JP2537696B2 - 多段真空ポンプ - Google Patents

多段真空ポンプ

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数組の複葉型真空ポンプを、ロータの軸及
びケーシングを共通として並べて組合わせた多段真空ポ
ンプに関するものである。
〔従来技術〕
一般に高真空を得る為に、単段真空ポンプを直列に配
設することが行なわれる。特に近年においては真空ポン
プの小型化を図るため、複数のロータを一本の軸に設け
た構造の多段真空ポンプの需要が増えている。その用途
も種々多様となり、昇華性気体を扱うケースもある。昇
華性気体は圧力・温度の状態の変化により、第６図に示
すように、気体から固体或いは固体から気体に性状が変
化する性質を有している。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記のように多段真空ポンプで昇華性気体を扱った場
合、多段真空ポンプ内で、吸込口から順次圧縮され、吐
出口に到るまでにポンプ内部で固形分が生成し、ポンプ
の寿命を著しく損なうという問題がある。特にロータ部
（圧縮部）の微小な間隙部に固形分が付着する場合は、
ポンプは瞬間に停止してしまい、その都度ポンプ本体の
分解、清掃、組立を必要とし、その手間は莫大なものと
なるという問題もある。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、上記問題
点を除去し、長寿命で且つ安定した運転が得られる多段
真空ポンプを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するため本発明は、複数組の複葉型真
空ポンプを、ロータの軸及びケーシングを共通として並
べて組合せ、隣接するポンプを連通路を介して直列に接
続した多段真空ポンプにおいて、連通路に冷却機能を有
し且つポンプケーシングより取外し可能な固体捕集装置
を設け、該固体捕集装置の下流側の連通路を前記ポンプ
ケーシングの内部に形成すると共に、前段ポンプの作動
室の吐出部に隣接しており、流体が連通路を通って後段
のポンプ作動室に流入する構造であることを特徴とす
る。
〔作用〕
上記のように連通路に冷却機能を有し且つポンプケー
シングより取外し可能な固体捕集装置を設けたことによ
り、ポンプ内部で生成された固形成分が該固体捕集装置
で捕集されるから、次段のポンプ内部に該固形成分が流
入することがない。また、固体捕集装置はポンプケーシ
ングより取外し可能であるため、ポンプ本体を分解する
ことなく固体捕集装置のみを取り外し洗浄することが可
能である。
また、固体捕集装置の下流側の連通路を前段のポンプ
作動室の吐出部に隣接したポンプケーシングの内部に形
成しているので、該固体捕集装置から出た流体がこの連
通路を通ることにより、前段のポンプ作動室の吐出部か
らの圧縮熱を受け、流体自体が昇温され、完全に気化し
固形物が無い状態で次段のポンプ作動室に流入すること
になる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第３乃至第５図は本発明の多段真空ポンプの構造を示
す図で、第３図は縦断面図（但し、回転軸、ロータ関係
は二点鎖線で示してある）、第４図及び第５図はそれぞ
れ第３図のＩ−Ｉ線上及びII−II線上断面図である。25
はケーシングであり、隔壁11,14により三の動作室、即
ち、第１ポンプ室12、第２ポンプ室13、第３ポンプ15が
形成され、全体が上下で二割り構造になっている。
ケーシング25内には２本に平行に配置された回転軸1
6,17が軸受18により回転可能に支えられ、該回転軸16,1
7には、第１ポンプ室12、第２ポンプ室13及び第３ポン
プ室15内に収容される一対の互いに噛み合っている複葉
型のロータ26,31,36が固定されている。
軸封装置20を貫通した一方の回転軸16の軸端には図示
しない駆動手段が連結されており、該駆動手段により回
転軸16を回転させることにより、タイミングギヤ19を介
して回転軸17は回転軸16に対して逆回転し、複葉型のロ
ータ26,31,36を回転させるようになっている。
また、第１ポンプ室12、第２ポンプ室13及び第３ポン
プ室15にはそれぞれ吸込口21,27,32及び吐出口22,28,33
が形成されている。
第１ポンプ室12と第２ポンプ室13との間、及び第２ポ
ンプ室13と第３ポンプ室15との間にはケーシング25の内
部に連通路38,41が設けられ前記吸込口27,32と連通して
いる。
39,42,45はそれぞれ冷却コイル54,55,56を有する固体
捕集装置であり、該固体捕集装置39,42,45はそれぞれ接
続路37,40,43により前記吐出口22,28,33に接続し、また
接続路57,58により連通路38,41に接続されている。
上記構造の多段真空ポンプにおいて、吸込口59により
吸い込まれたガスは第１ポンプ室12内により固体捕集装
置39に移送され、該固体捕集装置39の冷却コイル54によ
り冷却された後連通路38及び吸込口27を通って第２ポン
プ室13に供給される。
第２ポンプ室13に供給されたガスはロータ31により固
体捕集装置42に移送され、冷却コイル55により冷却され
後連通路41及び吸込口32を通って第３ポンプ室15に供給
される。
第３ポンプ室15に供給されたガスはロータ36により固
体捕集装置42に移送され、冷却コイル56により冷却され
後吐出口44を通って排出される。
ロータ26,31,36により圧縮されたガスは固体捕集装置
39,42,45のそれぞれの冷却コイル54,55,56に固形成分の
みが強制的に生成付着される。更に固体捕集装置39,42
から出た流体をケーシング25内に形成された連通路38,4
1を通すことにより、隣接する吐出口22,28からの圧縮熱
を受け、流体自体が昇温され、完全に気化した状態で次
の吸込口27,32に流入することになる。このためガスは
固形分の無い状態で、第２ポンプ室13,第３ポンプ室15
に流入するので、多段真空ポンプの安定した運転が得ら
れ、ポンプの長寿命化につながる。
第１図及び第２図は固体捕集装置39の構造例を示す図
である。60は前記接続路37及び接続路57が設けられ筐体
であり、該筐体60内に冷却コイル54が収納されている。
冷却コイル54はコイル取付部材61に取り付けられ、内部
に冷却用の冷媒が流れるようになっている。コイル取付
部材61は冷却コイル54を筐体60内に挿入した後、筐体60
の端部に取り付けたフランジ62にボルト等で固定できる
ようになっている。第２図はコイル取付部材61をフラン
ジ62から取り外し、冷却コイル54を筐体60から出した状
態を示す図である。
上記のように固体捕集装置39の冷却コイル54のみを取
り外すことができるようにすることにより、冷却コイル
54に付着した固形分を多段真空ポンプのポンプ本体を分
解することなく、抽出し洗浄することができ、固体捕集
装置39のメンテナンスが容易となる。
なお、固体捕集装置42及び固体捕集装置45の構造も上
記固体捕集装置39の構造と略同一であるのでその図示及
び説明は省略する。
なお、第１図及び第２図は固体捕集装置の一例であ
り、固体捕集装置はこれに限定されるものではなく、要
は連通路に配置され冷却機能を有し且つポンプケーシン
グより取外し可能な構造であれば、どのような構造であ
ってもよいことは当然である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、下記のような優
れた効果が得られる。
（１）連通路に冷却機能を有し且つポンプケーシングよ
り取外し可能な固体捕集装置を設けたことにより、ポン
プ内部で生成された固形成分が該固体捕集装置で捕集さ
れるので、次段のポンプ内部に該固形成分が流入するこ
とがなく、ロータ部（圧縮部）の微小な間隙部に固形成
分が付着することがないから、ポンプの安定した運転が
できると共にその寿命が長くなる。
（２）また、固体捕集装置はポンプケーシングより取外
し可能であるため、ポンプ本体を分解することなく固体
捕集装置のみを取り外し洗浄することが可能である。
（３）また、固体捕集装置の下流側の連通路を前段のポ
ンプ作動室の吐出部に隣接したポンプケーシングの内部
に形成しているので、該固体捕集装置から出た流体がこ
の連通路を通ることにより、前段のポンプ作動室の吐出
部からの圧縮熱を受け、流体自体が昇温され、完全に気
化し固形物が無い状態で次段のポンプ作動室に流入する
ことになるから、ポンプの安定した運転ができると共に
その寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は固体捕集装置の構造例を示す図で、
第１図は筐体に冷却コイルを挿入した状態を示す図、第
２図は筐体から冷却コイルを取り出した状態を示す図、
第３乃至第５図は本発明の多段真空ポンプの構造を示す
図で、第３図は縦断面図、第４図及び第５図はそれぞれ
第１図のＩ−Ｉ線上及びII−II線状断面図、第６図は昇
華性気体の性質を示す図である。 図中、11……隔壁、12……第１ポンプ室、13……第２ポ
ンプ室、14……隔壁、15……第３ポンプ室、16……回転
軸、17……回転軸、18……軸受、19……タイミングギ
ヤ、20……軸封装置、21,27,32……吸込口、22,28,33…
…吐出口、25……ケーシング、26……ロータ、31……ロ
ータ、36……ロータ、37……接続路、38……連通路、3
9,42,45……固体捕集装置、40……接続路、41……連通
路、43……接続路、44……吐出、50……隔壁、54,55,56
……冷却コイル、57,58……接続路、59……吸込口、60
……筐体、61……コイル取付部材、62……フランジ。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】複数組の複葉型真空ポンプを、ロータの軸
    及びケーシングを共通として並べて組合せ、隣接するポ
    ンプを連通路を介して直列に接続した多段真空ポンプに
    おいて、 前記連通路に冷却機能を有し且つポンプケーシングより
    取外し可能な固体捕集装置を設け、該固体捕集装置の下
    流側の連通路を前記ポンプケーシングの内部に形成する
    と共に、前段ポンプの作動室の吐出部に隣接しており、
    流体が連通路を通って後段のポンプ作動室に流入する構
    造であることを特徴とする多段真空ポンプ。
JP2252988A 1990-09-21 1990-09-21 多段真空ポンプ Expired - Lifetime JP2537696B2 (ja)

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