JPH067067U - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大型の基板上に測定目的の複数種類の測定パ
ターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー
ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、
これらの複数種類の測定パターンの検査を行うことがで
き、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向上およ
びコストの削減を図ることのできるプローブカードを提
供する。 【構成】 プローブ針群４２ａとプローブ針群４２ｂと
は、その針先高さが異なるように配置されており、基板
側から見た針先高さが、プローブ針群４２ａは低く、プ
ローブ針群４２ｂは高く設定されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電気配線、電気素子等が形成された基板の電気的特性の検査に利用 されるプローブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から、たとえば液晶ディスプレイの製造工程においては、ガラス基板上に 形成された配線の短絡、断線、電子素子の電気的特性等の測定を行う際に、基板 上の微細な配線パターンと電気的導通を得るための手段として、プローブカード が用いられている。

【０００３】 １枚のプローブカード上には、目的とする配線パターンに応じて配列されたプ ローブ針と、基板面検出用のエッジセンサーとが固定されており、測定品種に応 じてプローブカードを交換することにより、品種切替えが容易にできるようにな っている。

【０００４】 ところで、たとえば、図４に示すように、大型の基板１上に、測定目的の配線 パターン群２、３等が複数存在する場合、従来は、図５に示すように、基板１と 同等サイズのプローブカード１１上に、配線パターン群２に対応したプローブ針 群１２および配線パターン群３に対応したプローブ針群１３等、全必要数のプロ ーブ針を立て、これらの配線パターン群２、３とプローブ針群１２、１３とを同 時に接触させ、測定装置によって電気的なチャンネルを切替えることにより測定 する方法が知られている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような大面積のプローブカード１１では、全てのプローブ 針を配線パターンに正確に接触させるために、たとえば非常に高い平面度を必要 とする等高い精度を必要とし、装置のコストの上昇や、信頼性の低下を招くとい う問題がある。

【０００６】 また、このような問題を避けるため、図６および図７に示すように、配線パタ ーン群２に対応したプローブ針群１２を備えたプローブカード２２と、配線パタ ーン群３に対応したプローブ針群１３備えたプローブカード２３等の小型のプロ ーブカードを複数枚使用し、測定することも可能である。

【０００７】 しかしながら、このように、小型のプローブカードを複数枚使用すると、検査 の途中でプローブカードの交換が必要となり、検査効率の低下を招くという問題 がある。また、このような問題を避けるために、複数枚のプローブカードを同時 に取り付けできるように検査装置を構成すると、検査装置の製造コストの上昇を 招くという問題が生じてしまう。

【０００８】 本考案は、かかる従来の事情に対処してなされたもので、大型の基板上に測定 目的の複数種類の測定パターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、これらの複数種類の測定 パターンの検査を行うことができ、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向 上およびコストの削減を図ることのできるプローブカードを提供しようとするも のである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案のプローブカードは、被測定基板の測定パターンに応じて、 複数のプローブ針が配置され、これらのプローブ針を、前記測定パターンに接触 させることによって、前記被測定基板との電気的な導通を得るプローブカードに おいて、前記プローブ針は、同じ針先高さにそれぞれ設定された第１のプローブ 針群と、前記第１のプローブ針群とは異なる針先高さにそれぞれ設定された第２ のプローブ針群の少なくとも２種類のプローブ針群から構成されており、これら 第１および第２のプローブ針群を順次前記被測定基板の前記測定パターンに接触 させて電気的な導通を得るよう構成されていることを特徴とする。

【００１０】

【作用】

上記構成の本考案のプローブカードでは、プローブ針が、同じ針先高さにそれ ぞれ設定された第１のプローブ針群と、前記第１のプローブ針群とは異なる針先 高さにそれぞれ設定された第２のプローブ針群の少なくとも２種類のプローブ針 群から構成されている。

【００１１】 したがって、基板側から見た針先高さの低い下側のプローブ針群を測定パター ン群に接触させ、針先高さの高い上側のプローブ針群を基板面より浮いた状態と して、下側のプローブ針群のみを用いて電気的な測定を行うことができ、また、 針先高さの低い下側のプローブ針群を基板から外れた部位に位置にさせることに より、針先高の高いプローブ針群のみを測定パターン群に接触させて電気的な測 定を行う事ができる。

【００１２】 したがって、大型の基板上に測定目的の複数種類の測定パターンが存在する場 合であっても、大型のプローブカードや、複数枚のプローブカードを必要とする ことなく、これらの複数種類の測定パターンの検査を行うことができ、検査効率 の低下を招くことなく、信頼性の向上およびコストの削減を図ることができる。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案のプローブカードの詳細を、図面を参照して実施例について説明 する。

【００１４】 図１は、本考案の一実施例の構成を示すもので、本実施例のプローブカード４ ０には、矩形状の開口部４１が形成されており、この開口部４１の周縁部には、 その針先が開口中央方向に向かって突出するように複数のプローブ針４２が固定 されている。また、プローブカード４０の端部には、図示しない測定装置と電気 的に接続されるためのコネクタ部４３が設けられており、プローブ針４２は、導 体パターン４４等を介してこのコネクタ部４３に電気的に接続されている。

【００１５】 上記各プローブ針４２は、その針先が図４に示した基板１の測定パターンに対 応して配設されている。すなわち、図１中開口部４１の上側縁部から下方に向か って配設されたプローブ針群４２ａは、図４の測定パターン群２に対応して配列 されており、図１中開口部４１の下側縁部から上方に向かって配設されたプロー ブ針群４２ｂは、図４の測定パターン群３に対応して配列されている。

【００１６】 また、図２および図３に示すように、プローブ針群４２ａとプローブ針群４２ ｂとは、その針先高さが異なるように配置されており、基板１側から見た針先高 さが、プローブ針群４２ａは低く、プローブ針群４２ｂは高く設定されている。 なお、周知のように、通常の検査装置では、プローブ針の針先高さのばら付きを 吸収し、測定パターンとプローブ針を確実に接触させて電気的な導通を得るため 、測定パターンとプローブ針先端が接触した後さらに押圧するいわゆるオーバー ドライブをかけるが、プローブ針群４２ａとプローブ針群４２ｂとの針先高さの 相違は、このようなオーバードライブ量に較べて十分大きく設定されている。し たがって、図２に示すように、プローブ針群４２ａを測定パターン群２に接触さ せた際に、プローブ針群４２ｂが基板１に接触しないよう構成されている。

【００１７】 このように構成されたプローブカード４０では、たとえば、図２に示すように まず、基板１側から見た針先高さの低いプローブ針群４２ａを測定パターン群２ に接触させて電気的な測定を行う。この時、プローブ針群４２ｂは、基板１とは 接触しない状態に保たれ、測定に対して障害とならない。

【００１８】 そして、次に、図３に示すように、プローブカード４０と基板１とをさらに接 近させて、基板１側から見た針先高さの高いプローブ針群４２ｂを測定パターン 群３に接触させて電気的な測定を行う。なお、この時、プローブ針群４２ａは、 基板１から外れた部位に位置し、基板１とは接触しないので、測定に対して障害 とならない。

【００１９】 このように本実施例では、たとえば、図５に示した大型のプローブカード１１ や、図６および図７に示したように複数枚のプローブカード２２、２３等を用い ることなく、小型の一枚のプローブカード４０で大型の基板１の測定を行うこと ができる。

【００２０】 したがって、検査効率の低下を招いたり、装置の製造コストの上昇あるいは信 頼性の低下を招くことなく、大型基板の検査を行うことができる。

【００２１】 なお、上記実施例では、針先高さが２種類の２群のプローブ針群４２ａ、４２ ｂを備えたプローブカード４０について説明したが、たとえば針先高さが３種類 の３群のプローブ針群あるいはそれ以上のプローブ針群を設けてもよい。また、 プローブカードの形状およびプローブ針の形状、本数、固定位置等は、適宜変更 可能である。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のプローブカードによれば、大型の基板上に測定 目的の複数種類の測定パターンが存在する場合であっても、大型のプローブカー ドや、複数枚のプローブカードを必要とすることなく、これらの複数種類の測定 パターンの検査を行うことができ、検査効率の低下を招くことなく、信頼性の向 上およびコストの削減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例のプローブカードの構成を示
す図。

【図２】図１のプローブカードの使用方法を説明するた
めの図。

【図３】図１のプローブカードの使用方法を説明するた
めの図。

【図４】測定を行う基板の例を示す図。

【図５】従来の大型のプローブカードの例を示す図。

【図６】従来の小型のプローブカードの例を示す図。

【図７】従来の小型のプローブカードの例を示す図。

【符号の説明】

４０………プローブカード ４１………開口部 ４２………プローブ針 ４２ａ……基板側からの針先高さが低いプローブ針群 ４２ｂ……基板側からの針先高さが高いプローブ針群 ４３………コネクタ部 ４４………導体パターン

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定基板の測定パターンに応じて、複
   数のプローブ針が配置され、これらのプローブ針を、前
   記測定パターンに接触させることによって、前記被測定
   基板との電気的な導通を得るプローブカードにおいて、 前記プローブ針は、同じ針先高さにそれぞれ設定された
   第１のプローブ針群と、前記第１のプローブ針群とは異
   なる針先高さにそれぞれ設定された第２のプローブ針群
   の少なくとも２種類のプローブ針群から構成されてお
   り、これら第１および第２のプローブ針群を順次前記被
   測定基板の前記測定パターンに接触させて電気的な導通
   を得るよう構成されていることを特徴とするプローブカ
   ード。