JPH0634319A - 光学式変位検出方法及び装置 - Google Patents
光学式変位検出方法及び装置Info
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- JPH0634319A JPH0634319A JP4193793A JP19379392A JPH0634319A JP H0634319 A JPH0634319 A JP H0634319A JP 4193793 A JP4193793 A JP 4193793A JP 19379392 A JP19379392 A JP 19379392A JP H0634319 A JPH0634319 A JP H0634319A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 対象物の変位を反射光の合焦点の変位として
検出する場合、ナイフエッジ法の如き不感帯をなくして
高精度な出力特性を得るものである。 【構成】 対象物表面にて合焦した光の反射光を二分割
して、一方の光軸にて集光点より前側に他方の光軸にて
集光点より後側にそれぞれ受光素子１，１８ａ，２，１
８ｂを備えて、この受光素子での光パワーの差分を演算
するようにした。
検出する場合、ナイフエッジ法の如き不感帯をなくして
高精度な出力特性を得るものである。 【構成】 対象物表面にて合焦した光の反射光を二分割
して、一方の光軸にて集光点より前側に他方の光軸にて
集光点より後側にそれぞれ受光素子１，１８ａ，２，１
８ｂを備えて、この受光素子での光パワーの差分を演算
するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対象物表面の特定位置
からのずれを検出する必要がある装置、および対象物の
変位、あるいは対象物表面の粗さを測定する必要がある
装置に関するものである。
からのずれを検出する必要がある装置、および対象物の
変位、あるいは対象物表面の粗さを測定する必要がある
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学的に対象物の焦点ずれを検出
し、その変位量を測定するための方法としては、焦点ず
れによるビームのパワー密度変化を利用するナイフエッ
ジ法等が、広く用いられている。図３は、ナイフエッジ
法の原理を示したものである。図３（ａ）に示すよう
に、本光学系は、対象物１０１、対物レンズ１０２、ビ
ームスプリッタ１０３、ナイフエッジ１０４、２分割受
光素子１０５、光源１０６とから構成されており、例え
ば半導体レーザの様な光源１０６から出射した光は、ビ
ームスプリッタ１０３で反射され、対物レンズ１０２を
通過後、対象物１０１に入射する。その後、前記対象物
１０１の表面で反射された光は、前記対物レンズ１０２
を通過後、前記ビームスプリッタ１０３を通過し、ナイ
フエッジ１０４で一部遮断される。
し、その変位量を測定するための方法としては、焦点ず
れによるビームのパワー密度変化を利用するナイフエッ
ジ法等が、広く用いられている。図３は、ナイフエッジ
法の原理を示したものである。図３（ａ）に示すよう
に、本光学系は、対象物１０１、対物レンズ１０２、ビ
ームスプリッタ１０３、ナイフエッジ１０４、２分割受
光素子１０５、光源１０６とから構成されており、例え
ば半導体レーザの様な光源１０６から出射した光は、ビ
ームスプリッタ１０３で反射され、対物レンズ１０２を
通過後、対象物１０１に入射する。その後、前記対象物
１０１の表面で反射された光は、前記対物レンズ１０２
を通過後、前記ビームスプリッタ１０３を通過し、ナイ
フエッジ１０４で一部遮断される。
【０００３】対象物１０１が対物レンズ１０２の合焦点
と一致している時は、前記反射光は２分割受光素子１０
５の二つの受光面の中心点に集光しており、２分割受光
素子１０５の出力Ａ−Ｂは０となる。これに対して、対
象物１０１が対物レンズ１０２に近づくと、反射光はｚ
１の位置に集光し、２分割受光素子１０５の出力信号Ａ
−Ｂは正の値をとる。さらに対象物１０１が対物レンズ
１０２から遠ざかると、反射光はｚ２の位置に集光し、
Ａ−Ｂは負となる。以上から、同図（ｂ）に示すよう
な、合焦点における出力信号を零として、対象物の変位
に対応した出力信号を得ることができる。したがって、
この出力信号Ｓを検出し、対応する対象物変位Ｘを読み
取ることで、焦点ずれ検出やあるいは対象物変位測定が
可能となる。
と一致している時は、前記反射光は２分割受光素子１０
５の二つの受光面の中心点に集光しており、２分割受光
素子１０５の出力Ａ−Ｂは０となる。これに対して、対
象物１０１が対物レンズ１０２に近づくと、反射光はｚ
１の位置に集光し、２分割受光素子１０５の出力信号Ａ
−Ｂは正の値をとる。さらに対象物１０１が対物レンズ
１０２から遠ざかると、反射光はｚ２の位置に集光し、
Ａ−Ｂは負となる。以上から、同図（ｂ）に示すよう
な、合焦点における出力信号を零として、対象物の変位
に対応した出力信号を得ることができる。したがって、
この出力信号Ｓを検出し、対応する対象物変位Ｘを読み
取ることで、焦点ずれ検出やあるいは対象物変位測定が
可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、次の問題がある。すなわち、対象物
１０１が対物レンズ１０２の合焦点でのわずかな変位に
当るとき、つまり２分割受光素子１０５上の光スポット
径が二つの受光面の間隙の幅内にて変化するとき、受光
素子１０５としてはこのスポット径の変化を感知でき
ず、したがって、図３（ｂ）に示す出力特性曲線上αの
ような不感帯が存在する。したがって、αの範囲内での
変位は検出できず高精度の位置ずれ検出ができない。
来技術においては、次の問題がある。すなわち、対象物
１０１が対物レンズ１０２の合焦点でのわずかな変位に
当るとき、つまり２分割受光素子１０５上の光スポット
径が二つの受光面の間隙の幅内にて変化するとき、受光
素子１０５としてはこのスポット径の変化を感知でき
ず、したがって、図３（ｂ）に示す出力特性曲線上αの
ような不感帯が存在する。したがって、αの範囲内での
変位は検出できず高精度の位置ずれ検出ができない。
【０００５】本発明は、従来法の上記の如き問題点に鑑
みなされたものであり、高精度な焦点ずれの検出、ある
いは対象物変位の読み取りを可能とする、信頼性の高い
光学式変位検出方法および装置を提供することを目的と
するものである。
みなされたものであり、高精度な焦点ずれの検出、ある
いは対象物変位の読み取りを可能とする、信頼性の高い
光学式変位検出方法および装置を提供することを目的と
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明の基本構成としては、光源から出射した光線を対物
レンズを介して対象物表面に絞り込ませ、その反射光を
ビームスプリッタによって２分割し、一方の反射光の集
光点よりも前側に、その位置における光束断面よりも小
さな受光面積を持つ受光素子を一つ、他方の反射光の集
光点よりも後側に、その位置における光束断面よりも小
さな受光面積を持つ他の受光素子を配置して、前記受光
素子から発生する光電流の差を取ることで、対象物の焦
点ずれを検出、あるいはこれから対象物表面の変位を測
定するようにした変位検出方法および装置にある。
発明の基本構成としては、光源から出射した光線を対物
レンズを介して対象物表面に絞り込ませ、その反射光を
ビームスプリッタによって２分割し、一方の反射光の集
光点よりも前側に、その位置における光束断面よりも小
さな受光面積を持つ受光素子を一つ、他方の反射光の集
光点よりも後側に、その位置における光束断面よりも小
さな受光面積を持つ他の受光素子を配置して、前記受光
素子から発生する光電流の差を取ることで、対象物の焦
点ずれを検出、あるいはこれから対象物表面の変位を測
定するようにした変位検出方法および装置にある。
【０００７】
【作用】上述の基本構成において、２つの受光素子の中
心をビームスプリッタにより分けられた各々の光軸と一
致させ対物レンズの合焦点と対象物の表面とが一致して
いる状態（合焦状態）で２つの受光素子の出力が等しく
なるように合焦点に対して前側及び後側に受光素子の位
置を調整する。かかる調整の後、対物レンズの合焦点と
対象物表面位置とがずれた場合、反射光の集光と拡散と
によって受光素子にかかるビームのパワー密度が変化す
るため、受光素子ではこの変化に応じた光電流の変化が
検出され、ずれ量等を求めることができる。
心をビームスプリッタにより分けられた各々の光軸と一
致させ対物レンズの合焦点と対象物の表面とが一致して
いる状態（合焦状態）で２つの受光素子の出力が等しく
なるように合焦点に対して前側及び後側に受光素子の位
置を調整する。かかる調整の後、対物レンズの合焦点と
対象物表面位置とがずれた場合、反射光の集光と拡散と
によって受光素子にかかるビームのパワー密度が変化す
るため、受光素子ではこの変化に応じた光電流の変化が
検出され、ずれ量等を求めることができる。
【０００８】なお、ナイフエッジ法では、合焦状態にあ
るときに、受光素子の不感帯上に反射光が絞り込まれる
ため、この不感帯の影響で、対象物が変位しても出力信
号が発生しない範囲が存在するという欠点があったが、
本発明では、合焦状態にあるときは、ビーム径が広がっ
た状態で受光素子上に照射され、前記二つの受光素子が
発生する光電流の差を演算することで出力信号を求めて
いるため、不感帯の影響が除去できる。
るときに、受光素子の不感帯上に反射光が絞り込まれる
ため、この不感帯の影響で、対象物が変位しても出力信
号が発生しない範囲が存在するという欠点があったが、
本発明では、合焦状態にあるときは、ビーム径が広がっ
た状態で受光素子上に照射され、前記二つの受光素子が
発生する光電流の差を演算することで出力信号を求めて
いるため、不感帯の影響が除去できる。
【０００９】
＜第１実施例＞ここで、図１、図２を参照して本発明の
実施例を説明する。図１は焦点ずれ検出装置に適用した
例を示す。図１において、対象物１１は、図に示すＸ−
Ｙ平面を移動し得るステージ１２上に搭載されている。
一方、光源２２からの光は、偏光ビームスプリッタ１３
にて反射され対物レンズ１４を介して細く絞り込まれ、
対象物１１上に合焦されるように照射される。対象物１
１からの反射光はλ／４波長板１５、偏光ビームスプリ
ッタ１３を介してビームスプリッタ１６にて二方向に分
割される。
実施例を説明する。図１は焦点ずれ検出装置に適用した
例を示す。図１において、対象物１１は、図に示すＸ−
Ｙ平面を移動し得るステージ１２上に搭載されている。
一方、光源２２からの光は、偏光ビームスプリッタ１３
にて反射され対物レンズ１４を介して細く絞り込まれ、
対象物１１上に合焦されるように照射される。対象物１
１からの反射光はλ／４波長板１５、偏光ビームスプリ
ッタ１３を介してビームスプリッタ１６にて二方向に分
割される。
【００１０】分割された一方の光は、必要に応じて配置
された焦光レンズ１７ａを介して受光素子１８ａに導入
される。この場合、受光素子１８ａは反射光の集光点よ
りも後側Ａ１の光軸上に配置されると共に、前面に受光
面積を制限するための空間フィルタ１９ａが備えられて
いる。
された焦光レンズ１７ａを介して受光素子１８ａに導入
される。この場合、受光素子１８ａは反射光の集光点よ
りも後側Ａ１の光軸上に配置されると共に、前面に受光
面積を制限するための空間フィルタ１９ａが備えられて
いる。
【００１１】分割された他方の光は、必要に応じて配置
された焦光レンズ１７ｂを介して受光素子１８ｂに導入
される。この場合、受光素子１８ｂは反射光の集光点よ
りも前側Ａ２の光軸上に配置されると共に、前面に受光
面積を制限するための空間フィルタ１９ｂが備えられて
いる。これら受光素子１８ａ，１８ｂの位置は、光源２
２からの光が対象物１１上に合焦している状態で、受光
素子１８ａの集光点より後側位置での光パワーと受光素
子１８ｂの集光点より前側位置での光パワーとが同じに
なるようにその位置が調整される。すなわち、演算回路
２０は受光素子１８ａ，１８ｂの出力信号の差を演算す
る為のもので、対象物１１と対物レンズ１４の焦点位置
が一致しているとき、前記演算回路２０からの出力が零
となるように受光素子１８ａ，１８ｂの位置を光軸方向
に移動させることで調整する。
された焦光レンズ１７ｂを介して受光素子１８ｂに導入
される。この場合、受光素子１８ｂは反射光の集光点よ
りも前側Ａ２の光軸上に配置されると共に、前面に受光
面積を制限するための空間フィルタ１９ｂが備えられて
いる。これら受光素子１８ａ，１８ｂの位置は、光源２
２からの光が対象物１１上に合焦している状態で、受光
素子１８ａの集光点より後側位置での光パワーと受光素
子１８ｂの集光点より前側位置での光パワーとが同じに
なるようにその位置が調整される。すなわち、演算回路
２０は受光素子１８ａ，１８ｂの出力信号の差を演算す
る為のもので、対象物１１と対物レンズ１４の焦点位置
が一致しているとき、前記演算回路２０からの出力が零
となるように受光素子１８ａ，１８ｂの位置を光軸方向
に移動させることで調整する。
【００１２】つぎに、焦点ずれが発生した場合の検出系
の働きについて説明する。まず対象物１１が対物レンズ
１４から離れると、２つの受光素子１８ａ，１８ｂを照
射する反射光のスポット形状は、それぞれ同図（ｂ）の
（Ｉ）のように変化し、受光素子１８ａ上のビームスポ
ットのパワー密度が受光素子１８ｂ上の密度よりも低く
なるため、出力電流の大きさは、Ｓａ＜Ｓｂの関係にな
り、焦点ずれ信号Ｆ＝Ｓａ−Ｓｂ＜０となる。次に、対
象物１１と対物レンズ１４の焦点位置とが一致している
状態では、受光素子上の反射光スポットの形状は（II）
となり、両ビームスポットのパワー密度は一致するため
出力電流の大きさは、Ｓａ＝Ｓｂの関係にあり、焦点ず
れ信号Ｆ＝０となる。さらに、対象物１１が対物レンズ
１４に近ずくと、スポット形状は（III ）の様になり、
（Ｉ）と逆になるので、焦点ずれ信号はＦ＝Ｓａ−Ｓｂ
＞０となる。以上から図２（ｂ）に示すように、対象物
の変位に対応した焦点ずれ信号が検出され、例えば、こ
の信号が常に０となるように対物レンズ〜対象物間距離
を制御することで、焦点合わせが可能となる。
の働きについて説明する。まず対象物１１が対物レンズ
１４から離れると、２つの受光素子１８ａ，１８ｂを照
射する反射光のスポット形状は、それぞれ同図（ｂ）の
（Ｉ）のように変化し、受光素子１８ａ上のビームスポ
ットのパワー密度が受光素子１８ｂ上の密度よりも低く
なるため、出力電流の大きさは、Ｓａ＜Ｓｂの関係にな
り、焦点ずれ信号Ｆ＝Ｓａ−Ｓｂ＜０となる。次に、対
象物１１と対物レンズ１４の焦点位置とが一致している
状態では、受光素子上の反射光スポットの形状は（II）
となり、両ビームスポットのパワー密度は一致するため
出力電流の大きさは、Ｓａ＝Ｓｂの関係にあり、焦点ず
れ信号Ｆ＝０となる。さらに、対象物１１が対物レンズ
１４に近ずくと、スポット形状は（III ）の様になり、
（Ｉ）と逆になるので、焦点ずれ信号はＦ＝Ｓａ−Ｓｂ
＞０となる。以上から図２（ｂ）に示すように、対象物
の変位に対応した焦点ずれ信号が検出され、例えば、こ
の信号が常に０となるように対物レンズ〜対象物間距離
を制御することで、焦点合わせが可能となる。
【００１３】＜第２実施例＞次に本発明を変位計に適用
した例を図２に示す。図２では、１は集光点より後側の
受光素子、２は集光点より前側の受光素子、３は光を分
割するビームスプリッタ、４は対物レンズ、５は対象
物、６はビームスプリッタ、７は光源を示している。こ
こにおいて、対象物５がＸ方向に変位した場合、第１実
施例と同様、受光素子１，２の位置における反射光径
は、それぞれ拡大、縮小し、ビームのパワー密度が変化
する為、前記受光素子１，２ではこの変化に対応した光
電流の変化が検出され、同図（ｂ）に示すような出力特
性曲線が得られる。この出力特性曲線は、不感帯の影響
がないため、合焦点付近でも滑らかな特性を示してい
る。このとき縦軸に示す出力信号を検出し、それに対応
した横軸の対象物変位を読み取ることで、高精度の変位
測定を行なうことが可能となる。
した例を図２に示す。図２では、１は集光点より後側の
受光素子、２は集光点より前側の受光素子、３は光を分
割するビームスプリッタ、４は対物レンズ、５は対象
物、６はビームスプリッタ、７は光源を示している。こ
こにおいて、対象物５がＸ方向に変位した場合、第１実
施例と同様、受光素子１，２の位置における反射光径
は、それぞれ拡大、縮小し、ビームのパワー密度が変化
する為、前記受光素子１，２ではこの変化に対応した光
電流の変化が検出され、同図（ｂ）に示すような出力特
性曲線が得られる。この出力特性曲線は、不感帯の影響
がないため、合焦点付近でも滑らかな特性を示してい
る。このとき縦軸に示す出力信号を検出し、それに対応
した横軸の対象物変位を読み取ることで、高精度の変位
測定を行なうことが可能となる。
【００１４】＜第３実施例＞図２に示した光学系を、粗
さ計として用いた例について説明する。対象物５、ある
いは光学系をＹ方向に高精度に移動させた際に、対象物
５の表面に凹凸があった場合、この系の作用により、凹
凸に対応した光電流の変化が検出され、同図（ｃ）のよ
うな対象物表面の断面曲線を求めることができる。尚、
（ｃ）では横軸にはＹ方向の変位、縦軸には光軸方向の
変位、すなわち図中（ｂ）のβで示す傾き一定の範囲に
おいて、（Ａ−Ｂ）×１／Ｋを採っている。ここで、Ａ
は受光素子１の出力、Ｂは受光素子２の出力、Ｋは出力
特性曲線の傾きをそれぞれ示す。この結果、対象物５の
Ｙ方向の表面凹凸が得られ、粗さが得られる。
さ計として用いた例について説明する。対象物５、ある
いは光学系をＹ方向に高精度に移動させた際に、対象物
５の表面に凹凸があった場合、この系の作用により、凹
凸に対応した光電流の変化が検出され、同図（ｃ）のよ
うな対象物表面の断面曲線を求めることができる。尚、
（ｃ）では横軸にはＹ方向の変位、縦軸には光軸方向の
変位、すなわち図中（ｂ）のβで示す傾き一定の範囲に
おいて、（Ａ−Ｂ）×１／Ｋを採っている。ここで、Ａ
は受光素子１の出力、Ｂは受光素子２の出力、Ｋは出力
特性曲線の傾きをそれぞれ示す。この結果、対象物５の
Ｙ方向の表面凹凸が得られ、粗さが得られる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、対象物
の変位に起因した反射光の集光と拡散によって生じるビ
ームのパワー密度の変化を２つの受光素子によって各々
検出合焦状態においては、前記二つの受光素子上に反射
光が絞り込まれることはなく、ビーム径が広がった状態
で照射されるため、発生する光電流の差を演算すること
で出力信号を求める結果、合焦点付近での不感帯の影響
が除去され、従来の検出法と比較して滑らかな出力特性
が得られ、高精度の焦点ずれ検出、あるいは変位・粗さ
測定が行える。更に、受光素子の前段に集光レンズを配
置し、適正な焦点距離、受光素子の位置を選択すること
で、出力特性のリニアリティを向上させ、変位計として
の性能向上を図ることも可能である。
の変位に起因した反射光の集光と拡散によって生じるビ
ームのパワー密度の変化を２つの受光素子によって各々
検出合焦状態においては、前記二つの受光素子上に反射
光が絞り込まれることはなく、ビーム径が広がった状態
で照射されるため、発生する光電流の差を演算すること
で出力信号を求める結果、合焦点付近での不感帯の影響
が除去され、従来の検出法と比較して滑らかな出力特性
が得られ、高精度の焦点ずれ検出、あるいは変位・粗さ
測定が行える。更に、受光素子の前段に集光レンズを配
置し、適正な焦点距離、受光素子の位置を選択すること
で、出力特性のリニアリティを向上させ、変位計として
の性能向上を図ることも可能である。
【図１】本発明の第１実施例の焦点ずれ検出装置を示し
（ａ）は構成図、（ｂ）はスポット径の状態図である。
（ａ）は構成図、（ｂ）はスポット径の状態図である。
【図２】本発明の他の実施例の変位計あるいは粗さ計を
示し（ａ）は構成図、（ｂ）は出力特性曲線図、（ｃ）
は対象物表面の凹凸を示す曲線図である。
示し（ａ）は構成図、（ｂ）は出力特性曲線図、（ｃ）
は対象物表面の凹凸を示す曲線図である。
【図３】従来のナイフエッジ法を示し（ａ）は原理図、
（ｂ）は出力特性曲線図である。
（ｂ）は出力特性曲線図である。
１，２，１８ａ，１８ｂ 受光素子 ３，６，１３，１６ ビームスプリッタ ４，１４ 対物レンズ ５，１１ 対象物 ７，２２ 光源
Claims (3)
- 【請求項１】 光源から出射した光線を対物レンズを介
して対象物表面に絞り込んで照射し、この対象物表面か
らの反射光をビームスプリッタにより２分割し、この２
分割した一方の反射光の集光点より前側に配置されてそ
の位置での光束断面より小さな受光面積を持つ一の受光
素子から発生する光電流と、他方の反射光の集光点より
後側に配置されてその位置での光束断面より小さな受光
面積を持つ他の受光素子から発生する光電流との差の光
信号を出力信号として取り出し、この出力信号にて上記
対象物の変位量に換算する演算を行なう光学式変位検出
方法。 - 【請求項２】 光源から出射した光線を対物レンズを介
して対象物表面に絞り込んで照射し、この対象物表面か
らの反射光をビームスプリッタにより２分割し、この２
分割した一方の反射光の集光点より前側に配置されてそ
の位置での光束断面より小さな受光面積を持つ一の受光
素子から発生する光電流と他方の反射光の集光点より後
側に配置されてその位置での光束断面より小さな受光面
積を持つ他の受光素子から発生する光電流との差の光信
号を、上記対象物表面を照射する光線の光軸と垂直方向
に対象物もしくは光学系を高精度に移動させつつ出力信
号として取り出し、この出力信号を上記対象物表面の凹
凸の量に換算する演算を行なう光学式変位検出方法。 - 【請求項３】 対象物表面を照射する光源と、光源から
の光線を細く絞り込む対物レンズと、上記対象物表面か
らの反射光を２分割するように配置されたビームスプリ
ッタと、分割された一方の反射光の集光点の前側に配置
されその位置における光束断面よりも小さな受光面積を
持つ一の受光素子と、他方の反射光の集光点の後側に配
置され、その位置における光束断面よりも小さな受光面
積を持つ他の受光素子と、前記二つの受光素子で発生す
る光電流の差をとることで焦点ずれ信号を検出しこの信
号を対象物の変位量に換算するための演算手段と、を有
することを特徴とする光学式変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4193793A JPH0634319A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 光学式変位検出方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4193793A JPH0634319A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 光学式変位検出方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634319A true JPH0634319A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16313879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4193793A Withdrawn JPH0634319A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 光学式変位検出方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634319A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009300264A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位測定器 |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP4193793A patent/JPH0634319A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009300264A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位測定器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |