JPH0655929B2 - Pressure sensitive adhesive sheet - Google Patents
Pressure sensitive adhesive sheetInfo
- Publication number
- JPH0655929B2 JPH0655929B2 JP60196545A JP19654585A JPH0655929B2 JP H0655929 B2 JPH0655929 B2 JP H0655929B2 JP 60196545 A JP60196545 A JP 60196545A JP 19654585 A JP19654585 A JP 19654585A JP H0655929 B2 JPH0655929 B2 JP H0655929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- pressure
- weight
- parts
- ultraviolet rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、紫外線照射によつて接着力を低減させること
ができる感圧接着性シートに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive sheet that can reduce the adhesive force by irradiation with ultraviolet rays.
（従来の技術） 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にたり、用途に応じて
種々の機能性が要求されるに至つている。(Prior Art) Generally, a pressure-sensitive adhesive sheet or pressure-sensitive adhesive sheet obtained by applying a pressure-sensitive adhesive on a base sheet is used for various purposes in general households and industries. Adhesive sheets are required to have various and diverse characteristics, and various functionalities are required depending on applications.
例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウエハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なつてダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフイルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウエハーを載置し、ダ
イシングフイルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離
して取り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
イルムがシリコンウエハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフイルムからピツク
アツプするに際しては、ダイシングフイルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウエハーのダイシングに際して
は、ダイシングフイルムは１００〜８００ｇ／２５mm程
度の接着力を有し、一方、ダイスのピツクアツプに際し
ては、ダイシングフイルムは数十ｇ／２５mm程度又はこ
れ以下の接着力を有することが望ましいといわれてい
る。For example, when manufacturing an integrated circuit, a silicon wafer is cut into a predetermined size, that is, in order to obtain a dice by performing dicing, the silicon wafer is placed on a pressure-sensitive adhesive sheet called a so-called dicing film. After pressure-sensitive adhesive fixing on the dicing film and cutting, this is picked up from the dicing film, that is, peeled off and taken up. Therefore, in order to accurately dice the silicon wafer, the dicing film has a strong adhesive force to the silicon wafer during dicing,
On the other hand, when picking up the obtained dice from the dicing film, the dicing film needs to have a weak adhesive force. For example, when dicing a silicon wafer, the dicing film has an adhesive force of about 100 to 800 g / 25 mm, while the dicing film has a tens of g / 25 mm when picking up the dice. It is said that it is desirable to have an adhesive force of a degree or less.
しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じ
て、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びか
かる特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られてい
ない。However, as described above, a pressure-sensitive adhesive composition capable of reducing the adhesive force after application to the adherend and a pressure-sensitive adhesive sheet having such characteristics have not yet been known.
他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、一液型の接着剤であり、速硬化
性であつて、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。On the other hand, for example, generally in the field of adhesives, a UV-crosslinkable adhesive comprising a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator and other additives is already known, which is a solventless type, It is a one-pack type adhesive that is fast-curing and is excellent in that it does not require heating.
In this adhesive, irradiation of ultraviolet rays is originally performed in order to make the adhesive exhibit a required adhesive force.
（発明の目的） 本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着剤組成物を得るために
鋭意研究した結果、予期しないことに、弾性重合体と紫
外線架橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有す
る混合物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を
照射するとき、その接着力が著しく低減することを見出
した。(Object of the Invention) As a result of earnest studies by the present inventors to obtain a pressure-sensitive adhesive composition that initially has a strong adhesive force and can reduce the adhesive force as needed, unexpectedly It has been found that a pressure-sensitive adhesive composition composed of a mixture containing an elastic polymer and an ultraviolet-crosslinkable acrylic ester as a main component has a significantly reduced adhesive force when it is irradiated with ultraviolet rays.
本発明者らは、更に研究した結果、かかる感圧接着剤組
成物に更にポリイソシアネートと無水シリカ粉末とを成
分として含有させてなる感圧接着剤組成物は、これに紫
外線を照射するとき、接着力が一層顕著に低減し、又は
実質的に削減することを見出して、本発明に至つたもの
である。As a result of further studies, the present inventors have found that a pressure-sensitive adhesive composition obtained by further containing polyisocyanate and anhydrous silica powder as components in such a pressure-sensitive adhesive composition, when it is irradiated with ultraviolet rays, The present invention has been accomplished by finding that the adhesive force is more significantly reduced or is substantially reduced.
従つて、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着性シートを提
供することを目的とする。Therefore, the present invention has a strong adhesive force when not irradiated with ultraviolet rays, and by irradiating it with ultraviolet rays, an object thereof is to provide a pressure-sensitive adhesive sheet capable of significantly reducing the adhesive force. To do.
（発明の構成） 本発明による紫外線照射によつて接着力を低減し得る感
圧接着性シートは、紫外線を透過させ得る基材シート上
に、 (a) 弾性重合体１００重量部に対して、 (b) 紫外線架橋性アクリル酸エステル１５〜２００重
量部と、 (c) 粘着付与剤１０〜２００重量部と、 (d) ポリイソシアネート１〜１００重量部と、 (e) 無水シリカ粉末１〜３０重量部とを (f) 重合開始剤と共に 含む感圧接着剤の層が形成されていることを特徴とす
る。(Structure of the Invention) A pressure-sensitive adhesive sheet capable of reducing an adhesive force by irradiation with ultraviolet rays according to the present invention comprises a base sheet capable of transmitting ultraviolet rays, (a) with respect to 100 parts by weight of an elastic polymer, (b) 15 to 200 parts by weight of UV-crosslinkable acrylic ester, (c) 10 to 200 parts by weight of tackifier, (d) 1 to 100 parts by weight of polyisocyanate, and (e) anhydrous silica powder 1 to 30 And (f) a pressure-sensitive adhesive layer together with a polymerization initiator.
従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブツク（第２版）」（日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、1980年）第３９８〜４１４頁に記載されている
ように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物は弾
性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着付与
剤や可塑剤、更には、必要に応じて充填剤、老化防止
剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本発
明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和共
重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及びア
クリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることがで
きる。Conventionally, various pressure-sensitive adhesive compositions are known as described in, for example, "Adhesive Handbook (2nd Edition)" (edited by Japan Adhesive Association, published by Nikkan Kogyo Shimbun, 1980), pages 398 to 414. However, a typical pressure-sensitive adhesive composition contains an elastic polymer as a main component, a tackifier or a plasticizer having good compatibility with the elastic polymer, and further, if necessary, a filler or an antioxidant. , A colorant and the like are uniformly mixed. In the present invention, a saturated copolymerized polyester resin, a polyacrylic acid ester, and a copolymer of acrylic acid ester can be preferably used as the elastic polymer.
先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第２５巻第１１号第１０１〜１０６頁に記載され
ているように、通常、異なる２種以上の飽和２価カルボ
ン酸と飽和２価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カルボン酸と脂
肪族２価カルボン酸とが併用され、飽和２価アルコール
として樹脂族又は脂環式２価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族２
価カルボン酸／脂肪族２価カルボン酸モル比が８０／２
０乃至２０／８０、好ましくは７０／３０乃至５０／５
０である飽和２価カルボン酸混合物とグリコールとを等
モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香族
２価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボ
ン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとして
エチレングリコール、1,4-ブタンジオール、プロピレン
グリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽和共
重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成
分として３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以上の
多価アルコールが一部併用されてもよい。First, the saturated copolyester resin is usually a saturated divalent carboxylic acid and two or more different saturated divalent carboxylic acids, as described in "Industrial Materials" Vol. 25, No. 11, pp. 101-106, for example. A saturated copolymer resin having a relatively low glass transition point obtained by polycondensation with alcohol, and usually,
An aromatic divalent carboxylic acid and an aliphatic divalent carboxylic acid are used together as the saturated divalent carboxylic acid, and a resin group or an alicyclic divalent alcohol, that is, glycol is used as the saturated divalent alcohol. Particularly, in the present invention, aromatic 2
Carboxylic acid / aliphatic dicarboxylic acid molar ratio is 80/2
0 to 20/80, preferably 70/30 to 50/5
A saturated copolyester resin obtained by polycondensing a saturated divalent carboxylic acid mixture of 0 and glycol in an equimolar amount is preferably used. In the present invention, terephthalic acid is used as the aromatic divalent carboxylic acid, sebacic acid, adipic acid is used as the aliphatic polycarboxylic acid, ethylene glycol, 1,4-butanediol, propylene glycol, etc. are used as the glycol. Polymerized polyester resin is preferably used. Incidentally, in the production of the saturated copolyester resin, a trivalent or higher polyvalent saturated carboxylic acid or a trivalent or higher polyhydric alcohol may be partially used in combination, if necessary.
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル等のア
クリル酸アクリルエステルを主モノマーとし、凝集性を
有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合体
を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリロ
ニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル
メチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ア
クリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモノマー
を共重合させてなる共重合体である。The polyacrylic acid ester or acrylic acid copolymer includes any of those used as an elastic polymer as a main component in a pressure-sensitive adhesive conventionally known as an acrylic pressure-sensitive adhesive. The polymer used as the elastic polymer in the acrylic pressure-sensitive adhesive is usually
It is substantially an acrylic ester copolymer. This copolymer usually contains an acrylic acid acrylic ester such as ethyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate, which forms a polymer having a low glass transition point for imparting tackiness, as a main monomer. , Comonomers that form a hard polymer having a high glass transition point for imparting cohesiveness, for example, vinyl acetate, acrylonitrile, styrene, methyl acrylate, methyl methacrylate, etc., and for improving crosslinkability and adhesiveness A monomer having a functional group such as a carboxylic acid group, a hydroxyl group, an amide group, a glycidyl group, and a hydroxylmethyl group, for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, hydroxylethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate, acrylamide, glycidyl methacrylate, etc. Copolymerization of monomers It was a copolymer comprising.
本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によつて架橋するオリゴマー又はモノ
マーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかるオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、1,6-ヘキサン
ジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の
多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1,6-ヘ
キサンジオールジメタクリレート、トリメチロールプロ
パントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタ
クリレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステ
ル等を挙げることができる。The UV-crosslinkable acrylic acid ester used in the present invention refers to an acrylic acid ester or a methacrylic acid ester as an oligomer or a monomer which is crosslinked by irradiation of ultraviolet rays, and has at least two acryloyl groups or methacryloyl groups in the molecule. Specifically, such oligomers include, for example, oligoester acrylates, and the monomers include, for example, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate. Ester of polyhydric alcohol such as acrylate and acrylic acid, or ester of polyhydric alcohol such as 1,6-hexanediol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate and methacrylic acid Can be mentioned.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、前記弾性重
合体１００重量部について、上記紫外線架橋性アクリル
酸エステルを１５〜２００重量部、好ましくは５０〜１
５０重量部の範囲にて含有する。弾性重合体１００重量
部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが１
５重量部よりも少ないときは、得られる接着剤組成物に
紫外線を照射しても、その接着力が実質的に変化せず、
一方、２００重量部を越えるときは、紫外線照射によつ
て、その接着力を低減させることはできるが、例えば、
シリコンウエハーのダイシング後のダイスのピツクアツ
プ時に、ダイスに接着剤が残留することがあり、好まし
くないからである。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention contains 15 to 200 parts by weight, preferably 50 to 1 part by weight of the above-mentioned UV-crosslinkable acrylic ester, per 100 parts by weight of the elastic polymer.
It is contained in the range of 50 parts by weight. For 100 parts by weight of the elastic polymer, 1 part of the above-mentioned UV-crosslinkable acrylic ester is used.
When the amount is less than 5 parts by weight, even if the obtained adhesive composition is irradiated with ultraviolet rays, its adhesive force does not substantially change,
On the other hand, when the amount exceeds 200 parts by weight, the adhesive force can be reduced by irradiating with ultraviolet rays.
This is because the adhesive may remain on the dice when picking up the dice after dicing the silicon wafer, which is not preferable.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に、粘着
付与剤を含有する。ここに、用いる粘着付与剤は、特に
制限されず、従来より一般に粘着剤の製造において用い
られているものが適宜に用いられる。このような粘着付
与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重合ロジ
ン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジン系樹
脂、テルペン樹脂、テルペンフエノール樹脂、ロジンフ
エノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳香族系
及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン系樹
脂、アルキルフエノール樹脂等を挙げることができる。
粘着付与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂１００重量
部について、通常、１０〜２００重量部の範囲で用いら
れる。粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着
力又は粘着力が不充分であり、他方、多すぎるときは、
得られる接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の
低下幅が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシン
グフイルムに適用した場合、シリコンウエハーのダイシ
ング後のダイスノピツクアツプ時に、ダイスに粘着付与
剤が残留することがあり好ましくないからである。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention further contains a tackifier. The tackifier used here is not particularly limited, and those conventionally used in the production of pressure-sensitive adhesives can be appropriately used. As such a tackifier, for example, xylene resin, rosin or polymerized rosin, hydrogenated rosin, modified rosin resin such as rosin ester, terpene resin, terpene phenol resin, terpene resin such as rosin phenol resin, aliphatic series , Aromatic and alicyclic petroleum resins, coumarone resins, styrene resins, alkylphenol resins and the like.
The tackifier is usually used in the range of 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the saturated copolyester resin. When the amount of the tackifier added is too small, the adhesive force or adhesive force is insufficient, while when it is too large,
The decrease in the adhesive strength after irradiation of the obtained adhesive composition with ultraviolet rays is small, and when such an adhesive composition is applied to a dicing film, it sticks to the dice during dicing of the silicon wafer after dicing. This is because the imparting agent may remain, which is not preferable.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に重合開
始剤又は光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を
含有する。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸
エステルの紫外線照射による架橋を促進するために用い
られる。このような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋
重合の技術分野においてよく知られており、本発明にお
いては、従来より一般に知られている重合開始剤を用い
ることができる。かかる重合開始剤の具体例として、例
えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベ
ンゾイン、ベンジル、ベンゾフエノン等の芳香族オキシ
ケトン類や芳香族ケトン類を挙げることができるが、こ
れらに限定されるものではない。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention further contains a polymerization initiator or a photosensitizer and, if necessary, a polymerization inhibitor. The polymerization initiator is used to accelerate the crosslinking of the above UV-crosslinkable acrylic acid ester by UV irradiation. Such a polymerization initiator is generally well known in the technical field of ultraviolet cross-linking polymerization, and in the present invention, a conventionally known polymerization initiator can be used. Specific examples of such a polymerization initiator include benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether, and aromatic oxyketones and aromatic ketones such as benzoin, benzyl and benzophenone. It is not limited to.
熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が紫外線照射によらず、例えば、熱によつて重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フエノール、ハイ
ドロキノン、ハイドルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。The thermal polymerization inhibitor, the ultraviolet-crosslinkable acrylic ester is not added by ultraviolet irradiation, for example, in order to prevent polymerization by heat, is added as necessary,
As such a polymerization inhibitor, a conventionally known ordinary polymerization inhibitor can be used. As such a polymerization inhibitor, for example, picric acid, phenol, hydroquinone, hydolquinone monomethyl ether or the like can be used.
上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル１００重量部について１〜２０重量
部、重合禁止剤は必要に応じて０．１〜１重量部の範囲
で用いられる。The amounts of the above-mentioned polymerization initiator and polymerization inhibitor to be blended may be those generally used in the technical field of ultraviolet cross-linking polymerization. For example, the polymerization initiator is 1 per 100 parts by weight of the above-mentioned ultraviolet cross-linkable acrylic ester. -20 parts by weight, and the polymerization inhibitor is used in a range of 0.1-1 part by weight, if necessary.
本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に、弾性
重合体１００重量部について、ポリイソシアネート１〜
１００重量部と無水シリカ粉末１〜３０重量部との含有
する。The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention further comprises polyisocyanate 1 to 100 parts by weight of the elastic polymer.
It contains 100 parts by weight and 1 to 30 parts by weight of anhydrous silica powder.
本発明者らは、既に弾性重合体と紫外線架橋性アクリル
酸エステルと重合開始剤とを主成分とする感圧接着剤組
成物にポリイソシアネート又は無水シリカをそれぞれ単
独で配合しても、これに紫外線を照射するとき、その接
着力が著しく低下することを見出しているが、上記感圧
接着剤組成物にポリイソシアネートと無水シリカ粉末と
を併用して添加するとき、ポリイソシアネートと無水シ
リカ粉末との相乗的効果によつて、それぞれを単独にて
配合する場合に比較して、紫外線照射後の接着力の低下
が一層顕著となることを見出したものである。明確な理
由は未だ明らかでなく、また、本発明は理由によつて何
ら制約を受けるものではないが、ポリイソシアネートの
存在による感圧接着剤組成物の紫外線照射後の接着力の
大幅な低下は、ポリイソシアネートと弾性重合体の有す
る官能基、例えば、飽和共重合ポリエステル樹脂の場合
であれば、カルボキシル基又は水酸基、との反応が関係
しているものとみられる。The present inventors have already added the polyisocyanate or anhydrous silica to the pressure-sensitive adhesive composition containing the elastic polymer, the UV-crosslinkable acrylic acid ester, and the polymerization initiator as the main components, respectively. When irradiating with ultraviolet rays, it has been found that the adhesive strength is significantly reduced, but when polyisocyanate and anhydrous silica powder are added together to the pressure-sensitive adhesive composition, polyisocyanate and anhydrous silica powder are added. It has been found that, by virtue of the synergistic effect of (1), the decrease in the adhesive force after ultraviolet irradiation becomes more remarkable as compared with the case where each of them is blended alone. The clear reason is not yet clear, and the present invention is not limited by the reason, but the presence of polyisocyanate does not significantly reduce the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive composition after ultraviolet irradiation. It is considered that the reaction between the polyisocyanate and the functional group of the elastic polymer, for example, in the case of the saturated copolyester resin, is a carboxyl group or a hydroxyl group.
しかし、ポリイソシアネートの配合量が弾性重合体１０
０重量部について、１重量部よりも少ないときは、紫外
線照射後の接着力の低下効果が十分でなく、他方、１０
０重量部よりも多いときは、得られる感圧接着剤組成物
の紫外線照射前の接着力が経時的に低下する。特に好ま
しい配合量の範囲は、弾性重合体１００重量部につい
て、１〜５０重量部であり、特に好ましくは１〜２０重
量部の範囲である。However, the amount of polyisocyanate compounded is 10
When the amount of 0 parts by weight is less than 1 part by weight, the effect of lowering the adhesive strength after irradiation with ultraviolet rays is not sufficient, while 10
When the amount is more than 0 parts by weight, the adhesive strength of the obtained pressure-sensitive adhesive composition before irradiation with ultraviolet rays decreases with time. A particularly preferable range of the compounding amount is 1 to 50 parts by weight, and particularly preferably 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the elastic polymer.
上記ポリイソシアネートとしては、特に限定されるもの
ではないが、本発明においては、ジイソシアネート及び
トリイソシアネートが好適である。ジイソシアネートと
しては、例えば、2,4-トルエンジイソシアネート、ｍ−
フエニレンジイソシアネート、ｍ−キシリレンジイソシ
アネート、4,4′−ジフエニルジイソシアネート、4,4′
−ジフエニルメタンジイソシアネート、1,5−ナフタレ
ンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジ
アニシジンジイソシアネートヘキサメチレンジイソシア
ネート等を例示することができる。また、トリイソシア
ネートも種々のものが市販されており、例えば、住友化
学工業(株)より「スミジユールＬ」として市販されてい
るトリメチロールプロパントルエンジイソシアネート
は、本発明において、ポリイソシアネートとして好適に
用いることができるトリイソシアネートの一例である。The polyisocyanate is not particularly limited, but in the present invention, diisocyanate and triisocyanate are preferable. Examples of the diisocyanate include 2,4-toluene diisocyanate and m-
Phenylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4'-diphenyl diisocyanate, 4,4 '
-Diphenyl methane diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, isophorone diisocyanate, dianisidine diisocyanate hexamethylene diisocyanate, etc. can be illustrated. In addition, various triisocyanates are commercially available, and for example, trimethylolpropane toluene diisocyanate commercially available as "Sumidayur L" from Sumitomo Chemical Co., Ltd. is preferably used as a polyisocyanate in the present invention. It is an example of a triisocyanate capable of producing.
また、ジイソシアネートとポリオールとをジイソシアネ
ートの過剰量の存在下に反応させて得られる末端イソシ
アネートの所謂ウレタンプレポリマーもポリイソシアネ
ートとして用いることができる。Further, a so-called urethane prepolymer of terminal isocyanate obtained by reacting diisocyanate and polyol in the presence of an excess amount of diisocyanate can also be used as polyisocyanate.
また、感圧接着剤組成物における無水シリカの配合量
は、弾性重合体１００重量部について１〜３０重量部の
範囲である。しかし、その配合量が弾性重合体１００重
量部について、１重量部よりも少ないときは、紫外線照
射後の接着力の低下効果に乏しく、他方、３０重量部よ
りも多いときは、得られる感圧接着組成物が著しく増粘
してゲル状となり、例えば、塗布操作が困難となる。好
ましい配合量の範囲は弾性重合体１００重量部について
１〜２０重量部の範囲であり、特に好ましくは１〜１５
重量部の範囲である。Further, the compounding amount of anhydrous silica in the pressure-sensitive adhesive composition is in the range of 1 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the elastic polymer. However, with respect to 100 parts by weight of the elastic polymer, when the amount is less than 1 part by weight, the effect of lowering the adhesive strength after irradiation with ultraviolet rays is poor, and when it is more than 30 parts by weight, the pressure-sensitive pressure-sensitive composition obtained is increased. The adhesive composition remarkably thickens and becomes a gel, and, for example, the coating operation becomes difficult. The preferable range of blending amount is in the range of 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the elastic polymer, particularly preferably 1 to 15 parts by weight.
The range is parts by weight.
上記無水シリカ粉末としては、特に限定されるものでは
ないが、本発明においては、微粒子であることが好まし
く、従つて、例えば、デグツサ社による「アエロジル」
を好ましく用いることができる。The anhydrous silica powder is not particularly limited, but in the present invention, it is preferably fine particles, and thus, for example, "Aerosil" by Degussa Co.
Can be preferably used.
本発明による感圧接着剤組成物は、上記した配合量にて
弾性重合体、紫外線架橋性アクリル酸エステル、粘着付
与剤、重合開始剤、ポリイソシアネート及び無水シリカ
粉末を、必要に応じて重合禁止剤、充填剤、老化防止
剤、着色剤等と共に、無水シリカ粉末を除く有機成分を
溶解する適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化水素、ケ
トン類、又はこれらの混合物に溶解し、無水シリカ粉末
を分散させることによつて、均一な液状組成物として得
ることができる。溶剤としては、例えば、具体的にはト
ルエンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用
いられるが、しかし、これに限定されるものではない。
また、接着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用
途等に応じて適宜に選ばれるが、通常、１０〜５０重量
％の範囲である。しかし、これに限定されものではな
い。The pressure-sensitive adhesive composition according to the present invention contains an elastic polymer, a UV-crosslinkable acrylic acid ester, a tackifier, a polymerization initiator, a polyisocyanate and an anhydrous silica powder in the above-described blending amount, if necessary. Agents, fillers, anti-aging agents, colorants, etc., along with an appropriate organic solvent that dissolves organic components other than anhydrous silica powder, for example, aromatic hydrocarbons, ketones, or dissolved in these mixtures, anhydrous silica powder By dispersing, it is possible to obtain a uniform liquid composition. As the solvent, for example, a mixed solvent of toluene and methyl ethyl ketone is preferably used, but the solvent is not limited thereto.
The content of the elastic polymer in the adhesive composition is appropriately selected depending on the application etc., but is usually in the range of 10 to 50% by weight. However, it is not limited to this.
上述したような本圧明において用いる感圧接着剤組成物
の調製方法は、何ら制限されるものではないが、通常、
弾性重合体及び粘着付与剤は溶液の形態にて市販されて
おり、これらを使用することが便利であるので、例え
ば、これらの溶液を混合し、これに紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル、重合開始剤、ポリイソシアネート及び無
水シリカ粉末、更に必要に応じて重合禁止剤、充填剤、
老化防止剤、着色剤等を添加し、均一に混合すればよ
い。The method for preparing the pressure-sensitive adhesive composition used in the present pressure as described above is not particularly limited, but usually,
Since the elastic polymer and the tackifier are commercially available in the form of a solution and it is convenient to use these, for example, these solutions are mixed, and then an ultraviolet crosslinkable acrylic ester, a polymerization initiator is added thereto. , Polyisocyanate and anhydrous silica powder, if necessary, a polymerization inhibitor, a filler,
An antiaging agent, a colorant, etc. may be added and mixed uniformly.
更に、本発明において用いる感圧接着剤組成物は、必要
に応じて、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテ
ン、鉱油、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化
防止剤等を適宜に含有していてもよい。Furthermore, the pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention optionally contains a plasticizer such as liquid polyacrylic acid ester, liquid polybutene, mineral oil and lanolin, and also a filler, an antiaging agent and the like. You may have.
本発明による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得
る基材シート上に上記したような感圧接着剤組成物の層
が形成されている。従つて、例えば、上述したような液
状組成物としての感圧性接着剤組成物を基材シート上に
塗布し、乾燥することによつて得ることができる。In the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention, a layer of the pressure-sensitive adhesive composition as described above is formed on a base sheet that allows ultraviolet rays to pass therethrough. Therefore, for example, it can be obtained by applying the pressure-sensitive adhesive composition as the liquid composition as described above on the substrate sheet and drying.
上記基材シートとしては、紫外線を透過し得る限りは、
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフイン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミ
ド、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シ
ートが好適に用いられる。As the substrate sheet, as long as it can transmit ultraviolet rays,
Various sheets can be used without particular limitation, but a transparent or translucent synthetic resin sheet is usually used. For example, a resin sheet made of vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, vinylidene chloride resin, polyolefin, acetyl cellulose, polyvinyl alcohol, polyamide, polyester, polycarbonate or the like is preferable. Used for.
上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価であるもの
で、本発明において特に好適に用いることができる。ま
た、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含有する
基材シートとして、好適に用いる得るものもある。例え
ば、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビ
ニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル−アクリル
酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、アセチ
ルセルロース等を挙げることができる。Among the various base resin sheets described above, a resin sheet made of polyvinyl chloride or a copolymer of vinyl chloride containing a plasticizer is flexible and inexpensive, and is particularly preferable in the present invention. Can be used for. In addition to the vinyl chloride resin sheet, there are some that can be suitably used as the base material sheet containing the plasticizer. For example, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, vinyl chloride-acrylic acid ester copolymer resin, polyvinylidene chloride, acetyl cellulose and the like can be mentioned.
ここに、可塑剤としては、特に制限されるものではない
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブ
チルエンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフエート、トリオクチルホスフエート、ト
リフエニルホスフエート、2-エチルヘキシルジフエニル
ホスフエート、クレジルジフエニルホスフエート等のリ
ン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセバ
ケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸トリ
−2-エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプロピ
レンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポリエ
ステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑
剤、塩素化パラフイン、塩素化脂肪酸エステル等の塩素
系可塑剤等を挙げることができる。Here, the plasticizer is not particularly limited, but for example, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, didecyl phthalate, ditridecyl phthalate, phthalic acid diesters such as butylendyl phthalate, tricresyl phosphate, and trisyl phthalate. Phosphate esters such as octyl phosphate, triphenyl phosphate, 2-ethylhexyl diphenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, dioctyl adipate, dioctyl sebacate, dioctyl azelate, tri-2-ethylhexyl acetylcitrate, etc. Polyester plasticizers such as fatty acid diesters, polypropylene adipates, polypropylene sebacates, epoxy plasticizers such as epoxidized soybean oil, chlorine plasticizers such as chlorinated paraffins and chlorinated fatty acid esters. be able to.
しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいため、感圧接着剤組成物
に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シー
ト中に移行し、このような相互移行によつて、感圧接着
性シートの紫外線照射後の接着力の低減効果が著しく減
少する。However, as described above, when a resin sheet containing a plasticizer is used as the base resin sheet of the pressure-sensitive adhesive sheet, the plasticizer migrates from the resin sheet into the pressure-sensitive adhesive composition, Usually, since the plasticizer and the UV-crosslinkable acrylic ester have good compatibility, the UV-crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition migrates into the resin sheet, and by such mutual migration, The effect of reducing the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive sheet after ultraviolet irradiation is significantly reduced.
従つて、本発明においては、感圧接着性シートの基材シ
ートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合
は、この基材シートと感圧接着性シートとの間に可塑剤
及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させない樹
脂層からなるバリヤー層を介在させることが好ましい。
但し、このバリヤー層は、紫外線の透過を妨げるもので
あつてはならない。Therefore, in the present invention, when a resin sheet containing a plasticizer is used as the base sheet of the pressure-sensitive adhesive sheet, the plasticizer and the UV-crosslinking are present between the base sheet and the pressure-sensitive adhesive sheet. It is preferable to interpose a barrier layer made of a resin layer that does not allow the permeation acrylic ester to pass through.
However, this barrier layer must not prevent the transmission of ultraviolet rays.
即ち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを防止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを防止し、このようにし
て、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中
に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋
性アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感
圧接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低
下を防止する。That is, this barrier layer does not hinder the transmission of ultraviolet rays at all, but it prevents the plasticizer contained in the base resin sheet from migrating into the pressure-sensitive adhesive composition, and at the same time, the pressure-sensitive adhesive composition. It prevents the UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the base resin sheet from migrating to the base resin sheet, thus holding the plasticizer contained in the base resin sheet in the base material, The UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition is retained in the adhesive composition to prevent the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive sheet from decreasing with time due to UV irradiation.
前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフイン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフイルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従つて、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフイルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによつて、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜を
形成させることによつても、バリヤー層を得ることがで
きる。Examples of the barrier layer include poly-α-olefin such as polyethylene and polypropylene, and a film of polyalkylene terephthalate such as polyethylene terephthalate,
A resin coating film, for example, a resin coating film layer such as a modified polyacrylic resin is preferably used. Therefore, the barrier layer is formed by pressing a film made of the above-exemplified resin on the base resin sheet, or by applying a melt of the resin and cooling, or by applying a solution of the above resin and drying. Therefore, it can be formed. The barrier layer can also be obtained by, for example, applying a modified polyacrylic resin solution, heating and drying it as necessary to form a coating film.
上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従つて、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂として
は、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等
が好適に用いられる。As the above-mentioned modified polyacrylic resin, various ones are conventionally known, but in the present invention, they are generally excellent in solvent resistance, and accordingly, are included in the ultraviolet-crosslinkable acrylic acid ester and the base resin sheet. An alkyd-modified polyacrylic resin that does not dissolve or swell in a plasticizer and a thermosetting polyacrylic resin are suitable. As the thermosetting polyacrylic resin, for example, acid type, hydroxyl group type, epoxy type, amide type and the like are preferably used.
しかし、本発明においては、バリヤー層は、前述したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実
質的に透過させない限りは、特に、その素材において制
限されるものではないことは容易に理解されるところで
あつて、本発明において用いられる個々の具体的な紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択さ
れる。However, in the present invention, the barrier layer, as described above, unless it substantially permeates the UV-crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition and the plasticizer contained in the base resin sheet, In particular, it will be readily understood that the material is not limited, and the selection will depend on the particular UV-crosslinkable acrylic ester ester and plasticizer used in the present invention.
本発明による感圧接着シートへの紫外線の照射手段及び
照射方法は特に制限されず、紫外線硬化性樹脂塗料や紫
外線硬化性接着剤を技術分野において、従来より通常に
行なわれている手段及び方法によることができる。例え
ば、照射手段として、キセノンランプ、低圧、中圧、高
圧或いは超高圧水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数
秒乃至数分、照射すればよい。The means for irradiating the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention with ultraviolet rays and the irradiation method are not particularly limited, and the means and methods conventionally used for UV-curable resin coatings and UV-curable adhesives in the technical field are conventionally used. be able to. For example, an ultraviolet source such as a xenon lamp, a low pressure, a medium pressure, a high pressure, or an ultrahigh pressure mercury lamp may be used as the irradiation means, and irradiation may be performed for several seconds to several minutes.
（発明の効果） 以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと粘着付与剤と重合開始剤
とポリイソシアネートと無水シリカ粉末を主成分として
含有する感圧接着剤の層が形成されており、ここに、上
記感圧接着剤組成物は、その理由は必ずしも明らかでは
ないが、紫外線の照射によつてその接着力が著しく低減
し、又は実質的に消滅するので、かかる感圧接着性シー
トを被着面に適用した後、上記基材樹脂シート側から紫
外線を照射することによつて、この感圧接着性シートを
被着面から容易に剥離することができる。(Effects of the Invention) As described above, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention comprises an elastic polymer, an ultraviolet-crosslinkable acrylic ester, a tackifier, and a polymerization initiator on a base resin sheet that can transmit ultraviolet rays. A layer of a pressure-sensitive adhesive containing polyisocyanate and anhydrous silica powder as a main component is formed, and the reason for the pressure-sensitive adhesive composition is not clear here. Since its adhesive force is remarkably reduced or substantially disappears, by applying such a pressure-sensitive adhesive sheet to the adherend surface and then irradiating ultraviolet rays from the base resin sheet side, The pressure-sensitive adhesive sheet can be easily peeled off from the adhered surface.
従つて、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウエハーのダイシング用フイル
ムとして好適に用いることができる。Therefore, the pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention can be suitably used, for example, as a film for dicing a silicon wafer, as described above.
（実施例） 以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。(Example) An example will be shown below, but the present invention is not limited to this example. In the examples, "parts" means "parts by weight".
実施例１ 離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、１
２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
１０μｍ厚みに形成した。Example 1 A release paper was coated with a pressure-sensitive adhesive having the composition shown in Table 1, and 1
After drying at 20 ° C. for 1 minute, the pressure-sensitive adhesive layer was formed as a solid content to have a thickness of 10 μm.
ここに、飽和共重合ポリエステル樹脂としては、テレフ
タル酸／セバシン酸モル比７０／３０の飽和２価カルボ
ン酸混合物とエチレングリコールとを等モルにて重縮合
させて得られるガラス転移点約１０℃の樹脂を用いた。Here, as the saturated copolyester resin, a saturated divalent carboxylic acid mixture having a terephthalic acid / sebacic acid molar ratio of 70/30 and ethylene glycol are polycondensed in an equimolar amount and have a glass transition point of about 10 ° C. Resin was used.
次に、平均重合度１３００のポリ塩化ビニル１００部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエステル系
可塑剤３５部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み０．１mmのシート上に、変性
アクリル樹脂溶液を塗布し、乾燥して、バリヤー層を形
成した。この後、この基材樹脂シートのバリヤー層の表
面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明に
よる感圧接着性シートを得た。Next, 100 parts of polyvinyl chloride having an average degree of polymerization of 1300,
A modified acrylic resin solution is applied onto a sheet having a thickness of 0.1 mm formed from a vinyl chloride resin composition composed of 35 parts of a dioctyl phthalate or polyester plasticizer as a plasticizer and an appropriate amount of a stabilizer, and the barrier is dried. Layers were formed. After that, the pressure-sensitive adhesive layer was laminated on the surface of the barrier layer of the base resin sheet to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention.
このようにして得たそれぞれの感圧接着性シートを所定
の温度で所定の時間放置した後、離型紙を剥離して、そ
のままにて接着力を測定し、また、別に塩化ビニル樹脂
シート側から主波長３６５ｍμ、１２０Ｗ／cmにて紫外
線を７秒間照射した後、接着力を測定した。結果を第１
表に示す。Each pressure-sensitive adhesive sheet thus obtained was allowed to stand at a predetermined temperature for a predetermined time, the release paper was peeled off, the adhesive strength was measured as it was, and separately from the vinyl chloride resin sheet side. After irradiating with ultraviolet rays for 7 seconds at a main wavelength of 365 mμ and 120 W / cm, the adhesive strength was measured. First result
Shown in the table.
本発明の感圧接着性シートによれば、長時間後も紫外線
照射による接着力の低下が特に顕著であり、適当な配合
設計によつて、当初数百ｇ／２５mmの接着力を有せし
め、紫外線照射後は数十ｇ／２５mm程度にまで接着力を
減少させ、又は実質的に消滅させることができるので、
前述したように、シリコンウエハーのダイシングに好適
に用いることができる。According to the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, the decrease of the adhesive force due to the irradiation of ultraviolet rays is particularly remarkable even after a long period of time, and the adhesive force of several hundred g / 25 mm is initially provided by an appropriate composition design. After UV irradiation, the adhesive strength can be reduced to about several tens of g / 25 mm, or it can be virtually eliminated.
As described above, it can be suitably used for dicing a silicon wafer.
尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即ち、感圧
接着性シートを幅２５mm、長さ１００mmに裁断して試験
片とし、これを被着体としてのステンレス板上に重ね、
３kgローラにて５回往復して押圧した後、シヨツパーに
て引張速度３００mm／分にて１８０゜剥離試験を行なつ
た。The measuring method of the adhesive force is as follows. That is, a pressure-sensitive adhesive sheet is cut into a width of 25 mm and a length of 100 mm to form a test piece, which is stacked on a stainless steel plate as an adherend.
After pressing back and forth 5 times with a 3 kg roller, a 180 ° peel test was carried out with a shocker at a pulling speed of 300 mm / min.
比較例１ 比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末
の一方を含有しないほかは、実施例１と同じ組成の感圧
接着剤組成物の代表例を調製し、実施例１と同様にして
感圧接着性シートを調製した。Comparative Example 1 For comparison, a representative example of a pressure-sensitive adhesive composition having the same composition as in Example 1 except that one of polyisocyanate and anhydrous silica powder was not contained was prepared and the same procedure as in Example 1 was performed. A pressure-adhesive sheet was prepared.
これら感圧接着性シートによれば、前記実施例による感
圧接着性シートに比較して、紫外線照射前の接着力に対
する紫外線照射後のそれの低下幅が小さい。According to these pressure-sensitive adhesive sheets, as compared with the pressure-sensitive adhesive sheets according to the above-described examples, the degree of decrease in the adhesive force after ultraviolet irradiation with respect to the adhesive force before ultraviolet irradiation is small.
更に、比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリ
カのいずれをも含有しない感圧接着剤組成物を調製し、
実施例１と同様にして感圧接着性シートを調製した。こ
れら感圧接着性シートは、酢外線照射によつても、その
接着力が実施的に変化しないことが明らかである。Furthermore, for comparison, a pressure-sensitive adhesive composition containing neither polyisocyanate nor anhydrous silica was prepared,
A pressure-sensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1. It is clear that the adhesive strength of these pressure-sensitive adhesive sheets does not change practically even when exposed to the external rays of vinegar.
実施例２ 弾性重合体としてポリアクリル酸エステル又はアクリル
酸エステルの共重合体を含むアクリル系粘着剤溶液（三
洋化成工業(株)製ポリシツク 610SA、ポリアクリル酸エ
ステル又はアクリル酸エステル共重合体含有量約４０重
量％）１００重量部に第２表に示す量にてジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート及びベンゾインイソプロ
ピルエーテルを溶解し、更に、実施例１において用いた
のと同じポリイソシアネートを添加混合して、感圧接着
剤組成物を調製した。Example 2 Acrylic pressure-sensitive adhesive solution containing polyacrylic acid ester or copolymer of acrylic acid ester as an elastic polymer (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd. Polysic 610SA, polyacrylic acid ester or acrylic acid ester copolymer content Dipentaerythritol hexaacrylate and benzoin isopropyl ether were dissolved in 100 parts by weight (about 40% by weight) in the amounts shown in Table 2, and the same polyisocyanate as used in Example 1 was further added and mixed to give a reaction mixture. A pressure-sensitive adhesive composition was prepared.
この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、１２０℃で
１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として１０μｍ
厚みに形成した。This pressure-sensitive adhesive composition was applied onto a release paper and dried at 120 ° C. for 1 minute, and the pressure-sensitive adhesive layer had a solid content of 10 μm.
It was formed to a thickness.
次に、実施例１におけると同じ厚み０．１mmのシート上
に実施例１と同じ変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾燥
して、バリヤー層を形成した後、この基材樹脂シートの
バリヤー層の表面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わ
せて、本発明による感圧接着性シートを得た。Next, the same modified acrylic resin solution as in Example 1 was applied onto a sheet having the same thickness as in Example 1 and dried to form a barrier layer. The pressure-sensitive adhesive layer was laminated on the surface and laminated to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention.
このようにして得た感圧接着性シートについて、実施例
１と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第２表に示す。With respect to the pressure-sensitive adhesive sheet thus obtained, the adhesive force after ultraviolet irradiation was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2.
比較例２ 比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末
の一方を含有しないほか、実施例２と同じ組成の感圧接
着剤組成物の代表例を調製し、 実施例１と同様にして感圧接着性シートを調製した。Comparative Example 2 For comparison, a representative example of a pressure-sensitive adhesive composition having the same composition as in Example 2 except that one of polyisocyanate and anhydrous silica powder was not included, was prepared. A pressure-sensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1.
これら感圧接着性シートによれば、前記実施例による感
圧接着性シートに比較して、紫外線照射前の接着力に対
する紫外線照射後のそれの低下幅が小さい。According to these pressure-sensitive adhesive sheets, as compared with the pressure-sensitive adhesive sheets according to the above-described examples, the degree of decrease in the adhesive force after ultraviolet irradiation with respect to the adhesive force before ultraviolet irradiation is small.
更に、比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリ
カのいずれをも含有しない感圧接着剤組成物を調製し、
実施例１と同様にして感圧接着性シートを調製した。こ
れら感圧接着性シートは、紫外線照射によつても、その
接着力が実質的に変化しないことが明らかである。Furthermore, for comparison, a pressure-sensitive adhesive composition containing neither polyisocyanate nor anhydrous silica was prepared,
A pressure-sensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1. It is apparent that the adhesive force of these pressure-sensitive adhesive sheets does not substantially change even when irradiated with ultraviolet rays.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０９Ｊ 11/06 ＪＡＸ 7415−4Ｊ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location C09J 11/06 JAX 7415-4J
Claims (5)
量部と、 (c) 粘着付与剤１０〜２００重量部と、 (d) ポリイソシアネート１〜１００重量部と、 (e) 無水シリカ粉末１〜３０重量部とを (f) 重合開始剤と共に 含む感圧接着剤の層が形成されていることを特徴とする
紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着性シー
ト。1. A base material sheet capable of transmitting ultraviolet rays, (b) 15 to 200 parts by weight of a UV-crosslinkable acrylic ester, and (c) a tackifier to 100 parts by weight of an elastic polymer. 10 to 200 parts by weight of the agent, (d) 1 to 100 parts by weight of polyisocyanate, and (e) 1 to 30 parts by weight of anhydrous silica powder, and (f) a layer of a pressure sensitive adhesive containing a polymerization initiator are formed. The pressure-sensitive adhesive sheet capable of reducing the adhesive force by ultraviolet irradiation.
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感
圧接着性シート。2. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein the elastic polymer is a saturated copolyester resin.
アクリル酸エステルの共重合体であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。3. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein the elastic polymer is a polyacrylic acid ester or a copolymer of acrylic acid ester.
材樹脂ートと、その上のバリヤー層と、その上の感圧接
着剤組成物の層とからなり、上記感圧接着剤組成物が (a) 弾性重合体１００重量部に対して、 (b) 紫外線架橋性アクリル酸エステル１５〜２００重
量部と、 (c) 粘着付与剤１０〜２００重量部と、 (d) ポリイソシアネート１〜１００重量部と、 (e) 無水シリカ粉末１〜３０重量部とを (f) 重合開始剤と共に 含み、上記基剤樹脂シートが可塑剤を含有し、上記バリ
ヤー層が上記可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルを透過させないが、紫外線を透過させ得る樹脂からな
ることを特徴とする紫外線照射によつて接着力を低減し
得る感圧接着性シート。4. A pressure sensitive adhesive comprising a base resin sheet containing a plasticizer and capable of transmitting ultraviolet rays, a barrier layer thereon, and a pressure sensitive adhesive composition layer thereon. The composition is (a) 100 parts by weight of the elastic polymer, (b) 15 to 200 parts by weight of a UV-crosslinkable acrylic ester, (c) 10 to 200 parts by weight of a tackifier, and (d) a polyisocyanate. 1 to 100 parts by weight and (e) 1 to 30 parts by weight of anhydrous silica powder together with (f) a polymerization initiator, the base resin sheet contains a plasticizer, and the barrier layer contains the plasticizer and ultraviolet rays. A pressure-sensitive adhesive sheet capable of reducing adhesive strength by irradiation of ultraviolet rays, which is made of a resin which does not allow passage of crosslinkable acrylic acid ester but allows transmission of ultraviolet rays.
化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からなることを特徴
とする特許請求の範囲第４項記載の感圧接着性シート。5. The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 4, wherein the base resin sheet is made of polyvinyl chloride or a vinyl chloride copolymer containing a plasticizer.
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60196545A JPH0655929B2 (en) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | Pressure sensitive adhesive sheet |
| EP19860200196 EP0194706B1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
| EP19860200195 EP0191534B1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A method for dicing a semiconductor wafer |
| DE8686200195T DE3671577D1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | METHOD FOR CUTTING A SEMICONDUCTOR DISC IN CUBE. |
| DE8686200196T DE3665191D1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
| CA000501750A CA1272542A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-13 | Pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
| CA000501753A CA1252579A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-13 | Method for dicing a semiconductor wafer |
| US06/829,814 US4720317A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-14 | Method for dicing a semiconductor wafer |
| US06/829,818 US4818621A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-14 | Pressure sensitive adhesives with reducible adhesive force using radiation, and films therewith |
| US07/108,202 US4968559A (en) | 1985-02-14 | 1987-10-14 | Pressure sensitive adhesive film with barrier layer |
| US07/287,089 US4913960A (en) | 1985-02-14 | 1988-12-21 | Pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60196545A JPH0655929B2 (en) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | Pressure sensitive adhesive sheet |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6024676A Division JP2645975B2 (en) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | Pressure sensitive adhesive composition |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6254779A JPS6254779A (en) | 1987-03-10 |
| JPH0655929B2 true JPH0655929B2 (en) | 1994-07-27 |
Family
ID=16359521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60196545A Expired - Fee Related JPH0655929B2 (en) | 1985-02-14 | 1985-09-04 | Pressure sensitive adhesive sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655929B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3565570B2 (en) * | 1993-08-25 | 2004-09-15 | 新日鐵化学株式会社 | Method for producing bisphenol A |
| JP4674836B2 (en) * | 2001-02-13 | 2011-04-20 | 日東電工株式会社 | Dicing adhesive sheet |
| JP5464810B2 (en) * | 2008-03-13 | 2014-04-09 | 日本合成化学工業株式会社 | Peelable pressure-sensitive adhesive, peelable pressure-sensitive adhesive sheet, peeling method of peelable pressure-sensitive adhesive sheet |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038524A (en) * | 1973-08-07 | 1975-04-10 | ||
| JPS53121832A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Method of protecting surface |
| JPS58173179A (en) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | Nhk Spring Co Ltd | Foamed sheet material with adhesive |
| JPS59179604A (en) * | 1983-03-31 | 1984-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | Curable resin material |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4286047A (en) * | 1979-07-25 | 1981-08-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Pressure-sensitive adhesive susceptible to ultraviolet light-induced detackification |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP60196545A patent/JPH0655929B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038524A (en) * | 1973-08-07 | 1975-04-10 | ||
| JPS53121832A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Method of protecting surface |
| JPS58173179A (en) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | Nhk Spring Co Ltd | Foamed sheet material with adhesive |
| JPS59179604A (en) * | 1983-03-31 | 1984-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | Curable resin material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6254779A (en) | 1987-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0191534B1 (en) | A method for dicing a semiconductor wafer | |
| US4968559A (en) | Pressure sensitive adhesive film with barrier layer | |
| JP3921017B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| EP0902071B1 (en) | Thermosetting pressure-sensitive adhesive and adhesive sheets made by using the same | |
| JPH11116927A (en) | Acrylic pressure-sensitive adhesive composition, pressure-sensitive adhesive tape, and formation of pressure-sensitive adhesive layer | |
| JPH068405B2 (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JPH0655929B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| JPH0635569B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| JP2510416B2 (en) | Semiconductor wafer dicing method | |
| JPH0613681B2 (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JPS63181347A (en) | Pressure sensitive adhesive sheet and dicing method for semiconductor wafer applying the sheet | |
| JP2645975B2 (en) | Pressure sensitive adhesive composition | |
| JP2007051293A (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JPH0739564B2 (en) | Pressure sensitive adhesive composition | |
| JPS6254782A (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JPH07772B2 (en) | Pressure sensitive adhesive composition | |
| JP2618356B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| JPH0689303B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| JPH08509770A (en) | UV curable acrylic pressure sensitive adhesive composition containing carbamate functional monomer and adhesive prepared therefrom | |
| JPH0739565B2 (en) | Pressure sensitive adhesive sheet | |
| JPH08225779A (en) | Pressure-sensitive adhesive composition | |
| JPH0582059B2 (en) | ||
| JPH0542138B2 (en) | ||
| JPS6254776A (en) | Pressure-sensitive adhesion composition and pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JP2000281992A (en) | Sheet for fixing semiconductor wafer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |