JP7341469B2 - 継手構造及び継手構造の組み付け方法 - Google Patents

Description

本発明は、継手構造及び継手構造の組み付け方法に関する。

特許文献１には、外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、雄ねじに螺合するナット部材と、ナット部材に挿入される第２継手部材と、第１継手部材と第２継手部材との間に設けられるガスケットと、ガスケットを保持するリテーナと、を備える継手構造が開示されている。

特開２０１８－１７３８１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の継手構造では、第１継手部材の突き合わせ端面及び第２継手部材の突き合わせ端面に過剰締め付け防止用環状突起が設けられるため、第１継手部材及び第２継手部材の構造が複雑になってしまう。

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、継手部材の簡素化を図りながらガスケットへの過剰締め付けを防止することができる継手構造及び継手構造の組み付け方法を提供することを目的とする。

本発明のある態様によれば、内周に第１流体流路が形成されるとともに外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、前記雄ねじに螺合する雌ねじを有するナット部材と、内周に第２流体流路が形成され、端部が前記ナット部材内に係止される第２継手部材と、前記第１継手部材の突き合わせ端面と前記第２継手部材の突き合わせ端面との間に介装されるガスケットと、前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周面に取り付けられる第１リテーナと、着脱可能に前記第１リテーナに取り付けられる第２リテーナと、を有し、前記ガスケットを前記第１リテーナ及び前記第２リテーナにより保持する保持手段と、を備え、前記第１継手部材の突き合わせ端面には、前記第１リテーナ及び前記第２リテーナのうちのいずれか一方が当接する第１当接領域と、前記第１当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの一方の端面に押し付けられる第１突起と、が設けられ、前記第２継手部材の突き合わせ端面には、前記第１リテーナ及び前記第２リテーナのうちのいずれか他方が当接する第２当接領域と、前記第２当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの他方の端面に押し付けられる第２突起と、が設けられ、前記保持手段は、前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持される継手構造が提供される。

本発明の態様によれば、継手部材の簡素化を図りながらガスケットへの過剰締め付けを防止することができる。

本発明の実施形態に係る継手構造を示す断面図である。 リテーナを示す正面斜視図である。 リテーナを示す背面斜視図である。 リテーナを示す正面図である。 リテーナを示す背面図である。 継手構造を組み付ける継手構造の組み付け方法を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

まず、図１から図２Ｄを参照しながら本実施形態に係る継手構造１について説明する。

図１は、本実施形態に係る継手構造１を示す断面図である。なお、図１では、第１継手部材２及び第２継手部材４の一部を省略している。図２Ａは、リテーナ７を示す正面斜視図である。図２Ｂは、リテーナ７を示す背面斜視図である。図２Ｃは、リテーナ７を示す正面図である。図２Ｄは、リテーナ７を示す背面図である。また、図中において、継手構造１の軸方向を単に軸方向、継手構造１の径方向を単に径方向と称する。

本実施形態に係る継手構造１は、例えば、流体としてのプロセスガス又はパージガスを供給するために流体供給ユニットに用いられる。流体供給ユニット（図示しない）は、半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等）におけるプロセスガス及びパージガスの供給手段に用いられる。

図１に示すように、継手構造１は、第１継手部材２、ナット部材３、第２継手部材４、ベアリング５、ガスケット６及び保持手段としてのリテーナ７を備える。

第１継手部材２は、プロセスガス又はパージガスを半導体製造装置へ供給するための金属製の管部材であり、略筒状（具体的には、略円筒状）に形成される。第１継手部材２は、内周に形成される第１流体流路２１と、外周の一部に形成される保持部としての段差部２２と、外周の他の一部に形成される雄ねじ２３と、を有する。

第１流体流路２１は、その一端が第１継手部材２の突き合わせ端面２４で開口する。第１流体流路２１を通じてプロセスガス又はパージガスが半導体製造装置へ供給される。

段差部２２は、筒状（具体的には、円筒状）に形成され、リテーナ７の後述する第１リテーナ７１における第１被保持部７１１を保持するための保持部である。段差部２２は、第１継手部材２の外周において突き合わせ端面２４から軸方向に延在する。雄ねじ２３は、ナット部材３の後述する雌ねじ３３に螺合するための雄ねじである。雄ねじ２３は、段差部２２と干渉しないように形成される。

ガスケット６の一方の端面に対向する第１継手部材２の環状（具体的には円環状）の突き合わせ端面２４には、第１当接領域２５及び第１突起２６が設けられる。第１突起２６は、第１当接領域２５よりも径方向の内側に位置する。

第１当接領域２５は、リテーナ７の後述する第１リテーナ７１における第１挟持部７１２に当接するための平坦面である。第１当接領域２５は、突き合わせ端面２４の外周縁に環状（具体的には、円環状）に形成される。

第１突起２６は、ガスケット６の一方の端面に押し付けられる。第１突起２６は、突き合わせ端面２４から突出するように環状（具体的には、円環状）に形成される。また、第１突起２６は、その先端に向かうに従って先細りに形成される。

ナット部材３は、第１継手部材２の端部及び第２継手部材４の端部を収容するための金属製の袋ナットである。ナット部材３は、略有底筒状（具体的には、略有底円筒状）に形成される。ナット部材３の底面部３１には、底面部３１を貫通する貫通孔３２が形成される。貫通孔３２には第２継手部材４が挿通される。ナット部材３の先端側の内周には、第１継手部材２の雄ねじ２３に螺合する雌ねじ３３が形成される。

第２継手部材４は、第１継手部材２と同様に、プロセスガス又はパージガスを半導体製造装置へ供給するための金属製の管部材であり、略筒状（具体的には、略円筒状）に形成される。第２継手部材４は、その端部がナット部材３に係止される。なお、第１継手部材２と第２継手部材４とは、同軸に配置される。第２継手部材４は、内周に形成される第２流体流路４１と、端部の外周に設けられるフランジ４２と、を有する。

第２流体流路４１は、その一端が第２継手部材４の突き合わせ端面４３で開口する。第２流体流路４１を通じてプロセスガス又はパージガスが半導体製造装置へ供給される。なお、第１流体流路２１と第２流体流路４１とを同径に形成することが好ましい。

本実施形態では、フランジ４２とナット部材３の底面部３１との間には、共回り防止用のベアリング５が設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、ベアリング５を設けなくてもよい。

第１継手部材２と同様に、ガスケット６の他方の端面に対向する第２継手部材４の環状（具体的には円環状）の突き合わせ端面４３には、第２当接領域４４及び第２突起４５が設けられる。第２突起４５は、第２当接領域４４よりも径方向の内側に位置する。

第２当接領域４４は、リテーナ７の第２リテーナ７２における第２挟持部７２２に当接するための平坦面である。第２当接領域４４は、第１当接領域２５と同様に、突き合わせ端面４３の外周縁に環状（具体的には、円環状）に形成される。

第２突起４５は、ガスケット６の一方の端面に押し付けられる。第２突起４５は、第１突起２６と同様に、突き合わせ端面４３から突出するように環状（具体的には、円環状）に形成される。また、第２突起４５は、その先端に向かうに従って先細りに形成される。

第１突起２６は、その突出量（すなわち、第１当接領域２５から第１突起２６の先端までの距離）が第２突起４５の突出量（すなわち、第２当接領域４４から第２突起４５の先端までの距離）と一致する。また、第１突起２６の先端と第２突起４５の先端とは、同一円周上に形成される。

ガスケット６は、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間に介装される環状（具体的には円環状）のシール材である。ガスケット６は、複数の外径を有することなく単一の外径を有する。これにより、ガスケット６の簡素化を図ることができる。

また、ガスケット６は、形状記憶合金から構成される。これにより、継手構造１のガスケット６として使用されたガスケット６に対し加熱等の工程を行うことにより、このガスケット６の形状を元に戻すことができるので、ガスケット６を使い捨てることなく、繰り返して再利用することができる。このため、ガスケット６の再利用による継手構造１の低コスト化を図ることができる。

リテーナ７は、ガスケット６を保持するための保持手段である。リテーナ７は、第１継手部材２の外周面（具体的には、段差部２２）に取り付けられる第１リテーナ７１と、着脱可能に第１リテーナ７１に取り付けられる第２リテーナ７２と、を有する。

第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２は、それぞれ第１継手部材２における第１当接領域２５及び第２継手部材４における第２当接領域４４に当接する。そして、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、ガスケット６を保持した第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２は、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持される。これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランス（すなわち、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間のクリアランス）は、ガスケット６、第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２の存在により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

なお、第１リテーナ７１、第２リテーナ７２、第１継手部材２及び第２継手部材４は、同じ金属製の材質から構成される。さらに、第１リテーナ７１、第２リテーナ７２、第１継手部材２及び第２継手部材４の硬度は、ガスケット６の硬度よりも高い。

図１から図２Ｄに示すように、第１リテーナ７１は、第１継手部材２の外周面（具体的には、段差部２２）に保持される第１被保持部７１１と、第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とに当接するように第１被保持部７１１に接続される第１挟持部７１２と、を有する。

第１被保持部７１１は、同一円周上に所定の間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の第１被保持爪７１１ａから構成される。そして、第１被保持部７１１は、段差部２２を摺動することができる。複数の第１被保持爪７１１ａは、軸方向に延在して形成される。複数の第１被保持爪７１１ａの基端は、第１挟持部７１２に接続される。

第１挟持部７１２は、第１被保持部７１１に接続される第１接続部７１３と、第１接続部７１３と径方向に重なるように第１接続部７１３に接続される第１増厚部７１４と、を有する。なお、第１挟持部７１２は、その厚み（すなわち、第１接続部７１３及び第１増厚部７１４の厚みの合計）が第１突起２６の突出量よりも僅かに小さい。

第１接続部７１３は、環状（具体的には、円環状）板から構成され、第１継手部材２の第１当接領域２５に当接する。第１接続部７１３の一方の端面における外周縁には、複数の第１被保持爪７１１ａが接続される。一方、第１接続部７１３の他方の端面における内周縁には、複数の第１増厚片７１４ａが接続される。

第１増厚部７１４は、ガスケット６の一方の端面における外縁に当接する。また、第１増厚部７１４は、同一円周上に所定の間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の第１増厚片７１４ａをそれぞれ径方向に折り曲げて構成される。なお、複数の第１増厚片７１４ａは、それぞれ複数の第１被保持爪７１１ａの位置に対応して設けられる。

また、本実施形態では、第１挟持部７１２は、第１接続部７１３及び第１増厚部７１４の両方から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、第１増厚部７１４を有することなく、第１接続部７１３のみから構成されてもよい。この場合、第１接続部７１３は、その厚みが本実施形態の第１接続部７１３及び第１増厚部７１４の厚みの合計となるように形成される。

第２リテーナ７２は、第１リテーナ７１と別体に形成される。これにより、メンテナンス又は部品の交換時に第１リテーナ７１と第２リテーナ７２とを分離させることで、ガスケット６を容易に取り外すことができる。

図１から図２Ｄに示すように、第２リテーナ７２は、第１被保持部７１１に保持されガスケット６を収容する第２被保持部７２１と、第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とに当接するように第２被保持部７２１に接続される第２挟持部７２２と、を有する。

第２被保持部７２１は、同一円周上に所定の間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の第２被保持爪７２１ａから構成される。そして、第２被保持部７２１は、第１被保持部７１１上を摺動することができる。また、ガスケット６は、複数の第２被保持爪７２１ａ内で摺動することができる。第２被保持爪７２１ａは、第１被保持爪７１１ａと同様に、軸方向に延在して形成される。

また、第２被保持部７２１は、ナット部材３の雌ねじ３３と接触しないように第１被保持部７１１と雌ねじ３３との間に配置される。これにより、第２被保持部７２１の熱膨張による雌ねじ３３への食い込みを防止することができる。

第２挟持部７２２は、第２被保持部７２１に接続される第２接続部７２３と、第２接続部７２３と径方向に重なるように第２接続部７２３に接続される第２増厚部７２４と、を有する。なお、第２挟持部７２２は、その厚み（すなわち、第２接続部７２３及び第２増厚部７２４の厚みの合計）が第１挟持部７１２の厚みと一致し、第２突起４５の突出量よりも僅かに小さい。

これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５からガスケット６の一方の端面までの距離と、第２当接領域４４からガスケット６の他方の端面までの距離とを同一にすることができる。さらに、上述したように、第１突起２６の突出量と第２突起４５の突出量とが一致するので、ガスケット６の一方の端面への第１突起２６の食い込み量（すなわち、第１突起２６の突出量と第１挟持部７１２の厚みとの差分）と、ガスケット６の他方の端面への第２突起４５の食い込み量（すなわち、第２突起４５の突出量と第２挟持部７２２の厚みとの差分）とを同一にすることができる。

第２接続部７２３は、環状（具体的には、円環状）板から構成され、第２継手部材４の第２当接領域４４に当接する。第２接続部７２３の一方の端面における外周縁には、複数の第２被保持爪７２１ａが接続される。一方、第２接続部７２３の他方の端面における内周縁には、複数の第２増厚片７２４ａが接続される。

第２増厚部７２４は、ガスケット６の他方の端面における外縁に当接する。また、第２増厚部７２４は、同一円周上に所定の間隔を空けて形成される複数（ここでは、三つ）の第２増厚片７２４ａをそれぞれ径方向に折り曲げて構成される。なお、複数の第２増厚片７２４ａは、それぞれ複数の第２被保持爪７２１ａの位置に対応して設けられる。

また、本実施形態では、第２挟持部７２２は、第２接続部７２３及び第２増厚部７２４の両方から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、第２増厚部７２４を有することなく、第２接続部７２３のみから構成されてもよい。この場合、第２接続部７２３は、その厚みが本実施形態の第２接続部７２３及び第２増厚部７２４の厚みの合計となるように形成される。

ガスケット６は、第１挟持部７１２と第２挟持部７２２との間に挟持されるように第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２により保持される。これにより、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、ガスケット６、第１リテーナ７１の第１挟持部７１２及び第２リテーナ７２の第２挟持部７２２により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

次に、図３を参照しながら継手構造１を組み付ける継手構造１の組み付け方法について説明する。

図３は、継手構造１を組み付ける継手構造１の組み付け方法を示すフローチャートである。

図３に示すように、まず、工程Ｓ１において、第１リテーナ７１と第２リテーナ７２との間に位置するようにガスケット６をリテーナ７に保持させる。具体的には、工程Ｓ１において、ガスケット６を第２リテーナ７２に収容させ、ガスケット６が収容された第２リテーナ７２を第１リテーナ７１に取り付ける。なお、このとき、ガスケット６は、第１リテーナ７１の第１挟持部７１２と第２リテーナ７２の第２挟持部７２２との間に位置する。

次に、工程Ｓ２において、ガスケット６が保持されたリテーナ７を第１継手部材２の外周面（具体的には、段差部２２）に取り付ける。具体的には、工程Ｓ２において、第２リテーナ７２が取り付けられた第１リテーナ７１を第１継手部材２の段差部２２に対し摺動させて外嵌する。

次に、工程Ｓ３において、第２継手部材４をナット部材３に挿入する。具体的には、工程Ｓ３において、ベアリング５を第２継手部材４の外周面に取り付けた状態で、第２継手部材４をナット部材３の貫通孔３２に貫通させるようにナット部材３に挿入する。このとき、ベアリング５は、ナット部材３の底面部３１と第２継手部材４のフランジ４２との間に位置する。

次に、工程Ｓ４において、リテーナ７が第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持されるとともにナット部材３に挿入された第２継手部材４の端部が係止されるようにリテーナ７が取り付けられた第１継手部材２にナット部材３をねじ込む。

具体的には、工程Ｓ４において、第１継手部材２にナット部材３をねじ込むと、第１継手部材２の第１当接領域２５と第２継手部材４の第２当接領域４４との間のクリアランスが小さくなる。そして、第１リテーナ７１の第１挟持部７１２が第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とに当接するとともに第２リテーナ７２の第２挟持部７２２が第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とに当接すると、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスが保たれる。したがって、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

本実施形態では、継手構造１の組み付け方法は、工程Ｓ１、工程Ｓ２及び工程Ｓ３の順に行われているが、これに限定されるものではなく、例えば、工程Ｓ１、工程Ｓ３及び工程Ｓ２の順に行われてもよい。又は工程Ｓ３、工程Ｓ１及び工程Ｓ２の順に行われてもよい。

次に、本実施形態による作用効果について説明する。

本実施形態に係る継手構造１は、内周に第１流体流路２１が形成されるとともに外周に雄ねじ２３が形成される第１継手部材２と、雄ねじ２３に螺合する雌ねじ３３を有するナット部材３と、内周に第２流体流路４１が形成され、端部がナット部材３内に係止される第２継手部材４と、第１継手部材２の突き合わせ端面２４と第２継手部材４の突き合わせ端面４３との間に介装されるガスケット６と、第１継手部材２の外周面に取り付けられる第１リテーナ７１と、着脱可能に第１リテーナ７１に取り付けられる第２リテーナ７２と、を有し、ガスケット６を第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２により保持するリテーナ７と、を備える。第１継手部材２の突き合わせ端面２４には、第１リテーナ７１が当接する第１当接領域２５と、第１当接領域２５よりも内側に位置するとともにガスケット６の一方の端面に押し付けられる第１突起２６と、が設けられ、第２継手部材４の突き合わせ端面４３には、第２リテーナ７２が当接する第２当接領域４４と、第２当接領域４４よりも内側に位置するとともにガスケット６の他方の端面に押し付けられる第２突起４５と、が設けられ、リテーナ７は、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持される。

本実施形態に係る継手構造１の組み付け方法は、第１リテーナ７１と第２リテーナ７２との間に位置するようにガスケット６をリテーナ７に保持させる工程Ｓ１と、ガスケット６が保持されたリテーナ７を第１継手部材２の外周面に取り付ける工程Ｓ２と、第２継手部材４をナット部材３に挿入する工程Ｓ３と、リテーナ７が第１当接領域２５と第２当接領域４４との間に挟持されるとともにナット部材３に挿入された第２継手部材４の端部が係止されるようにリテーナ７が取り付けられた第１継手部材２にナット部材３をねじ込む工程Ｓ４と、を備える。

これらの構成によれば、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、ガスケット６、第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２の存在により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

また、第１リテーナ７１及び第２リテーナ７２は、それぞれ第１当接領域２５及び第２当接領域４４に当接するので、第１継手部材２の突き合わせ端面２４及び第２継手部材４の突き合わせ端面４３に過剰締め付け防止用の突起を別途設ける必要がない。このため、第１継手部材２及び第２継手部材４の簡素化を図ることができる。

さらに、第２リテーナ７２は、着脱可能に第１リテーナ７１に取り付けられるので、メンテナンス又は部品の交換時に第１リテーナ７１と第２リテーナ７２とを分離させることで、ガスケット６を容易に取り外すことができる。

また、本実施形態では、第１リテーナ７１は、第１継手部材２の外周面に保持される第１被保持部７１１と、第１当接領域２５とガスケット６の一方の端面における外縁とに当接するように第１被保持部７１１に接続される第１挟持部７１２と、を有し、第２リテーナ７２は、第１被保持部７１１に保持されガスケット６を収容する第２被保持部７２１と、第２当接領域４４とガスケット６の他方の端面における外縁とに当接するように第２被保持部７２１に接続される第２挟持部７２２と、を有する。ガスケット６は、第１挟持部７１２と第２挟持部７２２との間に挟持される。

この構成によれば、ナット部材３が第１継手部材２に締め付けられた状態において、第１当接領域２５と第２当接領域４４との間のクリアランスは、ガスケット６、第１リテーナ７１の第１挟持部７１２及び第２リテーナ７２の第２挟持部７２２により保たれるので、ガスケット６への過剰締め付けを防止することができる。

また、本実施形態では、第１挟持部７１２は、第１被保持部７１１に接続される第１接続部７１３と、第１接続部７１３と重なるように第１接続部７１３に接続される第１増厚部７１４と、を有し、第２挟持部７２２は、第２被保持部７２１に接続される第２接続部７２３と、第２接続部７２３と重なるように第２接続部７２３に接続される第２増厚部７２４と、を有する。

この構成によれば、第１挟持部７１２及び第２挟持部７２２を容易に形成することができる。

また、本実施形態では、第２被保持部７２１は、ナット部材３の雌ねじ３３と接触しないように第１被保持部７１１と雌ねじ３３との間に配置される。

この構成によれば、第２被保持部７２１の熱膨張による雌ねじ３３への食い込みを防止することができる。

また、本実施形態では、ガスケット６は、形状記憶合金から構成される。

この構成によれば、ガスケット６への過剰締め付けによるガスケット６の潰れ（破壊）を防止することができるので、ガスケット６の形状記憶機能を維持することができる。

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

（変形例）
上述した実施形態では、第１リテーナ７１の第１被保持部７１１は、第１継手部材２の外周面に取り付けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、第２継手部材４の外周面に取り付けられてもよい。この場合、ナット部材３の雌ねじ３３は、上述した実施形態よりもナット部材３の底面部３１側に形成される。

また、上述した実施形態では、第１リテーナ７１における第１被保持部７１１及び第１挟持部７１２の第１接続部７１３は、それぞれ複数の第１被保持爪７１１ａ及び環状板から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれ筒状（具体的には、円筒状）部及び筒状部に所定の間隔を空けて形成される複数の爪部から構成されてもよい。この場合、第１接続部７１３としての複数の爪部には、それぞれ複数の第１増厚部７１４が接続される。これにより、第２リテーナ７２の第２被保持部７２１が第１リテーナ７１の第１被保持部７１１に対し相対的に回転して第１被保持部７１１から脱落してしまうことを無くすことができるので、第２被保持部７２１を第１被保持部７１１により確実に保持することができる。

また、上述した実施形態では、第２リテーナ７２における第２被保持部７２１及び第２挟持部７２２の第２接続部７２３は、それぞれ複数の第２被保持爪７２１ａ及び環状板から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれ筒状（具体的には、円筒状）部及び筒状部に所定の間隔を空けて形成される複数の爪部から構成されてもよい。この場合、第２接続部７２３としての複数の爪部には、それぞれ複数の第２増厚部７２４が接続される。これにより、第２リテーナ７２の第２被保持部７２１が第１リテーナ７１の第１被保持部７１１に対し相対的に回転して第１被保持部７１１から脱落してしまうことを無くすことができるので、第２被保持部７２１を第１被保持部７１１により確実に保持することができる。

また、上述した実施形態では、第１突起２６の突出量及び第１挟持部７１２の厚みは、それぞれ第２突起４５の突出量及び第２挟持部７２２の厚みと一致しているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれ第２突起４５の突出量及び第２挟持部７２２の厚みと異なってもよい。この場合、ガスケット６の一方の端面への第１突起２６の食い込み量（すなわち、第１突起２６の突出量と第１挟持部７１２の厚みとの差分）と、ガスケット６の他方の端面への第２突起４５の食い込み量（すなわち、第２突起４５の突出量と第２挟持部７２２の厚みとの差分）とが一致すれば足りる。

１ 継手構造
２ 第１継手部材
３ ナット部材
４ 第２継手部材
６ ガスケット
７ リテーナ（保持手段）
２１ 第１流体流路
２２ 凹部（保持部）
２３ 雄ねじ
２４ 突き合わせ端面（第１継手部材側）
２５ 第１当接領域
２６ 第１突起
３３ 雌ねじ
４１ 第２流体流路
４３ 突き合わせ端面（第２継手部材側）
４４ 第２当接領域
４５ 第２突起
７１ 第１リテーナ
７２ 第２リテーナ
７１１ 第１被保持部
７１２ 第１挟持部
７１３ 第１接続部
７１４ 第１増厚部
７２２ 第２挟持部
７２３ 第２接続部
７２４ 第２増厚部

Claims (5)

1. 内周に第１流体流路が形成されるとともに外周に雄ねじが形成される第１継手部材と、
   前記雄ねじに螺合する雌ねじを有するナット部材と、
   内周に第２流体流路が形成され、端部が前記ナット部材内に係止される第２継手部材と、
   前記第１継手部材の突き合わせ端面と前記第２継手部材の突き合わせ端面との間に介装されるガスケットと、
   前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周面に取り付けられる第１リテーナと、着脱可能に前記第１リテーナに取り付けられる第２リテーナと、を有し、前記ガスケットを前記第１リテーナ及び前記第２リテーナにより保持する保持手段と、を備え、
   前記第１継手部材の突き合わせ端面には、前記第１リテーナ及び前記第２リテーナのうちのいずれか一方が当接する第１当接領域と、前記第１当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの一方の端面に押し付けられる第１突起と、が設けられ、
   前記第２継手部材の突き合わせ端面には、前記第１リテーナ及び前記第２リテーナのうちのいずれか他方が当接する第２当接領域と、前記第２当接領域よりも内側に位置するとともに前記ガスケットの他方の端面に押し付けられる第２突起と、が設けられ、
   前記保持手段は、前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持され、
   前記第１リテーナは、
   前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周面に保持される第１被保持部と、
   前記第１当接領域及び前記第２当接領域のうちのいずれか一方と前記ガスケットに当接するように前記第１被保持部に接続される第１挟持部と、を有し、
   前記第２リテーナは、
   前記第１被保持部に保持され前記ガスケットを収容する第２被保持部と、
   前記第１当接領域及び前記第２当接領域のうちのいずれか他方と前記ガスケットに当接するように前記第２被保持部に接続される第２挟持部と、を有し、
   前記ガスケットは、前記第１挟持部と前記第２挟持部との間に挟持される、
   継手構造。
2. 前記第１挟持部は、
   前記第１被保持部に接続される第１接続部と、
   前記第１接続部と重なるように前記第１接続部に接続される第１増厚部と、を有し、
   前記第２挟持部は、
   前記第２被保持部に接続される第２接続部と、
   前記第２接続部と重なるように前記第２接続部に接続される第２増厚部と、を有する、
   請求項１に記載の継手構造。
3. 前記第２被保持部は、前記ナット部材の前記雌ねじと接触しないように前記第１被保持部と前記雌ねじとの間に配置される、
   請求項１又は２に記載の継手構造。
4. 前記ガスケットは、形状記憶合金から構成される、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の継手構造。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の継手構造を組み付ける継手構造の組み付け方法であって、
   前記第１リテーナと前記第２リテーナとの間に位置するように前記ガスケットを前記保持手段に保持させる工程と、
   前記ガスケットが保持された前記保持手段を前記第１継手部材又は前記第２継手部材の外周面に取り付ける工程と、
   前記第２継手部材を前記ナット部材に挿入する工程と、
   前記保持手段が前記第１当接領域と前記第２当接領域との間に挟持されるとともに前記ナット部材に挿入された前記第２継手部材の端部が係止されるように前記第１継手部材に前記ナット部材をねじ込む工程と、を備える、
   継手構造の組み付け方法。

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