JPH063282A - 表面検査方法 - Google Patents
表面検査方法Info
- Publication number
- JPH063282A JPH063282A JP16463292A JP16463292A JPH063282A JP H063282 A JPH063282 A JP H063282A JP 16463292 A JP16463292 A JP 16463292A JP 16463292 A JP16463292 A JP 16463292A JP H063282 A JPH063282 A JP H063282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- ccd camera
- color
- filter
- inspecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 物体表面の色むらを消去し、異物のS/N比
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力でCCD
カメラを用いて検査する。 【構成】 除去したい色むらの色フィルタ3がレンズ前
に設置されたCCDカメラ2を用いて被検査物1の表面
を検査する。被検査物1を照明4によって照度アップす
るとフィルタによる画像の輝度低下が抑えられ感度低下
が阻止できるので好ましい。
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力でCCD
カメラを用いて検査する。 【構成】 除去したい色むらの色フィルタ3がレンズ前
に設置されたCCDカメラ2を用いて被検査物1の表面
を検査する。被検査物1を照明4によって照度アップす
るとフィルタによる画像の輝度低下が抑えられ感度低下
が阻止できるので好ましい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の表面検査方法に
関するものであり、特に、銅張積層板の異物検査に関す
るものである。
関するものであり、特に、銅張積層板の異物検査に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】物体表面の外観検査として、物体表面を
目視で検査する手段やCCDカメラなどで検査する方法
などがとられている。しかし、たとえば、銅張積層板な
どの茶系色で色むらのある物体から樹脂の炭化物などの
黒異物を検出するのは目視でも非常に困難であった。
目視で検査する手段やCCDカメラなどで検査する方法
などがとられている。しかし、たとえば、銅張積層板な
どの茶系色で色むらのある物体から樹脂の炭化物などの
黒異物を検出するのは目視でも非常に困難であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで、CCDカメラ
を用いて、物体表面の色むらを消去し、異物のS/N比
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力で検査で
きる方法を提供することにある。
を用いて、物体表面の色むらを消去し、異物のS/N比
を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力で検査で
きる方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題点に
鑑みなされたものであり、その特徴は、除去したい色む
らの色フィルタがレンズ前に設置されたCCDカメラを
用いて被検査物の表面を検査する表面検査方法にある。
鑑みなされたものであり、その特徴は、除去したい色む
らの色フィルタがレンズ前に設置されたCCDカメラを
用いて被検査物の表面を検査する表面検査方法にある。
【0005】
【作用】除去したい色むらの色フィルタがレンズ前に設
置されたCCDカメラで検査するため、フィルタによっ
て色むらによるノイズ成分が低減され、物体表面の色む
らが消去され、異物などのS/N比が大きくなり、検出
能力を向上させることができる。
置されたCCDカメラで検査するため、フィルタによっ
て色むらによるノイズ成分が低減され、物体表面の色む
らが消去され、異物などのS/N比が大きくなり、検出
能力を向上させることができる。
【0006】
【実施例】図1は本発明の表面検査方法の一実施例を示
す断面図である。照明4で照度アップされた被検査物1
をフィルタ3がレンズの前方に設置されたCCDカメラ
2によってその表面を検査するものである。なお、CC
Dカメラ2のレンズの前にフィルタ3が設置されると取
込み画像が暗くなり、感度低下が起こるので、被検査物
1を照明4によって照度アップするのが好ましい。
す断面図である。照明4で照度アップされた被検査物1
をフィルタ3がレンズの前方に設置されたCCDカメラ
2によってその表面を検査するものである。なお、CC
Dカメラ2のレンズの前にフィルタ3が設置されると取
込み画像が暗くなり、感度低下が起こるので、被検査物
1を照明4によって照度アップするのが好ましい。
【0007】CCDカメラ2のレンズの前に設置される
フィルタ3は、被検査物色むらと同系統の色を選択する
ものであり、銅箔張り積層板の場合は、茶系統のフィル
タを用いるものである。また、本発明の異物検査装置の
対象となる被検査物は、同系統の色に色むらがある物体
の表面検査が必要なものであれば特に限定する物ではな
く広く用いることができる。たとえば、同色、同系統色
でマークやパターンが印刷されている物体の検査にもこ
の装置を応用することができる。
フィルタ3は、被検査物色むらと同系統の色を選択する
ものであり、銅箔張り積層板の場合は、茶系統のフィル
タを用いるものである。また、本発明の異物検査装置の
対象となる被検査物は、同系統の色に色むらがある物体
の表面検査が必要なものであれば特に限定する物ではな
く広く用いることができる。たとえば、同色、同系統色
でマークやパターンが印刷されている物体の検査にもこ
の装置を応用することができる。
【0008】CCDカメラは、通常用いられているもの
をそのまま用いることができる。画素子が細かければ細
かいほど検出精度が向上するので好ましい。
をそのまま用いることができる。画素子が細かければ細
かいほど検出精度が向上するので好ましい。
【0009】
【発明の効果】本発明によって、物体表面の色むらを消
去し、異物のS/N比を大することができるので高い検
出能力を備えたCCDカメラとして、被検査物の表面検
査を行うことができる。
去し、異物のS/N比を大することができるので高い検
出能力を備えたCCDカメラとして、被検査物の表面検
査を行うことができる。
【図1】本発明の一実施例の表面検査方法を示す断面図
である。
である。
1 被検査物 2 CCDカメラ 3 フィルタ 4 照明
Claims (1)
- 【請求項1】 除去したい色むらの色フィルタがレンズ
前に設置されたCCDカメラを用いて被検査物の表面を
検査することを特徴とする表面検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16463292A JPH063282A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16463292A JPH063282A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 表面検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH063282A true JPH063282A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15796894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16463292A Pending JPH063282A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 表面検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH063282A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6576302B1 (en) | 1999-02-25 | 2003-06-10 | Agency Of Industrial Science And Technology | Method for producing a metal oxide and method for forming a minute pattern |
JP2004245786A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Hitachi High-Technologies Corp | ウェハ外観検査装置 |
JP2007095109A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Hddサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法 |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP16463292A patent/JPH063282A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6576302B1 (en) | 1999-02-25 | 2003-06-10 | Agency Of Industrial Science And Technology | Method for producing a metal oxide and method for forming a minute pattern |
JP2004245786A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Hitachi High-Technologies Corp | ウェハ外観検査装置 |
JP2007095109A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Hddサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法 |
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