JPH0691532A - 研削盤用の冷却装置 - Google Patents

研削盤用の冷却装置

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JPH0691532A
JPH0691532A JP4234946A JP23494692A JPH0691532A JP H0691532 A JPH0691532 A JP H0691532A JP 4234946 A JP4234946 A JP 4234946A JP 23494692 A JP23494692 A JP 23494692A JP H0691532 A JPH0691532 A JP H0691532A
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JP
Japan
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nozzle
coolant
refrigerant
support
workpiece
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Withdrawn
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JP4234946A
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English (en)
Inventor
Werner Peschik
ヴェルナー・ペシック
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BUROOMU MAS GmbH
Blohm Maschinenbau GmbH
Original Assignee
BUROOMU MAS GmbH
Blohm Maschinenbau GmbH
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Publication date
Application filed by BUROOMU MAS GmbH, Blohm Maschinenbau GmbH filed Critical BUROOMU MAS GmbH
Publication of JPH0691532A publication Critical patent/JPH0691532A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/02Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/10Arrangements for cooling or lubricating tools or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/10Arrangements for cooling or lubricating tools or work
    • B23Q11/1076Arrangements for cooling or lubricating tools or work with a cutting liquid nozzle specially adaptable to different kinds of machining operations

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 接触個所に向けることの出来る少なくとも1
つの冷媒ノズルと、冷媒ノズルに冷媒を供給する為の手
段とを有する研削盤に、材料9及び研磨盤7の接触個所
23に冷媒を供給するための装置を扱っている。この装
置は幾つかの相違する冷媒ノズル乃至ノズルヘッド17
を有する直線的及び回転可能に設けられた少なくとも1
つのノズル支持体16,16aを備える。ノズル体を回
転することによりそれぞれ選択されたノズル又はノズル
ヘッド17のノズル装置を接触個所に向けることが出来
る。ノズル支持体16,16aは別のノズルプログラム
を組む為に交換可能である。 【効果】 この装置には、材料を輪郭研削する場合の冷
媒供給が高い費用をかけずに種々の研磨盤輪郭に合わせ
られるという長所がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、接触個所へ向けること
ができる少なくとも1つの冷媒ノズルと、冷媒ノズルへ
冷媒を供給する為の手段とを有する研削盤で、研磨盤と
工作物との接触個所へ冷媒を供給するための装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】最近の研削盤は切削能力が高いために、
局所的な過熱により生ずることのある品質低下を防ぐた
めに、加工の間に工作物を確実に冷却することが非常に
重要である。従って全体の加工の間、冷却が最も好まし
い形で確実に維持されることが望ましい。適当に輪郭付
けされた幅の広い研磨盤でもって、より幅の広い工作物
輪郭を研削する場合、研磨盤輪郭に適合したスリットノ
ズル又はノズル装置が適用され、これら装置は工作物輪
郭乃至は研磨盤輪郭に対応して形成された冷媒の流れを
研磨盤及び工作物の接触個所の方に向ける。研磨盤がそ
こで変えられ、又は研磨盤の別の輪郭部分が使用される
と、この冷媒ノズルは最早工作物の最適な熱排出を保証
しない。
【0003】従ってそこで冷媒ノズルを適合したノズル
形態の別の冷媒ノズルに交換する必要があり、それが組
み立て費用を高くしたり、付加的に機械を停止する時間
が必要になることとなる。同一工作物で複数の異なった
輪郭を研削するために、機械内に違って輪郭付けられた
研磨盤を有する1又は複数の研磨盤セットが存在し、研
磨盤交換が従って不必要であり、又は工作物での2つの
作業工程の間に研磨盤交換がマニピュレーターを用いて
自動的に行われる時には、特に上記のことは障害となる
が重要なことである。
【0004】ノズルから発せられた冷媒の流れが、研磨
盤及び工作物の接触個所の位置を変える場合にも常に接
触個所へと向けられたままとなる様に、研削過程の間冷
媒ノズルを案内し、冷媒の流れが従って偏向されること
は知られている。このことは、研磨盤の直径変化を補償
するために、冷媒ノズルが検知した振り向け値に関係し
て偏向される先端のない丸形研削盤のためのものがドイ
ツ連邦共和国特許公開第 39 30 247号公報に示されてい
る。ドイツ連邦共和国特許公開第 34 22 213号公報から
研磨盤輪郭にほぼ適合した冷媒ノズルを用いた冷媒供給
導管が知られており、これらノズルは直線的に走行可能
に旋回可能な保護カバーに配設されている。従ってノズ
ルから発せられた冷媒の流れを研磨盤及び工作物の接触
個所の移動に振り向けることは成る程可能ではあるが、
研磨盤交換の際に研磨盤輪郭を変えることはしかしなが
ら考慮されていない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、初めに述べ
た種の装置を更に改良することを課題とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によれ
ば、可動に設けたノズル支持体には複数の異なった冷媒
ノズル及び/又はノズル装置が設けられ、ノズル支持体
の位置を変えることによって選択されたノズル又はノズ
ル装置を研磨盤及び工作物の接触個所へと向けることが
出来るようにして解決される。本発明によるノズル支持
体で研削機械には複数の冷媒ノズルがすぐ使用出来るよ
うに準備され、その形状及び/又は配置は種々の研磨盤
輪郭に合わせられている。別の位置にノズル支持体を簡
単に動かすことによって選択されたノズル又はノズル装
置を接触個所へ向けることが出来る。
【0007】このことはノズル交換のための組み立て費
用を倹約し、機械の停止時間を短縮し、その生産性を高
める。このことは特に、研磨盤交換に必要な装備変え時
間が短いか又は全く無い時に重要である。
【0008】固有の発明性のある重要さを有する本発明
の発展形態並びにこの発明の特に有利で目的に適った形
態のものが請求項2以下に含まれている。請求項2及び
3はノズル支持体を貫通するノズルに対する特に有利な
冷媒供給導管に関し、これら導管は研磨盤及び工作物の
接触個所に向けられた選択された冷媒ノズル乃至はノズ
ル装置だけが冷媒供給導管と接続されていることを確保
するものである。請求項4による違ったノズルヘッド用
の収容部を有するノズル支持体の設備は作業工程におい
て冷媒ノズルの全セットを交換出来ることである。同じ
目的のために請求項5の特徴事項が役立ち、従ってノズ
ル支持体は全体として交換可能に取り付けられており、
マニピュレーターを用いて交換することができ、場合に
よっては請求項6により1つ乃至は複数の研磨盤と一緒
に交換することが出来る。
【0009】固定部にある同一の工作物で複数の相違す
る輪郭、類似輪郭をしばしば加工しうる。請求項4から
6の手段で本発明は、全体的の類似輪郭それぞれの為の
冷媒ノズルを研削機械に設置し、新しい類似輪郭に交換
する場合に全体的に交換することを可能にする。そうし
て各研磨盤を交換する際には高価なノズル交換を必要と
することなく、種々の工作物輪郭も合理的方法で最適な
工作物冷却で加工することが出来る。
【0010】別の選択された新規なノズルを研磨盤及び
工作物の接触個所へ向ける位置にノズル支持体を動かす
ことは、手で機械へ僅かに係合させることにより行うこ
とが出来る。ノズル支持体の新規な調節はしかしながら
また請求項7により特に有利な方法で、必要な場合に手
動で又は制御装置を介して駆動することのできる駆動手
段で行うことが出来る。
【0011】請求項8から12はノズル支持体の特に有
利な形状及び配置を含んでいる。その際その形状は回転
体としてより小さな構造の長所を有し、そのことは回転
体を機械に収めること及び特に研削ヘッドに収めること
を簡単にする。
【0012】請求項13は、接触個所の位置を変えた場
合に冷媒の流れを制御されて振り向けることの出来る、
ノズル体の有利な駆動の特徴事項を含んでいる。冷媒の
流れをなぞるためのノズル支持体の運動の制御は、プロ
グラミングされたNC−制御を用いて行うことが出来
る。請求項14及び15の特徴事項は冷媒の熱を排出す
る効果を最適にし、請求項16によるノズル支持体の形
状は、非常に有利な方法で、研磨盤軸に対して半径方向
に反対の接触個所に冷媒の流れを向けることを可能と
し、その結果最適な熱の排出を維持しつつ研磨盤の反対
側で工作物を加工することが出来ることになる。
【0013】本発明は、研削盤に同時に、種々の形状乃
至は配置の複数の選択的に使用準備された冷媒ノズルが
設置されているという長所を生ずる。このことは機械を
使える可能性を高める。というのは研磨盤交換の際にノ
ズル交換のために時間のかかる組み立て作業がいらなく
なるからである。従って工作物冷却のために常に最適な
冷媒の流れが使用出来ることを保証するものである。
【0014】ノズル支持体乃至はノズル支持体の所のノ
ズルヘッドの予定した交換によって、工作物の全て又は
少なくとも複数の輪郭を、冷媒ノズルの交換のためより
大きな手動係合をせずに加工することが非常に有利に可
能となる。その際本発明による装置はノズル交換を自動
化するためのあらゆる前提条件及び自動的な研磨盤交換
の過程でのノズル交換の一体化を示すものである。研削
プロセスの間、接触個所を移動する場合に冷媒ノズルか
ら発した冷媒の流れを予定した通り振り向けることは、
全体の研削過程の間の確実で有効な熱の排出を維持す
る。
【0015】
【実施例】次に図面に基づいて本発明の実施例を詳細に
説明することにする:図1は正面図で、工作物保持体2
を支持する工作物台3と、研磨盤7を有する研削スピン
ドル6を支持する垂直に走行可能な研削ヘッド8とを有
する研削盤1の作業領域を示すものである。工作物保持
体2には工作物9が止められている。この工作物では図
示の実施例ではその脚を加工すべきタービン羽根を取り
扱っている。工作物は回転テーブル11上に固定されて
おり、そのテーブルは少なくとも水平の軸A及び垂直の
軸Bの周りに旋回可能である。それにより研磨盤7での
工作物9において空間的に湾曲した輪郭が加工される。
工作物の保持及び工作物の加工はそれ自体本発明の対象
ではないので、ここでは詳細に説明する必要はない。
【0016】研削ヘッド8には研削スピンドル6の両側
で直線ガイド12にスライダ13及び13aが垂直に可
動に案内されている。スライダを動かすためにスライダ
駆動装置14が設けられている。図示の実施例でスライ
ダ13及び13aは駆動装置14を用いて互いに別個に
垂直に走行可能である。
【0017】各スライダ13及び13aは5つの回転ヘ
ッド17乃至は17aを有する回転可能なノズル支持体
16乃至は16aを有している。ノズル支持体16及び
16aは回転体18乃至は18aとして形成されてお
り、軸19の周りに駆動装置21を用いて回転可能とな
っている。それぞれ選択されたノズルヘッド17b乃至
は17cは研磨盤7及び工作物9の接触個所23の方へ
向けられており、冷媒の流れ22を接触個所の方へ発し
ている。両方のノズル支持体16及び16aは鏡像的に
同じに構成されており、従って以下では一方のノズル支
持体16だけを詳細に説明しさえすれば良い。勿論この
説明は一方のノズル支持体にも又は他方のノズル支持体
にも当て嵌まる。
【0018】図2は図1の線B−Bに沿ったノズル支持
体16の概略断面図を示す。同一部分には図1と同一参
照番号が付されている。ノズル支持体16を形成し、そ
の周辺にノズルヘッド17を有する回転体18は、スラ
イダ13にしっかりと固定された中空軸24上に回転可
能に支承されている。回転駆動装置21によって駆動さ
れる歯付きベルト27が回転されるベルト車26が回転
体18としっかり結合されており、歯付きベルト27は
回転体18を駆動する。中空軸24の内部は冷媒供給導
管28を介して冷媒タンク29と、そして図示していな
い冷媒供給装置と接続されている。
【0019】図3及び図4は回転体18の構造及びノズ
ルヘッド17への冷媒供給導管を示す。図3は回転体1
8を通る横断面図であり、図4は図3の線D−Dに沿っ
た縦断面図である。
【0020】スライダ13に回転しないように取り付け
られた中空軸24は円筒形の外面31を備え、その外面
はシール面且つ滑動面として形成されている。中空軸上
には回転体18が回転可能に支承されており、この回転
体は外面31に適合した円筒形の内面32を備えてい
る。回転体18には図示の実施例では5つの収容部33
が設けられており、その中には5つのノズルヘッド17
が適用可能となっている。図3には収容部33に適用さ
れたノズルヘッド17bが示されている。
【0021】各収容部33は1又は複数の冷媒流出開口
34を有し、この流出開口はノズルヘッド17bに設け
られた冷媒ノズル36と対応する。それぞれ研磨盤及び
工作物の接触個所の方に向けられた冷媒ノズル36は、
冷媒流出開口34を介して回転体18にある1又は複数
の冷媒通路37を、円筒形の中空軸24の外壁にある1
又は複数の制御スリット38を介して中空軸の内側室3
9と接続しており、内側室は冷媒供給導管28を介して
冷媒タンク29と接続されている。
【0022】図3及び図4に示した実施例では中空軸2
4の壁には、軸平行に延びる制御スリット38が設けら
れており、このスリットは安定させるという理由からウ
ェブ41が中断されている。中空軸の内側室39はシー
ル42と、一緒に回転するカバー43とを用いて閉鎖さ
れている。ノズルヘッド17bは一点鎖線で示したネジ
44又は別の固定手段を用いて収容部33に取り付けら
れている。ノズルヘッド17を迅速に交換することを可
能にするために、この例では迅速締め付け手段を設ける
ことができ、従ってノズルヘッドを収容部に挿入し、そ
こで保持する。
【0023】本発明による装置の図示した実施例では制
御スリット38は中空軸24の下側で軸平行に延びてい
る。この制御スリットは、それが冷媒通路37及び冷媒
流出開口34を介して冷媒で冷媒ノズル36だけを供給
し、冷媒ノズルが研磨盤と工作物との接触個所の方に向
けられている様に配設されている。図3から分かる様
に、別の冷媒通路37は中空軸24の壁によって冷媒供
給しないよう遮断されている。中空軸の軸周りに回転体
18を回転することによって各任意の冷媒通路37は制
御スリット38と接続させることができ、その際従属す
る収容部33に適用されたノズルヘッド17は研磨盤と
工作物との接触個所の方へ向けられ、冷媒供給部に接続
される。
【0024】図5はノズルヘッド17の正面図を示す。
このノズルヘッドは2つのノズル装置46及び46aを
含み、これらノズル装置は2つの違った研磨盤輪郭に適
合している。個別ノズル36からの装置の代わりに適当
に形成されたスリットノズルを設けることも出来る。ノ
ズルヘッドに互いに並んだ2つのノズル装置の配置の仕
方には、各ノズル支持体が図面に示した実施例では10
の種々の研磨盤輪郭用の冷媒供給導管を確保しうるとい
う長所がある。
【0025】ノズル装置46乃至は46aへ冷媒を別個
に供給することを可能にするために、中空軸24の内側
室39のうち分離壁58により部分室59が分割されて
いる。そうするとノズル装置46aのノズルは制御スリ
ット38aにより、対応する冷媒通路37並びに冷媒流
出開口34aは冷媒で作用を受ける。それ相応にノズル
装置46のノズルは制御スリット38b、従属する冷媒
通路37及び冷媒流出開口34bを介して冷媒が供給さ
れる(図4参照)。
【0026】本発明の特に有利な実施例によれば、回転
駆動装置21とスライダ駆動装置14とは(図1及び図
2参照)NC−制御装置と接続されており、この制御装
置は研磨盤と工作物との接触個所を移動する場合に冷媒
ノズルから冷媒の流れを連続的に旋回する。NC−制御
装置47は入力ユニット48を介して必要なデータ及び
プログラムを供給し、記憶ユニット49に記憶させ、そ
のユニットに制御装置47が駆動の間に戻り係合する。
回転駆動装置21とスライダ駆動装置14とは制御装置
47によって、加工過程の間にノズルから発した冷媒の
流れ22が常に接触個所の方へ向けられたままとなって
いる様に制御される。これは図6及び図7で略図的に図
示されている。
【0027】図6は輪郭研磨盤7を示し、これで工作物
9の凹状の湾曲部を加工することができ、この工作物は
加工の間、矢印51の方向に動かされる。工作物9を加
工する間、スライダ13乃至13aを有するノズル支持
体16及び16aは矢印52の方向に直線的に動かさ
れ、その軸線の周りに(矢印53)動かされる。ノズル
支持体16及び16aのこの運動は駆動装置21と14
とで駆動され、制御装置47によって制御される。
【0028】ノズル支持体16及び16aが直線的に矢
印52の方向に動かないと、矢印51の方向に工作物9
を動かすと、工作物の縁部は研磨盤と工作物との接触個
所を冷媒ノズルの方へ時間毎に覆うことになろう。矢印
52の方向にノズル支持体16及び16aを動かすこと
及び矢印53の方向にそれを回転することは、加工の間
の工作物のあらゆる位置において冷媒の流れ22が旋回
され、その結果冷媒の流れは邪魔されず接触個所23に
達することになる。そうして加工の各相において発生し
た熱の確実な取り出しが保証される。
【0029】図6はそれぞれ4つのノズルヘッド17を
有するノズル支持体を示す。ノズル支持体におけるノズ
ルヘッドの数は要求に応じて変えることが出来る。研磨
盤7の向きを調節する為に調節工具54が設けられてい
る。調節過程による研磨盤の直径減少は同様にノズル支
持体16をずらすことによって矢印52の方向に補償す
ることが出来る。
【0030】図7の実施例では工作物9の一方の凸状に
湾曲した表面が加工され、一方この工作物は矢印51の
方向に旋回される。工作物表面を加工する間、この例で
ノズル支持体61及び61aはその直線的な位置を維持
することができる。というのは冷媒の流れ22は加工す
べき工作物形状のために常に研磨盤と工作物との接触個
所23への自由な通りが成されるからである。図7の例
ではノズル支持体61及び61aはそれぞれ2つのノズ
ルヘッド17及び17b乃至は17及び17cを有し、
これらノズルヘッドは同一方向に向けられている。ノズ
ルヘッドをこの様に配置する場合、冷媒の流れ22を研
磨盤7及び工作物9aから23aの研磨盤7の上側に位
置する接触個所に向けることも可能であり、その為にノ
ズル支持体61及び61aの最小の直線的な走行可能性
のみが必要である。そのことは、冷却装置の構造の大き
さにとって役に立つ。
【0031】既に上述した様に、ノズルヘッド17はノ
ズル支持体16の収容部23へ使用することができ、従
ってノズルヘッドの迅速で手数の掛からない交換が可能
となる。その為に冷却装置を迅速に且つ問題を起こさず
新しい加工すべき工作物輪郭に調節することが出来る。
次の作業過程の間で次に時間を消費するノズルの交換は
最早不必要となる。同じことは、ノズル支持体16乃至
は16aが全体として交換されることによって達成する
ことが出来る。この為にノズル支持体は保持フランジ5
6を装備することができ、それには把手57を有する交
換装置が係合するものである。このノズル支持体の交換
は同時に研磨盤交換で行うこともできる。こうして迅速
で問題なく外部的に予め準備の出来たノズル支持体を適
用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この図は研削盤の本発明による装置を含んだ部
分の正面図を示す。
【図2】図1における線B−Bに沿った本発明による装
置の断面図を示す。
【図3】本発明によるノズル支持体を通る半径方向の断
面図を示す。
【図4】図3の線D−Dに沿ったノズル支持体を通る縦
断面図を示す。
【図5】この図はノズルヘッドの正面図である。
【図6】駆動位置にある本発明による装置の概略図であ
る。
【図7】別の駆動位置にある本発明による装置の別の形
式の概略図を示す。
【符号の説明】
1 研削盤 2 工作物保持体 3 工作物台 4 機械柱体 6 研削スピンドル 7 研磨盤 8 研削ヘッド 9,9a 工作物 11 回転テーブル 12 直線ガイド 13,13a スライダ 14 スライダ駆動装置 16,16a ノズル支持体 17,17a ノズルヘッド 17b,17c 選択されたノズルヘッド 18,18a 回転体 19 軸 21 回転駆動装置 22 冷媒の流れ 23,23a 接触個所 24 中空軸 26 ベルト車 27 歯付きベルト 28 冷媒供給導管 29 冷媒タンク 31 外側面 32 内側面 33 収容部 34,a,b 冷媒流出開口 36 冷媒ノズル 37 冷媒通路 38,a,b 制御スリット 39 内側室(中空軸) 41 ウェブ 42 シール 43 カバー 44 固定ネジ 46,46a ノズル装置 47 制御装置 48 入力ユニット 49 記憶ユニット 51,52,53 矢印 54 調整工具 56 保持フランジ 57 把手 58 分割壁 59 部分内側室(中空軸) 61 ノズル支持体

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項01】 接触個所の方に向けることの出来る少
    なくとも1つの冷媒ノズルと、冷媒ノズルに冷媒を供給
    する為の手段とを有する研削盤で、研磨盤と工作物との
    接触個所に冷媒を供給するための装置において、可動に
    設けたノズル支持体(16,16a)には、幾つかの種
    々の冷媒ノズル(36)及び/又はノズル装置(46,
    46a)が設けられており、ノズル支持体の位置を変え
    ることによって研磨盤(7)及び工作物(9)の接触個
    所(23)の方に選択されたノズル又はノズル装置を向
    けることが出来ることを特徴とする装置。
  2. 【請求項02】 ノズル支持体(16,16a)が、ノ
    ズル(36)及び/又はノズル装置(46,46a)に
    冷媒を供給するための冷媒通路(37)を有しているこ
    とを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項03】 冷媒供給導管(28,39,59)
    に、研磨盤(7)と工作物(9)の接触個所(23)の
    方にそれぞれ向けられた冷媒ノズル(36)乃至はノズ
    ル装置(46,46a)を冷媒供給導管(28)と接続
    する為の制御手段(18,37,38)にして、接触個
    所の方に向いていないノズルへの冷媒供給を中断する為
    の制御手段(18,37,38)が従属していることを
    特徴とする請求項1又は請求項2に記載の装置。
  4. 【請求項04】 ノズル支持体(16,16a)が、ノ
    ズルヘッド(17)の為の複数の収容部(33)及びこ
    れら収容部に対する冷媒供給通路(37)を備え、ノズ
    ルヘッドには種々の冷媒ノズル(36)及び/又はノズ
    ル装置(46,46a)が装備されており、ノズルヘッ
    ドはノズル支持体の収容部に交換可能に適用され、冷媒
    通路(37)に接続されていることを特徴とする請求項
    1から請求項3のうちの1項に記載の装置。
  5. 【請求項05】 ノズル支持体(16,16a)が、取
    り外し可能な締め付け手段(43)を用いて研削盤に取
    り付けられており、把手及び保持手段を有するマニピュ
    レーターユニット(57)を用いて、ノズル支持体を取
    り外し乃至締め付け、保持及び取りのけ乃至は収容する
    の為に除去可能及び交換可能となっていることを特徴と
    する請求項1から請求項4のうちの1項に記載の装置。
  6. 【請求項06】 マニピュレーターユニットが、研磨盤
    (7)及びノズル支持体(16,16a)を交換し、同
    時に操作する為の把手及び保持手段(57)を有するこ
    とを特徴とする請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項07】 選択した冷媒ノズル(36)及び/又
    はノズル装置(46,46a)を、研磨盤(7)及び工
    作物(9)の接触個所(23)へ向ける為に、ノズル支
    持体の位置をそれ相応に変える駆動手段(14,21)
    が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項
    6のうちの1項に記載の装置。
  8. 【請求項08】 ノズル支持体(16,16a)が回転
    可能に支承された回転体(18)として形成されてお
    り、この回転体がその回動軸周りに複数の冷媒ノズル
    (36)、ノズル装置(46,46a)及び/又はノズ
    ルヘッド(17)を備え、ノズル体を回転することによ
    って選択的にそれぞれ接触個所(23)へノズル/ノズ
    ル装置を向けることが出来ることを特徴とする請求項1
    から請求項7のうちの1項に記載の装置。
  9. 【請求項09】 ノズル支持体(16,16a)が直線
    上に走行可能なスライダ(13,13a)上に回転可能
    に支承されていることを特徴とする請求項8に記載の装
    置。
  10. 【請求項10】 ノズル支持体が直線的に変動可能な本
    体として形成されており、その本体は少なくとも一側で
    相互に並んだ複数の冷媒ノズル、ノズル装置及び/又は
    ノズルヘッドを備えており、ノズル支持体を直線的に変
    動することによって選択的にそれぞれノズル装置が接触
    個所へ向けられることを特徴とする請求項1から請求項
    9のうちの1項に記載の装置。
  11. 【請求項11】 ノズル支持体が回転テーブル上で直線
    的に走行可能に案内されていることを特徴とする請求項
    10に記載の装置。
  12. 【請求項12】 ノズル支持体(16,16a)が研削
    ヘッド(8)に取り付けられていることを特徴とする請
    求項1から請求項11のうちの1項に記載の装置。
  13. 【請求項13】 回転駆動装置(21)及び直線駆動装
    置(14)がノズル支持体(16,16a)を動かすた
    めに設けられ、駆動装置が制御装置(47)と接続さ
    れ、その制御装置が、ノズル(36,46,46a)か
    ら発せられた冷媒の流れ(22)を接触個所へ振り向け
    る意図で研削過程の間、研磨盤(7)及び工作物(9)
    の接触個所(23)の位置を変える場合に駆動装置を制
    御するように形成されていることを特徴とする請求項1
    から請求項12のうちの1項に記載の装置。
  14. 【請求項14】 研磨盤(7)及び工作物(9)の接触
    個所(23)の両側に選択的に接触個所の方に向けられ
    る複数の冷媒ノズル(36)、ノズル装置46,46
    a)及び/又はノズルヘッド(17)を有するそれぞれ
    少なくとも1つのノズル支持体(16,16a)が設け
    られていることを特徴とする請求項1から請求項13の
    うちの1項に記載の装置。
  15. 【請求項15】 種々のノズル支持体(16,16a)
    乃至はノズルヘッド(17)の冷媒ノズル(36)の形
    状及び/又は配置が異なった研磨盤輪郭に適合している
    ことを特徴とする請求項1から請求項14のうちの1項
    に記載の装置。
  16. 【請求項16】 ノズル支持体(61,61a)が、半
    径方向に反対に向けられて、少なくとも2つの同一方向
    に向けられたノズル(36)乃至はノズルヘッド(1
    7,17b,17c)を備えており、これら同一方向に
    向けられたノズルヘッドのノズル装置が鏡像的に同じで
    あることを特徴とする請求項1から請求項15のうちの
    1項に記載の装置。
JP4234946A 1991-09-04 1992-09-02 研削盤用の冷却装置 Withdrawn JPH0691532A (ja)

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