JPH06291585A - 弾性表面波素子およびフィルタ - Google Patents
弾性表面波素子およびフィルタInfo
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- JPH06291585A JPH06291585A JP3091180A JP9118091A JPH06291585A JP H06291585 A JPH06291585 A JP H06291585A JP 3091180 A JP3091180 A JP 3091180A JP 9118091 A JP9118091 A JP 9118091A JP H06291585 A JPH06291585 A JP H06291585A
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- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 一方向に対して低挿入損失となる特性を有
し、かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子を提供する
ことを目的とする。 【構成】 圧電性または電歪性の基板上に厚みを有す
るすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、弾性
表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短くなる
正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する第1
のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極
幅および周期が長くなる正負の電極を交互に配置した弾
性表面波を受信する第2のすだれ状電極とを具備するよ
うにする。また、圧電性または電歪性の基板上に厚みを
有するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、
弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第3のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に
電極幅および周期が短くなる正負の電極を交互に配置し
た弾性表面波を受信する第4のすだれ状電極とを具備す
るようにする。
し、かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子を提供する
ことを目的とする。 【構成】 圧電性または電歪性の基板上に厚みを有す
るすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、弾性
表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短くなる
正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する第1
のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極
幅および周期が長くなる正負の電極を交互に配置した弾
性表面波を受信する第2のすだれ状電極とを具備するよ
うにする。また、圧電性または電歪性の基板上に厚みを
有するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、
弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第3のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に
電極幅および周期が短くなる正負の電極を交互に配置し
た弾性表面波を受信する第4のすだれ状電極とを具備す
るようにする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波の伝搬方向
に電極幅および周期の異なるすだれ状電極を設けた弾性
表面波変換器を組合わせた弾性表面波素子およびそのよ
うな弾性表面波素子を用いたフィルタに関する。
に電極幅および周期の異なるすだれ状電極を設けた弾性
表面波変換器を組合わせた弾性表面波素子およびそのよ
うな弾性表面波素子を用いたフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、圧電性基板(圧電性薄膜基板を含
む)または電歪性基板上に設けられた正負の電極からな
るすだれ状電極を有する弾性表面波変換器は、一般には
等周期構造の電極配置となっていた。図4(a)は、従
来の弾性表面波変換器を用いたフィルタを示す平面図、
図4(b)はそのX−Y断面図を示す。41は電気信号
を弾性表面波に変換する励振側の弾性表面波変換器、4
2は弾性表面波変換器41で発生され矢印Aのように進
んできた弾性表面波を検出して電気信号として取り出す
受信側の弾性表面波変換器である。弾性表面波変換器4
1,42のすだれ状電極はいずれも等周期の電極配置構
造を有する。すなわち、すだれ状電極の電極幅をm、周
期をpとしたときpは一定であり、またm/pはどこを
とっても定数(多くは「0.5」)であった。
む)または電歪性基板上に設けられた正負の電極からな
るすだれ状電極を有する弾性表面波変換器は、一般には
等周期構造の電極配置となっていた。図4(a)は、従
来の弾性表面波変換器を用いたフィルタを示す平面図、
図4(b)はそのX−Y断面図を示す。41は電気信号
を弾性表面波に変換する励振側の弾性表面波変換器、4
2は弾性表面波変換器41で発生され矢印Aのように進
んできた弾性表面波を検出して電気信号として取り出す
受信側の弾性表面波変換器である。弾性表面波変換器4
1,42のすだれ状電極はいずれも等周期の電極配置構
造を有する。すなわち、すだれ状電極の電極幅をm、周
期をpとしたときpは一定であり、またm/pはどこを
とっても定数(多くは「0.5」)であった。
【0003】このような等周期の電極配置構造を有する
弾性表面波変換器では、発生された弾性表面波は左右両
方向にほぼ同じ振幅で伝搬する。したがって、両方向に
同様の挿入損失特性を有し、いわば両方向性の特性を有
するといえる。
弾性表面波変換器では、発生された弾性表面波は左右両
方向にほぼ同じ振幅で伝搬する。したがって、両方向に
同様の挿入損失特性を有し、いわば両方向性の特性を有
するといえる。
【0004】一方、等周期の電極配置構造を有する弾性
表面波変換器を用いて一方向にのみ低挿入損失の特性を
有する一方向性の弾性表面波変換器を得る技術として、
従来は例えば120度移相器を用いる方法、90度移相
器を用いる方法、および等周期で正負電極の間に反射電
極を非対称に配置することにより一方向特性を得る内部
反射型一方向性変換器とする方法などがあった。
表面波変換器を用いて一方向にのみ低挿入損失の特性を
有する一方向性の弾性表面波変換器を得る技術として、
従来は例えば120度移相器を用いる方法、90度移相
器を用いる方法、および等周期で正負電極の間に反射電
極を非対称に配置することにより一方向特性を得る内部
反射型一方向性変換器とする方法などがあった。
【0005】さらに、弾性表面波素子の1つに分散型遅
延線(チャープフィルタ)がある。図5は、従来の分散
型遅延線の構造を示す平面図である。51は電気信号を
弾性表面波に変換する励振側の弾性表面波変換器、52
は弾性表面波変換器51で発生され矢印Bのように進ん
できた弾性表面波を検出して電気信号として取り出す受
信側の弾性表面波変換器である。弾性表面波変換器52
のすだれ状電極は、弾性表面波の伝搬方向Bに沿って徐
々に周期が短くなるように正電極53および負電極54
を交互に配置した構造を有する。このように正負の電極
を配置することにより、遅延時間が周波数に比例して変
化する特性が得られる。
延線(チャープフィルタ)がある。図5は、従来の分散
型遅延線の構造を示す平面図である。51は電気信号を
弾性表面波に変換する励振側の弾性表面波変換器、52
は弾性表面波変換器51で発生され矢印Bのように進ん
できた弾性表面波を検出して電気信号として取り出す受
信側の弾性表面波変換器である。弾性表面波変換器52
のすだれ状電極は、弾性表面波の伝搬方向Bに沿って徐
々に周期が短くなるように正電極53および負電極54
を交互に配置した構造を有する。このように正負の電極
を配置することにより、遅延時間が周波数に比例して変
化する特性が得られる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】等周期の電極配置構造
を有する弾性表面波変換器は両方向性の特性を有し、一
方向にのみ低挿入損失となる特性は得られない。また、
上述の一方向性の弾性表面波変換器を得る技術では、一
方向に低挿入損失となる特性が得られるが、やはり等周
期の電極配置構造を有する弾性表面波変換器を用いてい
るので、広帯域の特性が得られない。
を有する弾性表面波変換器は両方向性の特性を有し、一
方向にのみ低挿入損失となる特性は得られない。また、
上述の一方向性の弾性表面波変換器を得る技術では、一
方向に低挿入損失となる特性が得られるが、やはり等周
期の電極配置構造を有する弾性表面波変換器を用いてい
るので、広帯域の特性が得られない。
【0007】また、図5のような分散型遅延線では周波
数の高い信号の遅延時間は長く、周波数の低い信号の遅
延時間は短いアップチャープの遅延線となり、逆の特性
のダウンチャープの遅延線も得ることができる。しか
し、この場合も従来の分散型の変換器すなわち両方向性
の特性を有する変換器を用いており、低挿入損失の変換
器ではない。
数の高い信号の遅延時間は長く、周波数の低い信号の遅
延時間は短いアップチャープの遅延線となり、逆の特性
のダウンチャープの遅延線も得ることができる。しか
し、この場合も従来の分散型の変換器すなわち両方向性
の特性を有する変換器を用いており、低挿入損失の変換
器ではない。
【0008】この発明は、上述の従来例における問題点
に鑑み、一方向に対して低挿入損失となる特性を有し、
かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子を提供すること
を目的とする。
に鑑み、一方向に対して低挿入損失となる特性を有し、
かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明は、圧電性または電歪性の基板上に厚みを
有するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、
弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第1のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に
電極幅および周期が長くなる正負の電極を交互に配置し
た弾性表面波を受信する第2のすだれ状電極とを具備す
ることを特徴とする。
め、この発明は、圧電性または電歪性の基板上に厚みを
有するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、
弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第1のすだれ状電極と、弾性表面波の伝搬方向に徐々に
電極幅および周期が長くなる正負の電極を交互に配置し
た弾性表面波を受信する第2のすだれ状電極とを具備す
ることを特徴とする。
【0010】また、この発明は、圧電性または電歪性の
基板上に厚みを有するすだれ状電極を設けた弾性表面波
素子において、弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅お
よび周期が短くなる正負の電極を交互に配置した弾性表
面波を励振する第3のすだれ状電極と、弾性表面波の伝
搬方向に徐々に電極幅および周期が短くなる正負の電極
を交互に配置した弾性表面波を受信する第4のすだれ状
電極とを具備することを特徴とする。
基板上に厚みを有するすだれ状電極を設けた弾性表面波
素子において、弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅お
よび周期が短くなる正負の電極を交互に配置した弾性表
面波を励振する第3のすだれ状電極と、弾性表面波の伝
搬方向に徐々に電極幅および周期が短くなる正負の電極
を交互に配置した弾性表面波を受信する第4のすだれ状
電極とを具備することを特徴とする。
【0011】すだれ状電極の、電極幅をm、周期をpと
したとき、第3のすだれ状電極は0.2≦m/p≦0.
7であり、第4のすだれ状電極は0.72≦m/p≦
0.9であるようにするのが好ましい。
したとき、第3のすだれ状電極は0.2≦m/p≦0.
7であり、第4のすだれ状電極は0.72≦m/p≦
0.9であるようにするのが好ましい。
【0012】また、すだれ状電極の金属膜の反射係数
が、一方は正の反射係数を有し、他方は負の反射係数を
有するようにして前記弾性表面波素子をフィルタとして
用いることができる。
が、一方は正の反射係数を有し、他方は負の反射係数を
有するようにして前記弾性表面波素子をフィルタとして
用いることができる。
【0013】
【作用】伝搬方向に周期の異なる正負電極が配置され、
その電極の膜厚が厚い場合、励振の位相と電極の反射の
位相とが一方の伝搬方向で同じ位相となり、他方の伝搬
方向では逆位相となるようにできる。このような一方向
性の特性を有する弾性表面波変換器をその方向が向かい
合うように配置すれば、周波数により遅延時間の異なる
特性の弾性表面波素子(フィルタ)が得られる。
その電極の膜厚が厚い場合、励振の位相と電極の反射の
位相とが一方の伝搬方向で同じ位相となり、他方の伝搬
方向では逆位相となるようにできる。このような一方向
性の特性を有する弾性表面波変換器をその方向が向かい
合うように配置すれば、周波数により遅延時間の異なる
特性の弾性表面波素子(フィルタ)が得られる。
【0014】また、励振側および受信側の弾性表面波変
換器の方向性を同じ向きに合せることにより、周波数に
対して遅延時間が一定となる弾性表面波素子(フィル
タ)が得られる。特に上記の構成で、第3のすだれ状電
極は0.2≦m/p≦0.7であり、第4のすだれ状電
極は0.72≦m/p≦0.9であるようにすれば、第
4の電極はほぼ両方向性の特性を有するものとなり、挿
入損失の低いフィルタが得られる。
換器の方向性を同じ向きに合せることにより、周波数に
対して遅延時間が一定となる弾性表面波素子(フィル
タ)が得られる。特に上記の構成で、第3のすだれ状電
極は0.2≦m/p≦0.7であり、第4のすだれ状電
極は0.72≦m/p≦0.9であるようにすれば、第
4の電極はほぼ両方向性の特性を有するものとなり、挿
入損失の低いフィルタが得られる。
【0015】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を説明
する。
する。
【0016】図1(a)は本発明の一実施例に係る弾性
表面波素子であるフィルタの平面図、図1(b)はその
X−Y断面図である。1は圧電性基板、2は圧電性基板
1上に配置された励振側の弾性表面波変換器、3は圧電
性基板1上に配置された受信側の弾性表面波変換器であ
る。励振側の弾性表面波変換器2は正電極4および負電
極5(第1のすだれ状電極)を有する。受信側の弾性表
面波変換器3は正電極6および負電極7(第2のすだれ
状電極)を有する。励振側の正電極4および負電極5
は、弾性表面波の伝搬方向Cに沿って徐々に電極幅mお
よび周期pが短くなるように交互に配置してある。逆
に、受信側の正電極6および負電極7は、弾性表面波の
伝搬方向Cに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが長く
なるように交互に配置してある。ここでは、圧電性基板
1としてYカットZ伝搬のニオブ酸リチウムを、電極
4,5,6,7としてアルミニウム膜を用いた。また、
m/p=0.5とした。
表面波素子であるフィルタの平面図、図1(b)はその
X−Y断面図である。1は圧電性基板、2は圧電性基板
1上に配置された励振側の弾性表面波変換器、3は圧電
性基板1上に配置された受信側の弾性表面波変換器であ
る。励振側の弾性表面波変換器2は正電極4および負電
極5(第1のすだれ状電極)を有する。受信側の弾性表
面波変換器3は正電極6および負電極7(第2のすだれ
状電極)を有する。励振側の正電極4および負電極5
は、弾性表面波の伝搬方向Cに沿って徐々に電極幅mお
よび周期pが短くなるように交互に配置してある。逆
に、受信側の正電極6および負電極7は、弾性表面波の
伝搬方向Cに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが長く
なるように交互に配置してある。ここでは、圧電性基板
1としてYカットZ伝搬のニオブ酸リチウムを、電極
4,5,6,7としてアルミニウム膜を用いた。また、
m/p=0.5とした。
【0017】図3のグラフ31は図1のフィルタにおけ
るm/pと挿入損失との関係を示す。図1のフィルタで
は励振側と受信側で左右対称の電極配置を取っているの
で、グラフ31は弾性表面波変換器の前進方向(より大
きい振幅の弾性表面波が得られる方向)の挿入損失特性
を示すこととなる。グラフ32は図1とは逆に弾性表面
波変換器の後進方向(より小さい振幅の弾性表面波が得
られる方向)を向い合せとしたフィルタにおけるm/p
と挿入損失との関係を示す。したがって、グラフ32
は、弾性表面波変換器の後進方向の挿入損失特性を示す
こととなる。図3から、後進方向に対する挿入損失のほ
うが前進方向に対する挿入損失より大きく、また挿入損
失の大きさはm/pにより異なることが分かる。なお、
圧電体の結晶のカットおよび伝搬、さらに蒸着膜の種類
により、前進方向が反対になることもある。
るm/pと挿入損失との関係を示す。図1のフィルタで
は励振側と受信側で左右対称の電極配置を取っているの
で、グラフ31は弾性表面波変換器の前進方向(より大
きい振幅の弾性表面波が得られる方向)の挿入損失特性
を示すこととなる。グラフ32は図1とは逆に弾性表面
波変換器の後進方向(より小さい振幅の弾性表面波が得
られる方向)を向い合せとしたフィルタにおけるm/p
と挿入損失との関係を示す。したがって、グラフ32
は、弾性表面波変換器の後進方向の挿入損失特性を示す
こととなる。図3から、後進方向に対する挿入損失のほ
うが前進方向に対する挿入損失より大きく、また挿入損
失の大きさはm/pにより異なることが分かる。なお、
圧電体の結晶のカットおよび伝搬、さらに蒸着膜の種類
により、前進方向が反対になることもある。
【0018】上記図1の構成により、帯域幅が20%以
上、挿入損失が5dB以下のフィルタが得られた。な
お、図1の構成の場合のm/pは0.2〜0.7程度が
好ましい。
上、挿入損失が5dB以下のフィルタが得られた。な
お、図1の構成の場合のm/pは0.2〜0.7程度が
好ましい。
【0019】図1の例は周波数により遅延時間の異なる
特性のフィルタであるが、周波数に対して遅延時間が一
定のフィルタを得るためには、図2のように励振側およ
び受信側の方向性を同じ向きに合せればよい。図2にお
いて、22は圧電性基板上に配置された励振側の弾性表
面波変換器、23は圧電性基板上に配置された受信側の
弾性表面波変換器である。励振側の弾性表面波変換器2
2は正電極24および負電極25(第3のすだれ状電
極)を有する。受信側の弾性表面波変換器23は正電極
26および負電極27(第4のすだれ状電極)を有す
る。励振側の正電極24および負電極25は、弾性表面
波の伝搬方向Dに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが
短くなるように交互に配置してある。同様に、受信側の
正電極26および負電極27も、弾性表面波の伝搬方向
Dに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが短くなるよう
に交互に配置してある。
特性のフィルタであるが、周波数に対して遅延時間が一
定のフィルタを得るためには、図2のように励振側およ
び受信側の方向性を同じ向きに合せればよい。図2にお
いて、22は圧電性基板上に配置された励振側の弾性表
面波変換器、23は圧電性基板上に配置された受信側の
弾性表面波変換器である。励振側の弾性表面波変換器2
2は正電極24および負電極25(第3のすだれ状電
極)を有する。受信側の弾性表面波変換器23は正電極
26および負電極27(第4のすだれ状電極)を有す
る。励振側の正電極24および負電極25は、弾性表面
波の伝搬方向Dに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが
短くなるように交互に配置してある。同様に、受信側の
正電極26および負電極27も、弾性表面波の伝搬方向
Dに沿って徐々に電極幅mおよび周期pが短くなるよう
に交互に配置してある。
【0020】このように電極を配置することにより、周
波数に対して遅延時間が一定のフィルタが得られた。
波数に対して遅延時間が一定のフィルタが得られた。
【0021】なお、励振側および受信側の一方の弾性表
面波変換器は一方向性の強いものを用い、他方は一方向
性の弱いほとんど両方向性のものを用いるとよい。した
がって、図3から一方の弾性表面波変換器は0.2≦m
/p≦0.7とし、他方は0.72≦m/p≦0.9程
度とすることが好ましい。図2のフィルタでは、励振側
の正電極24および負電極25はm/p=0.5、受信
側の正電極26および負電極27はm/p=0.8とし
た。以上により、周波数に対して遅延時間が一定であ
り、帯域幅が広く挿入損失が低いフィルタが得られる。
面波変換器は一方向性の強いものを用い、他方は一方向
性の弱いほとんど両方向性のものを用いるとよい。した
がって、図3から一方の弾性表面波変換器は0.2≦m
/p≦0.7とし、他方は0.72≦m/p≦0.9程
度とすることが好ましい。図2のフィルタでは、励振側
の正電極24および負電極25はm/p=0.5、受信
側の正電極26および負電極27はm/p=0.8とし
た。以上により、周波数に対して遅延時間が一定であ
り、帯域幅が広く挿入損失が低いフィルタが得られる。
【0022】なお本発明は、圧電性基板上に配置された
電極における反射を積極的に利用して弾性表面波変換器
に方向性をもたせることを初めて見出だし、この弾性表
面波変換器の方向性を利用して広い帯域幅で挿入損失の
低い特性を有する弾性表面波素子を構成したものであ
る。この場合、電極において弾性表面波が反射するよう
に、電極はある程度の厚みを有する必要がある。電極の
厚さをH、弾性表面波の波長をλとすると、0.01≦
H/λ≦0.10程度とするのが好ましい。
電極における反射を積極的に利用して弾性表面波変換器
に方向性をもたせることを初めて見出だし、この弾性表
面波変換器の方向性を利用して広い帯域幅で挿入損失の
低い特性を有する弾性表面波素子を構成したものであ
る。この場合、電極において弾性表面波が反射するよう
に、電極はある程度の厚みを有する必要がある。電極の
厚さをH、弾性表面波の波長をλとすると、0.01≦
H/λ≦0.10程度とするのが好ましい。
【0023】さらに、Zmを電極メタルの音響インピー
ダンスとし、Zgを電極ギャップの音響インピーダンス
としたとき、Zm/Zgの値に応じて弾性表面波変換器
の方向性が定まる。
ダンスとし、Zgを電極ギャップの音響インピーダンス
としたとき、Zm/Zgの値に応じて弾性表面波変換器
の方向性が定まる。
【0024】図7は、Alからなる電極の厚さを200
0オングストロームとしZm/Zg=0.98としたと
きの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図である。図7(b)のように、一対の正負電極を
有するIDT(インタディジタルトランスジューサ、す
だれ状電極)74に向かって、正負電極の配置の密度が
徐々に高くなるようなアップチャープのIDT73を隣
接させた構成では、図7(a)の実線71に示すような
周波数特性となる。逆に、図7(c)のように、一対の
正負電極を有するIDT76に向かって、正負電極の配
置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのID
T75を隣接させた構成では、図7(a)の破線72に
示すような周波数特性となる。周波数特性としては実線
71のほうが破線72より良好である。したがって、I
DT73は矢印73Dに示す方向性を有し、IDT75
は矢印75Dに示す方向性を有することがわかる。
0オングストロームとしZm/Zg=0.98としたと
きの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図である。図7(b)のように、一対の正負電極を
有するIDT(インタディジタルトランスジューサ、す
だれ状電極)74に向かって、正負電極の配置の密度が
徐々に高くなるようなアップチャープのIDT73を隣
接させた構成では、図7(a)の実線71に示すような
周波数特性となる。逆に、図7(c)のように、一対の
正負電極を有するIDT76に向かって、正負電極の配
置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのID
T75を隣接させた構成では、図7(a)の破線72に
示すような周波数特性となる。周波数特性としては実線
71のほうが破線72より良好である。したがって、I
DT73は矢印73Dに示す方向性を有し、IDT75
は矢印75Dに示す方向性を有することがわかる。
【0025】図8は、Zm/Zg=1.00としたとき
の等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの方
向性を説明するための周波数特性および電極の配置を示
す図である。図8(b)のように、一対の正負電極を有
するIDT84に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に高くなるようなアップチャープのIDT83を隣接
させた構成では、図8(a)の実線81に示すような周
波数特性となる。また、図8(c)のように、一対の正
負電極を有するIDT86に向かって、正負電極の配置
の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのIDT
85を隣接させた構成でも、同じく図8(a)の実線8
1に示す周波数特性となる。したがって、IDT83お
よびIDT85は、ともに方向性を有しないことがわか
る。
の等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの方
向性を説明するための周波数特性および電極の配置を示
す図である。図8(b)のように、一対の正負電極を有
するIDT84に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に高くなるようなアップチャープのIDT83を隣接
させた構成では、図8(a)の実線81に示すような周
波数特性となる。また、図8(c)のように、一対の正
負電極を有するIDT86に向かって、正負電極の配置
の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのIDT
85を隣接させた構成でも、同じく図8(a)の実線8
1に示す周波数特性となる。したがって、IDT83お
よびIDT85は、ともに方向性を有しないことがわか
る。
【0026】図9は、Zm/Zg=1.02としたとき
の等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの方
向性を説明するための周波数特性および電極の配置を示
す図である。図9(b)のように、一対の正負電極を有
するIDT94に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に高くなるようなアップチャープのIDT93を隣接
させた構成では、図9(a)の実線91に示すような周
波数特性となる。逆に、図9(c)のように、一対の正
負電極を有するIDT96に向かって、正負電極の配置
の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのIDT
95を隣接させた構成では、図9(a)の破線92に示
すような周波数特性となる。周波数特性としては破線9
2のほうが実線91より良好である。したがって、ID
T93は矢印93Dに示す方向性を有し、IDT95は
矢印95Dに示す方向性を有することがわかる。
の等価回路解析によるチャープ型トランスジューサの方
向性を説明するための周波数特性および電極の配置を示
す図である。図9(b)のように、一対の正負電極を有
するIDT94に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に高くなるようなアップチャープのIDT93を隣接
させた構成では、図9(a)の実線91に示すような周
波数特性となる。逆に、図9(c)のように、一対の正
負電極を有するIDT96に向かって、正負電極の配置
の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープのIDT
95を隣接させた構成では、図9(a)の破線92に示
すような周波数特性となる。周波数特性としては破線9
2のほうが実線91より良好である。したがって、ID
T93は矢印93Dに示す方向性を有し、IDT95は
矢印95Dに示す方向性を有することがわかる。
【0027】以上のような各種の条件でのチャープ型ト
ランスジューサの方向性を調査した結果、チャープ型ト
ランスジューサにおいては、Zm/Zg<1のときは正
負電極の配置密度が粗から密になる向きの方向性を有
し、Zm/Zg=1のときは方向性を有さず、Zm/Z
g>1のときは正負電極の配置密度が密から粗になる向
きの方向性を有することが分かった。したがって、この
ようなトランスジューサの方向性を考慮してフィルタを
構成すれば低挿入損失かつ広帯域特性を有するようにす
ることができる。
ランスジューサの方向性を調査した結果、チャープ型ト
ランスジューサにおいては、Zm/Zg<1のときは正
負電極の配置密度が粗から密になる向きの方向性を有
し、Zm/Zg=1のときは方向性を有さず、Zm/Z
g>1のときは正負電極の配置密度が密から粗になる向
きの方向性を有することが分かった。したがって、この
ようなトランスジューサの方向性を考慮してフィルタを
構成すれば低挿入損失かつ広帯域特性を有するようにす
ることができる。
【0028】図6は、Alからなる電極の厚さを200
0オングストロームとしZm/Zg=0.98としたと
きの等価回路解析によるチャープ型フィルタの方向性を
説明するための周波数特性および電極の配置を示す図で
ある。言替えれば、図7の例で用いたトランスジューサ
を並べたフィルタを構成した場合の周波数特性などを示
す。図6(b)のように、アップチャープのIDT63
とアップチャープのIDT64を隣接させた構成では、
図6(a)の実線61に示すような周波数特性となる。
逆に、図6(c)のように、ダウンチャープのIDT6
5とダウンチャープのIDT66を隣接させた構成で
は、図6(a)の破線62に示すような周波数特性とな
る。このように周波数特性に差が生じるのは、図7で説
明したように、IDT63,64,65,66がそれぞ
れ矢印63D,64D,65D,66Dに示す方向性を
有することによる。
0オングストロームとしZm/Zg=0.98としたと
きの等価回路解析によるチャープ型フィルタの方向性を
説明するための周波数特性および電極の配置を示す図で
ある。言替えれば、図7の例で用いたトランスジューサ
を並べたフィルタを構成した場合の周波数特性などを示
す。図6(b)のように、アップチャープのIDT63
とアップチャープのIDT64を隣接させた構成では、
図6(a)の実線61に示すような周波数特性となる。
逆に、図6(c)のように、ダウンチャープのIDT6
5とダウンチャープのIDT66を隣接させた構成で
は、図6(a)の破線62に示すような周波数特性とな
る。このように周波数特性に差が生じるのは、図7で説
明したように、IDT63,64,65,66がそれぞ
れ矢印63D,64D,65D,66Dに示す方向性を
有することによる。
【0029】特に1つの方法として、図10に示すよう
に浮き電極を設けることによりZm/Zg>1とするこ
とができ、これによりトランスジューサに方向性を付与
することができる。図10において、弾性表面波変換器
であるトランスジューサ102は正または負の電極10
4,105を有する。さらに、これら正負の電極10
4,106間のギャップに浮き電極106を有する。浮
き電極106を有することによりこのトランスジューサ
102のZm/Zgは1より大きくなった。
に浮き電極を設けることによりZm/Zg>1とするこ
とができ、これによりトランスジューサに方向性を付与
することができる。図10において、弾性表面波変換器
であるトランスジューサ102は正または負の電極10
4,105を有する。さらに、これら正負の電極10
4,106間のギャップに浮き電極106を有する。浮
き電極106を有することによりこのトランスジューサ
102のZm/Zgは1より大きくなった。
【0030】なお、上記の図2では励振側の電極24,
25をm/p=0.5、受信側の電極26,27をm/
p=0.8とした例を説明したが、これに対し励振側の
電極をm/p=0.25、受信側の電極をダブル電極構
造とすると、フィルタ特性はさらに良好となる。図11
は、このようなダブル電極構造を用いたフィルタの例を
示す。この図において、112は圧電性基板上に配置さ
れた励振側の弾性表面波変換器、113は圧電性基板上
に配置された受信側の弾性表面波変換器である。励振側
の弾性表面波変換器112は正電極114および負電極
115を有する。この電極はm/p=0.25である。
受信側の弾性表面波変換器113は正電極116および
負電極117を有する。受信側の弾性表面波変換器11
3はダブル電極構造を有している。言替えれば、図11
のフィルタは図2のフィルタの電極24,25の幅を狭
めてm/p=0.25となるようにし、かつ電極26,
27の1本1本を2分割してダブル電極構造の電極11
6(116a,116b),117(117a,117
b)としたものである。
25をm/p=0.5、受信側の電極26,27をm/
p=0.8とした例を説明したが、これに対し励振側の
電極をm/p=0.25、受信側の電極をダブル電極構
造とすると、フィルタ特性はさらに良好となる。図11
は、このようなダブル電極構造を用いたフィルタの例を
示す。この図において、112は圧電性基板上に配置さ
れた励振側の弾性表面波変換器、113は圧電性基板上
に配置された受信側の弾性表面波変換器である。励振側
の弾性表面波変換器112は正電極114および負電極
115を有する。この電極はm/p=0.25である。
受信側の弾性表面波変換器113は正電極116および
負電極117を有する。受信側の弾性表面波変換器11
3はダブル電極構造を有している。言替えれば、図11
のフィルタは図2のフィルタの電極24,25の幅を狭
めてm/p=0.25となるようにし、かつ電極26,
27の1本1本を2分割してダブル電極構造の電極11
6(116a,116b),117(117a,117
b)としたものである。
【0031】ダブル電極構造は両方向性の特性を示すの
で図2のようなm/p=0.8として逆方向性を弱めた
構造より、特性がよくなる。電極幅はλ/8となるが実
用の周波数では問題なく作製できる。
で図2のようなm/p=0.8として逆方向性を弱めた
構造より、特性がよくなる。電極幅はλ/8となるが実
用の周波数では問題なく作製できる。
【0032】上記実施例では弾性表面波素子としてフィ
ルタを例にとり説明したが、本発明は遅延線にも適用で
きる。また、上述した一方向性を有する弾性表面波変換
器はそれ自身、インピーダンス素子として使用すること
もできる。
ルタを例にとり説明したが、本発明は遅延線にも適用で
きる。また、上述した一方向性を有する弾性表面波変換
器はそれ自身、インピーダンス素子として使用すること
もできる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電性または電歪性の基板上に厚みを有するすだれ状電
極を設けた弾性表面波素子において、励振受信される弾
性表面波による電気信号と弾性表面波の電極による反射
の位相が一方の方向に同位相で他方の方向に逆位相とな
り一方向性の特性を持つように電極を配置しているの
で、低挿入損失かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子
が得られる。
圧電性または電歪性の基板上に厚みを有するすだれ状電
極を設けた弾性表面波素子において、励振受信される弾
性表面波による電気信号と弾性表面波の電極による反射
の位相が一方の方向に同位相で他方の方向に逆位相とな
り一方向性の特性を持つように電極を配置しているの
で、低挿入損失かつ広帯域特性を有する弾性表面波素子
が得られる。
【図1】 本発明の一実施例に係る弾性表面波素子であ
るフィルタの平面図および断面図
るフィルタの平面図および断面図
【図2】 励振側および受信側の方向性を同じ向きに合
せたフィルタの平面図
せたフィルタの平面図
【図3】 m/pと挿入損失との関係を示すグラフ
【図4】 従来の弾性表面波変換器を用いたフィルタの
平面図および断面図
平面図および断面図
【図5】 従来の分散型遅延線の構造を示す平面図
【図6】 Zm/Zg=0.98とのチャープ型フィ
ルタの方向性を説明するための周波数特性および電極の
配置を示す図
ルタの方向性を説明するための周波数特性および電極の
配置を示す図
【図7】 Zm/Zg=0.98のチャープ型トランス
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
【図8】 Zm/Zg=1.00のチャープ型トランス
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
【図9】 Zm/Zg=1.02のチャープ型トランス
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
ジューサの方向性を説明するための周波数特性および電
極の配置を示す図
【図10】 浮き電極を用いたトランスジューサを示す
平面図
平面図
【図11】 ダブル電極構造を用いたフィルタを示す平
面図
面図
1…圧電性基板、2,22…励振側の弾性表面波変換
器、3,23…受信側の弾性表面波変換器、4,6,2
4,26…正電極、5,7,25,27…負電極。
器、3,23…受信側の弾性表面波変換器、4,6,2
4,26…正電極、5,7,25,27…負電極。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成3年5月7日
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項4
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】 また、前記すだれ状電極の金属膜の音
響インピーダンスをZm、電極ギャップの音響インピー
ダンスをZgとしたとき、前記第3のすだれ状電極のZ
m/Zgが1より小さく、前記第4のすだれ状電極のZ
m/Zgが1より大きくなるようにして、前記弾性表面
波素子をフィルタとして用いることができる。
響インピーダンスをZm、電極ギャップの音響インピー
ダンスをZgとしたとき、前記第3のすだれ状電極のZ
m/Zgが1より小さく、前記第4のすだれ状電極のZ
m/Zgが1より大きくなるようにして、前記弾性表面
波素子をフィルタとして用いることができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0O29
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】 特に1つの方法として、図10に示す
ように浮き電極を設けることによりZm/Zgの値を調
整することができ、これによりトランスジューサに方向
性を付与することができる。図10において、弾性表面
波変換器であるトランスジューサ102は正または負の
電極104,105を有する。さらに、これら正負の電
極104,106間のギャップに浮き電極106を有す
る。この浮き電極106は1つおきに短絡してある。こ
のような短絡した浮き電極106を備えることにより、
このトランスジューサ102のZm/Zgは1より小さ
くなった。また、図示しないが浮き電極106を短絡さ
せることなく、開放した浮き電極106を備えることに
より、このトランスジューサ102のZm/Zgは1よ
り大きくなった。
ように浮き電極を設けることによりZm/Zgの値を調
整することができ、これによりトランスジューサに方向
性を付与することができる。図10において、弾性表面
波変換器であるトランスジューサ102は正または負の
電極104,105を有する。さらに、これら正負の電
極104,106間のギャップに浮き電極106を有す
る。この浮き電極106は1つおきに短絡してある。こ
のような短絡した浮き電極106を備えることにより、
このトランスジューサ102のZm/Zgは1より小さ
くなった。また、図示しないが浮き電極106を短絡さ
せることなく、開放した浮き電極106を備えることに
より、このトランスジューサ102のZm/Zgは1よ
り大きくなった。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】 なお、上記の図2では励振側の電極2
4,25をm/p=0.5、受信側の電極26,27を
m/p=0.8とした例を説明したが、これに対し励振
側の電極を同じくm/p=0.5、受信側の電極をダブ
ル電極構造とすると、フィルタ特性はさらに良好とな
る。図11は、このようなダブル電極構造を用いたフィ
ルタの例を示す。この図において、112は圧電性基板
上に配置された励振側の弾性表面波変換器、113は圧
電性基板上に配置された受信側の弾性表面波変換器であ
る。励振側の弾性表面波変換器112は正電極114お
よび負電極115を有する。この電極はm/p=0.5
である。受信側の弾性表面波変換器113は正電極11
6および負電極117を有する。受信側の弾性表面波変
換器113はダブル電極構造を有している。言替えれ
ば、図11のフィルタは図2のフィルタの電極24,2
5はそのままとし、かつ電極26,27の1本1本を2
分割してダブル電極構造の電極116(116a,11
6b),117(117a,117b)としたものであ
る。この場合、タブル電極についてはm/p=0.25
となる。
4,25をm/p=0.5、受信側の電極26,27を
m/p=0.8とした例を説明したが、これに対し励振
側の電極を同じくm/p=0.5、受信側の電極をダブ
ル電極構造とすると、フィルタ特性はさらに良好とな
る。図11は、このようなダブル電極構造を用いたフィ
ルタの例を示す。この図において、112は圧電性基板
上に配置された励振側の弾性表面波変換器、113は圧
電性基板上に配置された受信側の弾性表面波変換器であ
る。励振側の弾性表面波変換器112は正電極114お
よび負電極115を有する。この電極はm/p=0.5
である。受信側の弾性表面波変換器113は正電極11
6および負電極117を有する。受信側の弾性表面波変
換器113はダブル電極構造を有している。言替えれ
ば、図11のフィルタは図2のフィルタの電極24,2
5はそのままとし、かつ電極26,27の1本1本を2
分割してダブル電極構造の電極116(116a,11
6b),117(117a,117b)としたものであ
る。この場合、タブル電極についてはm/p=0.25
となる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図11
【補正方法】変更
【補正内容】
【図11】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成3年7月5日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】 また、図5のような分散型遅延線では
周波数の高い信号の遅延時間は長く、周波数の低い信号
の遅延時間は短いダウンチャープの遅延線となり、逆の
特性のアップチャープの遅延線も得ることができる。し
かし、この場合も従来の分散型の変換器すなわち両方向
性の特性を有する変換器を用いており、低挿入損失の変
換器ではない。
周波数の高い信号の遅延時間は長く、周波数の低い信号
の遅延時間は短いダウンチャープの遅延線となり、逆の
特性のアップチャープの遅延線も得ることができる。し
かし、この場合も従来の分散型の変換器すなわち両方向
性の特性を有する変換器を用いており、低挿入損失の変
換器ではない。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】 図7は、Alからなる電極の厚さを2
000オングストロームとしZm/Zg=0.98とし
たときの等価口路解析によるチャープ型トランスジュー
サの方向性を説明するための周波数特性および電極の配
置を示す図である。図7(b)のように、一対の正負電
極を有するIDT(インタディジタルトランスジュー
サ、すだれ状電極)74に向かって、正負電極の配置の
密度が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT7
3を隣接させた構成では、図7(a)の実線71に示す
ような周波数特性となる。逆に、図7(c)のように、
一対の正負電極を有するIDT76に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープ
のIDT75を隣接させた構成では、図7(a)の破線
72に示すような周波数特性となる。周波数特性として
は実線71のほうが破線72より良好である。したがっ
て、IDT73は矢印73Dに示す方向性を有し、ID
T75は矢印75Dに示す方向性を有することがわか
る。
000オングストロームとしZm/Zg=0.98とし
たときの等価口路解析によるチャープ型トランスジュー
サの方向性を説明するための周波数特性および電極の配
置を示す図である。図7(b)のように、一対の正負電
極を有するIDT(インタディジタルトランスジュー
サ、すだれ状電極)74に向かって、正負電極の配置の
密度が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT7
3を隣接させた構成では、図7(a)の実線71に示す
ような周波数特性となる。逆に、図7(c)のように、
一対の正負電極を有するIDT76に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープ
のIDT75を隣接させた構成では、図7(a)の破線
72に示すような周波数特性となる。周波数特性として
は実線71のほうが破線72より良好である。したがっ
て、IDT73は矢印73Dに示す方向性を有し、ID
T75は矢印75Dに示す方向性を有することがわか
る。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】 図8は、Zm/Zg=1.00とした
ときの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサ
の方向性を説明するための周波数特性および電極の配置
を示す図である。図8(b)のように、一対の正負電極
を有するIDT84に向かって、正負電極の配置の密度
が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT83を
隣接させた構成では、図8(a)の実線81に示すよう
な周波数特性となる。また、図8(c)のように、一対
の正負電極を有するIDT86に向かって、正負電極の
配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープのI
DT85を隣接させた構成でも、同じく図8(a)の実
線81に示す周波数特性となる。したがって、IDT8
3およびIDT85は、ともに方向性を有しないことが
わかる。
ときの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサ
の方向性を説明するための周波数特性および電極の配置
を示す図である。図8(b)のように、一対の正負電極
を有するIDT84に向かって、正負電極の配置の密度
が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT83を
隣接させた構成では、図8(a)の実線81に示すよう
な周波数特性となる。また、図8(c)のように、一対
の正負電極を有するIDT86に向かって、正負電極の
配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープのI
DT85を隣接させた構成でも、同じく図8(a)の実
線81に示す周波数特性となる。したがって、IDT8
3およびIDT85は、ともに方向性を有しないことが
わかる。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0026
【補正方法】変更
【補正内容】
【0026】 図9は、Zm/Zg=1.02とした
ときの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサ
の方向性を説明するための周波数特性および電極の配置
を示す図である。図9(b)のように、一対の正負電極
を有するIDT94に向かって、正負電極の配置の密度
が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT93を
隣接させた構成では、図9(a)の実線91に示すよう
な周波数特性となる。逆に、図9(c)のように、一対
の正負電極を有するIDT96に向かって、正負電極の
配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープのI
DT95を隣接させた構成では、図9(a)の破線92
に示すような周波数特性となる。周波数特性としては破
線92のほうが実線91より良好である。したがって、
IDT93は矢印93Dに示す方向性を有し、IDT9
5は矢印95Dに示す方向性を有することがわかる。
ときの等価回路解析によるチャープ型トランスジューサ
の方向性を説明するための周波数特性および電極の配置
を示す図である。図9(b)のように、一対の正負電極
を有するIDT94に向かって、正負電極の配置の密度
が徐々に高くなるようなダウンチャープのIDT93を
隣接させた構成では、図9(a)の実線91に示すよう
な周波数特性となる。逆に、図9(c)のように、一対
の正負電極を有するIDT96に向かって、正負電極の
配置の密度が徐々に粗くなるようなアップチャープのI
DT95を隣接させた構成では、図9(a)の破線92
に示すような周波数特性となる。周波数特性としては破
線92のほうが実線91より良好である。したがって、
IDT93は矢印93Dに示す方向性を有し、IDT9
5は矢印95Dに示す方向性を有することがわかる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】 図6は、Alからなる電極の厚さを2
000オングストロームとしZm/Zg=0.98とし
たときの等価回路解析によるチャープ型フィルタの方向
性を説明するための周波数特性および電極の配置を示す
図である。言替えれば、図7の例で用いたトランスジュ
ーサを並べたフィルタを構成した場合の周波数特性など
を示す。図6(b)のように、ダウンチャープのIDT
63とダウンチャープのIDT64を隣接させた構成で
は、図6(a)の実線61に示すような周波数特性とな
る。逆に、図6(c)のように、アップチャープのID
T65とアップチャープのIDT66を隣接させた構成
では、図6(a)の破線62に示すような周波数特性と
なる。このように周波数特性に差が生じるのは、図7で
説明したように、IDT63,64,65,66がそれ
ぞれ矢印63D,64D,65D,66Dに示す方向性
を有することによる。
000オングストロームとしZm/Zg=0.98とし
たときの等価回路解析によるチャープ型フィルタの方向
性を説明するための周波数特性および電極の配置を示す
図である。言替えれば、図7の例で用いたトランスジュ
ーサを並べたフィルタを構成した場合の周波数特性など
を示す。図6(b)のように、ダウンチャープのIDT
63とダウンチャープのIDT64を隣接させた構成で
は、図6(a)の実線61に示すような周波数特性とな
る。逆に、図6(c)のように、アップチャープのID
T65とアップチャープのIDT66を隣接させた構成
では、図6(a)の破線62に示すような周波数特性と
なる。このように周波数特性に差が生じるのは、図7で
説明したように、IDT63,64,65,66がそれ
ぞれ矢印63D,64D,65D,66Dに示す方向性
を有することによる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】変更
【補正内容】
【図7】
【手続補正9】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】
【手続補正10】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】
Claims (4)
- 【請求項1】 圧電性または電歪性の基板上に厚みを有
するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、 弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第1のすだれ状電極と、 弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が長く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を受信する
第2のすだれ状電極とを具備することを特徴とする弾性
表面波素子。 - 【請求項2】 圧電性または電歪性の基板上に厚みを有
するすだれ状電極を設けた弾性表面波素子において、 弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を励振する
第3のすだれ状電極と、 弾性表面波の伝搬方向に徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置した弾性表面波を受信する
第4のすだれ状電極とを具備することを特徴とする弾性
表面波素子。 - 【請求項3】 前記すだれ状電極の、電極幅をm、周期
をpとしたとき、前記第3のすだれ状電極は0.2≦m
/p≦0.7であり、前記第4のすだれ状電極は0.7
2≦m/p≦0.9である請求項2に記載の弾性表面波
素子。 - 【請求項4】 前記すだれ状電極の金属膜の反射係数
が、一方のすだれ状電極では1より大きく、他方のすだ
れ状電極では1より小さい請求項2に記載の弾性表面波
素子を用いたフィルタ。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP3091180A JP2847438B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 弾性表面波素子 |
US07/858,333 US5256927A (en) | 1991-03-29 | 1992-03-26 | Surface acoustic wave element having a wide bandwidth and a low insertion loss |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3091180A JP2847438B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 弾性表面波素子 |
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JP2847438B2 JP2847438B2 (ja) | 1999-01-20 |
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Family Applications (1)
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JP3091180A Expired - Fee Related JP2847438B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 弾性表面波素子 |
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Cited By (1)
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-
1991
- 1991-03-29 JP JP3091180A patent/JP2847438B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-03-26 US US07/858,333 patent/US5256927A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5256927A (en) | 1993-10-26 |
JP2847438B2 (ja) | 1999-01-20 |
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