JPH06245147A - 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法

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JPH06245147A
JPH06245147A JP5047118A JP4711893A JPH06245147A JP H06245147 A JPH06245147 A JP H06245147A JP 5047118 A JP5047118 A JP 5047118A JP 4711893 A JP4711893 A JP 4711893A JP H06245147 A JPH06245147 A JP H06245147A
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智明 飯塚
Hideki Motoyama
英樹 本山
Kenichi Arakawa
賢一 荒川
Tetsuo Yamada
哲生 山田
Shinsuke Sasano
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 2つの感光画素群から独立した信号電荷とし
てこれを読出す固体撮像装置において、積分設定手段で
設定された積分時間や信号の時間に応じて顕著になる画
質の劣化を抑えた固体撮像装置の構造及びその駆動方法
を提供する。 【構成】 第1の動作は、感光領域1の第1画素群の信
号電荷(2n−1)を第1電荷検出回路8から読み出
し、感光領域1の第2画素群の信号電荷(2n)を第2
電荷検出回路9から読み出す。第2の動作は、これらの
画素群の信号電荷を相隣合う行において加算合成し、い
ずれかの電荷検出回路から読み出すか、前記信号電荷を
2つの水平転送路6、7から出力後に合成電気信号とし
て読み出す。そして、信号電荷の積分時間が所定時間よ
り短いときに第2の動作を選択させることにより画質の
劣化を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に係り、
とくに、感光領域に接してフィールドメモリを有し2ラ
イン独立の信号電荷を読出す固体撮像装置の構造及び駆
動方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電荷転送装置を用いた固体撮像装置の中
で、例えば、CCDエリアセンサは、高解像度を得るこ
とができ、放送用CCD、高画質民生用CCD、電子ス
チールカメラなどに用いる。従来の感光領域の上下にフ
ィールドメモリを有し、2ライン同時読出しを行うこと
のできるエリアセンサなどに用いる固体撮像装置の平面
図を図8に示す。また図8に示されている固体撮像装置
における従来の駆動方法の動作図を図1に示し、その概
略タイミングチャート図を図3及び図4に示す。この固
体撮像装置の感光領域1には、入射光を光電変換し蓄積
する感光画素2が行方向及び列方向に2次元的に配置さ
れている。そして、その2次元的に配置された感光画素
群が構成する各垂直感光画素列間には垂直転送路3が設
けられている。この垂直転送路3の1転送段は、垂直方
向に設けられている2つの感光画素で構成されている。
感光領域1の上下には、1フィールド分の信号電荷を蓄
積できる第1蓄積領域4と第2蓄積領域5とが各々設け
られている。この第1蓄積領域4と第2蓄積領域5に
は、各々複数の垂直転送路31及び32が配置されてい
て、それぞれ感光領域1の垂直転送路3に接続してい
る。
【0003】また、第1蓄積領域4と第2蓄積領域5の
感光領域1とは反対側には、第1水平転送路6と第2水
平転送路7があり、各々の一端に第1及び第2電荷検出
回路8、9が設けられている。ここで、第1蓄積領域4
は、感光領域の感光画素の上下の配列順番を入れ換える
ことができるように、転送段がループ状に連結されたサ
イクリック転送路になっている。このような固体撮像装
置は、一般に、1フィールド期間に垂直全画素の信号情
報を得る事ができる。次に、この様な構造の固体撮像装
置の従来の積分時間設定手段動作時における駆動方法を
説明する。図3及び図4のタイミングチャート図は、感
光領域1の代表転送パルスV1 、V3 とフィールドシフ
ト(FS)パルス及び積分時間設定パルスを示してい
る。感光領域は、通常第1及び第2蓄積領域と同様、4
相パルス(V1 、V2 、V3 、V4 )で駆動される。
【0004】まず、図3の動作の場合、後述のように第
1の積分時間設定パルス10を印加してから第1FSパ
ルス11で感光領域1の垂直2n−1(n=1,2…)
番目の感光画素2から信号電荷を読出し、第1フィール
ド転送パルス14で第1蓄積領域4へ転送する。また、
第2の積分時間設定パルス12を印加してから第2FS
パルス13で感光領域1の垂直2n(n=1,2…)番
目の感光画素から信号電荷を読出し、第2フィールド転
送パルス15で第2蓄積領域5へ転送する。この際第1
FSパルスと第2FSパルス間の時間ずれ16を生じ
る。これは、第1及び第2の積分時間設定パルス間の時
刻ずれに等しい。この時刻ずれ16は、信号電荷蓄積時
間(積分時間)45、46が所定の値より短くなるとそ
の影響が顕著になる。図4の動作の場合、半導体基板に
積分時間設定パルス17を印加してから第1FSパルス
18で感光領域1の垂直2n−1(n=1,2…)番目
の感光画素から信号電荷を読出し、第1フィールド転送
パルス20で第1蓄積領域4へ転送する。
【0005】その後第2FSパルス19で感光領域1の
垂直2n(n=1,2…)番目の感光画素から信号電荷
を読出し、第2フィールド転送パルス21で第2蓄積領
域5へ転送する。この際第1FSパルスと第2FSパル
ス間の時刻ずれ24と積分時間設定パルス17から各々
第1FSパルスまでの積分時間22と第2FSパルスま
での信号電荷蓄積時間23において差が生じるため、あ
る所定の積分時間より短くなるとその影響が顕著にな
る。この時、第1蓄積領域4の信号電荷は垂直方向の感
光画素の順番を反転出力できるようにサイクリックに上
下反転転送される。そして水平走査に同期して1転送段
ずつ第1及び第2蓄積領域4、5の信号電荷が各々水平
転送路6、7へ移送され、水平有効期間に各々の電荷検
出回路8、9から時系列の電気信号として同時に出力さ
れる。その後次の垂直ブランキング(VBL)期間に於
いても同じ動作が繰り返され、これにより1フィールド
1フレームの映像信号が得られる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の積分時間設
定手段においては、前記2つの電荷検出回路によって各
フィールド毎の信号電荷を読出すので、ある所定の積分
時間より短い時間に設定すると、ライン間の時刻ずれや
信号電荷の蓄積時間すなわち信号の大きさの差が顕著に
あらわれるため、動画出力時の画質の劣化を生じてしま
う。例えば、図3に示す時刻ずれ16が5ライン水平転
送分であるとすると、積分時間が1/60秒では、画質
は殆ど問題にならないが、積分時間が1/5000秒程
度になると画質は悪くなる。また、第1又は第2画素群
の信号電荷の蓄積量(積分量)が短くなるほどS/N比
が大きくなり、画質の劣化を生じる。本発明は、以上の
ような事情によってなされたものであり、2つの別の感
光画素群から独立した信号電荷としてこれを読出す固体
撮像装置において、積分設定手段で設定された積分時間
や信号の大きさに応じて顕著になる画質の劣化を抑えた
固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法を提供するこ
とを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、固体撮像装置
の積分時間設定手段において、第1及び第2の動作を用
意し、任意にその動作を選択することによって、独立に
読み出された2画素の信号電荷積分状態により顕著にな
る動画出力時の画質の劣化を回避することを特徴として
いる。即ち、本発明の固体撮像装置は、入射光を光電変
換し、発生した信号電荷を一時的に蓄える感光画素が行
方向及び列方向に2次元的に配置され、かつ、前記信号
電荷を読み出し列方向に転送する垂直転送路が前記列方
向の各感光画素列に隣接して設けられた感光領域と、前
記感光領域に設けられている複数の前記垂直転送路の各
第1の端部に設けられ転送段がループ状に連結されたサ
イクリック転送路を有する第1蓄積領域と、前記垂直転
送路の各第2の端部に設けられた転送路を有する第2蓄
積領域と、前記第1蓄積領域の前記感光領域とは反対側
に前記信号電荷を行方向に転送する第1水平転送路と、
前記第1水平転送路の出力端に接続された第1電荷検出
回路と、前記第2蓄積領域の前記感光領域とは反対側に
前記信号電荷を行方向に転送する第2水平転送路と、前
記第2水平転送路の出力端に接続された第2電荷検出回
路と、前記第1及び第2水平転送路の出力端に、その入
力端が接続された電荷転送路と、前記電荷転送路の出力
端に接続された第3電荷検出回路とを具備し、前記第1
及び第2水平転送路を転送し、出力される前記信号電荷
は前記電荷転送路で加算され、前記第3電荷検出回路で
加算された前記信号電荷が前記電気信号に変換されるこ
とを特徴としている。
【0008】また、本発明の固体撮像装置の駆動方法
は、入射光を光電変換し、発生した信号電荷を一時的に
蓄える感光画素が行方向及び列方向に2次元的に配置さ
れ、かつ、前記信号電荷を読み出し列方向に転送する垂
直転送路が前記列方向の各感光画素列に隣接して設けら
れた感光領域と、前記感光領域に設けられている複数の
前記垂直転送路の各第1の端部に設けられ、転送段がル
ープ状に連結されたサイクリック転送路を有する第1蓄
積領域と、前記垂直転送路の各第2の端部に設けられた
転送路を有する第2蓄積領域と、前記第1蓄積領域の前
記感光領域とは反対側に前記信号電荷を行方向に転送し
その一端に前記信号電荷を電気信号に変換する第1電荷
検出回路を備えた第1水平転送路と、前記第2蓄積領域
の前記感光領域とは反対側に前記信号電荷を行方向に転
送し、その一端に前記信号電荷を電気信号に変換する第
2電荷検出回路を備えた第2水平転送路とを具備した固
体撮像装置又は上記の固体撮像装置において、前記感光
領域の各垂直方向の奇数行の感光画素からなる第1画素
群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、この感光領
域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2画素群の
信号電荷を前記第2蓄積領域へ転送する動作後、前記第
1及び第2電荷検出回路からそれぞれ前記電気信号を出
力する第1の動作と、前記感光領域の垂直方向の奇数行
の感光画素からなる第1画素群の信号電荷とこの感光領
域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2画素群の
信号電荷とを垂直転送路に転送後、相隣り合う行におい
て加算合成した合成信号電荷を前記第1又は第2水平転
送路を介して前記第1又は第2電荷検出回路で前記電気
信号に変換する第2の動作とを有し、前記第1又は第2
の動作のいずれかを選択手段により選択することを第1
の特徴としている。
【0009】また、上記いずれかの固体撮像装置におい
て、前記感光領域の各垂直方向の奇数行の感光画素から
なる第1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送
し、この感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からな
る第2画素群の信号電荷を前記第2蓄積領域へ転送する
動作後、前記第1及び第2電荷検出回路からそれぞれ前
記電気信号を出力する第1の動作と、前記感光領域の垂
直方向の奇数行の感光画素からなる第1画素群の信号電
荷を前記第1蓄積領域へ転送し、この感光領域の垂直方
向の偶数行の感光画素からなる第2画素群の信号電荷を
前記前記第2蓄積領域へ転送する動作後、これら第1及
び第2蓄積領域へ転送した信号電荷をそれぞれ前記第1
及び第2水平転送路を介して前記第1及び第2電荷検出
回路から前記電気信号として出力し、その後これら前記
電気信号を加算して合成信号を形成する第2の動作とを
備え、前記第1又は第2の動作のいずれかを選択手段に
より選択することを第2の特徴としている。前記選択手
段は、積分時間が所定の時間より長い場合は、前記第1
の動作を選択し、前記積分時間が所定時間より短い場合
は、前記第2の動作を選択することができる。前記選択
手段は、前記第1又は第2画素群の信号電荷の積分量が
所定量より多い場合には、前記第1の動作を選択し、こ
の信号電荷の積分量が所定量より少ない場合には、前記
第2の動作を選択することができる。
【0010】
【作用】第1及び第2の動作の任意の手段を適宜選択す
ることにより、信号電荷の積分時間が所定時間より短い
ときに顕著になる動画出力時の画質の劣化を回避するこ
とができる。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。この実施例における固体撮像装置の動作状態を説
明する固体撮像装置の断面図を図1及び図2に示し、そ
の概略タイミングチャートを図3乃至図6に示す。固体
撮像装置は、図8と同じ構造であり、感光領域1には、
感光画素2が行方向及び列方向に2次元的に配置されて
いる。その2次元的に配置された感光画素群が構成する
各垂直感光画素列間には垂直方向に2画素で1転送段を
形成する垂直転送路3が設けられている。感光領域1の
上下には、1フィールド分の信号電荷を蓄積できる第1
蓄積領域4と第2蓄積領域5とが各々設けられている。
この第1蓄積領域4と第2蓄積領域5には、各々複数の
垂直転送路31及び32が配置されていて、それぞれ感
光領域1の垂直転送路3に接続している。また、第1蓄
積領域4と第2蓄積領域5の感光領域1とは反対側に
は、第1水平転送路6と第2水平転送路7があり、各々
の一端に第1及び第2電荷検出回路8、9が設けられて
いる。ここで、第1蓄積領域4は、感光領域の感光画素
の上下の配列順番を入れ換えることができるように、転
送段がループ状に連結されたサイクリック転送路になっ
ている。
【0012】次に、本発明に係る固体撮像装置の駆動方
法について説明する。まず、図1を参照して第1の動作
について説明する。最初は、図3のタイミングチャート
にしたがって動作する例について説明する。時刻t1 に
おいて、積分時間設定パルス10を印加してから、所定
のVBL内において、第1FSパルス11で感光領域1
の第1画素群(V1)である垂直2n−1(n=1,2
…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時刻t
3)、これは第1フィールド転送パルス14で第1蓄積領
域4へ転送される。また、時刻t2 において、積分時間
設定パルス12を印加してから、第2FSパルス13で
感光領域1の第2画素群(V3)である垂直2n(n=
1,2…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時
刻t4)これは第2フィールド転送パルス15で第2蓄積
領域5へ転送される。その後これらの感光画素から読出
された信号電荷は第1及び第2水平転送路6、7で同時
に第1及び第2電荷検出回路8、9へ出力され、そし
て、2つの信号が加算されて1つになる。この場合信号
電荷蓄積時間45、46は、両者同じ長さである。
【0013】次で、図4のタイミングチャートにしたが
って動作する例について説明する。時刻t1 において、
半導体基板(VOFD ) に積分時間設定パルス17を印加
してから、所定のVBL内において第1FSパルス18
で感光領域1の第1画素群である垂直2n−1(n=
1,2…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時
刻t2)、第1フィールド転送パルス20で第1蓄積領域
4へ転送される。つづいて第2FSパルス19で感光領
域1における第2画素群(V3)の垂直2n(n=1,2
…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時刻t
3)、第2フィールド転送パルス21で第2蓄積領域へ転
送される。この第1の動作では、ここで説明する最初の
フィールド(ODD)でも次ぎのフィールド(EVE
N)でも感光領域の感光画素からの信号電荷の動作は同
じである。
【0014】次に、図1を参照して第1番目の第2の動
作について説明する。最初は、図3のタイミングチャー
トにしたがって動作する例について説明する。時刻t1
において、積分時間設定パルス10を印加してから、所
定のVBL内において、第1FSパルス11で感光領域
1の第1画素群(V1)である垂直2n−1(n=1,2
…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時刻t
3)、これは第1フィールド転送パルス14で第1蓄積領
域4へ転送される。また、時刻t2 において、積分時間
設定パルス12を印加してから、第2FSパルス13で
感光領域1の第2画素群(V3)である垂直2n(n=
1,2…)番目の感光画素から信号電荷が読出され(時
刻t4)、これは第2フィールド転送パルス15で第2蓄
積領域5へ転送される。その後これらの感光画素から読
出された信号電荷が、第1及び第2水平転送路6、7で
同時に第1及び第2電荷検出回路8、9へ転送されて出
力される。そして、2つの信号が加算されて1つにな
る。この2つの電荷検出回路から得られたそれぞれ独立
の信号は、図3の様に時刻ずれ16を生じているが、こ
れら信号を加算し、垂直方向の感光画素の半分の数のデ
ータとして得る事により時刻ずれによる画像の劣化を有
効に抑止することができる。この場合信号電荷蓄積時間
45、46は、両者同じ長さである。
【0015】次で、図4のタイミングチャートにしたが
って動作する例について説明する。時刻t1 において、
半導体基板(VOFD ) に積分時間設定パルス17を印加
してから、所定のVBL内において、第1FSパルス1
8で感光領域1の第1画素群である垂直2n−1(n=
1,2…)番目の感光画素から信号電荷が読出されて
(時刻t2)、第1フィールド転送パルス20で第1蓄積
領域4へ転送される。その後第2FSパルス19で感光
領域1の第2画素群(V3)の垂直2n(n=1,2…)
番目の感光画素から信号電荷が読出され(時刻t3)、第
2フィールド転送パルス21で第2蓄積領域へ転送され
る。その後これら感光画素から読出された信号電荷が、
第1及び第2水平転送路6、7で同時に第1及び第2電
荷検出回路へ転送されて出力される。そして、2つの信
号が加算されて1つにる。この2つの電荷検出回路から
得られたそれぞれ独立の信号は、時刻ずれ24と信号電
荷蓄積時間22、23の差24を生じているが、2つの
信号を加算し垂直方向の感光画素の半分の数のデータと
して得る事により時刻ずれによる画像の劣化を抑止する
ことが可能となる。第1の動作では、ここで説明する最
初のフィールド(ODD)でも次ぎのフィールド(EV
EN)でも感光領域の感光画素からの信号電荷の動作
は、同じである。
【0016】次に、図2を参照して第2番目の第2の動
作について説明する。第1蓄積領域4又は第2蓄積領域
5のどちらか一方のみに信号電荷を転送し、相隣合う行
の2画素を加算する方法である。まず、図5のタイミン
グチャートにしたがって動作する例について説明する。
最初のフィールド(ODD)では、時刻t1 及び時刻t
2 において、第1及び第2の積分時間設定パルス25、
26を印加してから、VBL期間において、第1及び第
2FSパルス27、28で感光領域1の第1画素群(V
1)の垂直2n−1(n=1,2…)番目と第2画素群
(V3)の垂直2n(n=1,2…)番目の画素から信号
電荷をほぼ同時に読出し(時刻t3)、垂直方向に隣接す
る任意の側の2画素を加算し垂直方向の感光画素の半分
の数のデータとして、第1又は第2水平転送路6、7へ
転送し、第1又は第2電荷検出回路8、9から出力す
る。この図で説明する例では、信号電荷は、第2水平転
送路7をへて第2電荷検出回路9から出力される。この
様に感光領域1内で2画素を加算することにより、時刻
ずれによる画質の劣化を抑止することが可能となる。ま
た、この図の動作では、次のフィールド(EVENフィ
ールド)では2画素加算の組み合わせを変えて、反対側
の相隣合う行の画素同士を加算する。さらに、時刻t1
及びt2 は、同時刻であっても良い。
【0017】次で、図6のタイミングチャートにしたが
って動作する例について説明する。時刻t1 において、
固体撮像装置が形成されている半導体基板に積分時間設
定パルス34を印加し、第1及び第2FSパルス35、
36で感光領域1の第1画素群(V1)の垂直2n−1
(n=1,2…)番目と垂直2n(n=1,2…)番目
の感光画素から信号電荷を同時に読出し(時刻t2)、垂
直方向の隣接する2画素を加算し、第1蓄積領域4もし
くは第2蓄積領域5のどちらか一方のみに信号電荷を転
送する。この例では、信号電荷は第2蓄積領域へ転送す
る。垂直方向の2画素を加算することにより、時刻ずれ
や信号電荷蓄積時間の差による画質の劣化を抑止するこ
とが可能となる。また、次のフィールド(EVENフィ
ールド)では2画素加算の組み合わせを変えて同様の動
作を繰り返す。この実施例においては、固体撮像装置が
形成されている半導体基板に以上のような第1及び第2
の動作を選択する選択手段を形成する。外部の切換えス
イッチを用いることができる。そして、この選択手段を
用いてある所定の積分時間以上に設定した時にいずれか
の動作を選択するように構成する。この様にして、動画
出力時に短い積分時間では時刻ずれや信号電荷積分時間
の差による画質の劣化が回避でき、高速での積分時間設
定が可能となる。信号電荷がある所定値よりも小さい場
合、前記実施例のような方法で相隣合う2画素を加算す
ることによりS/N比を向上させることが可能になる。
【0018】この固体撮像装置が前述の第1及び第2の
動作を選択する基準は、以下に示すように幾つか認めら
れるが、本発明は、これに限定されるものではない。 (1) 通常は、第1の動作を選択しているが、積分時
間が所定の長さより短くなると選択手段により第2の動
作を選択して画質劣化を少なくしている。例えば、前述
の図3に示すように、時刻ずれ16は、t4 −t3 であ
る。一方、積分時間設定パルスの印加からFSパルス印
加までの積分時間45、46は、t3 −t1 もしくはt
4 −t2 である。したがって、(t3 −t1 )、(t4
−t2 )≧(t4 −t3 )のときは、第1の動作を選択
し、(t3 −t1 )、(t4 −t2 )<(t4 −t3 )
のときは、第2の動作を選択する。時刻ずれが5ライン
水平転送分の長さの場合において、積分時間は1/10
00秒ならこの時刻ずれより長く、1/5000秒なら
この時刻ずれより短いので積分時間が1/5000秒な
ら第2の動作を選択する必要がある。
【0019】(2) 転送する信号電荷の積分量が少な
いとやはりS/N比が劣化などするので、この場合は、
第2の動作を採用する。つまり、通常は第1の動作を行
っていて、信号電荷の積分量が基準量(例えば、標準信
号設定量が200mV)より少ないときは第2の動作を
選択する。この動作によって信号電荷の蓄積量の差が少
なくなるので、画質の劣化は減少させることができる。
この様な選択手段として、第1の動作を選択するには、
例えば、図3のように第1画素群及び第2画素群に印加
されるFSパルス11、13にタイミング差を設けるさ
らに、第2の動作を選択する際にも、例えば、図5のよ
うに第1画素群及び第2画素群に印加されるFSパルス
27、28を相隣合う2画素を加算できるタイミングに
しておき、このFSパルスを同時に印加する。
【0020】次に、図7を参照して本発明の駆動方法に
適用される固体撮像装置の他の例に付いて説明する。の
固体撮像装置の感光領域1には、入射光を光電変換し蓄
積する感光画素2が行方向及び列方向に2次元的に配置
されている。そして、その2次元的に配置された感光画
素群が構成する各垂直感光画素列間には垂直転送路3が
設けられている。この垂直転送路3の1転送段は、垂直
方向に設けられている2つの感光画素で構成されてい
る。感光領域1の上下には、1フィールド分の信号電荷
を蓄積できる第1蓄積領域4と第2蓄積領域5とが各々
設けられている。この第1蓄積領域4と第2蓄積領域5
には、各々複数の垂直転送路31及び32が配置されて
いて、それぞれ感光領域1の垂直転送路3に接続してい
る。また、第1蓄積領域4と第2蓄積領域5の感光領域
1とは反対側には、第1水平転送路6と第2水平転送路
7があり、各出力端はフローティングゲート41、42
を介して電荷転送路43に接続さている。
【0021】電荷転送路43には第3電荷検出回路44
が設けられている。第1及び第2水平転送路6、7を転
送する信号電荷は、それぞれフローティングゲート4
1、42を介してアナログ的に読み出されて第3電荷検
出回路44から出力される。第1蓄積領域4は感光領域
1の感光画素2の上下の配列順番を入れ換えることがで
きるように、転送段がループ状に連結されたサイクリッ
ク転送路になっている。このような固体撮像装置は、一
般に、1フィールド期間に垂直全画素の信号情報を得る
事ができる。この固体撮像装置は前述の第1の動作に適
した構造を有している。フローティングゲートは、電荷
を非破壊で検出できる電荷検出回路として用いられ、こ
の回路にはこの他に電流スパイクで検出する方法やフロ
ーティング接合型検出回路などがある。この固体撮像装
置で、第1の動作を行う場合には、この回路で、水平転
送路を転送してきた信号電荷を読みだす。
【0022】本発明は、図9及び図10に示す構造の固
体撮像装置の駆動方法にも適用することができる。図9
の固体撮像装置は、感光領域の下部に蓄積領域が形成さ
れていない点で今までの実施例のものとは相違してい
る。感光領域1には、感光画素2が行方向及び列方向に
2次元的に配置されている。そして、その2次元的に配
置された感光画素群が構成する各垂直画素列間には垂直
転送路3が設けられている。感光領域1の上には、1フ
ィールド分の信号電荷を蓄積できる第1蓄積領域4が設
けられている。第1蓄積領域4には、複数の垂直転送路
31が配置されていて、それぞれ感光領域1の垂直転送
路3に接続している。また、第1蓄積領域4の感光領域
1とは反対側及び感光領域の下には、第1水平転送路6
と第2水平転送路7があり、各々の一端に第1及び第2
電荷検出回路8、9が設けられている。ここで、第1蓄
積領域4は、感光領域の感光画素の上下の配列順番を入
れ換えることができるように、転送段がループ状に連結
されたサイクリック転送路になっている。この固体撮像
装置は上記のような構成であるので、垂直転送路が蓄積
領域としても利用される。小形化が可能になる。
【0023】図10の固体撮像装置は、どの蓄積領域に
もサイクリック転送路が形成されている特徴がある。こ
の固体撮像装置の感光領域1には、入射光を光電変換し
蓄積する感光画素2が行方向及び列方向に2次元的に配
置されている。そして、この感光画素群が構成する各垂
直感光画素列間には垂直転送路3が設けられている。感
光領域1の上下には、1フィールド分の信号電荷を蓄積
できる第1蓄積領域4と第2蓄積領域5とが各々設けら
れている。この第1蓄積領域4と第2蓄積領域5には、
各々複数の垂直転送路31、33が配置されていて、そ
れぞれ感光領域1の垂直転送路3に接続している。ま
た、第1蓄積領域4と第2蓄積領域5の感光領域1とは
反対側には、第1水平転送路6と第2水平転送路7があ
り、各々の一端に第1及び第2電荷検出回路8、9が設
けられている。第1及び第2蓄積領域4、5は、感光領
域の感光画素の上下の配列順番を入れ換えることができ
るように、転送段がループ状に連結されたサイクリック
転送路になっている。
【0024】このサイクリック転送路は左右いずれの方
向にも転送することが可能であり、互いに逆方向にサイ
クリック転送することも可能である。サイクリック転送
路においてサイクリック転送を行わないこともできる。
サイクリック転送は、右回り転送でも良いし左回り転送
でも良く、最も効率的な転送方法を選択することができ
る。2ラインの出力信号を足し合わせる信号処理を行え
ば、2倍のダイナミックレンジを持ちしかも高い垂直解
像度の映像信号を得ることができる。本発明に係る固体
撮像装置の転送動作は、所定のタイミングチャートに基
づいて行われる。このタイミングチャートでは、VBL
期間と水平ブランキング期間とが交互にあらわれVBL
期間に感光領域の感光画素から垂直転送路への信号電荷
の移送及び垂直転送動作を行い、必要に応じてサイクリ
ック転送による転送順序の変換を行う。次の水平ブラン
キング期間に信号電荷を水平転送してこれを外部に出力
する。このようにブランキング期間を利用して垂直及び
水平転送を繰り返し行うことにより、1フィールド期間
に全電荷を独立に外部に出力することができる。また、
ブランキング期間を利用して垂直及び水平転送を行うこ
とにより信号電荷の読出し期間に転送動作を制御するパ
ルスが出力に混入するのを防止する。
【0025】
【発明の効果】本発明は以上のような構成により、積分
時間が短い状態の時に顕著になる時刻ずれや信号電荷の
蓄積時間の差を無くすことによって画質の劣化を回避す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明及び従来の固体撮像装置の駆動方法説明
図。
【図2】本発明の固体撮像装置の駆動方法説明図。
【図3】本発明及び従来の固体撮像装置の概略タイミン
グ図。
【図4】本発明及び従来の固体撮像装置の概略タイミン
グ図。
【図5】本発明の固体撮像装置の概略タイミング図。
【図6】本発明の固体撮像装置の概略タイミング図。
【図7】本発明の固体撮像装置の断面図。
【図8】本発明及び従来の固体撮像装置の断面図。
【図9】本発明の固体撮像装置の断面図。
【図10】本発明の固体撮像装置の断面図。
【符号の説明】
1 感光領域 2 感光画素 3、31、32、33 垂直転送路 4 第1蓄積領域 5 第2蓄積領域 6 第1水平転送路 7 第2水平転送路 8 第1電荷検出回路 9 第2電荷検出回路 10、25 第1の積分時間設定パルス 11、18、27 第1FSパルス 12、26 第2の積分時間設定パルス 13、19,28 第2FSパルス 14、20、29、37 第1フィールド転送パルス 15、21,30、38 第2フィールド転送パルス 16、24 時間ずれ 17、34 積分時間設定パルス 22、23、31、32、39、40、45、46 信
号電荷蓄積時間 41、42 フローティングゲート 43 電荷転送路 44 第3電荷検出回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 荒川 賢一 神奈川県川崎市幸区堀川町72番地 株式会 社東芝堀川町工場内 (72)発明者 山田 哲生 神奈川県川崎市幸区堀川町72番地 株式会 社東芝堀川町工場内 (72)発明者 笹野 信祐 神奈川県川崎市幸区堀川町72番地 株式会 社東芝堀川町工場内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光を光電変換し、発生した信号電荷
    を一時的に蓄える感光画素が行方向及び列方向に2次元
    的に配置され、かつ、前記信号電荷を読み出し列方向に
    転送する垂直転送路が前記列方向の各感光画素列に隣接
    して設けられた感光領域と、 前記感光領域に設けられている複数の前記垂直転送路の
    各第1の端部に設けられ転送段がループ状に連結された
    サイクリック転送路を有する第1蓄積領域と、 前記垂直転送路の各第2の端部に設けられた転送路を有
    する第2蓄積領域と、 前記第1蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送する第1水平転送路と、 前記第1水平転送路の出力端に接続された第1電荷検出
    回路と、 前記第2蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送する第2水平転送路と、 前記第2水平転送路の出力端に接続された第2電荷検出
    回路と、 前記第1及び第2水平転送路の出力端に、その入力端が
    接続された電荷転送路と、 前記電荷転送路の出力端に接続された第3電荷検出回路
    とを具備し、 前記第1及び第2水平転送路を転送し、出力される前記
    信号電荷は、前記電荷転送路で加算され、前記第3電荷
    検出回路で加算された前記信号電荷が前記電気信号に変
    換されることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 入射光を光電変換し、発生した信号電荷
    を一時的に蓄える感光画素が行方向及び列方向に2次元
    的に配置され、かつ、前記信号電荷を読み出し列方向に
    転送する垂直転送路が前記列方向の各感光画素列に隣接
    して設けられた感光領域と、 前記感光領域に設けられている複数の前記垂直転送路の
    各第1の端部に設けられ、転送段がループ状に連結され
    たサイクリック転送路を有する第1蓄積領域と前記垂直
    転送路の各第2の端部に設けられた転送路を有する第2
    蓄積領域と、 前記第1蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送しその一端に前記信号電荷を電気信
    号に変換する第1電荷検出回路を備えた第1水平転送路
    と、 前記第2蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送しその一端に前記信号電荷を電気信
    号に変換する第2電荷検出回路を備えた第2水平転送路
    とを具備している固体撮像装置において、 前記感光領域の各垂直方向の奇数行の感光画素からなる
    第1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、こ
    の感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2
    画素群の信号電荷を前記第2蓄積領域へ転送する動作
    後、前記第1及び第2電荷検出回路からそれぞれ前記電
    気信号を出力する第1の動作と、 前記感光領域の垂直方向の奇数行の感光画素からなる第
    1画素群の信号電荷とこの感光領域の垂直方向の偶数行
    の感光画素からなる第2画素群の信号電荷とを垂直転送
    路に転送後、相隣り合う行において加算合成した合成信
    号電荷を前記第1又は第2水平転送路を介して前記第1
    又は第2電荷検出回路で前記電気信号に変換する第2の
    動作とを有し、 前記第1又は第2の動作のいずれかを選択手段により選
    択することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
  3. 【請求項3】 入射光を光電変換し、発生した信号電荷
    を一時的に蓄える感光画素が行方向及び列方向に2次元
    的に配置され、かつ、前記信号電荷を読み出し列方向に
    転送する垂直転送路が前記列方向の各感光画素列に隣接
    して設けられた感光領域と、 前記感光領域に設けられている複数の前記垂直転送路の
    各第1の端部に設けられ、転送段がループ状に連結され
    たサイクリック転送路を有する第1蓄積領域と前記垂直
    転送路の各第2の端部に設けられた転送路を有する第2
    蓄積領域と、 前記第1蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送しその一端に前記信号電荷を電気信
    号に変換する第1電荷検出回路を備えた第1水平転送路
    と、 前記第2蓄積領域の前記感光領域とは反対側に前記信号
    電荷を行方向に転送しその一端に前記信号電荷を電気信
    号に変換する第2電荷検出回路を備えた第2水平転送路
    とを具備している固体撮像装置において、 前記感光領域の各垂直方向の奇数行の感光画素からなる
    第1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、こ
    の感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2
    画素群の信号電荷を前記第2蓄積領域へ転送する動作
    後、前記第1及び第2電荷検出回路からそれぞれ前記電
    気信号を出力する第1の動作と、 前記感光領域の垂直方向の奇数行の感光画素からなる第
    1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、この
    感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2画
    素群の信号電荷を前記前記第2蓄積領域へ転送する動作
    後、これら第1及び第2蓄積領域へ転送した信号電荷を
    それぞれ前記第1及び第2水平転送路を介して前記第1
    及び第2電荷検出回路から前記電気信号として出力し、
    その後これら前記電気信号を加算して合成信号を形成す
    る第2の動作とを備え、 前記第1又は第2の動作のいずれかを選択手段により選
    択することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
  4. 【請求項4】 請求項1又は請求項2に記載の固体撮像
    装置において、 前記感光領域の各垂直方向の奇数行の感光画素からなる
    第1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、こ
    の感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2
    画素群の信号電荷を前記第2蓄積領域へ転送する動作
    後、前記第1及び第2電荷検出回路からそれぞれ前記電
    気信号を出力する第1の動作と、 前記感光領域の垂直方向の奇数行の感光画素からなる第
    1画素群の信号電荷を前記第1蓄積領域へ転送し、この
    感光領域の垂直方向の偶数行の感光画素からなる第2画
    素群の信号電荷を前記前記第2蓄積領域へ転送する動作
    後、これら第1及び第2蓄積領域へ転送した信号電荷を
    それぞれ前記第1及び第2水平転送路を介して電荷転送
    路へ転送し、この電荷転送路で前記第1及び第2水平転
    送路を出力した前記信号電荷を加算して合成信号電荷を
    形成し、前記第3電荷検出回路で前記合成信号電荷を前
    記電気信号に変換するする第2の動作とを備え、 前記第1又は第2の動作のいずれかを選択手段により選
    択することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
  5. 【請求項5】 積分時間が所定の時間より長い場合は、
    前記第1の動作を選択し、前記積分時間が所定時間より
    短い場合は、前記第2の動作を選択することを特徴とす
    る請求項3又は請求項4に記載の固体撮像装置の駆動方
    法。
  6. 【請求項6】 前記選択手段は、前記第1又は第2画素
    群の信号電荷の積分量が所定量より多い場合には、前記
    第1の動作を選択し、この信号電荷の積分量が所定量よ
    り少ない場合には、前記第2の動作を選択することを特
    徴とする請求項3又は請求項4に記載の固体撮像装置の
    駆動方法。
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