JPH06186328A - 超音波距離測定装置 - Google Patents

超音波距離測定装置

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JPH06186328A
JPH06186328A JP4340543A JP34054392A JPH06186328A JP H06186328 A JPH06186328 A JP H06186328A JP 4340543 A JP4340543 A JP 4340543A JP 34054392 A JP34054392 A JP 34054392A JP H06186328 A JPH06186328 A JP H06186328A
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ultrasonic
transmitter
phase
frequencies
distance
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JP4340543A
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Atsuo Iida
安津夫 飯田
Nobuyasu Yamaguchi
伸康 山口
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、超音波を用いて、ペン先、人体の
指、頭等の動きや位置をパーソナルコンピュータ、ワー
クステーション、CAD等に入力する座標入力装置に適
用するのに好適な超音波距離測定装置に関し、座標入力
装置の座標指示分解能を大幅に向上させる。 【構成】 所定の2つの周波数を送受信してそれら各受
信信号の位相を求め、これらの位相に基づいて距離を測
定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を用いて距離を
測定する超音波距離測定装置に関し、特に、超音波を用
いて、ペン先、人体の指、頭等の動きや位置をパーソナ
ルコンピュータ、ワークステーション、CAD等に入力
する座標入力装置に適用するのに好適な超音波距離測定
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図13は、超音波を用いて座標を入力す
る座標入力装置を示すブロック図である。CRT等のモ
ニタ画面5aに隣接した位置に、この例では3つの超音
波受信器2a,2b,2cが固定され、一方ペンシル型
の操作子の先端に超音波送信器1が取り付けられてお
り、この操作子は、モニタ画面5aの前面でオペレータ
により操作される。操作子には図示しないスイッチが備
えられており、オペレータによりこのスイッチが押され
るとこの操作子先端に取り付けられた超音波送信器1か
ら超音波パルスが発せられる。この超音波パルスは3つ
の超音波送信器2a,2b,2cのそれぞれで受信さ
れ、各受信信号が座標計算部3に入力される。この座標
計算部3には、超音波送信器1から超音波が発せられた
タイミングを示す送信トリガ信号も入力され、この座標
計算部3で超音波送信器1(操作子) の3次元座標情報
が求められる。この求められた座標情報は計算機4に入
力され、モニタ画面5a上に表示すべき座標に変換さ
れ、表示情報としてモニタ5に送り込まれる。このモニ
タ画面5a上には例えば立体図が表示されており、この
立体図に重畳されてオペレータにより指示された3次元
座標が表示される。これにより、例えば、オペレータ
は、モニタ画面5aに表示されている立体構造物があた
かもモニタ画面5aの前面に存在するかのように考え
て、操作子でその立体構造物の3次元的な任意の位置を
指定することができる。尚ここでは計算機4とは別に座
標計算部3を備えているが、計算機4の内部で座標の計
算を行なってもよい。また、ここでは操作子側に超音波
送信器を備えているとして説明したが、操作子側には超
音波受信器を備え、モニタ側に超音波送信器を備えても
よい。
【0003】図14は、従来の座標解析のための超音波
の送受信波形を模式的に示した図である。送信波形は、
図に示すように、オペレータが上記スイッチを押す都
度、あるいはスイッチを押した後所定の時間間隔を置い
て繰り返し発生されるパルス状の波形である。これに対
する受信波形は、所定の包絡線を有するように繰り返し
正弦的に変化する波形となる。従来は、図14(a) の
受信波形に示すように、受信波形を所定のスレッシュホ
ールドをもってモニタしておき、送信開始時点から、受
信波形が所定のスレッシュホールドを横切るまでの伝播
時間τを各超音波受信器について測定し、距離L=τ×
C(Cは音速) を求め、これに基づいて超音波送信器1
(操作子) の座標を求めていた(特開昭52−1271
29号公報参照) 。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで空間超音波は
減衰が激しく、しかもその減衰は超音波周波数の2乗に
比例するため、実用的には例えば40kHz等かなり低
周波数域の超音波しか使用することができない。また減
衰が大きいこともあって超音波送信器と超音波受信器と
の間の距離により、受信波形の振幅がかなり大幅に変化
する。このため、伝播時間τは、例えば受信波形の最初
の波が所定のスレッシュホールドを越えるか否か等によ
り1周期分容易に変化し、40kHzの超音波ではこの
1周期分の伝播時間の変化は距離にして約8.5mmに
相当し、座標指示手段としては分解能が低すぎあまりに
も大雑把な座標しか指示できず実用にはほど遠いという
問題がある。
【0005】この問題を解決しようとしていくつかの方
法が提案されている。例えば特開昭59−102127
号公報には、図14(b) の受信波形に示すように、包
絡線検波し、この包絡線のピークに最も近いゼロクロス
点をもって伝播時間τとする方法が提案されている。し
かしこの包絡線は通常かなりゆるやかなスロープをもっ
ており、したがって包絡線のピークを求めるにあたって
1周期分程度の誤差を含んでしまい、結局、座標指示分
解能を向上させることはできない。
【0006】また特開昭63−283863号公報に
は、典型的な受信波形をあらかじめ記憶しておき、この
受信波形と超音波受信器により得られた受信波形との相
互相関演算を行ない、これにより受信波形の立ち上がり
の時刻を補正する方法が提案されている。しかし、この
場合相互相関演算により求められた波形も受信波形と同
様な形状の繰り返し波形となり、したがってやはり1周
期分程度の誤差を含んでしまうこととなる。
【0007】さらに、特開昭63−159779号公報
にはチャープ波圧縮技術を用いる方法が提案されてい
る。チャープ波とは周波数が連続的に変化する波形であ
る。このチャープ波を採用し例えば相関演算を行なう
と、ピークの鋭い相関演算波形が得られることは理論的
には示されているが、空中超音波は減衰が厳しいことか
らもともと狭帯域であって広帯域の空中超音波振動子を
製造することは極めて困難であり、結局例えば40kH
zに対し2kHz位しか変化させることはできず、この
程度周波数を変化させてもほとんど精度向上にはつなが
らない。
【0008】本発明は、上記事情に鑑み、座標入力装置
の座標指示分解能を大幅に向上させるに適した超音波距
離測定装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のための本
発明の超音波距離測定装置は、 (1) 超音波を送信する超音波送信器および該超音波送
信器から送信された超音波を受信する超音波受信器の双
方の機能を兼用あるいは分担する1つもしくは複数の超
音波トランスデューサ (2) 互いに異なる少なくとも2つの周波数の超音波を
超音波送信器から送信させるための駆動信号を発生する
送信部 (3) 超音波受信器で受信された少なくとも2つの周波
数の超音波それぞれの位相を検出する位相検出部 (4) 位相検出部により検出された少なくとも2つの位
相に基づいて超音波送信器および超音波受信器間の超音
波の伝播経路に沿う距離を求める距離解析部 を備えたことを特徴とする。
【0010】ここで上記送信部は、互いに異なる超音波
の周波数をf1 ,f2 、音速をc、測定距離範囲の最大
値をLmax としたとき、式 |f2 −f1 |<c/Lmax …(1) を満足する少なくとも2つの周波数f1 ,f2 の超音波
が超音波送信器から出力されるように超音波送信器を駆
動するものであり、この送信部は、超音波送信器からこ
れら少なくとも2つの周波数f1 ,f2 の超音波が順次
時間間隔を置いて送信されるように超音波送信器を駆動
するものであってもよく、あるいは、超音波送信器から
少なくとも2つの周波数f1 ,f2 の超音波が相前後し
て送信されるように超音波送信器を駆動するものであっ
てもよい。あるいは、上記送信部が、少なくとも2つの
周波数f1 ,f2 を包含する駆動信号を超音波送信器に
印加するものであり、かつこの超音波距離測定装置が、
超音波受信器で受信された超音波から少なくとも2つの
周波数f1 ,f2 の超音波をそれぞれ抽出するフィルタ
部を備えた構成としてもよい。
【0011】また、上記本発明の超音波距離測定装置に
おける上記位相検出部は、この位相検出部で検出される
位相を補正するための補正値を記憶する手段を有してい
ることが好ましい。またこの超音波距離測定装置が、上
記距離解析部で求められる距離を補正するための温度セ
ンサを備えることも好ましい態様である。
【0012】本発明の超音波距離測定装置を2次元座標
ないし3次元座標を求める装置として構成する場合は、
本発明の超音波距離測定装置は、互いに異なる各所定の
位置に配置された、超音波送信器あるいは超音波受信器
のいずれか一方として用いられる複数の第1の超音波ト
ランスデューサ、およびこの第1の超音波トランスデュ
ーサに対して移動自在に設けられた、超音波送信器ある
いは超音波受信器のうちの上記一方とは異なるいずれか
他方として用いられる第2の超音波トランスデューサを
備え、さらにこれら第1の超音波トランスデューサおよ
び第2の超音波トランスデューサを用いて求められた複
数の距離に基づいて第2の超音波トランスデューサの2
次元座標ないし3次元座標を求める座標解析部を備えた
構成が採用される。
【0013】
【作用】以下、本発明の超音波距離測定装置に関し、簡
単のため1組の超音波送信器と超音波受信器を用いた場
合について説明するが、1つの超音波送受信器を用いて
反射体との間の距離を求める場合も同様である。超音波
送信器と超音波受信器との間の距離をLとすると、 L=(n1 +x1 ) λ1 …(2) と表される。ここに、nは0以上の整数、λは波長、x
は0から1の間の数値であり、xλは距離Lをnλで割
った余りとなる。添え字の数字1は1番目の周波数の超
音波に関するものであることを表す。受信信号の位相検
出を行った場合に得られる情報は、xのみである。つま
りnが判明しないと距離Lが求められないため、位相検
出では絶対距離は求められないというのが通説であっ
た。
【0014】本発明者はnを求める手法をここに提案す
る。それは位相情報のみにより、極めて高精度に絶対座
標を求めるものである。そのために2以上の複数の周波
数の超音波を用いて、各々の超音波について、受信信号
の位相検出を行う。すなわち、上記(1) 式の場合と異
なる波長λ2 (すなわち異なる周波数) の超音波を用い
て、 L=(n2 +x2 ) λ2 …(3) に示すx2 を計測する。ここにn2 は整数である。
(2) 式と(3) 式では、式2つに対して未知数はL,
1 ,n2 の3つあるのでこのままでは解けない。
【0015】そこで制限を与える。n1 とn2 の差が1
以下となるようにλ1 ,λ2 を設定する。この理由は、
1 とn2 との差が2以上異なった場合には位相情報だ
けでは原理的にn1 とn2 の差を求めることができない
ために、解が求められないからである。n1 は(1) 式
より略L/λ1 、n2 は(2) 式より略L/λ2 であ
り、n1 とn2 の差はLの最大値において最大となるた
め |(Lmax /λ2 )−(Lmax /λ1 )|<1 …(4) の条件を与える。ここにLmax は測定する距離の最大値
である。(4) 式を変形すると上述した(1) 式 |f2 −f1 |<c/Lmax …(1) を得る。ここにcは音速、f1 ,f2 はそれぞれ波長λ
1 ,λ2 を有する超音波の周波数である。例えばf1
40kHzとすると、測定距離の最大値Lmax を300
mmとするためにはf2 を41kHz(39kHzでも
良い) とすれば良いことが(4) 式から導かれる。広帯
域の空中超音波振動子を製造することは極めて困難であ
るが、この程度の帯域は容易に持たせることができるた
め実用上の障害とはならない。以上ではLmax を測定距
離の最大値と定義したが、正確には測定距離範囲の最大
値とした方が正しい。例えば,Lmax を300mmとし
たとき、近距離の検出限界を0mmとした場合には30
0mmが測定距離の最大値となるが、近距離の検出限界
を100mmとした場合には測定距離の最大値は400
mmとなる。なお、1つの超音波送受信器を用いて反射
体との距離を求める場合は超音波が往復伝播する。した
がって、例えば測定距離の最大値を300mmとするた
めには(4) 式のLmax を600mmとして計算する。
【0016】f1 <f2 の場合について、(2) 式と
(3) 式からn1 を求める手法を以下説明する。f1
2 の場合、λ1 >λ2 となる。なおf1 >f2 の場合
2つの周波数の超音波を交代させて考えればよく、した
がってf1 <f2 としても一般性は失わない。λ1 >λ
2 の場合に、条件式(4) が成立するとn2 =n1 −1
にはならず、n2 =n1 もしくはn2 =n1 +1とな
る。
【0017】まずn2 =n1 の場合について説明する。
このときには(2) 式と(3) 式から n1 =(x2 λ2 −x1 λ1 )/(λ1 −λ2 ) …(5) となる。簡単のため、図1に示すn2 =n1 =3の場合
の例を用いて解析方法を説明する。2周波数において検
出される位相x1 ,x2 から、x1 λ1 ,x2 λ 2 を計
算する。x1 λ1 ,x2 λ2 はそれぞれ距離Lをλ1
λ2 で割った余りである。(5) 式を用いてn1 を求
め、このn1 を(2) 式に代入することにより絶対距離
Lを求めることができる。
【0018】次にn2 =n1 +1の場合には(2) 式と
(3) 式から n1 =(x2 λ2 −x1 λ1 +λ2 )/(λ1 −λ2 ) …(6) となる。図2にn1 =4、n2 =5の例を示す。x2 λ
2 をx2 λ2 +λ2 とすればn 2 =n1 =4となり、
(5) 式を適用できることがわかる。
【0019】以上に示すようにn2 =n1 かn2 =n1
+1かで適用する式は(5) 式、(6) 式と異なる。n
2 =n1 かn2 =n1 +1かは未知であるために、既知
のλ 1 ,λ2 ,x1 ,x2 を用いてこれを判定する必要
がある。以下にこの判定方法を説明する。n2 =n1
して(2) 、(3) 式を整理すると、 x2 λ2 −x1 λ1 =n1 (λ1 −λ2 ) …(7) となり、n2 =n1 +1として(2) 、(3) 式を整理
すると、 x2 λ2 −x1 λ1 =n1 (λ1 −λ2 ) −λ2 …(8) となる。ここでλ1 −λ2 >0、すなわち周波数f1
2 の場合を考える。
【0020】まず、n2 =n1 のときには、(7) 式か
らx2 λ2 >x1 λ1 となることがわかる。次に、n2
=n1 +1のときには、n1 はLmax /λ1 よりも小さ
いことを用いて(8) 式の右辺を変形すると n1 =(λ1 −λ2 ) −λ2 <Lmax (λ1 −λ2 ) /λ1 −λ2 =Lmax −Lmax λ2 /λ1 −λ2 =λ2 (Lmax /λ2 −Lmax /λ1 −1) …(9) となる。この(9) 式のλ2 以下のかっこ内は(4) 式
で与えた条件式から0以下である。よってn2 =n1
1のときは、必ずx2 λ2 <x1 λ1 であることがわか
る。
【0021】以上から、x2 λ2 >x1 λ1 のときはn
2 =n1 であり(8) 式を用いてn 1 を求め、x2 λ2
<x1 λ1 のときはn2 −n1 +1であり(9) 式を用
いてn1 を求めればよいことがわかる。最後に精度を検
討する。(5) 式の右辺において分子のλ1 とλ2 はほ
ぼ等しいので共にλ1 とし、分母のλ1 −λ2 をΔλと
置くと、(5) 式は n1 =(x2 −x1 ) λ1 /Δλ …(10) と近似できる。これから、n1 の精度はx2 −x1 、す
なわち位相検出の精度で決まることがわかる。
【0022】本発明者による中空超音波を用いた実験の
結果、最も簡単な回路を用いた場合でも位相検出精度は
波長の1/40程度は容易に達成できることが確認され
ている。整数であるn1 の精度は1未満にすれば良い。
このためには、位相検出精度が1/40程度の場合、λ
1 /Δλを40以下に設定することが必要条件である。
λ1 /Δλは、略f1 /(f2 −f1 ) である。上述の
1 =40kHz、f 2 =41kHzの例ではn1 の精
度はこの条件の限界に等しい。n1 の精度をさらに向上
するためには2つの手段が考えられる。1つはf1 を小
さくすることであり、1つはf2 −f1 を大きくするこ
とである。しかし、前者は、n1 の精度の向上には有効
であるが、波長λが大きくなるので、(2) 式に示した
距離Lの測定精度が低下する。
【0023】一方後者は距離Lの精度低下は無いもの
の、(1) 式からも明らかなようにL max の低下を招
く。Lmax を低下させずに精度を高めようとするために
は、位相検出の精度を高めることが肝要である。実際に
は、使用環境によって決まるLma x に対して、n1 すな
わちLmax /λ1 が位相検出精度の逆数に近い値になる
ようにλ1 、すなわち周波数f1 を決定する。
【0024】なお、音速は温度が10℃変化すると約2
%変化すると言われている。音速がn1 に与える影響は
(10) 式からも微小であることが容易にわかるが、
(1)式で示したように最終的な距離Lを求める際には
波長の変化分がそのまま誤差となる。この対策として
は、例えば装置に温度計を備え温度を計測して音速補正
を行う方法などあり、この誤差のキャンセルは可能であ
る。
【0025】また、(2) 式におけるx1 と実際に検出
される位相x1 ′との値には差が生じる。これは振動子
と送受信受信回路系が持つ時間遅れに起因する。この差
は距離Lに依存しない定数であるために、装置毎にキャ
リブレーションを行なうことにより容易に補正できる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
3は、本発明の超音波距離測定装置の第1の実施例のブ
ロック図、図4は本発明の超音波距離測定装置の第2の
実施例のブロック図である。また図5は送受信波形の例
を示した図である。第1の実施例(図3) と第2の実施
例(図4) の相違点は、第1の実施例(図3) は別々の
送信器13と受信器14を用いて構成した例であり、第
2の実施例(図4) は送受器と受信器双方の機能を兼用
する送受信器を用いた例である。第1の実施例では送信
器13と受信器14との間の距離L、第2の実施例では
送受信器と反射体との間の距離Lを測定する。両者とも
に受信信号の解析方法は同じであるため、以下では第1
の実施例について説明する。
【0027】発振器はまず基本周波数f1 の連続波形を
発生する。送信回路はこの波形を必要があれば増幅して
送信器を駆動する。送信回路では、図5に示すように、
発振器からの連続波形を切り出した波形で送信器を駆動
する。超音波は空中を伝播して受信器で受信され、電気
信号に変換される。これら送信器、受信器はPZTなど
の圧電性磁器、静電型マイクロホン、電磁コイルなどに
より構成される。受信信号は増幅器15で増幅され、位
相検出器16により位相検出される。
【0028】図6は、位相検出器の一例である直交検波
器を示したブロック図である。受信信号はまず、乗算器
により受信信号と同じ周波数の乗算波形との乗算が行わ
れる。乗算波形は一般的に互いに位相が90°異なる2
周波(sinとcos) の信号が用いられる。これらの
信号としては1つは発振器からの連続波形をそのまま用
い、もう一方は発振器からの連続波形にLC遅延線など
により、90°の位相遅延を持たせた信号を用いる。乗
算器の出力はLPFにより低周波数のみ抽出した後に比
を計算する。この比が受信信号の位相(tan2πfx
1 ) となる。このtan2πfx1 の逆関数tan
-1(tan2πfx1 ) を求めることにより受信信号の
瞬時の位相x1 が求まる。これらの逆関数tan-1は計
算により求める方法と、ROMテーブルを用いて求める
方法がある。直交検波は一般的にノイズに弱いという欠
点があるため、例えば時刻の異なる連続した数個のx1
を平均することが望ましい。
【0029】こうして周波数f1 での位相x1 を求めた
後に、発振器は基本周波数f2 の連続波形を発生し、上
記と同様の手法によって位相x2 を求める。発振器は例
えば図7のように各単一の周波数f1 ,f2 で発信する
2つの発振器を備えており、これを切り換えることによ
りf1 ,f2 の2つの基本周波数を出力する。上述の実
施例の場合は1つの距離を測定するために2回送受信を
行う必要があったが、要は2つの周波数を送信器から放
射すれば良い。1回の送受信で距離を測定する例を図
8,図9に示す。
【0030】図8は、本発明の超音波距離測定装置の第
3の実施例を表わしたブロック図、図9は図8に示す第
3の実施例で採用される送受信波形例を示した図であ
る。送信器はまず周波数f1 を所定のt時間放射し、そ
れに続いて周波数f2 の超音波を放射する。受信側では
超音波を受信してから少し経った時点でまず周波数f1
に合わせて位相検出を行う。その約t時間経過した後
に、周波数f2 に合わせて位相検出を行う。超音波の受
信を開始した時点は、簡単なスレッシュホールド回路1
個あれば検出可能である。
【0031】図10は、本発明の超音波距離測定装置の
第4の実施例のブロック図、図11は図10に示す第4
の実施例で採用される駆動波形例である。ここでは、送
信波形を図1に示したようなパルス状とする。パルスは
広い周波数帯域を有する。受信波形は送信器と受信器の
周波数帯域のために、送信波形よりは狭帯域となるが、
上記の2周波程度は包含されている。この受信波からバ
ンドパスフィルタでf 1 ,f2 の2周波を抽出し、各々
位相を検出する。なお、位相検出を直交検波で行う場合
にはバンドパスフィルタを省略することも可能である。
この場合には受信波に直接f1 ,f2 の周波数を乗算
し、後のローパスフィルタで直流成分のみ抽出すれば良
い。
【0032】図12は解析部における解析アルゴリズム
を示したフローチャートである。上記のようにして求め
た2周波での位相x1 ,x2 を基に、解析部にて図12
に示したアルゴリズムに従って距離を計算する。このア
ルゴリズムについては作用の欄で既に十分説明したので
ここでは説明を省略する。なお、このアルゴリズムで
は、位相x1 と実際に検出される位相x1 ′との差の位
相補正や、音速補正も行なわれる。位相補正は装置毎に
補正定数を持たせ、その定数の加減のみで行うので容易
である。音速補正は温度に応じた速度テーブルをROM
に入力しておき、例えば温度センサにより測定した温度
に応じた音速を用いる。
【0033】こうして求めた距離情報を図13に示した
ようなシステムに適用して2次元、3次元座標検出を行
うことができる。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波距
離測定装置は、所定の2つの周波数の超音波を送受信し
てそれら各受信信号の位相を求め、これらの位相に基づ
いて距離を測定するものであるため、距離が正確に測定
され、座標入力装置に好適な超音波測定装置が実現す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における距離測定原理の説明図である。
【図2】本発明における距離測定原理の説明図である。
【図3】本発明の超音波距離測定装置の第1の実施例の
ブロック図である。
【図4】本発明の超音波距離測定装置の第2の実施例の
ブロック図である。
【図5】送受信波形例を示した図である。
【図6】直交検波器を示したブロック図である。
【図7】発振器の例を示したブロック図である。
【図8】本発明の超音波距離測定装置の第3の実施例の
ブロック図である。
【図9】図8に示す第3の実施例で採用される送受信波
形例を示した図である。
【図10】本発明の超音波距離測定装置の第4の実施例
のブロック図である。
【図11】図10に示す第4の実施例で採用される駆動
波形例である。
【図12】解析部における解析アルゴリズムを示したフ
ローチャートである。
【図13】超音波を用いて座標を入力する座標入力装置
を示すブロック図である。
【図14】従来の座標解析のための超音波の送受信波形
を模式的に示した図である。
【符号の説明】
1 超音波送信器 2a,2b,2c 超音波受信器 3 座標計算部 4 計算機 5 モニタ 5a モニタ画面

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波を送信する超音波送信器および該
    超音波送信器から送信された超音波を受信する超音波受
    信器の双方の機能を兼用あるいは分担する1つもしくは
    複数の超音波トランスデューサと、 互いに異なる少なくとも2つの周波数の超音波を前記超
    音波送信器から送信させるための駆動信号を発生する送
    信部と、 前記超音波受信器で受信された少なくとも2つの周波数
    の超音波それぞれの位相を検出する位相検出部と、 該位相検出部により検出された少なくとも2つの位相に
    基づいて前記超音波送信器および前記超音波受信器間の
    超音波の伝播経路に沿う距離を求める距離解析部とを備
    えたことを特徴とする超音波距離測定装置。
  2. 【請求項2】 前記送信部が、互いに異なる超音波の周
    波数をf1 ,f2 、音速をc、測定距離範囲の最大値を
    max としたとき、式 |f2 −f1 |<c/Lmax を満足する少なくとも2つの周波数f1 ,f2 の超音波
    が前記超音波送信器から出力されるように該超音波送信
    器を駆動するものであることを特徴とする請求項1記載
    の超音波距離測定装置。
  3. 【請求項3】 前記送信部が、前記超音波送信器から少
    なくとも2つの周波数の超音波が順次時間間隔を置いて
    送信されるように該超音波送信器を駆動するものである
    ことを特徴とする請求項1記載の超音波距離測定装置。
  4. 【請求項4】 前記送信部が、前記超音波送信器から少
    なくとも2つの周波数の超音波が相前後して送信される
    ように該超音波送信器を駆動するものであることを特徴
    とする請求項1記載の超音波距離測定装置。
  5. 【請求項5】 前記送信部が、少なくとも2つの周波数
    を包含する前記駆動信号を前記超音波送信器に印加する
    ものであり、かつ前記超音波距離測定装置が、前記超音
    波受信器で受信された超音波から前記少なくとも2つの
    周波数の超音波をそれぞれ抽出するフィルタ部を備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の超音波距離測定装置。
  6. 【請求項6】 前記位相検出部が、前記位相検出部で検
    出される前記位相を補正するための補正値を記憶する手
    段を有することを特徴とする請求項1記載の超音波距離
    測定装置。
  7. 【請求項7】 前記超音波距離測定装置が、前記距離解
    析部で求められる前記距離を補正するための温度センサ
    を備えたことを特徴とする請求項1記載の超音波距離測
    定装置。
  8. 【請求項8】 前記超音波距離測定装置が、 互いに異なる各所定の位置に配置された超音波送信器あ
    るいは超音波受信器のいずれか一方として用いられる複
    数の第1の超音波トランスデューサ、および該第1の超
    音波トランスデューサに対して移動自在に設けられた、
    超音波送信器あるいは超音波受信器のうちの前記一方と
    異なるいずれか他方として用いられる第2の超音波トラ
    ンスデューサを備え、さらにこれら第1の超音波トラン
    スデューサおよび第2の超音波トランスデューサを用い
    て求められた複数の前記距離に基づいて前記第2の超音
    波トランスデューサの2次元座標ないし3次元座標を求
    める座標解析部を備えたことを特徴とする超音波距離測
    定装置。
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