JPH0675199A - 液晶パネル製造装置、位置決め装置および加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶セルにＴＡＢ部品を仮圧着および本圧着
する場合において、必要な一連の作業をすべて自動化
し、それによって作業時間の短縮化と精度の向上および
不良の低減を図ることを目的とする。 【構成】 一対のガラス基板の対向面の両方にＴＡＢ部
品を仮圧着する仮圧着装置および本圧着装置とを有し、
上記仮圧着装置は、液晶セルを支持するセルステ−ジ１
２と、異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を供給する
ＴＡＢ部品搬送機構１６と、位置合わせされたＴＡＢ部
品とガラス基板とを仮圧着する仮圧着機構１７と、この
液晶セルを反転させる反転機構５７とを具備し、上記本
圧着装置１６は、上記ＴＡＢ部品２の本圧着を行う第
１、第２のボンディング部８２、８５と、この第１、第
２のボンディング部８２、８５間でＴＡＢ部品２を搬送
位置決めする第１、第２のセルステ−ジ８１、８４と、
この第１、第２のセルステ−ジ８１、８４間で液晶セル
１を反転し受け渡す反転装置８３とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶セルの互いに対
向する一対の液晶ガラス基板にＴＡＢ部品である液晶駆
動用ＩＣを仮圧着し、その後本圧着して液晶パネルを製
造する液晶パネル製造装置等に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図２１に示
すように２枚の第１、第２の液晶ガラス基板１ａ、１ｂ
を対向させて形成される液晶セル１の周囲に液晶駆動用
ＩＣが実装される。この液晶駆動用ＩＣとしては、図２
２に示すようなＴＡＢ部品２（図２１に示す２ａ、２
ｂ）が一般的に使用されている。

【０００３】このＴＡＢ部品２は、表面に所定の回路パ
タ−ン３が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィル
ムキャリア４に半導体素子５をインナ−リ−ドボンディ
ングすることで製造されたものである。

【０００４】このＴＡＢ部品２を、上記液晶セル１の第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに実装するには、例え
ば異方性導電膜が用いられる。この異方性導電膜は、熱
硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中に着中に導電
粒子を混入させたテ−プ状のものであり、図２２に６で
示すように、上記ＴＡＢ部品２の一端側に突設された複
数本のアウタリ−ド７…に、長手方向をこのアウタリ−
ド７と直交させた状態で貼付されている。

【０００５】上記ＴＡＢ部品２と上記第１、第２のガラ
ス基板１ａ、１ｂとを接続する場合には、まず、ＴＡＢ
部品４のアウタリ−ド５とガラス基板の縁部に形成され
た配線パタ−ンとを、両者の間に上記異方性導電膜６を
介在させた状態で対向位置決めする。そして、上記ＴＡ
Ｂ部品２を上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに押
し付けることで、このＴＡＢ部品２を上記第１、第２の
ガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着する。

【０００６】ついで、図２３に示すように、圧着ブロッ
ク８を用いて上記ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７を上記
第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに対して加圧し加熱
する。このことで、上記異方性導電膜６は軟化し、この
アウタリ−ド７と上記第１、第２のガラス基板１ａ、１
ｂの配線パタ−ンは電気的、機械的に接合される。

【０００７】上記ＴＡＢ部品２は、このような仮圧着工
程および本圧着工程を経ることで、上記第１、第２のガ
ラス基板１ａ、１ｂに実装される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の液晶
パネル製造技術には、上記仮圧着工程、本圧着工程共に
以下に説明するような解決すべき課題があった。

【０００９】まず、仮圧着工程における課題について説
明する。

【００１０】この仮圧着工程においては、通常、人手に
より上記ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と上記第１、第
２のガラス基板１ａ、１ｂの配線パタ−ンの端子とを位
置合わせしている。

【００１１】しかし、Ａ４版相当の液晶セル１において
は、接続するＴＡＢ部品２の数は１２Ｐ〜２４Ｐと極め
て多いのが現状である。このため、ＴＡＢ部品２のアウ
タリ−ド７…のピッチは０．１７〜０．２５ｍｍと非常
に狭くならざるを得ない。

【００１２】したがって、人手による位置合わせは、非
常に時間がかかると共に、装着精度に限界があるために
接続不良が生じる恐れがある。また、作業中に接続部分
に塵埃が付着し、接続不良が生じる恐れもある。

【００１３】一方、図２２に示すように、上記ＴＡＢ部
品２のアウタリ−ド７…に貼付された異方性導電膜６の
表面は塵埃付着防止のために離型紙６ａで覆われてい
て、仮圧着の際にはこの離型紙６ａを異方性導電膜６か
ら剥離する必要がある。

【００１４】この剥離作業も従来は人手に頼っているた
め、非常に手間がかかるということがある。

【００１５】一方、図２１に示す液晶セル１は単純マト
リックス液晶パネルに用いるものであり、液晶セル１を
構成する一対の第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの対
向面の両方にそれぞれ異なる種類の第１、第２のＴＡＢ
部品２ａ…、２ｂ…を装着する必要がある。このような
場合、上記一対のガラス基板１ａ、１ｂのうち第１のガ
ラス基板１ａに上記第１のＴＡＢ部品２ａ…を仮圧着し
た後上記液晶セル１を裏返し第２のガラス基板１ｂに第
２のＴＡＢ部品２ｂを仮圧着する必要がある。

【００１６】このような液晶セル１を反転させるための
段取り替え作業は、従来人手で行っていて非常に作業性
が悪いということがあった。また、この段取り替えの作
業の作業中に液晶セル１の配線パタ−ンに塵埃が付着す
る恐れがあるということもあった。

【００１７】次に、本圧着工程おける解決すべき課題に
ついて説明する。

【００１８】上記ＴＡＢ部品２と第１、第２のガラス基
板１ａ、１ｂとを本圧着する場合に用いる圧着ブロック
８（図２３に示す）は、コンスタントヒ−ト方式（常時
加熱方式）と、パルスヒ−ト方式（瞬間加熱方式）のい
ずれかの方式のものが採用されている。

【００１９】この圧着ブロック８は、エアシリンダ９に
より上下駆動され、上記ＴＡＢ部品２を所定のボンディ
ング圧力Ｐで上記ガラス基板１ａ（１ｂ）に押圧するこ
とで、このＴＡＢ部品２をガラス基板１ａ（１ｂ）にボ
ンディングするようになっている。

【００２０】この場合の問題点として、第１に、ガラス
基板１ａ（１ｂ）に異方性導電膜６を介してＴＡＢ部品
２を圧着する場合に、圧着ブロック８による加熱によっ
て上記ＴＡＢ部品２のベ−スであるフィルムキャリア４
（樹脂製）が膨脹し、あらかじめ位置合わせしたガラス
基板１ａ（１ｂ）の配線パタ−ンの端子とＴＡＢ部品２
のアウタリ−ド７との間に位置ずれが生じてしまうこ
と、および第２に、圧着ブロック８の押圧面の平行度や
平坦度等の精度を維持することが困難であることがあ
る。

【００２１】上記圧着ブロック８の加熱方式としてパル
スヒ−ト方式を採用した場合には、加圧完了後に通電加
熱を開始することで上記フィルムキャリア４の伸びを抑
制することが可能である。

【００２２】しかし、パルスヒ−ト方式ではその性質
上、均一な温度分布、強度、精度が得られる圧着ブロッ
ク８の押圧面の長さ（大きさ）に限界がある。このた
め、比較的大きな部品である液晶駆動用ＴＡＢ部品２の
ボンディングには不向きである。また、このパルスヒ−
ト方式の圧着ブロック８の寿命は短いので維持費がかか
るという欠点を持つ。

【００２３】一方、コンスタントヒ−ト方式を採用した
場合、パルスヒ−ト方式に比べて剛性があり、寿命も長
い。

【００２４】しかし、図２３に示すように、ヒ−タを内
装した一つの圧着ブロック８と、これを上下駆動する一
つのエアシリンダ８ａとを具備する装置では、加圧完了
前のフィルムキャリア４の伸びを抑制するには圧着ブロ
ック８の下降スピ−ドを早く設定するしか方策はない。

【００２５】一方、上記圧着ブロック８の下降スピ−ド
を早く設定すると、この圧着ブロック８が上記ＴＡＢ部
品２に当接する際の衝撃が大きく、上記ＴＡＢ部品２や
ガラス基板１ａ、１ｂを破損させる恐れがある。

【００２６】これに対して、上記エアシリンダ９として
ボンディング圧力Ｐ以上の圧力を発生させる高圧のシリ
ンダを用いた場合には、上記アウタリ−ド７を初期状態
から力強く押圧さえることはできるが、ボンディング圧
力Ｐよりも高圧であるため上記ＴＡＢ部品２やガラス基
板１ａ、１ｂを強く押さえすぎて破損させる問題点があ
る。

【００２７】また、図２３のように、一辺が比較的短い
液晶パネルを製造する場合は、一つの圧着ブロック８を
用いて一括的（この場合には、３つのＴＡＢ部品２…）
にボンディングをしても良いが、大型のＴＡＢ部品２…
を具備する比較的大きな液晶パネルを製造する場合には
押圧面を長くする必要があるために上記パルスヒ−ト型
と同様に精度上の問題がある。

【００２８】したがって、多数個のＴＡＢ部品２をボン
ディングする場合には、図２４に示すように、一つの圧
着ブロック８の押圧面の長さを短くして複数個設けるこ
とが行われている。しかし、図２２に示したように、装
着されるＴＡＢ部品２の間隔が狭い場合には、隣り合う
圧着ブロック８、８同士が干渉し圧着ブロック８の配置
が困難となる問題点もある。

【００２９】なお、前述したように単純マトリックス液
晶パネルの場合には、仮圧着と同様に、本圧着の場合に
おいても第１のガラス基板１ａにＴＡＢ部品２…をボン
ディングした後、この液晶セル１を反転させ（裏返
し）、第２のガラス基板１ｂに上記ＴＡＢ部品２…をボ
ンディングする必要がある。

【００３０】従来、このような反転の段取り作業は第１
のガラス基板１ａについての本圧着が終了した後、人手
で行うようにしていたため、作業性および生産性が非常
に悪いということがあった。

【００３１】また、従来、ボンディングの位置合わせ
は、図示しない位置決め用のゲ−ジブロックを上記ガラ
ス基板１ａ、１ｂの一側面あるいは角部に当接させて、
機械的に行うようにしていた。

【００３２】しかし、近年の高集積化に伴い、要求され
るボンディングの位置合わせ精度はガラス基板の形状精
度よりもシビアになり、従来の機械的な位置合わせは限
界に来ているということがある。

【００３３】この発明はこのような事情に鑑みて成され
たもので、液晶セルを構成する一対のガラス基板の対向
面の両方にＴＡＢ部品をボンディングする場合におい
て、液晶セルの反転を含めた一連の作業をすべて自動化
しそれによって作業時間の短縮化図ると共に、このＴＡ
Ｂ部品やガラス基板を破損させることが少なくかつ、精
度の良く液晶パネルの製造を行う液晶パネルの製造装置
等を提供することを目的とするものである。

【００３４】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この部
品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基板を有
する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出するセ
ル供給機構と、このセル供給機構から給出された上記液
晶セルを保持し、この液晶セルの基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ
−ジと、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受
取り、この液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶
駆動用ＩＣ搬送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ
−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、これらの
位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせ
された液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子
が設けられた部位とを接合材を介して押圧し仮圧着する
仮圧着機構と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが仮圧着され
てなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルをＸＹ
θ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記基板
に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、
上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に仮圧
着されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディ
ング機構と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着された
のに基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取
り、この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具
備することを特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００３５】第２の手段は、キャリアテ−プから個々に
打ち抜かれて成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する
部品供給機構と、この部品供給機構と並設され、互いに
対向する一対の基板を有する液晶セルを収納し、この液
晶セルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機
構から給出された上記液晶セルを保持し、この液晶セル
の一対の基板のうち、どちらか一方の基板の端子を所定
の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジ
と、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取
り、この液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆
動用ＩＣ搬送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−
ドと上記基板の端子とを認識し、これらの位置合わせを
行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆
動用ＩＣのアウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位
とを接合材を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上
記一方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたの
に基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、上記
一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着
されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルを
ＸＹθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記
一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づき、上記一方の基板に仮圧着されてい
る上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディング機構
と、上記一方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたの
に基づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、上記
両方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づ
き、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この
液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備するこ
とを特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００３６】第３の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構
と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容
し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、この
セル供給機構から給出された上記液晶セルを支持し、こ
の液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置
に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給機構か
ら上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液晶駆動用ＩＣを
仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬送機構と、上記
液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板に設けられた
端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ
手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウ
タリ−ドと上記基板の端子の設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備すること
を特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００３７】第４の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電
膜が貼着され、かつキャリアテ−プから個々に打ち抜か
れて成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給
機構と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを
収容し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給
機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液晶駆動用
ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬送機構
と、この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路途中に配置
され、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜から上記離型
紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆動用ＩＣの
アウタリ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基
板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介し
て押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備することを特徴
とする液晶パネル製造装置である。

【００３８】第５の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置において、キャ
リアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶駆動
用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この部品供給機
構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを
順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給
出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一対の
基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子を所
定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記
部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液
晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬
送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基
板の端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣの
アウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基
板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたのに基づき、
上記液晶セルを反転させる反転機構とを具備することを
特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００３９】第６の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置において、アウ
タリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、かつ
キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この部品供
給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セ
ルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構か
ら給出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一
対の基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
Ｃ搬送機構と、この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路
途中に配置され、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜か
ら上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆
動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと基板の
端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介して押
圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基板の端子に
液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたのに基づき、上記液晶セ
ルを反転させる反転機構とを具備することを特徴とする
液晶パネル製造装置である。

【００４０】第７の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用ＩＣを本圧着する液晶パネルの製造装置にお
いて、上記基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてな
る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向
に駆動するセルステ−ジと、上記基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づいて駆動位置決めされた基板に仮圧着
されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディン
グ部と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに
基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、
この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備す
ることを特徴とする液晶パネル製造装置である。

【００４１】第８の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子に、それぞれ液晶駆動用ＩＣを
本圧着する液晶パネルの製造装置において、上記一対の
基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてなる液晶セル
を保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向に駆動する
セルステ−ジと、上記一対の基板のうちどちらか一方の
基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決
めされた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用
ＩＣを本圧着するボンディング部と、上記一方の基板に
液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づき、その液晶セ
ルを反転させる反転手段と、上記両方の基板に液晶駆動
用ＩＣが本圧着されたのに基づき、上記セルステ−ジか
ら上記液晶セルを受取り、この液晶セルを排出位置に移
送する排出手段とを具備することを特徴とする液晶パネ
ル製造装置である。

【００４２】第９の手段は、第７あるいは第８の手段に
おいて、上記ボンディング部は、基板の端子に液晶駆動
用ＩＣを接合材を介してボンディングする圧着ブロック
と、この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定
のボンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、この
加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い圧力
で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備するもの
であることを特徴とする液晶パネル製造装置。

【００４３】第１０の手段は、第７の手段あるいは第８
の手段において、上記ボンディング部は、少なくとも一
つの液晶駆動用ＩＣの接合幅に対応する押圧面を有しか
つ互いに少なくとも一つの液晶駆動用ＩＣの接合幅以上
離間して設けられた少なくとも２以上の圧着ブロック
と、この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させ
て上記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされて
いない液晶駆動用ＩＣに順次対向させる駆動手段とを具
備するものであることを特徴とする液晶パネル製造装置
である。

【００４４】第１１の手段は、実装基板を保持すると共
に、任意の位置に位置決め駆動する位置決め駆動手段
と、上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像された画像から上記
マークあるいは端子を検出する画像処理装置と、この画
像処理装置による画像処理結果により上記実装基板のず
れを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の位置決
め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ量が大
きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記実装基
板の位置を補正する演算制御部とを具備することを特徴
とする位置決め装置である。

【００４５】第１２の手段は、互いに隣り合って設けら
れ、被加工物に加工を施す少なくとも２以上の加工部
と、上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工
物を搬送位置決めする複数のステ−ジと、上記加工部間
に設けられ、加工部で加工された被加工物をその加工部
に設けられたステ−ジから受けとり、次の加工部に設け
られたステ−ジに受け渡す受け渡し機構と、上記加工部
のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互いに干渉する
位置に移動する場合には、上記加工部に設けられたステ
−ジから基板を受けとって保持し次の加工部に設けられ
たステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の加工部での
加工が終了してから上記被加工物を受けとるまでの時間
とを比較して、前者が後者より長い場合には、上記加工
部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が長い場合に
は、次の加工部のステ−ジを優先的に移動させる制御部
と、を具備することを特徴とする被加工物の加工装置で
ある。

【００４６】第１３の手段は、実装基板を保持し位置決
め駆動する駆動機構と、この駆動機構により保持された
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像されたマークあるい
は端子と、この画像中心とのずれを検出する検出手段
と、過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づ
いて上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具
備することを特徴とする位置決め装置である。

【００４７】

【作用】第１の手段によれば、液晶セルを構成する基板
に液晶駆動用ＩＣを仮圧着および本圧着する作業を、こ
の液晶セルを受け渡す作業を含めて連続的かつ自動的に
行うことができる。

【００４８】第２の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ＩＣを仮圧着および本
圧着する作業を、この液晶セルを反転させる作業および
受け渡す作業を含めて連続的かつ自動的に行うことがで
きる。

【００４９】第３の手段によれば、液晶セルを構成する
基板に液晶駆動用ＩＣを仮圧着する作業を連続的かつ自
動的に行うことができる。

【００５０】第４の手段によれば、液晶セルを構成する
基板の対向面に液晶駆動用ＩＣを仮圧着する作業を、こ
の液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドに貼着された異方性導
電膜から離型紙を剥離する作業を含めて連続的かつ自動
的に行うことができる。

【００５１】第５の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ＩＣを仮圧着する作業
を、この液晶セルを反転させる作業を含めて連続的かつ
自動的に行うことができる。

【００５２】第６の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ＩＣを仮圧着する作業
を、この液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドに貼着された異
方性導電膜から離型紙を剥離する作業およびこの液晶セ
ルを反転させる作業を含めて連続的かつ自動的に行うこ
とができる。

【００５３】第７の手段によれば、液晶セルを構成する
基板に液晶駆動用ＩＣを本圧着する作業を連続的かつ自
動的に行うことができる。

【００５４】第８の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ＩＣを本圧着する作業
を、この液晶セルを反転させる作業を含めて連続的かつ
自動的に行うことができる。

【００５５】第９の手段によれば、圧着ブロックや基板
を破損させることなく、所定のボンディング圧力で本圧
着を行うことができる。

【００５６】第１０の手段によれば、２以上の圧着ブロ
ックを用いて複数の液晶駆動用ＩＣを順次基板に本圧着
することができる。

【００５７】第１１の手段によれば、実装基板の位置ず
れ量がこの実装基板を位置決めする位置決め駆動手段の
位置決め駆動精度よりも小さい場合には、この位置決め
駆動手段の駆動に補正を行わせないようにすることがで
きる。

【００５８】第１２の手段によれば、２以上の加工部に
おいて被加工物を保持するステ−ジ間に優先順位を定
め、これに基づいて各加工部において被加工物の加工を
行うことができる。

【００５９】第１３の手段によれば、基板に設けられた
マークを常に撮像手段の撮像画像の中心位置近くで捕ら
えることができる。

【００６０】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構
成要素には同一符号を付してその説明は省略する。

【００６１】この発明の液晶パネル製造装置は、図１に
示すように、上記液晶セル１にＴＡＢ部品２を仮圧着す
る仮圧着装置１５と、この仮圧着装置１５により仮圧着
されたＴＡＢ部品２を上記液晶セル１に本圧着する本圧
着装置１６とが順次接続されてなる。両者は分離可能で
あるが、接続して使用することで、上記仮圧着と本圧着
とを連続的に行うことができるようになっている。

【００６２】以下、上記仮圧着装置１５と本圧着装置１
６の構成をこの順に説明する。

【００６３】まず、上記仮圧着装置１５の構成および作
用について説明する。

【００６４】この仮圧着装置１５において、上記ＴＡＢ
部品２が仮圧着される液晶セル１は、図２１を引用して
示すように、図示しない透明電極と配向膜（配線パタ−
ン）が形成された第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ
（基板）を対向させ、これらを所定隙間を存して張り合
わせてなるものである。そして、この仮圧着装置１５
は、この液晶セル１の上記第１、第２のガラス基板１
ａ、１ｂに、それぞれ種類の異なる第１、第２のＴＡＢ
部品２ａ、２ｂ（液晶駆動用ＩＣ）を仮圧着する。

【００６５】この仮圧着装置１５は、図２に示すよう
に、架台１７上に、上記液晶セル１を供給する液晶セル
供給機構１８と、この液晶セル供給機構１８から供給さ
れた液晶セル１を搬送し、仮圧着位置（後述するＤ）で
保持するセルステ−ジ１９とを具備する。

【００６６】さらに、この仮圧着装置１５は、すでに半
導体素子５（図２２）が所定の間隔でインナ−リ−ドボ
ンディングされていると共にアウタリ−ド７となる部分
にあらかじめ離型紙６ａ付きの異方性導電膜６が貼着さ
れてなる長尺テ−プ状のフィルムキャリア２を供給する
フィルムキャリア供給機構２０（部品供給機構）と、こ
のフィルムキャリア４を打ち抜きＴＡＢ部品２を成形す
る打ち抜き機構２１（同じく部品供給機構）と、ＴＡＢ
部品２を受取り上記離型紙６ａを剥離すると共にこのＴ
ＡＢ部品２を所定の姿勢に位置決めし、上記仮圧着位置
に供給するＴＡＢ部品搬送機構２３と、このＴＡＢ部品
２のアウタリ−ド７と上記液晶セル１の端子（配線パタ
−ン）とを上記異方性導電膜６を介して仮圧着する仮圧
着機構２４とを具備する。

【００６７】次に、これらの構成を図１〜図３を参照し
てさらに詳しく説明する。

【００６８】上記液晶セル供給機構１８は、エレベ−タ
手段２６を具備する。このエレベ−タ手段２６は、上記
液晶セル１を複数枚積層した状態で収容するマガジン
（図１に示す２７）を保持する保持テ−ブル２８と、こ
の保持テ−ブル２８を上下駆動するＺ駆動部２９とから
なる。

【００６９】また、この液晶セル供給機構１８は、液晶
セル１を上記マガジン２７から取り出すための供給ア−
ム３０を具備する。この供給ア−ム３０は、Ｘ駆動部３
１に保持されていると共に、先端部がコの字形状に形成
されている。そして、この先端部を上記マガジン２７内
に挿入し、このマガジン２７内から液晶セル１を取り出
し、この液晶セル１を上記セルステ−ジ１９の方向に搬
送することができるようになっている。

【００７０】一方、上記セルステ−ジ１９は、Ｘ方向に
沿って設けられたガイドレ−ル３３上にＸ方向移動自在
に設けられたＸＹテ−ブル３４と、このＸＹテ−ブル３
４上に立設されたθ駆動部３５と、このθ駆動部３５の
上面設けられたＸ字形状の吸着ア−ム３６とからなる。

【００７１】また、上記θ駆動部３５には、このθ駆動
部３５の上面から突没自在に設けられ、突出すること
で、上端で上記液晶セル１を保持することができる図示
しない少なくとも３つのリフトピンが設けられている。

【００７２】このセルステ−ジ１９に上記液晶セル１を
受け渡す場合には、まず、このセルステ−ジ１９の上方
に上記セル供給装置機構１８の供給ア−ム３０の上面に
保持された液晶セル１が位置決めされる。ついで、上記
セルステ−ジ１９は、上記リフトピンを上昇させること
で、上記供給ア−ム３０の上面から上記液晶セル１を持
ち上げる。そして、上記供給ア−ム３０をこのセルステ
−ジ１９から後退させた後、上記リフトピンを上記θ駆
動部３５内に収納する。このことで、上記液晶セル１
は、上記Ｘ字形状の吸着ア−ム３６の上面に受け渡さ
れ、この吸着ア−ム３６の先端部に吸着保持される。

【００７３】また、上記フィルムキャリア供給機構２０
は、テ−プ状のフィルムキャリア４を巻回収納する供給
リ−ル３８を回転自在に保持するフィルムキャリア収納
部３９を具備する。上記供給リ−ル３８に巻回されたフ
ィルムキャリア４には、半導体素子５…が所定間隔でイ
ンナ−リ−ドボンディングされていると共にアウタリ−
ド７となる部位にはあらかじめ離型紙６ａ付きの異方性
導電膜６（図２２参照）が貼着されている。

【００７４】また、上記フィルムキャリア供給機構２０
は、テンションプ−リ４０および送り用スプロケット４
１を具備し、上記供給リ−ル３８の上方に設けられた巻
取リ−ル４２でスペーサテ−プ４３（フィルムキャリア
４の表面に貼付されている保護テ−プ）を剥がしなが
ら、上記フィルムキャリア４を間欠送り駆動し、上記打
ち抜き機構２１に供給する。

【００７５】上記打ち抜き機構２１は、図３に示すよう
に、上型４３および下型４４を具備する。上記フィルム
キャリア４は、図示しないが、この上型４３と下型４４
との間に供給され、上記半導体素子５がインナ−リ−ド
ボンディングされた部位をこの位置に順次停止させる。

【００７６】上記上型４３は、下型４４に対して上下駆
動されるようになっていて、下型３８に接離する方向に
駆動されることで、上記フィルムキャリア４を打ち抜
く。このことで、図２２を引用して示すＴＡＢ部品２
（第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ）が成形される。

【００７７】上記下型４３はＹ駆動部４５によってＹ方
向移動自在に保持されていて、上記ＴＡＢ部品２を上面
に保持した状態で、この架台１７上をＹ方向手前側に移
動し、このＴＡＢ部品２を上記打ち抜き機構２１から取
り出すようになっている。

【００７８】図２〜図４に示すように、このフィルムキ
ャリア供給機構２０および打ち抜き機構２１は、並列に
２組設けられている。これは、上記液晶セル１の第１、
第２のガラス基板１ａ、１ｂのそれぞれに仮圧着される
異なる種類の第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂを成形
するためである。

【００７９】一方、図３に示すように、上記架台１７上
には、門型のフレ−ム４６が設けられている。このフレ
−ム４６の上部の水平梁部４６ａはＸ方向に沿って設け
られ、この水平梁部４６ａには、この水平梁部４６ａに
沿ってＸ方向に位置決め駆動されるＴＡＢ部品搬送ヘッ
ド４７が設けられている。

【００８０】このＴＡＢ部品搬送ヘッド４７には、吸着
ノズル４８が設けられ、この吸着ノズル４８を上下方向
に駆動することで、上記下型４３に保持されたＴＡＢ部
品２をこの下型４３から上方に取り出すことができる。
そして、このＴＡＢ部品搬送ヘッド４７は、Ｘ方向に駆
動されることでこのＴＡＢ部品２をＴＡＢ部品搬送機構
２３の方向に移送する。

【００８１】一方、上記ＴＡＢ部品搬送機構２６は、水
平面内で９０°毎に間欠回転可能なロ−タリインデック
ステ−ブル４８を具備する。このロ−タリインデックス
テ−ブル４８の外周縁には、下面で上記ＴＡＢ部品を吸
着保持可能なＴＡＢチャック５０が、一端部をこのロ−
タリインデックステ−ブル４４から径方向外側に突出さ
せた状態で周方向に９０°毎に設けられている。

【００８２】そして、このＴＡＢチャック５０は、この
ロ−タリインデックステ−ブル４８が９０°毎に間欠回
転駆動されることで、図４にＡで示す部品受け渡しステ
−ジから、離型紙剥離ステ−ジＢ、ＴＡＢ仮位置決めス
テ−ジＣ、仮圧着ステ−ジＤの４つのステ−ジに順次対
向位置決めされる。なお、この図において上記ＴＡＢチ
ャック５０は図示を省略した。

【００８３】上記部品受け渡しステ−ジＡには、上記架
台１７上にＸ方向に移動可能かつ上下動可能な部品受け
渡しテ−ブル５１が設けられている。この部品受け渡し
テ−ブル５１は上記ＴＡＢ部品搬送ヘッド４７から上記
ＴＡＢ部品２を受取り、これを上記部品受け渡しステ−
ジＡに位置するＴＡＢチャック５０の下方に搬送する。

【００８４】そして、この位置で、上記ＴＡＢ部品２を
上昇させることで、このＴＡＢ部品２を上記ＴＡＢチャ
ック５０の下面に当接させる。このことで上記ＴＡＢ部
品２は上記ＴＡＢチャック５０の下面に吸着保持され、
受け渡しが完了する。

【００８５】上記離型紙剥離ステ−ジＢには、離型紙剥
離機構５２が設けられている。図３に示すように、この
離型紙剥離機構５２は、一面側のみを粘着面とした長尺
なる粘着テ−プ５３を、その粘着面を上方に向けた状態
で間欠送り駆動する。

【００８６】上記ロ−タリインデックステ−ブル４８は
９０°回動し、上記ＴＡＢ部品２を受け渡しステ−ジＡ
から離型紙剥離ステ−ジＢに搬送する。このことで、上
記ＴＡＢ部品２の上記異方性導電膜６の上記離型紙６ａ
は、上記粘着テ−プ５３の粘着面に対向させられる。

【００８７】ついで、上記離型紙剥離機構５２は、上記
粘着テ−プ５３を上昇させ、その粘着面を上記離型紙６
ａに接触させてこの粘着テ−プ５３にこの離型紙６ａを
転写する。そして、この粘着テ−プ５３を下降させるこ
とで、上記離型紙６ａを異方性導電膜６から剥離する。

【００８８】ついで、上記離型紙剥離機構５２は、上記
粘着テ−プ５３をリ−ルに巻き取る。このことで、上記
剥離された離型紙６ａは上記粘着テ−プ５３と一緒にこ
のリ−ルに巻き取られると共に、粘着テ−プ５３の未だ
上記離型紙６ａが転写されていない部位が繰り出され上
記ＴＡＢチャック５０に対向する。

【００８９】また、上記ＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣに
は、上記ＴＡＢ部品２に当接することで、このＴＡＢ部
品２の姿勢を機械的に補正（粗位置決め）する粗位置決
めユニット５５が設けられている。

【００９０】上記ロ−タリインデックステ−ブル４８
は、さらに９０°間欠的に回動することで、上記離型紙
６ａが剥離されたＴＡＢ部品２をこのＴＡＢ仮位置決め
ステ−ジＣに停止させ、上記粗位置決めユニット５５を
用いてこのＴＡＢ部品２の粗位置決めを行わせる。

【００９１】このＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣで粗位置
決めされた上記ＴＡＢ部品２は、上記ロ−タリインデッ
クステ−ブル４８がさらに９０°回動することで、上記
仮圧着ステ−ジＤに搬送される。この状態で、上記ＴＡ
Ｂ部品２のアウタリ−ド７は所定の仮圧着位置に位置決
めされる。

【００９２】この仮圧着ステ−ジＡの上方には、図１お
よび図２に示すように第１の撮像カメラ５８が設けられ
ている。この第１の撮像カメラ５８は、図５（ａ）、
（ｂ）に示すように上記液晶セル１を構成する第１、第
２のガラス基板１ａ、１ｂのＸ辺およびＹ辺の両端部に
設けられた位置決め用＋マ−ク（位置合わせ用目印、マ
ーク）５７…を認識し、この液晶セル１全体の位置決め
を行なわせる役割を有する。

【００９３】また、この仮圧着ステ−ジＡの下側には、
図１および図２に示すように、位置認識光学系６０が設
けられている。この位置認識光学系６０は、図１に示す
ように、鏡筒６１と、この鏡筒の基端部に接続された第
２の撮像カメラ６２と、上記鏡筒６１の先端部に設けら
れ上記ＴＡＢ部品２の仮圧着が行われる仮圧着位置の像
を上記第２の撮像カメラ６２に送る反射ミラ−６３とを
有する。

【００９４】この位置認識光学系６０は、上記仮圧着位
置を視野に収め、上記ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と
ガラス基板１ａ、１ｂの端子とを上記第２の撮像カメラ
６２を用いて認識することで、両者の位置合わせを行な
わせる役割を有する。

【００９５】次に、この液晶セル１全体の位置決め、上
記ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と上記第１、第２のガ
ラス基板１ａ、１ｂに設けられた端子の位置決め、およ
び上記ＴＡＢ部品２の仮圧着の動作を図７および図８に
示すフロチャ−トを参照しつつ説明する。

【００９６】なお、この仮圧着装置１５は、上記第１、
第２のガラス基板１ａ、１ｂのうち、まず上記第１のガ
ラス基板１ａのＸ辺に設けられた各端子（図５にＸで示
す）に、第１のＴＡＢ部品２ａ…を仮圧着し、その後上
記第２のガラス基板１ｂのＹ辺に設けられた各端子（図
５にＹで示す）に第２のＴＡＢ部品２ｂを仮圧着するも
のとする。

【００９７】上記マガジン２７内に収納された液晶セル
１は、第１のガラス基板１ａを下面側に位置させた状態
で（図５（ｂ））複数枚積層保持されている。上記セル
ステ−ジ１９は、液晶セル受け渡し位置に移動し、上記
供給ア−ム３０によって取り出された上記液晶セル１を
上記リフトピンを上下させることで受け取る。（前述の
説明参照）ついで、上記セルステ−ジ１９は、上記仮圧
着ステ−ジＤの側方に移動し、上記液晶セル１の第１の
ガラス基板１ａのＸ辺を上記第１の撮像カメラ５８の下
方（位置認識位置）に対向させる。

【００９８】上記セルステ−ジ１９は、上記第１のガラ
ス基板１ａのＸ辺の両端部に設けられた２つの位置決め
用＋マーク５７の両方を上記第１の撮像カメラ５８で認
識するために、上記液晶セル１をＸ方向にスキャンす
る。

【００９９】この第１の撮像カメラ５８は、図１に示す
ように、画像処理装置６５を介して演算処理部６６に接
続されている。この演算制御部６６は、上記画像処理装
置６５からの上記２つの位置決め用＋マーク５７、５７
の位置検出信号に基づいて上記第１のガラス基板１ａの
位置ずれ量（ｘ、ｙ、θ）を算出する。そして、この演
算制御部は、このずれ量に基づいて、上記セルステ−ジ
１９を制御し、上記第１のガラス基板１ａのその後の駆
動経路を補正するようにする。

【０１００】ただし、図７のフロ−チャ−トに示すよう
に、この演算制御部６６は、上記セルステ−ジ１９の位
置決め精度と上記第１のガラス基板１ａのずれ量とを比
較し、ずれ量の補正を行うとかえってずれが大きくなる
と判断した場合、すなわち、上記ずれ量がセルステ−ジ
１９の位置決め精度よりも小さい場合には、補正を行わ
ないようにする。

【０１０１】また、この演算制御部６６は、フロチャ−
トに（１）で示す工程において、上記第１のガラス基板
１ａに設けられた位置決め用＋マーク５７が常に上記第
１の撮像カメラ５８の視野内に収められるように上記セ
ルステ−ジ１９の補正を行う。

【０１０２】すなわち、上記第１の撮像カメラ５８で撮
像される位置決め用＋マーク５７は、図６のモニタ−６
７に示すように撮像画面の中心に位置することが好まし
い。しかし、上記セルステ−ジ１９の位置決め精度に起
因して、この位置決め用＋マーク５７は、位置決め毎に
同図（ｂ）に示すようにこの撮像画像の中心からずれる
ことが多い。

【０１０３】上記演算制御部６６は、過去に撮像された
位置決め用＋マーク５７と撮像画像の中心位置とのずれ
量（偏差（ｘ、ｙ））を記憶しておいて、この過去のデ
−タに基づいて、上記位置決め用＋マーク５７がこの撮
像画像の中心に位置するように上記セルステ−ジ１９の
動きを制御するようにする。

【０１０４】具体的には、上記偏差量（ずれ量）の平均
値、最小２乗推定値等の統計的推定により、上記セルス
テ−ジ１９に加える補正量を定め、その補正を加えて上
記セルステ−ジ１９を位置決め駆動する。

【０１０５】このような工程を経てその位置およびずれ
量が認識された液晶セル１は、上記位置決め用＋マ−ク
５７の位置に基づいて、この第１のガラス基板１ａの上
記第１のＴＡＢ部品２ａが仮圧着される部位を順次上記
仮圧着ステ−ジＤに位置決め駆動する。

【０１０６】上記演算制御部６６で補正を行うことを決
定した場合には、フロ−チャ−トに（２）で示すように
上記セルステ−ジ１９の駆動に補正を加えて上記液晶セ
ル１（第１のガラス基板１ａ）を駆動することとなる。

【０１０７】図１に示すように、上記位置認識光学系６
０は、この仮圧着位置で互いに対向させられる上記ＴＡ
Ｂ部品２のアウタリ−ド７と上記第１のガラス基板１ａ
の端子とを同時に視野に収め上記反射ミラ−６３を介し
て上記第２の撮像カメラ６２でこれを撮像する。

【０１０８】この第２の撮像カメラ６２は、上記第１の
撮像カメラ５８と同様に、画像処理装置６５を経て上記
演算制御部６６に接続されている。

【０１０９】上記演算制御部６６は、上記画像処理装置
６５からの上記第１のＴＡＢ部品２ａのアウタリ−ド７
および上記第１ガラス基板１ａの端子の位置検出信号に
基づき上記セルステ−ジ１９を作動させ、上記第１のガ
ラス基板１ａを移動させることで、両者を精密に位置合
わせ（補正）する。

【０１１０】この場合においても、上記演算処理部６６
は、図８のフロ−チャ−トに示すように上記アウタリ−
ド７と端子のずれ量と上記セルステ−ジ１９の位置決め
精度とを比較して、上記ずれ量が位置決め精度よりも小
さい場合には、位置合わせを行うことによりずれ量がか
えって大きくなることが予想されるので、位置合わせを
行わないようにする。

【０１１１】このようにして、互いに位置合わせがなさ
れたならば、上記第１のガラス基板１ａは、上記端子を
上記ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７の下側に位置させら
れる。このことで、上記アウタリ−ド７と上記端子とは
上記仮圧着位置において精密に対向位置決めされる。

【０１１２】一方、上記仮圧着ステ−ジＤには、上述し
たように上記第１のＴＡＢ部品２ａを上記第１のガラス
基板１ａに仮圧着する仮圧着機構２４が設けられている
（図１）。

【０１１３】この仮圧着機構２４は、上記第１のガラス
基板１ａの下面を保持する圧力支持部６９を具備する。
この圧力支持部６９は、詳しくは図示しないが、上記第
１のＴＡＢ部品２ａが上記仮圧着ステ−ジＤに搬送さ
れ、上記第１のガラス基板１ａに対向位置決めされたな
らば、この第１のガラス基板１ａの下面側に突出する構
成となっている。

【０１１４】また、上記仮圧着機構２４は、上記圧力支
持機構６９と上記第１のガラス基板１ａを挟んで対向す
る位置に、仮圧着ブロック７０を有する。この仮圧着ブ
ロック７０は、上記圧力支持機構６９が上記第１のガラ
ス基板１ａの下面を保持したならば下降し、上記第１の
ＴＡＢ部品２ａのアウタリ−ド７を上記第１のガラス基
板１ａの端子方向に押圧して、この第１のＴＡＢ部品２
ａを上記第１のガラス基板１ａに仮圧着する。上記第１
のＴＡＢ部品２ａと第１のガラス基板１ａとは、上記異
方性導電膜６の粘着力により容易に仮圧着される。

【０１１５】このような一連の動作により一つの第１の
ＴＡＢ部品２ａが上記液晶セル１の第１のガラス基板１
ａのＸ辺に仮圧着される。このとき、次にこの第１のガ
ラス基板１ａのＸ辺の他の位置に仮圧着される第１のＴ
ＡＢ部品２ａが、すでに上記ＴＡＢ位置合わせステ−ジ
Ｃに待機している。

【０１１６】上記セルステ−ジ１９は、図８のフロチャ
−トに（３）で示すように、上記ガラス基板１ａの次に
上記第１のＴＡＢ部品２ａが仮圧着される部位を、上述
と同様の動作で上記仮圧着位置に位置決めする。そし
て、上述と同様の動作で上記第１のＴＡＢ部品２ａをこ
の第１のガラス基板１ａに仮圧着する。

【０１１７】このようにして、上記第１のガラス基板１
ａの一方のＸ辺には、第１のＴＡＢ部品２ａ…が順次装
着されていく。途中、上記第１のガラス基板１ａの他方
のＸ辺に上記第１のＴＡＢ部品２ａを仮圧着するため
に、上記セルステ−ジ１９は、この液晶セル１を水平方
向に１８０°回動させる。

【０１１８】この仮圧着装置は、上記液晶セル１を水平
方向に１８０°回動させたならば、フロチャ−トの
（１）以下の動作を行い、このＸ辺にも上記第１のＴＡ
Ｂ部品２ａを順次仮圧着していく。

【０１１９】また、図２に示すように、この仮圧着ステ
−ジＤの側方には、液晶セル反転装置７２が設けられて
いる。この液晶セル反転装置７２は、上記門型フレ−ム
４６の水平梁部４６ａの下面に軸線を垂直にして設けら
れた一対のガイドポ−ル７３と、このガイドポ−ル７３
に上下移動自在に取着された反転ヘッド７４と、この反
転ヘッド７４に開閉自在に設けられた一対のＴ字チャッ
ク７５、７５とを具備する。また、この一対のＴ字チャ
ック７５、７５は、水平軸線回りに一体的に１８０°回
動するようになっている。

【０１２０】上記セルステ−ジ１９は、上記液晶セル１
の第１のガラス基板１ａの両方のＸ辺に上記第１のＴＡ
Ｂ部品２ａ…がすべて仮圧着されたならば、この液晶セ
ル１を上記反転装置７２の方向に駆動する。そして、こ
の液晶セル１を上記一対のＴ字チャック７５、７５の間
に挿入する。

【０１２１】なお、この間に、上記フィルムキャリア供
給機構２０および打ち抜き機構２１では、品種の切り替
えが行われ、上記第１のＴＡＢ部品２ａに代わって上記
第２のガラス基板１ｂに仮圧着される第２のＴＡＢ部品
２ｂが上記ＴＡＢ部品搬送機構１６に送られる。

【０１２２】一方、上記反転装置７２は、この液晶セル
１を上昇させた後、上記Ｔ字チャック７５を水平軸線回
りに１８０°回動させることで、上記液晶セル１を裏返
す（反転）ことができる。そして、この反転装置７２
は、裏返した液晶セル１を上記セルステ−ジ１９の吸着
ア−ム２９上に再び載置する。

【０１２３】上記セルステ−ジ１９は、上記液晶セル１
を水平面内で９０°回動させ、上記第２のガラス基板１
ｂのＹ辺を（図５参照）を上記第１の撮像カメラ５８の
下方に移動させる。

【０１２４】ついで、この仮圧着装置１５は、図７およ
び図８のフロチャ−トの（１）以下の動作を繰り返すこ
とでこの第２のガラス基板１ｂのＹ辺の各仮圧着部位と
上記第２のＴＡＢ部品２ｂ…とを位置合わせし、順次仮
圧着していく。

【０１２５】この液晶セル１の第２のガラス基板１ｂに
上記第２のＴＡＢ部品２ｂがすべて仮圧着されたなら
ば、上記セルステ−ジ１９は、この液晶セル１を図４に
矢印（イ）で示す方向に駆動し、この架台１７の端部に
停止させる。

【０１２６】この仮圧着装置の横側には上述した本圧着
装置１６が接続されている。仮圧着装置の架台１７の端
部に位置決めされた液晶セル１は、図１に示すように、
この本圧着装置１６の架台８０上に設けられた受け渡し
ユニット７８によって保持され、上記本圧着装置１６に
受け渡される。

【０１２７】なお、この仮圧着装置１５においては、上
記ＴＡＢ部品１個の仮圧着を約５秒で行い、一枚の液晶
セル１について、約６０秒ですべてのＴＡＢ部品２…の
仮圧着を終了させ、この液晶セル１を上記本圧着装置１
６に送出する。

【０１２８】次に、この本圧着装置１６の構成および動
作について説明する。

【０１２９】図９に示すように、この本圧着装置１６
は、上記仮圧着装置１５の架台２０と略同じ高さで設け
られた架台８０を備え、この架台８０上には、上記受け
渡しユニット７８と、この受け渡しユニット７８から液
晶セル１を受取りＸＹθ方向に駆動し位置決めする第１
のセルステ−ジ８１と、この第１のセルステ−ジ８１か
ら供給された液晶セル１の第１のガラス基板１ａに仮圧
着された第１のＴＡＢ部品２ａをボンディング（本圧
着）する第１のボンディング部８２と、この第１のボン
ディング部８２から液晶セル１を受取り、この液晶セル
１を反転させる（裏返す）液晶セル反転装置８３と、こ
の反転装置８３によって反転された液晶セル１を受け取
り、これをＸＹθ方向に駆動し位置決めする第２のセル
ステ−ジ８４と、この第２のセルステ−ジ８４に保持さ
れた液晶セル１の第２のガラス基板１ｂに仮圧着された
第２のＴＡＢ部品２ｂをボンディング（本圧着）する第
２のボンディング部８５と、この第２のボンディング部
８５からすべてのＴＡＢ部品２についての本圧着が終了
した液晶セル１（液晶パネル）を受け取り、この液晶セ
ル１をこの熱圧着装置から排出するセル排出ユニット８
７とからなる。

【０１３０】上記受け渡しユニット７８は、上記架台８
０上に固定された基台８９と、この基台８９の上面に突
設され軸線回りに１８０°回動する回動軸９０と、この
回動軸９０の上面にＸ方向に固定されたレ−ル９１と、
このレ−ル９１にスライド駆動自在に設けられたコの字
形状の供給ア−ム９２とを具備する。

【０１３１】また、上記架台８０上面の中央部には、ガ
イドレ−ル９３が長手方向をＸ方向に一致させて設けら
れている。このガイドレ−ル９３の上記受け渡しユニッ
ト７８側の一端には第１の第１のセルステ−ジ８１がス
ライド移動自在に設けられ、他端には第２のセルステ−
ジ８４がスライド自在に設けられている。

【０１３２】この第１、第２のセルステ−ジ８１、８４
は共に同じ構成を有するものであるので、第１のセルス
テ−ジ８１の構成のみを説明し、第２のセルステ−ジ８
４の構成の説明は省略する。

【０１３３】上記第１のセルステ−ジ８１は、ＸＹテ−
ブル９４とこのＸＹテ−ブル９４上に設けられたθ駆動
部９５とを有する。このθ駆動部９５には、Ｘ字形状の
４つのア−ムの先端に吸着部が設けられてなる吸着ア−
ム９６がθ方向に位置決め自在に設けられている。

【０１３４】また、このθ駆動部９５には、このθ駆動
部９５の上面から突没可能に設けられ、上記吸着ア−ム
９６の上面に保持された液晶セル１を持ち上げることが
できるリフトピン９７を３本具備する。

【０１３５】また、上記架台８０上のＹ方向奥行き側に
は、上記第１、第２のボンディング部８２、８５が、上
記第１、第２のセルステ−ジ８１、８４に対応するかた
ちで並列に設けられている。この第１、第２のボンディ
ング部８２、８５は、略同じ構成を有するので、第１の
ボンディング部８２の構成のみを説明し、第２のボンデ
ィング部８５の構成については同一符号を付してその説
明は省略する。

【０１３６】図中９８は、この架台８０上に立設された
コラムである。このコラム９８の上部には一端部を上記
ガイドレ−ル９３側に水平に突出させた保持板１００の
他端部が固定されている。この保持板１００の上面に
は、上下駆動用の第１のエアシリンダ１０１（上下駆動
用シリンダ）が設けられ、この第１のエアシリンダ１０
１の駆動軸１０１ａはこの保持板１００の下方へ延出さ
せられている。

【０１３７】一方、上記コラム９８の上記ガイドレ−ル
９３側の一面には、上部が略水平に屈曲された逆さＬ字
形状のスライダ１０２が上下スライド駆動自在に設けら
れている。このスライダ１０２の水平部の上面には上記
第１のエアシリンダ１０１の駆動軸１０１ａが固定さ
れ、このスライダ１０２は上記第１のエアシリンダ１０
１によって上下駆動されるようになっている。

【０１３８】また、上記スライダ１０２の水平部の下面
には、加圧用の２つの第２のシリンダ１０３…（加圧用
シリンダ）が軸線を垂直にして並列に固定されている。
そして、各第２のシリンダ１０３には、下面を押圧面と
する圧着ブロック１０４が接続されている。

【０１３９】この圧着ブロック１０４は、コンスタント
ヒ−ト方式（常時加熱型）のもので、図１９（ａ）にＹ
１で示すように２つのＴＡＢ部品２の接合幅に対応する
大きさ（長さ）の押圧面１０４ａを具備する。また、上
記２つの圧着ブロック１０４は、同図にＹ１、Ｙ１で示
すように、２つのＴＡＢ部品２の接合長さに対応する間
隔分互いに離間して設けられている。

【０１４０】また、図１に示すように、上記圧着ブロッ
ク１０４の下側には、架台８０上に立設された板状のボ
ンディングステ−ジ（バックアップ）１０５が、その上
面を上記圧着ブロック１０４の押圧面１０４ａに対向さ
せて設けられている。このボンディングステ−ジ１０５
は図示しないカム機構によって上下するようになってい
る。

【０１４１】さらに、この第１、第２のボンディング部
８２、８４には、それぞれ第１、第２の撮像カメラ１０
７ａ、１０７ｂがその撮像面を下方に向けて設けられて
いる。この第１の撮像カメラ１０７ａは、後述するよう
に、図１９（ａ）に示す第２のガラス基板１ｂのＹ辺の
両端部に設けられた位置決め用＋マーク５７を認識する
ようになっている。また、第２の撮像カメラ１０７ｂ
は、同図（ｃ）に示す第１のガラス基板１ａのＸ辺の両
端部に設けられた位置決め用＋マーク５７を認識するよ
うになっている。

【０１４２】次に、上記第１のボンディング部８２（第
２のボンディング部８５）の構成を図１０を参照してさ
らに詳しく説明する。なお、図１０は、上記第１、第２
シリンダ１０１、１０３および圧着ブロック１０４の関
係を簡略化して示す模式図である。

【０１４３】すなわち、上記第１のエアシリンダ１０１
はコラム９８（１００）に固定され、この第１のエアシ
リンダ１０１の駆動軸１０１ａには、第２のシリンダ１
０３が取り付けられている。したがって上記第１のエア
シリンダ１０１が作動することで、この第２のエアシリ
ンダ１０３全体が上下駆動されるようになっている。ま
た、この第２のエアシリンダ１０３の駆動軸１０３ａに
は圧着ブロック１０４が設けられている。

【０１４４】上記第１のエアシリンダ１０１はクロ−ズ
ドセンタ形の４ポ−ト弁１０８を介して高圧ポンプ１０
９に接続されている。上記高圧ポンプ１０９は上記第１
のエアシリンダ１０１の駆動軸１０１ａをボンディング
圧力Ｐよりも大きい最大圧力Ｆで駆動する役割を有す
る。

【０１４５】第２のエアシリンダ１０３は、この第２の
エアシリンダ１０３の駆動軸１０３ａを最大圧力Ｐ（Ｆ
＞Ｐ）で駆動する低圧ポンプ１１１に接続され、この回
路にはリリ−フ弁１１２が接続されている。このリリ−
フ弁１１２は上記第２のエアシリンダ１０３内の圧力が
Ｐ以上になると作動し、上記第２のエアシリンダ１０３
内の圧力を常にＰに保つ役割を有する。

【０１４６】一方、図１および図９に示すように、上記
第１のボンディング部８２と第２のボンディング部８５
との間には、上記液晶セル反転装置８３が設けられてい
る。この反転装置８３は上記架台８０上に立設されたＺ
駆動部１１３と、このＺ駆動部１１３の上記ガイドレ−
ル９３側の一面にＺ方向に沿って設けられたガイド溝１
１４とを有し、このガイド溝１１４には、反転ヘッド１
１５が上下スライド駆動自在に取着されている。

【０１４７】この反転ヘッド１１５は、上記ガイドレ−
ル９３側に水平に延出されかつ開閉自在に設けられた一
対のＴ字チャック１１７、１１７を有する。このＴ字チ
ャック１１７、１１７は上記液晶セル１を握持すること
ができると共に水平軸線回りに１８０°回転することで
この液晶セル１を反転する（裏返す）ことができるよう
になっている。

【０１４８】なお、上記第１、第２のボンディング部８
２、８５は、この本圧着装置１６の小形化のために、互
いに近接して設けられている。

【０１４９】また、位置認識に要するスペ−スをできる
かぎり小さくすることで装置の小型化を図るために、上
記第１、第２の撮像カメラ１０７ａ、１０７ｂは、それ
ぞれ上記反転装置７２と上記第１、第２のボンディング
部８２、８４との間のスペ−スに配置され、上記第１の
ボンディング部８２における位置認識と第２のボンディ
ング部８４における位置認識とを略同じ空間で行えるよ
うにしている。

【０１５０】このように、第１、第２のボンディング部
８２、８４間の限られたスペ−スに上記第１、第２の撮
像カメラ１０７ａ、１０７ｂおよび反転装置７２が配置
されている。このため、上記第１、第２の撮像カメラ１
０７ａ、１０７ｂによる上記液晶セル１の位置認識と上
記反転装置７２による液晶セル１の反転動作は、これら
の液晶セル１どうしが干渉する恐れがあるので同時には
行えない。また、上記第１の撮像カメラ１０７ａによる
位置認識と、第２の撮像カメラ１０７ｂによる位置認識
も、上記液晶セル１どうしが場合によっては干渉するの
で同時には行えないようになっている。

【０１５１】また、上記ガイドレ−ル９３の他端に対応
する上記架台８０上の位置には上記セル排出ユニット８
７が設けられている。このセル排出ユニット８７は、Ｘ
駆動部１２０を具備し、このＸ駆動部１２０には、排出
ヘッド１２１が設けられている。この排出ヘッド１２１
は、開閉自在に設けられた一対のＴ字形状の排出チャッ
ク１２２、１２２を有する。この排出ヘッド１２１は上
記排出チャック１２２、１２２を用いて上記液晶セル１
を握持し、Ｘ駆動部１２０によってＸ方向に駆動される
ことで上記液晶セル１をこの本圧着装置から排出するこ
とができる。

【０１５２】また、上述した第１、第２の撮像カメラ１
０７ａ、１０７ｂは、図１に１２４で示す画像処理装置
を介して演算制御部１２５に接続されている。この演算
制御部１２５は、上記画像処理装置１２４からの画像処
理信号に基づいて上記第１、第２のガラス基板１ａ、１
ｂに設けられた位置決め用＋マーク５７を検出し、この
検出値からこの第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの位
置ずれを判断し、上記第１、第２のセルステ−ジ８１、
８４に作動命令を発するようになっている。

【０１５３】また、この演算制御部１２５は、上記反転
装置７２に接続されていて、上記第１、第２のセルステ
−ジ８１、８４の動作に応じてこの反転装置７２を作動
させるようになっている。また、この演算制御部１２５
は、この反転装置７２が上記液晶セル１を保持している
時間ｔ1 をカウントとするようになっている。

【０１５４】さらに、この演算制御部１２５は、この液
晶セル１を保持している時間ｔ1と、上記第２のボンデ
ィング部８５に設けられた第２のボンディングステ−ジ
８４が、上記セル排出ユニット８７に液晶セル１を受け
渡してから上記反転装置７２で次の液晶セル１を受けと
るまでの時間ｔ2 とをカウントするようになっている。

【０１５５】そして、この演算制御部１２５は、上記時
間ｔ1 とｔ2 とを比較することによって後述するように
して上記第１、第２のセルステ−ジ８１、８４のどちら
を優先して作動させるかの「優先順位」を決定し、それ
に応じて上記第１、第２のセルステ−ジ８１、８４を制
御する機能を有する。

【０１５６】次に、この本圧着装置１６の動作を図１１
〜図１７に示すフロ−チャ−トを参照して説明する。図
１１は、上記受け渡しユニット７８から第１のセルステ
−ジ８１への液晶セル１の受け渡しの動作等を示すフロ
−チャ−ト、図１２は第１のボンディング部８２での圧
着動作を示すフロ−チャ−ト、図１３は後述する優先権
を確認し、第１、第２のセルステ−ジ８１、８４の干渉
を防止する動作を示す第１のル−チン、図１４は液晶セ
ル１の位置決め動作を示す第２のル−チン、図１５はセ
ル反転装置７８における上記液晶セル１の反転動作を示
すフロ−チャ−ト、図１６は第２のボンディング部８５
でのボンディング動作を示すフロ−チャ−ト、図１７は
セル排出ユニット８７による液晶セル１の排出動作を示
すフロ−チャ−トである。以下、これらのフロ−チャ−
トをこの順に説明する。

【０１５７】まず、図１１に示すフロ−チャ−トについ
て説明する。

【０１５８】この本圧着装置１６の側方には、上記仮圧
着装置１５が設けられている。以下この仮圧着装置１５
（ＬＴＭ）という。この仮圧着装置１５では、上述した
ように上記液晶セルの第１のガラス基板１ａのＸ辺に第
１のＴＡＢ部品２ａを仮圧着した後、この液晶セルを裏
返して第２のガラス基板１ｂのＹ辺に第２のＴＡＢ部品
２ｂを仮圧着した。

【０１５９】このため、上記仮圧着装置１５のセルステ
−ジ１９は、上記第２のガラス基板１ｂを下面側にした
状態で上記液晶セル１を保持している。そして、この液
晶セル１は、上記仮圧着装置１５のセルステ−ジ１９に
よって、上記本圧着装置１６の方向に駆動され、この仮
圧着装置１５の架台１７の端部であるセル受け渡し位置
に停止される。

【０１６０】このとき、上記セル受け渡しユニット７８
は、図９に示す状態からレ−ル９１を１８０°回動さ
せ、上記供給ア−ム９２のコの字の開放側を上記仮圧着
装置１５（ＬＴＭ）に対向させる。

【０１６１】上記仮圧着装置１５のセルステ−ジ１９
は、この本圧着装置の第１、第２のセルステ−ジ８１、
８４と略同様の構成を有し、複数本のリフトピンを上昇
させることで、このリフトピンで上記液晶セル１を保持
し上記セルステ−ジ１９上から持ち上げる。

【０１６２】ついで、上記セル受け渡しユニット７８は
上記供給ア−ム９２を上記レ−ル９１に沿って上記仮圧
着装置１５の方向へ駆動し、この供給ア−ム９２の開放
端部を上記液晶セル１の下側に潜りこませる。

【０１６３】そして、上記仮圧着装置１５のセルステ−
ジ１９のリフトピンの上端の高さが上端供給ア−ム９２
の上面よりも低くなるようにこのリフトピンを下降させ
れば、上記液晶セル１は上記供給ア−ム９２に受け渡さ
れる。

【０１６４】ついで、上記受け渡しユニット７８は、上
記レ−ル９１を１８０°回動駆動する（図９に示す状
態）。このことで、上記液晶セル１はこの本圧着装置１
６に受け渡される。

【０１６５】次に、この本圧着装置１６（フロチャ−ト
には「ＬＴＢ」と表示する）の第１のセルステ−ジ８１
が上記ガイドレ−ル９３の一端側（セル受け渡し位置）
に駆動され位置決めされる。

【０１６６】なお、この第１のセルステ−ジ８１と上記
第２のセルステ−ジ８４は、共に同一ガイドレ−ル９３
上を往復するが、駆動機構（図示しない）自体は独立に
設けられていて、それぞれ独立して往復駆動されるよう
になっている。

【０１６７】一方、上記受け渡しユニット７８は、上記
供給ア−ム９２を上記第１のセルステ−ジ８１の方向へ
駆動し、上記液晶セル１をこの第１のセルステ−ジ８１
の上方に位置決めする。

【０１６８】ついで、上記第１のセルステ−ジ８１は、
上記３つのリフトピン９７…を上昇させ（上記θ駆動部
９５の上面から突出させ）、このリフトピン９７…の上
端で上記液晶セル１を保持し、この液晶セル１を上記供
給ア−ム９２の上面から上方へと持ち上げる。

【０１６９】そして、上記受け渡しユニット７８は、供
給ア−ム９２を上記レ−ル９１に沿って駆動し、この供
給ア−ム９２をセル受け渡し位置から後退させる。つい
で、上記第１のセルステ−ジ８１は、上記リフトピン９
７を下降駆動し上記θ駆動部９５内に収納することで、
上記液晶セル１は上記セルステ−ジ８１の吸着ア−ム９
６の上面に受け渡され４つのア−ム先端部に吸着保持さ
れる。

【０１７０】この後、上記セル供給ユニット８１は上記
供給ア−ム９２を１８０°回転させ、この供給ア−ム９
２を再び上記仮圧着装置１５（ＬＴＭ）に対向させる。

【０１７１】このことで、図１１のフロ−チャ−トに示
す受け渡し工程が終了する。

【０１７２】次に、図１２のフロ−チャ−トについて説
明する。

【０１７３】上記第１のステ−ジ８１は、上記液晶セル
１を駆動し、液晶セル１の第２のガラス基板１ｂのＹ辺
（図１９（ａ）、（ｂ）にＹ１、Ｙ２で示す辺）を上記
第１のボンディング部１８に対向させる。

【０１７４】ついで、上記演算制御部１２５は、第１の
ル−チンに示すように優先権の有無を確認する。この段
階では優先権は未定であるので、上記第１、第２のボン
ディング部８２、８５間（第１、第２の撮像カメラ１０
７ａ、１０７ｂの下方）に上記第２のセルステ−ジ８４
が存在しないかを確認する。

【０１７５】存在しない場合には、上記第１のセルステ
−ジ８１を移動させ、上記第２のガラス基板１ｂのＹ辺
の位置決め用＋マーク５７を上記第１の撮像カメラ１０
７ａの下方（位置認識位置）に対向させ、この第１の撮
像カメラ１０７ａで上記位置決め用＋マーク５７を撮像
する。

【０１７６】上記位置決め用＋マーク５７は、上記Ｙ辺
の両端部にそれぞれ設けられているから上記第１の撮像
カメラ１０７ａによる撮像認識は合計２回行われること
となる。

【０１７７】なお、上記第１、第２のボンディング部８
２、８５間に第２のセルステ−ジ８４が存在する場合に
は、この第１のセルステ−ジ８１で保持した液晶セル１
と上記第２のセルステ−ジ８４で保持する液晶セル１と
が互いに干渉する恐れがある。このため、上記演算制御
部１２５は、第２のステ−ジ８４が上記第１、第２のボ
ンディング部８２、８５間から退出するまで、上記第１
のセルステ−ジ８１を待機させる。そして、上記第２の
セルステ−ジ８４が退出したならば、上述したように、
第１の撮像カメラ１０７ａによる位置決め用＋マーク５
７の撮像認識を行う。

【０１７８】また、上記演算制御部１２５は、図１３の
第２のル−チンに示すように、上記第１の撮像カメラ１
０７ａからの撮像信号に基づいて、上記位置決め用＋マ
ーク５７の位置を検出し、上記第２のガラス基板１ｂの
位置ずれ量を演算する。そして、この位置ずれ量と上記
第１のセルステ−ジ８１の位置決め精度（既知であると
する）とを比較する。

【０１７９】上記ずれ量が、上記位置決め精度よりも小
さい場合には、この補正によってかえって上記第２のガ
ラス基板１ｂのずれ量が大きくなる恐れがある。したが
って、補正を加えないで以下の本圧着動作（ボンディン
グ）を行わせる。

【０１８０】また、上記ずれ量が第１のセルステ−ジ８
１の位置決め精度よりも大きい場合には、上記第１のセ
ルステ−ジ８１に補正を加えて、以下の本圧着動作を行
わせる。

【０１８１】すなわち、この第１のセルステ−ジ８１
は、上記演算制御部１２５からの認識信号に基づいて上
記第２のガラス基板１ｂのＹ辺に仮圧着された第２のＴ
ＡＢ部品２ｂ…のうちＹ１、Ｙ１の位置（図１９（ａ）
に斜線で塗り潰して示す）を、上記圧着ブロック１０
４、１０４の押圧面１０４ａ、１０４ａに対向する位置
（圧着位置（１））に位置決めする。

【０１８２】次に、図１８を参照して上記第１、第２の
エアシリンダ１０１、１０３、圧着ブロック１０４の動
作（ボンディング動作）を説明する。なお、図中６は異
方性導電膜（異方性導電接着剤）である。

【０１８３】（ａ）は図１０に示す状態と同じで、作動
前の状態である。まず、上記ボンディングステ−ジ１０
５（バックアップ）を上昇させて、このボンディングス
テ−ジ１０５の上面で上記第２のガラス基板１ｂの下面
を保持する。

【０１８４】この状態で上記４ポ−ト弁１０８が作動し
て上記第１のエアシリンダ１０１が作動し、上記第２の
エアシリンダ１０３および上記圧着ブロック１０４を下
降駆動する。このときの上記圧着ブロック１０４の下降
速度は、上記第２のＴＡＢ部品２ｂあるいは第２のガラ
ス基板１ａに衝撃を与えないような値に設定される。ま
た、このとき、上記第２のエアシリンダ１０３内はすで
に圧力Ｐに保たれている。

【０１８５】ついで、（ｂ）に示すように、上記圧着ブ
ロック１０４の押圧面１０４ａが上記第２のＴＡＢ部品
２ｂに当接すると、高圧シリンダである第１のシリンダ
１０１により、上記第２のＴＡＢ部品２ｂの押圧力が急
激に上昇する。上記押圧力がＰに達すると、上記第２シ
リンダ１０１の駆動軸１０１ａは圧縮方向に駆動される
が、上記リリ−フ弁１１２からエアが抜けるために、上
記圧着ブロック１０４の押圧力はＰ以上に上昇すること
はない。

【０１８６】同図（ｃ）、（ｄ）に示すように、上記第
１のシリンダ１０３はさらに下降し、上記第２のエアシ
リンダ１０１を下降駆動する。このあいだ、上記リリ−
フ弁１１２が作動することで、上記第２のＴＡＢ部品２
ｂのアウタリ−ド７は異方性導電膜６を介して上記第２
のガラス基板１ｂの端子に圧力Ｐで押し付けられる。

【０１８７】このことで、上記第２のＴＡＢ部品２ｂは
上記第２のガラス基板１ｂに本圧着（ボンディング）さ
れる。

【０１８８】ついで、上記４ポ−ト弁１０８を切り替
え、上記圧着ブロック１０４を上昇させる。そして、上
記ボンディングステ−ジ１０５を下降させた後、上記第
１のセルステ−ジ８１を作動させて上記第２のガラス基
板１ｂをＸ方向にＴＡＢ部品２個分送り駆動し、未だ本
圧着されていない第２のＴＡＢ部品２ｂ（図１９（ｂ）
に示すＹ２）を上記圧着ブロック１０４の押圧面１０４
ａに対向する位置（圧着位置（２））に位置決めする。

【０１８９】そして、上述したのと同様の動作で上記圧
着ブロック１０４を駆動し、上記第２のＴＡＢ部品２ｂ
を上記第２のガラス基板１ｂにボンディングする。

【０１９０】ついで、上記ボンディングステ−ジ１０５
（バックアップ）が下降駆動される。そして、上記液晶
セル１を保持する第１のセルステ−ジ８１は、上記ガイ
ドレ−ル９３上を移動し、この液晶セル１を上記セル反
転装置８３に対向する位置（反転位置）に移送する。

【０１９１】なお、上記演算制御部１２５は、この液晶
セル１を反転位置に移送する前に図４に示す第２のル−
チンを実行する。すなわち、図１４に示すように、まず
「優先権」の有無を確認する。この場合には、優先権が
未定であるとする。

【０１９２】したがって、上記演算制御部１２５は、上
記反転位置、すなわち上記第１、第２のボンディング部
８２、８５間に上記第２のセルステ−ジが存在しないか
を確認する。

【０１９３】上記第２のセルステ−ジ８４が存在する場
合には、この上述した位置認識の場合と同様に、この第
１のセルステ−ジ８１で保持した液晶セル１と、第２の
セルステ−ジ８４で保持した液晶セル１とが干渉する恐
れがあるので、上記第２のセルステ−ジ８４がこの位置
から退出するまで上記第１のセルステ−ジ８１を待機さ
せる。そして、上記第２のセルステ−ジ８４が退出した
ならば上記第１のセルステ−ジ８１を上記反転位置に移
動させる。

【０１９４】以上で、図４に示す第１のガラス基板１ａ
のＹ辺に仮圧着された第２のＴＡＢ部品２ｂ…の本圧着
（ボンディング）工程は終了する。

【０１９５】また、この演算制御部１２５は、図１２の
フロチャ−トに（１）で示す工程において、上記第２の
ガラス基板１ｂに設けられた位置決め用＋マーク５７が
常に上記第１の撮像カメラ１０７ａの視野内に収められ
るように上記第１のセルステ−ジ８１の補正を行う。

【０１９６】すなわち、上記第１の撮像カメラ１０７ａ
で撮像される位置決め用＋マーク５７は、図１のモニタ
−１２６の撮像画面の中心に位置することが好ましい。
しかし、上記第１のセルステ−ジ８１の位置決め精度に
起因して、この位置決め用＋マーク５７は、位置決め毎
に同図に示すようにこの撮像画像の中心からずれること
が多い。

【０１９７】上記演算制御部１２５は、過去に撮像され
た位置決め用＋マーク５７と撮像画像の中心位置とのず
れ量（偏差（ｘ、ｙ））を記憶しておいて、この過去の
デ−タに基づいて、上記位置決め用＋マーク５７がこの
撮像画像の中心に位置するように上記第１のセルステ−
ジ８１の動きを制御するようにする。

【０１９８】具体的には、上記偏差量（ずれ量）の平均
値、最小２乗推定値等の統計的推定により、上記第１の
セルステ−ジ８１に加える補正量を定め、その補正を加
えて上記セルステ−ジ８１を位置決め駆動する。

【０１９９】次に、図５に示すフロ−チャ−トについて
説明する。

【０２００】上記反転位置に移送された液晶セル１は、
上記第１のセルステ−ジ８１によって上記セル反転装置
８３の一対のＴ字チャック１１７の間に挿入される。つ
いで、上記セル反転装置８３は上記Ｔ字チャック１１
７、１１７を閉駆動すると共に真空吸着し、上記液晶セ
ル１を握持する。ついで、セル反転装置８３はこのＴ字
チャック１１７、１１７を上昇駆動し、この液晶セル１
を上記第１のセルステ−ジ１７から上方へ離間させる。

【０２０１】上記セル反転装置８３は、上記液晶セル１
を所定量上昇させたところで、上記Ｔ字チャック１１
７、１１７を反転させ、上記液晶セル１を裏返し、この
間に、上記第１のセルステ−ジ８１は、上記反転位置か
ら後退し、かわりに、第２のセルステ−ジ２１が上記反
転位置に位置決めされる。

【０２０２】なお、上記第１のボンディング部８２での
本圧着作業と、第２のボンディング部８５での本圧着作
業とでは、本圧着するＴＡＢ部品の種類および数が異な
るために上記本圧着作業にかかる時間が異なる。例え
ば、上記ＴＡＢ部品一つを本圧着するには、上記圧着ブ
ロック１０４で２０秒以上押し付けていなければならな
い。したがって、圧着する回数が一回異なれば２０秒以
上の差が生じることとなる。

【０２０３】また、上記第２のセルステ−ジ８４は、第
２のボンディング部８５での本圧着動作が終了し、その
液晶セル１を上記セル排出ユニット８７に受け渡してか
らでないと、上記反転装置８３から液晶セル１を受けと
ることはできない。

【０２０４】このため、上述したように上記第１のセル
ステ−ジ８１が反転位置から後退してから上記第２のセ
ルステ−ジ８４がこの反転位置に位置決めされるまでに
時間がかかる場合がある。

【０２０５】上記演算制御部１２５は、上記セル反転装
置８３において、上記液晶セル１を上記第２のセルステ
−ジ８４に受け渡すまでの受け渡し待ち時間ｔ1 をカウ
ントする。

【０２０６】時間ｔ2 経過後、上記第２のセルステ−ジ
８４がこの反転位置に位置決めされたならば、上記反転
装置８３は、反転させた液晶セル１を下降駆動し、その
液晶セル１を上記第２のセルステ−ジ８４の吸着ア−ム
９６上に接触させる。

【０２０７】そして、上記Ｔ字チャック１１７、１１７
を開駆動すると共に真空吸着を解除することで、この液
晶セル１を解放する。このことで、上記液晶セル１は上
記第２のセルステ−ジ８４に受け渡される。

【０２０８】上記反転された液晶セル１を受け取った第
２のセルステ−ジ８４は、上記ガイドレ−ル９３に沿っ
て移動し、この反転位置から後退する。

【０２０９】以上で、この図１５のフロ−チャ−トに示
した反転工程は終了する。

【０２１０】次に、図１６に示すフロチャ−トについて
説明する。

【０２１１】上記第２のセルステ−ジ８４は第２のボン
ディング部８２に対向する位置（回転位置）に位置決め
される。ここで、上記第２のセルステ−ジ８４は、上記
液晶セル１を約９０°回転させ、第１のガラス基板１ａ
のどちらか一方のＸ辺を上記第２のボンディング部８２
の方向に向ける。

【０２１２】次に、この本圧着装置は、上記第１のガラ
ス基板１ｂの位置認識を行うわけであるが、その前に上
記演算制御部１２５は、第１のル−チン（図１３）を実
行する。

【０２１３】すなわち、この演算制御部は、まず、「優
先権」の有無を確認する。この場合には、優先権が未定
であるので、上記第１、第２のボンディング部８２、８
５間（第１、第２の撮像カメラ１０７ａ、１０７ｂの下
方）に上記第１のセルステ−ジ８１が存在しないかを確
認する。

【０２１４】存在しない場合には、上記第２のセルステ
−ジ８４を移動させ、上記第１のガラス基板１ａの上記
一方のＸ辺の位置決め用＋マーク５７（図９（ｃ）に示
す）を上記第２の撮像カメラ１０７ｂの下方（位置認識
位置）に対向させ、この第２の撮像カメラ１０７ｂで上
記位置決め用マーク５７を撮像する。

【０２１５】上記位置決め用＋マーク５７は、上記Ｙ辺
の場合と同様に、このＸ辺の両端部にそれぞれ設けられ
ているから上記第２の撮像カメラ１０７ｂによる撮像認
識は合計２回行われることとなる。

【０２１６】なお、上記第１、第２のボンディング部８
２、８５間に第１のセルステ−ジ８１が存在する場合に
は、この第１のセルステ−ジ８１で保持した液晶セル１
と上記第２のセルステ−ジ８４で保持する液晶セル１と
が互いに干渉する恐れがある。このため、上記演算制御
部１２５は、第１のステ−ジ８１が上記第１、第２のボ
ンディング部８２、８５間から退出するまで、上記第２
のセルステ−ジ８４を待機させる。そして、上記第１の
セルステ−ジ８１が退出したならば、上述したように、
第２の撮像カメラ１０７ｂによる位置決め用＋マーク５
７の撮像認識を行う。

【０２１７】なお、この位置認識工程（（１）で示す）
においても、上記第２のガラス基板１ｂへの本圧着の場
合と同様に、上記第１のガラス基板１ａに設けられた位
置決め用＋マーク５７が常に上記第２の撮像カメラ１０
７ｂの視野内に収められるように上記第２のセルステ−
ジ８４の補正を行う。

【０２１８】このことで、上記第２の撮像カメラ１０７
ｂは、常にモニタ−の撮像画像の中心位置近くで上記位
置決め用＋マーク５７をとらえることができる。

【０２１９】次に、上記演算制御部１２５は第２のル−
チン（図１４）を実行する。

【０２２０】すなわち、上記演算制御部１２５は、第２
の撮像カメラ１０７ｂからの撮像信号に基づいて、上記
位置決め用＋マーク５７の位置を検出し、上記第１のガ
ラス基板１ａの位置ずれ量を演算する。そして、この位
置ずれ量と上記第２のセルステ−ジ８４の位置決め精度
とを比較する。

【０２２１】上記ずれ量が、上記位置決め精度よりも小
さい場合には、この補正によってかえって上記第１のガ
ラス基板１ａのずれ量が大きくなる恐れがある。したが
って、補正を加えないで以下の本圧着動作（ボンディン
グ）を行わせる。

【０２２２】また、上記ずれ量が第２のセルステ−ジ８
４の位置決め精度よりも大きい場合には、上記第２のセ
ルステ−ジ８４に補正を加えて、以下の本圧着動作を行
わせる。

【０２２３】すなわち、この第２のセルステ−ジ８４
は、上記演算制御部１２５からの認識信号に基づいて上
記第１のガラス基板１ａのＸ辺に仮圧着された第１のＴ
ＡＢ部品２ａ…のうちＸ１、Ｘ１の位置（図１９（ｃ）
に斜線で塗り潰して示す）を、上記圧着ブロック１０
４、１０４の押圧面１０４ａ、１０４ａに対向する位置
（圧着位置（１））に位置決めする。

【０２２４】そして、上記第２のボンディング部２２
は、このＸ１、Ｘ１に位置する第１のＴＡＢ部品２ａ…
の本圧着（ボンディング）を行う。この本圧着動作はす
でに説明した第１のボンディング部８２の動作と同じな
のでその説明は省略する。

【０２２５】次に、上記第２のセルステ−ジ８４は、こ
の第１のガラス基板１ａをＸ方向に上記第１のＴＡＢ部
品２ａの２個分だけ移動させ、図１９（ｄ）にＸ２、Ｘ
２で示す第１のＴＡＢ部品２ａ…を上記圧着ブロック１
０４の下側に対向位置決めする。なお、この位置決め
も、上記第２のル−チンで補正を行うことを決定した場
合には、補正を加えつつ行う。

【０２２６】そして、この第２のボンディング部８５
は、この部分の第１のＴＡＢ部品２ａについても上述し
た動作で本圧着（ボンディング）を行う。このことによ
って、液晶セル１の第１のガラス基板１ａの一方のＸ辺
に仮圧着されたすべての第１のＴＡＢ部品２ａ…の本圧
着が終了する。

【０２２７】次に、上記第２のセルステ−ジ８４は、こ
の液晶セル１を上記第２のボンディング部８５から取り
出し、この位置から若干量後退させる（回転位置）。そ
して、上記第２のセルステ−ジ８４はこの液晶セル１を
水平方向に１８０°回転させ、上記第１のガラス基板１
ａの他方のＸ辺を上記第２のボンディング部８５の方向
に向ける。

【０２２８】ついで、上記第２のボンディング部８５は
上述したのと同様の位置決め動作およびボンディング動
作［ｂ］で、図１９（ｅ）、（ｆ）に示すように、Ｘ３
およびＸ４の位置にある第１のＴＡＢ部品２ａ…を順に
本圧着する。

【０２２９】このことにより、上記液晶セル１の互いに
対向する第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着さ
れたすべての第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂの本圧
着が終了する。

【０２３０】次に、上記第２のセルステ−ジ８４は、上
記液晶セル１を上記第２のボンディング部８５から取り
出し、上記回転位置でこの液晶セル１を水平方向に９０
°回転させたのち、上記セル排出ユニット８７の方向に
移送する。

【０２３１】このことで図１６のフロ−チャ−トに示し
た第２のボンディング部８２によるボンディング工程は
終了する。

【０２３２】次に、図１７に示すフロ−チャ−トを説明
する。

【０２３３】上記液晶セル１は、上記第２のセルステ−
ジ８４によって、上記排出ユニット８７の一対の排出チ
ャック１２２、１２２間（排出位置）に挿入され位置決
めされる。ついで、上記排出チャック１２２、１２２は
閉駆動され、上記液晶セル１を握持すると共に真空吸着
する。ついで、上記排出ユニット２３の排出ヘッド１２
１は上昇駆動され、上記液晶セル１を上記第２のセルス
テ−ジ８４の吸着ア−ム９６の上面から持ち上げる。

【０２３４】そして、この排出ユニット８７は上記Ｘ駆
動部１２０を作動させて上記排出ヘッド１１５を駆動
し、上記液晶セル１を図示しないコンベア上に載置す
る。そして、このコンベアは、この液晶セル１を図示し
ない製品組み立て装置に移送する。

【０２３５】ついで、上記排出ユニット８７の排出ヘッ
ド１１５は元に位置に復帰させられ、次の液晶セル１を
排出するために排出位置で待機する。

【０２３６】このことで、図１７に示した排出工程は終
了する。

【０２３７】なお、上記第２のセルステ−ジ８４は、上
記排出ユニット８７に液晶セル１を受け渡したならば、
上記反転位置（反転装置８３）に移動させられ、この反
転位置で上記反転装置８３から上記第１のボンディング
部８２での本圧着を終えた液晶セル１を受けとる。

【０２３８】この場合にも、上記演算制御部１２５は、
図１３に示す第１のル−チンを行い、上記反転位置に上
記第１のセルステ−ジ８１が存在しないかを確認する。
なお、この第２のセルステ−ジ８４が優先権を有する場
合には、このような確認は行わない。

【０２３９】また、上記演算制御部１２５は、上記第２
のセルステ−ジ８４が、上記排出ユニット８７に液晶セ
ル１を受け渡してから、上記反転位置で新たな液晶セル
１を受け取るまでの、受け取り待ち時間ｔ2 をカウント
する。

【０２４０】このことにより、図１７に示すフロ−チャ
−トは終了する。

【０２４１】このような仮圧着工程および本圧着工程
は、複数の液晶セル１…について繰り返し、連続的に行
われ、自動的に大量の液晶パネルを製造できるようにな
っている。

【０２４２】次に、上記本圧着装置１６における演算処
理部１２５による「優先権」の決定および、その優先権
に基づく制御について説明する。

【０２４３】上述したように、この演算処理部１２５
は、上記反転装置８３での受け渡し待ち時間ｔ1 と、上
記第２のセルステ−ジ８４が液晶セル１を排出してから
この反転位置で次の液晶セル１を受け取るまでの受け取
り時間ｔ2 とをカウントする。

【０２４４】ｔ1 ＞ｔ2 の場合には、上記第１のボンデ
ィング部８２での本圧着時間よりも上記第２のボンディ
ング部８５での本圧着時間の方が長いことを意味し、ｔ
1＜ｔ2 の場合には、第１のボンディング部８２での本
圧着時間よりも第２のボンディング部８５での本圧着時
間の方が短いことを意味する。

【０２４５】上記演算処理部１２５は、ｔ1 ＞ｔ2 の場
合には、第２のボンディング部８２および上記第２のセ
ルステ−ジ８４に「優先権」を与える。また、ｔ1 ＜ｔ
2の場合には、第１のボンディング部８２および第１の
セルステ−ジ８１に「優先権」を与える。

【０２４６】上記演算制御部１２５は、上述した「優先
権未定」の状態で本圧着工程を何度か行うことで、上記
時間ｔ1 および時間ｔ2 を監視し、その工程における
「優先権」をどちらに与えるかを決定する。

【０２４７】本実施例の場合には、上記第１のボンディ
ング部８２が行う第２のガラス基板１ｂへの第２のＴＡ
Ｂ部品２ｂの本圧着と第２のボンディング部８５が行う
第１のガラス基板１ａへの第１のＴＡＢ部品２ａの本圧
着とを比較すると、上記第２のボンディング部８５で行
う本圧着のほうがボンディング点数が多い。

【０２４８】したがって、ｔ1 ＞ｔ2 となることが明ら
かであり、上記第２のボンディング部８５および第２の
セルステ−ジ８４に優先権が付与されることとなる。

【０２４９】次に、この優先権の内容について説明す
る。

【０２５０】この優先権が上記第２のセルステ−ジ８４
（第２のボンディング部８５）に与えられた場合には、
上記第２のセルステ−ジ８４を上記第１、第２のボンデ
ィング部８２、８５間に移動させる場合にでも、その位
置に第１のセルステ−ジ８１が存在するかの確認は行わ
れない。

【０２５１】一方、優先権のない上記第１のセルステ−
ジ８１を上記第１、第２にボンディング部８２、８５間
に移動させる場合には、その位置に上記第２のセルステ
−ジ８４が存在するかの確認を行い、存在する場合に
は、上記第２のセルステ−ジ８４がその位置から退出す
るまで、待機する。

【０２５２】さらに、上記演算制御部１２５は、上記第
２のボンディング部８５での作業状況を監視し、優先権
を持つ上記第２のセルステ−ジ８４が近く上記第１、第
２のボンディング部８２、８５間に移動する予定がある
場合には、やはり、上記第１のセルステ−ジ８４を上記
第１、第２のボンディング部８２、８５間に移動させ
ず、待機させる。

【０２５３】そして、上記第２のセルステ−ジ８４に保
持された液晶セル１についての位置認識が終了し、この
第２のセルステ−ジ８４がこの位置から退出したなら
ば、上記第１のセルステ−ジ８１を上記第１、第２のボ
ンディング部８２、８５間に移動させるようにする。

【０２５４】すなわち、本圧着作業により長い時間を要
する第２のボンディング部８５（第２のセルステ−ジ８
４）に優先権を与えることで、この第２のボンディング
部８５の本圧着時間にさらに位置認識およびセル受取り
のための待ち時間が積算されることを防止するのであ
る。これが優先権の内容である。

【０２５５】以上述べた液晶パネル製造装置（仮圧着装
置１５、本圧着装置１６）によれば、以下に説明する効
果がある。

【０２５６】まず、このような構成によれば、液晶セル
１の反転を含めた液晶セル１への第１、第２のＴＡＢ部
品２ａ、２ｂの仮圧着および本圧着の全工程を全自動
（フルオ−ト）で、かつ複数の液晶セル１について連続
的に行える効果がある。

【０２５７】また、自動の液晶セル反転装置７２、８３
を具備しているため、図２０に示す単純マトリックス液
晶パネルのように配線パタ−ンの端子が一対のガラス基
板１ａ、１ｂの対向面にそれぞれ形成されている場合で
も、途中で人手による反転や仮圧着装置１５と本圧着装
置１６間の受け渡しのための段取り替えの作業を挟むこ
となく、連続的にすべてのＴＡＢ部品２ａ、２ｂの仮圧
着および本圧着を行うことができる。

【０２５８】さらに、上記液晶セル１の搬送を、この液
晶セル１の下面を吸着保持して行うようにしたので、上
記液晶セル１を落して破損させたりすることがなく、接
続に悪影響が少ない。

【０２５９】したがって、生産性を向上させることがで
きると共に、作業者による部品（ＴＡＢ部品２ａ、２ｂ
や液晶セル１）の取扱いミスにより製品が破損すること
が少なくなる。

【０２６０】また、従来、液晶セル１のボンディング位
置を機械的に位置決めしていたのにくらべ、この位置決
めを上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ上に形成さ
れた位置決めマーク５７を撮像カメラ（５８、６２、１
０７ａ、１０７ｂ）で認識して行うようにしたので、よ
り高精度な位置決めを行うことが可能になる。このこと
により、より高密度かつ高品質の製品を製造することが
できる効果がある。

【０２６１】また、上記仮圧着装置１５によれば、以下
の効果がある。

【０２６２】上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂと
第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの位置合わせを、ま
ず、第１の撮像カメラ５８を用いて液晶セル１（ガラス
基板１ａ、１ｂ）全体の位置決めを行い、次に位置認識
光学系６０を用いて上記ガラス基板１ａ、１ｂの配線パ
タ−ンの端子と上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ
のアウタリ−ド７とを精密に位置合わせした。

【０２６３】したがって、人手で位置合わせを行う場合
にくらべ、位置合わせミスを少なくできると共に、位置
合わせ精度の向上および均一化、高速化を図ることがで
きる効果がある。

【０２６４】また、上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、
２ｂに貼着された異方性導電膜６の離型紙６ａ剥離動
作、上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂの仮位置決
め、液晶セル１の搬送位置決め、仮圧着動作を各々並行
して同時に行うことができるため、大幅な作業時間の短
縮となる。

【０２６５】さらに、従来は人手によって一つづつ異方
性導電膜６の離型紙６ａを剥離していたため、自動機で
仮圧着をすることができなかったが、離型紙６ａの剥離
を自動で行うことにより自動機による仮圧着が可能とな
った。

【０２６６】これらのことにより、上記ガラス基板１
ａ、１ｂの端子に塵埃が付着したり、このガラス基板１
ａ、１ｂを破損させることが少なくなり、かつ生産性が
大幅に向上する効果がある。

【０２６７】次に、上記本圧着装置１６によれば、以下
に説明する効果がある。

【０２６８】この本圧着装置１６の上記第１のエアシリ
ンダ１０１は高圧用シリンダなので、上記圧着ブロック
１０４をゆっくりと下降させても、上記圧着ブロック１
０４の押圧力は瞬時に所定の圧力Ｐに達する。また、こ
れ以後は上記リリ−フ弁１１２が作動することにより、
上記圧着ブロック１０４の押圧力は常時Ｐに保たれるの
で、Ｐ以上の圧力で上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、
２ｂを押さえ付けることはない。

【０２６９】このことにより、上記第１、第２のＴＡＢ
部品２ａ、２ｂに衝撃を与えることがなくかつ瞬時に押
圧力を上昇させることができるので、熱による上記第
１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂのフィルムキャリア４
の膨脹を有効に押さえることができる。また、上記第
１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂや第１、第２のガラス
基板１ａ、１ｂに衝撃を与えたりＰ以上の大圧力で押圧
することが防止されるので、この上記第１、第２のＴＡ
Ｂ部品２ａ、２ｂや第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ
を破損させることが少ない。

【０２７０】一方、上記本圧着装置１６は、上記第１、
第２のガラス基板１ａ、１ｂの一辺（Ｘ辺、Ｙ辺）に並
列に並べられて仮圧着された複数の第１、第２のＴＡＢ
部品２ａ、２ｂ…を２回に別けて本圧着するようにした
ので、上記第１のＴＡＢ部品２ａ…の間隔および第２の
ＴＡＢ部品２ｂ…の間隔がそれぞれ狭い場合にでも、そ
れらのＴＡＢ部品２ａ、２ｂを効率的にかつ精度良く本
圧着することが可能である。

【０２７１】また、この装置は、第１、第２のボンディ
ング部８２、８５を設け、この各ボンディング部８２、
８５に設けられた第１、第２のセルステ−ジ８１、８４
間で液晶セル１の受け渡しをすることにしたが、上記第
１、第２のセルステ−ジ８１、８４は、同一ガイドレ−
ル９３上を移動するようにすると共に上記第１、第２の
ボンディング部８２、８５間に、上記第１、第２のセル
ステ−ジ８１、８４上から上記液晶セル１を持ち上げる
ことができる装置（反転装置８３）を設けた。

【０２７２】したがって、この装置で上記液晶セル１を
上下させると共に、上記第１、第２のセルステ−ジ８
１、８４を上記ガイドレ−ル９３上でそれぞれ往復移動
させるのみで、上記液晶セル１の受け渡しを行える。こ
のことにより上記液晶セル１を持ち上げてから移送する
等の動作が不要となり、構成が簡略化しかつ液晶セル１
を移送中に落とすということもないから液晶パネルの破
損も防止できる。

【０２７３】次に、上記仮圧着装置１５および本圧着装
置１６に設けられた演算制御部１２５の制御による効果
を以下に説明する。

【０２７４】まず、上記本圧着装置１６は、２種類の第
１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂを本圧着するものであ
るために、これに対応する２つの第１、第２のボンディ
ング部８２、８５を設け、かつこの第１、第２のボンデ
ィング部８２、８５とを近接させて装置全体のコンパク
ト化を図っている。

【０２７５】さらに、第１、第２のセルステ−ジ８１、
８４を同一のガイドレ−ル９３上を移動させることによ
って構成の簡略化を図ると共に、位置認識のため第１、
第２の撮像カメラ１０７ａ、１０７ｂおよび反転のため
の反転装置８３を上記第１、第２のボンディング部間に
設けて、省スペ−ス化を図っている。

【０２７６】しかし、このような構成においては、上記
液晶セルの位置認識および反転の際に、上記第１、第２
のボンディング部８２、８５の間のスペ−スで上記第
１、第２のセルステ−ジ８１、８４どうし、あるいは、
これらに保持された液晶セル１、１どうしが干渉するお
それがある。

【０２７７】このような場合に、上記第１、第２のセル
ステ−ジ８１、８４の動きに何等の規制を行わないとき
には、より本圧着に長かかる上記第２のボンディング部
８２の第２のセルステ−ジ８４の動きが、上記第１のボ
ンディング部８１における液晶セル１の位置認識等の動
作により制限される事態が生じる。

【０２７８】このことにより、この本圧着装置１６にお
ける本圧着時間が伸びて、製品製造のタクトタイムを短
縮することの妨げになるということがある。

【０２７９】しかし、この発明においては、より本圧着
に時間のかかる第２のボンディング部８２および第２の
セルステ−ジ８４に「優先権」を与え、この第２のセル
ステ−ジ８４を、上記第１のボンディング部８２の第１
のセルステ−ジ８１よりも優先させて作動させるように
した。

【０２８０】このことで、上記第２のボンディング部８
４における本圧着時間が伸びることが少ないので、結局
本圧着全体にかかる時間を短縮することができる。この
ことで、生産効率を向上させることができる効果があ
る。

【０２８１】第２に、上記仮圧着装置１５および本圧着
装置１６において、上記制御部１２５は、上記液晶セル
１やこの液晶セル１に設けられた配線パタ−ンの端子の
位置ずれ量と、各セルステ−ジ１９、８１、８４の位置
決め精度とを比較し、この位置決め精度より上記液晶セ
ル１の位置ずれ量が小さい場合には、上記液晶セル１や
端子の位置ずれ補正を行わないようにした。

【０２８２】このことにより、上記液晶セル１の位置決
めや端子とアウタリ−ド７との位置合わせより高精度で
行えるから、上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂの
仮圧着および本圧着にミスが生じることが少なくなる効
果がある。

【０２８３】第３に、上記演算制御部１２５は、過去の
位置決め用＋マーク５７の撮像デ−タに基づいて、上記
液晶セル１の位置決め用＋マーク５７が撮像画像の中心
位置近くで捕らえることができるように上記液晶セル１
を保持する上記セルステ−ジ１９、８１、８４の移動経
路を適宜補正するようにした。

【０２８４】このことで、上記セルステ−ジ１９、８
１、８４による位置決め位置に経時的にずれが生じた場
合にでも、それを適宜補正することができるので、上記
位置決め用＋マーク５７を撮像することができず上記液
晶セル１の位置認識を行えないといった事態が発生する
ことが防止できる。このことにより、より長時間の連続
稼働が可能になる効果がある。

【０２８５】なお、この発明は、上記一実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々
変形可能である。

【０２８６】例えば、上記一実施例の仮圧着装置１５で
は、上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂをフィルム
キャリア４から打ち抜き成形する機構を具備していた
が、これに限定されるものではなく、すでに成形された
第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂをトレイ等に収納保
持し、このトレイから順次取り出して上記ＴＡＢ部品搬
送機構２３に供給するようにしても良い。

【０２８７】さらに、上記一実施例の仮圧着装置１５で
は、上記異方性導電膜６は上記ＴＡＢ部品２を上記フィ
ルムキャリア４から打ち抜き成形する前にすでに離型紙
６ａ付きの状態で上記フィルムキャリア４に貼着されて
いたが、これに限定されるものではない。

【０２８８】例えば、上記異方性導電膜６を上記仮圧着
ステ−ジＤに位置決めする直前に上記第１、第２のＴＡ
Ｂ部品２ａ、２ｂのアウタリ−ド７に貼着するようにし
ても良い。この場合には、上記離型紙６ａ付きでない異
方性導電膜６´（図示しない）を使用することができ
る。このため上記離型紙剥離装置は不要になる。

【０２８９】また、上記異方性導電膜６を上記液晶セル
１を構成する第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ側に貼
着するようにしても良い。このようにした場合には、上
記セルステ−ジ１９の側方に離型紙剥離装置を設け、上
記セルステ−ジ１９を回転させることで、順次上記異方
性導電膜６から上記離型紙６ａを剥離するようにすれば
良い。

【０２９０】また、上記一実施例の本圧着装置１６で
は、２つの圧着ブロック１０４を併設したが、比較的小
さな液晶パネルを製造する場合には、一つの圧着ブロッ
ク１０４のみであっても良い。

【０２９１】この場合でも、上記一つの圧着ブロック１
０４は、第１、第２のエアシリンダ１０１、１０３によ
って駆動するようにすれば、上記第１、第２のＴＡＢ部
品２ａ、２ｂ…を上記第１、第２のガラス基板１ａ、１
ｂに良好に本圧着することができる。

【０２９２】また、上記一実施例の本圧着装置では、上
記圧着ブロック１０４は、ＴＡＢ部品２個分の長さを有
する押圧面１０４ａを有し、かつ互いに上記ＴＡＢ部品
２個分離間して２つ設けられていたが、これに限定され
るものではなく、本接合される第１、第２のＴＡＢ部品
２ａ、２ｂの大きさ、個数および接合密度により自由に
決定しても良い。

【０２９３】例えば、圧着ブロック１０４はＴＡＢ部品
１個分の長さの押圧面１０４ａを有し、かつ互いにＴＡ
Ｂ部品３個分離間して３つ以上並列に設けるようにして
も良い。

【０２９４】また、上記一実施例では、上記第１、第２
のエアシリンダ１０１、１０３を制御するために図２に
示すような空圧回路を用いたが、これに限定されるもの
ではなく、他の制御回路によって制御するようにしても
良い。

【０２９５】さらに、上記一実施例では、上記仮圧着装
置１５と本圧着装置１６との間で、液晶セル１の受け渡
しを行う機構として、受け渡しユニット７８を設けた
が、これに限定されるものではない。

【０２９６】例えば、図２０に示すような機構であって
も良い。

【０２９７】図２０（ａ）中１７は、仮圧着装置１５の
架台であり、８０は本圧着装置１６の架台である。両装
置の架台は、図にＥで示す部分で接続されている。ま
た、この架台１７、８０上に設けられたガイドレ−ル１
２７は両装置に亘って一体連続的に設けられたもので、
このガイドレ−ル１２７には、仮圧着装置１５のセルス
テ−ジ１９と、上記本圧着装置１６の第１のセルステ−
ジ８１とが、独立的に移動自在に設けられている。

【０２９８】そして、上記仮圧着装置１５の架台１７上
には受け渡しユニット１２８が設けられている。この受
け渡しユニット１２８は、上記架台１７上に略垂直に立
設されたガイド１２９と、このガイド１２９に沿って上
下自在に設けられたスライダ１３０と、このスライダ１
３０に開閉自在に設けられた一対のＴ字チャック１３
１、１３１とからなる。

【０２９９】次に、この機構の動作について説明する。

【０３００】図２０（ａ）に示すように、上記仮圧着装
置１５のセルステ−ジ１９には、上記第１、第２のＴＡ
Ｂ部品２ａ、２ｂ（図示しない）の仮圧着が終了した液
晶セル１が保持されている。次に、上記仮圧着装置１５
のセルステ−ジ１９は、上記ガイドレ−ル１２７上を上
記受け渡しユニット１２８の方向に移動し、上記液晶セ
ル１を上記受け渡しユニット１２８の一対のＴ字チャッ
ク１３１、１３１間に挿入する。

【０３０１】ついで、上記Ｔ字チャック１３１、１３１
は閉駆動され、上記液晶セル１を握持すると共に、上記
セルステ−ジ１９の吸着ア−ム３６は、上記液晶セル１
の吸着を解除する。

【０３０２】上記受け渡しユニット１２８は、上記スラ
イダ１３０を上昇させることで、上記液晶セル１をこの
セルステ−ジ１９から持ち上げる。

【０３０３】上記仮圧着装置１５のセルステ−ジ１９
は、この位置から退出し、かわりに上記本圧着装置１６
の第１のセルステ−ジ８１が上記受け渡しユニット１２
８によって持ち上げられた液晶セル１の下側に位置決め
される。

【０３０４】上記受け渡しユニット１２８は、下降し、
上記第１のセルステ−ジ８１の吸着ア−ム３６上に上記
液晶セル１を載置した後、上記Ｔ字チャック１３１、１
３１による握持を解除する。

【０３０５】上記第１のセルステ−ジ８１の吸着ア−ム
９６は上記液晶セル１を吸着保持し、この液晶セル１の
受け渡しが終了する。

【０３０６】このような構成によれば、受け渡しのため
の機構の構成および受け渡し動作が簡略化されるので、
装置のコンパクト化が図れると共に、受け渡しの高速化
および確実化を図ることがきる効果がある。

【０３０７】なお、この場合、上記仮圧着装置１５の演
算制御部６６と上記本圧着装置１６の演算制御部１２５
とを接続し、両装置１５、１６間で上記一実施例で説明
したのと同様の性格を有する「優先権」を定めるように
しても良い。

【０３０８】このようにすれば、仮圧着装置と本圧着装
置とで、より作業時間が長い方の装置を優先させること
ができ、結果として装置の高速化を図ることができる効
果がある。

【０３０９】また、上記一実施例では、請求項７〜請求
項９記載の位置決め装置および加工装置を液晶パネル製
造装置（仮圧着装置１５、本圧着装置１６）に適用した
が、この用途に限定されるものではなく、他の用途、例
えば半導体パッケ−ジの製造装置等にも用いることがで
きる。

【０３１０】また、上記一実施例では、位置合わせ用目
印として、位置決め用＋マーク５７を用いたが、これに
限定されるものではなく、星形状のマークであっても良
いし、上記第１、第２の透明基板１ａ、１ｂに設けられ
た端子を位置合わせ用目印として用いるようにしても良
い。

【０３１１】また、上記一実施例では、単純マトリック
ス液晶パネルの製造について説明したがこれに限定され
るものでない。アクティブマトリックス液晶パネルの製
造に適用することもできる。

【０３１２】このアクティブマトリックス液晶パネルに
用いる液晶セルは、上記単純マトリックス液晶パネルと
同様に一対の透明基板により構成されているものである
が、上記単純マトリックス液晶パネルの場合と異なり上
記一対の透明基板のうちの一方にしか液晶駆動用ＩＣが
取り付けられない。

【０３１３】したがって、このアクティブマトリックス
液晶パネルを製造する場合には、上記一実施例に示した
反転動作は不要となり、上記一実施例の反転装置７２、
８３、は、上記液晶セルを反転させず受け渡しのみを行
うこととなる。

【０３１４】また、上記一実施例では、上記液晶セル１
に種類の異なる第１、第２のＴＡＢ部品４ａ、４ｂを接
続したが、これに限定されるものではなく、上記第１、
第２の透明基板１ａ、１ｂに接続されるＴＡＢ部品は同
じ種類、すなわち一種類のみであっても良い。

【０３１５】さらに、上記一実施例では、上記液晶セル
１を構成する一対の基板は両基板ともに透明ガラス基板
１ａ、１ｂであったが、これに限定されるものではな
く、片方の基板は不透明（反射板）であっても良い。

【０３１６】

【発明の効果】以上述べたように、この発明の第１の構
成は、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形され
た液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この
部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基板を
有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出する
セル供給機構と、このセル供給機構から給出された上記
液晶セルを保持し、この液晶セルの基板に設けられた端
子を所定の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルス
テ−ジと、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを
受取り、この液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液
晶駆動用ＩＣ搬送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタ
リ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、これら
の位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位置合わ
せされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端
子が設けられた部位とを接合材を介して押圧し仮圧着す
る仮圧着機構と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが仮圧着さ
れてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルをＸ
Ｙθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記基
板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に
仮圧着されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボン
ディング機構と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着さ
れたのに基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを
受取り、この液晶セルを排出位置に移送する排出手段と
を具備する液晶パネル製造装置である。

【０３１７】第２の構成は、キャリアテ−プから個々に
打ち抜かれて成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する
部品供給機構と、この部品供給機構と並設され、互いに
対向する一対の基板を有する液晶セルを収納し、この液
晶セルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機
構から給出された上記液晶セルを保持し、この液晶セル
の一対の基板のうち、どちらか一方の基板の端子を所定
の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジ
と、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取
り、この液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆
動用ＩＣ搬送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−
ドと上記基板の端子とを認識し、これらの位置合わせを
行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆
動用ＩＣのアウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位
とを接合材を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上
記一方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたの
に基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、上記
一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着
されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルを
ＸＹθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記
一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づき、上記一方の基板に仮圧着されてい
る上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディング機構
と、上記一方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたの
に基づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、上記
両方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づ
き、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この
液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する液
晶パネル製造装置である。

【０３１８】第３の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構
と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容
し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、この
セル供給機構から給出された上記液晶セルを支持し、こ
の液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置
に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給機構か
ら上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液晶駆動用ＩＣを
仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬送機構と、上記
液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板に設けられた
端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ
手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウ
タリ−ドと上記基板の端子の設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備する液晶
パネル製造装置である。

【０３１９】第４の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電
膜が貼着され、かつキャリアテ−プから個々に打ち抜か
れて成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給
機構と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを
収容し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給
機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液晶駆動用
ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬送機構
と、この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路途中に配置
され、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜から上記離型
紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆動用ＩＣの
アウタリ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基
板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介し
て押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備する液晶パネル
製造装置である。

【０３２０】第５の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置において、キャ
リアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶駆動
用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この部品供給機
構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを
順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給
出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一対の
基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子を所
定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記
部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、この液
晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用ＩＣ搬
送機構と、上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基
板の端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣの
アウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基
板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたのに基づき、
上記液晶セルを反転させる反転機構とを具備する液晶パ
ネル製造装置である。

【０３２１】第６の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置において、アウ
タリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、かつ
キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、この部品供
給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セ
ルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構か
ら給出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一
対の基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
Ｃ搬送機構と、この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路
途中に配置され、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜か
ら上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆
動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと基板の
端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介して押
圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基板の端子に
液晶駆動用ＩＣが仮圧着されたのに基づき、上記液晶セ
ルを反転させる反転機構とを具備する液晶パネル製造装
置である。

【０３２２】第７の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用ＩＣを本圧着する液晶パネルの製造装置にお
いて、上記基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてな
る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向
に駆動するセルステ−ジと、上記基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づいて駆動位置決めされた基板に仮圧着
されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディン
グ部と、上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに
基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、
この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備す
る液晶パネル製造装置である。

【０３２３】第８の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子に、それぞれ液晶駆動用ＩＣを
本圧着する液晶パネルの製造装置において、上記一対の
基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてなる液晶セル
を保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向に駆動する
セルステ−ジと、上記一対の基板のうちどちらか一方の
基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決
めされた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用
ＩＣを本圧着するボンディング部と、上記一方の基板に
液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づき、その液晶セ
ルを反転させる反転手段と、上記両方の基板に液晶駆動
用ＩＣが本圧着されたのに基づき、上記セルステ−ジか
ら上記液晶セルを受取り、この液晶セルを排出位置に移
送する排出手段とを具備する液晶パネル製造装置であ
る。

【０３２４】第９の構成は、第７あるいは第８の構成に
おいて、上記ボンディング部は、基板の端子に液晶駆動
用ＩＣを接合材を介してボンディングする圧着ブロック
と、この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定
のボンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、この
加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い圧力
で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備する液晶
パネル製造装置である。

【０３２５】第１０の構成は、第７の構成あるいは第８
の構成において、上記ボンディング部は、少なくとも一
つの液晶駆動用ＩＣの接合幅に対応する押圧面を有しか
つ互いに少なくとも一つの液晶駆動用ＩＣの接合幅以上
離間して設けられた少なくとも２以上の圧着ブロック
と、この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させ
て上記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされて
いない液晶駆動用ＩＣに順次対向させる駆動手段とを具
備するものである液晶パネル製造装置である。

【０３２６】第１１の構成は、実装基板を保持すると共
に、任意の位置に位置決め駆動する位置決め駆動手段
と、上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像された画像から上記
マークあるいは端子を検出する画像処理装置と、この画
像処理装置による画像処理結果により上記実装基板のず
れを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の位置決
め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ量が大
きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記実装基
板の位置を補正する演算制御部とを具備する位置決め装
置である。

【０３２７】第１２の構成は、互いに隣り合って設けら
れ、被加工物に加工を施す少なくとも２以上の加工部
と、上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工
物を搬送位置決めする複数のステ−ジと、上記加工部間
に設けられ、加工部で加工された被加工物をその加工部
に設けられたステ−ジから受けとり、次の加工部に設け
られたステ−ジに受け渡す受け渡し機構と、上記加工部
のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互いに干渉する
位置に移動する場合には、上記加工部に設けられたステ
−ジから基板を受けとって保持し次の加工部に設けられ
たステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の加工部での
加工が終了してから上記被加工物を受けとるまでの時間
とを比較して、前者が後者より長い場合には、上記加工
部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が長い場合に
は、次の加工部のステ−ジを優先的に移動させる制御部
と、を具備する被加工物の加工装置である。

【０３２８】第１３の構成は、実装基板を保持し位置決
め駆動する駆動機構と、この駆動機構により保持された
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像されたマークあるい
は端子と、この画像中心とのずれを検出する検出手段
と、過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づ
いて上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具
備する位置決め装置である。

【０３２９】第１の構成によれば、液晶セルを構成する
基板に複数個の液晶駆動用ＩＣを仮圧着および本圧着す
る場合において、必要な一連の作業をすべて自動化し、
それによって作業時間の短縮化と精度の向上を図ること
ができる。

【０３３０】第２の構成によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の両方に複数個の液晶駆動用ＩＣを仮圧着お
よび本圧着する場合において、必要な一連の作業をすべ
て自動化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向
上を図ることができる。

【０３３１】第３、第４の構成によれば、液晶セルを構
成する基板に複数個の液晶駆動用ＩＣを仮圧着する場合
において、必要な一連の作業をすべて自動化し、それに
よって作業時間の短縮化と精度の向上を図ることができ
る。

【０３３２】第５、第６の構成によれば、液晶セルを構
成する一対のガラス基板の両方に複数個の液晶駆動用Ｉ
Ｃを仮圧着する場合において、必要な一連の作業をすべ
て自動化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向
上を図ることができる。

【０３３３】第７、第８の構成によれば、液晶セルを構
成する一対の基板の両方に複数個の液晶駆動用ＩＣを本
圧着する場合において、必要な一連の作業をすべて自動
化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向上を図
ることができる。

【０３３４】第９の構成によれば、液晶駆動用ＩＣの膨
脹を防止できると共にこのＩＣや基板を破損させること
がなくなるので、より良好な液晶パネルを製造すること
ができる。

【０３３５】第１０の構成によれば、液晶セルに複数の
液晶駆動用ＩＣが狭い間隔で実装される場合であって
も、それらを精度良くかつ効率的に本圧着することがで
き、それよって作業時間の短縮化と精度の向上を図るこ
とができる。

【０３３６】第１１の構成によれば、実装基板の位置決
めをより高精度に行うことができる効果がある。

【０３３７】第１２の構成によれば、より加工に時間が
かかる加工部を他の加工部に優先させることができるの
で、全体としての加工時間の短縮を図ることができる効
果がある。

【０３３８】第１３の構成によれば、基板に設けられた
マークを認識できないということが少なくなるので、基
板の位置決めをより確実に行うことができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の液晶パネル製造装置の全
体を示す概略構成図。

【図２】同じく、仮圧着装置を示す正面斜視図。

【図３】同じく、背面斜視図。

【図４】同じく、平面図。

【図５】（ａ）は、同じく単純マトリックス基板の第２
のガラス基板側から見た平面図、（ｂ）は、第１のガラ
ス基板側から見た平面図。

【図６】（ａ）、（ｂ）は、同じくモニタ−画像を示す
正面図。

【図７】同じく、仮圧着工程を示す第１のフロ−チャ−
ト。

【図８】同じく、仮圧着工程を示す第２のフロ−チャ−
ト。

【図９】同じく、本圧着装置を示す正面斜視図。

【図１０】同じく、この本圧着装置の要部を示す模式
図。

【図１１】同じく、受け渡しユニットから第１のセルス
テ−ジへの液晶セルの受け渡しの動作を示すフロ−チャ
−ト。

【図１２】同じく、第１のボンディング部での本圧着動
作を示すフロ−チャ−ト。

【図１３】同じく、第１、第２のセルステ−ジの干渉を
確認する動作を示す第１のル−チン。

【図１４】同じく、液晶セルの位置決め動作を示す第２
のル−チン。

【図１５】同じく、液晶セル反転ユニットにおける液晶
セルの反転動作を示すフロ−チャ−ト。

【図１６】同じく、第２のボンディング部での本圧着動
作を示すフロ−チャ−ト。

【図１７】同じく、セル排出ユニットによる液晶セルの
排出動作を示すフロ−チャ−ト。

【図１８】（ａ）〜（ｄ）は、同じく圧着ブロックの本
圧着動作を示す工程図。

【図１９】（ａ）〜（ｆ）は、同じくＴＡＢ部品の本圧
着工程を示す工程図。

【図２０】（ａ）、（ｂ）は、他の実施例を示す斜視
図。

【図２１】一般的な単純マトリックス液晶パネルを示す
斜視図。

【図２２】ＴＡＢ部品を示す斜視図。

【図２３】従来例を示す斜視図。

【図２４】他の従来例を示す斜視図。

【符号の説明】

１…液晶セル、１ａ…第１のガラス基板（基板）、１ｂ
…第２のガラス基板（基板）、Ｘ…端子、Ｙ…端子、２
…ＴＡＢ部品（液晶駆動用ＩＣ）、２ａ…第１のＴＡＢ
部品、２ｂ…第２のＴＡＢ部品、４…フィルムキャリア
（キャリアテ−プ）、５…半導体素子、６…異方性導電
膜、７…アウタリ−ド、１５…仮圧着装置（液晶パネル
製造装置）、１６…本圧着装置（液晶パネル製造装
置）、、１８…液晶セル供給機構、１９…セルステ−
ジ、２０…フィルムキャリア供給機構、２１…打ち抜き
機構、Ｄ…仮圧着位置、２３…ＴＡＢ部品搬送機構（液
晶駆動用ＩＣ搬送機構）、２４…仮圧着機構、５２…離
型紙剥離機構、５７…位置決め用＋マーク（目印、マー
ク）、５８…第１の撮像カメラ（位置合わせ手段、撮像
手段）、６０…位置認識光学系（位置合わせ手段、撮像
手段）、６５…画像処理装置、６６…演算制御部、７２
…液晶セル反転装置、７８…受け渡しユニット、８１…
第１のセルステ−ジ、８２…第１のボンディング部、８
３…液晶セル反転装置（反転手段）、８４…第２のセル
ステ−ジ、８５…第２のボンディング部、８７…セル排
出ユニット（排出手段）、１０１…第１のエアシリンダ
（上下駆動用シリンダ）、１０３…第２のエアシリンダ
（加圧用シリンダ）、１０４…圧着ブロック、１０７ａ
…第１の撮像カメラ（撮像手段）、１０７ｂ…第２の撮
像カメラ（撮像手段）、１２４…画像処理装置、１２５
…演算制御部。

フロントページの続き (72)発明者 宮内 孝 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
   成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構
   と、 この部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基
   板を有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出
   するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを保持
   し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
   着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板に設けら
   れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
   わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と上記基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して
   押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記基板に液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてなる液晶セル
   を受け取ると共に、この液晶セルをＸＹθ方向に駆動す
   る本圧着用のセルステ−ジと、 上記基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像
   手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に仮圧
   着されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボンディ
   ング機構と、 上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づき、
   上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この液晶
   セルを排出位置に移送する排出手段とを具備することを
   特徴とする液晶パネル製造装置。
2. 【請求項２】 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
   成形された液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構
   と、 この部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基
   板を有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出
   するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを保持
   し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
   基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に位置決めす
   る仮圧着用のセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子と
   を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
   と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して押圧
   し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着された
   のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、 上記一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮
   圧着されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セ
   ルをＸＹθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、 上記一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた
   位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記一方の基板
   に仮圧着されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧着するボ
   ンディング機構と、 上記一方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基
   づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、 上記両方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基
   づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、こ
   の液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する
   ことを特徴とする液晶パネル製造装置。
3. 【請求項３】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用液
   晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置におい
   て、 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
   駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
   この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
   し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
   着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板に設けら
   れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
   わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と上記基板の端子の設けられた部位とを接合材を介して
   押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備することを特徴と
   する液晶パネル製造装置。
4. 【請求項４】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用液
   晶駆動用ＩＣを仮圧着する液晶パネル製造装置におい
   て、 アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、
   かつキャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
   液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
   この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
   し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
   着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路途中に配置さ
   れ、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜から上記離型紙
   を剥離する離型紙剥離機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板に設けら
   れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
   わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と上記基板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電
   膜を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備するこ
   とを特徴とする液晶パネル製造装置。
5. 【請求項５】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
   れた各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧
   着する液晶パネル製造装置において、 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
   駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
   この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
   し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
   基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に粗位置決め
   するセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子と
   を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
   と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と上記基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して
   押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着された
   のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構とを具
   備することを特徴とする液晶パネル製造装置。
6. 【請求項６】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
   れた各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動用ＩＣを仮圧
   着する液晶パネル製造装置において、 アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、
   かつキャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
   液晶駆動用ＩＣを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
   この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
   し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
   基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に粗位置決め
   するセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ＩＣを受取り、こ
   の液晶駆動用ＩＣを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用Ｉ
   Ｃ搬送機構と、 この液晶駆動用ＩＣ搬送機構の搬送経路途中に配置さ
   れ、上記液晶駆動用ＩＣの異方性導電膜から上記離型紙
   を剥離する離型紙剥離機構と、 上記液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ドと上記基板の端子と
   を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
   と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ＩＣのアウタリ−ド
   と基板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を
   介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ＩＣが仮圧着された
   のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構とを具
   備することを特徴とする液晶パネル製造装置。
7. 【請求項７】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用Ｉ
   Ｃを本圧着する液晶パネルの製造装置において、 上記基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてなる液晶
   セルを保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向に駆動
   するセルステ−ジと、 上記基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像
   手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決めさ
   れた基板に仮圧着されている上記液晶駆動用ＩＣを本圧
   着するボンディング部と、 上記基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基づき、
   上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この液晶
   セルを排出位置に移送する排出手段とを具備することを
   特徴とする液晶パネル製造装置。
8. 【請求項８】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
   れた各端子に、それぞれ液晶駆動用ＩＣを本圧着する液
   晶パネルの製造装置において、 上記一対の基板に上記液晶駆動用ＩＣが仮圧着されてな
   る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをＸＹθ方向
   に駆動するセルステ−ジと、 上記一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた
   位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決めさ
   れた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用ＩＣ
   を本圧着するボンディング部と、 上記一方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基
   づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、 上記両方の基板に液晶駆動用ＩＣが本圧着されたのに基
   づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、こ
   の液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する
   ことを特徴とする液晶パネル製造装置。
9. 【請求項９】 請求項７あるいは請求項８記載の液晶パ
   ネル製造装置において、 上記ボンディング部は、 基板の端子に液晶駆動用ＩＣを接合材を介してボンディ
   ングする圧着ブロックと、 この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定のボ
   ンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、 この加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い
   圧力で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備する
   ものであることを特徴とする液晶パネル製造装置。
10. 【請求項１０】 請求項７あるいは請求項８記載の液晶
    パネル製造装置において、 上記ボンディング部は、 少なくとも一つの液晶駆動用ＩＣの接合幅に対応する押
    圧面を有しかつ互いに少なくとも一つの液晶駆動用ＩＣ
    の接合幅以上離間して設けられた少なくとも２以上の圧
    着ブロックと、 この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させて上
    記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされていな
    い液晶駆動用ＩＣに順次対向させる駆動手段とを具備す
    るものであることを特徴とする液晶パネル製造装置。
11. 【請求項１１】 実装基板を保持すると共に、任意の位
    置に位置決め駆動する位置決め駆動手段と、 上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記実装
    基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮像手
    段と、 上記撮像手段により撮像された画像から上記マークある
    いは端子を検出する画像処理装置と、 この画像処理装置による画像処理結果により上記実装基
    板のずれを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の
    位置決め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ
    量が大きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記
    実装基板の位置を補正する演算制御部とを具備すること
    を特徴とする位置決め装置。
12. 【請求項１２】 互いに隣り合って設けられ、被加工物
    に加工を施す少なくとも２以上の加工部と、 上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工物を
    搬送位置決めする複数のステ−ジと、 上記加工部間に設けられ、加工部で加工された被加工物
    をその加工部に設けられたステ−ジから受けとり、次の
    加工部に設けられたステ−ジに受け渡す受け渡し機構
    と、 上記加工部のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互い
    に干渉する位置に移動する場合には、上記加工部に設け
    られたステ−ジから基板を受けとって保持し次の加工部
    に設けられたステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の
    加工部での加工が終了してから上記被加工物を受けとる
    までの時間とを比較して、前者が後者より長い場合に
    は、上記加工部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が
    長い場合には、次の加工部のステ−ジを優先的に移動さ
    せる制御部と、 を具備することを特徴とする被加工物の加工装置。
13. 【請求項１３】 実装基板を保持し位置決め駆動する駆
    動機構と、 この駆動機構により保持された実装基板に設けられたマ
    ークあるいは端子を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段により撮像されたマークあるいは端子と、
    この画像中心とのずれを検出する検出手段と、 過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づいて
    上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具備す
    ることを特徴とする位置決め装置。