JPS6217389A - 機械ポンプ - Google Patents

機械ポンプ

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JPS6217389A
JPS6217389A JP61118967A JP11896786A JPS6217389A JP S6217389 A JPS6217389 A JP S6217389A JP 61118967 A JP61118967 A JP 61118967A JP 11896786 A JP11896786 A JP 11896786A JP S6217389 A JPS6217389 A JP S6217389A
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shaft
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0021—Systems for the equilibration of forces acting on the pump
    • F04C29/0028—Internal leakage control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、オイル　レス機械ポンプに関し、各々１ポン
プ室（ａ　ｐｕ＋ｗｐｉｎｇ　ｃｈａａ＋ｂｅｒ　）内
にかみ合い回転子を含む少くとも２つの段を有するオイ
ルレス機械ポンプに関する。
このような機械ポンプについての１つの問題は、隣接し
た段と段との間に生じうるガス圧力の著しい差から生ず
る。
このような場合、ポンプ圧送されたガスの逆漏れの高い
発生率が、段と段との間で起り易い。特に、逆漏れのこ
の高い発生率は、隣接したポンプ室を仕切る段の内壁の
孔と駆動軸との間の環状の隙間を通して起り易い。
段の内壁の環状隙間によるガスの逆漏れは、ポンプ出口
からポンプ入口へのガスの逆流を効果的に生じさせ、再
びポンプ圧送されるべきガスの体積を効果的に増大させ
、ポンプの体積効率即ち得られる真空度を著しく減少さ
せる。
係属中の英国特許出願Ｎ１２．１１１．１２６　Ａには
、各々独立のポンプ室内にかみ合い回転子を含む複数の
ポンプ段をもつ機械的真空ポンプが開示され、かつクレ
ームされている。この先行出願のポンプの特徴としては
、内部潤滑がないこと、及びポンプの出口端に、かみ合
い瓜型の回転子を有する少くとも２つの隣接した段があ
ることである。
内部の環状隙間に内部潤滑剤が存在しないことに関連し
て生ずる比較的高いガスの圧縮が、逆漏れの発生率を更
に高める。
従って、本発明の１つの目的は、このような逆漏れが、
特に乾式機械ポンプにおいて得られる真空度に及ぼす悪
影響を減少させようとすることである。
本発明は、その最も広い観点によれば、各々ポンプ室内
にかみ合い回転子を含む少くとも２つの段を有する機械
ポンプであって、回転子を、１つの室をこれと隣接した
室から仕切る壁を貫通する軸に装着し、ポンプの比較的
高圧領域で軸と隔、壁内の軸支承部との間の環状隙間に
入るガスを、ポンプの比較的低圧領域へ移送するための
ダクト装置を設けたことを特徴ふする機械ポンプを提供
する。
本発明の好ましい実施態様では、ダクト装置は、ポンプ
室の高圧領域の環状隙間から同じ室のより低圧領域へガ
スを移送するように配置されている。
この場合、本発明を、係属中の英国特許出願に開示され
、クレームされたタイプの機械的真空ポンプ、即ちポン
プの出口における２つの隣接したポンプ段が、夫々、逆
向きに取付けられた瓜型回転子のかみ合い対を有する機
械的真空ポンプに実施したときに本発明は特定の利点を
示す。
ダクト装置は、段と段との間の隔壁に、理想的には該隔
壁内に設けた環状溝を有し、この環状溝が、軸を完全に
又は部分的に取り巻き且つポンプの比較的低圧領域と連
通ずるのが適当である。
ダクトは、ポンプの１つの段において、同じ段の比較的
低圧領域で隔壁内に設けた同様な環状溝と連通し、その
段の入口に連通ずるのが好都合である。かくして、ガス
漏れは、先の段の入口側に入る代りに、ガスの来る段の
入口側へ戻される。
本発明の実施態様を、添付図面を参照して例示として以
下詳細に説明する。
図面の第１図を参照すると、１で全体的に指示した機械
ポンプはポンプ　ハウジング２を有し・一対の平行な駆
動軸３がこのポンプ　ハウジングを貫通している。軸３
は、３対の回転子４，５゜６を該軸３と共に回転するよ
うに支持している。
回転子４，５．６は、第２図により明瞭に示されている
ように、補足し合うかみ合い対をなして、夫々の軸３に
縦に並んで配列されている。
再び第１図を参照すると、ポンプ　ハウジング２は、図
示のように、隔壁８．９によって、３つの間隔をへだて
た独立のポンプ室１０．１１゜１２に分割され、各ポン
プ室（ｐｕｍｐｉｎｇ　ｃｈａｍｂｅｒ　）は、ガスの
ポンプ圧送を生じさせる一対のかみ合い回転子を包含し
ている。
ポンプ　ハウジングの一端において、軸３の各々はタイ
ミング　ギヤ１３を担持し、ハウジングの他端において
、軸の１つが、技術分野でよく知られているタイプの適
当な継手（図示せず）を介してモータに連結されること
によって駆動可能である。
第２図かられかるように、ポンプ室１０内のかみ合った
一対の回転子４は、技術分野でよく知られているルーツ
型であり、多段ポンプ１の第１高真空段即ち入口段の一
部を形成する。
ルーツ型回転子４の輪郭は、ポンプ圧送されたガスのキ
ャリオーバ（ｃａｒｒｙ　ｏｖｅｒ）体積を最少にする
ようになっている。このことは、協働する回転子４が、
それらの相互作用中、回転子の排気側で捕えられ、回転
子の入口側へ運ばれるガスの体積を実際上最少値に保つ
ような輪郭であることを意味する。室１０の排気側から
入口側へ持ち越されたガスは、膨張する傾向があり、従
ってポンプの体積効率を減少させる。
ポンプ室１０から排気されたガスは、ポンプ室１０と１
１との間の隔壁を形成する壁９に設けられ、室１１の入
口開口部５４で終る適当なダクトを経てポンプ室１１の
入口に入る。
第１図を再び参照すると、ポンプ室１１内の回転子５は
、技術分野でよく知られているかみ合い瓜型である。入
口開口部５４から中間圧力室１１に入るガスは、ポンプ
室１１と１２との間の隔壁を形成する壁８に設けられ、
ポンプ室１２の入口開口部としても作用する出口開口部
２２ヘポンプ輸送される。図示していないけれども、ポ
ンプ室の入口開口部及び出口開口部は、弓靜スロットの
形である。
比較的高圧のポンプ室１２に入るガスは、一対のかみ合
い回転子６によって室１２の排気口１４に、そして、必
要ではないが好ましくは、係属中の英国特許用１１１Ｎ
Ｉ１２，１１１．１２６　Ａニ開示すｔ’ｌりＬ／　−
ムされた方法でポンプ効率を改善するのに有効な一方向
弁１６を経て大気に圧送される。
図示したポンプが乾式ポンプ、即ち内部流体潤滑設備を
含まないポンプである場合には、ポンプ室１２内の一対
のかみ合い回転子６によって圧縮されたガスは、主とし
て隔壁８，９の孔と軸３との間の環状隙間を通してポン
プ室１１の中へ逆漏れする傾向がある。
このようなガスの逆漏れは、対の回転子５．６の逆向き
のために、このようなガスがポンプ室１１の入口側へ膨
張するので、体積でポンプ効率に特に影響を及ぼす。
この逆漏れの効果を改善するために、隔壁８は、第１図
に示すように、軸の領域に、円周方向に連続な溝５１を
備えている。溝５１は、これ又隔壁８に設けられたダク
ト又は孔５２を介して互に連通し、かつ移送口（出口開
口部）２２と連通している。
ポンプの運転中、ガスがポンプ室１０．１１゜１２を通
して低圧端から高圧端へ圧送されているとき、室１２の
最高圧力の出口端で回転子６によって圧縮されたガスは
、隔壁８内の環状隙間を通して、特に高圧の送り出し側
出口１４に最も近い隙間（図の上端に示す）を通してポ
ンプ室１１の中へ漏れる傾向がある。
このような逆漏れガスは、ポンプ室１１の入口側へ漏れ
る代りに、溝５１によって捕捉され、ダクト又は孔５２
及びこれと協働する溝５１を通過し、移送口２２に入り
、室１２で再びポンプ作用を受ける。溝５１とダクト５
２を通るガス迂回効果として、逆漏れガスを、ポンプ室
１１と１２の両方にではなく、ポンプ室１２にだけ再循
環させ、体積ポンプ効率の損失を著しく減少させること
になる。
本発明を、ポンプ室１１と１２との間の軸シールに設け
た溝５１を参照して説明したけれども、本発明は、他の
隣接するポンプ室にも等しく通用で・き、実際、逆漏れ
がポンプ効率の損失を引き起すようなポンプの他の領域
に等しく通用しうろことが理解されよう。本発明を乾式
真空ポンプを参照して説明したけれども、内部温湯設備
を有するが、その潤滑設備がガスの逆漏れを防ぐのに十
分でない真空ポンプや機械ポンプにも等しく通用しうろ
ことが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
第１図は、各々一対のかみ合い回転子を収容した３つの
室を有する乾式機械的真空ポンプの断面側面図である。 第２図は、第１図のポンプ内に組込まれる回転子の斜視
図である。 １・・・・・・機械ポンプ、４．５．６・・・・・・回
転子、３・・・・・・軸、１０．１１．１２・・・・・
・ポンプ室、８．９・・・・・・隔壁、５１・・・・・
・溝、５２・・・・・・ダクト、孔、５４−・・・・・
入口開口部、２２・・・・・・出口開口部。 ＦＩＧ、２゜ 手続補正書く方式） １、事件の表示　　昭和６１年特許願第１１８９６７号
２、発明の名称　　　　　機　械　ポ　ン　プ３、補正
をする者 事件との関係　　出願人 ４、代理人

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）各々ポンプ室内にかみ合い回転子を含む少くとも
    ２つの段を有する機械ポンプであって、１つのポンプ室
    をこれと隣接したポンプ室から仕切る壁を貫通し、該壁
    で乾式的に支承された軸に回転子を装着し、ポンプの比
    較的高圧領域で軸と該軸の支承部との間の環状隙間に入
    るガスをポンプの比較的低圧領域へ移送するためのダク
    ト装置を設けたことを特徴とする機械ポンプ。
  2. （２）ダクト装置が、ポンプ室の比較的高圧領域の軸シ
    ールから同じ室の比較的低圧領域へガスを移送するよう
    に配置されている、特許請求の範囲第１項に記載の機械
    ポンプ。
  3. （３）ダクト装置が、ポンプ室の比較的高圧領域の軸シ
    ールからその室のガス入口開口部へ又は該ガス入口開口
    部の中へガスを移送するように配置されている、特許請
    求の範囲第２項に記載の機械ポンプ。
  4. （４）ダクト装置が、ポンプ室の比較的低圧領域のシー
    ルからその室のガス入口開口部へ又は該ガス入口開口部
    の中へガスを移送するように配置されている、特許請求
    の範囲第３項に記載の機械ポンプ。
  5. （５）ダクト装置が、ポンプ室の比較的高圧領域と低圧
    領域の夫々の軸シールの間に連通を生じさせるように配
    置されている、特許請求の範囲第４項に記載の機械ポン
    プ。
  6. （６）ダクト装置が、ポンプ室の隔壁内に設けられ、軸
    を少くとも部分的に取り囲む環状溝を含む、特許請求の
    範囲第１項に記載の機械ポンプ。
  7. （７）環状溝が軸を完全に取り囲んでいる、特許請求の
    範囲第６項に記載の機械ポンプ。
  8. （８）ダクト装置が、隔壁内に設けられたもう１つの孔
    を備え、該孔が軸を取り囲む環状溝と連結している、特
    許請求の範囲第６項又は第７項に記載の機械ポンプ。
  9. （９）前記孔が、ポンプ室の比較的高圧領域及び低圧領
    域の夫々の軸シールを取り囲む環状溝を連結している、
    特許請求の範囲第８項に記載の機械ポンプ。
  10. （１０）前記孔が、ポンプ室の入口開口部と連通してい
    る、特許請求の範囲第９項に記載の機械ポンプ。
  11. （１１）ダクト装置が、ポンプの出口端にあるポンプ室
    内に設けられている、特許請求の範囲第１項〜第１０項
    の何れか一項に記載の機械ポンプ。
  12. （１２）ポンプの出口端にあるポンプ室が、かみ合い瓜
    型の回転子を取り囲んでいる、特許請求の範囲第１１項
    に記載の機械ポンプ。
  13. （１３）ポンプの出口端にあるポンプ室が、一方向弁を
    介してガスを排気する、特許請求の範囲第１１項又は第
    １２項に記載の機械ポンプ。
JP61118967A 1985-05-30 1986-05-23 機械ポンプ Granted JPS6217389A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8513684 1985-05-30
GB858513684A GB8513684D0 (en) 1985-05-30 1985-05-30 Mechanical pumps

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JPS6217389A true JPS6217389A (ja) 1987-01-26
JPH0368237B2 JPH0368237B2 (ja) 1991-10-25

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JP (1) JPS6217389A (ja)
DE (1) DE3617889A1 (ja)
FR (1) FR2582741A1 (ja)
GB (2) GB8513684D0 (ja)
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