JPH0651224A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
- Publication number
- JPH0651224A JPH0651224A JP4224602A JP22460292A JPH0651224A JP H0651224 A JPH0651224 A JP H0651224A JP 4224602 A JP4224602 A JP 4224602A JP 22460292 A JP22460292 A JP 22460292A JP H0651224 A JPH0651224 A JP H0651224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed shaft
- thrust plate
- fixed
- rotating
- optical device
- Prior art date
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- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/04—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
- F16C17/08—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only for supporting the end face of a shaft or other member, e.g. footstep bearings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/16—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
- H02K5/167—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings
- H02K5/1677—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings radially supporting the rotor around a fixed spindle; radially supporting the rotor directly
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転多面鏡を高速回転する場合に消費電力を
少なくし、塵埃等の混入や振動等によるかじり現象を起
さないようにし、かつ精度を安定化する。 【構成】 固定軸21の周りに回転スリーブ22を回転
可能に嵌合し、回転スリーブ22の一端部に固定された
スラスト板30を固定軸21の端面21aに突当てる。
固定軸21、回転スリーブ22及びスラスト板30はセ
ラミック材料で形成し、スラスト板30と固定軸21と
の当接面の少なくとも一方側は球面として点接触状態に
する。回転スリーブ22の周りに金属材料から成る固定
部材23を固定し、これに回転多面鏡24及び駆動マグ
ネット26を固定する。高速回転時には、回転スリーブ
22は固定軸21との嵌合面に形成される空気膜によっ
てラジアル方向には非接触で支持され、スラスト方向に
は点接触状態で支持される。
少なくし、塵埃等の混入や振動等によるかじり現象を起
さないようにし、かつ精度を安定化する。 【構成】 固定軸21の周りに回転スリーブ22を回転
可能に嵌合し、回転スリーブ22の一端部に固定された
スラスト板30を固定軸21の端面21aに突当てる。
固定軸21、回転スリーブ22及びスラスト板30はセ
ラミック材料で形成し、スラスト板30と固定軸21と
の当接面の少なくとも一方側は球面として点接触状態に
する。回転スリーブ22の周りに金属材料から成る固定
部材23を固定し、これに回転多面鏡24及び駆動マグ
ネット26を固定する。高速回転時には、回転スリーブ
22は固定軸21との嵌合面に形成される空気膜によっ
てラジアル方向には非接触で支持され、スラスト方向に
は点接触状態で支持される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばレーザービーム
スプリンタのようにレーザービームなどの光を用いた記
録装置において、レーザービーム等を感光体上に走査す
るための回転多面鏡を内蔵する走査光学装置に関するも
のである。
スプリンタのようにレーザービームなどの光を用いた記
録装置において、レーザービーム等を感光体上に走査す
るための回転多面鏡を内蔵する走査光学装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】近年、レーザービームプリンタ等におい
ては、回転多面鏡を駆動するための高速或いは高精度の
回転を行う回転装置が要求されており、特に高精度の偏
向走査装置を得るために、非接触で回転する軸受が用い
られている。
ては、回転多面鏡を駆動するための高速或いは高精度の
回転を行う回転装置が要求されており、特に高精度の偏
向走査装置を得るために、非接触で回転する軸受が用い
られている。
【0003】図5はこのような非接触軸受の1つである
動圧流体軸受を用いたレーザービームプリンタの偏向走
査装置の従来例を示している。回転軸1とスリーブ2は
回転可能に嵌合されており、スリーブ2の下端部には、
スラスト板3が固定板4と共に配置され、外筒5に固定
されている。回転軸1にはフランジ6が固定され、フラ
ンジ6の上部には回転多面鏡7が固定され、下部には駆
動用マグネット8を固定したヨーク9が固定され、駆動
用マグネット8と対向する位置には外筒5に固定された
ステータ10が配置されて駆動モータを構成している。
動圧流体軸受を用いたレーザービームプリンタの偏向走
査装置の従来例を示している。回転軸1とスリーブ2は
回転可能に嵌合されており、スリーブ2の下端部には、
スラスト板3が固定板4と共に配置され、外筒5に固定
されている。回転軸1にはフランジ6が固定され、フラ
ンジ6の上部には回転多面鏡7が固定され、下部には駆
動用マグネット8を固定したヨーク9が固定され、駆動
用マグネット8と対向する位置には外筒5に固定された
ステータ10が配置されて駆動モータを構成している。
【0004】ここで、スラスト板3には回転軸1の端部
と対向する面に浅溝11が刻設され、動圧スラスト軸受
が構成されている。また回転軸1の外周面には、スリー
ブ2の内周面と対向する位置の2個所にヘリングボーン
状の浅溝14が刻設され、更に動圧スラスト軸受に潤滑
流体が流れるようなスパイラル状の浅溝15が刻設され
ている。また、スリーブ2の内面には浅溝14とスパイ
ラル状の浅溝15の間に凹部16を設けると共に、小径
孔17を設けることによって、潤滑流体の安定性を確保
している。更に、2個所のヘリングボーン状の浅溝14
の間には逃げ部18が形成され、また下側のヘリングボ
ーン状の浅溝14と動圧スラスト軸受部との間には逃げ
部19が形成され、流体軸受部の損失が小さくなるよう
になっている。
と対向する面に浅溝11が刻設され、動圧スラスト軸受
が構成されている。また回転軸1の外周面には、スリー
ブ2の内周面と対向する位置の2個所にヘリングボーン
状の浅溝14が刻設され、更に動圧スラスト軸受に潤滑
流体が流れるようなスパイラル状の浅溝15が刻設され
ている。また、スリーブ2の内面には浅溝14とスパイ
ラル状の浅溝15の間に凹部16を設けると共に、小径
孔17を設けることによって、潤滑流体の安定性を確保
している。更に、2個所のヘリングボーン状の浅溝14
の間には逃げ部18が形成され、また下側のヘリングボ
ーン状の浅溝14と動圧スラスト軸受部との間には逃げ
部19が形成され、流体軸受部の損失が小さくなるよう
になっている。
【0005】このような動圧流体軸受の他に、最近では
セラミックを用いた軸受装置等も用いられている。
セラミックを用いた軸受装置等も用いられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例では、高速で高精度な偏向走査装置を得るために、
次のような欠点がある。
来例では、高速で高精度な偏向走査装置を得るために、
次のような欠点がある。
【0007】(1) 流体に油、グリース等の液体を用いた
動圧流体軸受では、高速になるにつれて、液体の粘性抵
抗が大きくなり損失トルクが増加し、発熱が大きくなり
消費電力が増加する。
動圧流体軸受では、高速になるにつれて、液体の粘性抵
抗が大きくなり損失トルクが増加し、発熱が大きくなり
消費電力が増加する。
【0008】(2) 流体に空気等の気体を用いた動圧流体
軸受では、塵埃等の混入や湿気に対して弱いため取扱い
が難しく、また高速で回転している時に振動等により接
触した場合に、所謂かじり現象を起し易い。
軸受では、塵埃等の混入や湿気に対して弱いため取扱い
が難しく、また高速で回転している時に振動等により接
触した場合に、所謂かじり現象を起し易い。
【0009】(3) セラミック材料を用いた軸受の場合に
は、回転多面鏡等を取り付けることが困難であると共
に、材質の熱膨張率が大きく違うことから一旦精度良く
組付けても熱変化等が生ずると精度が劣化する。
は、回転多面鏡等を取り付けることが困難であると共
に、材質の熱膨張率が大きく違うことから一旦精度良く
組付けても熱変化等が生ずると精度が劣化する。
【0010】本発明の目的は、高速回転時においても消
費電力が少なく、また塵埃等の混入や振動等によるかじ
り現象を起し難く、更に恒久的に高い精度を保持できる
ようにした走査光学装置を提供することにある。
費電力が少なく、また塵埃等の混入や振動等によるかじ
り現象を起し難く、更に恒久的に高い精度を保持できる
ようにした走査光学装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る走査光学装置は、回転多面鏡を回転さ
せて、光を偏向させる走査光学装置において、回転可能
に嵌合する固定軸と回転スリーブをセラミック材料で形
成し、該回転スリーブの一端部には少なくとも前記固定
軸の端面との当接面をセラミック材料で形成したスラス
ト板を固定し、前記固定軸の端面と前記スラスト板の当
接面の少なくとも一方を球面としたものである。
めの本発明に係る走査光学装置は、回転多面鏡を回転さ
せて、光を偏向させる走査光学装置において、回転可能
に嵌合する固定軸と回転スリーブをセラミック材料で形
成し、該回転スリーブの一端部には少なくとも前記固定
軸の端面との当接面をセラミック材料で形成したスラス
ト板を固定し、前記固定軸の端面と前記スラスト板の当
接面の少なくとも一方を球面としたものである。
【0012】
【作用】上述の構成を有する走査光学装置は、回転多面
鏡を固定した回転スリーブが回転すると、固定軸との嵌
合面に空気膜が形成されるので、ラジアル方向には完全
に非接触で支持され、一方でスラスト方向には回転スリ
ーブに固定されたスラスト板と固定軸が点接触状態で支
持される。
鏡を固定した回転スリーブが回転すると、固定軸との嵌
合面に空気膜が形成されるので、ラジアル方向には完全
に非接触で支持され、一方でスラスト方向には回転スリ
ーブに固定されたスラスト板と固定軸が点接触状態で支
持される。
【0013】
【実施例】本発明を図1〜図4に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は第1の実施例に係る回転多面
鏡の軸受部を示す断面図、図2は全体の概要を示す平面
図である。図1において、21は上部の端面21aを球
面とした固定軸、22は固定軸21と回転可能に嵌合す
る回転スリーブであり、これらはセラミック材料で形成
されている。回転スリーブ22の外周には、例えばアル
ミニウム、黄銅等の金属材料から成る固定部材23が例
えば焼き嵌め等の公知の方法により固定されている。こ
の固定部材23には回転多面鏡24が板ばね25により
固定され、更に駆動マグネット26が接着等の方法によ
り固定されている。
て詳細に説明する。図1は第1の実施例に係る回転多面
鏡の軸受部を示す断面図、図2は全体の概要を示す平面
図である。図1において、21は上部の端面21aを球
面とした固定軸、22は固定軸21と回転可能に嵌合す
る回転スリーブであり、これらはセラミック材料で形成
されている。回転スリーブ22の外周には、例えばアル
ミニウム、黄銅等の金属材料から成る固定部材23が例
えば焼き嵌め等の公知の方法により固定されている。こ
の固定部材23には回転多面鏡24が板ばね25により
固定され、更に駆動マグネット26が接着等の方法によ
り固定されている。
【0014】固定軸21はモータハウジング27に固定
され、モータハウジング27には駆動マグネット26と
対向する位置にステータ28及び電気部品が配置された
モータ基板29が配置され、回転多面鏡24を回転させ
る駆動モータを構成している。更に、回転スリーブ22
の一端側つまり上方にはセラミックで形成されたスラス
ト板30が嵌合固定され、このスラスト板30には球面
になっている固定軸21の端面21aが接触している。
スラスト板30と固定軸21は点接触状態とすることが
必要で、図1の場合は固定軸21の端面21aを球面と
した場合を示しているが、後述するように他の手段を用
いることもある。また、固定軸21の回転スリーブ22
と嵌合する部分の中央近傍に環状溝31が形成されてい
る。
され、モータハウジング27には駆動マグネット26と
対向する位置にステータ28及び電気部品が配置された
モータ基板29が配置され、回転多面鏡24を回転させ
る駆動モータを構成している。更に、回転スリーブ22
の一端側つまり上方にはセラミックで形成されたスラス
ト板30が嵌合固定され、このスラスト板30には球面
になっている固定軸21の端面21aが接触している。
スラスト板30と固定軸21は点接触状態とすることが
必要で、図1の場合は固定軸21の端面21aを球面と
した場合を示しているが、後述するように他の手段を用
いることもある。また、固定軸21の回転スリーブ22
と嵌合する部分の中央近傍に環状溝31が形成されてい
る。
【0015】ここで、駆動モータにより回転スリーブ2
2が回転させると、動圧発生溝がなくとも固定軸21と
の嵌合面に空気膜が形成され、非接触でラジアル方向が
支持される。一方、スラスト方向はスラスト板30と固
定軸21が点接触状態で支持される。回転多面鏡24は
駆動モータにより回転スリーブ22と共に回転され、図
2に示すように光学箱32に取り付けたレーザーユニッ
ト33より射出されたレーザービームLは、回転多面鏡
24で偏向され、レンズ群34により集光されて感光体
35の上に偏向走査が行われる。
2が回転させると、動圧発生溝がなくとも固定軸21と
の嵌合面に空気膜が形成され、非接触でラジアル方向が
支持される。一方、スラスト方向はスラスト板30と固
定軸21が点接触状態で支持される。回転多面鏡24は
駆動モータにより回転スリーブ22と共に回転され、図
2に示すように光学箱32に取り付けたレーザーユニッ
ト33より射出されたレーザービームLは、回転多面鏡
24で偏向され、レンズ群34により集光されて感光体
35の上に偏向走査が行われる。
【0016】以上のような構成にすることにより、偏向
走査装置の回転側と固定側は、ラジアル方向は完全に非
接触、スラスト方向は点接触状態となるため、高速に回
転した場合でも損失トルクの増加が小さく、発熱が小さ
くなると共に消費電力の増加もない。また、スラスト板
30と固定軸21がセラミック材料で形成されているの
で、点接触であっても摩擦係数が小さくなるため摩擦に
よる損失が少なく、高速回転した場合でも摩耗すること
は殆どない。更に、固定軸21と回転スリーブ22がセ
ラミック材料で形成されているために、塵埃等が混入し
た場合や、高速回転中に振動等を受けて接触した場合で
も、かじり現象を生ずる可能性が少ない。特に、セラミ
ック材料として高強度窒化硅素(Si3 N4 )材料を用
いると耐摩耗性と強度が優れているために、摩耗やかじ
り現象を起す可能性が極めて小さくなる。
走査装置の回転側と固定側は、ラジアル方向は完全に非
接触、スラスト方向は点接触状態となるため、高速に回
転した場合でも損失トルクの増加が小さく、発熱が小さ
くなると共に消費電力の増加もない。また、スラスト板
30と固定軸21がセラミック材料で形成されているの
で、点接触であっても摩擦係数が小さくなるため摩擦に
よる損失が少なく、高速回転した場合でも摩耗すること
は殆どない。更に、固定軸21と回転スリーブ22がセ
ラミック材料で形成されているために、塵埃等が混入し
た場合や、高速回転中に振動等を受けて接触した場合で
も、かじり現象を生ずる可能性が少ない。特に、セラミ
ック材料として高強度窒化硅素(Si3 N4 )材料を用
いると耐摩耗性と強度が優れているために、摩耗やかじ
り現象を起す可能性が極めて小さくなる。
【0017】また、回転スリーブ22の外周に金属材料
から成る固定部材23が固定され、この固定部材23に
回転多面鏡24と駆動マグネット26が固定されている
ことにより、熱膨張率の違いによる精度劣化が少なく、
またセラミック材料で形成されている回転スリーブ22
の形状も単純となるため、また動圧発生溝の加工が不要
なので高精度な加工も容易でコスト的にも有利となる。
更に、回転スリーブ22の外周に固定されている固定部
材23も金属材料であるため加工が容易であり、駆動マ
グネット26を所望の位置に取り付けることが可能であ
り、しかもその加工精度も高精度にすることができる。
また、回転体の重心位置は固定部材23の形状を変えれ
ば、或る程度自由に選択することができ、理想的な位置
である軸受部中央付近にすることも容易である。
から成る固定部材23が固定され、この固定部材23に
回転多面鏡24と駆動マグネット26が固定されている
ことにより、熱膨張率の違いによる精度劣化が少なく、
またセラミック材料で形成されている回転スリーブ22
の形状も単純となるため、また動圧発生溝の加工が不要
なので高精度な加工も容易でコスト的にも有利となる。
更に、回転スリーブ22の外周に固定されている固定部
材23も金属材料であるため加工が容易であり、駆動マ
グネット26を所望の位置に取り付けることが可能であ
り、しかもその加工精度も高精度にすることができる。
また、回転体の重心位置は固定部材23の形状を変えれ
ば、或る程度自由に選択することができ、理想的な位置
である軸受部中央付近にすることも容易である。
【0018】更に、セラミック材料で形成された固定軸
21には環状溝31が設けられていて、回転時において
固定軸21と回転スリーブ22との間に形成される空気
膜が2個所になるために、モーメント方向の振れ廻りを
小さくすることが可能となる。なお、環状溝31はセラ
ミックを焼成する前に加工しておけばよく、加工コスト
が高くなることはない。
21には環状溝31が設けられていて、回転時において
固定軸21と回転スリーブ22との間に形成される空気
膜が2個所になるために、モーメント方向の振れ廻りを
小さくすることが可能となる。なお、環状溝31はセラ
ミックを焼成する前に加工しておけばよく、加工コスト
が高くなることはない。
【0019】図3は第2の実施例を示し、図1と同一部
材で機能が同じものについては、同一番号を付し説明を
省略する。この実施例では、回転スリーブ22の一端部
つまり上方に固定されたスラスト板40はセラミック材
料で形成され、かつ固定軸21の端面との当接面40a
が球面となっている。この場合も、固定軸21とスラス
ト板40とは点接触状態になる。
材で機能が同じものについては、同一番号を付し説明を
省略する。この実施例では、回転スリーブ22の一端部
つまり上方に固定されたスラスト板40はセラミック材
料で形成され、かつ固定軸21の端面との当接面40a
が球面となっている。この場合も、固定軸21とスラス
ト板40とは点接触状態になる。
【0020】従って、図1に示す実施例と同様の作用効
果を得ることができると共に、このようにスラスト板4
0の方に球面を設ける方が形状的に軸方向長さが短いた
めに加工がし易く、コスト的に安価にすることができ
る。原理的には、スラスト板40、固定軸21の双方共
に球面を設けることも可能である。
果を得ることができると共に、このようにスラスト板4
0の方に球面を設ける方が形状的に軸方向長さが短いた
めに加工がし易く、コスト的に安価にすることができ
る。原理的には、スラスト板40、固定軸21の双方共
に球面を設けることも可能である。
【0021】以上の各実施例においては、スラスト板と
固定軸21の端面とを直接的に接触させる場合を示して
いるが、図4に示す第3の実施例のように、セラミック
材料で作られた第3の部材を介して間接的に接触させる
こともできる。
固定軸21の端面とを直接的に接触させる場合を示して
いるが、図4に示す第3の実施例のように、セラミック
材料で作られた第3の部材を介して間接的に接触させる
こともできる。
【0022】図4において、回転スリーブ22の一端部
に嵌合固定されたスラスト板50には、セラミック材料
で造られた球部材51が嵌め込まれて固定され、この球
部材51が固定軸21の端面に点接触的に接触してい
る。この場合に、球部材51がセラミック製であるか
ら、スラスト板50自体は金属材料、合成樹脂材料等の
適当な材料でよい。例えば、スラスト板50を合成樹脂
材料とし、セラミック製の球部材51ごとインサート成
型すれば、コストも安価にすることができる。
に嵌合固定されたスラスト板50には、セラミック材料
で造られた球部材51が嵌め込まれて固定され、この球
部材51が固定軸21の端面に点接触的に接触してい
る。この場合に、球部材51がセラミック製であるか
ら、スラスト板50自体は金属材料、合成樹脂材料等の
適当な材料でよい。例えば、スラスト板50を合成樹脂
材料とし、セラミック製の球部材51ごとインサート成
型すれば、コストも安価にすることができる。
【0023】本実施例のように、スラスト板50に固定
された球部材51と固定軸21の端面とを接触させれば
点接触状態となるので、前述の第1及び第2実施例と同
様な作用効果を得ることができることは勿論である。し
かも、この実施例の場合は、固定軸21の端面に接触さ
れる球面のR形状を球部材51の直径を変えることによ
って、任意に選択できるという利点がある。
された球部材51と固定軸21の端面とを接触させれば
点接触状態となるので、前述の第1及び第2実施例と同
様な作用効果を得ることができることは勿論である。し
かも、この実施例の場合は、固定軸21の端面に接触さ
れる球面のR形状を球部材51の直径を変えることによ
って、任意に選択できるという利点がある。
【0024】勿論、図4に示す球部材51を固定軸21
側に設けることも可能であるが、その場合には固定軸2
1、回転スリーブ22、スラスト板50、球部材51の
何れもがセラミック材料で形成されることが条件にな
る。
側に設けることも可能であるが、その場合には固定軸2
1、回転スリーブ22、スラスト板50、球部材51の
何れもがセラミック材料で形成されることが条件にな
る。
【0025】なお、以上に示した全ての実施例は、高速
回転に有利であるインナロータ型の走査光学装置を例に
とって説明したが、この他にもアウタロータ型、面対向
型等にも本発明を適用することができる。
回転に有利であるインナロータ型の走査光学装置を例に
とって説明したが、この他にもアウタロータ型、面対向
型等にも本発明を適用することができる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る走査光
学装置は、相互に回転可能に嵌合する固定軸と回転スリ
ーブがセラミックで形成され、回転スリーブの一端には
少なくとも固定軸との接触部がセラミックで形成された
スラスト板が固定され、かつスラスト板と固定軸の端面
とは点接触状態になっているため、回転多面鏡を高速に
回転する場合でも消費電力が少なく、塵埃等の混入や振
動等によるかじり現象も少なく、精度的にも安定すると
いう効果がある。
学装置は、相互に回転可能に嵌合する固定軸と回転スリ
ーブがセラミックで形成され、回転スリーブの一端には
少なくとも固定軸との接触部がセラミックで形成された
スラスト板が固定され、かつスラスト板と固定軸の端面
とは点接触状態になっているため、回転多面鏡を高速に
回転する場合でも消費電力が少なく、塵埃等の混入や振
動等によるかじり現象も少なく、精度的にも安定すると
いう効果がある。
【図1】第1の実施例の要部断面図である。
【図2】走査光学系の平面図である。
【図3】第2の実施例の断面図である。
【図4】第3の実施例の断面図である。
【図5】従来例の断面図である。
21 固定軸 21a 端面 22 回転スリーブ 23 固定部材 24 回転多面鏡 27 モータハウジング 30、40、50 スラスト板 31 環状溝 40a 当接面 51 球部材
Claims (6)
- 【請求項1】 回転多面鏡を回転させて、光を偏向させ
る走査光学装置において、回転可能に嵌合する固定軸と
回転スリーブをセラミック材料で形成し、該回転スリー
ブの一端部には少なくとも前記固定軸の端面との当接面
をセラミック材料で形成したスラスト板を固定し、前記
固定軸の端面と前記スラスト板の当接面の少なくとも一
方を球面としたことを特徴とする走査光学装置。 - 【請求項2】 前記スラスト板は金属部材であって、前
記スラスト板の当接面にセラミック材料から成る球部材
を設けた請求項1に記載の走査光学装置。 - 【請求項3】 前記回転スリーブの外周に固定した金属
部材に回転多面鏡及び駆動マグネットを取り付けた請求
項1に記載の走査光学装置。 - 【請求項4】 前記固定軸の外周面には、前記固定軸と
前記回転スリーブの嵌合部の中央近傍に環状溝を設けた
請求項1に記載の走査光学装置。 - 【請求項5】 前記固定軸、前記回転スリーブ及び前記
スラスト板のセラミック材料を窒化硅素とした請求項1
に記載の走査光学装置。 - 【請求項6】 前記固定軸、前記回転スリーブの何れに
も動圧発生溝を設けない請求項1に記載の走査光学装
置。
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