JPH08272404A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明の目的は、プロセスフロー情報を容易
且つ短時間に変更することが可能な半導体製造装置を提
供する。 【構成】複数の変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎはネ
ットワーク２３を介してホストコンピュータ１４に接続
され、これら変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎはホス
トコンピュータ１４の記憶装置１６に記憶されたプロセ
スフロー情報を読出して編集し、この編集したプロセス
フロー情報を記憶装置１６に記憶する。したがって、分
散された変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎからプロセ
スフロー情報を変更することができ、変更処理を効率よ
く実施できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体製造装
置に係わり、特に、半導体装置を製造するために必要な
一連の製造仕様の情報（以下、プロセスフロー情報と称
す）を変更可能な半導体製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置を製造するには例えば熱酸化
工程、成膜工程、エッチング工程等、数百にも及ぶ多く
の工程を必要とし、プロセスフロー情報はこれら一連の
処理の流れを示す製造仕様の膨大な情報を含んでいる。
さらに、このプロセスフロー情報には製品の種類や、工
程の位置や順序に応じて、所定の処理条件が設定されて
いる。

【０００３】図４は、プロセスフロー情報の一例を示す
ものであり、例えば１２１に示す熱酸化工程では、「90
0 ℃で20分間酸化を行う」等の処理条件が設定されてい
る。製造装置はこの設定値に従って動作し、半導体装置
はこの情報に従って製造される。

【０００４】近年、半導体装置の生産はコンピュータシ
ステムによって管理されている。すなわち、前記プロセ
スフロー情報は、コンピュータシステムに記憶され、コ
ンピュータシステムはこのプロセスフロー情報に従って
製造装置を制御し、人間による情報入力を必要とするこ
となく製品の製造が可能とされている。

【０００５】プロセスフロー情報は、製品を製造する以
前に予め決定され、問題がなければこのプロセスフロー
情報に従って製品が製造される。しかし、例えばある成
膜工程において、予め設定していた値よりも形成された
膜が厚くなったり、薄くなった場合、次の工程の処理条
件を変更しなければならない。すなわち、次の工程がエ
ッチング工程である場合、エッチングに要する時間を長
くしたり、短くしたりしなければならない。この例以外
にも数百に及ぶ工程を処理する間には、様々な事象に応
じてプロセスフロー情報を変更する必要が発生する。

【０００６】図５は、従来の半導体生産を管理するコン
ピュータシステムを示すものである。このコンピュータ
システムは、ホストコンピュータ５１、このホストコン
ピュータ５１に接続された記憶装置５２、装置管理用コ
ンピュータ５４及び装置制御用コントローラ５５、この
装置制御用コントローラ５５に接続された製造装置５
８、搬送機器用コントローラ５６、この搬送機器用コン
トローラ５６に接続された搬送機器５９、複数の端末装
置５７、前記ホストコンピュータ５１と装置管理用コン
ピュータ５４、搬送機器用コントローラ５６、複数の端
末装置５７等を結ぶネットワーク５８によって構成され
ている。前記ホストコンピュータ５１は、ＣＰＵ５１ａ
とメインメモリ５１ｂを含み製品の進捗やシステムで使
用される情報を管理する。

【０００７】上記従来のシステムにおいて、プロセスフ
ロー情報は、記憶装置５２に記憶されており、この情報
に基づいて製造装置５８が制御される。製造装置５８が
システムフロー情報を取得する方法は、ホストコンピュ
ータ５１から記憶装置５２をアクセスして情報を取得す
る方法や、ホストコンピュータ５１がコンピュータ５２
へ情報をダウンロードする等の方法が考えられる。ま
た、プロセスフロー情報を記憶装置５２以外の図示せぬ
他のコンピュータに接続れたメモリカード等に分散して
記憶してもよい。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
プロセスフロー情報を変更する場合、ユーザとしての研
究者や技術者は端末装置５７からホストコンピュータ５
１をアクセスし、記憶装置５２に記憶されているプロセ
スフロー情報を直接変更しなければならなかった。この
ような方法の場合、多くの研究者や技術者が同時にホス
トコンピュータ５１をアクセスした場合、ホストコンピ
ュータ５１の処理速度が低下したり、セキュリティを確
保することが困難となる問題が発生する。また、変更し
たプロセスフロー情報をチェックするようなシステムを
ホストコンピュータ５１に付加した場合、そのシステム
によりチェックを行おうとすると、変更に要する時間が
一層増大し、プロセスフロー情報の変更に要する研究者
や技術者の労力が増大する可能性を有している。

【０００９】さらに、セキュリティの確保やシステムの
性能上の制限により、ホストコンピュータ５１に接続さ
れる端末装置の設置台数が少ないことがある。このよう
な場合、ユーザは端末装置５７が設置されている場所ま
で移動して変更処理をしなければならず、変更処理に手
間がかかるものであった。

【００１０】また、処理の自動化が行われていないライ
ンでは、コンピュータで管理されているプロセスフロー
情報を端末装置から確認するほかに、製品に付随する工
程表と称するプロセスフロー情報が紙等に印刷されてい
ることがある。このような場合、コンピュータで管理さ
れているプロセスフロー情報を変更するほかに、工程表
の情報も修正しなければならない。工程表は通常製品に
付随しているため、工程表を変更する場合、研究者や技
術者はラインまで行って工程表を修正しなければなら
ず、変更作業が繁雑なものであった。このように、従来
の半導体製造において、プロセスフロー情報を変更する
場合、多大な時間と労力を必要としていた。

【００１１】この発明は、上記課題を解決するものであ
り、その目的とするところは、プロセスフロー情報を容
易且つ短時間に変更することが可能な半導体製造装置を
提供しようとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明は、半導体装置
の製造条件を示すプロセスフロー情報を記憶する記憶手
段と、前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を
用いて半導体装置の製造管理を行う第１の演算手段と、
前記第１の演算手段にネットワークを介して接続され、
前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を読出し
て編集し、この編集したプロセスフロー情報を前記記憶
手段に記憶させる複数の第２の演算手段とを有してい
る。

【００１３】また、この発明は、半導体装置の製造条件
を示すプロセスフロー情報を記憶する記憶手段と、前記
記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて半導
体装置の製造管理を行う第１の演算手段と、前記第１の
演算手段にネットワークを介して接続された複数の第２
の演算手段とを具備し、前記各第２の演算手段は、前記
記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を選択する選
択手段と、前記選択手段によって選択されたプロセスフ
ロー情報を前記記憶手段から読出す読出し手段と、前記
読出し手段によって読出されたプロセスフロー情報を編
集する編集手段と、前記編集手段によって編集されたプ
ロセスフロー情報の内容をチェックするチェック手段
と、前記チェック手段によってチェックされたプロセス
フロー情報を前記第１の演算手段に転送する転送手段と
を有し、前記第１の演算手段は、前記読出し手段によっ
て前記記憶手段からプロセスフロー情報が読出された場
合、この読出されたプロセスフロー情報の記憶位置に識
別子を設定し、この識別子以降に位置するプロセスフロ
ー情報の実行を制限する制御手段と、前記記憶手段に記
憶されたプロセスフロー情報を前記転送手段によって転
送されたプロセスフロー情報に書き替える書き替え手段
と、前記第２の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形
式と前記第１の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形
式が相違する場合、これらの形式を一致させる変換手段
とを有している。

【００１４】

【作用】すなわち、この発明において、複数の第２の演
算手段はネットワークを介してホストコンピュータとし
ての第１の演算手段に接続され、これら第２の演算手段
は第１の演算手段の記憶手段に記憶されたプロセスフロ
ー情報を読出して編集し、この編集したプロセスフロー
情報を記憶手段に記憶する。したがって、分散された第
２の演算手段においてプロセスフロー情報を変更するこ
とができるため、第１の演算手段の能力の低下を防止で
き、変更処理を効率よく実施できる。

【００１５】さらに、チェック手段は編集手段によって
編集したプロセスフロー情報の内容が正しいか否かチェ
ックするため、プロセスフロー情報の編集を確実に行う
ことができる。しかも、編集手段及びチェック手段は第
２の演算手段で実行されるため、第１の演算手段の負荷
を軽減できる。

【００１６】さらに、第１の演算手段の制御手段は、記
憶手段からプロセスフロー情報が読出された場合、この
読出されたプロセスフロー情報の記憶位置に識別子を設
定し、この識別子以降に位置するプロセスフロー情報の
実行を制限するため、半導体装置の製造に悪影響を与え
ることがない。

【００１７】

【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
して説明する。図１は、この発明の一実施例を示すもの
である。このコンピュータシステムにおいて、プロセス
フロー情報を変更するための複数の変更用コンピュータ
１１ｊ、１１ｋ〜１１ｎはそれぞれＣＰＵ１２ａとメイ
ンメモリ１２ｂを含んでいる。これら変更用コンピュー
タ１１ｊ〜１１ｎには記憶装置１３が接続されている。
この記憶装置１３には後述するフロー変更プログラム等
が記憶されている。前記各変更用コンピュータ１１ｊ〜
１１ｎは記憶装置１３に記憶されているフロー変更プロ
グラムに応じてプロセスフロー情報を変更する機能を有
している。

【００１８】ホストコンピュータ１４はＣＰＵ１５ａと
メインメモリ１５ｂを含んでいる。このホストコンピュ
ータ１４には記憶装置１６が接続されている。この記憶
装置１６にはプロセスフロー情報、製品の進捗状況を管
理するプログラム、前記フロー変更プログラムやシステ
ムで使用される情報が記憶されている。前記ホストコン
ピュータ１４はこの記憶装置１６に記憶されている情報
に従って、製品の進捗状況やシステム全体の動作を管理
する。

【００１９】装置管理用コンピュータ１７には装置制御
用コントローラ１８が接続され、装置制御用コントロー
ラ１８には製造装置１９が接続されている。装置管理用
コンピュータ１７及び装置制御用コントローラ１８は、
前記プロセスフロー情報に従って製造装置１９を制御し
処理を実行する。搬送機器用コントローラ２０には搬送
機器２１が接続されている。この搬送機器用コントロー
ラ２０は前記プロセスフロー情報に従って搬送機器２１
を制御し製品を搬送する。複数のワークステーション２
２ｉ、２２ｊ〜２２ｎはホストコンピュータ１４の入出
力用の端末装置として機能する。これらワークステーシ
ョン２２ｉ、２２ｊ〜２２ｎは前記変更用コンピュータ
１１ｊ〜１１ｎの端末装置と使用することも可能であ
る。

【００２０】前記変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎ、
ホストコンピュータ１４、装置管理用コンピュータ１
７、搬送機器用コントローラ２０及びワークステーショ
ン２２ｉ〜２２ｎは例えばＬＡＮ等のネットワーク２３
によって有機的に接続されている。

【００２１】図２は、フロー変更プログラムの構成を示
すものである。このフロー変更プログラムは記憶装置１
６に記憶されている複数の前記プロセスフロー情報を変
更するものであり、フロー選択部３０、第１の転送取り
込み部３１、フロー編集部３２、フローチェック部３
３、フロー変換加工部３４、第２の転送取り込み部３
５、フロー制御部３６、ステータス制御部３７によって
構成されている。前記フロー選択部３０、フローチェッ
ク部３３、編集部３２、第１の転送取り込み部３１は、
通常例えば変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎの記憶装
置１３に記憶され、実行時にメインメモリ１２ｂに呼び
出される。また、フロー変換加工部３４、第２の転送取
り込み部３５、制御部３６、ステータス制御部３７は、
例えばホストコンピュータ１４の記憶装置１６に記憶さ
れ、実行時にメインメモリ１５ｂに呼び出される。

【００２２】前記フロー選択部３０は、ネットワーク２
３を介して前記記憶装置１６に記憶されている複数のプ
ロセスフロー情報の中から、編集対象としてのプロセス
フロー情報を選択する。すなわち、記憶装置１６に記憶
された各プロセスフロー情報のファイル名は各変更用コ
ンピュータ１１ｊ〜１１ｎに接続されたディスプレイ装
置１０ｊ〜１０ｎの画面にリストアップして表示され
る。この状態において、例えば変更用コンピュータ１１
ｊに接続された図示せぬマウスやカーソルを用いて、そ
のコンピュータ１１ｊのディスプレイ装置１０ｊに表示
された複数のファイル名の中から所要のファイル名を指
示する。すると、フロー選択部３０は指示されたファイ
ル名を前記第１の転送取り込み部３１に送る。

【００２３】前記第１の転送取り込み部３１は、フロー
選択部３０によって選択されたファイル名に対応するプ
ロセスフロー情報をネットワーク２３を介して前記記憶
装置１６から読み出し、ファイル名を指示した変更用コ
ンピュータのメインメモリに格納する機能と、後述する
編集されたプロセスフロー情報をネットワーク２３、ホ
ストコンピュータ１４を介して前記記憶装置１６に転送
する機能とを有している。

【００２４】前記フロー編集部３２は、選択されたプロ
セスフロー情報に含まれる工程の変更、工程中のパラメ
ータ（処理条件）、工程の位置、組み合わせ等を変更、
削除、追加する機能を有している。このフロー編集部３
２は通常のスクリーンエディタ等を用いることも可能で
ある。

【００２５】前記フローチェック部３３は、前記フロー
編集部３２によって変更されたプロセスフロー情報が正
しいか否かをチェックする。すなわち、フローチェック
部３３は、例えばプロセスフロー情報を記述するコード
や言語のスペルチェック、フローの組み合わせ、及び工
程の条件が許容範囲以内か否か等をチェックする。

【００２６】前記フロー変換加工部３４は、ホストコン
ピュータ１４で管理されているプロセスフロー情報が前
記フロー編集部３２で使用する形式とが異なる場合、ホ
ストコンピュータ１４に格納されているプロセスフロー
情報の形式をフロー編集部３２で使用する形式に変換す
る。ホストコンピュータ１４で管理されているプロセス
フロー情報がフロー編集部３２で使用する形式と一致し
ている場合、フロー変換加工部３４は不要である。

【００２７】前記第２の転送取り込み部３５は、前記第
１の転送取り込み部３３によって変更用コンピュータ１
１ｊ〜１１ｎから転送されたプロセスフロー情報をホス
トコンピュータ１４の記憶装置１６に書き込む機能と、
前記フロー選択部３０によって選択されたプロセスフロ
ー情報をネットワーク２３を介して変更用コンピュータ
１１ｊ〜１１ｎのメインメモリ１２ｂに転送する機能と
を有している。

【００２８】前記フロー制御部３６は、前記記憶装置１
６に記憶されたプロセスフロー情報を管理、制御する機
能を有している。例えば前記フロー選択部３０によって
選択されたプロセスフロー情報を記憶装置１６から読み
出し、前記第２の転送取り込み部３５に受け渡す機能
や、ステータス制御部３７から供給される工程の進捗状
況に関する時間や各種のステータス情報をプロセスフロ
ー情報に基づいて記憶装置１６に書き込む機能を有して
いる。

【００２９】前記ステータス制御部３７は、前記装置管
理用コンピュータ１７、装置制御用コントローラ１８や
搬送機器用コントローラ２０から供給される時間や各種
ステータス情報を受け、前記フロー制御部３６に供給す
る機能を有している。

【００３０】上記フロー変更プログラムの複数の機能を
変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎとホストコンピュー
タ１４に分散して格納したが、各コンピュータで受け持
つ機能はこれに限定されるものではなく、コンピュータ
の性能に応じて変更すればよい。

【００３１】上記構成において、図３を用いてプロセス
フロー情報を変更する場合の動作について説明する。先
ず、編集対象となるプロセスフロー情報（ＰＦＤ）を選
択する（ステップＳ１）。すなわち、前記フロー選択部
３０は記憶装置１６に記憶された各プロセスフロー情報
のファイル名を各変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎに
接続されたディスプレイ装置１０ｊ〜１０ｎの画面にリ
ストアップして表示するとともに、編集対象としての工
程位置を指定可能とする。この状態において、例えば変
更用コンピュータ１１ｊに接続された図示せぬマウスや
カーソルを用いて、その変更用コンピュータ１１ｊのデ
ィスプレイ装置１０ｊに表示された複数のファイル名の
中から所要のファイル名及び編集対象工程位置を指示す
る。すると、フロー選択部３０は指示されたファイル名
及び編集対象工程位置を前記第１の転送取り込み部３１
に送る。この第１の転送取り込み部３１はファイル名及
び編集対象工程位置をネットワーク２３を介してフロー
制御部３６に転送する。

【００３２】プロセスフロー情報の選択は、フロー選択
部３０によって直接記憶装置１６をアクセスする方法の
他、フロー制御部３６によって記憶装置１６をアクセス
して選択することもできる。

【００３３】次に、フロー制御部３６は前記選択された
ファイル名に対応するプロセスフロー情報を記憶装置１
６から読み出すとともに、記憶装置１６に記憶された編
集対象工程の直前に、例えばフラグ等の識別子を付し、
編集対象工程以降に工程が進捗しないようにする（ステ
ップＳ２）。

【００３４】この読み出されたプロセスフロー情報はホ
ストコンピュータ１４の第２の転送取り込み部３５によ
って、変更用コンピュータ１１ｊの第１の転送取り込み
部３１へ転送される（ステップＳ３）。このとき、前記
プロセスフロー情報が前記フロー編集部３２で扱う情報
の形式と一致していない場合、前記フロー変換加工部３
４は、情報の形式を変更するとともに、不足情報を追加
して、プロセスフロー情報を第１の転送取り込み部３１
へ転送する（ステップＳ４、Ｓ５）。

【００３５】上記第１の転送取り込み部３１を介して変
更用コンピュータ１１ｊのメインメモリ１２ｂに転送さ
れたプロセスフロー情報は、ディスプレイ装置１０ｊに
表示されるとともに、必要に応じて記憶装置１３に記憶
される（ステップＳ６）。

【００３６】上記のようにディスプレイ装置１０ｊに表
示されたプロセスフロー情報は、フロー編集部３２を用
いて編集される（ステップＳ７）。すなわち、フロー編
集部３２を用いてプロセスフロー情報に含まれる工程自
体の変更、工程のパラメータ（処理条件）、工程の位
置、組み合わせ等を変更、削除、追加する。

【００３７】上記変更されたプロセスフロー情報は、フ
ローチェック部３３によって内容が正しいか否かがチェ
ックされる（ステップＳ８）。すなわち、このフローチ
ェック部３３は例えばプロセスフロー情報を記述するコ
ードや言語のスペルチェックや、追加した工程と後の工
程との組み合わせが正しいか否か、編集した変数の条件
がその工程で処理可能な許容範囲以内か否か等をチェッ
クする。どのような検査を行うか検査の内容に関して特
に制限はない。

【００３８】上記チェックが終了したプロセスフロー情
報は、前記第１の転送取り込み部３１によって、ホスト
コンピュータ１４の記憶装置１６に転送される（ステッ
プＳ９）。このとき、前記プロセスフロー情報を変更用
コンピュータ１１ｊからホストコンピュータ１４に転送
する際に、フロー変換加工部３４によって情報の形式を
変えている場合、フロー変換加工部３４によって元の形
式に変換した後、ホストコンピュータ１４へ転送する
（ステップＳ１０、Ｓ１１）。

【００３９】フロー制御部３６は記憶装置１６に記憶さ
れたプロセスフロー情報をホストコンピュータ１４に転
送されたプロセスフロー情報によって書き替える。この
書き替えが終了すると、フロー制御部３６は前記フラグ
等の識別子を除去し、編集対象工程以降の進捗が可能な
状態に復帰する（ステップＳ１２）。

【００４０】上記実施例によれば、プロセスフロー情報
を製品の進捗を管理するホストコンピュータ１４から変
更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎへ転送し、この変更用
コンピュータ１１ｊ〜１１ｎで編集している。したがっ
て、プロセスフロー情報の変更処理を各所で分散して行
うことができるため、ホストコンピュータ１４の負荷を
軽減できるとともに、変更処理を短時間で行うことがで
き、変更処理の作業効率を向上できる。

【００４１】また、変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎ
に、変更したプロセスフロー情報をチェックする機能を
設けているため、編集によるミスを軽減でき、ひいては
製造プロセスにおける異常を低減できる。さらに、チェ
ック機能を変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎに設定す
ることにより、ホストコンピュータ１４の処理能力の低
下を防止できるとともに、研究者や技術者の労力を軽減
できる。

【００４２】さらに、編集対象としてのプロセスフロー
情報が変更用コンピュータ１１ｊ〜１１ｎに転送される
と、フロー情報制御部３６は記憶装置１６に記憶された
編集対象工程の直前に、フラグ等の識別子を付してい
る。したがって、編集対象工程以降に工程が進捗しない
ため、セキュリティを確保でき工程に異常が発生するこ
とを防止できる。しかも、セキュリティを確実に保持で
きるため、ホストコンピュータ１４に接続される変更用
コンピュータの数を多くすることができ、ユーザの利用
効率を向上できる。尚、この発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変えない範囲におい
て、種々変形実施可能なことは勿論である。

【００４３】

【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、プロセスフロー情報を容易且つ短時間に変更するこ
とが可能な半導体製造装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す構成図。

【図２】この発明のフロー変更プログラムの構成を示す
構成図。

【図３】図１、図２の動作を説明するフローチャート。

【図４】プロセスフロー情報の一例を示す図。

【図５】従来の半導体製造装置の一例を示す構成図。

【符号の説明】

１１ｊ〜１１ｎ…変更用コンピュータ、１４…ホストコ
ンピュータ、１３、１６…記憶装置、２３…ネットワー
ク、３０…フロー選択部、３１…第１の転送取り込み
部、３２…フロー編集部、３３…フローチェック部、３
４…フロー変換加工部、３５…第２の転送取り込み部、
３６…フロー制御部、３７…ステータス制御部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置の製造条件を示すプロセスフ
   ロー情報を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて
   半導体装置の製造管理を行う第１の演算手段と、 前記第１の演算手段にネットワークを介して接続され、
   前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を読出し
   て編集し、この編集したプロセスフロー情報を前記記憶
   手段に記憶させる複数の第２の演算手段とを具備するこ
   とを特徴とする半導体製造装置。
2. 【請求項２】 前記第２の演算手段は、前記編集したプ
   ロセスフロー情報の内容をチェックするチェック手段を
   有することを特徴とする請求項１記載の半導体製造装
   置。
3. 【請求項３】 前記第２の演算手段は、前記プロセスフ
   ロー情報を記憶するする記憶手段を有することを特徴と
   する請求項１記載の半導体製造装置。
4. 【請求項４】 前記第１の演算手段は、前記記憶手段か
   らプロセスフロー情報が読出された場合、この読出され
   たプロセスフロー情報の記憶位置に識別子を設定し、こ
   の識別子以降に位置するプロセスフロー情報の実行を制
   限する制御手段を有することを特徴とする請求項１記載
   の半導体製造装置。
5. 【請求項５】 前記第１の演算手段は、第１の演算手段
   で扱うプロセスフロー情報の形式と第２の演算手段で扱
   うプロセスフロー情報の形式が相違する場合、これらの
   形式を互いに一致するように変更する変更手段を有する
   ことを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置。
6. 【請求項６】 半導体装置の製造条件を示すプロセスフ
   ロー情報を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を用いて
   半導体装置の製造管理を行う第１の演算手段と、 前記第１の演算手段にネットワークを介して接続された
   複数の第２の演算手段とを具備し、 前記各第２の演算手段は、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を選択す
   る選択手段と、 前記選択手段によって選択されたプロセスフロー情報を
   前記記憶手段から読出す読出し手段と、 前記読出し手段によって読出されたプロセスフロー情報
   を編集する編集手段と、 前記編集手段によって編集さ
   れたプロセスフロー情報の内容をチェックするチェック
   手段と、 前記チェック手段によってチェックされたプロセスフロ
   ー情報を前記第１の演算手段に転送する転送手段とを有
   し、 前記第１の演算手段は、 前記読出し手段によって前記記憶手段からプロセスフロ
   ー情報が読出された場合、この読出されたプロセスフロ
   ー情報の記憶位置に識別子を設定し、この識別子以降に
   位置するプロセスフロー情報の実行を制限する制御手段
   と、 前記記憶手段に記憶されたプロセスフロー情報を前記転
   送手段によって転送されたプロセスフロー情報に書き替
   える書き替え手段と、 前記第２の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形式と
   前記第１の演算手段で扱うプロセスフロー情報の形式が
   相違する場合、これらの形式を一致させる変換手段とを
   有することを特徴とする半導体製造装置。