CN208444811U - 一种湿法栏具提升固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及湿法设备技术领域，尤其涉及一种湿法栏具提升固定装置。该装置包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与湿法栏具相连。本实用新型通过湿法栏具提升机构对湿法栏具进行整体提升操作，通过晶片基座提升机构和晶片基座固定机构分别对湿法栏具中的晶片基座进行提升和固定操作，不仅操作方便，而且能够实现多片晶片基座的同时提升和固定，提高了工作效率，保证了操作精度以及工作质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及湿法设备技术领域，尤其涉及一种湿法栏具提升固定装置。
背景技术
在太阳能薄膜电池的生产过程中，晶片需要放入湿法设备的栏具内，经过湿法工艺处理之后，还需要把晶片从湿法栏具中取出。湿法栏具内部是一层层的晶片基座堆叠而成，在放入和取出晶片时，需把上层的晶片基座提起，才能完成晶片的取放动作。然而现有的晶片取放操作方式存在操作不便，工作效率低的问题。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种湿法栏具提升固定装置，解决现有晶片取放方式存在的操作不便，工作效率低的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具和晶片基座从浸浴槽提升、固定，该装置包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在所述浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与所述湿法栏具相连。
进一步地，所述湿法栏具提升机构包括固定支架、设置在所述固定支架上的第一驱动控制机构、以及与所述第一驱动控制机构相连的升降托板，其中所述第一驱动控制机构控制所述升降托板进行上下运动，所述升降托板与所述湿法栏具相连。
具体地，所述升降托板包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽；在所述湿法栏具的上端左右两侧分别设有卡柱，两个所述卡柱对应卡装在两个所述卡槽中。
进一步地，所述晶片基座提升机构包括两个侧板、设置在两个所述侧板之间的两个提升杆、控制两个所述提升杆进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。
进一步地，所述晶片基座固定机构包括设置在两个所述侧板之间的两个固定杆、以及控制两个所述固定杆沿水平向进行开合运动的第四驱动控制机构。
具体地，所述第二驱动控制机构包括Z轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述Z轴导轨进行运动的第二驱动装置；所述第三驱动控制机构包括第一Y轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述第一Y轴导轨进行运动的第三驱动装置；所述第四驱动控制机构包括第二Y轴导轨以及驱动所述固定杆沿所述第二Y轴导轨进行运动的第四驱动装置。
具体地，所述侧板上设有与所述Z轴导轨滑动配合的活动连接板，所述第一驱动装置与所述活动连接板驱动连接；所述第一Y轴导轨和所述第三驱动装置分别设置在所述活动连接板上，所述提升杆与所述第一Y轴导轨滑动配合；在所述侧板上设有固定连接板，所述第二Y轴导轨设置在所述固定连接板上。
具体地，在两个所述提升杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的提升爪，两个所述提升杆上的所述提升爪相对设置。
具体地，在两个所述固定杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的固定爪，两个所述固定杆上的所述固定爪相对设置，其中所述固定爪为L形结构，所述固定爪悬挂连接在所述固定杆上。
进一步地，还包括设置在所述浸浴槽开口处的第一传感器、用于检测所述湿法栏具提升位置的第二传感器和用于检测所述晶片基座提升位置的第三传感器；其中所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述侧板上；或在所述浸浴槽上设有安装板，所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述安装板上。
(三)有益效果
本实用新型的上述技术方案具有如下优点：
本实用新型提供的湿法栏具提升固定装置，通过湿法栏具提升机构对湿法栏具进行整体提升操作，通过晶片基座提升机构和晶片基座固定机构分别对湿法栏具中的晶片基座进行提升和固定操作，不仅操作方便，而且能够实现多片晶片基座的同时提升和固定，提高了工作效率。
本实用新型提供的湿法栏具提升固定装置，通过在浸浴槽上设置第一传感器，用于检测湿法栏具中的同一层晶片基座的高度误差是否在预设范围内，通过设置第二传感器和第三传感器，能够分别检测湿法栏具的提升位置和晶片基座的提升位置，从而保证操作精度以及工作质量。
附图说明
图1是本实用新型实施例湿法栏具提升固定装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施例湿法栏具提升固定装置中晶片基座提升机构和晶片基座固定机构的结构示意图；
图3是本实用新型实施例湿法栏具提升固定装置中湿法栏具提升机构的结构示意图；
图4是本实用新型实施例湿法栏具提升固定装置中湿法栏具的结构示意图；
图5是本实用新型实施例湿法栏具提升固定装置中浸浴槽的结构示意图。
图中：
1：晶片基座提升机构；101：侧板；102：提升杆；103：Z轴导轨；104：第二驱动装置；105：第一Y轴导轨；106：第三驱动装置；107：活动连接板；108：提升爪；109：固定连接板；2：湿法栏具；201：卡柱；3：湿法栏具提升机构；301：固定支架；302：升降托板；303：第一驱动控制机构；304：卡槽；4：浸浴槽；5：晶片基座；6：第一传感器；7：晶片基座固定机构；701：固定杆；702：第二Y轴导轨；703：第四驱动装置；704：固定爪。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-5所示，本实用新型实施例提供一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具2和晶片基座5从浸浴槽4提升、固定。该装置包括晶片基座提升机构1、晶片基座固定机构7和湿法栏具提升机构3，其中所述晶片基座提升机构1设置在所述浸浴槽4的开口上方，所述晶片基座固定机构7设置在所述晶片基座提升机构1上，所述湿法栏具提升机构3与所述湿法栏具3相连。
所述湿法栏具提升机构3包括固定支架301、设置在所述固定支架301上的第一驱动控制机构303、以及与所述第一驱动控制机构303相连的升降托板302，其中所述第一驱动控制机构303控制所述升降托板302进行上下运动，所述升降托板302与所述湿法栏具2的上端相连。
其中，所述第一驱动控制机构303包括直线导轨以及驱动所述升降托板302沿所述直线导轨进行升降运动的第一驱动装置，由于所述升降托板302与所述湿法栏具2相连，在所述第一驱动装置驱动所述升降托板302进行升降运动时，带动所述湿法栏具2随之进行升降运动。
其中，所述升降托板302包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽304，在所述湿法栏具2的上端左右两侧分别设有卡柱201，两个所述卡柱201能够对应卡装在两个所述卡槽304中。
所述晶片基座提升机构1包括两个侧板101、设置在两个所述侧板101之间的两个提升杆102、控制两个所述提升杆102进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆102沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。
其中，所述第二驱动控制机构包括Z轴导轨103以及驱动所述提升杆102沿所述Z轴导轨103进行升降运动的第二驱动装置104。所述第三驱动控制机构包括第一Y轴导轨105以及驱动所述提升杆102沿所述第一Y轴导轨105进行开合运动的第三驱动装置106，通过两个所述提升杆102之间的开合运动来实现对所述晶片基座5的抓取和松开动作。
在本实施例中，所述第二驱动装置104设置在所述侧板101上，在所述侧板101上设有与所述Z轴导轨103滑动配合的活动连接板107，所述第二驱动装置104与所述活动连接板107驱动连接。所述第一Y轴导轨105和所述第三驱动装置106分别设置在所述活动连接板107上，所述提升杆102与所述第一Y轴导轨105滑动配合。也即，所述第二驱动装置104驱动所述活动连接板107沿所述Z轴导轨103进行升降运动，进而带动所述提升杆102进行升降运动。
所述晶片基座固定机构7包括设置在两个所述侧板101之间的两个固定杆701、以及控制两个所述固定杆701沿水平向进行开合运动的第四驱动控制机构。
其中，所述第四驱动控制机构包括第二Y轴导轨702以及驱动所述固定杆701沿所述第二Y轴导轨702进行开合运动的第四驱动装置703，通过两个所述固定杆701之间的开合运动来实现对所述晶片基座5的抓取和松开动作。
其中，所述侧板101上设有固定连接板109，所述第二Y轴导轨702设置在所述固定连接板109上，所述第四驱动装置703可以设置在所述固定连接板109或所述侧板101上。
具体来说，所述第一驱动装置、第二驱动装置104、第三驱动装置106和第四驱动装置703可以采用气缸、油缸、电液推杆或其它能够实现直线驱动的装置。
具体来说，在两个所述提升杆102上分别设有用于抓取所述晶片基座5的提升爪108，两个所述提升杆102上的所述提升爪108相对设置。在两个所述固定杆701上分别设有用于抓取所述晶片基座5的固定爪704，两个所述固定杆701上的所述固定爪704相对设置，其中所述固定爪704为L形结构，所述固定爪704悬挂连接在所述固定杆701上，从而使所述提升爪108能够将晶片基座5提升至固定爪704的固定位置。
具体来说，所述湿法栏具2为框架结构，用于盛放所述晶片基座5，其中在所述湿法栏具2中设置的所述晶片基座5的行数和列数由设备的产能要求和制造能力决定。
具体来说，所述浸浴槽4为一个矩形容器，其内部设有溶液，所述湿法栏具2设置在所述浸浴槽4中，用以浸泡所述湿法栏具2中的所述晶片基座5，从而使设置在所述晶片基座5中的晶片保持湿润，同时防止过蚀。
进一步来说，本实施例所述的装置还包括第一传感器6，所述第一传感器6设置在所述浸浴槽4的上端开口处，通过所述第一传感器6检测设置在所述湿法栏具2中每层所述晶片基座5高度误差是否在预设范围内，进而检测所述晶片基座5变形，预防因变形引起所述提升杆102或机械手末端与所述晶片基座5干涉。
其中，所述第一传感器6可以采用对射传感器，也可以采用其他能够检测所述晶片基座5变形的传感器。
进一步来说，本实施例所述的装置还包括用于检测所述湿法栏具2提升位置的第二传感器和用于检测所述晶片基座5提升位置的第三传感器。所述的第二传感器和第三传感器可以分别设置在所述侧板101上，或者在所述浸浴槽4上设有安装板，将所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述安装板上。
其中，所述第二传感器用于保证每次通过所述湿法栏具提升机构3将所述湿法栏具2提升预定高度。所述第三传感器可以根据实际需求从上到下依次设置多个，用于保障每次所述提升杆102将所述晶片基座5提升至预定位置。
本实用新型实施例所述的湿法栏具提升固定装置的工作过程如下：
S1、所示湿法栏具提升机构3将所示湿法栏具2提升第一预设高度，使所述湿法栏具中最上层的晶片基座到达检测位置。
S2、所示第一传感器6检测所述湿法栏具2中最上层的晶片基座的高度误差是否在预设范围内，若误差超出所述预设范围，则所述第一传感器6报警，若误差在所述预设范围内，则进入步骤S3。
S3、所述提升杆102抓取晶片基座并提升至第二预设高度，使晶片基座到达取片位置。
S4、机械手从晶片基座中取出晶片。
S5、所述提升杆102将晶片基座提升至第三预设高度，使晶片基座到达所述固定杆701已抓取固定的晶片基座下面。
S6、所述固定杆701松开已固定的晶片基座。
S7、所述提升杆102将晶片基座提升至第四预设高度，使晶片基座到达所述固定杆701的固定位置。
S8、所述固定杆701抓取所述提升杆102中最下层的晶片基座。
S9、所述提升杆102松开晶片基座并下降至初始位置。
S10、重复步骤S1～S9。
其中，在步骤S1中，通过所述第二传感器检测所述湿法栏具2的提升位置，保证每次所述湿法栏具提升机构3将所述湿法栏具2提升固定高度。
其中，在步骤S2、S4和S6中，分别通过所述第三传感器检测所述提升杆102的提升位置，保证每次所述提升杆102将晶片基座分别提升至预设位置。
综上所述，本实用新型实施例所述的湿法栏具提升固定装置，通过湿法栏具提升机构对湿法栏具进行整体提升操作，通过晶片基座提升机构和晶片基座固定机构分别对湿法栏具中的晶片基座进行提升和固定操作，不仅操作方便，而且能够实现多片晶片基座的同时提升和固定，提高了工作效率，保证了操作精度以及工作质量。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种湿法栏具提升固定装置，用于将湿法栏具和晶片基座从浸浴槽提升、固定，其特征在于：包括晶片基座提升机构、晶片基座固定机构和湿法栏具提升机构，其中所述晶片基座提升机构设置在所述浸浴槽的开口上方，所述晶片基座固定机构设置在所述晶片基座提升机构上，所述湿法栏具提升机构与所述湿法栏具相连。
2.根据权利要求1所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述湿法栏具提升机构包括固定支架、设置在所述固定支架上的第一驱动控制机构、以及与所述第一驱动控制机构相连的升降托板，其中所述第一驱动控制机构控制所述升降托板进行上下运动，所述升降托板与所述湿法栏具相连。
3.根据权利要求2所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述升降托板包括L形连接板以及分别设置在所述L形连接板左右两侧的卡接板，在所述卡接板上设有卡槽；在所述湿法栏具的上端左右两侧分别设有卡柱，两个所述卡柱对应卡装在两个所述卡槽中。
4.根据权利要求1-3任一项所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述晶片基座提升机构包括两个侧板、设置在两个所述侧板之间的两个提升杆、控制两个所述提升杆进行上下运动的第二驱动控制机构、以及控制两个所述提升杆沿水平向进行开合运动的第三驱动控制机构。
5.根据权利要求4所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述晶片基座固定机构包括设置在两个所述侧板之间的两个固定杆、以及控制两个所述固定杆沿水平向进行开合运动的第四驱动控制机构。
6.根据权利要求5所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述第二驱动控制机构包括Z轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述Z轴导轨进行运动的第二驱动装置；所述第三驱动控制机构包括第一Y轴导轨以及驱动所述提升杆沿所述第一Y轴导轨进行运动的第三驱动装置；所述第四驱动控制机构包括第二Y轴导轨以及驱动所述固定杆沿所述第二Y轴导轨进行运动的第四驱动装置。
7.根据权利要求6所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：所述侧板上设有与所述Z轴导轨滑动配合的活动连接板，所述第二驱动装置与所述活动连接板驱动连接；所述第一Y轴导轨和所述第三驱动装置分别设置在所述活动连接板上，所述提升杆与所述第一Y轴导轨滑动配合；在所述侧板上设有固定连接板，所述第二Y轴导轨设置在所述固定连接板上。
8.根据权利要求7所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：在两个所述提升杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的提升爪，两个所述提升杆上的所述提升爪相对设置。
9.根据权利要求8所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：在两个所述固定杆上分别设有用于抓取所述晶片基座的固定爪，两个所述固定杆上的所述固定爪相对设置，其中所述固定爪为L形结构，所述固定爪悬挂连接在所述固定杆上。
10.根据权利要求9所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于：还包括设置在所述浸浴槽开口处的第一传感器、用于检测所述湿法栏具提升位置的第二传感器和用于检测所述晶片基座提升位置的第三传感器；其中所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述侧板上；或在所述浸浴槽上设有安装板，所述的第二传感器和第三传感器分别设置在所述安装板上。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| WO2020020070A1 (zh) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 东泰高科装备科技有限公司 | 一种湿法栏具提升固定装置及方法 |
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2018
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| CN110752165A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-04 | 东泰高科装备科技有限公司 | 一种湿法栏具提升固定装置及方法 |
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