JPH0624692B2 - 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 - Google Patents
砥石の複合振動による精密溝研削加工方法Info
- Publication number
- JPH0624692B2 JPH0624692B2 JP20851086A JP20851086A JPH0624692B2 JP H0624692 B2 JPH0624692 B2 JP H0624692B2 JP 20851086 A JP20851086 A JP 20851086A JP 20851086 A JP20851086 A JP 20851086A JP H0624692 B2 JPH0624692 B2 JP H0624692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- grinding
- vibration
- groove grinding
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、超音波振動と低周波振動の複合振動により砥
石を回転させることなく、溝を精密研削する加工方法に
関する。
石を回転させることなく、溝を精密研削する加工方法に
関する。
（従来技術） 本発明者は、先に砥石をワーク加工面に加圧し、ワーク
の加工送り方向にワーク加工表面に沿って低周波振動さ
せて研削加工する方法、更に低周波振動と同じ方向に超
音波振動を重畳させて精密研削加工する方法を開発し
た。
の加工送り方向にワーク加工表面に沿って低周波振動さ
せて研削加工する方法、更に低周波振動と同じ方向に超
音波振動を重畳させて精密研削加工する方法を開発し
た。
（発明が解決しようとする問題点） 上記従来技術に於ては、加工できるワークの形状に制限
が生ずる。すなわち、この方法は、一様な平面あるいは
円筒外周、穴面の研削加工には適用できるが、キー溝な
どの溝研削加工や底のある穴の穴面の研削加工には使用
できないという問題点があった。
が生ずる。すなわち、この方法は、一様な平面あるいは
円筒外周、穴面の研削加工には適用できるが、キー溝な
どの溝研削加工や底のある穴の穴面の研削加工には使用
できないという問題点があった。
すなわち、超音波振動よりも振幅の大きい低周波振動数
の振幅が溝研削巾方向の側面をたたいたり、所定寸法以
上に加工して寸法精度を狂わせる現象が生ずる。穴加工
面では底面をたたく現象を生ずる。そして、加工精度を
低下させたり、砥石を破損させたりするので溝の精密研
削加工には不適であるという問題点があった。
の振幅が溝研削巾方向の側面をたたいたり、所定寸法以
上に加工して寸法精度を狂わせる現象が生ずる。穴加工
面では底面をたたく現象を生ずる。そして、加工精度を
低下させたり、砥石を破損させたりするので溝の精密研
削加工には不適であるという問題点があった。
（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決することを目的とし、砥石を
溝加工面に加圧し、溝研削長手方向の加工面に沿って低
周波振動させ乍ら、溝研削巾方向の加工面に沿って超音
波振動させ、該砥石を回転させないで研削加工する如く
なしたことを特徴とするものである。
溝加工面に加圧し、溝研削長手方向の加工面に沿って低
周波振動させ乍ら、溝研削巾方向の加工面に沿って超音
波振動させ、該砥石を回転させないで研削加工する如く
なしたことを特徴とするものである。
（実施例） 以下、図示した実施例に基づいて具体的に説明する。第
１図において、砥石１を縦軸方向に振動する超音波振動
子３の振幅を拡大する振幅拡大用ホーン２の先端に取付
け、ワーク７に対して、矢印８の溝研削加工長手方向に
対して直角方向で、溝加工面とは平行をなす巾方向４に
振動数ｆ、振幅ａで超音波振動させる。超音波振動子３
は電わい振動子、磁わい振動子いずれでもその作用効果
は同一である。この超音波振動する砥石を矢印８の溝研
削長手方向と同方向５に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振動
させる。このようにワークの溝研削長手方向に低周波振
動し、これと直角な溝研削長手方向に超音波振動する砥
石に荷重Ｐ６を与え、回転することなく送り速度Ｖで溝
研削加工する。低周波振動駆動装置としては、三相誘導
電動機を利用した滑り子クランク機構、リンク機構およ
び空気圧、油圧を利用した装置あるいは電磁振動、電気
油圧振動駆動による装置などを用いることができる。
１図において、砥石１を縦軸方向に振動する超音波振動
子３の振幅を拡大する振幅拡大用ホーン２の先端に取付
け、ワーク７に対して、矢印８の溝研削加工長手方向に
対して直角方向で、溝加工面とは平行をなす巾方向４に
振動数ｆ、振幅ａで超音波振動させる。超音波振動子３
は電わい振動子、磁わい振動子いずれでもその作用効果
は同一である。この超音波振動する砥石を矢印８の溝研
削長手方向と同方向５に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振動
させる。このようにワークの溝研削長手方向に低周波振
動し、これと直角な溝研削長手方向に超音波振動する砥
石に荷重Ｐ６を与え、回転することなく送り速度Ｖで溝
研削加工する。低周波振動駆動装置としては、三相誘導
電動機を利用した滑り子クランク機構、リンク機構およ
び空気圧、油圧を利用した装置あるいは電磁振動、電気
油圧振動駆動による装置などを用いることができる。
第２図は本発明による穴の溝研削方法である。砥石１を
縦軸方向に振動する超音波振動子３の振幅を拡大する振
幅拡大用ホーン２の先端に接着し穴７の軸方向に振動数
ｆ、振幅ａで超音波振動させる。この砥石を振動中心軸
を回転中心軸Ｏと一致させて振動数Ｆ、振幅Ａで矢印５
の溝研削長手方向に低周波振動させ、荷重Ｐ６を与え加
工送り速度Ｖで穴研摩加工する。
縦軸方向に振動する超音波振動子３の振幅を拡大する振
幅拡大用ホーン２の先端に接着し穴７の軸方向に振動数
ｆ、振幅ａで超音波振動させる。この砥石を振動中心軸
を回転中心軸Ｏと一致させて振動数Ｆ、振幅Ａで矢印５
の溝研削長手方向に低周波振動させ、荷重Ｐ６を与え加
工送り速度Ｖで穴研摩加工する。
第３図によって本発明の研削加工を詳細に説明する。
本発明は、溝研削長手方向の加工面に沿った低周波振動
軌跡と、溝研削巾方向の加工面に沿った超音波振動軌跡
が激しく交叉して極微細に寸断するものである。すなわ
ち、切削長さを極微細に寸断し、切りくずを極微細に
し、研摩抵抗を軽減させることができる。実際の砥石作
用面には多数の砥粒が分布しているので、研削面積全面
を微細な曲線群によって細分割化でき研摩抵抗の軽減を
実現させることができるようになる。これが本発明によ
る研摩機構の特徴である。
軌跡と、溝研削巾方向の加工面に沿った超音波振動軌跡
が激しく交叉して極微細に寸断するものである。すなわ
ち、切削長さを極微細に寸断し、切りくずを極微細に
し、研摩抵抗を軽減させることができる。実際の砥石作
用面には多数の砥粒が分布しているので、研削面積全面
を微細な曲線群によって細分割化でき研摩抵抗の軽減を
実現させることができるようになる。これが本発明によ
る研摩機構の特徴である。
次に本発明の実施例について説明する。ゴムの平板にみ
ぞを精密研削加工する場合を第３図、第４図によって説
明する。
ぞを精密研削加工する場合を第３図、第４図によって説
明する。
１０mm角、厚さ５mmのＷＡ＃６０の砥石１を２０ＫHz，
６００Ｗのたて振動電わい振動子３の振幅拡大用ホーン
２の先端にボルトで固定して取付けた曲げ振動砥石シャ
ンク１４の両端に接着する。ホーン２の振動節を取付板
１５で固定する。この取付板１５を加圧装置１６に固定
する。加圧装置は低周波振動駆動装置１７によって矢印
５の溝研削長手方向に低周波振動する振動軸１８に取付
ける。低周波振動駆動装置は三相誘導電動機１９とベル
ト２０によって一定方向に高速回転する振動駆動軸の回
転運動を偏心カムとすべり子クランク機構によって変換
し、振動軸１８を矢印５の溝研削長手方向に最大振動数
１００Hz、片振幅０．２mm程度で振動させる。この装置
１７を平削り盤あるいは形削り盤刃物台２１に矢印８の
溝研削巾方向８と矢印５の溝研削長手方向とが一致する
ようにして取り付ける。超音波発振機２２によって超音
波振動子３を励振すれば、砥石は溝研削巾方向に超音波
振動数ｆ＝２０ＫHz、片振幅ａ＝４〜１５μｍ程度で超
音波振動する。第４図のようにこの砥石１に加圧力Ｐを
矢印６の方向にワーク７に与え、振動数Ｆ＝１００Hz、
片振幅Ａ＝０．２mm程度で低周波振動させ、溝研削速度
Ｖ＝０．５〜２m/minをもって研削加工することによっ
て本発明による精密溝研削加工が実施される。
６００Ｗのたて振動電わい振動子３の振幅拡大用ホーン
２の先端にボルトで固定して取付けた曲げ振動砥石シャ
ンク１４の両端に接着する。ホーン２の振動節を取付板
１５で固定する。この取付板１５を加圧装置１６に固定
する。加圧装置は低周波振動駆動装置１７によって矢印
５の溝研削長手方向に低周波振動する振動軸１８に取付
ける。低周波振動駆動装置は三相誘導電動機１９とベル
ト２０によって一定方向に高速回転する振動駆動軸の回
転運動を偏心カムとすべり子クランク機構によって変換
し、振動軸１８を矢印５の溝研削長手方向に最大振動数
１００Hz、片振幅０．２mm程度で振動させる。この装置
１７を平削り盤あるいは形削り盤刃物台２１に矢印８の
溝研削巾方向８と矢印５の溝研削長手方向とが一致する
ようにして取り付ける。超音波発振機２２によって超音
波振動子３を励振すれば、砥石は溝研削巾方向に超音波
振動数ｆ＝２０ＫHz、片振幅ａ＝４〜１５μｍ程度で超
音波振動する。第４図のようにこの砥石１に加圧力Ｐを
矢印６の方向にワーク７に与え、振動数Ｆ＝１００Hz、
片振幅Ａ＝０．２mm程度で低周波振動させ、溝研削速度
Ｖ＝０．５〜２m/minをもって研削加工することによっ
て本発明による精密溝研削加工が実施される。
又、第５図、第６図に示すように、一辺が１００mmの厚
材状の硬質ゴム材に幅１０mmの長さ１００mmの金属角棒
２４がはめこまれ、接着、固定されている。そして、基
板であるゴム材２３表面は金属角棒２４の表面から０．
０３mm以内で突出している。これを金属角棒の表面より
０．０３mm以内に低く精密研削加工するときに、本発明
を低周波振動数Ｆ＝１００Hz、振幅Ａ＝０．２mm、超音
波振動数ｆ＝２０ＫHz、振幅ａ＝１６μｍ、１０mm角厚
さ５mmの＃６００電着ダイヤモンド砥石、溝研削速度２
ｍ/min、２ｇ/mm2の極軽荷重で実施することによって、
４往復させるだけで第７図の如く、各溝を一様に表面粗
さ３μmRmax、平面度３μｍ／１００mmの加工面積度と
し、端面のだれや変形盛り上りをなくして研削加工する
ことができる。
材状の硬質ゴム材に幅１０mmの長さ１００mmの金属角棒
２４がはめこまれ、接着、固定されている。そして、基
板であるゴム材２３表面は金属角棒２４の表面から０．
０３mm以内で突出している。これを金属角棒の表面より
０．０３mm以内に低く精密研削加工するときに、本発明
を低周波振動数Ｆ＝１００Hz、振幅Ａ＝０．２mm、超音
波振動数ｆ＝２０ＫHz、振幅ａ＝１６μｍ、１０mm角厚
さ５mmの＃６００電着ダイヤモンド砥石、溝研削速度２
ｍ/min、２ｇ/mm2の極軽荷重で実施することによって、
４往復させるだけで第７図の如く、各溝を一様に表面粗
さ３μmRmax、平面度３μｍ／１００mmの加工面積度と
し、端面のだれや変形盛り上りをなくして研削加工する
ことができる。
（効果） 本発明によると、砥石を溝加工面に加圧し、ワークの加
工方向である溝研削長手方向の加工面に沿って低周波振
動させ乍ら、これと直交する溝研削巾方向の加工面に沿
って超音波振動させ、該砥石を回転させないで研削加工
する如くなっているので、溝の巾方向側面をたゝいて寸
法精度を狂わせたり、研削加工用の砥石を破損させたり
することを防止でき、精密溝研削加工を行うことができ
る。
工方向である溝研削長手方向の加工面に沿って低周波振
動させ乍ら、これと直交する溝研削巾方向の加工面に沿
って超音波振動させ、該砥石を回転させないで研削加工
する如くなっているので、溝の巾方向側面をたゝいて寸
法精度を狂わせたり、研削加工用の砥石を破損させたり
することを防止でき、精密溝研削加工を行うことができ
る。
第１図は本発明による平面の研削加工方法とその特徴を
簡明に示す説明図、第２図は本発明による穴の溝研削加
工方法とその特徴を簡明に示す説明図、第３図は本発明
を実施する平削り盤を加工送り方向と直角方向から見た
側面図、第４図は本発明に用いる溝加工用超音波振動砥
石の側面図、第５図は硬質ゴム材に金属角棒を僅に突出
してはめこんだ研削部材平面図、第６図は第５図の正面
図、第７図は同上部材の研削加工後の正面図である。 １…超音波振動ダイヤモンド砥石 ２…振幅拡大用ホーン ３…超音波振動子 ４…超音波振動 ５…低周波振動 ６…加圧力 ２２…超音波発振機 ２３…ゴム素材 Ｖ…加工送り速度
簡明に示す説明図、第２図は本発明による穴の溝研削加
工方法とその特徴を簡明に示す説明図、第３図は本発明
を実施する平削り盤を加工送り方向と直角方向から見た
側面図、第４図は本発明に用いる溝加工用超音波振動砥
石の側面図、第５図は硬質ゴム材に金属角棒を僅に突出
してはめこんだ研削部材平面図、第６図は第５図の正面
図、第７図は同上部材の研削加工後の正面図である。 １…超音波振動ダイヤモンド砥石 ２…振幅拡大用ホーン ３…超音波振動子 ４…超音波振動 ５…低周波振動 ６…加圧力 ２２…超音波発振機 ２３…ゴム素材 Ｖ…加工送り速度
Claims (1)
- 【請求項１】砥石を溝加工面に加圧し、ワークの加工方
向である溝研削長手方向の加工面に沿って低周波振動さ
せ乍ら、これと直交する溝研削巾方向の加工面に沿って
超音波振動させ、該砥石を回転させないで研削加工する
如くなした砥石の複合振動による精密溝研削加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20851086A JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20851086A JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362659A JPS6362659A (ja) | 1988-03-18 |
| JPH0624692B2 true JPH0624692B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=16557356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20851086A Expired - Lifetime JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624692B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102211296A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-10-12 | 北京航空航天大学 | 一种基于高低频复合型超声振动磨削装置 |
| CN102211297A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-10-12 | 北京航空航天大学 | 一种基于超声高频气动低频复合型振动磨削的方法和装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562530A (en) * | 1994-08-02 | 1996-10-08 | Sematech, Inc. | Pulsed-force chemical mechanical polishing |
| JP4426059B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2010-03-03 | ナブテスコ株式会社 | 光学的立体造形方法および装置 |
| JP5049402B1 (ja) * | 2011-12-20 | 2012-10-17 | 有限会社アリューズ | 鏡面加工方法、鏡面加工機、鏡面加工具 |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP20851086A patent/JPH0624692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102211296A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-10-12 | 北京航空航天大学 | 一种基于高低频复合型超声振动磨削装置 |
| CN102211297A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-10-12 | 北京航空航天大学 | 一种基于超声高频气动低频复合型振动磨削的方法和装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362659A (ja) | 1988-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100316003B1 (ko) | 초음파를 이용한 마이크로 버니싱 장치 | |
| US5187899A (en) | High frequency vibrational polishing | |
| Balamuth | Ultrasonic assistance to conventional metal removal | |
| JPH0624692B2 (ja) | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 | |
| US2939250A (en) | Resonant honing | |
| JP2012045642A (ja) | 内径面加工方法、内径面加工用ツールおよび内径面加工装置 | |
| KR100417643B1 (ko) | 초음파 진동공구를 이용한 금형 다듬질 자동화장치 | |
| JP3088537B2 (ja) | 高硬度材の孔の仕上げ加工方法及び加工装置 | |
| JPS6362658A (ja) | 複合振動砥石による精密仕上加工方法 | |
| EP0403537B1 (en) | Ultrasonic polishing | |
| JPH0120035B2 (ja) | ||
| JPH0624693B2 (ja) | 砥石の複合振動によるセラミック等の精密研削加工方法 | |
| JPH06339847A (ja) | セラミックスにおける円周状の溝の加工方法 | |
| JPH0451306B2 (ja) | ||
| JP2007050471A (ja) | ドレッシング方法及びロータリドレッシング装置 | |
| JPH11123365A (ja) | 超音波振動複合加工具 | |
| JPH0575560B2 (ja) | ||
| JPH03234451A (ja) | ねじり振動を利用した研摩法 | |
| JPH07164288A (ja) | 超音波振動研削方法、超音波振動研削工具、及び超音波振動研削加工装置 | |
| CA1329988C (en) | Ultrasonic polishing | |
| JPS6234678Y2 (ja) | ||
| JPH06339865A (ja) | 超音波研削用カップ砥石及びこれを用いた 超音波研削加工機 | |
| JPH0626790B2 (ja) | 砥石車に超音波振動と低周波振動を重畳させた精密複合研削方法 | |
| JPH03111166A (ja) | 研削切断方法 | |
| JP2023050722A (ja) | 超砥粒研削ホイールのドレッシング方法および装置 |