JPH063282A - 表面検査方法 - Google Patents

表面検査方法

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Publication number
JPH063282A
JPH063282A JP16463292A JP16463292A JPH063282A JP H063282 A JPH063282 A JP H063282A JP 16463292 A JP16463292 A JP 16463292A JP 16463292 A JP16463292 A JP 16463292A JP H063282 A JPH063282 A JP H063282A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
ccd camera
color
filter
inspecting
Prior art date
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Application number
JP16463292A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakazu Aoi
応和 青井
Koji Yamamoto
宏司 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH063282A publication Critical patent/JPH063282A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物体表面の色むらを消去し、異物のＳ／Ｎ比
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力でＣＣＤ
カメラを用いて検査する。 【構成】 除去したい色むらの色フィルタ３がレンズ前
に設置されたＣＣＤカメラ２を用いて被検査物１の表面
を検査する。被検査物１を照明４によって照度アップす
るとフィルタによる画像の輝度低下が抑えられ感度低下
が阻止できるので好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の表面検査方法に
関するものであり、特に、銅張積層板の異物検査に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】物体表面の外観検査として、物体表面を
目視で検査する手段やＣＣＤカメラなどで検査する方法
などがとられている。しかし、たとえば、銅張積層板な
どの茶系色で色むらのある物体から樹脂の炭化物などの
黒異物を検出するのは目視でも非常に困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、ＣＣＤカメラ
を用いて、物体表面の色むらを消去し、異物のＳ／Ｎ比
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力で検査で
きる方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題点に
鑑みなされたものであり、その特徴は、除去したい色む
らの色フィルタがレンズ前に設置されたＣＣＤカメラを
用いて被検査物の表面を検査する表面検査方法にある。
【０００５】
【作用】除去したい色むらの色フィルタがレンズ前に設
置されたＣＣＤカメラで検査するため、フィルタによっ
て色むらによるノイズ成分が低減され、物体表面の色む
らが消去され、異物などのＳ／Ｎ比が大きくなり、検出
能力を向上させることができる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の表面検査方法の一実施例を示
す断面図である。照明４で照度アップされた被検査物１
をフィルタ３がレンズの前方に設置されたＣＣＤカメラ
２によってその表面を検査するものである。なお、ＣＣ
Ｄカメラ２のレンズの前にフィルタ３が設置されると取
込み画像が暗くなり、感度低下が起こるので、被検査物
１を照明４によって照度アップするのが好ましい。
【０００７】ＣＣＤカメラ２のレンズの前に設置される
フィルタ３は、被検査物色むらと同系統の色を選択する
ものであり、銅箔張り積層板の場合は、茶系統のフィル
タを用いるものである。また、本発明の異物検査装置の
対象となる被検査物は、同系統の色に色むらがある物体
の表面検査が必要なものであれば特に限定する物ではな
く広く用いることができる。たとえば、同色、同系統色
でマークやパターンが印刷されている物体の検査にもこ
の装置を応用することができる。
【０００８】ＣＣＤカメラは、通常用いられているもの
をそのまま用いることができる。画素子が細かければ細
かいほど検出精度が向上するので好ましい。
【０００９】
【発明の効果】本発明によって、物体表面の色むらを消
去し、異物のＳ／Ｎ比を大することができるので高い検
出能力を備えたＣＣＤカメラとして、被検査物の表面検
査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の表面検査方法を示す断面図
である。
【符号の説明】
１ 被検査物 ２ ＣＣＤカメラ ３ フィルタ ４ 照明

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 除去したい色むらの色フィルタがレンズ
    前に設置されたＣＣＤカメラを用いて被検査物の表面を
    検査することを特徴とする表面検査方法。
JP16463292A 1992-06-23 1992-06-23 表面検査方法 Pending JPH063282A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6576302B1 (en) 1999-02-25 2003-06-10 Agency Of Industrial Science And Technology Method for producing a metal oxide and method for forming a minute pattern
JP2004245786A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Hitachi High-Technologies Corp ウェハ外観検査装置
JP2007095109A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Dainippon Printing Co Ltd Ｈｄｄサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法

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