付けら
れて設けられている。図4に一例を示すように、上記ロ
ット属性情報ファイル131には、ロット番号、現工
程、元工程、現在の補助処理回数、戻り先工程名が書き
込まれている。なお図では、レジスト塗布工程を例に示
した。
ファイル111,121,131を適宜呼び出して、そ
の内容を検索あるいは参照し、ロットの進捗を図るロッ
ト進捗制御手段142が設けられている。さらに上記繰
り返し限度の記憶手段114に記憶した補助処理の限度
回数と上記補助処理回数の記憶手段135に記憶した同
一補助処理の繰り返し回数とを比較判定して、補助処理
の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処理を
行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、
補助処理の進捗制御手段143が設けられている。上記
の如くに半導体製造管理システム1が構成されている。
助処理の繰り返しを、図5に示す流れ図により説明す
る。図に示すように、例えばロットがある工程の処理前
の段階になった時点で、ロット救済のための補助処理が
必要になったとする。この場合には、ロット処理の担当
作業者は、工程管理コンピュータの端末機を操作して、
ロットを補助処理工程に調整する、あるいはロットの番
号を入力する、という「補助処理開始の入力」151の
作業を行う。
ト番号が工程管理コンピュータに登録されているか否か
を判別する、「ロット登録の判別」152を行う。対象
となるロットが登録されていない場合には、端末機にエ
ラーを表示する、「エラー表示」171を行う。そして
当該ロットの処理を終了する。対象となるロットが登録
されている場合には、ロット属性情報ファイルにより、
当該ロットの現在の工程名を検索する「現工程の検索」
153を行う。
上記検索した工程名に基づいて、当該工程に補助処理工
程が登録されているか否かを判別する「補助処理工程の
登録判別」154を行う。補助処理フロー情報ファイル
に現工程からの行き先補助処理工程が登録されていない
場合には、端末機にエラーを表示する、「エラー表示」
171を行って、当該ロットの処理を処理を終了する。
補助処理フロー情報ファイルに現工程からの行き先補助
処理工程が登録されている場合には、ロット属性情報フ
ァイルより、最新の補助処理工程を必要とした工程(元
工程)を参照する、「元工程の参照」155を行う。
を判別する、「元工程の判別」156を行う。元工程の
判別によって、同一の場合には、ロット属性情報ファイ
ルにより現在の工程における連続して実行可能な補助処
理の回数を参照する、「補助処理の連続回数の限度値の
参照」157を行う。
ける繰り返し可能な補助処理回数が0回か否かを判別す
る、「補助処理の可否の判別」158を行う。この判別
で、連続して実行可能な補助処理回数が1回以上残って
いる場合には、補助処理が可能であるので、ロット属性
情報ファイルによって、現在の補助処理の連続回数を参
照する、「補助処理回数の参照」159を行う。
続回数値が現在の工程に登録されている連続して実行可
能な補助処理回数値に到達しているか否かを判別する、
「補助処理の連続回数の限度判別」160を行う。この
判別では、現在の工程に登録されている補助処理の連続
回数の限度値に現在の補助処理の連続回数値が達してい
る場合には、端末機にエラーを表示する、「エラー表
示」171を行って、当該ロットの処理を処理を終了す
る。また現在の工程に登録されている補助処理の連続回
数の限度値に現在の補助処理の連続回数値が到達してい
ない場合は、補助処理を連続して行うことが可能である
と判断して、当該ロットの補助処理の連続回数を1増す
る、「補助処理の連続回数の書き換え」161を行う。
そして、ロットの工程を補助処理工程に調整する、「補
助処理工程への調整」162を行う。
ット属性情報ファイルの最終行き先補助処理工程と今回
の補助処理工程とが異なる場合には、ロット属性情報フ
ァイルの最新の元工程を補助処理工程に書き直す、「元
工程の更新」163を行う。さらに現在に補助処理の連
続回数を1回に書き直す、「補助処理の連続回数の更
新」164を行う。さらに、工程を調節したロットにつ
いて、まず工程フロー情報ファイルに登録されているロ
ットの戻り先の情報をロット属性情報ファイルに登録す
る、「戻り先工程の更新」165を行う。その後、「補
助処理工程への調整」162によって、ロットの工程を
補助処理工程に調節する。
において、現在の工程に登録されている連続して実行可
能な補助処理回数値が0の場合には、補助処理に実行が
可能なので、そのまま「補助処理工程への調整」162
に進捗する。
補助処理フロー情報ファイルの最後の補助処理工程を終
了した時点で、半導体製造管理システムは、ロット属性
情報ファイルに登録されている戻り先工程を参照し、ロ
ットの工程を戻り先工程に調整する。
導体製造管理システムの端末機を操作することにより、
ロットの現在における連続処理回数を参照することが可
能になっている。
補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段
114と、各製造工程での同一補助処理工程の繰り返し
回数を記憶する補助処理回数の記憶手段135と、補助
処理の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処
理を行い、限度を越えている場合には補助処理を停止す
る、補助処理の進捗制御手段143とを設けたことによ
り、補助処理工程の実行回数を制限する工程においても
ロットの進捗管理が可能になる。この結果、ロットの進
捗が円滑になる。
理システム図および図7〜図10のファイルの説明図に
より説明する。図6に示すように、半導体製造管理シス
テム2の主要部は、工程フロー情報ファイル211、補
助処理フロー情報ファイル221、ロット属性情報ファ
イル231、自動工程調整ロット情報ファイル241お
よび各ファイル211,221,231,241に接続
する演算部251とによって構成されている。
図7に示すように、品種ごとに半導体装置製造のロット
投入から完成までの一連の工程順212と通常処理工程
名213、補助処理フロー214、補助処理工程からの
戻り先工程名215、工程間に設定してある制約時間の
開始点216および制約時間の終了点217、制約時間
値218、自動工程調整時間幅219が記憶されてい
る。これらの記憶した情報は、相互に関連付けられてい
る。これらの記憶情報は、工程管理コンピュータの端末
機(図示せず)を操作することで、作業者によって登録
することが可能である。また一旦登録した補助処理工程
の変更や削除も、工程管理コンピュータの端末機(図示
せず)を操作することにより可能になっている。
は、図8に示すように、制約時間を超過したロットに対
して救済するための補助処理の情報が記憶されている。
すなわち、補助処理フロー222と一連の補助処理フロ
ー222ごとに補助処理に必要な工程順223とその補
助処理工程名224とが関連付けられて記憶されてい
る。これらの記憶した情報は、工程管理コンピュータの
端末機(図示せず)を操作することにより、作業者によ
って登録、変更、削除等ができる。
図9に示すように、管理対象となる全ロットについて、
そのロット番号232、現在の工程番号233と現在の
工程名224、さらに当該ロットの現在の仕掛かり状態
235、補助処理への工程の調整を行った際の元の工程
名(以下元工程236と記す)、補助処理終了時の戻り
先の工程名237、制約時間切れになる時刻(以下制約
時間切れ時刻238と記す)が関連付けられて記憶され
ている。これらの記憶した情報は、工程管理コンピュー
タの端末機(図示せず)を操作することにより、作業者
によって登録、変更、削除等ができる。
1には、図10に示すように、自動的にロットの進捗情
報を管理するとともに、自動工程調整を必要とするロッ
トのロット番号242に対して補助処理への工程調整を
開始する時刻(工程調整開始時刻243)を関連付けて
記憶されている。
グラム252,処理可能ロット参照プログラム253,
処理開始プログラム254,自動工程調整プログラム2
55等が搭載されている。これらの各プログラムによっ
て、上記各ファイル211,221,231,241を
参照してロットの進捗管理計算や時間管理計算を行う。
約を受ける区間の最初の工程に仕掛かっている場合で、
当該最初の工程を終了した後には、演算部251によっ
て、ロット属性ファイル231を呼び出し、当該ロット
の現在の工程名224の制約時間切れ時刻238を計算
して当該ロット属性ファイル231に記憶する。それと
ともに上記自動工程調整ロット情報ファイル241を呼
び出して、当該ロットの工程調整開始時刻243を計算
して当該自動工程調整ロット情報ファイル241に登録
する。
ける場合を説明する。演算部251によって上記ロット
属性ファイル231を呼び出し、当該ロットの制約時間
切れ時刻238を引き出して、現在の時刻と比較する。
そして現在の時刻がその制約時間切れ時刻238を越え
ている場合には、処理を終了する。現在の時刻が当該制
約時間切れ時刻238を越えていない場合には、制約時
間切れ時刻238に関わりなくロットを進捗する。
程調整ロット情報ファイル241を定期的に呼び出し、
当該ロットの工程調整開始時刻243を引き出して、現
在の時刻と比較する。そして工程調整開始時刻243が
現在の時刻に達していない場合には、自動工程調整ロッ
ト情報ファイル241内の次のロットの処理を行う。工
程調整開始時刻243が現在の時刻に達している場合に
は、上記ロット属性ファイル231、上記工程フロー情
報ファイル211、上記補助処理フロー情報ファイル2
21を順に呼び出して、当該ロットを補助処理フロー2
22に進捗させる。それとともに、当該ロットの制約時
間を無効にして自動工程調整の対象ロットより外す。上
記の如くに半導体製造管理システム2は構成されてい
る。
図14により説明する。いま、管理対象ロットの一つに
着目する。着目したロットが制約時間が設定されている
区間の最初の工程で処理中であるとする。そして処理が
終了した情報の入力を端末機(図示せず)より行う。図
11に示すように、入力された情報が工程管理コンピュ
ータの演算部(251)に伝達された時点で、制約時刻
計算プログラム252によって、ロット属性情報ファイ
ル231から当該ロットの現在の工程名224を参照
(矢印ア)する。次いで工程フロー情報ファイル211
の当該通常処理工程名213に関する項目を検索(矢印
イ)し、当該制約時間値218を引き出す(矢印ウ)。
そして制約時刻計算プログラム252によって、この制
約時間値218を現在の時刻に加算して制約時間切れ時
刻を算出する。その後制約時間切れ時刻をロット属性情
報ファイル231の当該ロットの制約時間切れ時刻23
8の項目に登録する(矢印エ)。
51は、上記工程フロー情報ファイル211を参照(矢
印オ)し、自動工程調整時間幅219を引き出す(矢印
カ)。そして制約時刻計算プログラム252によって、
自動工程調整時間幅219を現在の時刻に加算して自動
工程調整を開始する時刻を算出する。その後自動工程調
整ロット情報ファイル241に、ロット番号242とと
もに上記自動工程調整を開始する時刻を工程調整開始時
刻243の項目に登録する(矢印キ,矢印ク)。
終工程の処理前の状態になった場合には、次に処理を行
うべきロットの選択を行う。すなわち図12に示すよう
に、工程管理コンピュータの演算部251は、処理可能
ロット参照プログラム253によって、ロット属性情報
ファイル231より、当該ロットの現在の工程名234
と一致する工程(矢印サ)で、仕掛かり状態235が当
該工程が処理前(矢印シ)であり、かつ制約時間切れ時
刻238(矢印ス)を越えていないロットを検索する。
そして、該当するロットのロット番号242(矢印セ)
の全リストを端末機261に、処理可能ロットリスト2
61として表示する。表示した処理可能ロットリスト2
61よりロットを任意に選択し、選択したロットに対し
て処理開始の入力を行う。
ピュータの演算部251では、端末機22よりロット処
理開始入力262の情報を受け取ると、処理開始プログ
ラム254によって、ロット属性情報ファイル231を
検索して(矢印タ)当該ロットのロット番号232より
制約時間切れ時刻238を参照する(矢印チ)。そして
処理開始プログラム254によって、参照した制約時間
切れ時刻238が現在の時刻を越えているか否かを判定
し、越えている場合には、端末機261にエラーを表示
して終了する。上記制約時間切れ時刻238が現在の時
刻を越えていない場合には、ロット属性情報ファイル2
31内の当該ロットに関する制約時間切れ時刻238を
空欄にする(矢印ツ)とともに、自動工程調整ロット情
報ファイル241内の当該ロットの制約時間に関する情
報として、ロット番号242と工程調整開始時刻243
とを削除する(矢印テ)。
14により説明する。工程管理コンピュータの演算部2
51は、自動工程調整プログラム255によって定期的
に自動工程調整ロット情報ファイル241を呼び出し、
順にロット番号242と当該工程の工程調整開始時刻2
43を参照する(矢印ナ)。この工程調整開始時刻24
3が現在の時刻に達していない場合には、自動工程調整
ロット情報ファイル241内の次のロットを処理する。
上記工程調整開始時刻243が現在の時刻に達している
場合には、ロット属性情報ファイル231中の当該ロッ
ト情報を参照して(矢印ニ)、当該ロットのロット番号
232より現在の工程名234を引き出す(矢印ヌ)。
照して(矢印ネ)、引き出した現在の工程名234に対
応する通常処理工程名213より補助処理フロー214
を引き出す(矢印ノ)。続いて補助処理フロー情報ファ
イル221を参照して(矢印ハ)、引き出した補助処理
フロー214に対応する補助処理フロー222の最初の
補助処理工程名224を引き出す(矢印ヒ)。引き出さ
れた補助処理工程名224を、ロット属性情報ファイル
231の該当する工程名に書き込み(矢印フ)、ロット
の工程名の更新を行う。
ロットの制約時間切れ時刻238を空欄にし(矢印
ヘ)、制約時間に関わりなくロットの進捗を可能にす
る。それとともに、自動工程調整ロット情報ファイル2
41の該当するロット情報を削除して(矢印ホ)、当該
ロットが新たな工程調整の対象にならないようにする。
上記自動工程調整ロット情報ファイル241に記憶され
ている全てのロットに関して自動工程調整を行った後、
一旦自動工程調整を停止する。そして一定時間が経過し
た後、再び上記手順によって、自動工程調整を行う。
イル211に制約時間の情報(制約時間値218)を記
憶し、ロット属性ファイル231に制約時間切れ時刻2
38を記憶し、自動工程調整ロット情報ファイル241
に工程調整開始時刻243を記憶するとともに演算部2
51でロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うこと
により、時間制約によって補助処理を受けるロットによ
って、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げら
れて当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。こ
の結果、制約時間を越えるロット数が低減するので、製
造工程内のロットの流れが円滑になる。
理システム図により説明する。図には、半導体製造工程
に仕掛かるロットの進捗状況を管理する半導体製造管理
システム3を示す。この半導体製造管理システム3に
は、生産管理を指示するホストコンピュータ301が設
けられている。このホストコンピュータ301には通信
回線311を介して複数の端末機321が接続されてい
る。各端末機321は、端末コントローラ322と、こ
の端末コントローラ322に接続する表示部323とキ
ー入力部324とより構成さている。また各端末コント
ローラ322には信号変換器331が設けられている。
さらに各端末機321には、通信回線341を介して製
造処理装置351が接続されている。上記各信号変換器
331は、ホストコンピュータ301より指示された信
号S1を各製造処理装置351が解読可能な信号S2に
変換する。または製造処理装置351より発した信号S
3をホストコンピュータ301が解読可能な信号S4に
変換する。
2を図16の制御ブロック図により説明する。図に示す
ように、制御部325は後述する各記憶領域との文字列
の転送、編集作業および外部機器(ホストコンピュータ
301,製造処理装置351等)との通信機能を成すも
のである。上記信号S1〜S4等を一時的に記憶する記
憶領域として、メニュー番号の一時記憶領域A、キー入
力用受信電文の一時記憶領域B、処理装置イベントの一
時記憶領域C、処理装置通信用受信電文の一時記憶領域
D、ホストコンピュータ通信用受信電文の一時記憶領域
E等が設けられている。これらの一時記憶領域A〜E
は、端末コントローラ322内の記憶媒体として、随時
書換えまたは読み込みが可能なものとして、例えば半導
体メモリ(RAM)などによって構成されている。
力対応制御手順の記憶領域G、処理装置対応制御手順の
記憶領域H等が設けられている。これらの記憶領域F〜
Hは、端末コントローラ322内の読み出し専用記憶媒
体として、端末機能に応じて、予め設定された手順を固
定的に記憶するものとして、例えば半導体メモリ(RO
M)等によって構成されている。
する。端末コントローラ322の電源を投入した場合に
は、端末コントローラ322内の立ち上げ手順の記憶領
域Fに登録されている手順を読み出し、この手順にした
がってホストコンピュータ301との接続を自動的に行
う。
ータ301の端末機能を要求する入力があった場合に
は、端末コントローラ322は、キー入力部324から
の入力文字列,制御コードをホストコンピュータ301
に送信し、その応答の文字列,制御コードを表示部32
3に出力する。この機能によって、端末機321は、ホ
ストコンピュータ301の一般的な端末としての機能を
果たす。
があった場合には、端末コントローラ322は自らの持
つメニュー画面データを表示部323に出力して表示す
る。その後、キー入力部324によってメニュー選択文
字を受信した後、メニュー選択の範囲を調べる。その結
果、範囲外の文字であれば、その旨を表示部323に表
示する。そして初期画面に戻る。またメニュー選択の範
囲内の文字であれば、そのメニュー番号をメニュー番号
一時記憶領域Aに記憶するとともに、そのメニューに応
じた端末コントローラ322自身の持つ画面データを表
示部323に出力して表示する。
からの文字列を受信した場合には、その内容を端末コン
トローラ322の内部のキー入力用受信電文の一時記憶
領域Bに蓄える。そして選択メニュー番号に応じた手順
にしたがって、ホストコンピュータ301に送信すべき
文字列,制御コードを編集する。そして編集が完了した
ら、この文字列,制御コードをホストコンピュータ30
1に送信する。
の応答文字列,制御コードを受信したら、それを端末コ
ントローラ322内部のホストコンピュータ通信用受信
電文の一時記憶領域Eに蓄える。そして、選択メニュー
番号に応じた手順にしたがって、受信文字列を編集する
とともに、上記同手順にしたがって、表示部323に画
面データを出力表示する。さらに編集済みのホストコン
ピュータ301からの受信文字列を表示する。このよう
に、端末機321は、ホストコンピュータ301の簡易
端末装置としての機能を持つ。
末コントローラ322に接続されている製造処理装置3
51との通信により、製造処理装置351でのイベント
発生、その詳細な情報を受信する。そして発生したイベ
ントの種類を判別して記憶する。それとともに、その受
信電文(信号S3)を端末コントローラ322内の処理
装置イベントの一時記憶領域Cに蓄える。そして信号変
換器331によって、イベントの種類に応じた手順にそ
って、ホストコンピュータ301が解釈できる文字列,
制御コードに変換して編集する。そして編集が完了した
ら、この文字列,制御コードを信号S4としてホストコ
ンピュータ301に送信する。
応答文字列,制御コード等の信号S1が送信される。そ
の信号S1を端末コントローラ322内部のホストコン
ピュータ通信用受信電文の一時記憶領域Eに蓄える。そ
して記憶していた発生イベントの種類に応じた手順にそ
って、信号変換器331により、受信電文(信号S1)
を製造処理装置351が解釈可能な電文(信号S2)に
変換して編集し、その信号S2を製造処理装置351に
送信する。このように、製造処理装置351で発生した
イベントをホストコンピュータ301に報告することが
可能になる。
き物が到着したとする。製造処理装置351では、この
物を予め記入されている物のID番号等を読み取り、到
着した旨(以下イベントと記す)を到着した物のID番
号とともに信号S3として、通信回線341を介して端
末コントローラ322に送信する。端末コントローラ3
22では受信した内容(ここでは物が到着した旨)を示
す受信電文(信号S3)を端末コントローラ322内の
処理装置イベントの一時記憶領域Cに蓄える。そこで、
イベントの種類に応じた手順い沿ってホストコンピュー
タ301に送信するべき文字列,制御コードを編集す
る。その際、信号変換器331によって、ホストコンピ
ュータ301に送信可能な受信電文(信号S4)に変換
して編集する。そして編集が完了したら、この文字列,
製造コードを信号S4としてホストコンピュータ301
に送信する。
の応答文字列,制御コード等の信号S1を受信する。こ
の内容には、報告した物の報告した製造処理装置351
での処理条件等が含まれている。端末コントローラ32
2では、ホストコンピュータ301からの受信電文(信
号S1)を端末コントローラ322内部のホストコンピ
ュータ通信用受信電文の一時記憶領域Eに蓄える。そし
て、記憶していた発生イベントの種類に応じた手順にそ
って、受信電文(信号S1)を編集し、製造処理装置3
51が解釈可能な応答電文(信号S2)に変換して編集
し、その編集した信号S2を製造処理装置351に送信
する。
処理装置351は、到着した物の処理条件を知ることが
可能になる。このようにして、処理開始を自動化するこ
とが可能になる。上記説明した如くに、端末機321の
端末コントローラ322は、製造処理装置351の制御
装置としての機能を有する。
イベントや問い合わせをホストコンピュータ301に報
告する際に、1回の電文受信では機能的に満足できない
場合がある。この場合には、イベントごとに定義するホ
ストコンピュータ301における受信データの編集手順
の中に最初に送信するべきホストコンピュータ301へ
の電文、それぞれの送信電文の応答受信ごとに送信する
べきホストコンピュータ301への電文、それぞれの電
文ごとの編集手順等を控えておき、端末コントローラ3
22はこの手順にしたがってホストコンピュータ301
への送信受信を行う。このようにして、複数の問い合わ
せシーケンスを自動化することが可能になる。
管理を指示するホストコンピュータ301と、ホストコ
ンピュータ301に通信回線311を介して接続する複
数の端末機321と、各端末機321に通信回線331
を介して接続する製造処理装置351と、ホストコンピ
ュータより指示された電文を各製造処理装置が解読可能
な電文に変換するものであって、各端末機331に設け
た変換器341とで構成したことにより、ホストコンピ
ュータ301は外部装置(各製造処理装置351)ごと
に特殊なプログラムを持つ必要がなくなる。この結果、
ホストコンピュータ301のプログラム開発期間が短縮
され、プログラムが簡略化される。
によれば、各製造工程ごとの補助処理回数の限度を記憶
する繰り返し限度の記憶手段と、各製造工程での同一補
助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の記
憶手段と、補助処理の回数が限度を越えていない場合に
は必要な補助処理を行い、限度を越えている場合には補
助処理を停止する制御手段とを設けたことにより、補助
処理工程の実行回数を制限する工程においてもロットの
進捗管理が可能になる。この結果、ロットの進捗の円滑
化が図れる。
ァイルに制約時間の情報を記憶し、ロット属性ファイル
に制約時間切れ時刻を記憶し、自動工程調整ロット情報
ファイルに工程調整開始時刻を記憶するとともに演算部
でロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うことによ
り、時間制約によって補助処理を受けるロットのため
に、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げられ
て当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。この
結果、制約時間を越えるロット数が低減する。したがっ
て、製造工程内のロットの流れが円滑になるので,生産
効率の向上が図れる。
するホストコンピュータと、ホストコンピュータに接続
する複数の端末機と、各端末機に通信回線を介して接続
する製造処理装置と、ホストコンピュータより指示され
た信号を各製造処理装置が解読可能な信号に変換するも
のであって、各端末機に設けた変換器とで構成したこと
により、ホストコンピュータは外部装置ごとに特殊なプ
ログラムを持つ必要がなくなる。この結果、ホストコン
ピュータのプログラム開発期間が短縮できるとともに、
プログラムが簡略化が図れる。
る。
明する流れ図である。
る。
ある。
方法の説明図である。
ある。
Claims (3)
- 【請求項1】 ロットの品質を救済する補助処理工程
を、順列をなす複数の工程の並びとして記憶する補助処
理工程の記憶手段と、 対象となる品種ごとの各製造工程に対応する前記補助処
理工程を、各製造工程に対応させて記憶する行き先補助
処理工程の記憶手段と、 各補助処理工程を終了した後の戻り先の製造工程を、当
該補助処理工程に対応させて記憶する戻り先工程の記憶
手段と、 前記各記憶手段に指示する演算部とによって、半導体製
造工程に仕掛かるロットの進捗状況を管理する半導体製
造管理システムにおいて、 前記製造工程に対する補助処理回数の限度を記憶する繰
り返し限度の記憶手段と、 前記製造工程で同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶
する補助処理回数の記憶手段と、 前記補助処理回数の限度と前記同一補助処理工程の繰り
返し回数とを比較判定して、補助処理の回数が限度を越
えていない場合には、必要な補助処理を行い、限度を越
えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗
制御手段とを設けたことを特徴とする半導体製造管理シ
ステム。 - 【請求項2】 製造工程の情報と制約時間の情報とを記
憶する工程フロー情報ファイルと、補助処理工程の情報
を記憶する補助処理フロー情報ファイルと、管理対象と
なる全ロットのロット情報と制約時間切れ時刻とを記憶
するロット属性情報ファイルと、自動的にロットの進捗
情報を管理するとともに工程調整開始時刻を記憶する自
動工程調整ロット情報ファイルと、各ファイルの情報を
基にしてロットの進捗管理計算や時間管理計算を行う演
算部とを設けた半導体製造管理システムであって、 管理対象となるロットが時間制約を受ける区間の最初の
工程に仕掛かっている場合で、当該最初の工程を終了し
た後には、前記演算部によって、前記ロット属性ファイ
ルを呼び出して算出した当該ロットの現在の工程の制約
時間切れ時刻を当該ロット属性ファイルに記憶するとと
もに、前記自動工程調整ロット情報ファイルを呼び出し
て算出した当該ロットの自動工程調整を行う時刻を当該
自動工程調整ロット情報ファイルに登録し、 管理対象となるロットが時間制約を受ける場合に、前記
ロット属性ファイルより検索した当該ロットの制約時間
切れ時刻を現在の時刻が越えている場合には処理を終了
し、その時刻を現在の時刻が越えていない場合には制約
時間切れ時刻に関わりなくロットを進捗するとともに、 前記演算部によって、前記自動工程調整ロット情報ファ
イルを定期的に呼び出して算出した工程調整開始時刻が
現在の時刻に達していない場合には、当該自動工程調整
ロット情報ファイル内の次のロットの処理を行い、工程
調整開始時刻が現在の時刻に達している場合には、前記
ロット属性ファイル内のロット情報と前記工程フロー情
報ファイルと前記補助処理フロー情報ファイルとを順に
参照して補助処理工程に当該ロットを進捗し、かつ当該
ロットの制約時間を無効にして自動工程調整の対象ロッ
トより外すことを特徴とする半導体製造管理システム。 - 【請求項3】 半導体製造工程に仕掛かるロットの進捗
状況を管理する半導体製造管理システムであって、 生産管理を指示するホストコンピュータと、 前記ホストコンピュータに接続する複数の端末機と、 前記各端末機に通信回線を介して接続する製造処理装置
と、 前記ホストコンピュータより指示された信号を前記各製
造処理装置が解読可能な信号に変換するものであって、
前記各端末機に設けた信号変換器とよりなることを特徴
とする半導体製造管理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27375792A JP3316806B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 半導体製造管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27375792A JP3316806B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 半導体製造管理システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002117567A Division JP2003044113A (ja) | 2002-04-19 | 2002-04-19 | 半導体製造ラインにおける生産管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0697021A true JPH0697021A (ja) | 1994-04-08 |
JP3316806B2 JP3316806B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=17532161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27375792A Expired - Fee Related JP3316806B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 半導体製造管理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3316806B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08272404A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-18 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
JPH10112489A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置および基板処理装置 |
KR101357889B1 (ko) * | 2011-05-26 | 2014-02-03 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 진공 처리 장치 및 진공 처리 방법 |
CN104465452A (zh) * | 2013-09-25 | 2015-03-25 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种反应腔室的预处理控制方法 |
-
1992
- 1992-09-16 JP JP27375792A patent/JP3316806B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08272404A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-18 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
JPH10112489A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置および基板処理装置 |
KR101357889B1 (ko) * | 2011-05-26 | 2014-02-03 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 진공 처리 장치 및 진공 처리 방법 |
CN104465452A (zh) * | 2013-09-25 | 2015-03-25 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种反应腔室的预处理控制方法 |
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JP3316806B2 (ja) | 2002-08-19 |
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