JPH067067U - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH067067U JPH067067U JP4656692U JP4656692U JPH067067U JP H067067 U JPH067067 U JP H067067U JP 4656692 U JP4656692 U JP 4656692U JP 4656692 U JP4656692 U JP 4656692U JP H067067 U JPH067067 U JP H067067U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- needle
- group
- substrate
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大型の基板上に測定目的の複数種類の測定パ
ターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー
ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、
これらの複数種類の測定パターンの検査を行うことがで
き、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向上およ
びコストの削減を図ることのできるプローブカードを提
供する。 【構成】 プローブ針群42aとプローブ針群42bと
は、その針先高さが異なるように配置されており、基板
側から見た針先高さが、プローブ針群42aは低く、プ
ローブ針群42bは高く設定されている。
ターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー
ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、
これらの複数種類の測定パターンの検査を行うことがで
き、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向上およ
びコストの削減を図ることのできるプローブカードを提
供する。 【構成】 プローブ針群42aとプローブ針群42bと
は、その針先高さが異なるように配置されており、基板
側から見た針先高さが、プローブ針群42aは低く、プ
ローブ針群42bは高く設定されている。
Description
【0001】
本考案は、電気配線、電気素子等が形成された基板の電気的特性の検査に利用 されるプローブカードに関する。
【0002】
従来から、たとえば液晶ディスプレイの製造工程においては、ガラス基板上に 形成された配線の短絡、断線、電子素子の電気的特性等の測定を行う際に、基板 上の微細な配線パターンと電気的導通を得るための手段として、プローブカード が用いられている。
【0003】 1枚のプローブカード上には、目的とする配線パターンに応じて配列されたプ ローブ針と、基板面検出用のエッジセンサーとが固定されており、測定品種に応 じてプローブカードを交換することにより、品種切替えが容易にできるようにな っている。
【0004】 ところで、たとえば、図4に示すように、大型の基板1上に、測定目的の配線 パターン群2、3等が複数存在する場合、従来は、図5に示すように、基板1と 同等サイズのプローブカード11上に、配線パターン群2に対応したプローブ針 群12および配線パターン群3に対応したプローブ針群13等、全必要数のプロ ーブ針を立て、これらの配線パターン群2、3とプローブ針群12、13とを同 時に接触させ、測定装置によって電気的なチャンネルを切替えることにより測定 する方法が知られている。
【0005】
しかしながら、このような大面積のプローブカード11では、全てのプローブ 針を配線パターンに正確に接触させるために、たとえば非常に高い平面度を必要 とする等高い精度を必要とし、装置のコストの上昇や、信頼性の低下を招くとい う問題がある。
【0006】 また、このような問題を避けるため、図6および図7に示すように、配線パタ ーン群2に対応したプローブ針群12を備えたプローブカード22と、配線パタ ーン群3に対応したプローブ針群13備えたプローブカード23等の小型のプロ ーブカードを複数枚使用し、測定することも可能である。
【0007】 しかしながら、このように、小型のプローブカードを複数枚使用すると、検査 の途中でプローブカードの交換が必要となり、検査効率の低下を招くという問題 がある。また、このような問題を避けるために、複数枚のプローブカードを同時 に取り付けできるように検査装置を構成すると、検査装置の製造コストの上昇を 招くという問題が生じてしまう。
【0008】 本考案は、かかる従来の事情に対処してなされたもので、大型の基板上に測定 目的の複数種類の測定パターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、これらの複数種類の測定 パターンの検査を行うことができ、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向 上およびコストの削減を図ることのできるプローブカードを提供しようとするも のである。
【0009】
すなわち、本考案のプローブカードは、被測定基板の測定パターンに応じて、 複数のプローブ針が配置され、これらのプローブ針を、前記測定パターンに接触 させることによって、前記被測定基板との電気的な導通を得るプローブカードに おいて、前記プローブ針は、同じ針先高さにそれぞれ設定された第1のプローブ 針群と、前記第1のプローブ針群とは異なる針先高さにそれぞれ設定された第2 のプローブ針群の少なくとも2種類のプローブ針群から構成されており、これら 第1および第2のプローブ針群を順次前記被測定基板の前記測定パターンに接触 させて電気的な導通を得るよう構成されていることを特徴とする。
【0010】
上記構成の本考案のプローブカードでは、プローブ針が、同じ針先高さにそれ ぞれ設定された第1のプローブ針群と、前記第1のプローブ針群とは異なる針先 高さにそれぞれ設定された第2のプローブ針群の少なくとも2種類のプローブ針 群から構成されている。
【0011】 したがって、基板側から見た針先高さの低い下側のプローブ針群を測定パター ン群に接触させ、針先高さの高い上側のプローブ針群を基板面より浮いた状態と して、下側のプローブ針群のみを用いて電気的な測定を行うことができ、また、 針先高さの低い下側のプローブ針群を基板から外れた部位に位置にさせることに より、針先高の高いプローブ針群のみを測定パターン群に接触させて電気的な測 定を行う事ができる。
【0012】 したがって、大型の基板上に測定目的の複数種類の測定パターンが存在する場 合であっても、大型のプローブカードや、複数枚のプローブカードを必要とする ことなく、これらの複数種類の測定パターンの検査を行うことができ、検査効率 の低下を招くことなく、信頼性の向上およびコストの削減を図ることができる。
【0013】
以下、本考案のプローブカードの詳細を、図面を参照して実施例について説明 する。
【0014】 図1は、本考案の一実施例の構成を示すもので、本実施例のプローブカード4 0には、矩形状の開口部41が形成されており、この開口部41の周縁部には、 その針先が開口中央方向に向かって突出するように複数のプローブ針42が固定 されている。また、プローブカード40の端部には、図示しない測定装置と電気 的に接続されるためのコネクタ部43が設けられており、プローブ針42は、導 体パターン44等を介してこのコネクタ部43に電気的に接続されている。
【0015】 上記各プローブ針42は、その針先が図4に示した基板1の測定パターンに対 応して配設されている。すなわち、図1中開口部41の上側縁部から下方に向か って配設されたプローブ針群42aは、図4の測定パターン群2に対応して配列 されており、図1中開口部41の下側縁部から上方に向かって配設されたプロー ブ針群42bは、図4の測定パターン群3に対応して配列されている。
【0016】 また、図2および図3に示すように、プローブ針群42aとプローブ針群42 bとは、その針先高さが異なるように配置されており、基板1側から見た針先高 さが、プローブ針群42aは低く、プローブ針群42bは高く設定されている。 なお、周知のように、通常の検査装置では、プローブ針の針先高さのばら付きを 吸収し、測定パターンとプローブ針を確実に接触させて電気的な導通を得るため 、測定パターンとプローブ針先端が接触した後さらに押圧するいわゆるオーバー ドライブをかけるが、プローブ針群42aとプローブ針群42bとの針先高さの 相違は、このようなオーバードライブ量に較べて十分大きく設定されている。し たがって、図2に示すように、プローブ針群42aを測定パターン群2に接触さ せた際に、プローブ針群42bが基板1に接触しないよう構成されている。
【0017】 このように構成されたプローブカード40では、たとえば、図2に示すように まず、基板1側から見た針先高さの低いプローブ針群42aを測定パターン群2 に接触させて電気的な測定を行う。この時、プローブ針群42bは、基板1とは 接触しない状態に保たれ、測定に対して障害とならない。
【0018】 そして、次に、図3に示すように、プローブカード40と基板1とをさらに接 近させて、基板1側から見た針先高さの高いプローブ針群42bを測定パターン 群3に接触させて電気的な測定を行う。なお、この時、プローブ針群42aは、 基板1から外れた部位に位置し、基板1とは接触しないので、測定に対して障害 とならない。
【0019】 このように本実施例では、たとえば、図5に示した大型のプローブカード11 や、図6および図7に示したように複数枚のプローブカード22、23等を用い ることなく、小型の一枚のプローブカード40で大型の基板1の測定を行うこと ができる。
【0020】 したがって、検査効率の低下を招いたり、装置の製造コストの上昇あるいは信 頼性の低下を招くことなく、大型基板の検査を行うことができる。
【0021】 なお、上記実施例では、針先高さが2種類の2群のプローブ針群42a、42 bを備えたプローブカード40について説明したが、たとえば針先高さが3種類 の3群のプローブ針群あるいはそれ以上のプローブ針群を設けてもよい。また、 プローブカードの形状およびプローブ針の形状、本数、固定位置等は、適宜変更 可能である。
【0022】
以上説明したように、本考案のプローブカードによれば、大型の基板上に測定 目的の複数種類の測定パターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、これらの複数種類の測定 パターンの検査を行うことができ、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向 上およびコストの削減を図ることができる。
【図1】本考案の一実施例のプローブカードの構成を示
す図。
す図。
【図2】図1のプローブカードの使用方法を説明するた
めの図。
めの図。
【図3】図1のプローブカードの使用方法を説明するた
めの図。
めの図。
【図4】測定を行う基板の例を示す図。
【図5】従来の大型のプローブカードの例を示す図。
【図6】従来の小型のプローブカードの例を示す図。
【図7】従来の小型のプローブカードの例を示す図。
40………プローブカード 41………開口部 42………プローブ針 42a……基板側からの針先高さが低いプローブ針群 42b……基板側からの針先高さが高いプローブ針群 43………コネクタ部 44………導体パターン
Claims (1)
- 【請求項1】 被測定基板の測定パターンに応じて、複
数のプローブ針が配置され、これらのプローブ針を、前
記測定パターンに接触させることによって、前記被測定
基板との電気的な導通を得るプローブカードにおいて、 前記プローブ針は、同じ針先高さにそれぞれ設定された
第1のプローブ針群と、前記第1のプローブ針群とは異
なる針先高さにそれぞれ設定された第2のプローブ針群
の少なくとも2種類のプローブ針群から構成されてお
り、これら第1および第2のプローブ針群を順次前記被
測定基板の前記測定パターンに接触させて電気的な導通
を得るよう構成されていることを特徴とするプローブカ
ード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4656692U JPH067067U (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4656692U JPH067067U (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH067067U true JPH067067U (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=12750875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4656692U Withdrawn JPH067067U (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH067067U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014119340A (ja) * | 2012-12-17 | 2014-06-30 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード、検査装置、及び検査方法 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP4656692U patent/JPH067067U/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014119340A (ja) * | 2012-12-17 | 2014-06-30 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード、検査装置、及び検査方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19961003 |