JPH06240438A - マスクを基板に取付けたり又は基板から取除くための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空被膜装置において、マスクを基板に取付
けたり、基板から取除くための装置であって、平行な平
面内に配置された２つの室を有し、該室が共通の開口を
介して互いに接続されている形式のものにおいて、完全
に自動化された確実なマスキングが真空室内できわめて
正確にセンタリングされて行われるようにすること。 【構成】 両方の室の各々内に、基板受容部を備えた基
板搬送部材が旋回可能に支承され、両基板搬送部材の旋
回軸線が平行に配置され、該旋回軸線の間隔が少なくと
も１つの位置で２つの基板受容部が互いに合致するよう
に選ばれ、この合致範囲において一方の基板受容部の上
側と他方の基板受容部の下側とにそれぞれ突棒が配置さ
れ、両突棒が前記旋回軸に平行に移動可能で、一方の基
板搬送部材の基板受容部に固定された磁石保持されたマ
スクと協働し、両突棒が準備位置から基板受容部におけ
る位置へ又はその反対へマスクを供給もしくは受取りか
つ搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空被膜装置において、
殊に円形リング状の平らな基板にマスクを取付けたり、
該基板からマスクを取除くための装置であって、互いに
平行な平面内に配置された２つの室を有し、該室が共通
の開口を介して互いに接続されている形式のものに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】基板、例えばコンパクトディスクを被膜
する装置であって、平らな円筒状の搬送室と該搬送室内
に回転可能に支承された円形の基板保持体とを有し、該
基板保持体が搬送室内に基板が送り込まれたあとで基板
を１つの加工ステーションから次の加工ステーションへ
搬送する形式のものは公知である（ＵＳ４５４８６９９
号）。円板状の基板保持体はそれが回転可能に支承され
ている軸の上で付加的に回転軸線の方向でモータで移動
可能である。したがって基板皿の上に配置された基板は
円形軌道の上をステーションからステーションへ搬送可
能ではなく、加工ステーションの直前までもしくは室壁
における挿入及び取外し開口の前まで移動可能である。

【０００３】さらに基板の上に薄い層を蒸着するための
真空被膜装置であって、入口室と基板を処理又は被覆す
る別の室と出口室とを有し、排気可能な主室内に配置さ
れた、前記室を通って基板を搬送する搬送装置を備え、
前記室と主室との間で一時的にシールするためのシール
装置を備え、搬送装置が共通の軸線を中心として配置さ
れかつこの軸線を中心として旋回可能な、被膜しようと
する基板を受容するフレームを有し、少なくとも２つの
処理位置、すなわち入口及び出口位置と蒸着位置とにお
いて、前記フレーム自体が処理室の壁の１部、すなわ
ち、入口及び出口室と蒸着室との壁を形成し、前記処理
位置の少なくとも１つにおいて、可動な弁板が処理室の
１部を形成するフレームの端面を遮断するために設けら
れている形式のものは公知である（ＤＥ２４５４５４４
Ｃ４）。

【０００４】さらに真空被膜装置であって、円板状の回
転可能な基板保持体のための円筒状の搬送室に加えて、
基板を出し入れする第２の室が設けられており、該室が
開口を介して搬送室と接続されている形式のものはＵＳ
３８３８０２８号によって公知である。

【０００５】公知の真空被膜装置は全体として、基板の
表面を完全に被膜することを避けるために基板の上にマ
スクを取付けることが真空室もしくは搬送室の外側でし
か可能ではないという欠点を有している。しかしながら
これは基板を部分的に覆うためのマスクが若干の被膜工
程のあとで使用不能になるという不都合を伴う。何故な
らばマスクは被膜の形成された基板が放出されたあとで
空気酸素と接続され、この結果としてマスクの表面に箔
状の層が形成されるからである。

【０００６】

【発明の課題】本発明の課題は、冒頭に述べた形式の装
置を改良して、特に磁気光学式のディスクの確実でかつ
完全自動的なマスキングが可能になるようにし、きわめ
て正確にかつセンタリングされた基板の被覆が真空室内
で行われるようにすることである。

【０００７】

【発明を解決する手段】本発明の課題は両方の室の各々
内に、基板受容部を備えた基板搬送部材が旋回可能に支
承されており、これら両基板搬送部材の旋回軸線が互い
に平行に配置され、該旋回軸線の間の間隔が少なくとも
１つの位置で２つの基板受容部が互いに合致するように
選ばれており、この合致範囲において一方の基板受容部
の上側と他方の基板受容部の下側とにそれぞれ１つの突
棒が配置されており、両突棒が前記旋回軸に平行に長手
方向に移動可能であり、一方の基板搬送部材の基板受容
部に固定された磁石と協働するマスクと協働するように
なっており、両突棒が準備位置から基板受容部における
位置へ又はその反対へマスクを供給もしくは受取りかつ
搬送することによって解決された。

【０００８】本発明の別の詳細と特徴は請求項２以下に
示されている。

【０００９】本発明は種々の態様で実施でき、図面には
これらの態様の１つが装置の部分縦断面図で示されてい
る。

【００１０】

【実施例】前記装置は主として、圧密なケーシング
（２）を有し、該ケーシングは互いに平行な平面内に配
置された２つの室３，４を有している。これらの室３，
４は開口５を介して互いに接続されている。この場合、
両方の室３，４の各々は円筒状の中空室として構成さ
れ、両方の円筒状の室３，４の長手方向軸は互いに平行
に、しかしながら互いにずらされて配置されている。室
３においても。隣接する室４においても搬送部材として
の搬送皿６，７が配置されており、該搬送皿６，７はそ
れぞれ車輪スポークの形式でボス８，９と固定的に結合
されている。該ボス８，９は図示されていないモータに
よって駆動可能である。室４内において搬送皿が回転す
る間に基板２０は円形軌道上を１つの処理ステーション
から次の処理ステーションに搬送され、搬送皿６は基板
を挿入／取出しステーション（図示せず）から図示の引
渡しステーションへかつその反対に（引渡しステーショ
ンから挿入／取出しステーションへ）動かす。両方の室
３，４を互いに接続する開口５の範囲には押圧スリーブ
１２が設けられている。この押圧スリーブ１２は駆動ユ
ニット１３内に保持されかつ案内されている。該駆動ユ
ニット１３は押圧スリーブを矢印Ａ−Ｂの方向で移動さ
せられる。駆動ユニット１３内にはさらに突棒１４が支
承されている。この突棒１４は同様に矢印Ａ−Ｂの方向
へモータで運動させられ、マスク１５と協働させられ
る。この場合、突棒１４の長手方向軸線は搬送皿７が図
示の位置にあると、リング磁石１７の中央の受容孔１６
と整合する。さらに突棒１４には第２の突棒１８が整合
しており、該突棒１８はモータユニット１９内に支承さ
れている。該モータユニット１９はケーシング２に駆動
ユニット１３に向き合って配置されており、同様に突棒
１８を矢印Ａ−Ｂの方向へ移動させる。

【００１１】図面においては搬送皿６，７の位置は基板
２０を搬送皿６から搬送皿７へ引渡すことが行われるよ
うに示されている。（このような搬送皿とその駆動ユニ
ットについてはＤＥ３９１２２９５Ａ１に詳細に記載さ
れかつ図示されている。）基板２０を搬送皿７に引渡す
ためにはまず搬送皿６が矢印Ａの方向で押圧スリーブ１
２により、中央の破線で示された位置から、ばねアーム
２１，２１′…の力に抗して内壁２３に押し付けられ
る。この場合には同時に軸１０の駆動装置がロックされ
る。そのあとで突棒１４は矢印方向Ａへ、図示の位置に
ロックされた搬送皿６に向かって左へ、マスク１５のヘ
ッド部分２４が基板２０の中心の開口２５へ侵入させら
れ、さらに基板２０を連行してヘッド部分２４が磁石１
７に接触し、該磁石１７によってこの位置で孔２６内に
保持されるまで動かされる。基板２０を図示の位置から
破線で示した、搬送皿７における位置へ連行することを
可能にするためには、同時に保持爪２７，２７′…が半
径方向外方へ旋回し、基板２０を解放する。（このため
に適したメカニズムと駆動装置は搬送皿６に配置されて
いるが、これについては詳細には記述しておらず、図示
していない。）いまやマスク１５は孔２６内で、突棒１
４が矢印Ｂの方向で出発位置へ戻ることができるように
センタリングされかつ磁石１７に保持される。この場合
には、同時に搬送皿７は回転軸線ｂを中心として引続き
動き、基板２０を第１の処理ステーションへ搬送する。
図示された搬送皿７を引続き移動もしくは旋回運動させ
ることで、この搬送皿７に隣接する別の搬送皿７が、図
示の搬送皿７がその前に位置していた位置へ旋回させら
れる。したがってこの搬送皿７によって保持された基板
２０が向き合って固定された搬送皿６′へ引渡される。
この目的のために突棒１８は今や、モータ１９により駆
動されて矢印方向Ｂへその前端がマスク１５のヘッドに
突き当たり、このマスク１５を搬送皿７における磁石１
７から突離し、マスク１５を基板２０と一緒に保持爪２
７，２７′…の平面まで搬送する。この場合、各マスク
１５のヘッド部分２４は保持突起２８，２８′…を備え
ているので、矢印Ｂの方向Ｂの運動が保持爪２７，２
７′…により阻止されるまでは、マスク１５は基板２０
に付着しているかもしくは基板２０と形状接続によって
結合されている。その後は、マスクは突棒１８だけによ
り、マスクが向き合った突棒１４に図示の如く嵌合する
まで引続き移動させられる。基板２０はいまや搬送皿か
らマスクなしで、押圧スリーブ１２が後退したあとで、
図示されていない挿入／取出し位置へ旋回させられ得
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の装置の１実施例の部分縦断面図。

【符号の説明】

２ ケーシング、 ３，４ 室、 ５ 開口、 ６，７
搬送皿、 ８，９ボス、 １０，１１ 駆動軸、 １
２ 押圧スリーブ、 １３ 駆動ユニット、１４ 突
棒、 １５ マスク、 １６ 受容孔、 １７ リング
磁石、 １８突棒、 １９ モータユニット、 ２０
基板、 ２１，２１′，２２，２２′ ばねアーム、
２３ 側壁、 ２４ ヘッド部分、 ２５ 開口、 ２
６孔、 ２７，２７′ 保持爪、 ２８，２８′ 保持
突起、 ２９，３０ 基板受容部、 ３１ 孔、 ３２
袋孔、 ３３ 磁石

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空被膜装置において、殊に円形リング
   状の平らな基板にマスクを取付けたり、該基板からマス
   クを取除くための装置であって、互いに平行な平面内に
   配置された２つの室を有し、該室が共通の開口を介して
   互いに接続されている形式のものにおいて、両方の室
   （３，４）の各々内に、基板受容部（２９，３０）を備
   えた基板搬送部材（６，７）が旋回可能に支承されてお
   り、これら両基板搬送部材（６，７）の旋回軸線（ａ，
   ｂ）が互いに平行に配置され、該旋回軸線（ａ，ｂ）の
   間の間隔が少なくとも１つの位置で２つの基板受容部
   （２９，３０）が互いに合致するように選ばれており、
   この合致範囲において一方の基板受容部（２９もしくは
   ３０）の上側と他方の基板受容部（３０もしくは２９）
   の下側とにそれぞれ１つの突棒（１４もしくは１５）が
   配置されており、両突棒（１４，１５）が前記旋回軸
   （ａもしくはｂ）に平行に長手方向に移動可能であり、
   一方の基板搬送部材（７）の基板受容部（３０）に固定
   された磁石（１７）と協働するマスク（１５）と協働す
   るようになっており、両突棒（１４，１５）が準備位置
   から基板受容部（３０）における位置へ又はその反対へ
   マスク（１５，１５′…）を供給もしくは受取りかつ搬
   送することを特徴とする、マスクを基板に取付けたり又
   は基板から取除いたりする装置。
2. 【請求項２】 マスク（１５）がハット状の形態を有
   し、磁性材料から製作されており、中央の袋孔（３２）
   で一方の突棒（１４）の自由端に被せ嵌め可能である、
   請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 ハット状のマスク（１５）が基板（２
   ０）に係止された場合に、室（３，４）に導入されたプ
   ロセスガスが基板（２０）に一方の側から他方の側へ流
   れることを可能にする孔（３１）をマスク（１５）が有
   している、請求項２記載の装置。
4. 【請求項４】 基板（２０）の中心開口（２５）内へ挿
   入される鉢形のマスク部分が円筒形の外面に、弾性的に
   変形可能な突起又は突出部（２８，２８′…）を備え、
   該突起又は突出部が前記マスク部分の挿入後、基板を鉢
   形のマスク部分の上に保持しかつセンタリングする、請
   求項３記載の装置。
5. 【請求項５】 ハット状のマスク（１５，１５′…）の
   袋孔（３２）内に挿入される方の突棒（１４）の自由端
   が永久磁石（３３）を形成している、請求項１から４ま
   でのいずれか１項記載の装置。
6. 【請求項６】 一方の基板搬送部材（６）の基板受容部
   （２９）が弾性的に変形部、例えばばねアーム（２１，
   ２１′…）で駆動軸（１０）のボス（８）に配置され、
   ケーシング（２）に回転軸（ａ）に対して平行に移動可
   能に支承された押圧部材、例えば押圧スリーブ（１２）
   が、前記基板受容部（２９）を、平行な面に配置された
   他方の基板搬送部材（７）に向かって、一方の基板受容
   部（２９）が一方の室（３）のケーシング内壁（２３）
   に当接するまで偏位させることができるようになってい
   る、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。