JPH0658278A - 多段スクリュー式真空ポンプ - Google Patents
多段スクリュー式真空ポンプInfo
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- JPH0658278A JPH0658278A JP4208741A JP20874192A JPH0658278A JP H0658278 A JPH0658278 A JP H0658278A JP 4208741 A JP4208741 A JP 4208741A JP 20874192 A JP20874192 A JP 20874192A JP H0658278 A JPH0658278 A JP H0658278A
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- stage
- stage pump
- vacuum pump
- shaft
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/005—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 部品点数を従来のものよりも減少することが
出来て、ポンプ全体の小形化が可能な多段スクリュー式
真空ポンプの提供。 【構成】 多段スクリュー式真空ポンプにおいて、前段
ポンプ(22)に駆動源(28)からの駆動力を伝達す
る入力機構(30)と、前段ポンプ(22)の回転を増
速して後段ポンプ(24)へ伝達する増速機構(34、
36、38)とを設けている。
出来て、ポンプ全体の小形化が可能な多段スクリュー式
真空ポンプの提供。 【構成】 多段スクリュー式真空ポンプにおいて、前段
ポンプ(22)に駆動源(28)からの駆動力を伝達す
る入力機構(30)と、前段ポンプ(22)の回転を増
速して後段ポンプ(24)へ伝達する増速機構(34、
36、38)とを設けている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、平行な2軸の回りを互
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを
含むスクリュー式真空ポンプに関し、特に、複数段のス
クリュー真空ポンプを直列に接続した多段スクリュー式
真空ポンプに関する。
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを
含むスクリュー式真空ポンプに関し、特に、複数段のス
クリュー真空ポンプを直列に接続した多段スクリュー式
真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】図7〜9には、従来の多段スクリュー式
真空ポンプが示されている。
真空ポンプが示されている。
【0003】図7の多段スクリュー式真空ポンプ1は、
前段ポンプ2と後段ポンプ3の各々に駆動源であるモー
タ4、5を設けたものである。なお、符号6は吸込口、
符号7は吐出口をそれぞれ示している。
前段ポンプ2と後段ポンプ3の各々に駆動源であるモー
タ4、5を設けたものである。なお、符号6は吸込口、
符号7は吐出口をそれぞれ示している。
【0004】図8の多段スクリュー式真空ポンプ8は、
モータ9を1つだけ設けている。そしてモータ9の出力
は、駆動ギヤ10と、これに噛み合う前段ポンプ2側の
従動ギヤ11及び後段ポンプ3側の従動ギヤ12とを介
して、前段ポンプ2及び後段ポンプ3に伝達されてい
る。
モータ9を1つだけ設けている。そしてモータ9の出力
は、駆動ギヤ10と、これに噛み合う前段ポンプ2側の
従動ギヤ11及び後段ポンプ3側の従動ギヤ12とを介
して、前段ポンプ2及び後段ポンプ3に伝達されてい
る。
【0005】図9の多段スクリュー式真空ポンプ13も
モータ14(1個)だけを設けているが、その出力軸1
5は後段ポンプ3に直接接続されている。そして、前段
ポンプ2への駆動力伝達は、駆動ギヤ16、アイドルギ
ヤ17、従動ギヤ18を介して、後段ポンプ3への駆動
力を分配する事により行われる。
モータ14(1個)だけを設けているが、その出力軸1
5は後段ポンプ3に直接接続されている。そして、前段
ポンプ2への駆動力伝達は、駆動ギヤ16、アイドルギ
ヤ17、従動ギヤ18を介して、後段ポンプ3への駆動
力を分配する事により行われる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図7の多段ス
クリュー式真空ポンプ1は、モータが2台(図7の符号
4、5)必要であるため、部品点数が増大し、ポンプ全
体も大型化するという問題が存在する。
クリュー式真空ポンプ1は、モータが2台(図7の符号
4、5)必要であるため、部品点数が増大し、ポンプ全
体も大型化するという問題が存在する。
【0007】また、図8の多段スクリュー式真空ポンプ
8は、モータ9に軸受を設ける必要があり、且つ、各段
のポンプについて従動ギヤが必要となる。そのため、図
7の多段スクリュー式真空ポンプ1と同様に、部品点数
の増大、ポンプ全体の大型化という問題を有している。
8は、モータ9に軸受を設ける必要があり、且つ、各段
のポンプについて従動ギヤが必要となる。そのため、図
7の多段スクリュー式真空ポンプ1と同様に、部品点数
の増大、ポンプ全体の大型化という問題を有している。
【0008】さらに、図9の多段スクリュー式真空ポン
プ13の場合も、部品点数の増大、ポンプ全体の大型化
という問題が生じる。それに加えて、後段ポンプを高速
で運転させたい場合は、高周波モータを使用してインバ
ータ駆動をしなければならない。
プ13の場合も、部品点数の増大、ポンプ全体の大型化
という問題が生じる。それに加えて、後段ポンプを高速
で運転させたい場合は、高周波モータを使用してインバ
ータ駆動をしなければならない。
【0009】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、部品点数を従来のものよりも減少
することが出来て、ポンプ全体の小形化が可能な多段ス
クリュー式真空ポンプの提供を目的としている。
て提案されたもので、部品点数を従来のものよりも減少
することが出来て、ポンプ全体の小形化が可能な多段ス
クリュー式真空ポンプの提供を目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の多段スクリュー
式真空ポンプは、平行な2軸の回りを互いに噛み合って
回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを含む複数段のス
クリュー真空ポンプを直列に接続した多段スクリュー式
真空ポンプにおいて、前段ポンプに駆動源からの駆動力
を伝達する入力機構と、前段ポンプの回転を増速して後
段ポンプへ伝達する増速機構、とを設けている。
式真空ポンプは、平行な2軸の回りを互いに噛み合って
回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを含む複数段のス
クリュー真空ポンプを直列に接続した多段スクリュー式
真空ポンプにおいて、前段ポンプに駆動源からの駆動力
を伝達する入力機構と、前段ポンプの回転を増速して後
段ポンプへ伝達する増速機構、とを設けている。
【0011】ここで上記駆動源としては、例えば電動モ
ータが好ましい。また、入力機構としては、駆動源(電
動モータ)の出力軸を前段ポンプのロータ軸と連結させ
た機構が好適である。
ータが好ましい。また、入力機構としては、駆動源(電
動モータ)の出力軸を前段ポンプのロータ軸と連結させ
た機構が好適である。
【0012】本発明の実施に際しては、前段ポンプの軸
上にモータをオーバーハングさせるのが好ましい。
上にモータをオーバーハングさせるのが好ましい。
【0013】また、前記モータの出力軸は、前段ポンプ
の雌ロータ側の軸に接続されているのが好ましい。この
場合、前段ポンプの吐出側にモータをオーバーハングさ
せるのが好ましい。
の雌ロータ側の軸に接続されているのが好ましい。この
場合、前段ポンプの吐出側にモータをオーバーハングさ
せるのが好ましい。
【0014】さらに、前記増速機構は増速ギヤから構成
され、該増速ギヤは駆動側増速ギヤと従動側増速ギヤと
を設けているのが好ましい。そして、駆動側増速ギヤを
前段ポンプの吐出側に設けるのが好ましい。或いは、駆
動側増速ギヤを前段ポンプの雌ロータ側の軸に設けるの
が好ましい。一方、従動側増速ギヤは後段ポンプの吐出
側に設けるのが好ましく、或いは、後段ポンプの雌ロー
タ側の軸に設けるのが好ましい。
され、該増速ギヤは駆動側増速ギヤと従動側増速ギヤと
を設けているのが好ましい。そして、駆動側増速ギヤを
前段ポンプの吐出側に設けるのが好ましい。或いは、駆
動側増速ギヤを前段ポンプの雌ロータ側の軸に設けるの
が好ましい。一方、従動側増速ギヤは後段ポンプの吐出
側に設けるのが好ましく、或いは、後段ポンプの雌ロー
タ側の軸に設けるのが好ましい。
【0015】これに加えて、本発明の実施に際しては、
前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸入口とは共通のケ
ーシングで構成されるのが好ましい。ここで、前段ポン
プの吐出口と後段ポンプの吸入口とを連通する連絡通路
は、その全部が上記した共通のケーシングで構成されて
いても良く、或いは、該連絡通路の一部が上記ケーシン
グで構成されていても良い。
前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸入口とは共通のケ
ーシングで構成されるのが好ましい。ここで、前段ポン
プの吐出口と後段ポンプの吸入口とを連通する連絡通路
は、その全部が上記した共通のケーシングで構成されて
いても良く、或いは、該連絡通路の一部が上記ケーシン
グで構成されていても良い。
【0016】また、本発明の実施に際して、潤滑はオイ
ルディスクの所謂「はねかけ」によるのが好ましい。そ
の場合、オイルディスクは前段及び後段ポンプの両方に
取り付けても良く、或いは、いずれか一方に取り付けて
も良い。
ルディスクの所謂「はねかけ」によるのが好ましい。そ
の場合、オイルディスクは前段及び後段ポンプの両方に
取り付けても良く、或いは、いずれか一方に取り付けて
も良い。
【0017】
【作用】上記した様な構成を具備する本発明の多段スク
リュー式真空ポンプによれば、前段ポンプには入力機構
を介して駆動源からの駆動力が伝達され、その駆動力は
増速機構を介して後段ポンプへ伝達される。ここで、増
速機構は前段ポンプの回転を増速して後段ポンプへ伝達
するので、後段ポンプを高速で運転させたい場合であっ
ても、高周波モータを使用してインバータ駆動する必要
が無い。
リュー式真空ポンプによれば、前段ポンプには入力機構
を介して駆動源からの駆動力が伝達され、その駆動力は
増速機構を介して後段ポンプへ伝達される。ここで、増
速機構は前段ポンプの回転を増速して後段ポンプへ伝達
するので、後段ポンプを高速で運転させたい場合であっ
ても、高周波モータを使用してインバータ駆動する必要
が無い。
【0018】また、入力機構を設けているので、軸受を
別途設けて駆動源(例えばモータ)を支持する必要も無
い。さらに、各段毎に従動ギヤを設ける必要が無い。
別途設けて駆動源(例えばモータ)を支持する必要も無
い。さらに、各段毎に従動ギヤを設ける必要が無い。
【0019】これ等の理由により、本発明の多段スクリ
ュー式真空ポンプは従来のものよりも構成部品の点数が
遥かに少なく、それに関連して、小形化が容易である。
ュー式真空ポンプは従来のものよりも構成部品の点数が
遥かに少なく、それに関連して、小形化が容易である。
【0020】さらに、外部に補助装置を必要とすること
無く、起動や、大気引きの様な過負荷運転が可能であ
る。
無く、起動や、大気引きの様な過負荷運転が可能であ
る。
【0021】
【実施例】以下、添付した図1〜6を参照して、本発明
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
【0022】図1において、全体を符号20で示す本発
明の多段(図示の実施例では2段)スクリュー式真空ポ
ンプは、前段ポンプ22、後段ポンプ24を連絡通路2
6で連通して構成されており、駆動源である電動モータ
28の出力軸30は前段ポンプ22(の雌ロータ:図3
参照)側の軸を構成している。
明の多段(図示の実施例では2段)スクリュー式真空ポ
ンプは、前段ポンプ22、後段ポンプ24を連絡通路2
6で連通して構成されており、駆動源である電動モータ
28の出力軸30は前段ポンプ22(の雌ロータ:図3
参照)側の軸を構成している。
【0023】この軸30と後段ポンプ24の軸32との
間の動力伝達は増速機構34により行われ、該増速機構
34は前段ポンプ22側の駆動側増速ギヤ36と、後段
ポンプ24側の従動側増速ギヤ38とを含んでいる。図
1から明らかな様に、駆動側増速ギヤ36の歯数は従動
側増速ギヤ38の歯数よりも遥かに多いので、増速機構
34により、後段ポンプ24の回転数は前段ポンプ22
の回転数よりも速く(高く)なる。
間の動力伝達は増速機構34により行われ、該増速機構
34は前段ポンプ22側の駆動側増速ギヤ36と、後段
ポンプ24側の従動側増速ギヤ38とを含んでいる。図
1から明らかな様に、駆動側増速ギヤ36の歯数は従動
側増速ギヤ38の歯数よりも遥かに多いので、増速機構
34により、後段ポンプ24の回転数は前段ポンプ22
の回転数よりも速く(高く)なる。
【0024】なお、図7〜9と同様に、図1においても
符号6は多段スクリュー式真空ポンプの吸入口を示し、
符号7は多段スクリュー式真空ポンプの吐出口を示すも
のである。また、図1では簡略化して示すために連絡通
路26は露出して示されているが、実際には全部(図
5)或いはその大部分(図6)はケーシング内に埋設し
ている。
符号6は多段スクリュー式真空ポンプの吸入口を示し、
符号7は多段スクリュー式真空ポンプの吐出口を示すも
のである。また、図1では簡略化して示すために連絡通
路26は露出して示されているが、実際には全部(図
5)或いはその大部分(図6)はケーシング内に埋設し
ている。
【0025】図2は実施例の構成をより具体的に示した
ものである。符号40は前段ポンプ22の雌ロータを示
し、符号42は後段ポンプの雌ロータを示している。そ
して雌ロータ40の軸30すなわちモータ28の出力軸
は軸受44、46により支持されており、一方、後段ポ
ンプの雌ロータ42の軸32は軸受48、50で支持さ
りている。ここで軸受44、46、48、50は、それ
ぞれ軸封装置52、54、56、58と対になって配置
されており、軸封機構部を構成している。これ等の軸封
機構部にはシールガスを供給することが必要であるが、
例えば特願平3−280667号で示されている様に、
シールガス供給部からのシールガスはガス圧調整手段に
より一定圧に調整し、流量調節バルブ又は絞り弁を介し
てから分岐し、一方は吐出側の軸封部に供給すると共
に、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁を介して
吸込側の軸封部に供給する様に構成するのが好ましい。
ものである。符号40は前段ポンプ22の雌ロータを示
し、符号42は後段ポンプの雌ロータを示している。そ
して雌ロータ40の軸30すなわちモータ28の出力軸
は軸受44、46により支持されており、一方、後段ポ
ンプの雌ロータ42の軸32は軸受48、50で支持さ
りている。ここで軸受44、46、48、50は、それ
ぞれ軸封装置52、54、56、58と対になって配置
されており、軸封機構部を構成している。これ等の軸封
機構部にはシールガスを供給することが必要であるが、
例えば特願平3−280667号で示されている様に、
シールガス供給部からのシールガスはガス圧調整手段に
より一定圧に調整し、流量調節バルブ又は絞り弁を介し
てから分岐し、一方は吐出側の軸封部に供給すると共
に、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁を介して
吸込側の軸封部に供給する様に構成するのが好ましい。
【0026】吸入口6から前段ポンプ22のロータ(図
2では雌ロータ40)に至る通路60には絞り62が形
成されている。この絞り62は、スクリュー式真空ポン
プの起動時或いは大気引き時の動力低減策として前段ポ
ンプ22の吸込ポート63近傍に設けられたものである
(特願平3−276886号参照)。
2では雌ロータ40)に至る通路60には絞り62が形
成されている。この絞り62は、スクリュー式真空ポン
プの起動時或いは大気引き時の動力低減策として前段ポ
ンプ22の吸込ポート63近傍に設けられたものである
(特願平3−276886号参照)。
【0027】作動流体(例えば空気)は前段ポンプ吸込
ポート63を介してロータ40に流入し、その後、前段
ポンプ吐出ポート64、連絡通路26、後段ポンプ吸込
ポート66を経て後段ポンプ24の雌ロータ42に流入
する。そして、雌ロータ42で処理された後、作動流体
は吐出口7から外部に吐出される。
ポート63を介してロータ40に流入し、その後、前段
ポンプ吐出ポート64、連絡通路26、後段ポンプ吸込
ポート66を経て後段ポンプ24の雌ロータ42に流入
する。そして、雌ロータ42で処理された後、作動流体
は吐出口7から外部に吐出される。
【0028】なお図2において、符号68、70はそれ
ぞれタイミングギヤを示している。そして符号72は、
多段スクリュー式真空ポンプのケーシングである。
ぞれタイミングギヤを示している。そして符号72は、
多段スクリュー式真空ポンプのケーシングである。
【0029】図3は前段ポンプ22を詳細に説明するた
めのものである。前段ポンプ22には雌ロータ40と雄
ロータ74とを備えている。雄ロータ74の軸76は軸
受44A、46Aで支持されており、該軸受はそれぞれ
軸封手段52A、54Aと対を為して配置されている。
そして、この雄ロータ74の軸76にはオイルディスク
78が設けられており、図示の実施例では前段ポンプ2
2における潤滑はオイルディスク78の「はねかけ」に
より行われていることを示している。
めのものである。前段ポンプ22には雌ロータ40と雄
ロータ74とを備えている。雄ロータ74の軸76は軸
受44A、46Aで支持されており、該軸受はそれぞれ
軸封手段52A、54Aと対を為して配置されている。
そして、この雄ロータ74の軸76にはオイルディスク
78が設けられており、図示の実施例では前段ポンプ2
2における潤滑はオイルディスク78の「はねかけ」に
より行われていることを示している。
【0030】ここで、前段ポンプ22の吸込側軸受4
6、46Aの潤滑はグリース潤滑でも可能である。しか
し、前段ポンプ22の吐出側軸受44、44Aと、タイ
ミングギヤ68と、後段ポンプ24の吸込側軸受48、
48Aと、増速ギヤ36、38とは、同一空間内に位置
しているので、外部からの強制給油をすること無く、オ
イルディクの「はねかけ」により潤滑を行うことが出来
るである。
6、46Aの潤滑はグリース潤滑でも可能である。しか
し、前段ポンプ22の吐出側軸受44、44Aと、タイ
ミングギヤ68と、後段ポンプ24の吸込側軸受48、
48Aと、増速ギヤ36、38とは、同一空間内に位置
しているので、外部からの強制給油をすること無く、オ
イルディクの「はねかけ」により潤滑を行うことが出来
るである。
【0031】上述した様に、モータ28の出力軸30は
前段ポンプ22の雌ロータ40側の軸に接続されてお
り、駆動側増速ギヤ36も雌ロータ40側の軸に接続さ
れている。ここで、雌ロータ40側の軸よりも高速回転
する雄ロータ74側の軸76に駆動側増速ギヤ36を取
り付けた場合には、ギヤ比の小さいものでも良いという
利点がある。しかし、雌ロータ40側の軸と雄ロータ7
4側の軸76との軸間距離により(駆動側)増速ギヤの
寸法が制限されてしまう。そのため、特に大きな増速比
が要求される場合には、駆動側増速ギヤ36を雌ロータ
40側の軸に取り付けた方が有利である。
前段ポンプ22の雌ロータ40側の軸に接続されてお
り、駆動側増速ギヤ36も雌ロータ40側の軸に接続さ
れている。ここで、雌ロータ40側の軸よりも高速回転
する雄ロータ74側の軸76に駆動側増速ギヤ36を取
り付けた場合には、ギヤ比の小さいものでも良いという
利点がある。しかし、雌ロータ40側の軸と雄ロータ7
4側の軸76との軸間距離により(駆動側)増速ギヤの
寸法が制限されてしまう。そのため、特に大きな増速比
が要求される場合には、駆動側増速ギヤ36を雌ロータ
40側の軸に取り付けた方が有利である。
【0032】図4は後段ポンプ24を詳細に説明するた
めのものである。後段ポンプ24は雌ロータ42と雄ロ
ータ82とを有し、雌ロータ42の軸32の吸込側端部
には従動側増速ギヤ38が設けられている。この軸32
は軸受48、50で支持されており、一方、雄ロータ8
2の軸84は軸受48A、50Aで支持されている。軸
受48、50、48A、50Aはそれぞれ軸封装置5
6、58、56A、58Aと対になって配置されてい
る。なお、雄ロータ82の軸84には、オイルディスク
86が設けられている。
めのものである。後段ポンプ24は雌ロータ42と雄ロ
ータ82とを有し、雌ロータ42の軸32の吸込側端部
には従動側増速ギヤ38が設けられている。この軸32
は軸受48、50で支持されており、一方、雄ロータ8
2の軸84は軸受48A、50Aで支持されている。軸
受48、50、48A、50Aはそれぞれ軸封装置5
6、58、56A、58Aと対になって配置されてい
る。なお、雄ロータ82の軸84には、オイルディスク
86が設けられている。
【0033】後段ポンプ24は高速で運転され、吐出口
近傍の温度が300℃以上になるため、水冷ジャケット
88を備えている。そして、水冷ジャケット88の水冷
室90(位置については図示に限定されない)が腐食す
るのを防止するために、水冷室90内を塗装、コーティ
ング、溶射等が行われる。しかし、凹凸の多い部分には
適用困難であるため、水冷ジャケット88をステンレス
等の腐食し難い部材で製造し、熱伝導性が良好な接着剤
等によりケーシング72に取り付けるのが好ましい。
近傍の温度が300℃以上になるため、水冷ジャケット
88を備えている。そして、水冷ジャケット88の水冷
室90(位置については図示に限定されない)が腐食す
るのを防止するために、水冷室90内を塗装、コーティ
ング、溶射等が行われる。しかし、凹凸の多い部分には
適用困難であるため、水冷ジャケット88をステンレス
等の腐食し難い部材で製造し、熱伝導性が良好な接着剤
等によりケーシング72に取り付けるのが好ましい。
【0034】また、吐出側の軸受50、50Aは高温且
つ高速で運転されるので、軸内部から潤滑する方式を採
用するのが好適である。例えば、ケーシング端部に取り
付けたカバーの内壁を流過する潤滑油を集めるための案
内溝と、案内溝に溜った潤滑油を吸引する吸引ノズル
と、吸引された潤滑油を回転軸内部を通って軸受に供給
する潤滑通路と、ポンプ作用を行う給油ノズルとを設け
て構成したもの等が好ましい。
つ高速で運転されるので、軸内部から潤滑する方式を採
用するのが好適である。例えば、ケーシング端部に取り
付けたカバーの内壁を流過する潤滑油を集めるための案
内溝と、案内溝に溜った潤滑油を吸引する吸引ノズル
と、吸引された潤滑油を回転軸内部を通って軸受に供給
する潤滑通路と、ポンプ作用を行う給油ノズルとを設け
て構成したもの等が好ましい。
【0035】図3、4において、符号80は、潤滑油が
ロータ40、74内に侵入するのを防止するために設け
られた中間室である。潤滑油のロータ40、74内への
侵入を防止するため、軸封装置52、52A、56、5
6Aが設けられているが、上述した様にシールガスを供
給する事に加えて、軸封装置を越えてロータ40、74
内に侵入しようとする潤滑油を中間室80で落下せしめ
て捕獲するのである。ここで、中間室80は前段ポンプ
22側と後段ポンプ24側とで連通させても良いし、或
いは別個に設けても良い。
ロータ40、74内に侵入するのを防止するために設け
られた中間室である。潤滑油のロータ40、74内への
侵入を防止するため、軸封装置52、52A、56、5
6Aが設けられているが、上述した様にシールガスを供
給する事に加えて、軸封装置を越えてロータ40、74
内に侵入しようとする潤滑油を中間室80で落下せしめ
て捕獲するのである。ここで、中間室80は前段ポンプ
22側と後段ポンプ24側とで連通させても良いし、或
いは別個に設けても良い。
【0036】図2〜4において、スクリューロータ4
0、42、74、82は、特開平4−31685号公報
に記載されている様に、前段の雌雄ロータ40、74の
合計葉数が、後段の雌雄ロータ42、82の合計葉数よ
りも少ないのが好適である。
0、42、74、82は、特開平4−31685号公報
に記載されている様に、前段の雌雄ロータ40、74の
合計葉数が、後段の雌雄ロータ42、82の合計葉数よ
りも少ないのが好適である。
【0037】また、特願平3−195945号で記載さ
れている様に、吸込ポートを早く閉じることにより、吸
気過程と移送過程との間に、吸気した気体を膨脹させる
膨脹過程を設けるのが好ましい。そして同様に(特願平
3−195945号で記載されている様に)、後段ポン
プ24の排気速度を前段ポンプ22の排気速度と同じ
か、或いはそれ以上速くするのが好ましい。
れている様に、吸込ポートを早く閉じることにより、吸
気過程と移送過程との間に、吸気した気体を膨脹させる
膨脹過程を設けるのが好ましい。そして同様に(特願平
3−195945号で記載されている様に)、後段ポン
プ24の排気速度を前段ポンプ22の排気速度と同じ
か、或いはそれ以上速くするのが好ましい。
【0038】さらに、吸込ポートは、ケーシング及び雌
雄ロータで形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転
角を、該歯溝容積が最大となる以前のロータ回転角に形
成するのが好ましい(特願平3−195943号参
照)。さらに、吐出ポートは、気体を閉じ込んだ直後の
歯溝容積と、吐出直前の歯溝容積とが略々等しくなる様
に形成するのが好ましい(特願平3−195943号参
照)。
雄ロータで形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転
角を、該歯溝容積が最大となる以前のロータ回転角に形
成するのが好ましい(特願平3−195943号参
照)。さらに、吐出ポートは、気体を閉じ込んだ直後の
歯溝容積と、吐出直前の歯溝容積とが略々等しくなる様
に形成するのが好ましい(特願平3−195943号参
照)。
【0039】図5、6は、前段ポンプ22の吐出ポート
64と後段ポンプ24の吸込ポート66とを連通する連
絡通路26を説明するものである。この連絡通路26
は、図5で示す様に、全てをケーシング72の内部に形
成しても良い。或いは、図6で示す様に、連絡通路26
の一部をケーシング72の外部配管26Aで構成しても
良い。
64と後段ポンプ24の吸込ポート66とを連通する連
絡通路26を説明するものである。この連絡通路26
は、図5で示す様に、全てをケーシング72の内部に形
成しても良い。或いは、図6で示す様に、連絡通路26
の一部をケーシング72の外部配管26Aで構成しても
良い。
【0040】なお、図示の実施例では全て2段スクリュ
ー式真空ポンプが説明されたが、当業者には明らかな様
に、本発明は、特別な構成要件を設けること無く、3段
以上の多段スクリュー式真空ポンプに適用することが可
能である。
ー式真空ポンプが説明されたが、当業者には明らかな様
に、本発明は、特別な構成要件を設けること無く、3段
以上の多段スクリュー式真空ポンプに適用することが可
能である。
【0041】
(1) 構成部品の点数を減少することが出来る。
【0042】(2) 容易に小形化することが出来る。
【0043】(3) 後段ポンプを高速で運転させたい
場合であっても、高周波モータを使用してインバータ駆
動する必要が無い。
場合であっても、高周波モータを使用してインバータ駆
動する必要が無い。
【0044】(4) 軸受を別途設けて駆動源を支持す
る必要が無い。
る必要が無い。
【0045】(5) 各段毎に従動ギヤを設ける必要が
無い。
無い。
【0046】(6) 外部に補助装置を必要とすること
無く、起動或いは過負荷運転が可能である。
無く、起動或いは過負荷運転が可能である。
【図1】本発明の1実施例のブロック図。
【図2】図1の実施例の詳細を説明するための断面正面
図。
図。
【図3】図2のA−A線断面図。
【図4】図2のB−B線断面図。
【図5】図2のD−D線断面図。
【図6】図5で示すのとは別の実施例における図2のD
−D線断面図。
−D線断面図。
【図7】従来技術の一例を示すブロック図。
【図8】他の従来技術を示すブロック図。
【図9】図7、8とは異なる従来技術を示すブロック
図。
図。
1、8、13、20・・・多段スクリュー式真空ポンプ 2、22・・・前段ポンプ 3、24・・・後段ポンプ 4、5、9、14、28・・・駆動源(電動モータ) 26・・・連絡通路 30、32、76、84・・・軸 34・・・増速機構 36・・・駆動側増速ギヤ 38・・・従動側増速ギヤ 40、42・・・雌ロータ 44、44A、46、46A、48、48A、50、5
0A・・・軸受 52、52A、54、54A、56、56A、58、5
8A・・・軸封装置 74、82・・・雄ロータ
0A・・・軸受 52、52A、54、54A、56、56A、58、5
8A・・・軸封装置 74、82・・・雄ロータ
Claims (1)
- 【請求項1】 平行な2軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータを含む複数段のスク
リュー真空ポンプを直列に接続した多段スクリュー式真
空ポンプにおいて、前段ポンプに駆動源からの駆動力を
伝達する入力機構と、前段ポンプの回転を増速して後段
ポンプへ伝達する増速機構、とを設けた事を特徴とする
多段スクリュー式真空ポンプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4208741A JPH0658278A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 多段スクリュー式真空ポンプ |
US08/086,886 US5378128A (en) | 1992-08-05 | 1993-07-07 | Multi-stage screw vacuum pump |
KR1019930014137A KR100303453B1 (ko) | 1992-08-05 | 1993-07-26 | 다단계스크류진공펌프 |
EP93112014A EP0582185A1 (en) | 1992-08-05 | 1993-07-27 | Multi-stage screw vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4208741A JPH0658278A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 多段スクリュー式真空ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0658278A true JPH0658278A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16561317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4208741A Pending JPH0658278A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 多段スクリュー式真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5378128A (ja) |
EP (1) | EP0582185A1 (ja) |
JP (1) | JPH0658278A (ja) |
KR (1) | KR100303453B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005307978A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Alcatel | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 |
JP2009275517A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Kobe Steel Ltd | 2段スクリュ圧縮機および冷凍装置 |
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FR2883934B1 (fr) * | 2005-04-05 | 2010-08-20 | Cit Alcatel | Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie |
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WO2017031807A1 (zh) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 上海伊莱茨真空技术有限公司 | 一种多驱动腔非共轴真空泵 |
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1992
- 1992-08-05 JP JP4208741A patent/JPH0658278A/ja active Pending
-
1993
- 1993-07-07 US US08/086,886 patent/US5378128A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-26 KR KR1019930014137A patent/KR100303453B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-07-27 EP EP93112014A patent/EP0582185A1/en not_active Withdrawn
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR940004216A (ko) | 1994-03-14 |
KR100303453B1 (ko) | 2002-06-20 |
EP0582185A1 (en) | 1994-02-09 |
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