JPH0618108A - 極低温冷凍装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧縮部で圧縮した冷媒体を極低温冷却部に与
えて冷凍を行う極低温冷凍装置のクールダウン時の冷却
促進と、周囲温度の影響などによる過負荷による中断回
避が可能な運転制御を行う。 【構成】 極低温冷却装置５００は、圧縮部１００で加
圧した冷媒体を往路管２１から極低温冷却部２００に与
えて極低温冷却を行う。復路管２５から排出された冷媒
体を再び圧縮部１００で加圧して循環する。往路管２１
側と復路管２５側間の側路管３１に配置した側路弁３２
を所要の動作差圧で開通して運転調整を行う調整部３０
０を設ける。側路弁３２を可変差圧弁３２１とし、圧力
検出器３３・３４で検出した往路管側と復路管側との差
圧により始動時点からの差圧の変化によって極低温冷却
部２００のクールダウン時を検出し、また、周囲温度・
圧縮部温度などの温度を検出する。各検出にもとづい
て、可変差圧弁３２１の動作差圧を、クールダウン時は
定常運転時よりも大きくし、また、温度に逆比例して小
さくするように制御回路１０１が制御するなどの制御構
成を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は加圧ガス体を冷却媒体
とし、膨張冷却機の負荷状態に対応して制御を行う極低
温冷凍装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の装置として、図４の極低温冷凍
装置５００ように、電動機１０Ａによって駆動する冷媒
圧縮機１０により、所定のガス体、例えば、ヘリウムガ
スを冷媒体として加圧した加圧冷媒体を往路管２１に供
給し、所要の極低温冷却を果して低圧化した冷媒体を復
路管２５から回収し、再び加圧して往路管２１に供給す
る圧縮部１００と、往路管２１から得られる加圧冷媒体
を供給弁２２を介して極低温冷却機２３に与え、所要の
極低温冷却を行って低圧化した冷媒体を排出弁２４を介
して復路管２５に戻す極低温冷却部２００と、往路管２
１と復路管２５との間を側路する側路管３１の途中に設
けた差圧で動作する側路弁３２に所要の圧力調節を与え
ることにより、極低温冷却機２３または冷媒圧縮機１０
に対する不要な高圧などを側路して極低温冷却機２３と
冷媒圧縮機１０との異常運転を防止するなどの運転調整
動作を行う調整部３００とを設けた構成（以下、第１従
来技術という）が周知である。

【０００３】上記の極低温冷却機２３を、電動機２３Ａ
により所定のシリンダ内を往復動作するディスプレーサ
により加圧冷媒体を膨張し、膨張時の吸熱作用によって
極低温の冷却を行う膨張冷却操作に関連付けて、供給弁
２２と排出弁２５とを開閉操作するようにした構成（以
下、第２従来技術という）が特開平３−１５８６６１な
どにより開示されており、こうした構成の極低温冷却機
を構成要素の一部に用いたものに、例えば、クライオポ
ンプがある。

【０００４】また、上記の第１従来技術では、側路弁３
２は、一般には、入口側の圧力と出口側の圧力との差が
規定値以上になったとき、開通するように構成した単な
る差圧弁を用いているが、こうした差圧弁のみによる構
成では、周囲温度などの運転条件によっては、安定な冷
却動作を行えない場合があるので、上記の調整部３００
を、圧縮機部１００内の実際の圧縮動作に対応する部分
に圧力検出器３３・３４を設けて検出した各圧力の圧力
差を演算して制御する差圧制御回路３５によって側路弁
３２を制御するようにした構成（以下、第３従来技術と
いう）が特開平３−２１７７６３などにより開示されて
いる。

【０００５】上記の第３従来技術の構成は、さらに具体
的には、図５のような構成になっている。図５におい
て、図４の符号と同一符号の部分は、図４によって説明
したものと同一の機能をもつ部分であり、各部は次のよ
うに動作する。

【０００６】圧縮機１１で加圧した冷媒体は、熱交換器
１２で圧縮による加温などの温度上昇分を冷却した後、
オイルセパレータ１３に与えて加圧の際に用いたオイル
分を分流し、オイル分は図示しない経路を介して圧縮機
１１に戻し、冷媒体はアドソーバ１４に与える。アドソ
ーバ１４はオイルセパレータでは分流しきれなかった細
かいオイル分を吸収分離して冷媒体のみを往路管２１に
送出する。

【０００７】冷媒体は、極低温冷却部２００で所要の冷
却目的を果した後、復路管２５に排出し、アキュムレー
タ１５に戻って、一時的に蓄え、再び圧縮機１１で加圧
するという循環経路をたどる。

【０００８】側路管３１を介して圧縮部１００に戻す冷
媒体は多少オイル分を含んだままでも、調整部３０の動
作には影響ないので、側路弁３１はオイルセパレータ１
３とアドソーバ１４の間の往路管部分から分岐してあ
る。

【０００９】差圧制御回路３５は、図５のように、復路
管２５のアキュムレータ１５に近い管路に配置した圧力
検出器３３と、圧縮機１１と熱交換器１２の間の圧縮機
１１に近い管路に配置した圧力検出器３４とで検出した
圧力により演算して制御している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記の極低温冷凍装置
５００における極低温冷却機２３、例えば、クライオポ
ンプなどを始動させるには、排気対象の気体が極低温冷
却機２３内の冷却体、例えば、コールドパネルに吸着さ
れる温度２０Ｋ以下まで冷却することが必要であり、こ
の冷却に要する時間をクールダウン時間と言っている。

【００１１】極低温冷却機２３は始動時点で常温に近い
状態にあるため、極低温冷却機２３内を流れる冷媒体の
流量は少なく、冷却が進行するに従って冷媒体の流量が
増加してくる。一方、圧縮機１１の圧縮容積と圧縮動作
のための電動機１０Ａの回転数とは一定なので、冷媒体
の流量が少ないと、冷媒体の流量が多い場合よりも、圧
縮機１１の入口側と出口側との圧力差は大きくなってし
まう。

【００１２】この圧力差が大きくなると、圧縮機１１に
は大きな負荷が掛かったことになり、圧縮機１１の系統
に故障を生ずる原因と誤って判断することになり、保護
装置を設けた場合には、保護装置が働いて運転が停止し
てしまう。このため、上記の第１従来技術や第２従来技
術では、所定の圧力差以上になった場合に側路弁３２を
差圧制御回路３５で開通して圧縮機１１に対する圧力差
を下げて所定値以下に維持するようにしているわけであ
る。

【００１３】しかしながら、極低温冷却機２３の始動時
点では、この圧力差が大きいほど冷凍量が大きくなり冷
却が促進し得るわけであり、これに対して差圧制御回路
３５はこの圧力差を下げる方向に動作してしまうので、
極低温冷却機２３側からみれば、冷却の促進を制限する
逆作用を行っていることになる。

【００１４】このため、図４のように、極低温冷却機２
３を動作する電動機２３Ａに与える電源を可変周波数電
源２７にして、極低温冷却機２３の始動時点では高速運
転し、冷却度が進行するにつれて低速に変化するように
した構成（以下、第４従来技術という）が特開昭６０−
１７１３５９などにより開示されている。

【００１５】こうした極低温冷却機２３を高速運転する
方法では、極低温冷却機２３の機械的運動部分の高速化
に伴う故障を招き易く、また、使用寿命を短くしてしま
うという不都合がある。

【００１６】一方、周囲温度が高い場合などは、圧縮部
１００は苛酷な条件下で動作することになるので、オー
バーロードリレーなどの過負荷保護装置が動作してしま
い、極低温冷却機２３が動作中にもかかわらず運転が中
断されてしまうという不都合がある。

【００１７】このため、こうした不都合のない構成で、
クールダウン時間を短縮し得るようにした極低温冷凍装
置の提供が望まれているという課題がある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な圧縮部で加圧した冷媒体を往路管から極低温冷却部に
供給して所要の極低温冷却を行うことにより復路管に排
出されて低圧化した冷媒体を再び圧縮部で加圧して循環
するとともに、上記の往路管側の経路に属する管路と復
路管側の経路に属する管路との間を側路する側路管に設
けた側路弁を所要の動作差圧にもとづいて開通動作する
ようにした極低温冷凍装置において、上記の側路弁とし
て可変差圧弁を設ける可変差圧弁手段と、上記の差圧弁
の往路管側の圧力と復路管側の圧力との差圧を検出して
始動時点からの差圧の変化により極低温冷却部のクール
ダウン時を検出するとともに、周囲温度あるいは圧縮部
温度を検出する検出手段と、上記の各検出にもとづい
て、可変差圧弁の動作差圧を、クールダウン時は定常運
転時よりも大きくし、周囲温度あるいは圧縮部温度に逆
比例して小さくするように制御する制御手段とを設ける
構成と、上記の側路弁として、所定の大きい動作差圧の
第１の差圧弁と、所定の小さい動作差圧の第２の差圧弁
とを並列に設ける並列差圧弁手段と、上記の極低温冷却
部のクールダウン時の情報を得る情報手段と、周囲温度
あるいは圧縮部温度を検出する検出手段と、上記の情報
と検出とにもとづいて、クールダウン時は第１の差圧弁
を選択し、周囲温度あるいは圧縮部温度が所定値よりも
高いときには第２の差圧弁を選択して動作するように制
御する制御手段とを設ける構成とにより上記の課題を解
決し得るようにしたものである。

【００１９】

【作用】極低温冷却機がクールダウン時の状態にあると
き、つまり、クールダウン時間中は、差圧弁が大きい動
作差圧で側路するため、圧縮部の入口側と出口側との圧
力差を大きくして圧縮動作を行うので、極低温冷却機に
流入する冷媒体の量が多くなり極低温冷却を促進するよ
うに作用するが、極低温冷却機がクールダウン時以外に
あるとき、つまり、クールダウン時間を経過した定常運
転状態のときと、周囲温度が高いときには、差圧弁が小
さい動作差圧で動作するため、圧縮部の動作を不安定に
し、または、過負荷状態にして極低温冷却を進行途中で
中断したりしないように作用する。

【００２０】

【実施例】以下、実施例を図１〜図３により説明する。
これらの図において、図４・図５の符号と同一符号で示
した部分は、図４・図５によって説明したものと同一の
機能をもつ部分である。

【００２１】〔第１実施例〕まず、第１実施例を図１に
より説明する。図１の構成は、側路弁３２として開通動
作する圧力差が可変調整できる差圧弁、つまり、可変差
圧弁３２１を設ける可変差圧弁手段と、差圧弁３２１の
往路管２１側の圧力と復路管２５側の圧力との差圧を圧
力検出器３３と圧力検出器３４により検出して始動時点
からの差圧の変化により極低温冷却部２００のクールダ
ウン時を検出するとともに、周囲温度を室温検出器１０
２により検出する検出手段と、上記の差圧の検出と周囲
温度の検出との各検出にもとづいて、可変差圧弁３２１
の動作差圧を、クールダウン時は定常運転時よりも大き
くし、周囲温度に逆比例して小さくするように制御する
制御回路１０１を設ける制御手段と設けたものである。

【００２２】具体的には、側路管３１は、往路管２１側
の経路に属する管路、つまり、オイルセパレータ１３と
アドソーバ１４との間の管路と、復路管２５側に属する
管路、つまり、アキュムレータ１５の入口側の管路とを
側路するように設けてあり、また、側路管３１に設けた
可変差弁３２１の往路管２１側に圧力検出器３３を、復
路管２５側に圧力検出器３４を設けて検出した各圧力値
を制御回路１０１に与えて、各検出値間の差、つまり、
差圧を検出することにより、始動時から始まるクールダ
ウン時間の間は差圧が大きく、定常運転に入ると差圧が
小さくなることを利用してクールダウン時を検出する。

【００２３】制御回路１０１は、上記の圧力検出による
クールダウン時の信号と、室温検出器１０２が検出した
圧縮部１００付近の周囲温度値、例えば、圧縮部１００
などを収納したケーシングパネルの外気吸込用のスリッ
ト近辺の温度、あるいは、圧縮機１１の本体の上部の温
度などの温度値と、上記の検出した差圧値とにより、ク
ールダウン時には可変差圧弁３２１の動作差圧を大き
く、つまり、開通動作する圧力差を大きくするように制
御するとともに、可変差圧弁３２１の動作差圧を検出し
た温度値に逆比例するように制御する。

【００２４】したがって、クールダウン時は可変差圧弁
３２１がクールダウン時の強制的な加圧に必要な大きい
圧力まで開通動作しないので、圧縮機１１は大きい圧力
で動作することができ、極低温冷却部２００には多量の
冷媒体が送り込まれることになり、極低温冷却を促進し
得ることになる。一方、周囲温度が高いときには、可変
差圧弁３２１が開通する圧力を小さい方に移行するの
で、圧縮機１１は無理のない圧力で動作することがで
き、オーバーロードリレーなどの過負荷保護装置を動作
して運転を中断してしまうようなことが起きない。

【００２５】〔第２実施例〕次に、図２により第２実施
例を説明する。図２の構成は、側路弁３２として、所定
の大きい動作差圧の第１の差圧弁３２２と、所定の小さ
い動作差圧の第２の差圧弁３２３とを並列に設ける並列
差圧弁手段と、極低温冷却部２００のクールダウン時の
情報を始動時の電源投入から所定時間をクールダウン時
間とするように制御回路１０１Ａなどによって得る情報
手段と、周囲温度を室温検出器１０２により検出する検
出手段と、上記の情報と検出とにもとづいて、クールダ
ウン時は第１の差圧弁３２２を選択し、周囲温度が所定
値よりも高いときには第２の差圧弁３２３を選択して動
作するように制御回路１０１Ａにより制御する制御手段
とを設けたものである。

【００２６】具体的には、側路管３１は、第１実施例の
場合と同様に設けてあり、また、側路管３１には、動作
差圧を調節した状態で固定できる差圧弁３２２・３２３
を並列にして設けてあり、差圧弁３２２は、クールダウ
ン時の圧縮部の強制的な運転に適するような大きい動作
差圧に調節して固定し、差圧弁３２２は、周囲温度が所
定値よりも高いときにオーバーロードリレーなどの保護
装置が動作しない程度の動作差圧に調節して固定してあ
る。

【００２７】差圧弁３２２・３２３は、それぞれ、開閉
弁３２２Ａ・３２３Ａを直列に接続して、開閉弁３２２
Ａ・３２３Ａのうちのいずれかを選択して開通動作する
ことにより差圧弁３２２・３２３のうちのいずれかを選
択するようにしてある。

【００２８】制御回路１０１Ａは、電源投入などによっ
て始動時点の信号を得るとともに、この始動時点の信号
からタイマ回路を動作させてクールダウン時間に相当す
る時間を作り、この時間の間をクールダウン時とする情
報として開閉弁３２２Ａを選択して開通動作することに
より、差圧弁３２２を選択して、側路管３１の通路を差
圧弁３２２を通る管路側にするように動作する。

【００２９】室温検出器１０２は、第１実施例の場合と
同様に温度を検出し、検出して得られた温度値が所定値
よりも高いときには、開閉弁３２３Ａを選択して開通動
作することにより、差圧弁３２３を選択して、側路管３
１の通路を差圧弁３２３を通る管路側にするように動作
する。

【００３０】したがって、クールダウン時は差圧弁３２
２がクールダウン時の強制的な加圧に必要な大きい圧力
まで開通動作しないので、圧縮機１１は大きい圧力で動
作することができ、極低温冷却部２００には多量の冷媒
体が送り込まれることになり、極低温冷却を促進し得る
ことになる。

【００３１】しかし、周囲温度が高いときには、仮にク
ールダウン時であっても差圧弁３２３が小さい圧力で開
通動作するので、圧縮機１１は無理のない圧力で動作す
ることができ、オーバーロードリレーなどの過負荷保護
装置を動作して運転を中断してしまうようなことが起き
ない。

【００３２】〔第３実施例〕次に、図３により第３実施
例を説明する。図３の構成は、側路弁３２として電磁開
閉弁などの単なる開閉弁３２４を設ける側路弁手段と、
開閉弁３２４の往路管２１側の圧力と復路管２５側の圧
力との差圧を圧力検出器３３と圧力検出器３４により検
出する差圧検出手段と、始動検出回路１１１により極低
温冷却部２００の電動機２３Ａの動作開始を検出すると
ともに、始動検出回路１１２により圧縮機１０の電動機
１０Ａの動作開始を検出する始動検出手段と、室温検出
器１０２により周囲温度を検出する検出手段と、上記の
各始動検出にもとづいてクールダウン時と定常運転時を
検出し、定常運転時には小さい差圧値を選択し、クール
ダウン時には大きい差圧値を選択し、各選択した差圧値
を周囲温度の検出にもとづいて温度に逆比例して小さく
するように演算した演算値を得るとともに、この演算値
と上記の各圧力検出による各圧力の差圧値とを比較した
出力によって上記の開閉弁３２４を開通動作するように
制御する制御回路１０１Ｂを設ける制御手段と設けたも
のである。

【００３３】具体的には、側路管３１と、圧力検出器３
３・３４と、室温検出器１０２とは、第１実施例の場合
と同様に設けてあり、また、側路弁３２は単なる開閉弁
３２４にしてある。

【００３４】始動検出回路１１１・１１２は、それぞ
れ、極低温冷却部２００の極低温冷却機２３を駆動する
電動機２３Ａに与える電圧を検出した検出信号Ａと、圧
縮部１００の圧縮機１１を駆動する電動機１０Ａに与え
る電圧とを検出した検出信号Ｂを得るようにしてある。

【００３５】制御回路１０１Ｂは、論理回路と演算回路
とによる処理部分と、クールダウン時に対応する大きい
差圧の基準値Ｃと、定常運転時に対応する小さい差圧の
基準値Ｄとを設定する設定部分と、クールダウン時に対
応する時間を計時する計時回路とを設けてある。

【００３６】そして、検出信号Ａと検出信号Ｂとを論理
回路に与えてクールダウン時か、定常運転時かを検出す
ることにより、クールダウン時には基準値Ｃを選択し、
定常運転時には基準値Ｄを選択するようにし、選択した
基準値を、室温検出器１０２から得られる温度値Ｅに逆
比例するように演算回路で演算して演算基準値Ｆを作
り、また、圧力検出器３３・３４の各圧力検出値から演
算回路で演算して差圧値Ｇを作り、差圧値Ｇと演算基準
値Ｆとを演算回路で比較演算して演算基準値Ｆよりも差
圧値Ｇの方が大きいときのみ、開閉弁３２４を開通動作
するための制御信号Ｈを得るとともに、論理回路で得ら
れたクールダウン時の出力で計時回路を計時してクール
ダウン時の終了信号Ｉを作り、この終了信号Ｉを論理回
路で判断して基準値Ｄを選択して動作するように切り替
えるようにしたものである。

【００３７】したがって、開閉弁３２４は、上記の第１
実施例とほぼ同様の作用を行って、クールダウン時の極
低温冷却の促進運転と、周囲温度に対する保全運転とを
行えるように動作することができる。

【００３８】〔変形実施〕 （１）側路管３１を往路管２１と復路管２５との間に設
けて構成する。

【００３９】（２）第２実施例におけるクールダウン時
の検出に、第３実施例における始動検出回路１１１・１
１２と同様の検出信号を与えるように構成する。

【００４０】（３）制御回路１０１・１０１Ａ・１０１
Ｂをマイクロコンピュータによる制御回路にして構成す
る。また、装置全体または装置の一部がマイクロコンピ
ュータによる制御を行っているときは、そのマイクロコ
ンピュータの制御の中に制御回路１０１・１０１Ａ・１
０１Ｂの制御を含ませて構成する。

【００４１】（４）各実施例において、室温検出器１０
２による検出温度の代わりに、圧縮部１００本体の上部
に温度検出器を設けて検出した検出温度を、制御部１０
１・１０１Ａ・１０１Ｂに与えて同様の温度に対する制
御を行うように構成する。

【００４２】（５）第１実施例において、圧縮部１００
に供給している電源電圧を検出し、検出した電圧値が所
定の基準値に対して比較し、この基準値よりも低いとき
および高いときに、可変差圧弁３２１の動作差圧を小さ
く……低いときは大きく、高いときは小さくするのでは
ないか？……して側路管３１の管路を開通するようにし
た制御機能を制御回路１０１に設けて構成する。

【００４３】また、第２実施例・第３実施例において、
上記と同様に、電源電圧を検出して得られる電圧値と所
定の基準値との比較に対応させて、側路管３１の管路を
開通するようにした制御機能を制御回路１０１Ａ・１０
１Ｂに設けて構成する。

【００４４】（６）第２実施例において、差圧弁とし
て、さらに、第３の差圧弁を１つ追加して並列に設ける
とともに、各差圧弁の動作差圧を「大」「中」「小」の
所要値に設定し、クールダウン時には「大」の動作差圧
の差圧弁を、検出した温度が所定値より高いときには
「小」の動作圧の差圧弁を、また、定常運転時には
「中」の動作差圧の差圧弁を通る管路の開閉弁を開通す
るようにした制御機能を制御回路１０１Ａに設けて構成
する。

【００４５】（７）第２実施例において、第１実施例と
同様に、圧力検出器３３・３４を設けて検出した差圧の
変化によりクールダウン時を判断して得られる情報によ
り開閉弁３２２Ａを選択する機能を制御回路１０１Ａに
設けて構成する。

【００４６】（８）上記の（６）の構成において、上記
の（７）の構成を設ける。

【００４７】

【発明の効果】この発明によれば、以上のように、極低
温冷却機がクールダウン時の運転状態にあるときは側路
弁が大きい動作差圧で側路するため、圧縮部の入口側と
出口側との圧力差を大きくして圧縮動作を行い、極低温
冷却機に流入する冷媒体の量を多くすることができるの
で、極低温冷却を促進することができ、また、極低温冷
却機がクールダウン時以外で定常運転の状態にあるとき
や、周囲温度が高いときには、差圧弁が小さい動作差圧
で動作するため、圧縮部の動作を不安定にし、または、
過負荷状態にして極低温冷却を進行途中で中断したりす
ることがなく、つねに安定した運転を行える極低温冷凍
装置を提供し得るなどの特長がある。

【図面の簡単な説明】

図１〜図３は、この発明の実施例を、また、図４〜図５
は従来の構成を示し、各図の内容は次のとおりである。

【図１】第１実施例のブロック構成図

【図２】第２実施例のブロック構成図

【図３】第３実施例のブロック構成図

【図４】概略のブロック構成図

【図５】具体的なブロック構成図

【符号の説明】

１０ 冷媒圧縮機 １０Ａ 電動機 １１ 圧縮機 １２ 熱交換器 １３ オイルセパレータ １４ アドソーバ １５ アキュムレータ ２１ 往路管 ２２ 供給弁 ２３ 極低温冷却機 ２３Ａ 電動機 ２４ 排出弁 ２５ 復路管 ２７ 可変周波数電源 ３１ 側路管 ３２ 側路弁 ３３ 圧力検出器 ３４ 圧力検出器 ３５ 差圧制御回路 １００ 圧縮部 １０１ 制御回路 １０１Ａ 制御回路 １０１Ｂ 制御回路 １０２ 室温検出器 １１１ 始動検出回路 １１２ 始動検出回路 ２００ 極低温冷却部 ３００ 調整部 ３２１ 可変差圧弁 ３２２ 第１の差圧弁 ３２２Ａ 開閉弁 ３２３ 第２の差圧弁 ３２３Ａ 開閉弁 ３２４ 開閉弁 ５００ 極低温冷凍装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧縮部で加圧した冷媒体を往路管から極
   低温冷却部に供給して所要の極低温冷却を行うことによ
   り復路管に排出されて低圧化した前記冷媒体を再び前記
   圧縮部で加圧して循環するとともに、前記往路管側の経
   路に属する管路と前記復路管側の経路に属する管路との
   間を側路する側路管に設けた側路弁を所要の動作差圧に
   もとづいて開通動作するようにした極低温冷凍装置であ
   って、 前記側路弁として可変差圧弁を設ける可変差圧弁手段
   と、 前記差圧弁の前記往路管側の圧力と前記復路管側の圧力
   との差圧を検出して始動時点からの差圧の変化により極
   低温冷却部のクールダウン時を検出するとともに、周囲
   温度あるいは圧縮部温度を検出する検出手段と、 前記各検出にもとづいて、前記可変差圧弁の動作差圧
   を、前記クールダウン時は定常運転時よりも大きくし、
   前記周囲温度あるいは圧縮部温度に逆比例して小さくす
   るように制御する制御手段とを具備することを特徴とす
   る極低温冷凍装置。
2. 【請求項２】 圧縮部で加圧した冷媒体を往路管から極
   低温冷却部に供給して所要の極低温冷却を行うことによ
   り復路管に排出されて低圧化した前記冷媒体を再び前記
   圧縮部で加圧して循環するとともに、前記往路管側の経
   路に属する管路と前記復路管側の経路に属する管路との
   間を側路する側路管に設けた側路弁を所要の動作差圧に
   もとづいて開通動作するようにした極低温冷凍装置であ
   って、 前記側路弁として、所定の大きい動作差圧の第１の差圧
   弁と、所定の小さい動作差圧の第２の差圧弁とを並列に
   設ける並列差圧弁手段と、 前記極低温冷却部のクールダウン時の情報を得る情報手
   段と、 周囲温度あるいは圧縮部温度を検出する検出手段と、 前記情報と前記検出とにもとづいて、前記クールダウン
   時は前記第１の差圧弁を選択し、前記周囲温度あるいは
   圧縮部温度が所定値よりも高いときには前記第２の差圧
   弁を選択して動作するように制御する制御手段とを具備
   することを特徴とする極低温冷凍装置。