JPH06173096A - 平板形状ワークの表面処理槽 - Google Patents
平板形状ワークの表面処理槽Info
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- JPH06173096A JPH06173096A JP32834492A JP32834492A JPH06173096A JP H06173096 A JPH06173096 A JP H06173096A JP 32834492 A JP32834492 A JP 32834492A JP 32834492 A JP32834492 A JP 32834492A JP H06173096 A JPH06173096 A JP H06173096A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】大型化・複雑化することなく、かつ取扱性およ
び信頼性の向上を図りつつ平板形状ワークの片面を効果
的に遮蔽して表面処理できるようにする。 【構成】平面形状がワークWと同等の形状とされた遮蔽
板11と、キャリアバー5が載置された場合にその重量
によって上昇限ULから下降限LLに移動する昇降部材
22と、昇降部材22が上昇限にある場合に遮蔽板11
を槽内壁面に接近配置させかつ下降限に移動された場合
に昇降部材22の移動力を駆動源として遮蔽板11を槽
内壁面より離隔させて浸漬されたワークWに接近配置さ
せる接離機構31とを設けた構成である。
び信頼性の向上を図りつつ平板形状ワークの片面を効果
的に遮蔽して表面処理できるようにする。 【構成】平面形状がワークWと同等の形状とされた遮蔽
板11と、キャリアバー5が載置された場合にその重量
によって上昇限ULから下降限LLに移動する昇降部材
22と、昇降部材22が上昇限にある場合に遮蔽板11
を槽内壁面に接近配置させかつ下降限に移動された場合
に昇降部材22の移動力を駆動源として遮蔽板11を槽
内壁面より離隔させて浸漬されたワークWに接近配置さ
せる接離機構31とを設けた構成である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、平板形状ワークの表面
処理槽(めっき処理槽,電着レジスト処理槽等)に関す
る。
処理槽(めっき処理槽,電着レジスト処理槽等)に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図4に従来の表面処理槽の概略構成を示
す。図において、2は槽本体である。槽本体2内には、
所定処理液が収容されているとともに電極6が設けられ
ている。なお、5はキャリアバーである。しかして、電
極6に給電するとともに、キャリアバー5を用いてワー
クWを槽内処理液に浸漬すると、当該ワークWには被膜
が形成される。
す。図において、2は槽本体である。槽本体2内には、
所定処理液が収容されているとともに電極6が設けられ
ている。なお、5はキャリアバーである。しかして、電
極6に給電するとともに、キャリアバー5を用いてワー
クWを槽内処理液に浸漬すると、当該ワークWには被膜
が形成される。
【0003】ここで、ワークWが、印刷用原板のように
平板形状である場合に、その一面(電極6と対向させる
面)に無駄なくしかも高品質に被膜を形成させるには、
他面を表面処理時に遮蔽する必要がある。
平板形状である場合に、その一面(電極6と対向させる
面)に無駄なくしかも高品質に被膜を形成させるには、
他面を表面処理時に遮蔽する必要がある。
【0004】従来、平板形状ワークWの片面を遮蔽する
方法としては、ワークWを槽内処理液に浸漬する前に遮
蔽する遮蔽板キャリアバー取付方式と、浸漬後に遮蔽す
る槽内遮蔽板水平移動方式とがある。
方法としては、ワークWを槽内処理液に浸漬する前に遮
蔽する遮蔽板キャリアバー取付方式と、浸漬後に遮蔽す
る槽内遮蔽板水平移動方式とがある。
【0005】遮蔽板キャリアバー取付方式は、図5に示
す如く、平板形状ワークWを吊下保持するキャリアバー
5に遮蔽板11Aを着脱可能に取り付けて当該ワークW
の片面を遮蔽するものである。一方、槽内遮蔽板水平移
動方式は、図6に示す如く、槽本体2内に遮蔽板11A
を水平移動可能に取り付け、ワーク浸漬時に当該遮蔽板
11Aを専用の駆動装置(図示省略)を用いて移動させ
てワークWの片面を遮蔽するものである。
す如く、平板形状ワークWを吊下保持するキャリアバー
5に遮蔽板11Aを着脱可能に取り付けて当該ワークW
の片面を遮蔽するものである。一方、槽内遮蔽板水平移
動方式は、図6に示す如く、槽本体2内に遮蔽板11A
を水平移動可能に取り付け、ワーク浸漬時に当該遮蔽板
11Aを専用の駆動装置(図示省略)を用いて移動させ
てワークWの片面を遮蔽するものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した遮
蔽板キャリアバー取付方式においては、液切性向上を図
るために遮蔽板11AをワークWの片面に密着に近い状
態で取り付けることができず、満足な遮蔽効果を得られ
ない欠点を有する。また、遮蔽板11Aをキャリアバー
5に取り付けた状態で槽内処理液に浸漬するので、液の
持ち出しが多く処理液の補充サイクルが短くなる欠点が
ある。また、遮蔽板11Aの取付け,取外しに手間が掛
かるといった問題点も有する。
蔽板キャリアバー取付方式においては、液切性向上を図
るために遮蔽板11AをワークWの片面に密着に近い状
態で取り付けることができず、満足な遮蔽効果を得られ
ない欠点を有する。また、遮蔽板11Aをキャリアバー
5に取り付けた状態で槽内処理液に浸漬するので、液の
持ち出しが多く処理液の補充サイクルが短くなる欠点が
ある。また、遮蔽板11Aの取付け,取外しに手間が掛
かるといった問題点も有する。
【0007】一方、槽内遮蔽板水平移動方式は、遮蔽板
11A専用の駆動装置を備えなければならないので、槽
が大型化・複雑化し設備コストの増大を招きやすい。ま
た、雰囲気の悪化等により駆動装置が腐蝕して故障しや
すい欠点を有する。
11A専用の駆動装置を備えなければならないので、槽
が大型化・複雑化し設備コストの増大を招きやすい。ま
た、雰囲気の悪化等により駆動装置が腐蝕して故障しや
すい欠点を有する。
【0008】本発明の目的は、上記事情に鑑み、大型化
・複雑化することなく、かつ取扱性および信頼性の向上
を図りつつ平板形状ワークの片面を効果的に遮蔽して表
面処理することができる平板形状ワークの表面処理槽を
提供することにある。
・複雑化することなく、かつ取扱性および信頼性の向上
を図りつつ平板形状ワークの片面を効果的に遮蔽して表
面処理することができる平板形状ワークの表面処理槽を
提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る平板形状ワ
ーク表面処理槽は、キャリアバーに吊下保持されかつ槽
内処理液に浸漬された平板形状ワークに所定の表面処理
を行う平板形状ワークの表面処理槽において、平面形状
が前記ワークと同等の形状とされかつ槽内壁面に対して
接近・離隔可能に設けられた遮蔽板と、常態において上
昇限に位置しかつ前記キャリアバーが載置された場合に
その重量によって下降限に移動する昇降部材を有する昇
降機構と、この昇降部材と係合し昇降部材が上昇限にあ
る場合に遮蔽板を槽内壁面に接近配置させかつ昇降部材
が下降限に移動された場合に該昇降部材の移動力を駆動
源として該遮蔽板を槽内壁面より離隔させて浸漬された
ワークに接近配置させる接離機構とからなる自動遮蔽装
置を設けたことを特徴とする。
ーク表面処理槽は、キャリアバーに吊下保持されかつ槽
内処理液に浸漬された平板形状ワークに所定の表面処理
を行う平板形状ワークの表面処理槽において、平面形状
が前記ワークと同等の形状とされかつ槽内壁面に対して
接近・離隔可能に設けられた遮蔽板と、常態において上
昇限に位置しかつ前記キャリアバーが載置された場合に
その重量によって下降限に移動する昇降部材を有する昇
降機構と、この昇降部材と係合し昇降部材が上昇限にあ
る場合に遮蔽板を槽内壁面に接近配置させかつ昇降部材
が下降限に移動された場合に該昇降部材の移動力を駆動
源として該遮蔽板を槽内壁面より離隔させて浸漬された
ワークに接近配置させる接離機構とからなる自動遮蔽装
置を設けたことを特徴とする。
【0010】
【作用】上記構成による本発明では、キャリアバーを昇
降部材に載置して当該バーに吊下保持された平板形状ワ
ークを槽内処理液に浸漬させると、その重量によって昇
降部材は上昇限より下降限まで移動(降下)する。する
と、接離機構は、昇降部材の移動力を駆動源として作動
されて、それまで槽内壁面に接近配置されていた遮蔽板
を該壁面より離隔する方向に移動させる。しかして、遮
蔽板は浸漬されたワークの片面に略密着する位置まで接
近し当該片面を遮蔽する。これにより、ワークは、片面
を遮蔽板によって十分に遮蔽された状態で表面処理され
る。
降部材に載置して当該バーに吊下保持された平板形状ワ
ークを槽内処理液に浸漬させると、その重量によって昇
降部材は上昇限より下降限まで移動(降下)する。する
と、接離機構は、昇降部材の移動力を駆動源として作動
されて、それまで槽内壁面に接近配置されていた遮蔽板
を該壁面より離隔する方向に移動させる。しかして、遮
蔽板は浸漬されたワークの片面に略密着する位置まで接
近し当該片面を遮蔽する。これにより、ワークは、片面
を遮蔽板によって十分に遮蔽された状態で表面処理され
る。
【0011】ここで、接離機構は、昇降部材の移動力
〔すなわち該昇降部材に作用するキャリアバー(および
平板形状ワーク)の重量〕を駆動源として作動されるの
で格別の駆動源(例えばシリンダ装置)を備える必要が
なく、槽が大型化・複雑化されない。また、故障の主要
発生源である駆動源を持たないので、その分信頼性の向
上を図ることができる。また、遮蔽板は、取付け,取外
しする必要がないので取扱性の向上が図られる。また、
液の持ち出しもない。
〔すなわち該昇降部材に作用するキャリアバー(および
平板形状ワーク)の重量〕を駆動源として作動されるの
で格別の駆動源(例えばシリンダ装置)を備える必要が
なく、槽が大型化・複雑化されない。また、故障の主要
発生源である駆動源を持たないので、その分信頼性の向
上を図ることができる。また、遮蔽板は、取付け,取外
しする必要がないので取扱性の向上が図られる。また、
液の持ち出しもない。
【0012】以上より、大型化・複雑化することなく、
かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平板形状ワー
クの片面を効果的に遮蔽して表面処理することができ
る。
かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平板形状ワー
クの片面を効果的に遮蔽して表面処理することができ
る。
【0013】
【実施例】本発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。本平板形状ワークの表面処理槽は、図1〜図3に示
す如く、基本的構成(槽本体2,キャリアバー5,電極
6等)が従来例と同様とされ、平板形状ワークWを槽内
処理液に浸漬した場合に当該ワークWの片面を自動的に
遮蔽する自動遮蔽装置10を備えた構成とされている。
なお、従来例(図4)と同一または共通する構成要素に
ついては同一の符号を付し、その説明を簡略または省略
する。
る。本平板形状ワークの表面処理槽は、図1〜図3に示
す如く、基本的構成(槽本体2,キャリアバー5,電極
6等)が従来例と同様とされ、平板形状ワークWを槽内
処理液に浸漬した場合に当該ワークWの片面を自動的に
遮蔽する自動遮蔽装置10を備えた構成とされている。
なお、従来例(図4)と同一または共通する構成要素に
ついては同一の符号を付し、その説明を簡略または省略
する。
【0014】ここで、自動遮蔽装置10は、図1に示す
如く、遮蔽板11,昇降機構21および接離機構31を
含み構成されている。
如く、遮蔽板11,昇降機構21および接離機構31を
含み構成されている。
【0015】遮蔽板11は、平面形状が平板形状ワーク
Wと同等の形状とされており、槽本体2内に平行運動リ
ンク機構15を介して槽内壁面3に対して接近・離隔可
能なるように取り付けられている。
Wと同等の形状とされており、槽本体2内に平行運動リ
ンク機構15を介して槽内壁面3に対して接近・離隔可
能なるように取り付けられている。
【0016】平行運動リンク機構15は、槽内壁面3側
の各支持板24,24に設けられた取付部材16U,1
6Lと,各取付部材16U,16Lに対向して遮閉板1
1側に設けられた支持部材17U,17Lと,対応する
取付部材および支持部材(16Uと17U,16Lと1
7L)とをピン等を用いて相対回転可能に連結する開閉
リンク18U,18Lとを含み構成されている。しかし
て、遮閉板11は、各開閉リンク18U,18L等を用
いて槽内壁面3に対して平行移動され当該壁面3に対し
て接近・離隔される。
の各支持板24,24に設けられた取付部材16U,1
6Lと,各取付部材16U,16Lに対向して遮閉板1
1側に設けられた支持部材17U,17Lと,対応する
取付部材および支持部材(16Uと17U,16Lと1
7L)とをピン等を用いて相対回転可能に連結する開閉
リンク18U,18Lとを含み構成されている。しかし
て、遮閉板11は、各開閉リンク18U,18L等を用
いて槽内壁面3に対して平行移動され当該壁面3に対し
て接近・離隔される。
【0017】また、昇降機構21は、図1および図2に
示す如く、常態において上昇限ULに位置しかつ平板形
状ワークWを保持したキャリアバー5が載置された場合
にその重量によって下降限LLに移動する昇降部材2
2,22を有する構成とされている。
示す如く、常態において上昇限ULに位置しかつ平板形
状ワークWを保持したキャリアバー5が載置された場合
にその重量によって下降限LLに移動する昇降部材2
2,22を有する構成とされている。
【0018】本実施例においては、昇降部材22,22
は、遮蔽板11上部に直結されている。これにより、昇
降部材22,22は、平行運動リンク機構15に案内さ
れて上下方向に移動されることになる。
は、遮蔽板11上部に直結されている。これにより、昇
降部材22,22は、平行運動リンク機構15に案内さ
れて上下方向に移動されることになる。
【0019】また、接離機構31は、昇降部材22,2
2と係合し昇降部材22,22が上昇限ULにある場合
に遮蔽板11を槽内壁面3に接近配置させかつ昇降部材
22,22が下降限LLに移動(下降)された場合に昇
降部材22,22の移動力を駆動源として遮蔽板11を
槽内壁面3より離隔させて浸漬されたワークWに接近配
置させる手段である。
2と係合し昇降部材22,22が上昇限ULにある場合
に遮蔽板11を槽内壁面3に接近配置させかつ昇降部材
22,22が下降限LLに移動(下降)された場合に昇
降部材22,22の移動力を駆動源として遮蔽板11を
槽内壁面3より離隔させて浸漬されたワークWに接近配
置させる手段である。
【0020】より具体的には、接離機構31は、前記平
行運動リンク機構15,昇降部材22,22および所定
個数の遮蔽板開閉用浮き部材32の協働により、当該昇
降部材22,22の昇降に連動して遮蔽板11を槽内壁
面3に接近した待期位置P2と浸漬されたワークWに略
密着する遮蔽位置P1とに位置決めする構成とされてい
る。各遮蔽板開閉用浮き部材32は、各自に作用する浮
力によって遮蔽板11を浮き上げ可能に形成されてい
る。
行運動リンク機構15,昇降部材22,22および所定
個数の遮蔽板開閉用浮き部材32の協働により、当該昇
降部材22,22の昇降に連動して遮蔽板11を槽内壁
面3に接近した待期位置P2と浸漬されたワークWに略
密着する遮蔽位置P1とに位置決めする構成とされてい
る。各遮蔽板開閉用浮き部材32は、各自に作用する浮
力によって遮蔽板11を浮き上げ可能に形成されてい
る。
【0021】すなわち、昇降部材22,22にキャリア
バー5が載置されておらず当該部材22,22が上昇限
ULに位置している場合には、遮蔽板11は各遮蔽板開
閉用浮き部材32に作用する浮力によって上方に付勢さ
れ平行運動リンク機構15を介して待期位置P2に位置
決めされる。また、昇降部材22,22にキャリアバー
5が載置されて当該部材22,22が上昇限ULから下
降限LLに移動した場合には、遮蔽板11は昇降部材2
2,22によって押されて各遮蔽板開閉用浮き部材32
に作用する浮力に抗しつつ降下して遮蔽位置P1に位置
決めされる。
バー5が載置されておらず当該部材22,22が上昇限
ULに位置している場合には、遮蔽板11は各遮蔽板開
閉用浮き部材32に作用する浮力によって上方に付勢さ
れ平行運動リンク機構15を介して待期位置P2に位置
決めされる。また、昇降部材22,22にキャリアバー
5が載置されて当該部材22,22が上昇限ULから下
降限LLに移動した場合には、遮蔽板11は昇降部材2
2,22によって押されて各遮蔽板開閉用浮き部材32
に作用する浮力に抗しつつ降下して遮蔽位置P1に位置
決めされる。
【0022】なお、図3中、8,9は位置規制ローラ
で、キャリアバー5が槽本体2に対して設定された位置
よりズレるのを防止する役目を果たす。
で、キャリアバー5が槽本体2に対して設定された位置
よりズレるのを防止する役目を果たす。
【0023】次に、本実施例の作用について説明する。
キャリアバー5を、図1および図3中2点鎖線に示す如
く、昇降部材22,22に載置して当該バー5に吊下保
持された平板形状ワークWを槽内処理液に浸漬させる
と、その重量によって昇降部材22,22は上昇限UL
より下降限LLまで移動(降下)する。すると、接離機
構31は、昇降部材22の移動力を駆動源として作動さ
れて、それまで待期位置P2に位置決めされていた遮蔽
板11を移動させて遮蔽位置P2に位置決めする。これ
により、遮蔽板11は、図1および図3中実線で示す如
く、ワークWの片面に略密着し当該片面を遮蔽する。こ
れにより、平板形状ワークWは、片面を遮蔽板11によ
って十分に遮蔽された状態で表面処理される。
キャリアバー5を、図1および図3中2点鎖線に示す如
く、昇降部材22,22に載置して当該バー5に吊下保
持された平板形状ワークWを槽内処理液に浸漬させる
と、その重量によって昇降部材22,22は上昇限UL
より下降限LLまで移動(降下)する。すると、接離機
構31は、昇降部材22の移動力を駆動源として作動さ
れて、それまで待期位置P2に位置決めされていた遮蔽
板11を移動させて遮蔽位置P2に位置決めする。これ
により、遮蔽板11は、図1および図3中実線で示す如
く、ワークWの片面に略密着し当該片面を遮蔽する。こ
れにより、平板形状ワークWは、片面を遮蔽板11によ
って十分に遮蔽された状態で表面処理される。
【0024】ここで、接離機構31は、昇降部材22,
22の移動力〔すなわち該昇降部材22,22に作用す
るキャリアバー5(および平板形状ワークW)〕の重量
を駆動源として作動されるので格別の駆動源(例えばシ
リンダ装置)を備える必要がなく、槽本体2が大型化・
複雑化されない。また、このように、故障の主要発生源
である駆動源を持たないので、その分信頼性の向上を図
ることができる。
22の移動力〔すなわち該昇降部材22,22に作用す
るキャリアバー5(および平板形状ワークW)〕の重量
を駆動源として作動されるので格別の駆動源(例えばシ
リンダ装置)を備える必要がなく、槽本体2が大型化・
複雑化されない。また、このように、故障の主要発生源
である駆動源を持たないので、その分信頼性の向上を図
ることができる。
【0025】また、遮蔽板11は、従来の如くキャリア
バー5に取り付けた場合とは異なり取付け,取外しする
必要がないので、取扱性の向上が図れる。また、液の持
ち出しも大幅に減少されるので、液補給量を低減するこ
とができる。
バー5に取り付けた場合とは異なり取付け,取外しする
必要がないので、取扱性の向上が図れる。また、液の持
ち出しも大幅に減少されるので、液補給量を低減するこ
とができる。
【0026】以上より、大型化・複雑化することなく、
かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平板形状ワー
クWの片面を効果的に遮蔽して表面処理することができ
る。また、昇降部材22,22を、遮蔽板11に直結し
た構成としたので、当該昇降部材22,22を平行運動
リンク機構15を用いて上下方向に案内することがで
き、格別のガイド部材を必要としない。その結果、部品
数を減少させることができ、より一層の構成の簡素化お
よびコスト低減を図ることができる。
かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平板形状ワー
クWの片面を効果的に遮蔽して表面処理することができ
る。また、昇降部材22,22を、遮蔽板11に直結し
た構成としたので、当該昇降部材22,22を平行運動
リンク機構15を用いて上下方向に案内することがで
き、格別のガイド部材を必要としない。その結果、部品
数を減少させることができ、より一層の構成の簡素化お
よびコスト低減を図ることができる。
【0027】なお、遮蔽板11を、所定形状の穴を有す
るマスキングプレートより形成してもよい。
るマスキングプレートより形成してもよい。
【0028】また、接離機構31の一構成要素である遮
蔽板開閉用浮き部材32の代わりに遮蔽板11を上方に
付勢して待期位置P2に位置決めする付勢手段(例え
ば、ばね部材)を用いてもよい。
蔽板開閉用浮き部材32の代わりに遮蔽板11を上方に
付勢して待期位置P2に位置決めする付勢手段(例え
ば、ばね部材)を用いてもよい。
【0029】また、昇降部材22,22を遮蔽板11と
直結せず、例えば平行運動リンク機構15を介して連結
するように構成してもよい。
直結せず、例えば平行運動リンク機構15を介して連結
するように構成してもよい。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、平面形状がワークと同
等の形状とされかつ槽内壁面に対して接近・離隔可能に
取り付けられた遮蔽板と、常態において上昇限に位置し
かつキャリアバーが載置された場合にその重量によって
下降限に移動する昇降部材を有する昇降機構と、この昇
降部材と係合し昇降部材が上昇限にある場合に遮蔽板を
槽内壁面に接近配置させかつ昇降部材が下降限に移動さ
れた場合に該昇降部材の移動力を駆動源として該遮蔽板
を槽内壁面より離隔させて浸漬されたワークに接近配置
させる接離機構とからなる自動遮蔽装置を設けた構成と
したので、該自動遮蔽装置によって大型化・複雑化する
ことなく、かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平
板形状ワークの片面を効果的に遮蔽して表面処理するこ
とができる。すなわち、自動遮蔽装置の接離機構は、昇
降部材の移動力〔つまり該昇降部材に作用するキャリア
バー(および平板形状ワーク)の重量〕を駆動源として
作動されるので格別の駆動源(例えばシリンダ装置)を
備える必要がなく、槽が大型化・複雑化されない。ま
た、故障の主要発生源である駆動源を持たないので、そ
の分信頼性の向上を図ることができる。また、遮蔽板
は、取付け,取外しする必要がないので取扱性の向上が
図られる。
等の形状とされかつ槽内壁面に対して接近・離隔可能に
取り付けられた遮蔽板と、常態において上昇限に位置し
かつキャリアバーが載置された場合にその重量によって
下降限に移動する昇降部材を有する昇降機構と、この昇
降部材と係合し昇降部材が上昇限にある場合に遮蔽板を
槽内壁面に接近配置させかつ昇降部材が下降限に移動さ
れた場合に該昇降部材の移動力を駆動源として該遮蔽板
を槽内壁面より離隔させて浸漬されたワークに接近配置
させる接離機構とからなる自動遮蔽装置を設けた構成と
したので、該自動遮蔽装置によって大型化・複雑化する
ことなく、かつ取扱性および信頼性の向上を図りつつ平
板形状ワークの片面を効果的に遮蔽して表面処理するこ
とができる。すなわち、自動遮蔽装置の接離機構は、昇
降部材の移動力〔つまり該昇降部材に作用するキャリア
バー(および平板形状ワーク)の重量〕を駆動源として
作動されるので格別の駆動源(例えばシリンダ装置)を
備える必要がなく、槽が大型化・複雑化されない。ま
た、故障の主要発生源である駆動源を持たないので、そ
の分信頼性の向上を図ることができる。また、遮蔽板
は、取付け,取外しする必要がないので取扱性の向上が
図られる。
【図1】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図2】同じく、自動遮蔽装置の各構成要素の相互位置
関係を説明するための図である。
関係を説明するための図である。
【図3】同じく、自動遮蔽装置のワーク片面遮蔽動作を
説明するための斜視図である。
説明するための斜視図である。
【図4】従来の表面処理槽を用いて平板形状ワークに表
面処理を行う様子を示す図である。
面処理を行う様子を示す図である。
【図5】従来の平板形状ワークの片面遮蔽方式の一例を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図6】従来の平板形状ワークの片面遮蔽方式の別の例
を説明するための図である。
を説明するための図である。
2 槽本体 5 キャリアバー 10 自動遮蔽装置 11 遮蔽板 21 昇降機構 22 昇降部材 31 接離機構
Claims (1)
- 【請求項1】 キャリアバーに吊下保持されかつ槽内処
理液に浸漬された平板形状ワークに所定の表面処理を行
う平板形状ワークの表面処理槽において、 平面形状が前記ワークと同等の形状とされかつ槽内壁面
に対して接近・離隔可能に設けられた遮蔽板と、常態に
おいて上昇限に位置しかつ前記キャリアバーが載置され
た場合にその重量によって下降限に移動する昇降部材を
有する昇降機構と、この昇降部材と係合し昇降部材が上
昇限にある場合に遮蔽板を槽内壁面に接近配置させかつ
昇降部材が下降限に移動された場合に該昇降部材の移動
力を駆動源として該遮蔽板を槽内壁面より離隔させて浸
漬されたワークに接近配置させる接離機構とからなる自
動遮蔽装置を設けたことを特徴とする平板形状ワークの
表面処理槽。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32834492A JP3172894B2 (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 平板形状ワークの表面処理槽 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32834492A JP3172894B2 (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 平板形状ワークの表面処理槽 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06173096A true JPH06173096A (ja) | 1994-06-21 |
JP3172894B2 JP3172894B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=18209192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32834492A Expired - Fee Related JP3172894B2 (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 平板形状ワークの表面処理槽 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3172894B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0745702A1 (de) * | 1995-06-03 | 1996-12-04 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Vorrichtung zur elektrophoretischen Beschichtung von Substraten |
-
1992
- 1992-12-09 JP JP32834492A patent/JP3172894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0745702A1 (de) * | 1995-06-03 | 1996-12-04 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Vorrichtung zur elektrophoretischen Beschichtung von Substraten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3172894B2 (ja) | 2001-06-04 |
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