JPH0656752B2 - 四重極質量分析装置 - Google Patents
四重極質量分析装置Info
- Publication number
- JPH0656752B2 JPH0656752B2 JP3093175A JP9317591A JPH0656752B2 JP H0656752 B2 JPH0656752 B2 JP H0656752B2 JP 3093175 A JP3093175 A JP 3093175A JP 9317591 A JP9317591 A JP 9317591A JP H0656752 B2 JPH0656752 B2 JP H0656752B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- voltage
- quadrupole
- mass spectrometer
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は四重極質量分析装置の分
解能向上に関する。
解能向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】四重極質量分析装置は中心対照的に配置
された四本の電極棒で構成され、ｘ軸方向に配置された
一対の電極棒とｙ軸方向に配置された一対の電極棒との
間に直流電圧Ｕと高周波電圧Ｖ cosωｔを印加し、ｚ軸
方向即ち電極棒と平行の方向にイオンを通すと、電圧Ｕ
とＶとで決まる特定質量のイオンだけが安定に電極間を
通過し、他の質量のイオンは発散してしまうので、Ｕと
Ｖを適当な関係を保って変化させることにより質量走査
を行うことができる。四重極質量分析装置が完全に作動
し得るためには四本の電極棒はその直径，相互位置関係
に非常な高精度を要求される。しかし実際上、工作誤差
や組立誤差は避けられないので、完全な四重極電界が形
成されず、四重極質量分析装置で得られる質量スペクト
ルのピークには裾を引いたり、裾の上に突出部が出来た
りする異常が現れると云う問題があった。このような問
題に対し従来は組立部品を選択して用いると云うような
方法で対処していた。
された四本の電極棒で構成され、ｘ軸方向に配置された
一対の電極棒とｙ軸方向に配置された一対の電極棒との
間に直流電圧Ｕと高周波電圧Ｖ cosωｔを印加し、ｚ軸
方向即ち電極棒と平行の方向にイオンを通すと、電圧Ｕ
とＶとで決まる特定質量のイオンだけが安定に電極間を
通過し、他の質量のイオンは発散してしまうので、Ｕと
Ｖを適当な関係を保って変化させることにより質量走査
を行うことができる。四重極質量分析装置が完全に作動
し得るためには四本の電極棒はその直径，相互位置関係
に非常な高精度を要求される。しかし実際上、工作誤差
や組立誤差は避けられないので、完全な四重極電界が形
成されず、四重極質量分析装置で得られる質量スペクト
ルのピークには裾を引いたり、裾の上に突出部が出来た
りする異常が現れると云う問題があった。このような問
題に対し従来は組立部品を選択して用いると云うような
方法で対処していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は四重極質量分
析装置の上述した質量スペクトルのピークの形に現れる
異常を部品の加工精度の向上とか、良い部品の選択と云
うような機械構造的な方法ではなく、電気的手段によっ
て解消しようとするものである。
析装置の上述した質量スペクトルのピークの形に現れる
異常を部品の加工精度の向上とか、良い部品の選択と云
うような機械構造的な方法ではなく、電気的手段によっ
て解消しようとするものである。
【０００４】また、広い質量範囲の分析では上記電気的
手段によって新たなピーク形状の異常が生じる範囲が現
れるので、そのような異常が現れないように上記した電
気的手段に対する制御方法をも提供しようとするもので
ある。
手段によって新たなピーク形状の異常が生じる範囲が現
れるので、そのような異常が現れないように上記した電
気的手段に対する制御方法をも提供しようとするもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】四重極電極に直流電圧Ｕ
と高周波電圧Ｖ cosωｔの他に直流電圧に重ねて、上記
高周波電圧とは異なる周波数の小振幅の交流電圧Ｖａ c
osω'tを印加するようにした。そしてこの交流電圧を直
流電圧Ｕに対してしきい値Ｕｔを設定し、ＵがＵｔを超
えたとき、印加するようにし、Ｖａの値を Ｖａ＝ｃ（Ｕ−Ｕｔ） ｃは定数 であるようにした。
と高周波電圧Ｖ cosωｔの他に直流電圧に重ねて、上記
高周波電圧とは異なる周波数の小振幅の交流電圧Ｖａ c
osω'tを印加するようにした。そしてこの交流電圧を直
流電圧Ｕに対してしきい値Ｕｔを設定し、ＵがＵｔを超
えたとき、印加するようにし、Ｖａの値を Ｖａ＝ｃ（Ｕ−Ｕｔ） ｃは定数 であるようにした。
【０００６】
【作用】図２は電圧Ｕ，Ｖを座標軸に取って四重極質量
分析装置の動作を説明するものである。一つの三角状の
カーブの下の領域が或る質量のイオンの安定領域で、各
質量のイオン毎に夫々の安定領域があって、質量の順に
図のように並んでおり、ＵとＶを各安定領域の頂点付近
を切るような図示ｌの軌跡に沿って変化させると、図の
下に示したような質量スペクトルが検出されることにな
る。こゝで本発明はＵ，Ｖの他にＶａ cosω'tと云う交
流を重畳するものである。以下の説明の便宜上、Ｕ，Ｖ
cosωｔを合わせて四重極電圧或は質量走査電圧と云
い、Ｖａ cosω'tを微小交流と云うことにする。図３は
図２の一つの質量ｍのイオンの安定領域を示す三角状領
域の頂点付近例えばＰを拡大して示す。この図は縦軸，
横軸を四重極電圧Ｕ，Ｖおよび質量に関係したパラメー
タで表すことにより、図２の各質量ピークを共通に一つ
の図で表している。上述したように四重極電極にＶ cos
ωｔなる周波数の交流電圧の他にωとは異なる周波数
ω’の微小交流電圧を重畳すると、図３に斜線を入れて
示した帯状領域で質量ｍのイオンの運動が不安定にな
り、四重極電極のｚ軸方向に通過できなくなることが見
出された。従って走査線ｌに沿って四重極電圧のＵ，Ｖ
を変化させたとき、本来質量ｍのイオンのピークプロフ
ァイルが図２ａの形になる所が裾が切れて同ｂの形とな
る。このためａのプロファイルで裾を引いたり、裾の上
に凸部が現れるような場合、その部分が除去されるので
ある。
分析装置の動作を説明するものである。一つの三角状の
カーブの下の領域が或る質量のイオンの安定領域で、各
質量のイオン毎に夫々の安定領域があって、質量の順に
図のように並んでおり、ＵとＶを各安定領域の頂点付近
を切るような図示ｌの軌跡に沿って変化させると、図の
下に示したような質量スペクトルが検出されることにな
る。こゝで本発明はＵ，Ｖの他にＶａ cosω'tと云う交
流を重畳するものである。以下の説明の便宜上、Ｕ，Ｖ
cosωｔを合わせて四重極電圧或は質量走査電圧と云
い、Ｖａ cosω'tを微小交流と云うことにする。図３は
図２の一つの質量ｍのイオンの安定領域を示す三角状領
域の頂点付近例えばＰを拡大して示す。この図は縦軸，
横軸を四重極電圧Ｕ，Ｖおよび質量に関係したパラメー
タで表すことにより、図２の各質量ピークを共通に一つ
の図で表している。上述したように四重極電極にＶ cos
ωｔなる周波数の交流電圧の他にωとは異なる周波数
ω’の微小交流電圧を重畳すると、図３に斜線を入れて
示した帯状領域で質量ｍのイオンの運動が不安定にな
り、四重極電極のｚ軸方向に通過できなくなることが見
出された。従って走査線ｌに沿って四重極電圧のＵ，Ｖ
を変化させたとき、本来質量ｍのイオンのピークプロフ
ァイルが図２ａの形になる所が裾が切れて同ｂの形とな
る。このためａのプロファイルで裾を引いたり、裾の上
に凸部が現れるような場合、その部分が除去されるので
ある。
【０００７】上述した所を更に詳細に説明する。図３の
縦横各軸は夫々Ｕ，Ｖに比例するスケールであるが、夫
々のスケールを 横軸（４ｅ／ｍｒ2 ω2 ）Ｖ＝ｑ 縦軸（８ｅ／ｍｒ2 ω2 ）Ｕ＝ａ 但し ｍ 質量 ｒ 四重極に内接する円の半径 とすると、図３の不安定帯の存在域は安定領域を示す三
角形の頂点からの距離に対応するパラメータβｘ，βｙ
を用いて、（βｘは図中矢印の方向に１から小さくな
り、βｙは０から大きくなる）、（０≦βｘ≦１，０≦
βｙ≦１） −ε＋（ω’／ω）2 〈βｙ2 〈ε＋（ω’／ω）2 −ε＋（ω’／ω）2 〈（１−βｘ）2 〈ε＋（ω’／ω）2 但し ε＝４ｅＶａ／ｍｒ2 ω2 で表され、εは不安定帯の幅の１／２を与え、不安定帯
の幅の中心位置は（ω’／ω）2 で決まる。二つの不安
定帯の位置はω’／ωによって互いに連動的に変わり、
各々を独立して動かすことはできない。図３で四重極電
圧Ｕ，Ｖを走査軌跡ｌに沿って変化させるとき、不安定
帯が図のように生ずるようにすると、Ｖａを大きくする
に従って不安定帯の幅が広がり、安定域の幅Ｂがせまく
なり、ピークプロファイルの裾が切れて分解能が向上す
る。しかし走査軌跡ｌと不安定帯の位置および幅の関係
をうまく設定しないと、不安定帯がピークプロファイル
の中に入込んで図５に示すようなピークプロファイルに
なる。
縦横各軸は夫々Ｕ，Ｖに比例するスケールであるが、夫
々のスケールを 横軸（４ｅ／ｍｒ2 ω2 ）Ｖ＝ｑ 縦軸（８ｅ／ｍｒ2 ω2 ）Ｕ＝ａ 但し ｍ 質量 ｒ 四重極に内接する円の半径 とすると、図３の不安定帯の存在域は安定領域を示す三
角形の頂点からの距離に対応するパラメータβｘ，βｙ
を用いて、（βｘは図中矢印の方向に１から小さくな
り、βｙは０から大きくなる）、（０≦βｘ≦１，０≦
βｙ≦１） −ε＋（ω’／ω）2 〈βｙ2 〈ε＋（ω’／ω）2 −ε＋（ω’／ω）2 〈（１−βｘ）2 〈ε＋（ω’／ω）2 但し ε＝４ｅＶａ／ｍｒ2 ω2 で表され、εは不安定帯の幅の１／２を与え、不安定帯
の幅の中心位置は（ω’／ω）2 で決まる。二つの不安
定帯の位置はω’／ωによって互いに連動的に変わり、
各々を独立して動かすことはできない。図３で四重極電
圧Ｕ，Ｖを走査軌跡ｌに沿って変化させるとき、不安定
帯が図のように生ずるようにすると、Ｖａを大きくする
に従って不安定帯の幅が広がり、安定域の幅Ｂがせまく
なり、ピークプロファイルの裾が切れて分解能が向上す
る。しかし走査軌跡ｌと不安定帯の位置および幅の関係
をうまく設定しないと、不安定帯がピークプロファイル
の中に入込んで図５に示すようなピークプロファイルに
なる。
【０００８】こゝで不安定帯の位置はω’／ωで決まり
幅が微小交流の電圧Ｖａで決まるが、微小交流の周波数
ω’を変えるより、Ｖａを変える方が容易である。そこ
で走査線ｌと不安定帯との関係を制御するのにＶａを可
変とし、Ｖａを次のように決める。一般的に質量分析で
は分解能が質量に比例するように走査ｌの傾きとか高さ
を決めている。ピークプロファイルの形が問題になるの
は低質量低分解能領域ではなく、高質量高分解能域であ
る。図３でピークプロファイルの頂点は安定領域三角形
の頂点直下の位置で、その点のｑの値は走査線を上下し
ても動かない。従ってそのｑ点は質量を表す。ｑの値は
０．７０６であり、また４ｅＶ／ｍｒ2 ω2 であるから
質量ｍに対して四重極電圧のうち高周波電圧Ｖが一つに
決まり、そのＶが質量を表すことになる。走査線ｌの安
定領域三角形の頂点直下の高さをａとし、同じく三角形
頂点直下で基準高さをａｔとする。このａｔに対するＵ
の値がＵｔでａｔ＝８ｅＵｔ／ｍｒ2 ω2 によりしきい
値Ｕｔが質量ｍに比例して決まる。このＵｔが第２図に
直線Ｕｔで示されている。走査線ｌは安定領域三角形の
頂点に近い所を通る程分解能は大になるから、ａｔに対
してａが高い位置に来る程分解能が大となる。図３から
明らかなようにａがａｔより高くなる程不安定帯の幅を
広くしなければならない。走査線ｌはＵ＝ｋＶ−ｈの形
で与えられており、図２でｌは或る質量の所で、Ｕｔの
直線を切ってＵｔの上に出る。本発明は走査線ｌ１がＵ
ｔの直線を切る質量以上の所で不安定帯の幅をＵ−Ｕｔ
に比例するように広げていくのである。このようにすれ
ば図３でａが大になる程つまり高分解能が要求される所
で不安定帯の幅が大となり、質量スペクトルピークの裾
がカットされ、ピークプロファイルの形の異常の影響か
防がれることになる。
幅が微小交流の電圧Ｖａで決まるが、微小交流の周波数
ω’を変えるより、Ｖａを変える方が容易である。そこ
で走査線ｌと不安定帯との関係を制御するのにＶａを可
変とし、Ｖａを次のように決める。一般的に質量分析で
は分解能が質量に比例するように走査ｌの傾きとか高さ
を決めている。ピークプロファイルの形が問題になるの
は低質量低分解能領域ではなく、高質量高分解能域であ
る。図３でピークプロファイルの頂点は安定領域三角形
の頂点直下の位置で、その点のｑの値は走査線を上下し
ても動かない。従ってそのｑ点は質量を表す。ｑの値は
０．７０６であり、また４ｅＶ／ｍｒ2 ω2 であるから
質量ｍに対して四重極電圧のうち高周波電圧Ｖが一つに
決まり、そのＶが質量を表すことになる。走査線ｌの安
定領域三角形の頂点直下の高さをａとし、同じく三角形
頂点直下で基準高さをａｔとする。このａｔに対するＵ
の値がＵｔでａｔ＝８ｅＵｔ／ｍｒ2 ω2 によりしきい
値Ｕｔが質量ｍに比例して決まる。このＵｔが第２図に
直線Ｕｔで示されている。走査線ｌは安定領域三角形の
頂点に近い所を通る程分解能は大になるから、ａｔに対
してａが高い位置に来る程分解能が大となる。図３から
明らかなようにａがａｔより高くなる程不安定帯の幅を
広くしなければならない。走査線ｌはＵ＝ｋＶ−ｈの形
で与えられており、図２でｌは或る質量の所で、Ｕｔの
直線を切ってＵｔの上に出る。本発明は走査線ｌ１がＵ
ｔの直線を切る質量以上の所で不安定帯の幅をＵ−Ｕｔ
に比例するように広げていくのである。このようにすれ
ば図３でａが大になる程つまり高分解能が要求される所
で不安定帯の幅が大となり、質量スペクトルピークの裾
がカットされ、ピークプロファイルの形の異常の影響か
防がれることになる。
【０００９】不安定帯の幅εはε＝４ｅＶａ／ｍｒ2 ω
2で与えられるので、Ｖａを（ａ−ａｔ）に比例させる
と、パラメータａの定義から、Ｕｔは質量に比例させて
おり、質量はＶによって決められるのでｑ＝０．７０６
＝４ｅＶ／ｍｒ2 ω2 からｍ＝４ｅＶ／ 0.706ｒ2 ω2
＝ｂＶと書ける。そこでＶａはＶａ＝ｃ（Ｕ−Ｕｔ）＝
ｃ（Ｕ−ｇＶ）このようにＶａを決めると、不安定帯の
幅εはε＝４ｅＶａ／ｍｒ2 ω2 ＝４ｅｃ（Ｕ−ｇＶ）
／ｍｒ2 ω2こゝでＵ＝ｋＶ−ｈであるからε＝ｃ’
（ｋ’Ｖ−ｈ）・４ｅ／ｍｒ2 ω2 となる。所がｍ＝ｂ
ＶであるからＶ＝ｍ／ｂであり、ε＝４ｃ’ｋ’ｅ／ｂ
ｒ2 ω2 −２ｃ’ｋｅ／ｍｒ2 ω2となり、上式の右辺
第１項は定数であり、第２項はｍが大になる程小さくな
るので、εが大きくなる程大となる。即ち質量の大きな
所で不安定帯の幅が広がるのである。
2で与えられるので、Ｖａを（ａ−ａｔ）に比例させる
と、パラメータａの定義から、Ｕｔは質量に比例させて
おり、質量はＶによって決められるのでｑ＝０．７０６
＝４ｅＶ／ｍｒ2 ω2 からｍ＝４ｅＶ／ 0.706ｒ2 ω2
＝ｂＶと書ける。そこでＶａはＶａ＝ｃ（Ｕ−Ｕｔ）＝
ｃ（Ｕ−ｇＶ）このようにＶａを決めると、不安定帯の
幅εはε＝４ｅＶａ／ｍｒ2 ω2 ＝４ｅｃ（Ｕ−ｇＶ）
／ｍｒ2 ω2こゝでＵ＝ｋＶ−ｈであるからε＝ｃ’
（ｋ’Ｖ−ｈ）・４ｅ／ｍｒ2 ω2 となる。所がｍ＝ｂ
ＶであるからＶ＝ｍ／ｂであり、ε＝４ｃ’ｋ’ｅ／ｂ
ｒ2 ω2 −２ｃ’ｋｅ／ｍｒ2 ω2となり、上式の右辺
第１項は定数であり、第２項はｍが大になる程小さくな
るので、εが大きくなる程大となる。即ち質量の大きな
所で不安定帯の幅が広がるのである。
【００１０】
【実施例】第１図は本発明の一実施例の電圧印加回路を
示す。図で１ｘ，１ｙが四重極電極で、イオンはこの四
重極配置の中心部を図の紙面の垂直方向に進行し、その
間に四重極電極に印加される電圧によって決まる特定質
量以外のイオンはｘ，ｙ平面内の振動の振幅が増大して
発散してしまう。ｘ方向の一対の電極１ｘとｙ方向の一
対の電極１ｙとの間に直流電圧Ｕおよび高周波電圧Ｖ c
osωｔが印加される。Ｄは直流電源で、直流電源Ｄと並
列に交流電源Ａが接続されている。Ｈは角周波数ωの高
周波電源でトランスＴを介して電極１ｘ，１ｙ間にＶ c
osωｔの高周波電圧を印加する。直流電源Ｄおよび高周
波電源Ｈは出力電圧可変であり、制御装置ＣによってＵ
およびＶの値を第１図に示すｌの軌跡に沿って変化させ
質量分析を行う。
示す。図で１ｘ，１ｙが四重極電極で、イオンはこの四
重極配置の中心部を図の紙面の垂直方向に進行し、その
間に四重極電極に印加される電圧によって決まる特定質
量以外のイオンはｘ，ｙ平面内の振動の振幅が増大して
発散してしまう。ｘ方向の一対の電極１ｘとｙ方向の一
対の電極１ｙとの間に直流電圧Ｕおよび高周波電圧Ｖ c
osωｔが印加される。Ｄは直流電源で、直流電源Ｄと並
列に交流電源Ａが接続されている。Ｈは角周波数ωの高
周波電源でトランスＴを介して電極１ｘ，１ｙ間にＶ c
osωｔの高周波電圧を印加する。直流電源Ｄおよび高周
波電源Ｈは出力電圧可変であり、制御装置ＣによってＵ
およびＶの値を第１図に示すｌの軌跡に沿って変化させ
質量分析を行う。
【００１１】付加される微小交流のＶａ cosω'tの振幅
ＶａはＶがｋＶのオーダであるのに対して数ボルトの範
囲であり、周波数ω’はωの１／２０程度と小さな値で
ある。図４は微小交流のＶａを前述した Ｖａ＝ｃ（Ｕ−ｇＶ） の関係で変化させる回路の一例である。ＩＣ１に走査信
号が入力される。この信号は四重極電圧の高周波分の振
幅Ｖに比例した信号で、ＩＣ１を通した信号が図１の高
周波電源Ｈに送られる。他方加算回路ＩＣ２において、
定数−ｈ’が加算されると共にｋ’倍されて、Ｕ＝ｋＶ
−ｈなる直流信号が得られて、これが図１の直流電源Ｄ
に送られる。ＩＣ３は加算回路を構成しており、ＩＣ２
の出力はＵ＝ｋＶ−ｈの反転信号であり、この信号と、
Ｖそのまゝの符号の信号がＩＣ３で加算され反転された
出力が出るので、ＩＣ３の出力はＵ−ｇＶとなる。Ｕが
Ｕｔ以下では不安定帯の幅は０とするためフィードバッ
ク回路にダイオードを入れてＩＣ３の出力が負になると
きは、出力が０になるようにしてある。このＩＣ３の出
力が掛け算回路Ｑに入力され周波数ω’の発振回路Ｆの
出力と掛け算されて図１の交流電源Ａを励振する。図５
はこの不安定帯を表した質量スペクトルのピークプロフ
ァイルの一例を示し、不安定帯の影響を見易くするた
め、第３図のＵ−Ｖ軌跡線をｌ’に下げて分解能を低
くしてあり、一つのピークが質量２１１から２１９の範
囲に拡がっており、二つの谷イ，ロが上述した不安定帯
の作用でピーク側面のカットされた部分である。ω’を
ωの１／２０程度，Ｖａを数ボルトの程度にすると不安
定帯は図２の三角領域の頂点近くに位置して、ピークプ
ロファイルの裾をカットするようにすることができるの
である。なお上述実施例では交流電圧Ｖａ cosω'tは電
極１ｘと１ｙとの間に印加されているが、１ｘだけ或は
１ｙだけに印加するようにしてもよい。
ＶａはＶがｋＶのオーダであるのに対して数ボルトの範
囲であり、周波数ω’はωの１／２０程度と小さな値で
ある。図４は微小交流のＶａを前述した Ｖａ＝ｃ（Ｕ−ｇＶ） の関係で変化させる回路の一例である。ＩＣ１に走査信
号が入力される。この信号は四重極電圧の高周波分の振
幅Ｖに比例した信号で、ＩＣ１を通した信号が図１の高
周波電源Ｈに送られる。他方加算回路ＩＣ２において、
定数−ｈ’が加算されると共にｋ’倍されて、Ｕ＝ｋＶ
−ｈなる直流信号が得られて、これが図１の直流電源Ｄ
に送られる。ＩＣ３は加算回路を構成しており、ＩＣ２
の出力はＵ＝ｋＶ−ｈの反転信号であり、この信号と、
Ｖそのまゝの符号の信号がＩＣ３で加算され反転された
出力が出るので、ＩＣ３の出力はＵ−ｇＶとなる。Ｕが
Ｕｔ以下では不安定帯の幅は０とするためフィードバッ
ク回路にダイオードを入れてＩＣ３の出力が負になると
きは、出力が０になるようにしてある。このＩＣ３の出
力が掛け算回路Ｑに入力され周波数ω’の発振回路Ｆの
出力と掛け算されて図１の交流電源Ａを励振する。図５
はこの不安定帯を表した質量スペクトルのピークプロフ
ァイルの一例を示し、不安定帯の影響を見易くするた
め、第３図のＵ−Ｖ軌跡線をｌ’に下げて分解能を低
くしてあり、一つのピークが質量２１１から２１９の範
囲に拡がっており、二つの谷イ，ロが上述した不安定帯
の作用でピーク側面のカットされた部分である。ω’を
ωの１／２０程度，Ｖａを数ボルトの程度にすると不安
定帯は図２の三角領域の頂点近くに位置して、ピークプ
ロファイルの裾をカットするようにすることができるの
である。なお上述実施例では交流電圧Ｖａ cosω'tは電
極１ｘと１ｙとの間に印加されているが、１ｘだけ或は
１ｙだけに印加するようにしてもよい。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、質量スペクトルのピー
ク形状の異常が改善されるため、四重極質量分析装置の
分解能が向上し、ピークの裾引きによる隣接ピークのか
さ上げがなくなるため、ピーク強度情報の信頼性が向上
する。しかもこれらの効果は部品の加工精度とか組立精
度の向上によらず、電気的手段で得られるので、実現が
容易であり、格別に高精度の四重極質量分析計でなくて
もよいのである。
ク形状の異常が改善されるため、四重極質量分析装置の
分解能が向上し、ピークの裾引きによる隣接ピークのか
さ上げがなくなるため、ピーク強度情報の信頼性が向上
する。しかもこれらの効果は部品の加工精度とか組立精
度の向上によらず、電気的手段で得られるので、実現が
容易であり、格別に高精度の四重極質量分析計でなくて
もよいのである。
【図１】本発明の一実施例の回路図、
【図２】四重極質量分析装置の作用説明図、
【図３】本発明の作用説明図、
【図４】微小交流電圧発生回路の図、
【図５】不安定帯の影響を示す図。
１ｘ，１ｙ 四重極電極 Ｄ 直流電源 Ｈ 高周波電源 Ａ 交流電源 Ｃ 制御装置。
Claims (2)
- 【請求項１】 直交配置される四重極電極に直流電圧Ｕ
と周波数ωの高周波電圧Ｖの他に四重極電極の互いに対
向する一対の電極と他の一対の電極との間或は何れかの
一対の電極に上記高周波とは異なる周波数ω’の小振幅
の交流電圧Ｖａ・ｃｏｓω’ｔを印加するようにしたこ
とを特徴とする四重極質量分析装置。 - 【請求項２】 四重極電極に印加される直流電圧Ｕに対
して質量に比例したしきい値Ｕｔを設定し、Ｕがこのし
きい値を超える範囲で交流電圧Ｖａ・ｃｏｓω’ｔを印
加するようにし、このＶａの値を Ｖａ＝ｃ（Ｕ−Ｕｔ） ｃは定数 であるようにした請求項１記載の四重極質量分析装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3093175A JPH0656752B2 (ja) | 1990-11-30 | 1991-03-30 | 四重極質量分析装置 |
| DE69118121T DE69118121T2 (de) | 1990-11-30 | 1991-11-28 | Quadrupolmassenspektrometers |
| EP91311040A EP0488746B1 (en) | 1990-11-30 | 1991-11-28 | Quadrupole mass spectrometers |
| US07/800,069 US5227629A (en) | 1990-11-30 | 1991-11-29 | Quadrupole mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-338663 | 1990-11-30 | ||
| JP33866390 | 1990-11-30 | ||
| JP3093175A JPH0656752B2 (ja) | 1990-11-30 | 1991-03-30 | 四重極質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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