JPH08272404A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JPH08272404A JPH08272404A JP7071844A JP7184495A JPH08272404A JP H08272404 A JPH08272404 A JP H08272404A JP 7071844 A JP7071844 A JP 7071844A JP 7184495 A JP7184495 A JP 7184495A JP H08272404 A JPH08272404 A JP H08272404A
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Abstract
且つ短時間に変更することが可能な半導体製造装置を提
供する。 【構成】複数の変更用コンピュータ11j〜11nはネ
ットワーク23を介してホストコンピュータ14に接続
され、これら変更用コンピュータ11j〜11nはホス
トコンピュータ14の記憶装置16に記憶されたプロセ
スフロー情報を読出して編集し、この編集したプロセス
フロー情報を記憶装置16に記憶する。したがって、分
散された変更用コンピュータ11j〜11nからプロセ
スフロー情報を変更することができ、変更処理を効率よ
く実施できる。
Description
置に係わり、特に、半導体装置を製造するために必要な
一連の製造仕様の情報(以下、プロセスフロー情報と称
す)を変更可能な半導体製造装置に関する。
工程、成膜工程、エッチング工程等、数百にも及ぶ多く
の工程を必要とし、プロセスフロー情報はこれら一連の
処理の流れを示す製造仕様の膨大な情報を含んでいる。
さらに、このプロセスフロー情報には製品の種類や、工
程の位置や順序に応じて、所定の処理条件が設定されて
いる。
ものであり、例えば121に示す熱酸化工程では、「90
0 ℃で20分間酸化を行う」等の処理条件が設定されてい
る。製造装置はこの設定値に従って動作し、半導体装置
はこの情報に従って製造される。
ステムによって管理されている。すなわち、前記プロセ
スフロー情報は、コンピュータシステムに記憶され、コ
ンピュータシステムはこのプロセスフロー情報に従って
製造装置を制御し、人間による情報入力を必要とするこ
となく製品の製造が可能とされている。
前に予め決定され、問題がなければこのプロセスフロー
情報に従って製品が製造される。しかし、例えばある成
膜工程において、予め設定していた値よりも形成された
膜が厚くなったり、薄くなった場合、次の工程の処理条
件を変更しなければならない。すなわち、次の工程がエ
ッチング工程である場合、エッチングに要する時間を長
くしたり、短くしたりしなければならない。この例以外
にも数百に及ぶ工程を処理する間には、様々な事象に応
じてプロセスフロー情報を変更する必要が発生する。
ピュータシステムを示すものである。このコンピュータ
システムは、ホストコンピュータ51、このホストコン
ピュータ51に接続された記憶装置52、装置管理用コ
ンピュータ54及び装置制御用コントローラ55、この
装置制御用コントローラ55に接続された製造装置5
8、搬送機器用コントローラ56、この搬送機器用コン
トローラ56に接続された搬送機器59、複数の端末装
置57、前記ホストコンピュータ51と装置管理用コン
ピュータ54、搬送機器用コントローラ56、複数の端
末装置57等を結ぶネットワーク58によって構成され
ている。前記ホストコンピュータ51は、CPU51a
とメインメモリ51bを含み製品の進捗やシステムで使
用される情報を管理する。
ロー情報は、記憶装置52に記憶されており、この情報
に基づいて製造装置58が制御される。製造装置58が
システムフロー情報を取得する方法は、ホストコンピュ
ータ51から記憶装置52をアクセスして情報を取得す
る方法や、ホストコンピュータ51がコンピュータ52
へ情報をダウンロードする等の方法が考えられる。ま
た、プロセスフロー情報を記憶装置52以外の図示せぬ
他のコンピュータに接続れたメモリカード等に分散して
記憶してもよい。
プロセスフロー情報を変更する場合、ユーザとしての研
究者や技術者は端末装置57からホストコンピュータ5
1をアクセスし、記憶装置52に記憶されているプロセ
スフロー情報を直接変更しなければならなかった。この
ような方法の場合、多くの研究者や技術者が同時にホス
トコンピュータ51をアクセスした場合、ホストコンピ
ュータ51の処理速度が低下したり、セキュリティを確
保することが困難となる問題が発生する。また、変更し
たプロセスフロー情報をチェックするようなシステムを
ホストコンピュータ51に付加した場合、そのシステム
によりチェックを行おうとすると、変更に要する時間が
一層増大し、プロセスフロー情報の変更に要する研究者
や技術者の労力が増大する可能性を有している。
性能上の制限により、ホストコンピュータ51に接続さ
れる端末装置の設置台数が少ないことがある。このよう
な場合、ユーザは端末装置57が設置されている場所ま
で移動して変更処理をしなければならず、変更処理に手
間がかかるものであった。
ンでは、コンピュータで管理されているプロセスフロー
情報を端末装置から確認するほかに、製品に付随する工
程表と称するプロセスフロー情報が紙等に印刷されてい
ることがある。このような場合、コンピュータで管理さ
れているプロセスフロー情報を変更するほかに、工程表
の情報も修正しなければならない。工程表は通常製品に
付随しているため、工程表を変更する場合、研究者や技
術者はラインまで行って工程表を修正しなければなら
ず、変更作業が繁雑なものであった。このように、従来
の半導体製造において、プロセスフロー情報を変更する
場合、多大な時間と労力を必要としていた。
り、その目的とするところは、プロセスフロー情報を容
易且つ短時間に変更することが可能な半導体製造装置を
提供しようとするものである。
の製造条件を示すプロセスフロー情報を記憶する記憶手
段と、前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を
用いて半導体装置の製造管理を行う第1の演算手段と、
前記第1の演算手段にネットワークを介して接続され、
前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を読出し
て編集し、この編集したプロセスフロー情報を前記記憶
手段に記憶させる複数の第2の演算手段とを有してい
る。
を示すプロセスフロー情報を記憶する記憶手段と、前記
記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて半導
体装置の製造管理を行う第1の演算手段と、前記第1の
演算手段にネットワークを介して接続された複数の第2
の演算手段とを具備し、前記各第2の演算手段は、前記
記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を選択する選
択手段と、前記選択手段によって選択されたプロセスフ
ロー情報を前記記憶手段から読出す読出し手段と、前記
読出し手段によって読出されたプロセスフロー情報を編
集する編集手段と、前記編集手段によって編集されたプ
ロセスフロー情報の内容をチェックするチェック手段
と、前記チェック手段によってチェックされたプロセス
フロー情報を前記第1の演算手段に転送する転送手段と
を有し、前記第1の演算手段は、前記読出し手段によっ
て前記記憶手段からプロセスフロー情報が読出された場
合、この読出されたプロセスフロー情報の記憶位置に識
別子を設定し、この識別子以降に位置するプロセスフロ
ー情報の実行を制限する制御手段と、前記記憶手段に記
憶されたプロセスフロー情報を前記転送手段によって転
送されたプロセスフロー情報に書き替える書き替え手段
と、前記第2の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形
式と前記第1の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形
式が相違する場合、これらの形式を一致させる変換手段
とを有している。
算手段はネットワークを介してホストコンピュータとし
ての第1の演算手段に接続され、これら第2の演算手段
は第1の演算手段の記憶手段に記憶されたプロセスフロ
ー情報を読出して編集し、この編集したプロセスフロー
情報を記憶手段に記憶する。したがって、分散された第
2の演算手段においてプロセスフロー情報を変更するこ
とができるため、第1の演算手段の能力の低下を防止で
き、変更処理を効率よく実施できる。
編集したプロセスフロー情報の内容が正しいか否かチェ
ックするため、プロセスフロー情報の編集を確実に行う
ことができる。しかも、編集手段及びチェック手段は第
2の演算手段で実行されるため、第1の演算手段の負荷
を軽減できる。
憶手段からプロセスフロー情報が読出された場合、この
読出されたプロセスフロー情報の記憶位置に識別子を設
定し、この識別子以降に位置するプロセスフロー情報の
実行を制限するため、半導体装置の製造に悪影響を与え
ることがない。
して説明する。図1は、この発明の一実施例を示すもの
である。このコンピュータシステムにおいて、プロセス
フロー情報を変更するための複数の変更用コンピュータ
11j、11k〜11nはそれぞれCPU12aとメイ
ンメモリ12bを含んでいる。これら変更用コンピュー
タ11j〜11nには記憶装置13が接続されている。
この記憶装置13には後述するフロー変更プログラム等
が記憶されている。前記各変更用コンピュータ11j〜
11nは記憶装置13に記憶されているフロー変更プロ
グラムに応じてプロセスフロー情報を変更する機能を有
している。
メインメモリ15bを含んでいる。このホストコンピュ
ータ14には記憶装置16が接続されている。この記憶
装置16にはプロセスフロー情報、製品の進捗状況を管
理するプログラム、前記フロー変更プログラムやシステ
ムで使用される情報が記憶されている。前記ホストコン
ピュータ14はこの記憶装置16に記憶されている情報
に従って、製品の進捗状況やシステム全体の動作を管理
する。
用コントローラ18が接続され、装置制御用コントロー
ラ18には製造装置19が接続されている。装置管理用
コンピュータ17及び装置制御用コントローラ18は、
前記プロセスフロー情報に従って製造装置19を制御し
処理を実行する。搬送機器用コントローラ20には搬送
機器21が接続されている。この搬送機器用コントロー
ラ20は前記プロセスフロー情報に従って搬送機器21
を制御し製品を搬送する。複数のワークステーション2
2i、22j〜22nはホストコンピュータ14の入出
力用の端末装置として機能する。これらワークステーシ
ョン22i、22j〜22nは前記変更用コンピュータ
11j〜11nの端末装置と使用することも可能であ
る。
ホストコンピュータ14、装置管理用コンピュータ1
7、搬送機器用コントローラ20及びワークステーショ
ン22i〜22nは例えばLAN等のネットワーク23
によって有機的に接続されている。
すものである。このフロー変更プログラムは記憶装置1
6に記憶されている複数の前記プロセスフロー情報を変
更するものであり、フロー選択部30、第1の転送取り
込み部31、フロー編集部32、フローチェック部3
3、フロー変換加工部34、第2の転送取り込み部3
5、フロー制御部36、ステータス制御部37によって
構成されている。前記フロー選択部30、フローチェッ
ク部33、編集部32、第1の転送取り込み部31は、
通常例えば変更用コンピュータ11j〜11nの記憶装
置13に記憶され、実行時にメインメモリ12bに呼び
出される。また、フロー変換加工部34、第2の転送取
り込み部35、制御部36、ステータス制御部37は、
例えばホストコンピュータ14の記憶装置16に記憶さ
れ、実行時にメインメモリ15bに呼び出される。
3を介して前記記憶装置16に記憶されている複数のプ
ロセスフロー情報の中から、編集対象としてのプロセス
フロー情報を選択する。すなわち、記憶装置16に記憶
された各プロセスフロー情報のファイル名は各変更用コ
ンピュータ11j〜11nに接続されたディスプレイ装
置10j〜10nの画面にリストアップして表示され
る。この状態において、例えば変更用コンピュータ11
jに接続された図示せぬマウスやカーソルを用いて、そ
のコンピュータ11jのディスプレイ装置10jに表示
された複数のファイル名の中から所要のファイル名を指
示する。すると、フロー選択部30は指示されたファイ
ル名を前記第1の転送取り込み部31に送る。
選択部30によって選択されたファイル名に対応するプ
ロセスフロー情報をネットワーク23を介して前記記憶
装置16から読み出し、ファイル名を指示した変更用コ
ンピュータのメインメモリに格納する機能と、後述する
編集されたプロセスフロー情報をネットワーク23、ホ
ストコンピュータ14を介して前記記憶装置16に転送
する機能とを有している。
セスフロー情報に含まれる工程の変更、工程中のパラメ
ータ(処理条件)、工程の位置、組み合わせ等を変更、
削除、追加する機能を有している。このフロー編集部3
2は通常のスクリーンエディタ等を用いることも可能で
ある。
編集部32によって変更されたプロセスフロー情報が正
しいか否かをチェックする。すなわち、フローチェック
部33は、例えばプロセスフロー情報を記述するコード
や言語のスペルチェック、フローの組み合わせ、及び工
程の条件が許容範囲以内か否か等をチェックする。
ピュータ14で管理されているプロセスフロー情報が前
記フロー編集部32で使用する形式とが異なる場合、ホ
ストコンピュータ14に格納されているプロセスフロー
情報の形式をフロー編集部32で使用する形式に変換す
る。ホストコンピュータ14で管理されているプロセス
フロー情報がフロー編集部32で使用する形式と一致し
ている場合、フロー変換加工部34は不要である。
1の転送取り込み部33によって変更用コンピュータ1
1j〜11nから転送されたプロセスフロー情報をホス
トコンピュータ14の記憶装置16に書き込む機能と、
前記フロー選択部30によって選択されたプロセスフロ
ー情報をネットワーク23を介して変更用コンピュータ
11j〜11nのメインメモリ12bに転送する機能と
を有している。
6に記憶されたプロセスフロー情報を管理、制御する機
能を有している。例えば前記フロー選択部30によって
選択されたプロセスフロー情報を記憶装置16から読み
出し、前記第2の転送取り込み部35に受け渡す機能
や、ステータス制御部37から供給される工程の進捗状
況に関する時間や各種のステータス情報をプロセスフロ
ー情報に基づいて記憶装置16に書き込む機能を有して
いる。
理用コンピュータ17、装置制御用コントローラ18や
搬送機器用コントローラ20から供給される時間や各種
ステータス情報を受け、前記フロー制御部36に供給す
る機能を有している。
変更用コンピュータ11j〜11nとホストコンピュー
タ14に分散して格納したが、各コンピュータで受け持
つ機能はこれに限定されるものではなく、コンピュータ
の性能に応じて変更すればよい。
フロー情報を変更する場合の動作について説明する。先
ず、編集対象となるプロセスフロー情報(PFD)を選
択する(ステップS1)。すなわち、前記フロー選択部
30は記憶装置16に記憶された各プロセスフロー情報
のファイル名を各変更用コンピュータ11j〜11nに
接続されたディスプレイ装置10j〜10nの画面にリ
ストアップして表示するとともに、編集対象としての工
程位置を指定可能とする。この状態において、例えば変
更用コンピュータ11jに接続された図示せぬマウスや
カーソルを用いて、その変更用コンピュータ11jのデ
ィスプレイ装置10jに表示された複数のファイル名の
中から所要のファイル名及び編集対象工程位置を指示す
る。すると、フロー選択部30は指示されたファイル名
及び編集対象工程位置を前記第1の転送取り込み部31
に送る。この第1の転送取り込み部31はファイル名及
び編集対象工程位置をネットワーク23を介してフロー
制御部36に転送する。
部30によって直接記憶装置16をアクセスする方法の
他、フロー制御部36によって記憶装置16をアクセス
して選択することもできる。
ファイル名に対応するプロセスフロー情報を記憶装置1
6から読み出すとともに、記憶装置16に記憶された編
集対象工程の直前に、例えばフラグ等の識別子を付し、
編集対象工程以降に工程が進捗しないようにする(ステ
ップS2)。
ストコンピュータ14の第2の転送取り込み部35によ
って、変更用コンピュータ11jの第1の転送取り込み
部31へ転送される(ステップS3)。このとき、前記
プロセスフロー情報が前記フロー編集部32で扱う情報
の形式と一致していない場合、前記フロー変換加工部3
4は、情報の形式を変更するとともに、不足情報を追加
して、プロセスフロー情報を第1の転送取り込み部31
へ転送する(ステップS4、S5)。
更用コンピュータ11jのメインメモリ12bに転送さ
れたプロセスフロー情報は、ディスプレイ装置10jに
表示されるとともに、必要に応じて記憶装置13に記憶
される(ステップS6)。
示されたプロセスフロー情報は、フロー編集部32を用
いて編集される(ステップS7)。すなわち、フロー編
集部32を用いてプロセスフロー情報に含まれる工程自
体の変更、工程のパラメータ(処理条件)、工程の位
置、組み合わせ等を変更、削除、追加する。
ローチェック部33によって内容が正しいか否かがチェ
ックされる(ステップS8)。すなわち、このフローチ
ェック部33は例えばプロセスフロー情報を記述するコ
ードや言語のスペルチェックや、追加した工程と後の工
程との組み合わせが正しいか否か、編集した変数の条件
がその工程で処理可能な許容範囲以内か否か等をチェッ
クする。どのような検査を行うか検査の内容に関して特
に制限はない。
報は、前記第1の転送取り込み部31によって、ホスト
コンピュータ14の記憶装置16に転送される(ステッ
プS9)。このとき、前記プロセスフロー情報を変更用
コンピュータ11jからホストコンピュータ14に転送
する際に、フロー変換加工部34によって情報の形式を
変えている場合、フロー変換加工部34によって元の形
式に変換した後、ホストコンピュータ14へ転送する
(ステップS10、S11)。
れたプロセスフロー情報をホストコンピュータ14に転
送されたプロセスフロー情報によって書き替える。この
書き替えが終了すると、フロー制御部36は前記フラグ
等の識別子を除去し、編集対象工程以降の進捗が可能な
状態に復帰する(ステップS12)。
を製品の進捗を管理するホストコンピュータ14から変
更用コンピュータ11j〜11nへ転送し、この変更用
コンピュータ11j〜11nで編集している。したがっ
て、プロセスフロー情報の変更処理を各所で分散して行
うことができるため、ホストコンピュータ14の負荷を
軽減できるとともに、変更処理を短時間で行うことがで
き、変更処理の作業効率を向上できる。
に、変更したプロセスフロー情報をチェックする機能を
設けているため、編集によるミスを軽減でき、ひいては
製造プロセスにおける異常を低減できる。さらに、チェ
ック機能を変更用コンピュータ11j〜11nに設定す
ることにより、ホストコンピュータ14の処理能力の低
下を防止できるとともに、研究者や技術者の労力を軽減
できる。
情報が変更用コンピュータ11j〜11nに転送される
と、フロー情報制御部36は記憶装置16に記憶された
編集対象工程の直前に、フラグ等の識別子を付してい
る。したがって、編集対象工程以降に工程が進捗しない
ため、セキュリティを確保でき工程に異常が発生するこ
とを防止できる。しかも、セキュリティを確実に保持で
きるため、ホストコンピュータ14に接続される変更用
コンピュータの数を多くすることができ、ユーザの利用
効率を向上できる。尚、この発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変えない範囲におい
て、種々変形実施可能なことは勿論である。
ば、プロセスフロー情報を容易且つ短時間に変更するこ
とが可能な半導体製造装置を提供できる。
構成図。
ンピュータ、13、16…記憶装置、23…ネットワー
ク、30…フロー選択部、31…第1の転送取り込み
部、32…フロー編集部、33…フローチェック部、3
4…フロー変換加工部、35…第2の転送取り込み部、
36…フロー制御部、37…ステータス制御部。
Claims (6)
- 【請求項1】 半導体装置の製造条件を示すプロセスフ
ロー情報を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて
半導体装置の製造管理を行う第1の演算手段と、 前記第1の演算手段にネットワークを介して接続され、
前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を読出し
て編集し、この編集したプロセスフロー情報を前記記憶
手段に記憶させる複数の第2の演算手段とを具備するこ
とを特徴とする半導体製造装置。 - 【請求項2】 前記第2の演算手段は、前記編集したプ
ロセスフロー情報の内容をチェックするチェック手段を
有することを特徴とする請求項1記載の半導体製造装
置。 - 【請求項3】 前記第2の演算手段は、前記プロセスフ
ロー情報を記憶するする記憶手段を有することを特徴と
する請求項1記載の半導体製造装置。 - 【請求項4】 前記第1の演算手段は、前記記憶手段か
らプロセスフロー情報が読出された場合、この読出され
たプロセスフロー情報の記憶位置に識別子を設定し、こ
の識別子以降に位置するプロセスフロー情報の実行を制
限する制御手段を有することを特徴とする請求項1記載
の半導体製造装置。 - 【請求項5】 前記第1の演算手段は、第1の演算手段
で扱うプロセスフロー情報の形式と第2の演算手段で扱
うプロセスフロー情報の形式が相違する場合、これらの
形式を互いに一致するように変更する変更手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置。 - 【請求項6】 半導体装置の製造条件を示すプロセスフ
ロー情報を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて
半導体装置の製造管理を行う第1の演算手段と、 前記第1の演算手段にネットワークを介して接続された
複数の第2の演算手段とを具備し、 前記各第2の演算手段は、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を選択す
る選択手段と、 前記選択手段によって選択されたプロセスフロー情報を
前記記憶手段から読出す読出し手段と、 前記読出し手段によって読出されたプロセスフロー情報
を編集する編集手段と、 前記編集手段によって編集さ
れたプロセスフロー情報の内容をチェックするチェック
手段と、 前記チェック手段によってチェックされたプロセスフロ
ー情報を前記第1の演算手段に転送する転送手段とを有
し、 前記第1の演算手段は、 前記読出し手段によって前記記憶手段からプロセスフロ
ー情報が読出された場合、この読出されたプロセスフロ
ー情報の記憶位置に識別子を設定し、この識別子以降に
位置するプロセスフロー情報の実行を制限する制御手段
と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を前記転
送手段によって転送されたプロセスフロー情報に書き替
える書き替え手段と、 前記第2の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形式と
前記第1の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形式が
相違する場合、これらの形式を一致させる変換手段とを
有することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07184495A JP3362993B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07184495A JP3362993B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08272404A true JPH08272404A (ja) | 1996-10-18 |
JP3362993B2 JP3362993B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=13472264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07184495A Expired - Fee Related JP3362993B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3362993B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63249328A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Mitsubishi Electric Corp | 物品の製造システム及び物品の製造方法 |
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-
1995
- 1995-03-29 JP JP07184495A patent/JP3362993B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP3362993B2 (ja) | 2003-01-07 |
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