JPH062714U - 電力用半導体モジュール - Google Patents

電力用半導体モジュール

Info

Publication number
JPH062714U
JPH062714U JP044862U JP4486292U JPH062714U JP H062714 U JPH062714 U JP H062714U JP 044862 U JP044862 U JP 044862U JP 4486292 U JP4486292 U JP 4486292U JP H062714 U JPH062714 U JP H062714U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power semiconductor
control terminal
silicone rubber
semiconductor chip
semiconductor module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP044862U
Other languages
English (en)
Inventor
行良 中村
頼秀 土岐
晃一 斉藤
峰吉 岩本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sansha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Sansha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sansha Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Sansha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority to JP044862U priority Critical patent/JPH062714U/ja
Publication of JPH062714U publication Critical patent/JPH062714U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電力用半導体モジュールにおいて、基板上に
搭載した電力用半導体チップから取り出された制御端子
が使用時の温度サイクルによってチップから剥れること
を防止する。 【構成】 絶縁層2を有する金属基板1上に形成した導
電端子12にアノード電極6を接着することによって、
金属基板1上に搭載した電力用半導体チップ4の上部の
ゲート電極10から上方に取り出される制御端子16
の、シリコーンゴム封止層19内の立上り部分に屈曲形
状部分16bを形成する。これによってシリコーンゴム
層の熱伸縮によって制御端子に加わる伸縮力を屈曲形状
部分で吸収するようにした。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は制御電極を有する電力用半導体チップを搭載し、この電力用半導体 チップから取り出した制御端子を外部に引出すようにした構造の電力用半導体モ ジュールにおける、上記制御端子の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の電力用半導体モジュールとしては、例えば図3に示す構造のも のが知られている。即ち、鉄、銅、アルミニウムなどからなる金属基板31の上 部にアルミナ、窒化アルミニウムなどを用いた絶縁層32、33が半田付けによ り固着形成されている。そして、この絶縁層32、33上には主電極となる導電 端子34、35が半田付けで取り付けられている。この導電端子34、35の上 部にはサイリスタ、トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGB T)などの制御電極を有する電力用半導体チップ36、37が半田付けされてい る。38、39は該電力用半導体チップ36、37上に半田付けで形成されてい る導電端子であり、一方の電力用半導体チップ36上に形成された導電端子38 と他方の絶縁膜33上に形成された導電端子35とは、夫々の一方端で半田付け によって固定されている。
【0003】 41、42は電力用半導体チップ36、37から取り出した制御端子であり、 それらの先端はケースの外部に引き出されて外部接続用制御端子41a、42a となっている。また、導電端子34、35および39も先端がケース上方に引き 出されていて、樹脂封止、絶縁蓋46装着後、この絶縁蓋46に沿って折り曲げ られ、外部接続用端子34a、35a、39aを構成している。34は電力用半 導体チップ36、37等を搭載した金属基板21とその周囲の絶縁枠体43とよ りなるケース内にシリコーンゴムを注入し、硬化させて形成したシリコーンゴム 層、45はシリコーンゴム層44の上にエポキシ樹脂を注入し硬化させたエポキ シ樹脂層であり、46はケースの絶縁蓋である。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
上記した構造の電力用半導体モジュールでは、制御端子41、42は電力用半 導体チップから上方に真直に引き出されており、このため、モジュールに温度サ イクルが加わってシリコーンゴム層44に伸縮が起こると、この伸縮によって制 御端子41、42が半導体チップ36、37から剥れたり、伸びたりして電極が 破損(縮みによる圧縮で電極に穴があく)するという問題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この考案は従来の電力用半導体モジュールにおける上記した問題点を解消すべ く検討の結果、電力用半導体チップから取り出され、外部接続用端子としてケー スの外方に引き出される制御端子の形状としてゲル状シリコーンゴムを注入して 封止される部分に屈曲部を形成することによって、制御端子が苛酷な温度サイク ルにも耐えうるようにしたものである。
【0006】
【作用】
この考案は、上記したように電力用半導体モジュールにおいて、電力用半導体 チップから取り出されて外部接続用端子としてケース外部にその先端が引き出さ れる制御端子のシリコーンゴム層で封止される部分に屈曲部分を形成したもので あり、これによって、電力用半導体モジュールの使用時の温度変化において、シ リコーンゴム層の伸縮に伴なってその影響が制御端子にまで及んだとしても、該 シリコーンゴム層内の制御端子の屈曲部分で伸縮力を吸収することができて、制 御端子が半導体チップから外れるなどの問題を防止することができるのである。
【0007】
【実施例】
以下、この考案の一実施例を図に基いて詳細に説明する。図1はこの考案の電 力用半導体モジュールの構造を示す断面図であって、図において1は金属基板で あり、この金属基板1上にはアルミナ、窒化アルミニウムなどからなる絶縁層2 、3が半田付けにて形成されている。4、5は電力用半導体チップとしてのサイ リスタであって、該サイリスタ4、5にはアノード電極6、7、カソード電極8 、9、ゲート電極10、11が夫々形成されている。そして、このサイリスタ4 、5は絶縁層2、3上に半田付けにて形成した導電端子12、13にアノード電 極6、7を半田付けすることによって金属基板1上に取り付けられる。
【0008】 また、サイリスタ4、5上部の両側のカソード電極8、9には導電端子14、 15が半田付けで形成されている。さらに、サイリスタ4、5の上部中央にはゲ ート電極10、11が形成され、該ゲート電極10、11から上方に制御端子1 6、17が取り出されている。この制御端子16、17は何れも金属基板1とそ の周囲の絶縁枠体18よりなるケース内を封止するシリコーンゴム層19、エポ キシ樹脂層20内を通ってケース外部に引き出され、外部接続用制御端子16a 、17aとなっている。しかして、このゲート電極10、11から上方に取り出 される制御端子16、17は、図のようにシリコーンゴム層19内にて逆S字型 の屈曲形状16b、17bを呈していることがこの考案の特徴である。
【0009】 また、導電端子12、13および15はシリコーンゴム層19、エポキシ樹脂 層20内を垂直にケース外部まで立上らせ、エポキシ樹脂層20上に絶縁蓋21 を施した後、該絶縁蓋21の上面に折り曲げて外部接続用端子12a、13a、 15aとして用いられる。さらに、導電端子14の一方端と13の一方端とは、 ケース内のシリコーンゴム層注入域内で半田接着されている。
【0010】 図2はこの考案の他の実施例を示すもので、図1中の左半分を示す一部切欠部 分断面図であって、図1と異なるのはサイリスタ4のゲート電極10から上方に 取り出されている制御端子16がシリコーンゴム層19内にてコ字状の屈曲形状 16cを形成していることである。
【0011】 この考案は、図1、図2のような構造の電力用半導体モジュールとすることに よって、その使用時に温度サイクルが加わって、ゲル状シリコーンゴム層が伸縮 すると、ゲート電極から取り出されている制御端子も伸縮するが、その伸縮力を 制御端子の屈曲形状部分で吸収して、例えば図1の制御端子では屈曲部分16b が破線16dで示すように変化するだけで、苛酷な温度サイクルに耐えることが でき、制御端子16が伸びてゲート電極から剥れたり、電極が破損するという事 態を防止することができるのである。
【0012】 なお、上記実施例では電力用半導体チップとしてサイリスタを用いて説明した が、このほかトランジスタや絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)な ど制御端子を有する電力用半導体を用いても同じ効果が得られる。また、サイリ スタのアノード電極、カソード電極の導電端子への接着はその間にMo、Wなど の熱緩衝材層を介在させてもよい。
【0013】
【考案の効果】
以上説明したように、この考案の電力用半導体モジュールでは電力用半導体チ ップから上方に取り出される制御端子に、シリコーンゴム層内において屈曲形状 部分を形成したことによって、この電力用半導体モジュールの使用に際して温度 サイクルが加わって、たとえシリコーンゴム層の伸縮が生じ、それに伴って制御 端子も伸縮したとしても、その伸縮力を制御端子に設けた屈曲形状部分で吸収す ることができて、制御端子が電力用半導体チップから剥れることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の電力用半導体モジュールの一実施例
を示す断面図である。
【図2】この考案の電力用半導体モジュールの他の実施
例を示す一部切欠部分断面図である。
【図3】従来の電力用半導体モジュールの断面図であ
る。
【符号の説明】
1 金属基板 2 絶縁層 4 サイリスタ 6 アノード電極 8 カソード電極 10 ゲート電極 12 導電端子 14 導電端子 16 制御端子 16b 制御端子の屈曲形状部 18 絶縁枠体 19 シリコーンゴム層 20 エポキシ樹脂層 21 絶縁蓋
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 岩本 峰吉 大阪府大阪市東淀川区淡路2丁目14番3号 株式会社三社電機製作所内

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御電極を有する電力用半導体チップを
    基板の導電端子上に搭載し、この導電端子の先端と電力
    用半導体チップから取り出した制御端子の先端とを外部
    に引き出すようにして上記基板とこの基板上の周囲に設
    けた絶縁枠体とより形成したケース内をシリコーンゴム
    およびエポキシ樹脂にて封止した電力用半導体モジュー
    ルにおいて、上記電力用半導体チップから取り出した制
    御端子が封入シリコーンゴム層内で屈曲形状部分を有し
    ていることを特徴とする電力用半導体モジュール。
JP044862U 1992-06-03 1992-06-03 電力用半導体モジュール Pending JPH062714U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP044862U JPH062714U (ja) 1992-06-03 1992-06-03 電力用半導体モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP044862U JPH062714U (ja) 1992-06-03 1992-06-03 電力用半導体モジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH062714U true JPH062714U (ja) 1994-01-14

Family

ID=12703305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP044862U Pending JPH062714U (ja) 1992-06-03 1992-06-03 電力用半導体モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH062714U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015130457A (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2015130456A (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 三菱電機株式会社 半導体装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999753A (ja) * 1982-11-10 1984-06-08 ブラウン・ボバリ・ウント・シ−・アクチエンゲゼルシヤフト 電力用トランジスタモジユ−ル
JPS59100560A (ja) * 1982-11-10 1984-06-09 ブラウン・ボバリ・ウント・シ−・アクチエンゲゼルシヤフト パワ−トランジスタモジユ−ル
JPS59177951A (ja) * 1983-03-29 1984-10-08 Toshiba Corp 半導体装置
JPS62104058A (ja) * 1985-06-04 1987-05-14 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999753A (ja) * 1982-11-10 1984-06-08 ブラウン・ボバリ・ウント・シ−・アクチエンゲゼルシヤフト 電力用トランジスタモジユ−ル
JPS59100560A (ja) * 1982-11-10 1984-06-09 ブラウン・ボバリ・ウント・シ−・アクチエンゲゼルシヤフト パワ−トランジスタモジユ−ル
JPS59177951A (ja) * 1983-03-29 1984-10-08 Toshiba Corp 半導体装置
JPS62104058A (ja) * 1985-06-04 1987-05-14 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015130457A (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2015130456A (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 三菱電機株式会社 半導体装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2801534B2 (ja) パワー半導体モジュールおよびそれに使用する絶縁金属基板
US7554210B2 (en) Semiconductor device with semiconductor chip mounted in package
US5635427A (en) Method for assembling a pressure contact semiconductor device in a flat package
JPS59198740A (ja) 樹脂封止形半導体複合素子
WO2014097798A1 (ja) 半導体装置
JP2013219267A (ja) パワーモジュール
JP3129020B2 (ja) 半導体装置
KR20040007234A (ko) 전력 반도체장치
JP7124474B2 (ja) 半導体装置
JP2913247B2 (ja) パワー半導体モジュール及び車両用インバータ装置
JP3601529B2 (ja) 半導体装置
JPH11214612A (ja) パワー半導体モジュール
JP3829641B2 (ja) パワー半導体モジュール
JPH062714U (ja) 電力用半導体モジュール
US20220399241A1 (en) Semiconductor device
JPH06302734A (ja) 電力用半導体モジュール
JP2001332664A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3644161B2 (ja) パワー半導体モジュール
JP2000299419A (ja) 半導体装置
JP3226082B2 (ja) 半導体装置
JP3264190B2 (ja) 半導体装置
US20240105560A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device
JPS6020942Y2 (ja) 半導体装置
JP7293978B2 (ja) 半導体装置
JP2000183278A (ja) パワーモジュールの組立方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19960514