JPH068405B2 - Pressure-sensitive adhesive sheet - Google Patents
Pressure-sensitive adhesive sheetInfo
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- JPH068405B2 JPH068405B2 JP18753686A JP18753686A JPH068405B2 JP H068405 B2 JPH068405 B2 JP H068405B2 JP 18753686 A JP18753686 A JP 18753686A JP 18753686 A JP18753686 A JP 18753686A JP H068405 B2 JPH068405 B2 JP H068405B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は感圧接着性シートに関し、詳しくは、紫外線照
射によつて接着力が著しく低減されると共に、糊移りし
ない感圧接着性シートに関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive sheet, and more particularly to a pressure-sensitive adhesive sheet which has a significantly reduced adhesive force due to ultraviolet irradiation and does not transfer glue.
従来の技術 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至つている。2. Description of the Related Art Generally, a pressure-sensitive adhesive sheet or pressure-sensitive adhesive sheet obtained by applying a pressure-sensitive adhesive on a base sheet is used for various purposes in general households and industries. Sheets have various and diverse required characteristics, and various functionalities have been required depending on applications.
例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウエハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なつてダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフイルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウエハーを載置し、ダ
イシングフイルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離
して取り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
イルムがシリコンウエハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフイルムからピツク
アツプするに際しては、ダイシングフイルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウエハーのダイシングに際して
は、ダイシングフイルムは１００〜５００ｇ／２５mm程
度又はこれ以上の接着力を有し、一方、ダイスのピツク
アツプに際しては、ダイシングフイルムは約２０〜５０
ｇ／２５mm程度又はこれ以下の接着力を有することが望
ましいといわれている。For example, when manufacturing an integrated circuit, a silicon wafer is cut into a predetermined size, that is, in order to obtain a dice by performing dicing, the silicon wafer is placed on a pressure-sensitive adhesive sheet called a so-called dicing film. After pressure-sensitive adhesive fixing on the dicing film and cutting, this is picked up from the dicing film, that is, peeled off and taken up. Therefore, in order to accurately dice the silicon wafer, the dicing film has a strong adhesive force to the silicon wafer during dicing,
On the other hand, when picking up the obtained dice from the dicing film, the dicing film needs to have a weak adhesive force. Although not limited thereto, for example, when dicing a silicon wafer, the dicing film has an adhesive force of about 100 to 500 g / 25 mm or more. On the other hand, when picking up the dice, the dicing film is about 20 mm thick. ~ 50
It is said that it is desirable to have an adhesive force of about g / 25 mm or less.
しかし、このように、披着面に適用後に、必要に応じ
て、その接着力を低減させ得る感圧接着性シートは、未
だ知られていない。However, as described above, a pressure-sensitive adhesive sheet that can reduce its adhesive force as needed after being applied to the wearing surface has not yet been known.
他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、一液型の接着剤であり、速硬化
性であつて、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。On the other hand, for example, generally in the field of adhesives, a UV-crosslinkable adhesive comprising a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator and other additives is already known, which is a solventless type, It is a one-pack type adhesive that is fast-curing and is excellent in that it does not require heating.
In this adhesive, irradiation of ultraviolet rays is originally performed in order to make the adhesive exhibit a required adhesive force.
発明が解決しようとする問題点 本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着性シートのための接着
剤組成物を得るために鋭意研究した結果、予期しないこ
とに、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
光重合開始剤とを主成分として含有する感圧接着剤組成
物に紫外線を照射するとき、その接着力が著しく低減す
ることを見出し、更に、紫外線を透過し得る基材樹脂シ
ート上にかかる感圧接着剤組成物の層を形成して、感圧
接着性シートとするとき、かかる感圧接着性シートは、
所要の披着面に適用した後、上記基材樹脂シート側から
紫外線を照射することによつて、その接着力が著しく低
減するので、被着面から容易に剥離することができるこ
とを見出した。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention In order to obtain an adhesive composition for a pressure-sensitive adhesive sheet, the present inventors initially have a strong adhesive force and can reduce the adhesive force as needed. As a result of diligent research, unexpectedly, when a pressure-sensitive adhesive composition containing an elastic polymer, an ultraviolet-crosslinkable acrylic ester and a photopolymerization initiator as main components was irradiated with ultraviolet rays, the adhesive strength was remarkably increased. Further, it is found that the pressure-sensitive adhesive sheet is formed by forming a layer of the pressure-sensitive adhesive composition on a base resin sheet that can transmit ultraviolet rays to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet.
It has been found that, by applying ultraviolet rays from the side of the base resin sheet after applying it to a desired adhering surface, the adhesive force is remarkably reduced, so that it can be easily peeled from the adhered surface.
しかしながら、他方、上記のような感圧接着性シートを
ダイシングフイルムとして用いて、これに半導体ウエハ
ーを接着固定するに際して、ダイシングフイルムとウエ
ハーとの間に空気が入り込んで、気泡が形成されると
き、ダイシングフイルムから剥離したダイスに感圧接着
剤組成物が残存し、所謂糊残りする。その理由は、必ず
しも明らかではないが、気泡の周縁においてウエハーに
接触する感圧性接着組成物中の紫外線架橋性アクリル酸
エステルがダイシングフイルムに紫外線を照射した後
も、気泡（酸素）のために、十分な硬化反応が阻害さ
れ、接着剤組成物が尚、十分な接着力を保持しており、
その結果として、ウエハーに糊移りして、糊残りが生じ
るするものとみられ、同時に、ウエハーをダイシングし
た後、ダイスをダイシングフイルムから剥離する際に、
尚、大きい剥離力を必要とすることとなる。However, on the other hand, when using the pressure-sensitive adhesive sheet as described above as a dicing film and adhering and fixing a semiconductor wafer thereto, when air enters between the dicing film and the wafer, bubbles are formed, The pressure-sensitive adhesive composition remains on the die separated from the dicing film, so-called adhesive residue remains. The reason is not always clear, but even after the UV-crosslinking acrylic ester in the pressure-sensitive adhesive composition in contact with the wafer at the periphery of the bubbles irradiates the dicing film with ultraviolet rays, due to the bubbles (oxygen), Sufficient curing reaction is inhibited and the adhesive composition still retains sufficient adhesive strength,
As a result, it is expected that the adhesive will be transferred to the wafer and adhesive residue will occur, and at the same time, after dicing the wafer and peeling the dice from the dicing film,
In addition, a large peeling force is required.
このように、ダイスに糊残りが生じるときは、ダイスに
導線を接続することが困難となつたり、或いはダイス加
工後のチツプから熱拡散性が悪くなり、半導体デバイス
の信頼性を低下させ、また、故障させる原因となる。In this way, when adhesive residue occurs on the die, it becomes difficult to connect the conductive wire to the die, or the thermal diffusivity deteriorates from the chip after the die processing, and the reliability of the semiconductor device deteriorates. , Cause malfunction.
そこで、本発明者らは、かかる問題を解決するために鋭
意研究した結果、前記したような感圧接着剤組成物にお
いて、光重合開始剤として特にポリビニルベンゾフエノ
ンを用いるとき、かかる感圧接着剤組成物の層を有する
感圧接着性シートとの間に気泡が形成されても、感圧接
着性シートの裏面側から紫外線を照射することによつ
て、感圧接着性シートは、気泡の影響を何ら受けず、そ
の接着力が均一に顕著に低減され得ることを見出して、
本発明に至つたものである。Therefore, the inventors of the present invention have conducted extensive studies to solve such a problem, and as a result, in the pressure-sensitive adhesive composition as described above, particularly when polyvinyl benzophenone was used as a photopolymerization initiator, the pressure-sensitive adhesive Even when bubbles are formed between the pressure-sensitive adhesive sheet having a layer of the agent composition, the pressure-sensitive adhesive sheet is exposed to ultraviolet rays from the back surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet, so that Finding that the adhesive force can be uniformly and significantly reduced without any influence,
The present invention has been achieved.
従つて、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、且つ、被着体に糊残り
しない感圧接着性シートを提供することを目的とする。Therefore, the present invention has a strong adhesive force when it is not irradiated with ultraviolet rays, and by irradiating it with ultraviolet rays, the adhesive force can be remarkably reduced, and pressure-sensitive adhesive does not remain on the adherend. The purpose is to provide an adhesive sheet.
問題点を解決するための手段 本発明の紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接
着性シートは、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上
に (a)弾性重合体、 (b)紫外線架橋性アクリル酸エステル、及び (c)重合開始剤としてのポリビニルベンゾフエノン を含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
とする。Means for Solving the Problems A pressure-sensitive adhesive sheet capable of reducing adhesive strength by ultraviolet irradiation of the present invention is (a) an elastic polymer on a base resin sheet capable of transmitting ultraviolet rays, (b) It is characterized in that a layer of a pressure-sensitive adhesive containing an ultraviolet-crosslinkable acrylic ester and (c) polyvinyl benzophenone as a polymerization initiator is formed.
従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブツク（第２版）」（日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、1980年）第３９８〜４１４頁に記載されている
ように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物は弾
性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着付与
剤や可塑剤、更には、必要に応じて充填剤、老化防止
剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本発
明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和共
重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及びア
クリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることがで
きる。Conventionally, various pressure-sensitive adhesive compositions are known as described in, for example, "Adhesive Handbook (2nd Edition)" (edited by Japan Adhesive Association, published by Nikkan Kogyo Shimbun, 1980), pages 398 to 414. However, a typical pressure-sensitive adhesive composition contains an elastic polymer as a main component, a tackifier or a plasticizer having good compatibility with the elastic polymer, and further, if necessary, a filler or an antioxidant. , A colorant and the like are uniformly mixed. In the present invention, a saturated copolymerized polyester resin, a polyacrylic acid ester, and a copolymer of acrylic acid ester can be preferably used as the elastic polymer.
先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第２５巻第１１号第１０１〜１０６頁に記載され
ているように、通常、異なる２種以上の飽和２価カルボ
ン酸と飽和２価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カルボン酸と脂
肪族２価カルボン酸とが併用され、飽和２価アルコール
として脂肪族又は脂環式２価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族２
価カルボン酸／脂肪属２価カルボン酸モル比が８０／２
０乃至２０／８０、好ましくは７０／３０乃至５０／５
０である飽和２価カルボン酸混合物とグリコールとを等
モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香族
２価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボ
ン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとして
エチレングリコール、1,4-ブタンジオール、プロピレン
グリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽和共
重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成
分として３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以上の
多価アルコールが一部併用されてもよい。First, the saturated copolyester resin is usually a saturated divalent carboxylic acid and two or more different saturated divalent carboxylic acids, as described in "Industrial Materials" Vol. 25, No. 11, pp. 101-106, for example. A saturated copolymer resin having a relatively low glass transition point obtained by polycondensation with alcohol, and usually,
As the saturated divalent carboxylic acid, an aromatic divalent carboxylic acid and an aliphatic divalent carboxylic acid are used in combination, and as the saturated divalent alcohol, an aliphatic or alicyclic divalent alcohol, that is, glycol is used. Particularly, in the present invention, aromatic 2
Carboxylic acid / aliphatic dicarboxylic acid molar ratio is 80/2
0 to 20/80, preferably 70/30 to 50/5
A saturated copolyester resin obtained by polycondensing a saturated divalent carboxylic acid mixture of 0 and glycol in an equimolar amount is preferably used. In the present invention, terephthalic acid is used as the aromatic divalent carboxylic acid, sebacic acid, adipic acid is used as the aliphatic polycarboxylic acid, ethylene glycol, 1,4-butanediol, propylene glycol, etc. are used as the glycol. Polymerized polyester resin is preferably used. Incidentally, in the production of the saturated copolyester resin, a trivalent or higher polyvalent saturated carboxylic acid or a trivalent or higher polyhydric alcohol may be partially used in combination, if necessary.
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル等のア
クリル酸アルキルエステルを主モノマーとして、凝集性
を有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合
体を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリ
ルロニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリ
ル酸メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカル
ボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキ
シルメチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アク
リル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチ
ルメタクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレー
ト、アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモ
ノマーを共重合させてなる共重合体である。The polyacrylic acid ester or acrylic acid copolymer includes any of those used as an elastic polymer as a main component in a pressure-sensitive adhesive conventionally known as an acrylic pressure-sensitive adhesive. The polymer used as the elastic polymer in the acrylic pressure-sensitive adhesive is usually
It is substantially an acrylic ester copolymer. This copolymer is usually an acrylic acid alkyl ester such as ethyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate, which forms a polymer having a low glass transition point for imparting tackiness, as a main monomer. , Comonomers that form a hard polymer having a high glass transition point for imparting cohesiveness, for example, vinyl acetate, acrylonitrile, styrene, methyl acrylate, methyl methacrylate, etc., and improvement of crosslinkability and adhesiveness Monomers having functional groups such as carboxylic acid group, hydroxyl group, amide group, glycidyl group, hydroxylmethyl group, for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, hydroxylethyl methacrylate, hydroxylpropyl methacrylate, acrylamide, glycidyl Monomers such as methacrylate A copolymer by polymerizing.
本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によつて架橋するオリゴマー又はモノ
マーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかつオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、1,6-ヘキサン
ジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の
多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1,6-ヘ
キサンジオールジメタクリレート、トリメチロールプロ
パントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタ
クリレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステ
ル等を挙げることができる。The UV-crosslinkable acrylic acid ester used in the present invention refers to an acrylic acid ester or a methacrylic acid ester as an oligomer or a monomer which is crosslinked by irradiation of ultraviolet rays, and has at least two acryloyl groups or methacryloyl groups in the molecule. Specifically, as the oligomer, for example, oligoester acrylate or the like is used, and as the monomer, for example, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, dipentaerythritol. Ester of polyhydric alcohol such as hexaacrylate and acrylic acid, or ester of polyhydric alcohol such as 1,6-hexanediol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate and methacrylic acid Etc. can be mentioned.
本発明において、感圧接着剤組成物は、前記弾性重合体
１００重量部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルを１５〜２００重量部、好ましくは５０〜１５０
重量部の範囲にて含有する。弾性重合体１００重量部に
ついて、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが１５重
量部よりも少ないときは、得られる接着剤組成物に紫外
線を照射しても、その接着力が実質的に変化せず、一
方、２００重量部を越えるときは、紫外線照射によつ
て、その接着力を低減させることはできるが、例えばシ
リコンウエハーのダイシング後のダイスのピツクアツプ
時に、ダイスに接着剤が残留することがあり、好ましく
ないからである。In the present invention, the pressure-sensitive adhesive composition contains 15 to 200 parts by weight, preferably 50 to 150 parts by weight, of the above-mentioned UV-crosslinkable acrylic acid ester with respect to 100 parts by weight of the elastic polymer.
It is contained in the range of parts by weight. With respect to 100 parts by weight of the elastic polymer, when the amount of the UV-crosslinkable acrylic acid ester is less than 15 parts by weight, the adhesive strength of the obtained adhesive composition does not substantially change even when the adhesive composition is irradiated with ultraviolet rays, On the other hand, when the amount exceeds 200 parts by weight, the adhesive force can be reduced by irradiation with ultraviolet rays, but the adhesive may remain on the dice when picking up the dice after dicing a silicon wafer, for example. This is because it is not preferable.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に、光重
合開始剤としてポリビニルベンゾフエノンを含有する。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention further contains polyvinyl benzophenone as a photopolymerization initiator.
一般に、光重合の技術分野において、光重合開始剤は、
前記紫外線架橋性アクリル酸エステルの紫外線照射によ
る架橋を促進するために用いられるものであつて、既に
種々の光重合開始剤が知られている。しかしながら、本
発明による感圧接着性シートにおいては、その感圧接着
剤組成物が光重合開始剤としてポリビニルベンゾフエノ
ンを含有することによつて、前述したように、かかる感
圧接着剤組成物の層を有する感圧接着性シートと被着体
との間に気泡が形成されても、感圧接着性シートの裏面
側から紫外線を照射することによつて、感圧接着性シー
トは、気泡の影響を何ら受けず、その接着力が均一に顕
著に低減され得るのである。Generally, in the technical field of photopolymerization, the photopolymerization initiator is
Various photopolymerization initiators are already known, which are used for promoting the crosslinking of the above-mentioned UV-crosslinkable acrylic acid ester by UV irradiation. However, in the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention, since the pressure-sensitive adhesive composition contains polyvinyl benzophenone as a photopolymerization initiator, as described above, such a pressure-sensitive adhesive composition is used. Even if air bubbles are formed between the pressure-sensitive adhesive sheet having the layer and the adherend, by irradiating with ultraviolet rays from the back surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet, the pressure-sensitive adhesive sheet has That is, the adhesive force can be uniformly and significantly reduced without being affected by the above.
上記光重合開始剤の配合量は、紫外線架橋重合の技術分
野において一般に使用されているところに従えばよく、
例えば、前記紫外線架橋性アクリル酸エステル１００重
量部について１〜２０重量部の範囲で用いられる。The blending amount of the photopolymerization initiator may be in accordance with a place generally used in the technical field of ultraviolet crosslinking polymerization,
For example, it is used in the range of 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the UV-crosslinkable acrylic ester.
しかし、本発明においては、従来より知られているのそ
の他の光重合開始剤を併用してもよく、かかる光重合開
始剤として、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエ
ーテル類や、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾフエノン等
の芳香族オキシケトン類や芳香族ケトン類、更には、ベ
ンジルジメチルケタール等を挙げることができるが、こ
れらに限定されるものではない。However, in the present invention, other conventionally known photopolymerization initiators may be used in combination, and as such photopolymerization initiators, for example, benzoin methyl ether, benzoin alkyl ethers such as benzoin isopropyl ether and Examples thereof include aromatic oxyketones and aromatic ketones such as benzoin, benzyl and benzophenone, and further benzyl dimethyl ketal, but are not limited thereto.
また、本発明において用いる感圧接着剤組成物は、重合
禁止剤を含有していてもよい。重合禁止剤は、上記紫外
線架橋性アクリル酸エステルが紫外線照射によらず、例
えば、熱によつて重合することを防止するために、必要
に応じて添加されるもので、かかる重合禁止剤として
は、従来より知られている通常の重合禁止剤を用いるこ
とができる。このような重合禁止剤としては、例えば、
ピクリン酸、フエノール、ハイドロキノン、ハイドルキ
ノンモノメチルエーテル等を用いることができる。Further, the pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention may contain a polymerization inhibitor. The polymerization inhibitor is added as needed in order to prevent the UV-crosslinkable acrylic ester from being polymerized by heat, not by UV irradiation, for example, as such a polymerization inhibitor. Conventionally known ordinary polymerization inhibitors can be used. As such a polymerization inhibitor, for example,
Picric acid, phenol, hydroquinone, hydrquinone monomethyl ether, etc. can be used.
上重合禁止剤の配合量も、紫外線架橋重合の技術分野に
おいて一般に使用されているところに従えばよく、例え
ば、前記紫外線架橋性アクリル酸エステル１００重量部
について０．１〜１重量部の範囲で用いられる。The amount of the above-mentioned polymerization inhibitor to be compounded may also be in accordance with the generally used in the technical field of ultraviolet cross-linking polymerization. Used.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好ましく
は、更に粘着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合
体が飽和共重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘
着付与剤を併用することが好ましい。用い得る粘着付与
剤は特に制限されず、従来より一般に粘着剤の製造にお
いて用いられているものが適宜に用いられる。このよう
な粘着付与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや
重合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジ
ン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフエノール樹脂、ロ
ジンフエノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳
香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン
系樹脂、アルキルフエノール樹脂等を挙げることができ
る。粘着付与剤は、飽和教重合ポリエステル樹脂１００
重量部について、通常、１０〜２００重量部の範囲で用
いられる。粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、
接着力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎるとき
は、得られる接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着
力の低下幅が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイ
シングフイルムに適用した場合、シリコンウエハーのダ
イシング後のダイスのピツクアツプ時に、ダイスに粘着
付与剤が残留することがあり、好ましくないからであ
る。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention preferably further contains a tackifier. In particular, when the elastic polymer used is a saturated copolyester resin, it is preferable to use this tackifier together. The tackifier that can be used is not particularly limited, and those conventionally used in the production of pressure-sensitive adhesives can be appropriately used. As such a tackifier, for example, xylene resin, rosin or polymerized rosin, hydrogenated rosin, modified rosin resin such as rosin ester, terpene resin, terpene phenol resin, terpene resin such as rosin phenol resin, aliphatic series , Aromatic and alicyclic petroleum resins, coumarone resins, styrene resins, alkylphenol resins and the like. The tackifier is 100% saturated polyester resin.
With respect to parts by weight, it is usually used in the range of 10 to 200 parts by weight. If the amount of tackifier is too small,
When the adhesive strength or the adhesive strength is insufficient, on the other hand, when the adhesive strength is too large, the resulting adhesive composition has a small decrease in the adhesive strength after being irradiated with ultraviolet rays, and the adhesive composition is used as a dicing film. This is because, when applied, the tackifier may remain in the dice when picking up the dice after dicing the silicon wafer, which is not preferable.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、また、光増
感剤を含有していてもよい。光増感剤は、一般に、単独
では紫外線の照射によつても活性化しないが、光重合開
始剤と共に併用するとき、紫外線架橋性化合物のゲル化
時間を短縮する機能を有するものとして定義される。感
圧接着剤組成物に光増感剤を含有させることも、例え
ば、半導体ウエハーのダンシングにおいて、得られるダ
イスに糊残りを生じさせないために有効である。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention may also contain a photosensitizer. The photosensitizer is generally not activated by irradiation with ultraviolet light alone, but is defined as having a function of shortening the gelation time of the UV-crosslinkable compound when used together with the photopolymerization initiator. . It is also effective to include a photosensitizer in the pressure-sensitive adhesive composition, for example, in order to prevent adhesive residue from being generated in a die obtained in the semiconductor wafer dancing.
本発明においては、かかる光増感剤として、例えば、一
般式 CH2＝CRCOOCH2CH2NR'2 又は一般式 （但し、Ｒは水素又はメチル基を示し、R'はアルキル基
又はアルケニル基を示す。） で表わされる（メタ）アクリル酸エステルを挙げること
ができる。R'としては、特に、低級アルキル基、例え
ば、メチル基が好ましい。従つて、例えば、N,N-ジメチ
ルアミノエチルアクリレートやN-メチルアミノビスエチ
ルアクリレートが好ましく用いられる。In the present invention, such photosensitizers include, for example, the general formula CH 2 = CRCOOCH 2 CH 2 NR ′ 2 or the general formula (However, R represents hydrogen or a methyl group, and R'represents an alkyl group or an alkenyl group.). As R ′, a lower alkyl group, for example, a methyl group is particularly preferable. Therefore, for example, N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N-methylaminobisethyl acrylate are preferably used.
光増感剤は、本発明においては、通常、光架橋性アクリ
ル酸エステル１００重量部について、１〜１００重量部
の範囲で用いられる。In the present invention, the photosensitizer is generally used in the range of 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photocrosslinkable acrylic ester.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好ましく
は、上記した配合量にて弾性重合体、紫外線架橋性アク
リル酸エステル及び重合開始剤を、必要に応じて粘着付
与剤、重合禁止剤、光増感剤、充填剤、老化防止剤、着
色剤等と共に、これらを溶解する適宜の有機溶剤、例え
ば、芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物に
溶解することによつて、均一な溶液状組成物として得る
ことができる。溶剤としては、例えば、具体的にはトル
エンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用い
られるが、しかし、これに限定されるものではない。ま
た、接着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用途
等に応じて適宜に選ばれるが、通常、１０〜５０重量％
の範囲である。しかし、これに限定されるものではな
い。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention is preferably an elastic polymer, a UV-crosslinkable acrylic acid ester and a polymerization initiator in the above-mentioned blending amounts, if necessary, a tackifier, a polymerization inhibitor, and a light. A uniform solution is prepared by dissolving a sensitizer, a filler, an antioxidant, a colorant and the like in an appropriate organic solvent that dissolves these, for example, aromatic hydrocarbons, ketones, or a mixture thereof. It can be obtained as a foam composition. As the solvent, for example, a mixed solvent of toluene and methyl ethyl ketone is preferably used, but the solvent is not limited thereto. The content of the elastic polymer in the adhesive composition is appropriately selected depending on the application etc., but is usually 10 to 50% by weight.
Is the range. However, it is not limited to this.
特に、弾性重合体及び粘着付与剤は、通常、溶液の形態
にて市販されており、これらを使用することが便利であ
るので、例えば、これらの溶液を混合し、これに紫外線
架橋性アクリル酸エステル及び重合開始剤、更に必要に
応じて、その他の添加剤を混合し、均一に溶解すればよ
い。In particular, the elastic polymer and the tackifier are usually commercially available in the form of a solution, and since it is convenient to use these, for example, these solutions are mixed, and the ultraviolet-crosslinking acrylic acid is added to the mixture. The ester, the polymerization initiator and, if necessary, other additives may be mixed and uniformly dissolved.
本発明による感圧接着性シートは、上記のような感圧接
着剤組成物の層を紫外線を透過し得る基材樹脂シート上
に常法に従つて形成することによつて得ることができ
る。The pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention can be obtained by forming a layer of the pressure-sensitive adhesive composition as described above on a base resin sheet capable of transmitting ultraviolet rays according to a conventional method.
上記基材樹脂シートとしては、紫外線を透過し得る限り
は、特に制限されることなく、種々の樹脂シートを用い
ることができるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂
シートが用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビ
ニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、ポリオレフ
イン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、アセチルセルロース等からなる
樹脂シートが好適に用いられる。The base resin sheet is not particularly limited as long as it can transmit ultraviolet rays, and various resin sheets can be used, but a transparent or translucent synthetic resin sheet is usually used. For example, a resin sheet made of vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, polyvinylidene chloride, polyolefin, polyvinyl alcohol, polyamide, polyester, polycarbonate, acetyl cellulose or the like is preferable. Used for.
上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるの
で、本発明の方法において特に好適に用いることができ
る。また、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含
有する基材シートとして、好適に用いる得るものもあ
る。例えば、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹
脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル
−アクリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデ
ン、アセチルセルロース等を挙げることができる。Among the above-mentioned various base resin sheets, a resin sheet made of a polyvinyl chloride or vinyl chloride copolymer containing a plasticizer is flexible, and is also inexpensive, so that it is particularly preferable in the method of the present invention. It can be preferably used. In addition to the vinyl chloride resin sheet, there are some that can be suitably used as the base material sheet containing the plasticizer. For example, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, vinyl chloride-acrylic acid ester copolymer resin, polyvinylidene chloride, acetyl cellulose and the like can be mentioned.
ここに、上記可塑剤は、特に制限されるものではない
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフエート、トリオクチルホスフエート、ト
リフエニルホスフエート、2-エチルヘキシルジフエニル
ホスフエート、クレジルジフエニルホスフエート等のリ
ン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセバ
ケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸トリ
−2-エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプロピ
レンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポリエ
ステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑
剤、塩素化パラフイン、塩素化脂肪酸エステル等の塩素
系可塑剤等を挙げることができる。Here, the plasticizer is not particularly limited, for example, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, didecyl phthalate, ditridecyl phthalate, phthalic acid diesters such as butylbenzyl phthalate, tricresyl phosphate, trioctyl. Phosphates such as phosphate, triphenyl phosphate, 2-ethylhexyl diphenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, dioctyl adipate, dioctyl sebacate, dioctyl azelate, tri-2-ethylhexyl acetylcitrate, etc. Examples include polyester plasticizers such as diesters, polypropylene adipates, polypropylene sebacates, epoxy plasticizers such as epoxidized soybean oil, chlorinated paraffins, chlorinated fatty acid esters and other chlorine plasticizers. You can
しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組成
物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シ
ート中に移行し、このような相互移行によつて、ダイシ
ングフイルムの紫外線照射後の接着力の低減効果が著し
く減少する場合がある。However, as described above, when a resin sheet containing a plasticizer is used as the base resin sheet of the pressure-sensitive adhesive sheet, the plasticizer migrates from the resin sheet into the pressure-sensitive adhesive composition, Usually, since the plasticizer and the UV-crosslinkable acrylic ester have good compatibility with each other, the UV-crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition migrates into the resin sheet, and by such mutual migration. On the other hand, the effect of reducing the adhesive strength of the dicing film after irradiation of ultraviolet rays may be significantly reduced.
従つて、本発明においては、基材樹脂シートとして、可
塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合は、この基材樹
脂シートと感圧接着剤組成物の層との間に紫外線の透過
を妨げないが、可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを共に透過させない樹脂層からなるバリヤー層を介
在させることが好ましい。Therefore, in the present invention, when a resin sheet containing a plasticizer is used as the base resin sheet, it does not prevent the transmission of ultraviolet rays between the base resin sheet and the layer of the pressure-sensitive adhesive composition. However, it is preferable to interpose a barrier layer composed of a resin layer that does not allow both the plasticizer and the UV-crosslinkable acrylic ester to pass through.
即ち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを防止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにし
て、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中
に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋
性アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感
圧接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低
下を防止する。That is, this barrier layer does not hinder the transmission of ultraviolet rays at all, but it prevents the plasticizer contained in the base resin sheet from migrating into the pressure-sensitive adhesive composition, and at the same time, the pressure-sensitive adhesive composition. The UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the base resin sheet is prevented from migrating to the base resin sheet, and thus, the plasticizer contained in the base resin sheet is retained in the base material, The UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition is retained in the adhesive composition to prevent the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive sheet from decreasing with time due to UV irradiation.
前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフイン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフイルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従つて、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフイルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによつて、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加М乾燥させて、塗膜を
形成させることによつても、バリヤー層を得ることがで
きる。Examples of the barrier layer include poly-α-olefin such as polyethylene and polypropylene, and a film of polyalkylene terephthalate such as polyethylene terephthalate,
A resin coating film, for example, a resin coating film layer such as a modified polyacrylic resin is preferably used. Therefore, the barrier layer is formed by pressing a film made of the above-exemplified resin on the base resin sheet, or by applying a melt of the resin and cooling, or by applying a solution of the above resin and drying. Therefore, it can be formed. The barrier layer can also be obtained by, for example, applying a modified polyacrylic resin solution, drying it if necessary, and forming a coating film.
上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従つて、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂として
は、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等
が好適に用いられる。As the above-mentioned modified polyacrylic resin, various ones are conventionally known, but in the present invention, they are generally excellent in solvent resistance, and accordingly, are included in the ultraviolet-crosslinkable acrylic acid ester and the base resin sheet. An alkyd-modified polyacrylic resin that does not dissolve or swell in a plasticizer and a thermosetting polyacrylic resin are suitable. As the thermosetting polyacrylic resin, for example, acid type, hydroxyl group type, epoxy type, amide type and the like are preferably used.
しかし、本発明においては、バリヤー層は、前述したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実
質的に透過させない限りは、特に、その素材において制
限されるものではないことは容易に理解されるところで
あつて、本発明において用いられる個々の具体的な紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択さ
れる。However, in the present invention, the barrier layer, as described above, unless it substantially permeates the UV-crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition and the plasticizer contained in the base resin sheet, In particular, it will be readily understood that the material is not limited, and the selection will depend on the particular UV-crosslinkable acrylic ester ester and plasticizer used in the present invention.
従つて、本発明による感圧接着性シートは、例えば、基
材樹脂シート上に上記バリヤー層を積層し、この上に上
述したような感圧接着剤組成物の溶液を基材シート上に
塗布し、乾燥することによつて得ることができる。Therefore, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention comprises, for example, laminating the barrier layer on a base resin sheet, and applying a solution of the pressure-sensitive adhesive composition as described above on the base sheet. It can be obtained by drying.
前述したように、本発明による感圧接着性シートは、半
導体ウエハーのダイシングフイルムとして好適に用いる
ことができるが、特に、本発明による感圧接着性シート
は、被着体との間に気泡が生成しても、紫外線照射後に
被着体に糊残りが生じないので、この感圧接着性シート
をダイシングフイルムとして用いて、これに半導体ウエ
ハーを接着固定するに際しては、その雰囲気は開放又は
密閉された空気であつてよい。しかし、例えば、窒素や
ヘリウム、アルゴン等のような不活性気体又は真空下に
ダイシングフイルムに半導体ウエハーを接着固定しても
よいのは、勿論である。As described above, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention can be preferably used as a dicing film for semiconductor wafers. In particular, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention has no bubbles between the adherend and the adherend. Even if it is generated, no adhesive residue is left on the adherend after irradiation with ultraviolet rays.Therefore, when the pressure-sensitive adhesive sheet is used as a dicing film and the semiconductor wafer is adhered and fixed thereto, the atmosphere is opened or closed. It may be air. However, it goes without saying that the semiconductor wafer may be adhesively fixed to the dicing film under an inert gas such as nitrogen, helium, or argon, or under vacuum.
本発明による感圧接着シートを所要の被着面に適用した
後に、これに紫外線を照射する手段及び照射する方法は
特に制限されず、紫外線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性
接着剤の技術分野において、従来より通常に行なわれて
いる手段及び方法によることができる。例えば、照射手
段として、キセノンランプ、低圧、中圧、高圧或いは超
高圧水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数秒乃至数
分、照射すればよい。After applying the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention to a desired adherend surface, the means and method for irradiating it with ultraviolet rays are not particularly limited, and in the technical field of ultraviolet-curable resin coatings and ultraviolet-curable adhesives. It is possible to use means and methods that have been conventionally performed conventionally. For example, an ultraviolet source such as a xenon lamp, a low pressure, a medium pressure, a high pressure, or an ultrahigh pressure mercury lamp may be used as the irradiation means, and irradiation may be performed for several seconds to several minutes.
発明の効果 以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤とを主成分と
して含有する感圧接着剤の層が形成されており、ここ
に、上記感圧接着剤組成物は、その理由は必ずしも明ら
かではないが、紫外線の照射によつてその接着力が著し
く低減するので、かかる感圧接着性シートを被着面に適
用した後、上記基剤基材樹脂シート側から紫外線を照射
することによつて、この感圧接着性シートを被着面から
容易に剥離することができる。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention contains an elastic polymer, a UV-crosslinkable acrylate ester, and a polymerization initiator as main components on a base resin sheet capable of transmitting UV rays. A pressure-sensitive adhesive layer is formed, and the reason why the pressure-sensitive adhesive composition is not always clear here, but the adhesive force is remarkably reduced by irradiation with ultraviolet rays. The pressure-sensitive adhesive sheet can be easily peeled off from the adhered surface by applying ultraviolet rays from the side of the base material resin sheet after applying the pressure-sensitive adhesive sheet to the adhered surface.
特に、本発明による感圧接着性シートは、光増感剤とし
てポリビニルベンゾフエノンを含むので、その理由は必
ずしも明らかではないが、大気中において、感圧接着性
シートと被着体との間に気泡が形成されても、紫外線照
射後に被着体を感圧接着性シートから剥離したとき、被
着体に糊残りがないので、紫外線照射によつて、常に安
定してその接着力を低減させることができる。In particular, since the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention contains polyvinyl benzophenone as a photosensitizer, the reason is not always clear, but in the air, the pressure-sensitive adhesive sheet and the adherend are not separated from each other. Even when bubbles are formed in the adhesive, when the adherend is peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet after UV irradiation, there is no adhesive residue on the adherend. Can be made.
従つて、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウエハーのダイシング用フイル
ムとして用いた場合、性能の信頼性の高いダイスを安定
して得ることができる。Therefore, when the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention is used as a film for dicing a silicon wafer, for example, as described above, it is possible to stably obtain a die with high reliability.
実施例 以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。Example Hereinafter, an example will be shown, but the present invention is not limited to this example. In the examples, "parts" means "parts by weight".
離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、１
２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固定分として
１０μｍ厚みに形成した。Apply a pressure sensitive adhesive having the composition shown in Table 1 on the release paper, and
It was dried at 20 ° C. for 1 minute, and a pressure-sensitive adhesive layer was formed as a fixed portion to a thickness of 10 μm.
ここに、弾性重合体として飽和共重合ポリエステル樹脂
を用いる場合は、テレフタル酸／セバシン酸モル比７０
／３０の飽和２価カルボン酸混合物とエチレングリコー
ルとを等モルにて重縮合させて得られるガラス転移点約
１０℃の樹脂を用いた。When a saturated copolyester resin is used as the elastic polymer, the terephthalic acid / sebacic acid molar ratio is 70.
A resin having a glass transition point of about 10 ° C., which was obtained by polycondensing a 30/30 saturated divalent carboxylic acid mixture and ethylene glycol in an equimolar amount, was used.
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸エステル
の共重合体を弾性重合体として用いる場合は、ポリアク
リル酸エステル又はアクリル酸エステルの共重合体を含
む市販のアクリル系粘着剤 溶液（三洋化成工業(株)ポリシツク 610SA、ポリアクリ
ル酸エステル又はアクリル酸エステルの共重合体含有量
約４０重量％）１００重量部に第１表に示す量にて紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び重合開始剤を溶解し
て、感圧接着剤組成物を調製した。この感圧接着剤組成
物を離型紙上に塗布し、１２０℃で１分間乾燥し、感圧
接着剤組成物の層を固形分として１０μｍ厚みに形成し
た。When a polyacrylic acid ester or a copolymer of acrylic acid ester is used as an elastic polymer, a commercially available acrylic pressure-sensitive adhesive containing a polyacrylic acid ester or a copolymer of acrylic acid ester is used. UV crosslinkable acrylic acid ester and polymerization in the amount shown in Table 1 in 100 parts by weight of the solution (polysilane 610SA, Sanyo Kasei Kogyo Co., Ltd., content of polyacrylic acid ester or copolymer of acrylic acid ester approximately 40% by weight) A pressure sensitive adhesive composition was prepared by dissolving the initiator. This pressure-sensitive adhesive composition was applied on a release paper and dried at 120 ° C. for 1 minute to form a layer of the pressure-sensitive adhesive composition as a solid content having a thickness of 10 μm.
次に、平均重合度１３００のポリ塩化ビニル１００部、
可塑剤としてジオクリルフタレート又はポリエステル系
可塑剤３５部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み０．１mmのシーロ上に変性ア
クリル樹脂を塗布し、乾燥して、バリヤー層を形成した
後、この基剤樹脂シートのバリヤー層の表面に上記感圧
接着剤層を重れて貼り合わせて、本発明による感圧接着
性シートを得た。Next, 100 parts of polyvinyl chloride having an average degree of polymerization of 1300,
A barrier layer formed by coating a modified acrylic resin on a 0.1 mm-thick SiLO molded from a vinyl chloride resin composition comprising 35 parts of a dioctyl phthalate or polyester-based plasticizer as a plasticizer and an appropriate amount of the stabilizer and drying it. After forming the above, the pressure-sensitive adhesive layer was laminated on the surface of the barrier layer of this base resin sheet, and the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention was obtained.
比較のために、光増感剤としてのアミノ基を有するアク
リル酸エステルを含まない感圧接着剤組成物を用いて、
同様にして、感圧接着性シートを得た。For comparison, using a pressure-sensitive adhesive composition containing no acrylic acid ester having an amino group as a photosensitizer,
Similarly, a pressure-sensitive adhesive sheet was obtained.
このようにして得たそれぞれの感圧接着性シートについ
て、離型紙を剥離した後、次のようにして、種々の条件
下における接着力を測定した。With respect to each of the pressure-sensitive adhesive sheets thus obtained, the release paper was peeled off, and then the adhesive force under various conditions was measured as follows.
紫外線照射前の接着力 感圧接着性シートを幅２５mm、長さ１００mmに裁断して
試験片とし、その間に気泡を形成させないようにして、
これを被着体としてのステンレス板上に重ね、３kgロー
ラにて５回往復して押圧密着させ、室温で２０分間放置
した後、シヨツパーにて引張速度３００mm／分にて１８
０゜剥離試験を行なつた。Adhesive strength before UV irradiation A pressure-sensitive adhesive sheet is cut into a test piece with a width of 25 mm and a length of 100 mm, and bubbles are not formed between them.
This was placed on a stainless steel plate as an adherend and reciprocated 5 times with a 3 kg roller to be pressed and adhered, and allowed to stand at room temperature for 20 minutes, and then with a hopper at a pulling speed of 300 mm / min.
A 0 ° peel test was performed.
紫外線照射後の接着力 感圧接着性シートをステンレス板上に重ねる際に、強制
的に試験片とステンレス板との間に気泡を残存させ、塩
化ビニル樹脂シート側から主波長３６５ｍμ、１２０Ｗ
／cmにて紫外線を７秒間照射した後、試験片をステンレ
ス板から剥離し、目視及び５０媒顕微鏡にてステンレス
板への糊残りの有無を観察した。Adhesive strength after UV irradiation When stacking a pressure-sensitive adhesive sheet on a stainless steel plate, air bubbles are forcibly left between the test piece and the stainless steel plate, and the main wavelength is 365 mμ, 120 W from the vinyl chloride resin sheet side.
After irradiating the test piece with the ultraviolet ray for 7 seconds, the test piece was peeled off from the stainless steel plate, and the presence or absence of adhesive residue on the stainless steel plate was observed visually and by a 50 medium microscope.
また、上記と同様にして、感圧性接着シートをステンレ
ス板に重ねる際に、幅２５mm、長さ１００mmの試験片を
得ることができる程度に十分に大きい気泡をシートとス
テンレス板との間に強制的に残存させ、塩化ビニル樹脂
シート側から主波長３６５μｍ、１２０Ｗ／cmにて紫外
線を７秒間照射した。In addition, when stacking the pressure-sensitive adhesive sheet on the stainless steel plate in the same manner as described above, a bubble large enough to obtain a test piece having a width of 25 mm and a length of 100 mm is forced between the sheet and the stainless steel plate. Of the vinyl chloride resin sheet and irradiated with ultraviolet rays for 7 seconds at a main wavelength of 365 μm and 120 W / cm.
次いで、感圧接着性シートを幅２５mm、長さ１００mmに
裁断して試験片とし、その間に気泡を形成させないよう
にして、ステンレス板上に重ね、３kgローラにて５回往
復して押圧密着させ、室温で２０分間放置した後、シヨ
ツパーにて引張速度３００mm／分にて１８０゜剥離試験
を行なつた。Next, the pressure-sensitive adhesive sheet is cut into a width of 25 mm and a length of 100 mm to form a test piece, which is laid on a stainless steel plate so as not to form air bubbles between them and reciprocated 5 times with a 3 kg roller to be pressed and adhered. After leaving it at room temperature for 20 minutes, a 180 ° peel test was performed with a shocker at a pulling speed of 300 mm / min.
結果を第１表に示す。The results are shown in Table 1.
本発明の感圧接着性シートによれば、これを被着体に接
着させる際に、その間に気泡が形成されても、紫外線を
照射した後、被着体を剥離したとき、被着体に糊残りが
生じない。また、その結果、紫外線照射後の接着力は、
紫外線照射前に比較して、著しく低減されている。従つ
て、本発明の感圧接着性シートによれば、適当な配合設
計によつて、当初数百ｇ／２５mmの接着力を有せしめ、
紫外線照射後は数十ｇ／２５mm程度にまで接着力を減少
させることができるので、前述したように、シリコンウ
エハーのダイシングに好適に用いることができる。According to the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, when the adhesive sheet is adhered to an adherend, even if bubbles are formed therebetween, when the adherend is peeled off after being irradiated with ultraviolet rays, the adherend is adhered to the adherend. No glue residue occurs. Also, as a result, the adhesive strength after UV irradiation is
Compared to before the ultraviolet irradiation, it is significantly reduced. Therefore, according to the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, an adhesive force of several hundred g / 25 mm is initially provided by an appropriate compounding design,
Since the adhesive force can be reduced to about several tens of g / 25 mm after ultraviolet irradiation, it can be suitably used for dicing a silicon wafer as described above.
これに対して、比較令の感圧接着性シートによれば、こ
れを被着体に接着させる際に、その間に気泡が形成され
たときは、紫外線を照射した後、被着体を剥離したと
き、被着体に糊残りが生じていると共に、紫外線照射後
の接着力が尚高い。On the other hand, according to the pressure-sensitive adhesive sheet of the comparative order, when adhering this to the adherend, when bubbles were formed between them, the adherend was peeled off after being irradiated with ultraviolet rays. At this time, an adhesive residue is left on the adherend, and the adhesive force after irradiation with ultraviolet rays is still high.
Claims (6)
とする紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着
性シート。1. A sensation containing (a) an elastic polymer, (b) a UV-crosslinkable acrylic ester, and (c) polyvinyl benzophenone as a polymerization initiator on a base resin sheet capable of transmitting ultraviolet rays. A pressure-sensitive adhesive sheet having a pressure-adhesive layer formed thereon, which can reduce the adhesive force by ultraviolet irradiation.
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感
圧接着性シート。2. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, which is a saturated copolyester resin of an elastic polymer.
アクリル酸エステルの共重合体であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。3. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein the elastic polymer is a copolymer of polyester acid ester or acrylic acid ester.
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シー
ト。4. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive contains a tackifier.
紫外線を透過させ得る樹脂シートであり、この樹脂シー
ト上に (a)弾性重合体、 (b)紫外線架橋性アクリル酸エステル、及び (c)重合開始剤としてのポリビニルベンゾフエノン を含有する感圧接着剤の層が、上記可塑剤及び紫外線架
橋性アクリル酸エステルを透過させないが、紫外線を透
過させる樹脂層を介して形成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。5. The base resin sheet contains a plasticizer, and
A resin sheet that is permeable to ultraviolet rays, on which a (a) elastic polymer, (b) a UV-crosslinkable acrylic ester, and (c) polyvinyl benzophenone as a polymerization initiator are pressure-sensitive. 2. The pressure-sensitive material according to claim 1, wherein the adhesive layer is formed through a resin layer that does not allow the plasticizer and the UV-crosslinkable acrylic ester to pass therethrough, but allows the UV-light to pass therethrough. Adhesive sheet.
ビニルの共重合体からなることを特徴とする特許請求の
範囲第５記載の感圧接着性シート。6. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 5, wherein the base resin sheet is made of polyvinyl chloride or a copolymer of vinyl chloride.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP18753686A JPH068405B2 (en) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | Pressure-sensitive adhesive sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18753686A JPH068405B2 (en) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | Pressure-sensitive adhesive sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6343988A JPS6343988A (en) | 1988-02-25 |
| JPH068405B2 true JPH068405B2 (en) | 1994-02-02 |
Family
ID=16207806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18753686A Expired - Lifetime JPH068405B2 (en) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | Pressure-sensitive adhesive sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068405B2 (en) |
Families Citing this family (8)
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-
1986
- 1986-08-08 JP JP18753686A patent/JPH068405B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| JPS6343988A (en) | 1988-02-25 |
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