JPH0678997B2 - エレクトロンプローブマイクロアナライザによる定性分析方法 - Google Patents
エレクトロンプローブマイクロアナライザによる定性分析方法Info
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- JPH0678997B2 JPH0678997B2 JP58248820A JP24882083A JPH0678997B2 JP H0678997 B2 JPH0678997 B2 JP H0678997B2 JP 58248820 A JP58248820 A JP 58248820A JP 24882083 A JP24882083 A JP 24882083A JP H0678997 B2 JPH0678997 B2 JP H0678997B2
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- JP
- Japan
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- epma
- qualitative analysis
- electron probe
- probe microanalyzer
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明は主としてエレクトロンプロ−ブマイクロアナラ
イザ（EPMA）を適用して得られた測定データを定性分析
する方法に関する。
イザ（EPMA）を適用して得られた測定データを定性分析
する方法に関する。
（ロ） 従来技術 一般にEPMAを適用して試料中に含有される元素の定数分
析を行なうには特性Ｘ線強度を測定して波長プロフイー
ルを求める。この場合、従来は元素の最低励起電圧を考
慮していないために、特に試料中に微量元素が含まれて
いるときには得られた波長プロフイールについて、それ
が単なるバツクグラウンドであるのか、本来の微量元素
の示すピークなのかどうか明確に判断することができ
ず、ピーク認定を誤ることがある。このため、定性分析
の信頼性が未だ不充分であるという問題がある。
析を行なうには特性Ｘ線強度を測定して波長プロフイー
ルを求める。この場合、従来は元素の最低励起電圧を考
慮していないために、特に試料中に微量元素が含まれて
いるときには得られた波長プロフイールについて、それ
が単なるバツクグラウンドであるのか、本来の微量元素
の示すピークなのかどうか明確に判断することができ
ず、ピーク認定を誤ることがある。このため、定性分析
の信頼性が未だ不充分であるという問題がある。
（ハ） 目的 本発明は従来のかかる問題点を解消し、含有元素の検出
精度を高め、分析の信頼度を向上させることを目的とす
る。
精度を高め、分析の信頼度を向上させることを目的とす
る。
（ニ） 構成 本発明はこのような目的を達成するためEPMAの加速電圧
を定性分析の条件としてつけ加えたものである。すなわ
ち、本発明はエレクトロンプロ−ブマイクロアナライザ
（EPMA）を適用し、試料の特性Ｘ線強度を測定して波長
プロフィールを求め、この波長プロフィール内に含まれ
る最大ピーク値を示す波長を基に元素を同定する定性分
析方法であって、同定元素の最低励起電圧と前記EPMAの
加速電圧とを比較して、同定元素の最低励起電圧がEPMA
の加速電圧以上ならば該同定元素が存在しないと判断し
て定性分析の対象から外し、同定元素の最低励起電圧が
EPMAの加速電圧以下ならば該同定元素が存在すると判断
して定性分析の対象とするようにしている。
を定性分析の条件としてつけ加えたものである。すなわ
ち、本発明はエレクトロンプロ−ブマイクロアナライザ
（EPMA）を適用し、試料の特性Ｘ線強度を測定して波長
プロフィールを求め、この波長プロフィール内に含まれ
る最大ピーク値を示す波長を基に元素を同定する定性分
析方法であって、同定元素の最低励起電圧と前記EPMAの
加速電圧とを比較して、同定元素の最低励起電圧がEPMA
の加速電圧以上ならば該同定元素が存在しないと判断し
て定性分析の対象から外し、同定元素の最低励起電圧が
EPMAの加速電圧以下ならば該同定元素が存在すると判断
して定性分析の対象とするようにしている。
（ホ） 実施例 以下、本発明を実施例について図面に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明を実施するために適用される定性分析装
置とEPMAとを含むブロック構成図である。同図において
符号１はEPMA、２は定性分析装置、４はEPMA1と定性分
析装置２とを接続するインタフエイスである。この定性
分析装置２は各種制御処理を行なう中央制御部６、特性
Ｘ線波長データフアイルや各種プログラムデータが記憶
された第１記憶部、EPMA1で測定された特性Ｘ線強度デ
ータや中央制御部６で処理したデータを一時記憶する第
２記憶部、特性Ｘ線の波長プロフイール中に含まれるピ
ークの有無を検出するピーク検出部12、特性Ｘ線の強度
データの引き算などの演算処理を行なう演算処理部14、
元素固有の最低励起電圧とEPMA1の加速電圧とを比較す
る比較部16および演算結果を表示する表示部18とを備え
て構成される。
置とEPMAとを含むブロック構成図である。同図において
符号１はEPMA、２は定性分析装置、４はEPMA1と定性分
析装置２とを接続するインタフエイスである。この定性
分析装置２は各種制御処理を行なう中央制御部６、特性
Ｘ線波長データフアイルや各種プログラムデータが記憶
された第１記憶部、EPMA1で測定された特性Ｘ線強度デ
ータや中央制御部６で処理したデータを一時記憶する第
２記憶部、特性Ｘ線の波長プロフイール中に含まれるピ
ークの有無を検出するピーク検出部12、特性Ｘ線の強度
データの引き算などの演算処理を行なう演算処理部14、
元素固有の最低励起電圧とEPMA1の加速電圧とを比較す
る比較部16および演算結果を表示する表示部18とを備え
て構成される。
次に本装置を用いた定性分析方法について第２図のフロ
ーチヤートを参照して説明する。
ーチヤートを参照して説明する。
まずEPMA1で、分析試料について点分析を行ない、EPMA1
のＸ線分光器を回して試料から放出される特性Ｘ線の強
度を測定し、得られる波長プロフイールのデータをイン
タフエイス４を介して定性分析装置２に送出する（ステ
ツプn1）。定性分析装置２の中央制御部６に入力された
波長プロフイールのデータはピーク検出部12に転送され
る。ピーク検出部12は得られた波長プロフイールについ
てピークが存在するか否かを検出する（ステツプn2）。
波長プロフイールにたとえば第３図（ａ）に示すような
ピークが存在する場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク
（第３図（ａ）中のPA1）が一つの元素Ａの一次線強度
を示すので、中央制御部６はピーク検出器12のピーク検
出信号に基づき当該ピークPA1を示す元素を第１記憶部
８に記憶された特性Ｘ線波長データフアイルを参照して
同定する（ステツプn3）。続いて比較部16は同定したこ
の元素Ａについて、その最低励起電圧EAとEPMAの加速電
圧V0とを比較する（ステツプn4）。同定元素の最低励起
電圧EAがEPMAの加速電圧V0より大きい場合にはその元素
Ａが存在しないので、中央制御部６はその元素Ａについ
ては分析対象から外す（ステツプn5）。同定元素Ａの最
低励起電圧EAがEPMAの加速電圧V0より低い場合には演算
処理部14で該元素Ａの二次線以上の高次線のＸ線強度P
A2〜PA4を一次線の強度PA1割合から算出する。そして、
この同定元素Ａとこれが示す強度データPA1〜PA4を第２
記憶部10にメモリする（ステツプn6）。さらに、演算処
理部14で先に測定して得られた波長プロフイール（第３
図（ａ））より同定元素Ａの強度データPA1〜PA4を差し
引く（ステツプn7）。次いで、差し引かれた残りの波長
プロフイールにピークが存在するか否かをピーク検出部
12で検出する（ステツプn8）。第３図（ｂ）に示すよう
にピークが依然存在する場合には、順次ステツプn3に戻
り、ステツプn3からステツプn4,n6,n7,n8あるいはステ
ツプn3からステツプn4,n5,n8の操作を繰返す。このよう
に、分析過程で常に元素の最低励起電圧とEPMAの加速電
圧とが比較されるので、本来存在しないはずの元素まで
が同定されてしまうといつた誤つたピーク認定が防止さ
れることになる。そして、処理結果が表示器18に表示さ
れる。
のＸ線分光器を回して試料から放出される特性Ｘ線の強
度を測定し、得られる波長プロフイールのデータをイン
タフエイス４を介して定性分析装置２に送出する（ステ
ツプn1）。定性分析装置２の中央制御部６に入力された
波長プロフイールのデータはピーク検出部12に転送され
る。ピーク検出部12は得られた波長プロフイールについ
てピークが存在するか否かを検出する（ステツプn2）。
波長プロフイールにたとえば第３図（ａ）に示すような
ピークが存在する場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク
（第３図（ａ）中のPA1）が一つの元素Ａの一次線強度
を示すので、中央制御部６はピーク検出器12のピーク検
出信号に基づき当該ピークPA1を示す元素を第１記憶部
８に記憶された特性Ｘ線波長データフアイルを参照して
同定する（ステツプn3）。続いて比較部16は同定したこ
の元素Ａについて、その最低励起電圧EAとEPMAの加速電
圧V0とを比較する（ステツプn4）。同定元素の最低励起
電圧EAがEPMAの加速電圧V0より大きい場合にはその元素
Ａが存在しないので、中央制御部６はその元素Ａについ
ては分析対象から外す（ステツプn5）。同定元素Ａの最
低励起電圧EAがEPMAの加速電圧V0より低い場合には演算
処理部14で該元素Ａの二次線以上の高次線のＸ線強度P
A2〜PA4を一次線の強度PA1割合から算出する。そして、
この同定元素Ａとこれが示す強度データPA1〜PA4を第２
記憶部10にメモリする（ステツプn6）。さらに、演算処
理部14で先に測定して得られた波長プロフイール（第３
図（ａ））より同定元素Ａの強度データPA1〜PA4を差し
引く（ステツプn7）。次いで、差し引かれた残りの波長
プロフイールにピークが存在するか否かをピーク検出部
12で検出する（ステツプn8）。第３図（ｂ）に示すよう
にピークが依然存在する場合には、順次ステツプn3に戻
り、ステツプn3からステツプn4,n6,n7,n8あるいはステ
ツプn3からステツプn4,n5,n8の操作を繰返す。このよう
に、分析過程で常に元素の最低励起電圧とEPMAの加速電
圧とが比較されるので、本来存在しないはずの元素まで
が同定されてしまうといつた誤つたピーク認定が防止さ
れることになる。そして、処理結果が表示器18に表示さ
れる。
（ヘ） 効果 以上のように、本発明によれば分析過程で逐次EPMAの加
速電圧と元素の励起電圧とが比較考慮されるのでピーク
認定誤りが防止され、含有元素の検出精度が高まる。従
つて、分析の信頼度が一層向上するという優れた効果が
得られる。
速電圧と元素の励起電圧とが比較考慮されるのでピーク
認定誤りが防止され、含有元素の検出精度が高まる。従
つて、分析の信頼度が一層向上するという優れた効果が
得られる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は本発明を実施
するために適用される装置のブロツク構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するためのフローチヤート、第３
図は波長プロフィールを示す線図である。
するために適用される装置のブロツク構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するためのフローチヤート、第３
図は波長プロフィールを示す線図である。
Claims (1)
- 【請求項１】エレクトロンプロ−ブマイクロアナライザ
（EPMA）を適用し、試料の特性Ｘ線強度を測定して波長
プロフィールを求め、この波長プロフィール内に含まれ
る最大ピーク値を示す波長を基に元素を同定する定性分
析方法において、 同定元素の最低励起電圧と前記EPMAの加速電圧とを比較
して、同定元素の最低励起電圧がEPMAの加速電圧以下な
らば該同定元素が存在しないと判断して定性分析の対象
から外し、同定元素の最低励起電圧がEPMAの加速電圧以
下ならば該同定元素が存在すると判断して定性分析の対
象とすることを特徴とするエレクトロンプロ−ブマイク
ロアナライザによる定性分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248820A JPH0678997B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | エレクトロンプローブマイクロアナライザによる定性分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248820A JPH0678997B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | エレクトロンプローブマイクロアナライザによる定性分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135848A JPS60135848A (ja) | 1985-07-19 |
| JPH0678997B2 true JPH0678997B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=17183893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248820A Expired - Fee Related JPH0678997B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | エレクトロンプローブマイクロアナライザによる定性分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678997B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07113616B2 (ja) * | 1986-01-16 | 1995-12-06 | 日本電子株式会社 | Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196446A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ−を用いた分析方法 |
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248820A patent/JPH0678997B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60135848A (ja) | 1985-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |