JP2014119340A - プローブカード、検査装置、及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるプローブカードは、複数のデバイス125を有するウェハ12を検査するために、繰り返しタッチダウンを行うプローブカードであって、プローブ基板40と、プローブ基板40に配列された複数の接触子14aを有する第1のプローブ群141と、接触子14aよりも先端位置がプローブ基板40側にある複数の接触子14bを有し、プローブ基板40の平面視において第1のプローブ群141を挟むように離間して配置された第2のプローブ群142a、142bと、を備えたものである。
【選択図】図3
Description
同様に、第2のプローブ群142a、142bによる試験を行う際、第2のインデックス量に応じたXY位置にプローブカード16又はウェハ12を移動させる。そして、第2の高さまで、チャックトップ76を上昇させて、接触子14bをデバイス125に接触させる。さらに、第2のOD量だけをプローブカード16を押し込んだ状態で、電気試験を行う。すなわち、第1のプローブ群141による試験と、第2のプローブ群142a、142bによる試験とで、プローブ基板40とウェハ12の距離を変える。さらに、個別に設定されたOD量で、接触子14をオーバドライブする。このようにすることで、確実に試験することができる。なお、第1のプローブ群141による試験と、第2のプローブ群142a、142bによる試験とでOD量を同じにしてもよい。
次に、プローブレイアウトの変形例について、図9を用い説明する。図9は、プローブレイアウトの変形例を示す平面図である。図9に示す変形例では、図2〜図5のプローブレイアウトに対して、プローブレイアウト122c、及びプローブレイアウト122dが追加された構成となっている。すなわち、プローブカード16の中央には、第1のプローブ群141によるプローブレイアウト121が設けられている。そして、その周囲に、第2のプローブ群によるプローブレイアウト122a〜122dが配置されている。
12 ウェハ
14 接触子
16 プローブカード
40 プローブ基板
76 チャックトップ
121 プローブレイアウト
122a〜122d プローブレイアウト
125 デバイス
131 レイアウト
132a、132b レイアウト
141 第1のプローブ群
142a 第2のプローブ群
142b 第2のプローブ群
401、411 先端部
402、412 アーム部
403、413 基部
421 犠牲層
422 メッキ層
Claims (6)
- 複数のデバイスを有するウェハを検査するためのプローブカードであって、
基板と、
前記基板に配列された複数の第1のプローブを有する第1のプローブ群と、
前記第1のプローブの先端位置よりも先端位置が前記基板側にある複数の第2のプローブを有し、前記基板の平面視において前記第1のプローブ群を挟むように離間して配置された第2のプローブ群と、を備えたプローブカード。 - 前記第2のプローブ群が前記第1のプローブ群を挟む第1の方向において前記基板に端に行くほど、前記第1の方向と直交する第2の方向において、前記第2のプローブ群のレイアウトが大きくなっている請求項1に記載のプローブカード。
- 前記第1のプローブと前記第2のプローブの先端位置の高さの差が、前記第1のプローブが前記デバイスを検査する際のオーバードライブ量よりも大きい請求項1、又は2に記載のプローブカード。
- 前記第1のプローブ群が前記ウェハの中央部に配置された前記デバイスを検査し、
前記第2のプローブ群が前記ウェハの端部に配置されたデバイスを検査する請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブカード。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブカードと、
ウェハが載置されるステージと、
前記プローブカードと前記ステージとの相対的な位置を変化させて、繰り返しタッチダウンを行う制御部と、を備えた検査装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブカードを用いてウェハを検査する検査方法であって、
繰り返しタッチダウンを行うことで、前記ウェハの中央部のデバイスを前記第1のプローブ群で検査し、前記ウェハの端部のデバイスを前記第2のプローブ群で検査し、
前記第1のプローブ群での検査と、前記第2のプローブ群での検査で、前記ウェハと基板との距離を変えている検査方法。
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