JPH0620946Y2

JPH0620946Y2 - 管継手

Info

Publication number: JPH0620946Y2
Application number: JP1989146850U
Authority: JP
Inventors: 英夫柄崎; 渡辺　　弘
Original assignee: ティーエイチアイシステム株式会社; 株式会社礒野製作所
Priority date: 1989-12-20
Filing date: 1989-12-20
Publication date: 1994-06-01
Anticipated expiration: 2004-06-01
Also published as: JPH0384492U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］この考案は、半導体製造ラインなどにおいてガスなどの
流体を流す管を接続する管継手に関するものである。

［従来の技術］従来の管継手は、先端に設けられた弁座同志を孔を有す
るガスケットを介して突き合わせ、袋ナットなどの締結
手段により管継手を軸方向（管延長方向）に締付けて管
と管とをつなぎ合わせ、ガスなどの流体を流している。
また、上記ガスケットが締結手段の締付けにより変形し
て弁座からの漏れを防止している。

近年、半導体製造分野において非常に高純度のガスを使
用することから、ガスケットをゴムやテフロン樹脂など
の高分子材料で成形すると、管内を高真空で引いてもガ
スケット内にガスが残留し、次に別のガスを流したとき
ガスケット４内のガスを混ざるので使用できない。そこ
で、管継手及びガスケットは、ステンレス鋼またはニッ
ケル等の金属製である場合が多く、しかも同材質のステ
ンレス鋼である場合がほとんどである。

［考案が解決しようとする課題］従来の管継手は上記のように構成されており、ステンレ
ス鋼またはニッケル等の金属からなるガスケットの弾性
変形域は狭く、また締結手段の締付け力は外部に流体が
漏れるのを防止するためかなりの力で行われ、上記管継
手に過大な軸方向の荷重がかかるので、上記管継手の一
回の締付けによってガスケットは大きな永久変形を来
し、再使用ができないので不経済である。また、一回目
の締付け時においても、管または管継手に過度の曲げ及
び引っ張り力が外部から加わったときに、弁座との間に
すきまが生じて流体の漏れが発生し危険であるなどの問
題点があった。

この考案は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ガスケットが再使用できるとともに、外部か
ら曲げ及び引っ張り力が加わっても流体の漏れがなく安
全性の高い管継手を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］この考案に係る管継手は、第１，第２筒体の先端面同志
を、孔を有するガスケットを介して突き合わせた状態
で、締結手段により接続されるもので、上記ガスケット
を、超弾性現象を有する材料より形成してなるものであ
る。

［作用］この考案における管継手は、超弾性現象を有する材料、
例えば形状記憶合金からなるガスケットにより、第１，
第２筒体で上記ガスケットを締付けても、締付け力を解
除すると元の形状に復元する。

［実施例］以下、この考案の一実施例である管継手を第１図及び第
２図を用いて説明する。

図において、１は第１管継手、２は第２管継手、３は締
結手段としての袋ナット、４と孔４ａを有するガスケッ
ト、８はスリーブ、９はリテーナである。上記管継手
１，２は、一方の端面に断面Ｒ形状の弁座５が設けられ
ており、この弁座５がガスケット４を介して互いに向き
あうように管継手１，２同志が位置するとともに、他端
に溶接なとで管６が接続されている。また、上記管継手
１，２の外周には段部１ｂ，２ｂが形成されている。上
記スリーブ８は、第１管継手１に挿入されるとともに上
記段部１ｂに端面８ａが当接し、かつ外周に袋ナット３
の雌ねじ３ｂが螺着される雄ねじ８ｂが設けられてい
る。上記袋ナット３は、第２管継手２の段部２ａに当接
するフランジ部３ａと、スリーブ８の雄ねじ８ｂに螺着
される雌ねじ３ｂとが設けられており、この袋ナット３
を締付けることにより上記管継手１，２を軸方向（管延
長方向）に締付けている。上記リテーナ９は、第２管継
手２の先端部にガスケット４を挟持するように取付けら
れ、当該ガスケット４を第１，第２管継手１，２の中心
に保持している。

上記のように、第１、第２管継手１，２を袋ナット３で
締付けることにより管６同志を接続してガスなどの流体
を流すことができる。また、ガスケット４が変形するこ
とによって、弁座５との微小なすきまを塞ぎ、流体が管
継手１，２間から漏れないようにしている。

また、上記ガスケット４は、超弾性現象を有する材料，
例えば、ニッケル・チタン合金により構成される形状記
憶合金より形成され、このニッケル・チタン合金は、金
属の母相に応力を加えるとマルテンサイト相に変態し、
同時に変形もまかなって、直接、変形マルテンサイト相
（応力誘起マルテンサイト相）になり、その後上記応力
を除くとその温度で安定な母相に戻り歪みが回復する。
一般の金属においては、第２図(a)に示すように、降伏
点（弾性領域）をはるかに越える外部応力が加わった場
合、永久変形が発生し上記外部応力を除荷しても変形歪
みが残る（永久変形）。しかし、第２図(b)に示すよう
に、上記超弾性現象を有する形状記憶合金は、第２図
(a)のような外部応力が加わっても、変形歪みは除荷に
よりあたかも弾性変形のようにほぼ完全に消失して、元
に戻るものである。この回復する変形率はニッケル・チ
タン合金で最大約７％である。

以上のように、超弾性現象を有する形状記憶合金でガス
ケット４を形成したで、このガスケット４が第１，第２
管継手１，２の締付けによる荷重で大きく変形しても、
この荷重を除くと再び元の形状となり、再使用すること
ができる。また、管６及び管継手１，２に過度の曲げ及
び引っ張り力が外部から加わり弁座５間が広がったとき
でも、上記ガスケット４は元の形状に戻ろうとするの
で、弁座５とガスケット４との間にすきまはできず流体
の漏れは発生しない。

なお、上記実施例においては、ガスケット４をニッケル
・チタン合金からなるとしたが、本考案はこれに限定さ
れず、例えば、銅・アルミ・ニッケル合金等の超弾性現
象を有する形状記憶合金であってもよく、また超弾性現
象を有する材料であれば形状記憶合金以外の材料であっ
ても、同様の効果を得ることができる。

［考案の効果］以上のように、この考案によれば、超弾性現象を有する
材料からなるガスケットが、管継手の締付け荷重により
大きく変形しても、除荷すると再び元の形状となるの
で、上記ガスケットが再使用でき経済的である。また、
管及び管継手に過度の曲げ及び引っ張り力が外部から加
わっても、弁座とガスケットとの間にすきまはできず、
流体の漏れは発生しないので、安全性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例である管継手を示す断面
図、第２図は金属の荷重による変形状態を示す図であ
る。１，２…管継手、３…袋ナット、４…ガスケット、５…
弁座、６…管、８…スリーブ、９…リテーナ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】第１，第２筒体の先端面同志を、孔を有す
るガスケットを介して突き合わせた状態で、締結手段に
より接続される管継手において、上記ガスケットを、超
弾性現象を有する材料より形成してなることを特徴とす
る管継手。